JPH10274623A - 無侵襲生体光計測装置 - Google Patents
無侵襲生体光計測装置Info
- Publication number
- JPH10274623A JPH10274623A JP9079580A JP7958097A JPH10274623A JP H10274623 A JPH10274623 A JP H10274623A JP 9079580 A JP9079580 A JP 9079580A JP 7958097 A JP7958097 A JP 7958097A JP H10274623 A JPH10274623 A JP H10274623A
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Measurement Of The Respiration, Hearing Ability, Form, And Blood Characteristics Of Living Organisms (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 試料中を透過、拡散した光を検出して、試料
内部の情報を得ることができ、情報を得る位置を深さ方
向で高速に走査できる小型の無侵襲生体光計測装置を提
供すること。 【解決手段】 低コヒーレンス光源２を出た光は、分波
素子４により、試料８に照射される照射光と、段差を有
するミラー５で反射される参照光と、に分けられる。試
料で後方散乱された光（信号光）は分波素子４により参
照光と合波され、光検出器１１で検出される。ミラー５
はモーター６により回転する。ミラー５は段差を有する
１２個の扇形からなり、参照光がミラー６の薄い部分で
反射されたときと、厚い部分で反射されたときとで参照
光の光路長が変化し、信号光が発せられた位置を深さ方
向に走査できる。
内部の情報を得ることができ、情報を得る位置を深さ方
向で高速に走査できる小型の無侵襲生体光計測装置を提
供すること。 【解決手段】 低コヒーレンス光源２を出た光は、分波
素子４により、試料８に照射される照射光と、段差を有
するミラー５で反射される参照光と、に分けられる。試
料で後方散乱された光（信号光）は分波素子４により参
照光と合波され、光検出器１１で検出される。ミラー５
はモーター６により回転する。ミラー５は段差を有する
１２個の扇形からなり、参照光がミラー６の薄い部分で
反射されたときと、厚い部分で反射されたときとで参照
光の光路長が変化し、信号光が発せられた位置を深さ方
向に走査できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、無侵襲生体光計測
装置に関し、特に生体等不透明かつ厚い試料を拡散・透
過してきた光をヘテロダイン検出して試料の内部の情報
を得るのに適応する無侵襲生体光計測装置に関する。
装置に関し、特に生体等不透明かつ厚い試料を拡散・透
過してきた光をヘテロダイン検出して試料の内部の情報
を得るのに適応する無侵襲生体光計測装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】スーパールミネッセントダイオードの光
を不均一な試料に照射し、試料によって散乱され媒質中
を透過・拡散してきた光をヘテロダイン検出する事によ
り、試料内部の情報を得る装置が、オプティックス・レ
ターズ、１９（１９９４年）第５９０頁から５９２頁
（Ｏｐｔｉｃｓ Ｌｅｔｔｅｒｓ １９（１９９４）ｐ
ｐ５９０−５９２）、および第５７回応用物理学会講演
予稿集第０分冊（１９９６年）第１２１３頁に記載され
ている。これらの技術では、コヒーレンス長さが数１０
μｍのスーパールミネッセントダイオードの光を分波器
で２本に分け、一方を試料に照射し、もう一方はＰＺＴ
によって位相変調をかけたうえでヘテロダイン検波のた
めの参照光として用いる。合波器で試料から反射された
信号光と参照光とを合波してヘテロダイン検出すること
により、試料によって散乱された光のうち、検出される
までの光路長が参照光の光路長と等しくなる成分のみを
検出する。試料表面から特定の深さの位置で散乱あるい
は反射された光の信号だけを得る。上記従来技術では試
料をｘｙｚステージで走査することによって信号光の光
路長を走査し、試料中の信号を取り出す深さを変化させ
ている。
を不均一な試料に照射し、試料によって散乱され媒質中
を透過・拡散してきた光をヘテロダイン検出する事によ
り、試料内部の情報を得る装置が、オプティックス・レ
ターズ、１９（１９９４年）第５９０頁から５９２頁
