JPH10278280A - インクジェットヘッドおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電極幅のばらつきやアクチュエータ基板の位
置ずれ、傾き等の不具合を確実に検知することができる
と共に、容易に電極位置を認識して高い信頼性で配線接
続を行う。 【解決手段】 アクチュエータ基板２に導電層を形成す
る第１工程と、導電層を除去することによって、アクチ
ュエータ基板２に駆動電極４３と共に位置マーク７２ａ
・７２ｂを形成する第２工程と、駆動電極４３および位
置マーク７２ａ・７２ｂを撮影し、撮影画像中の位置マ
ーク７２ａ・７２ｂを基にして電極位置を画像認識しな
がらフレキシブルプリント基板３２を配線接続する第３
工程とを経ることによって、アクチュエータ基板２上に
平行配置された複数の駆動電極４３に対する配線接続を
画像認識により行いながら製造する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インク流路内のイ
ンクに圧力を作用させることによりインクをノズルから
噴射させるインクジェットヘッドおよびその製造方法に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ファクシミリ装置等の通信装置やパーソ
ナルコンピュータ等の情報処理装置は、通常、文字や図
形からなるデータを視覚情報として記録するように、こ
れらのデータを用紙に記録可能な記録装置を有してい
る。この記録装置には、インパクト方式や感熱方式、イ
ンクジェット方式等の各種の印字方式が採用されている
が、近年においては、静粛性に優れていると共に各種材
質の用紙に印字可能なインクジェット方式を採用したイ
ンクジェット記録装置が注目されている。

【０００３】上記のインクジェット記録装置は、用紙に
文字や図形を印字するように、用紙に対してインク滴を
噴射する多数のノズルを有したインクジェットヘッドを
有している。インクジェットヘッドは、通常、ノズルに
連通されたインク室の側壁を駆動電界により屈曲させて
インク室の容積を変化させることによって、インク圧力
の増減によりインク室に対するインクの排出（噴射）と
供給とを行うように構成されている。そして、従来、こ
のようなインクジェットヘッドを製造する場合には、イ
ンク室を構成するようにアクチュエータ基板の上面に溝
を形成すると共に、各溝の側壁に電極を形成し、これら
の電極をアクチュエータ基板の裏面に延長して平行配置
する。この後、平行配置された電極を画像認識し、電極
列の中から基準となる電極を特定して電極位置を求める
ことによって、各電極に対する配線接続をそれぞれ行う
ようになっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のように、平行配置された電極の画像認識により基準
となる電極を特定して電極位置を求める方法では、同一
形状の電極列の中から基準となる電極を特定するという
困難な処理が必要であるため、例えば電極幅のばらつき
やアクチュエータ基板の位置ずれ、傾き等の不具合が生
じたときに、これらの不具合を検知できずに基準となる
電極を誤認して配線の接続不良を生じることがあるとい
う問題がある。

【０００５】従って、本発明は、例えば電極幅のばらつ
きやアクチュエータ基板の位置ずれ、傾き等の不具合を
確実に検知することができると共に、容易に電極位置を
認識して高い信頼性で配線接続を行うことができるイン
クジェットヘッドおよびその製造方法を提供しようとす
るものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１の発明は、アクチュエータ基板上に配置さ
れた複数の電極に対する配線接続を画像認識により行う
インクジェットヘッドの製造方法において、前記アクチ
ュエータ基板に導電層を形成する第１工程と、前記導電
層を除去することによって、前記アクチュエータ基板に
前記電極と共に位置マークを形成する第２工程と、前記
電極および位置マークを撮影し、撮影画像中の位置マー
クを基にして電極位置を画像認識しながら配線接続する
第３工程とを有したことを特徴としている。

【０００７】これにより、従来のように平行配置された
複数の電極のみを用いて画像認識すると、同一形状の電
極列の中から基準となる電極を特定するという困難な処
理が必要になるが、上記のように位置マークを認識する
構成であれば、位置マークが電極とは明らかに異なるた
め、容易に位置マークを特定して電極位置を認識するこ
とができる。また、位置マークによりアクチュエータ基
板の位置ずれや傾きが検出し易くなるため、配線接続を
正確に行うことができる。

【０００８】請求項２の発明は、請求項１記載のインク
ジェットヘッドの製造方法であって、前記位置マークが
前記アクチュエータ基板の一端側および他端側にそれぞ
れ形成されていることを特徴としている。

