JPH10281069A - ポンプユニット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 選択的に駆動される複数のポンプをコンパク
トに一体化して低コスト化を図り、特にフォトレジスト
塗布装置に適用したときに一次ポンプを不要としてフィ
ルタユニットとの組み合わせによりシステムを簡単化し
てフォトレジスト液の定量吐出制御を可能としたポンプ
ユニットを提供する。 【解決手段】 枠体５１に一つのアクチュエータ３２
と、これにより駆動される複数個のポンプ３１が取り付
けられる。ポンプ３１は、ポンプ室６０４と作動流体ス
ペース６０９を仕切る可撓性のチューブフラム６０８を
有し、アクチュエータ３２のシリンダー室５２５と各ポ
ンプ３１の作動流体スペース６０９を連結するためにマ
ニホールド５３が用いられている。マニホールド５３の
各ポンプ３１につながる分岐管５３２にはそれぞれ、エ
アオペレートバルブ５４が設けられて、アクチュエータ
３２を駆動したときに、開いているバルブ５４を介して
選択的にポンプ３１に作動流体が供給される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、複数のポンプを
一体化してなるポンプユニットに係り、特に半導体ウェ
ハ等の表面にフォトレジスト液を滴下供給してフォトレ
ジスト膜を形成するフォトレジスト塗布装置等に用いて
有用なポンプユニットに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウェハにフォトレジスト膜を形成
する場合、一般に、半導体ウェハを回転させながらその
表面にノズルを介してフォトレジスト液を滴下供給する
スピンコート法が用いられる。スピンコート法に用いら
れるフォトレジスト塗布装置（レジスト・ディスペンス
・システム）の主要部は、ボトルに収容されたフォトレ
ジスト液を汲み上げてノズルから定量吐出させるための
ポンプと、このポンプで吸い上げたフォトレジスト液の
ゴミやゲル等を除去するためのフィルタとを有する。特
にフィルタは、レジスト・ディスペンス・システムの性
能を決定する重要な要素であり、フィルタ性能や低圧
損、大流量化等の改善がなされている。通常、システム
の小型化等の目的で、フィルタはポンプハウジング内に
一体に内蔵することが行われている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】一般にフォトレジスト
塗布は、クリーンルーム内のレジスト塗布室で行われ
る。フォトレジスト液の交換作業を必要とするボトル
は、クリーンルームに配置すると汚染の原因となるか
ら、クリーンルームの外に配置することが望ましい。し
かし、ボトルからレジスト塗布室内のポンプハウジング
までの配管が長くなると、その配管内が負圧となって移
送されるフォトレジスト液に気泡が発生する。この気泡
がポンプに入ると、ノズルからの吐出量が不安定になる
だけでなく、半導体ウェハに形成されるレジスト膜に気
泡が発生して高精度の微細加工を困難にする。

【０００４】この様な気泡の発生を防止するためには、
ポンプハウジング内のポンプ（ディスペンスポンプ）と
は別に、ボトル近くに圧送式の一次ポンプが必要とな
る。例えば、Ｎ₂ガスを利用してレジストボトルのフォ
トレジスト液を押し出す方式や別の一次ポンプによって
ディスペンス・ポンプまで液を移送する方式が用いられ
る。しかしこの様な圧送式の一次ポンプを用いると、レ
ジストボトル自体を高圧に耐えられるものとする必要が
あるばかりでなく、システム構成が複雑になる。特に、
通常のレジスト・ディスペンス・システムでは、それぞ
れ異なるフォトレジスト液を収容した複数のボトルとこ
れらのボトルに対応する複数のノズルとを持つ多連式と
して構成される。従って、ボトル毎に一次ポンプを設け
るとなると、システムは非常に複雑なものとなってしま
う。

【０００５】一方、フィルタを内蔵したポンプハウジン
グをクリーンルームの外のボトル近くに配置すると、フ
ィルタからノズルまでの配管が長いものとなって、これ
も大きな不都合を生じる。フィルタでゴミ等が除去され
たフォトレジスト液がノズルまでの長い経路で再度汚染
されたり、或いは変質等が生じたりするからである。更
に、多連式の場合、複数のポンプそれぞれにアクチュエ
ータを用意しなければならず、このためポンプハウジン
グは大型となり、大きなスペースを必要とするだけでな
く、システムのコストアップの原因ともなっている。