（Ｏｐｔｉｃｓ Ｌｅｔｔｅｒｓ １９（１９９４）ｐ
ｐ５９０−５９２）、および第５７回応用物理学会講演
予稿集第０分冊（１９９６年）第１２１３頁に記載され
ている。これらの技術では、コヒーレンス長さが数１０
μｍのスーパールミネッセントダイオードの光を分波器
で２本に分け、一方を試料に照射し、もう一方はＰＺＴ
によって位相変調をかけたうえでヘテロダイン検波のた
めの参照光として用いる。合波器で試料から反射された
信号光と参照光とを合波してヘテロダイン検出すること
により、試料によって散乱された光のうち、検出される
までの光路長が参照光の光路長と等しくなる成分のみを
検出する。試料表面から特定の深さの位置で散乱あるい
は反射された光の信号だけを得る。上記従来技術では試
料をｘｙｚステージで走査することによって信号光の光
路長を走査し、試料中の信号を取り出す深さを変化させ
ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術では、光
路長の走査を水平移動型のステージで行っているために
深さ方向の走査に時間がかかるという問題があった。そ
のため生きている生体など体動アーティファクトのため
に高速な測定が必用な試料に適用するのは困難であっ
た。また、水平方向の往復運動を行っているため、装置
全体を小型化するのも困難であった。
路長の走査を水平移動型のステージで行っているために
深さ方向の走査に時間がかかるという問題があった。そ
のため生きている生体など体動アーティファクトのため
に高速な測定が必用な試料に適用するのは困難であっ
た。また、水平方向の往復運動を行っているため、装置
全体を小型化するのも困難であった。
【０００４】本発明の目的は、コヒーレンス長の短い光
源を試料に照射して試料によって散乱された光をヘテロ
ダイン検波して試料内部の特定深さの情報を得る装置に
おいて、光路長の走査を小型の装置で高速にすることが
可能な構成を提供することである。
源を試料に照射して試料によって散乱された光をヘテロ
ダイン検波して試料内部の特定深さの情報を得る装置に
おいて、光路長の走査を小型の装置で高速にすることが
可能な構成を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明では、光源と、光源から射出された光を分波
し、分波された一方を照射光とし、他方を参照光とし、
照射光が試料に照射されることにより試料中を透過、拡
散して試料から出射される信号光と参照光とを合波する
分波合波手段と、分波合波手段により合波された合波光
をヘテロダイン検出する光検出手段と、照射光、参照
光、および信号光の少なくとも一つの光路長を変化させ
る手段と、を有することを特徴とする。照射光、参照
光、および信号光の少なくとも一つの光路長を変化させ
るために、平行でありかつ同一平面上にない少なくとも
二つの鏡面を有する反射部材により、参照光を反射して
もよく、また、屈折率分布を有する透過部材、または位
置によって厚さが異なる透過部材に、照射光およぴ信号
光のすくなくとも一つを透過させてもよい。光源は、コ
ヒーレンス長が３０ｍｍ以下の光を射出する、スーパー
ルミネッセントダイオード、発光ダイオード、またはレ
ーザダイオードである。
に本発明では、光源と、光源から射出された光を分波
し、分波された一方を照射光とし、他方を参照光とし、
照射光が試料に照射されることにより試料中を透過、拡
散して試料から出射される信号光と参照光とを合波する
分波合波手段と、分波合波手段により合波された合波光
をヘテロダイン検出する光検出手段と、照射光、参照
光、および信号光の少なくとも一つの光路長を変化させ
る手段と、を有することを特徴とする。照射光、参照
光、および信号光の少なくとも一つの光路長を変化させ
るために、平行でありかつ同一平面上にない少なくとも
二つの鏡面を有する反射部材により、参照光を反射して
もよく、また、屈折率分布を有する透過部材、または位
置によって厚さが異なる透過部材に、照射光およぴ信号
光のすくなくとも一つを透過させてもよい。光源は、コ
ヒーレンス長が３０ｍｍ以下の光を射出する、スーパー
ルミネッセントダイオード、発光ダイオード、またはレ
ーザダイオードである。
【０００６】
（第一の実施例）図１に本発明の第一の実施例の構成図
を示す。本実施例の装置は、光源駆動回路１、低コヒー
レンス光源２、レンズ３、分波素子４、段差を有するミ
ラー５、モーター６、モータ制御装置７、試料８、ＰＺ
Ｔ９、ｘｚステージ１０、光検出器１１、増幅器１２、
ロックインアンプ１３、およびコンピュータ１４からな