【０００９】これにより、アクチュエータ基板の両端側
の十分に離れた位置に形成された２点の位置マークを基
にして画像認識するため、位置ずれや傾きを一層正確に
検出して高精度に電極位置を認識することができる。

【００１０】請求項３の発明は、請求項１または２記載
のインクジェットヘッドの製造方法であって、前記第３
工程における電極に対する配線接続は、全電極に対応す
るように形成されたプリント配線とプリントマークとが
形成されたフレキシブルプリント基板を使用し、該プリ
ントマークを基にしたプリント配線位置の画像認識と、
前記位置マークを基にした電極位置の画像認識とで行う
ことを特徴としている。

【００１１】これにより、フレキシブルプリント基板の
プリント配線位置がプリントマークを基にして認識され
るため、一層正確に電極とプリント配線とを接続するこ
とができる。

【００１２】請求項４の発明は、請求項１ない３のいず
れか１項記載のインクジェットヘッドの製造方法であっ
て、前記第２工程において、レーザ加工処理により導電
層を除去することによって、前記電極と位置マークとを
形成すると共に、ヘッド情報を前記アクチュエータ基板
に書き込むことを特徴としている。

【００１３】これにより、電極および位置マークを形成
すると同時に製造日やロット番号等のヘッド情報をアク
チュエータ基板に書き込むため、ヘッド情報を書き込む
工程を新たに設ける必要がない。そして、レーザ加工処
理による導電層の除去によりヘッド情報を書き込めば、
例えば印刷により書き込んだ場合のように、後工程で消
失することがないと共に、良好な視認性を得ることがで
きる。

【００１４】請求項５の発明は、複数のインク室内のイ
ンクをアクチュエータ素子の駆動によって噴射するイン
クジェットヘッドにおいて、前記複数のアクチュエータ
素子を有するアクチュエータ基板に導電層でもって形成
され、各アクチュエータ素子に一体に接続した複数の電
極と、その各電極に接続される配線部材を各電極に対し
て位置決めするため、前記導電層と同じ材料でもってア
クチュエータ基板に形成された位置マークとを備えたこ
とを特徴としている。

【００１５】これにより、位置マークを電極と同じ導電
層で形成するため、電極を形成する加工と同等もしくは
その延長でもって形成でき、容易かつ安価にインクジェ
ットヘッドを製作できる。また、位置マークにより電極
に配線部材を位置ずれや傾きなく接続することができ
る。

【００１６】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図１ないし
図５に基づいて以下に説明する。本実施の形態に係るイ
ンクジェットヘッドは、図２に示すように、アクチュエ
ータ基板２とプレート部材４とノズルプレート６とマニ
ホールド部材７とを有している。アクチュエータ基板２
は、チタン酸ジルコン酸鉛系（ＰＺＴ）のセラミックス
材料からなる複数層の圧電材料を積層して構成されてお
り、各層の圧電材料は相互に反対方向（それぞれアクチ
ュエータ基板２の厚さ方向）に分極処理されている。そ
して、アクチュエータ基板２の上面には、ダイヤモンド
ブレード等により、各層にわたって切削加工された複数
のインク溝１４およびダミーインク溝１５が形成されて
いる。尚、上記の圧電材料には、チタン酸鉛系（ＰＴ）
のセラミックス材料を用いることもできる。

【００１７】上記のインク溝１４は、アクチュエータ基
板２の先端（図中左端）から後端（図中右端）にかけて
所定深度で形成されている。一方、ダミーインク溝１５
は、アクチュエータ基板２の先端から後端側の近傍まで
所定深度となるように形成された後、後端部においてア
クチュエータ基板２の上面と面一となるように立ち上げ
られて形成されている。また、アクチュエータ基板２の
先端部には、ダミーインク溝１５に対応した位置に縦溝
４０が形成されている。そして、これらのインク溝１４
およびダミーインク溝１５は、側壁２０を介して交互に
配列されており、側壁２０は、図５に示すように、相互
に反対方向に分極された複数層の圧電材料により構成さ
れている。