【０００６】この発明は、選択的に駆動される複数のポ
ンプをコンパクトに一体化して低コスト化を図り、特に
フォトレジスト塗布装置に適用したときに一次ポンプを
不要としてフィルタユニットとの組み合わせによりシス
テムを簡単化してフォトレジスト液の定量吐出制御を可
能としたポンプユニットを提供することを目的としてい
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この発明に係るポンプユ
ニットは、作動流体により駆動される複数個のポンプが
一つのアクチュエータを共有してユニット化され、前記
各ポンプの作動流体スペースはマニホールドを介して前
記アクチュエータのシリンダー室に連結され、前記マニ
ホールドの前記各ポンプへの分岐部に前記アクチュエー
タにより駆動される作動流体の前記各ポンプへの供給を
選択的にオンオフするバルブが設けられていることを特
徴とする。この発明において例えば、前記各ポンプは、
ポンプ室と作動流体スペースの間にチューブ状の可撓性
膜が張設されたチューブフラム式とする。また前記バル
ブは、ノーマリオープンタイプのエアオペレートバルブ
とする。更に前記アクチュエータは、ステッピングモー
タと、このモータにより駆動されてシリンダー室を伸縮
するベローズを有するものとする。

【０００８】この発明に係るポンプユニットは、選択的
に駆動される複数のポンプが一つのアクチュエータを共
有し、マニホールドにより作動流体を分岐供給するよう
にしており、これによりコンパクト化と低コスト化が図
られる。またこの発明によるポンプユニットをフォトレ
ジスト塗布装置等に適用する場合には、別に構成したフ
ィルタユニットと組み合わせて、ポンプとフィルタを別
々に配置する外置タイプとして、システムを構成するこ
とができる。特に、ポンプをステッピングモータにより
駆動されるチューブフラム式として、大きな吐出圧力を
持つものとして構成すれば、一次ポンプを用いる必要は
なく、システムの簡単化を図ることができる。

【０００９】また、この発明に係るフォトレジスト塗布
装置は、フォトレジスト液を収容したボトルと、このボ
トルのフォトレジスト液を移送して前記フォトレジスト
液を滴下するノズルに供給するポンプと、このポンプと
前記ノズルとの間に設けられたフィルタとを備えたフォ
トレジスト塗布装置において、前記フィルタを前記ノズ
ルと共にフォトレジスト塗布室に配置し、前記ポンプを
前記ボトルと共に前記フォトレジスト塗布室の外に配置
したことを特徴とする。

【００１０】この発明はまた、フォトレジスト液を収容
した複数個のボトルと、これらのボトルのフォトレジス
ト液をそれぞれ異なる複数個のノズルに選択的に供給す
る複数個のポンプと、これらのポンプと前記各ノズルと
の間にそれぞれ設けられた複数個のフィルタとを備えた
フォトレジスト塗布装置において、前記複数個のフィル
タをまとめてフィルタユニットを構成して前記複数個の
ノズルと共にフォトレジスト塗布室に配置し、前記複数
個のポンプをまとめてポンプユニットを構成して前記複
数個のボトルと共に前記フォトレジスト塗布室の外に配
置したことを特徴とする。

【００１１】この発明に係るシステムにおいては、フィ
ルタをポンプハウジング内に内蔵するタイプではなく、
ポンプの外部に設置する外置タイプを基本として、フィ
ルタをノズルと共にフォトレジスト塗布室に配置し、ポ
ンプをボトルと共にフォトレジスト塗布室の外に配置し
ている。従って、フィルタからノズルまでの配管は十分
短いものとして、ノズルに供給されるフォトレジスト液
の汚染や変質を防止することができる。またポンプはボ
トル近くに配置され、しかもポンプからフォトレジスト
塗布室までは圧送式となるので、ノズルまで気泡が発生
することなく、フォトレジスト液を安定に移送するする
事が可能になる。このため、一次ポンプを用いる必要は
なく、システムの簡単化を図ることができる。