る。本実施例では、低コヒーレンス光源２として波長７
８０ｎｍ、コヒーレンス長さ５０μｍのスーパールミネ
ッセントダイオードを使用している。低コヒーレンス光
源２は光源駆動回路１によって一定出力で駆動される。
低コヒーレンス光源２を出た光はレンズ３で平行光束に
してから分波素子４で二つに分けられる。一方の光は試
料８に照射される照射光である。もう一方の光は段差を
有するミラー５で反射され、参照光として用いられる。
ミラー５をモーター６で回転する。モーター６を駆動す
るモーター制御装置７はコンピュータ１４によって制御
されている。試料８によって後方散乱された照射光は、
信号光として分波素子４を合波器として用いることによ
り段差を有するミラー５で反射された参照光と合波さ
れ、光検出器１１でヘテロダイン検出される。試料８は
ＰＺＴ９に取り付けられており、ＰＺＴ９がロックイン
アンプ１３の内部発振器で駆動されることによって光軸
方向に振動し、信号光の位相が一定周波数で変調され
る。光検出器１１の出力は増幅器１２で電圧信号に変換
されたのちにロックインアンプ１３に入力される。ロッ
クインアンプ１３の測定結果はコンピュータ１４によっ
てモーター６の回転と同期して取り込まれる。試料８の
表面方向の走査はｘｚステージ１０によって行われる。
を示す。本実施例の装置は、光源駆動回路１、低コヒー
レンス光源２、レンズ３、分波素子４、段差を有するミ
ラー５、モーター６、モータ制御装置７、試料８、ＰＺ
Ｔ９、ｘｚステージ１０、光検出器１１、増幅器１２、
ロックインアンプ１３、およびコンピュータ１４からな
る。本実施例では、低コヒーレンス光源２として波長７
８０ｎｍ、コヒーレンス長さ５０μｍのスーパールミネ
ッセントダイオードを使用している。低コヒーレンス光
源２は光源駆動回路１によって一定出力で駆動される。
低コヒーレンス光源２を出た光はレンズ３で平行光束に
してから分波素子４で二つに分けられる。一方の光は試
料８に照射される照射光である。もう一方の光は段差を
有するミラー５で反射され、参照光として用いられる。
ミラー５をモーター６で回転する。モーター６を駆動す
るモーター制御装置７はコンピュータ１４によって制御
されている。試料８によって後方散乱された照射光は、
信号光として分波素子４を合波器として用いることによ
り段差を有するミラー５で反射された参照光と合波さ
れ、光検出器１１でヘテロダイン検出される。試料８は
ＰＺＴ９に取り付けられており、ＰＺＴ９がロックイン
アンプ１３の内部発振器で駆動されることによって光軸
方向に振動し、信号光の位相が一定周波数で変調され
る。光検出器１１の出力は増幅器１２で電圧信号に変換
されたのちにロックインアンプ１３に入力される。ロッ
クインアンプ１３の測定結果はコンピュータ１４によっ
てモーター６の回転と同期して取り込まれる。試料８の
表面方向の走査はｘｚステージ１０によって行われる。
【０００７】図２は、図１の部分拡大図である。モータ
ー６はミラー５を回転させる。ミラー５は円盤状をして
おり、円が１２個の扇形に等分されていて各扇型の部分
の間には２０μｍずつの段差が設けられている。参照光
がミラー５の最も薄い部分で反射されたときと、最も厚
い部分で反射されたときでは参照光の光路長にして２×
２０×１２μｍ＝４８０μｍ変化することになる。した
がって、散乱光（信号光）を検出する試料中の位置を深
さ方向に（４８０μｍ／ｎ）走査することができる。ｎ
は試料の屈折率である。試料８とミラー５の位置はミラ
ー５の最も厚い部分で参照光が反射されるときに参照光
の光路長と信号光のうち、試料表面近傍で反射された成
分の光路長が等しくなるように設定されている。
ー６はミラー５を回転させる。ミラー５は円盤状をして
おり、円が１２個の扇形に等分されていて各扇型の部分
の間には２０μｍずつの段差が設けられている。参照光
がミラー５の最も薄い部分で反射されたときと、最も厚
い部分で反射されたときでは参照光の光路長にして２×
２０×１２μｍ＝４８０μｍ変化することになる。した
がって、散乱光（信号光）を検出する試料中の位置を深
さ方向に（４８０μｍ／ｎ）走査することができる。ｎ
は試料の屈折率である。試料８とミラー５の位置はミラ
ー５の最も厚い部分で参照光が反射されるときに参照光
の光路長と信号光のうち、試料表面近傍で反射された成
分の光路長が等しくなるように設定されている。
【０００８】図３は、試料を豚肉として本実施例を用い
て測定を行った結果を示す図である。試料８の所定の一
点に光を照射したときの散乱光検出信号の光路長依存性
である。この結果は試料中の屈折率、散乱係数、吸収係