【００１８】上記のアクチュエータ基板２におけるイン
ク溝１４、ダミーインク溝１５、後端面、および裏面に
は、Ｎｉ等の導電層が蒸着やメッキにより形成されてい
る。尚、アクチュエータ基板２の先端面および上面は、
面状に研削することにより導電層が除去されている。そ
して、ダミーインク溝１５の底面中央部には、第１分割
溝４４ａが先端から後端にかけて形成されており、ダミ
ーインク溝１５に連通した縦溝４０には、第１分割溝４
４ａに接続された第２分割溝４４ｂが形成されている。
さらに、アクチュエータ基板２の裏面には、図１に示す
ように、第２分割溝４４ｂに接続された第３分割溝４４
ｃが先端から後端近辺までダミーインク溝１５の溝方向
に沿って形成されており、第３分割溝４４ｃの後端側に
は、第３分割溝４４ｃに直交するように２本の第４分割
溝４４ｄ・４４ｄが形成されている。尚、第４分割溝４
４ｄ・４４ｄは、１本であっても良いが、電気絶縁性を
十分に確保できるように２本以上の複数本であることが
望ましい。

【００１９】上記の分割溝４４ａ〜４４ｃは、例えばＹ
ＡＧレーザ光等のレーザ加工装置においてレーザ光を照
射して導電層を除去することにより形成されている。レ
ーザ加工装置は、図３に示すように、レーザ光８２を出
射するレーザ発振器８１と、レーザ光８２を反射してＸ
軸方向に走査する反射鏡８３を備えたＸ軸用ガルバノメ
ータ８４と、レーザ光８２を反射してＹ軸方向に走査す
る反射鏡８５を備えたＹ軸用ガルバノメータ８６と、レ
ーザ光８２を集光する集光レンズ８７とを有しており、
レーザ光８２を両ガルバノメータ８４・８６によりＸ軸
方向およびＹ軸方向に走査し、集光レンズ８７を介して
アクチュエータ基板２の任意の位置にレーザ光８２の焦
点８９を移動させることにより導電層を除去するように
なっている。

【００２０】上記のレーザ加工装置により形成された各
分割溝４４ａ〜４４ｄは、アクチュエータ基板２の裏面
に複数の駆動電極４３を平行に形成させている。各駆動
電極４３は、ダミーインク溝１５の一方の壁面の電極２
２（導電層）と、インク溝１４を挟んで隣接するダミー
インク溝１５の他方の壁面の電極２２とに電気的に接続
された状態にされている。また、第４分割溝４４ｄと第
３分割溝４４ｃとに囲まれた駆動電極４３列の外周に
は、共通ＧＮＤ電極４６が形成されており、共通ＧＮＤ
電極４６は、図２に示すように、アクチュエータ基板２
の後端面の導電層を介してインク溝１４に面した側壁２
０の電極２２に接続されている。そして、側壁２０の両
側面に形成された一対の電極２２・２２は、側壁２０の
内部に裏面方向２７に対して直角方向の電界を生成する
ことによって、分極処理された側壁２０を屈曲させるよ
うになっている。

【００２１】さらに、アクチュエータ基板２の裏面に
は、図１に示すように、後端側に製造日やロット番号等
を示すヘッド情報マーク７３が形成されていると共に、
駆動電極４３の配列方向の一端側および他端側に円形状
の位置マーク７２ａ・７２ｂが左右一対に形成されてい
る。尚、これらのマーク７３・７２ａ・７２ｂは、上述
のレーザ加工装置により第３および第４分割溝４４ｃ・
４４ｄを形成するときに同時に形成されるようになって
いる。

【００２２】上記のマーク７３・７２ａ・７２ｂおよび
駆動電極４３が形成されたアクチュエータ基板２の裏面
には、配線部材すなわちフレキシブルプリント基板３２
が接続されるようになっている。フレキシブルプリント
基板３２には、駆動電極４３および共通ＧＮＤ電極４６
に対応して基板側駆動電極６４および基板側ＧＮＤ電極
６７が形成されていると共に、位置マーク７２ａ・７２
ｂに対応して基板側位置マーク６５ａ・６５ｂが形成さ
れている。基板側駆動電極６４は、図示しない駆動制御
部に接続されており、印字データに基づいて駆動制御部
から出力された駆動電圧を駆動電極４３を介して各電極
２２に印加するようになっている。また、基板側位置マ
ーク６５ａ・６５ｂは、アクチュエータ基板２の位置マ
ーク７２ａ・７２ｂと共に画像認識されることによっ
て、フレキシブルプリント基板３２の基板側駆動電極６
４とアクチュエータ基板２の駆動電極４３との位置合わ
せに用いられるようになっている。