【００１２】特に、多連式の場合に、複数個のポンプは
まとめてポンプユニットを構成し、複数個のフィルタは
まとめてフィルタユニットを構成することによって、レ
ジスト・ディスペンス・システムをコンパクトにするこ
とができるだけでなく、各機器の取付や交換作業、レイ
アウト変更等が容易になり、レジストボトルとノズルへ
の配管作業のみでシステムを運転可能とする理想的なシ
ステムを構築することができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の実施例を説明する。図１は、この発明の一実施例によ
るレジスト・ディスペンス・システムの概略構成を示
し、図２は４連式の場合のより具体化したシステム構成
を示している。それぞれ異なるフォトレジスト液を収容
したレジストボトル１（１ａ〜１ｄ）はそれぞれ、チャ
ンバ２（２ａ〜２ｄ）を介してポンプユニット３に連結
されている。チャンバ２は、レジストボトル１のフォト
レジスト液を一次貯留して貯留分がなくなる毎にレジス
トボトル１からフォトレジスト液の補給を行うようにす
るためのもので、図では省略しているが通常、貯留分を
検出するセンサが設けられている。

【００１４】ポンプユニット３はそれぞれレジストボト
ル１に対応した４個のポンプ３１（３１ａ〜３１ｄ）を
ユニット化したものである。この実施例の場合、４個の
ポンプ３１はドライバ９により制御駆動される一つのア
クチュエータ３２により駆動されるようになっている。
このポンプユニット３の詳細は後述する。

【００１５】ポンプユニット３によりチャンバ２から吸
い上げられるフォトレジスト液はフィルタユニット４に
供給される。フィルタユニット４はやはりそれぞれのフ
ォトレジスト液に対応して４個のフィルタ４１（４１ａ
〜４１ｄ）をユニット化したものである。この実施例の
場合フィルタ４１はディスポーザブルタイプである。各
フィルタ４１からのフォトレジスト液はそれぞれ、エア
オペレートバルブ（Ａ／Ｖ）４２及びサックバックバル
ブ（Ｓ／Ｖ）４３を介して半導体ウェハ７上に配置され
た４個のノズル５（５ａ〜５ｄ）まで供給されて、ノズ
ル５から定量吐出される。また各フィルタ４１は、所定
タイミングでのエア抜きのために、別のエアオペレート
バルブ４４を介して排気口６につながる。

【００１６】エアオペレートバルブ４２は、配管内の残
圧によるノズル５の先端からのレジスト液のボタ落ちを
防止すべく残圧を除去するために用いられる。サックバ
ックバルブ４３は、ノズル５の先端に残るフォトレジス
ト液を吸い戻して余分なフォトレジスト液が滴下するの
を防止して、正確な吐出量調整を行うこと、また休止期
間にフォトレジスト液がノズル先端から露出した状態に
保持されることによるフォトレジスト液の特性劣化を防
止するために用いられる。ＳＶコントローラ８からエア
オペレートバルブ４２，４４及びサックバックバルブ４
３への圧縮空気の流れはそれぞれ、スピードコントロー
ラ（ＳＣ）４６，４７，４５により制御され、これによ
りバルブ４２〜４４の開閉速度を制御している。各エア
オペレートバルブ４２，４４及びサックバックバルブ４
３も、フィルタ４１と共にユニット４内に取り付けられ
ている。

【００１７】レジスト・ディスペンス・システムにとっ
て、ポンプ関連のエアバルブ及びサックバックバルブ等
の動作制御は重要である。特に、低粘度のフォトレジス
ト液のディスペンスではポンプ動作の高精度のタイミン
グ制御が不可欠であり、この動作タイミング制御のため
にシステムコントローラ１０が用いられている。

【００１８】上述のようにこの実施例では、ポンプ３１
とフィルタ４１とをそれぞれユニット化して別置タイプ
としており、従ってポンプユニット３とフィルタユニッ
ト４とを別々の部屋に配置することができる。図３は、
ポンプユニット３とフィルタユニット４の好ましい配置
例である。この例では、フィルタユニット４をクリーン
ルーム内のレジスト塗布室３０１内に配置し、ポンプユ
ニット３は、クリーンルームの階下の部屋３０２にレジ
ストボトル１と共に配置している。この場合、ポンプユ
ニット３からフィルタユニット４までの距離が３〜１５
［ｍ］になるが、この実施例では後述するように、ポン
プユニット３のポンプ３１を１５［ｍ］程度の移送を可
能としたチューブフラム方式として、一次ポンプを用い
ることなく、レジスト塗布室までの移送を可能としてい
る。