数の深さ方向の分布を示している。深さ２００μｍ付近
で強い信号が得られているが、この結果は本実施例によ
る測定終了のあとで試料を切断して行った観察によって
えられた、深さ１５０μｍ付近の筋の存在を反映してい
る。本実施例ではミラーの回転を一分間に６０００回転
としており、深さ方向の走査が一点当たり１０ｍｓで行
うことが可能である。ｘｚステージ１０で試料を表面方
向に走査することによって３次元断層像を短時間で得る
ことも可能である。複数の波長の光源で得られた画像を
処理することにより生体試料などの内部の化学物質の分
布を得ることもできる。
て測定を行った結果を示す図である。試料８の所定の一
点に光を照射したときの散乱光検出信号の光路長依存性
である。この結果は試料中の屈折率、散乱係数、吸収係
数の深さ方向の分布を示している。深さ２００μｍ付近
で強い信号が得られているが、この結果は本実施例によ
る測定終了のあとで試料を切断して行った観察によって
えられた、深さ１５０μｍ付近の筋の存在を反映してい
る。本実施例ではミラーの回転を一分間に６０００回転
としており、深さ方向の走査が一点当たり１０ｍｓで行
うことが可能である。ｘｚステージ１０で試料を表面方
向に走査することによって３次元断層像を短時間で得る
ことも可能である。複数の波長の光源で得られた画像を
処理することにより生体試料などの内部の化学物質の分
布を得ることもできる。
【０００９】（第二の実施例）図４は、本発明の第二の
実施例の構成図を示す。本実施例では基本的には第一の
実施例と同一の構成を用いる。主要な変更点は参照光を
段差の付いたミラーで反射する代わりに、試料８に照射
する照射光、および試料から散乱、反射された信号光
を、光を透過させたときの光路長が各部分で異なるよう
な回転透明板１６に透過させることである。また、本実
施例では参照光を反射するミラー１５をＰＺＴ９で振動
させ、参照光の位相を変調している。
実施例の構成図を示す。本実施例では基本的には第一の
実施例と同一の構成を用いる。主要な変更点は参照光を
段差の付いたミラーで反射する代わりに、試料８に照射
する照射光、および試料から散乱、反射された信号光
を、光を透過させたときの光路長が各部分で異なるよう
な回転透明板１６に透過させることである。また、本実
施例では参照光を反射するミラー１５をＰＺＴ９で振動
させ、参照光の位相を変調している。
【００１０】図５は、図４の部分拡大図である。透明回
転板１６は円盤の形状を持ち、１２等分された扇形の各
部分が屈折率の異なる材料で構成されている。円盤１６
の厚さは２ｍｍ、各扇形の屈折率はそれぞれ１．５０〜
１．６１の範囲で０．０１ずつ差がついている。試料８
へ照射される照射光および試料８からの信号光は円盤１
６に垂直に入射し、信号光の光路長は透過する扇型によ
って２×０．０１×２ｍｍ＝４０μｍずつ変化すること
になる。本実施例では参照光を位相変調したために生き
ている生体試料に取り付けてin vivoの測定を行うこと
が可能となっている。そのほかの本実施例の効果は、段
差を付けたミラーによる反射の代わりに屈折率分布をも
つ平面板の透過を用いたため、透明回転板１６として要
求される精度が比較的低くて済み、加工が容易になるこ
とである。また、本実施例では屈折率分布をもつ平面円
盤からなる透明回転板１６を使用しているが、段差付き
ミラー５と同一の形状を持つ透明な板で代用しても全く
同一の効果がえられる。
転板１６は円盤の形状を持ち、１２等分された扇形の各
部分が屈折率の異なる材料で構成されている。円盤１６
の厚さは２ｍｍ、各扇形の屈折率はそれぞれ１．５０〜
１．６１の範囲で０．０１ずつ差がついている。試料８
へ照射される照射光および試料８からの信号光は円盤１
６に垂直に入射し、信号光の光路長は透過する扇型によ
って２×０．０１×２ｍｍ＝４０μｍずつ変化すること
になる。本実施例では参照光を位相変調したために生き
ている生体試料に取り付けてin vivoの測定を行うこと
が可能となっている。そのほかの本実施例の効果は、段
差を付けたミラーによる反射の代わりに屈折率分布をも
つ平面板の透過を用いたため、透明回転板１６として要
求される精度が比較的低くて済み、加工が容易になるこ
とである。また、本実施例では屈折率分布をもつ平面円
盤からなる透明回転板１６を使用しているが、段差付き
ミラー５と同一の形状を持つ透明な板で代用しても全く
同一の効果がえられる。
【００１１】上記実施例では、低コヒーレンスの光源と
してスーパールミネッセントダイオードを用いたが、光
の強度がそれほど要求されなければ発光ダイオードや面
発光ダイオードでもよいし、また半導体レーザを閾値電