【００２３】尚、画像認識による位置合わせは、図４に
示すように、位置決め装置により行われるようになって
いる。位置決め装置は、アクチュエータ基板２およびフ
レキシブルプリント基板３２を撮影するＣＣＤカメラ５
４と、ＣＣＤカメラ５４による撮影信号を撮影画像デー
タに変換して両位置マーク７２ａ・７２ｂ・６５ａ・６
５ｂの変位量を求める画像処理装置５５と、変位量を基
にしてフレキシブルプリント基板３２とアクチュエータ
基板２とを位置合わせするように２軸（Ｘ軸、Ｙ軸）
と、その２軸に平行な面に沿って回転するθ方向の制御
信号を出力する制御装置５６と、各制御信号によりＸ軸
方向およびＹ軸方向にそれぞれ移動し、かつθ方向に回
転する位置決めステージ５１・５２・５３とを有してい
る。

【００２４】上記のように構成されたアクチュエータ基
板２の上面には、図２に示すように、セラミックス材料
や樹脂材料からなる平板状のプレート部材４がエポキシ
系の接着剤により液密状態に接合されている。これによ
り、アクチュエータ基板２のインク溝１４は、プレート
部材４で覆われることによって、先端および後端を開口
したインク流路となるインク室１０を形成するようにな
っている。また、ダミーインク溝１５は、プレート部材
４で覆われることによって、先端を開口する一方、後端
部をアクチュエータ基板２の一方面とプレート部材４と
の当接により封止されたダミーインク室１１を形成する
ようになっている。

【００２５】上記のインク室１０およびダミーインク室
１１を備えたアクチュエータ基板２およびプレート部材
４の先端には、ノズルプレート６が上述のエポキシ系の
接着剤を用いて接合されている。ノズルプレート６に
は、インク室１０からインク滴を噴射させるように、イ
ンク室１０に対応してノズル３０が形成されている。
尚、ノズルプレート６は、ポリアルキレンや（例えばエ
チレン）テレフタレート、ポリイミド、ポリエーテルイ
ミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルスルホン、ポ
リカーボネイト、酢酸セルロース等のプラスチックによ
り形成されている。

【００２６】一方、アクチュエータ基板２およびプレー
ト部材４の後端には、マニホールド部材７が接合されて
いる。マニホールド部材７の中心部には、インク供給口
３１が形成されており、図示しないインクタンクからイ
ンクが供給されるようになっている。そして、マニホー
ルド部材７は、全インク室１０に連通したインク供給路
を形成しており、インク室１０が容積を拡大したとき
に、このインク室１０にインクを供給するようになって
いる。

【００２７】上記の構成において、インクジェットヘッ
ドの製造方法について説明する。先ず、チタン酸ジルコ
ン酸鉛（ＰＺＴ）からなる平板を帯状にスライス加工す
ることによって、複数個からなるアクチュエータ基板２
の集合体を形成した後、インク溝１４、ダミーインク溝
１５、および縦溝４０を形成する。この後、アクチュエ
ータ基板２および各溝１４・１５・４０の表面にＮｉ等
の導電層を蒸着やメッキにより形成し、アクチュエータ
基板２の上面を面状に研削することにより導電層を除去
する（第１工程）。

【００２８】次に、アクチュエータ基板２をレーザ加工
装置に装着し、アクチュエータ基板２の上面側、先端面
側、および裏面側の分割加工を行う。例えばアクチュエ
ータ基板２の裏面側を分割加工する場合には、図３に示
すように、アクチュエータ基板２の裏面が集光レンズ８
７に対向するように、アクチュエータ基板２を設置す
る。そして、レーザ発振器８１から出射されたレーザ光
８２を反射鏡８３・８５によりアクチュエータ基板２方
向に反射させながら、集光レンズ８７によりアクチュエ
ータ基板２の導電層の近傍にレーザ光８２の焦点８９を
位置させるように集光させる。この後、Ｘ軸用およびＹ
軸用ガルバノメータ８４・８６を駆動して反射鏡８３・
８５を回動させ、レーザ光８２をＸ軸方向およびＹ軸方
向に走査して導電層を除去することによって、第３分割
溝４４ｃおよび第４分割溝４４ｄを形成すると共に、位
置マーク７２ａ・７２ｂおよびヘッド情報マーク７３を
形成する。また、このようなレーザ光の照射および走査
をアクチュエータ基板２の上面側および先端面側におい
ても行うことによって、図２に示すように、インク溝１
４およびダミーインク溝１５に第１分割溝４４ａを形成
すると共に、縦溝４０に第２分割溝４４ｂを形成する
（第２工程）。

