JPH10269525A - 薄膜磁気ヘッド及び磁気記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】引出線と導体コイルの間の浮遊容量が高周波励
磁を行う際の記録ヘッドの効率の低下につながる。 【解決手段】上記導体コイルの内周側の端部から引出線
を経ず直接端子を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、単層或は奇数層の
平面スパイラルコイルを用いて磁気コアを励起するとこ
ろの薄膜磁気ヘッド、さらに、それを記録ヘッドとして
備える磁気記録装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】磁気記録装置の、小型化、高速アクセス
化の傾向はますます著しくなり、それに伴って磁気ヘッ
ドの小型化、高周波対応化が要求されている。特に近年
は記録と再生の機能を分離した録再分離型ヘッドが、例
えば、従来の誘導型ヘッドを記録ヘッドに持ち磁気抵抗
効果型ヘッドを再生ヘッドとして備えたものなどが、主
流となり、小型化を要求されるヘッドスライダ上に４つ
以上の端子を設ける事が必要となっている。また、デー
タ転送速度の高速化、及び、信号処理方式にＰＲＭＬと
ｄ＝０コードを用いる為、物理的に媒体上に記録する信
号の周波数は急激に増加し１００ＭＨｚに達しようとし
ている。今後も増加の傾向が続く。

【０００３】従来の薄膜磁気ヘッドは、例えば、図３の
示すように、下地膜１上に、（或は、複合型ヘッドの場
合はＭＲヘッドのシールドギャップ上に、）第１の磁性
体２、磁気ギャップ材３，１層又は奇数層の平面スパイ
ラルコイルを形成する導体コイル５と層間絶縁層４、そ
して、第２の磁性層６を順次成膜、パターニングして形
成される。該導体コイル５と外部回路との接続は、通常
薄膜磁気ヘッドの磁気コアや該導体コイル５と平面的に
重ならない適当な位置と該導体コイル５の端部を引出線
８で接続、その後、例えば、メッキを用いて該下部端子
１０を大きく成長させ、保護膜１２を形成した後に機械
加工を行ってスライダ表面に端子を露出する（特開昭５
８−１７９９２２号）。

【０００４】該引出線８による接続は、該導体コイル５
形成後に成膜される該層間絶縁体４にスルーホール７を
あけて行われるが、例えば、図４にあるように、該導体
コイル５の２つの端部、外周側の端部と内周側の端部の
うち、導体コイル内周側の端部９から該下部端子１０へ
の引出線８は該導体コイル５中央から該導体コイル５を
交差するように形成されるため、該層間絶縁層４を介し
て浮遊容量を持つ。

【０００５】端子や引出線８に関する公知例としては、
特に、端子とリード線の密着力の向上に関するもの（特
開平１−７３５１８他）、スライダの小型化に対応した
端子や引出線８の配置や構造に関するもの（特開平２−
２３９４１３：引出線８の立体交差させスペースを稼
ぐ、ＵＳＰ５００１５９１：端子の配置）は見られる
が、高周波特性の向上に関連して構造を検討したものは
報告されていない。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】まず、上述のように、
従来の薄膜ヘッドにおいては、該導体コイル内周側の端
部９から該下部端子１０への該引出線８は該導体コイル
５中央から該導体コイル５を横断して形成されるため、
該引出線８と該導体コイル５の間に浮遊容量が生じる。
特に、高周波記録を考えるとき、記録ヘッドの低抵抗化
は重要な要因であり、必然的に、該導体コイル５の幅や
該引出線８の幅はなるべく広くして抵抗をさげる事が必
要となるが、これによって、該導体コイル５と該引出線
８の間の浮遊容量は更に増えてしまう。

【０００７】或は、高ＴＰＩを考えたヘッドでは記録ト
ラックの幅を狭く形成する必要があり、この狭トラック
を精度よく加工する為には、例えば、該導体コイル５の
高さや該層間絶縁層４の厚みを薄くして、ヘッドの段差
を小さくする事が効果的である。ところが、該層間絶縁
層４を薄くする事は上記の浮遊容量を増やしてしまう。
また、該導体コイル５の高さを薄くする事はヘッドの抵
抗が増加してしまうので避けたい方法である。

【０００８】すなわち、従来の構造のままでは、高周波
記録が進んだ場合に該引出線８と該導体コイル５の間の
浮遊容量による効率の低下が問題となり、更に、これを
対策することが高ＴＰＩ化、ヘッドの低抵抗化に対して
トレードオフとなってしまう。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記問題点は、一層或は
奇数層の平面スパイラル状の導体コイル５を持つ薄膜磁
気ヘッドで、該導体コイル内周側の端部９と該下部端子
１０とを結ぶ該引出線８が該導体コイル５との間に浮遊
容量を生じて高周波特性を損ねるというものであり、こ
の不具合点を改良するためには、本発明では、例えば、
図１に示すように、該導体コイル内周側の端部９を適当
に広く取り、そこを該下部端子１０として直接そこから
端子を成長させる。これによって、従来構造で問題とな
る該引出線８自体が存在しなくなるので、浮遊容量も生
じない。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図を用い
て説明する。