流以下で発信させたもの、あるいは端面に反射防止膜を
施した半導体レーザや端面融解をおこしてこわれた半導
体レーザなど、必要な空間分解能よりも短いコヒーレン
ス長をもつ光源ならなんでも使用可能である。
してスーパールミネッセントダイオードを用いたが、光
の強度がそれほど要求されなければ発光ダイオードや面
発光ダイオードでもよいし、また半導体レーザを閾値電
流以下で発信させたもの、あるいは端面に反射防止膜を
施した半導体レーザや端面融解をおこしてこわれた半導
体レーザなど、必要な空間分解能よりも短いコヒーレン
ス長をもつ光源ならなんでも使用可能である。
【００１２】
【発明の効果】本発明によれば、情報を得る位置の深さ
方向の走査を小型の装置で高速に行うことが可能とな
る。その結果、試料内部の所定位置の屈折率、吸収係
数、散乱係数を高速に求めたり、それらの値の分布を短
時間で画像化して画像処理等を施してやることにより不
均一な試料内部の化学物質の分布などを知ることができ
る。
方向の走査を小型の装置で高速に行うことが可能とな
る。その結果、試料内部の所定位置の屈折率、吸収係
数、散乱係数を高速に求めたり、それらの値の分布を短
時間で画像化して画像処理等を施してやることにより不
均一な試料内部の化学物質の分布などを知ることができ
る。
【図１】本発明の第一の実施例の構成図。
【図２】図１の部分拡大図。
【図３】本発明の第一の実施例による測定結果を示す
図。
図。
【図４】本発明の第二の実施例の構成図。
【図５】図４の部分拡大図である。
１…光源駆動回路、２…低コヒーレンス光源、３…レン
ズ、４…分波素子、５…段差を有するミラー、６…モー
ター、７…モータ制御装置、８…試料、９…ＰＺＴ、１
０…ｘｚステージ、１１…光検出器、１２…増幅器、１
３…ロックインアンプ、１４…コンピュータ、１５…ミ
ラー、１６…回転透明板。
ズ、４…分波素子、５…段差を有するミラー、６…モー
ター、７…モータ制御装置、８…試料、９…ＰＺＴ、１
０…ｘｚステージ、１１…光検出器、１２…増幅器、１
３…ロックインアンプ、１４…コンピュータ、１５…ミ
ラー、１６…回転透明板。
Claims (6)
- 【請求項１】光源と、前記光源から射出された光を分波
し、分波された一方を照射光とし、他方を参照光とし、
前記照射光が試料に照射されることにより試料中を透
過、拡散して前記試料から出射される信号光と前記参照
光とを合波する分波合波手段と、前記分波合波手段によ
り合波された合波光をヘテロダイン検出する光検出手段
と、を有する無侵襲生体光計測装置において、平行であ
りかつ同一平面上にない少なくとも二つの鏡面を有し、
前記参照光を反射して、前記参照光の光路長を変化させ
る反射部材と、前記反射部材を回転させる回転部材と、
を有することを特徴とする無侵襲生体光計測装置。 - 【請求項２】光源と、前記光源から射出された光を分波
し、分波された一方を照射光とし、他方を参照光とし、
前記照射光が試料に照射されることにより試料中を透
過、拡散して前記試料から出射される信号光と前記参照
光とを合波する分波合波手段と、前記分波合波手段によ
り合波された合波光をヘテロダイン検出する光検出手段
と、を有する無侵襲生体光計測装置において、前記照射
光および前記信号光のすくなくとも一つを透過させて、
前記照射光および前記信号光の少なくとも一つの光路長
を変化させる透過部材と、前記透過部材を回転させる回
転部材と、を有することを特徴とする無侵襲生体光計測
装置。 - 【請求項３】前記透過部材は、屈折率分布を有すること
を特徴とする請求項２に記載の無侵襲生体光計測装置。 - 【請求項４】前記透過部材は、位置によって厚さが異な
ることを特徴とする請求項２に記載の無侵襲生体光計測
装置。 - 【請求項５】前記光源は、コヒーレンス長が３０ｍｍ以
下の光を射出する、スーパールミネッセントダイオー
ド、発光ダイオード、またはレーザダイオードであるこ
とを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の無侵襲
生体光計測装置。 - 【請求項６】光源と、前記光源から射出された光を分波
し、分波された一方を照射光とし、他方を参照光とし、
前記照射光が試料に照射されることにより試料中を透
過、拡散して前記試料から出射される信号光と前記参照
光とを合波する分波合波手段と、前記分波合波手段によ
り合波された合波光をヘテロダイン検出する光検出手段
と、を有する無侵襲生体光計測装置において、前記照射
光、参照光、および信号光の少なくとも一つの光路長を
周期的に変化させる手段を有することを特徴とする無侵