【００２９】上記の分割加工における第１〜第４分割溝
４４ａ〜４４ｄの形成によって、導電層が側壁２０の電
極２２として形成されると共に、各電極２２に接続され
た駆動電極４３および共通ＧＮＤ電極４６として形成さ
れると、続いて、これらの電極２２・４３・４６に金メ
ッキを施した後、インクから電極２２を保護するように
保護膜をＣＶＤ法等により形成する。この後、アクチュ
エータ基板２の上面にプレート部材４を接合し、アクチ
ュエータ基板２およびプレート部材４の先端面を面状に
研削して導電層等を除去することにより面一状にする。
そして、個々のアクチュエータ基板２にヘッド分割した
後、インク室１０とノズル３０とが対応するように、先
端面にノズルプレート６を接合すると共に、後端面にマ
ニホールド部材７を接合する。

【００３０】次に、図４に示すように、アクチュエータ
基板２の裏面が上方向となるように位置決め装置に装着
する。位置決め装置に装着されると、フレキシブルプリ
ント基板３２が図示しない支持装置に支持されてアクチ
ュエータ基板２の裏面上に搬送される。そして、ＣＣＤ
カメラ５４によりアクチュエータ基板２の裏面およびフ
レキシブルプリント基板３２が撮影され、この撮影信号
が画像処理装置５５に出力されることによって、撮影信
号が撮影画像データに変換される。この後、撮影画像デ
ータ中からアクチュエータ基板２の位置マーク７２ａ・
７２ｂとフレキシブルプリント基板３２の基板側位置マ
ーク６５ａ・６５ｂとが抽出され、両位置マーク７２ａ
・７２ｂ・６５ａ・６５ｂの重心位置が求められた後、
両位置マーク７２ａ・７２ｂ・６５ａ・６５ｂの相対位
置から電極４３と電極６８、および電極４６と電極６７
を一致させるため、ＸおよびＹ方向の移動量、θ方向の
回転量が求められ、それら移動量および回転量に基づい
て制御装置５６を介して位置決めステージ５１・５２・
５３が駆動される。この後、ヒーターバー５８がフレキ
シブルプリント基板３２に当接され、フレキシブルプリ
ント基板３２の電極６４・６７とアクチュエータ基板２
の電極４３・４６とが加熱により半田付けされることに
よって、インクジェットヘッドとして組み立てられるこ
とになる（第３工程）。尚、フレキシブルプリント基板
３２の電極６８・６７には、予め半田層が形成されてお
り、加熱により溶融される。

【００３１】次に、上記のようにして組み立てられたイ
ンクジェットヘッドの動作について説明する。

【００３２】図５に示すように、与えられた印字データ
に従って、特定のインク室１０Ｂが選択されると、選択
されたインク室１０Ｂの両側に位置するダミーインク室
１１Ａ・１１Ｃの電極２２Ａ・２２Ｄに対して駆動電圧
が出力されると共に、このインク室１０Ｂの電極２２Ｂ
・２２Ｃが接地されてＧＮＤ電位とされる。その結果、
インク室１０Ｂ両側の分極された側壁２０Ａ・２０Ｂに
おける各層が圧電厚みすべり効果によりそれぞれ反対方
向に変形し、両側壁２０Ａ・２０Ｂが、その中央におい
て間隔を広げるように屈曲する。従って、インク室１０
Ｂが両側壁２０Ａ・２０Ｂの屈曲により容積を拡大する
ことから、インク室１０Ｂ内のインク圧力が低下する。
これにより、マニホールド７内のインク供給路のインク
がインク室１０Ｂ内に供給される。その後、インク室１
０Ｂ内で振動しているインクに対し所定のタイミング
で、電極２２Ａ・２２Ｄに対する駆動電圧を除去する
と、両側壁２０Ａ・２０Ｂがそれぞれ直線状態に復帰す
る。その復帰動作により、インク室１０Ｂ内のインクが
大きな圧力で加圧され、ノズル３０からインク滴が噴射
される。尚、両側壁２０Ａ・２０Ｂを互いに接近するよ
うに屈曲させることにより、インク滴を噴射し、両側壁
２０Ａ・２０Ｂを直線状態に復帰することで、インク室
１０Ｂ内にインクがマニホールド７内のインク供給路か
ら供給されるようにしても良い。