【００１１】図１は、本発明における薄膜ヘッドの実施
例の断面図である。図２は、本発明における薄膜ヘッド
の実施例の正面図である。

【００１２】図１に示すように、薄膜ヘッドは、例え
ば、下地層１上に、第１の磁性体２、磁気ギャップ材
３、層間絶縁層４、導体コイル５、第２の磁性体６を順
次堆積、パターニングして形成するが、通常、例えば、
第２の磁性体６を成膜する前に層間絶縁層４の該導体コ
イル５の両端部にスルーホール７をあけておき第２の磁
性体６の形成時に同時に引出線８を形成する。この時、
該導体コイル内周側の端部９は、図２に示すように、そ
のままの位置で下部端子１０を持つため、該導体コイル
５を交差するような引出線８は形成せず、直径４０〜６
０ミクロン程度のメッキの下地となる部分のみパターン
を残す。更に、上述のパターンにメッキ用下地膜１１を
形成後、エレクトロフォーミングにより該下部端子１０
を形成する。該下部端子１０には電気抵抗の小さい金、
銀、銅及びそれらの合金膜が厚さ３０〜６０ミクロン形
成され、保護膜１２を積層した後、機械加工で該下部端
子１０が露出してくるまで該保護膜１２を平滑に削りと
る。この時の該下部端子１０の露出面積は、この後形成
される上部端子１３との電気伝導が確保されればよく、
好ましくは、４０〜６０ミクロン程度としたい。この露
出部の露出面積は、該下部端子１０をエレクトロフォー
ミングする場合のフォトレジスト膜パターンを形成する
フォトマスクで調整できる。これによって、該導体コイ
ル５との間に浮遊容量を持つような引出線８を持たない
構造が形成され、従って、高周波記録において損失の少
ない薄膜ヘッドが出来る。

【００１３】該導体コイル５の外周側の端部に結合する
引出線８及び端子部については本発明では特に言及しな
い。また、複合型ヘッドの記録ヘッドとして用いられる
場合、本発明の薄膜ヘッドは再生ヘッドの上に形成され
ることが考えられ、特に、該再生ヘッドがシールド型ヘ
ッドである場合は、上記第１の磁性体２が該再生ヘッド
のシールドの片方と兼用であることもある。

【００１４】

【発明の効果】以上の説明により、本発明によって、高
周波記録において薄膜ヘッドの劣化の要因となる引出線
と導体コイル間の浮遊容量を解消する事ができ、従っ
て、効率の高い高周波記録がおこなわれる。

【００１５】加えて、本発明では端子をヘッド素子と平
面的に重なるように配置する事により、小型スライダ上
の端子実装が楽になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の１実施例の薄膜磁気ヘッドの断面模式
図。

【図２】本発明の１実施例の薄膜磁気ヘッドの正面模式
図。

【図３】従来の薄膜磁気ヘッドの断面図。

【図４】従来の薄膜磁気ヘッドの正面図。

【符号の説明】

１…下地層、 ２…第１の磁性体、 ３…磁気ギ
ャップ層、４…層間絶縁層、 ５…導体コイル、
６…第２の磁性体、７…スルーホール、８…引出線、
９…導体コイル内周側の端部、１０…下部端
子、 １１…メッキ用下地膜、１２…保護膜、１３…上
部端子。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】第１の磁性体、第２の磁性体を積層するこ
   とによって形成される１端に磁気ギャップを持つリング
   型コアと、 該磁気コアを励起する１層或は奇数層の平面スパイラル
   コイルと、 該磁気コアと該平面スパイラルコイルとを電気的に絶縁
   する為の層間絶縁層と、 該平面スパイラルコイルの外周側及び内周側の端部を外
   部回路と接続するための端子部を持つ薄膜磁気ヘッドに
   おいて、 該平面スパイラルコイル上を絶縁層を介して交差するよ
   うな引出線を持たず、該平面スパイラルコイルの内周側
   の端部から直に端子部が形成されている事を特徴とする
   薄膜磁気ヘッド。
2. 【請求項２】請求項１の薄膜磁気ヘッドを記録ヘッドと
   して用いる録再分離型磁気ヘッド。
3. 【請求項３】請求項２の薄膜磁気ヘッドを記録ヘッドと
   して用いる磁気記録装置。
4. 【請求項４】請求項１の薄膜磁気ヘッドで外部回路と結
   線されるところの上部端子が薄膜素子と平面的に重なっ
   ていることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。