襲生体光計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9079580A JPH10274623A (ja) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | 無侵襲生体光計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9079580A JPH10274623A (ja) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | 無侵襲生体光計測装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10274623A true JPH10274623A (ja) | 1998-10-13 |
Family
ID=13693932
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9079580A Pending JPH10274623A (ja) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | 無侵襲生体光計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10274623A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007333470A (ja) * | 2006-06-13 | 2007-12-27 | Hamamatsu Photonics Kk | 表面形状計測装置 |
| JP2009006155A (ja) * | 2008-08-04 | 2009-01-15 | J Morita Tokyo Mfg Corp | 歯科光診断装置 |
| JP2009018172A (ja) * | 2008-08-04 | 2009-01-29 | J Morita Tokyo Mfg Corp | 歯科光診断装置 |
| JP2009121969A (ja) * | 2007-11-15 | 2009-06-04 | Topcon Corp | バンプ高さ測定方法及び測定装置 |
| JP2010528314A (ja) * | 2007-05-29 | 2010-08-19 | インテクプラス カンパニー、リミテッド | 立体形状測定装置 |
| JP2011085850A (ja) * | 2009-10-19 | 2011-04-28 | Olympus Corp | レーザ照明装置、及び、それを備えたレーザ顕微鏡 |
| JP2018096869A (ja) * | 2016-12-14 | 2018-06-21 | 株式会社ミツトヨ | 干渉対物レンズ |
-
1997
- 1997-03-31 JP JP9079580A patent/JPH10274623A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007333470A (ja) * | 2006-06-13 | 2007-12-27 | Hamamatsu Photonics Kk | 表面形状計測装置 |
| JP2010528314A (ja) * | 2007-05-29 | 2010-08-19 | インテクプラス カンパニー、リミテッド | 立体形状測定装置 |
| JP2009121969A (ja) * | 2007-11-15 | 2009-06-04 | Topcon Corp | バンプ高さ測定方法及び測定装置 |
| JP2009006155A (ja) * | 2008-08-04 | 2009-01-15 | J Morita Tokyo Mfg Corp | 歯科光診断装置 |
| JP2009018172A (ja) * | 2008-08-04 | 2009-01-29 | J Morita Tokyo Mfg Corp | 歯科光診断装置 |
| JP2011085850A (ja) * | 2009-10-19 | 2011-04-28 | Olympus Corp | レーザ照明装置、及び、それを備えたレーザ顕微鏡 |
| JP2018096869A (ja) * | 2016-12-14 | 2018-06-21 | 株式会社ミツトヨ | 干渉対物レンズ |
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