【００３３】この後、駆動電圧が停止されると、側壁２
０Ａ・２０Ｂが屈曲前の状態に復帰することによって、
インク室１０Ｂ内のインク圧力が低下する。これによ
り、マニホールド部材７内のインク供給路のインクがイ
ンク室１０Ｂ内に供給され、インク滴の噴出量に相当す
るインクが補充されることによって、次回のインク滴の
噴出に備えられる。

【００３４】ところで、上記のようにして印字を行う
と、側壁２０Ａ・２０Ｂがインク室１０Ｂと、このイン
ク室１０Ｂに隣接するダミーインク室１１Ａ・１１Ｃと
に共用されているため、ダミーインク室１１Ａ・１１Ｃ
の容積を変化させることになる。この際、ダミーインク
室１１Ａ・１１Ｃは、図２に示すように、後端部がアク
チュエータ基板２の上面とプレート部材４との当接によ
り封止されているため、共通インク室９から空間的に分
離されてインクが存在しない状態にされている。従っ
て、ダミーインク室１１Ａ・１１Ｃの容積が変化して
も、この容積変化がマニホールド部材７のインク供給路
を介してインク室１０Ｂのインク圧力に影響を及ぼすこ
とがないため、安定した噴射量のインク滴で印字を行う
ことになる。

【００３５】以上のように、本実施形態のインクジェッ
トヘッドは、図１に示すように、アクチュエータ基板２
に導電層を形成する第１工程と、導電層を除去すること
によって、アクチュエータ基板２に駆動電極４３と共に
位置マーク７２ａ・７２ｂを形成する第２工程と、駆動
電極４３および位置マーク７２ａ・７２ｂを撮影し、撮
影画像中の位置マーク７２ａ・７２ｂを基にして電極位
置を画像認識しながら配線接続する第３工程とを経るこ
とによって、アクチュエータ基板２上に平行配置された
複数の駆動電極４３に対する配線接続が画像認識により
行われて製造される構成にされている。

【００３６】これにより、位置マーク７２ａ・７２ｂが
平行配置された駆動電極４３とは明らかに異なるため、
容易に位置マーク７２ａ・７２ｂを特定して電極位置を
認識することができる。また、位置マーク７２ａ・７２
ｂによりアクチュエータ基板２の位置ずれや傾きを検出
し易くなるため、配線接続を高い信頼性で行うことがで
きる。

【００３７】また、本実施形態においては、位置マーク
７２ａ・７２ｂがアクチュエータ基板２の一端側および
他端側にそれぞれ形成された構成にされている。これに
より、アクチュエータ基板２の両端側の十分に離れた位
置に形成された２点の位置マーク７２ａ・７２ｂを基に
して画像認識するため、位置ずれや傾きを一層正確に検
出して高精度に電極位置を認識することができる。

【００３８】尚、本実施形態においては、位置マーク７
２ａ・７２ｂがアクチュエータ基板２の一方端側および
他方端側にそれぞれ配置され、円形状に形成された場合
について説明したが、これに限定されるものではない。
即ち、位置マーク７２ａ・７２ｂは、３点以上であって
も良いし、アクチュエータ基板２の一方側および他方側
のいずれか一方にのみ配置されていても良いし、十字形
状や四角形状、三角形状に形成されていても良い。

【００３９】また、本実施形態において、上記の第３工
程における駆動電極４３に対する配線接続は、全駆動電
極４３に対応するように形成された基板側駆動電極６４
（プリント配線）と基板側位置マーク６５ａ・６５ｂ
（プリントマーク）とが形成されたフレキシブルプリン
ト基板３２を使用し、基板側位置マーク６５ａ・６５ｂ
を基にしたプリント配線位置の画像認識と、アクチュエ
ータ基板２の位置マーク７２ａ・７２ｂを基にした電極
位置の画像認識とで行う構成にされている。これによ
り、フレキシブルプリント基板３２のプリント配線位置
が基板側位置マーク６５ａ・６５ｂを基にして求められ
るため、一層正確に駆動電極４３と基板側駆動電極６４
とを接続することができる。

【００４０】また、本実施形態において、上記の第２工
程において、レーザ加工処理により導電層を除去するこ
とによって、駆動電極４３と位置マーク７２ａ・７２ｂ
とを形成すると共に、ヘッド情報７３を書き込む構成に
されている。これにより、駆動電極４３および位置マー
ク７２ａ・７２ｂを形成すると同時に製造日やロット番
号等のヘッド情報をアクチュエータ基板２に書き込むた
め、ヘッド情報を書き込む工程を新たに設ける必要がな
い。そして、レーザ加工処理による導電層の除去により
ヘッド情報を書き込めば、例えば印刷して書き込んだ場
合のように、後工程で消失することがないと共に、良好
な視認性を得ることができる。

【００４１】また、本実施形態におけるインクジェット
ヘッドは、複数のインク室１０（インク流路）内のイン
クをアクチュエータ素子で形成された側壁２０の駆動に
よってインク滴として噴射するものであり、複数のアク
チュエータ素子を有するアクチュエータ基板２に導電層
でもって形成され、各アクチュエータ素子に一体に接続
した複数の電極２２・４３と、その各電極２２・４３に
導通される基板側駆動電極６４を備えたフレキシブルプ
リント基板３２（配線部材）を各電極２２・４３に対し
て位置決めするため、前記導電層と同じ材料でもってア
クチュエータ基板２に形成された位置マーク７２ａ・７
２ｂとを備えた構成にされている。そして、この構成に
よれば、位置マーク７２ａ・７２ｂを電極２２・４３と
同じ導電層で形成するため、電極２２・４３を形成する
加工と同等もしくはその延長でもって形成でき、容易か
つ安価にインクジェットヘッドを製作できる。また、位
置マーク７２ａ・７２ｂにより電極２２・４３にフレキ
シブルプリント基板３２（配線部材）を位置ずれや傾き
なく接続することができる。

【００４２】

【発明の効果】請求項１の発明は、アクチュエータ基板
上に配置された複数の電極に対する配線接続を画像認識
により行うインクジェットヘッドの製造方法において、
前記アクチュエータ基板に導電層を形成する第１工程
と、前記導電層を除去することによって、前記アクチュ
エータ基板に前記電極と共に位置マークを形成する第２
工程と、前記電極および位置マークを撮影し、撮影画像
中の位置マークを基にして電極位置を画像認識しながら
配線接続する第３工程とを有した構成である。

【００４３】これにより、従来のように平行配置された
複数の電極のみを用いて画像認識すると、同一形状の電
極列の中から基準となる電極を特定するという困難な処
理が必要になるが、上記のように位置マークを認識する
構成であれば、位置マークが電極とは明らかに異なるた
め、容易に位置マークを特定して電極位置を認識するこ
とができる。また、位置マークによりアクチュエータ基
板の位置ずれや傾きが検出し易くなるため、配線接続を
正確に行うことができるという効果を奏する。

【００４４】請求項２の発明は、請求項１記載のインク
ジェットヘッドの製造方法であって、前記位置マークが
前記アクチュエータ基板の一端側および他端側にそれぞ
れ形成されている構成である。

【００４５】これにより、アクチュエータ基板の両端側
の十分に離れた位置に形成された２点の位置マークを基
にして画像認識するため、位置ずれや傾きを一層正確に
検出して高精度に電極位置を認識することができるとい
う効果を奏する。

【００４６】請求項３の発明は、請求項１または２記載
のインクジェットヘッドの製造方法であって、前記第３
工程における電極に対する配線接続は、全電極に対応す
るように形成されたプリント配線とプリントマークとが
形成されたフレキシブルプリント基板を使用し、該プリ
ントマークを基にしたプリント配線位置の画像認識と、
前記位置マークを基にした電極位置の画像認識とで行う
構成である。

【００４７】これにより、フレキシブルプリント基板の
プリント配線位置がプリントマークを基にして認識され
るため、一層正確に電極とプリント配線とを接続するこ
とができるという効果を奏する。

【００４８】請求項４の発明は、請求項１ない３のいず
れか１項記載のインクジェットヘッドの製造方法であっ
て、前記第２工程において、レーザ加工処理により導電
層を除去することによって、前記電極と位置マークとを
形成すると共に、ヘッド情報を前記アクチュエータ基板
に書き込む構成である。

【００４９】これにより、電極および位置マークを形成
すると同時に製造日やロット番号等のヘッド情報をアク
チュエータ基板に書き込むため、ヘッド情報を書き込む
工程を新たに設ける必要がない。そして、レーザ加工処
理による導電層の除去によりヘッド情報を書き込めば、
例えば印刷により書き込んだ場合のように、新たに工程
を設ける必要がなく製造が容易であると共に、後工程で
消失することがなく、良好な視認性を得ることができる
という効果を奏する。

【００５０】請求項５の発明は、複数のインク室内のイ
ンクをアクチュエータ素子の駆動によって噴射するイン
クジェットヘッドにおいて、前記複数のアクチュエータ
素子を有するアクチュエータ基板に導電層でもって形成
され、各アクチュエータ素子に一体に接続した複数の電
極と、その各電極に接続される配線部材を各電極に対し
て位置決めするため、前記導電層と同じ材料でもってア
クチュエータ基板に形成された位置マークとを備えた構
成である。

【００５１】これにより、位置マークを電極と同じ導電
層で形成するため、電極を形成する加工と同等もしくは
その延長でもって形成でき、容易かつ安価にインクジェ
ットヘッドを製作できる。また、位置マークにより電極
に配線部材を位置ずれや傾きなく接続することができる
という効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】インクジェットヘッドの分解斜視図である。

【図２】インクジェットヘッドの要部を拡大して示す分
解斜視図である。

【図３】アクチュエータ基板にレーザ光を照射して分割
溝を形成する状態を示す説明図である。

【図４】アクチュエータ基板とフレキシブルプリント基
板とを画像認識しながら接合する状態を示す説明図であ
る。

【図５】インク室の状態を示す説明図である。

【符号の説明】

２ アクチュエータ基板 ４ プレート部材 ６ ノズルプレート ７ マニホールド部材 ９ 共通インク室 １０ インク室 １１ ダミーインク室 １４ インク溝 １５ ダミーインク溝 ２０ 側壁 ２２ 電極 ３０ ノズル ３１ インク供給口 ３２ フレキシブルプリント基板 ４３ 駆動電極 ４４ａ〜４４ｄ 第１〜第４分割溝 ６４ 基板側駆動電極 ６５ａ・６５ｂ 基板側位置マーク ７３ ヘッド情報マーク

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐橋 洋治 愛知県名古屋市瑞穂区苗代町15番１号 ブ ラザー工業株式会社内

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 アクチュエータ基板上に配置された複数
   の電極に対する配線接続を画像認識により行うインクジ
   ェットヘッドの製造方法において、 前記アクチュエータ基板に導電層を形成する第１工程
   と、 前記導電層を除去することによって、前記アクチュエー
   タ基板に前記電極と共に位置マークを形成する第２工程
   と、 前記電極および位置マークを撮影し、撮影画像中の位置
   マークを基にして電極位置を画像認識しながら配線接続
   する第３工程とを有したことを特徴とするインクジェッ
   トヘッドの製造方法。
2. 【請求項２】 前記位置マークが前記アクチュエータ基
   板の一端側および他端側にそれぞれ形成されていること
   を特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッドの製
   造方法。
3. 【請求項３】 前記第３工程における電極に対する配線
   接続は、 全電極に対応するように形成されたプリント配線とプリ
   ントマークとが形成されたフレキシブルプリント基板を
   使用し、該プリントマークを基にしたプリント配線位置
   の画像認識と、前記位置マークを基にした電極位置の画
   像認識とで行うことを特徴とする請求項１または２記載
   のインクジェットヘッドの製造方法。
4. 【請求項４】 前記第２工程において、レーザ加工処理
   により導電層を除去することによって、前記電極と位置
   マークとを形成すると共に、ヘッド情報を前記アクチュ
   エータ基板に書き込むことを特徴とする請求項１ない３
   のいずれか１項記載のインクジェットヘッドの製造方
   法。
5. 【請求項５】 複数のインク室内のインクをアクチュエ
   ータ素子の駆動によって噴射するインクジェットヘッド
   において、 前記複数のアクチュエータ素子を有するアクチュエータ
   基板に導電層でもって形成され、各アクチュエータ素子
   に一体に接続した複数の電極と、 その各電極に接続される配線部材を各電極に対して位置
   決めするため、前記導電層と同じ材料でもってアクチュ
   エータ基板に形成された位置マークとを備えたことを特
   徴とするインクジェットヘッド。