【００１９】図４は、ポンプユニット３とフィルタユニ
ット４の他の好ましい配置例である。この例では、ポン
プユニット３とフィルタユニット４とを同じ階として、
フィルタユニット４はレジスト塗布室３０１内のノズル
５の近くに配置し、ポンプユニット３はレジストボトル
１と共にレジスト塗布室３０１の外に配置している。

【００２０】図３及び図４いずれの配置例も、ポンプユ
ニット３とフィルタユニット４とは別置として、フィル
タユニット４をレジスト塗布室３０１内に配置している
から、フィルタユニット４からノズル５まで配管は短い
ものとなり、フィルタを通った後のフォトレジスト液の
汚染や変質を防止することが可能になる。またポンプユ
ニット３をレジストボトル１と共にレジスト塗布室３１
の外に配置することにより、圧送式となってフォトレジ
スト液の移送が容易になると共に、レジスト塗布室３０
１の汚染を防止することができる。更に、ポンプとフィ
ルタのユニット化によって、機器の取り付けや交換、レ
イアウト変更等も容易になる。

【００２１】次に、実施例のポンプユニット３の具体的
構成を、図５及び図６を用いて説明する。図５（ａ）
（ｂ）はそれぞれポンプユニット３を一部切開して示す
正面図と側面図であり、図６は背面図である。ポンプユ
ニット３は、枠体５１に収納されたアクチュエータ３２
と、枠体５１の外に取り付けられてアクチュエータ３２
により駆動される４個のポンプ３１（３１ａ〜３１ｄ）
とを有する。

【００２２】各ポンプ３１は、作動流体により駆動され
るチューブフラム方式であって、図７の模式的断面図に
示すように、ポンプ本体６０１は下端を流入口６０２，
上端を流出口６０３とする円柱状のポンプ室６０４を有
する。ポンプ室６０４内部には、多量のフォトレジスト
液の滞留を防止するために、ポンプ本体６０１と下端側
で一体につながるテフロン円柱体６０５が突設され、流
入口６０２は円柱体６０５の下端部に設けられた孔６０
６，６０７を介してポンプ室６０４に連通するようにな
っている。ポンプ本体６０１には円柱体６０５と同軸的
に可撓製のチューブフラム６０８が張設されてこのチュ
ーブフラム６０８の外側の作動流体スペース６０９にこ
の実施例の場合フッ素オイル５３０が供給されるように
なっている。

【００２３】ポンプ本体６０１の下端流入口６０２は吸
込用の逆止バルブ６１０ａ，６１０ｂを介してチャンバ
２からの配管６１１に接続され、上端流出口６０３は吐
出用の逆止バルブ６１０ｃ，６１０ｄを介してフィルタ
ユニット４につながる配管６１２に接続されている。フ
ッ素オイル５３０がアクチュエータ３２により駆動され
て作動流体スペース６０９の圧力が変化すると、チュー
ブフラム６０８が内外に撓むことにより、下端のバルブ
６１０ａ，６１０ｂまたは上端のバルブ６１０ｃ，６１
０ｄのいずれか一方が開いて、フォトレジスト液６３０
の吸い込みと吐出がなされる。即ち、フッ素オイル５３
０がアクチュエータ３２により押し出されると、チュー
ブフラム６０８は内方に撓み、吸い込み側のバルブ６１
０ａ，６１０ｂは閉じて、ポンプ室６０４内のフォトレ
ジスト液６３０は開いた吐出側のバルブ６１０ｃ，６１
０ｄを介して吐出される。逆にフッ素オイル５３０が吸
引されると、チューブフラム６０８は外方に撓み、吐出
側のバルブ６１０ｃ，６１０ｄは閉じて、開いた吸い込
み側のバルブ６１０ａ，６１０ｂを介してフォトレジス
ト液６３０がポンプ室６０４に吸い込まれる。

【００２４】アクチュエータ３２は、ステッピングモー
タ・ドライブ方式である。ステッピングモータ５２１
は、ポンプ吐出圧力の高圧化への対応のため、ギヤヘッ
ド５５０を有するタイプとしている。ギヤヘッド５５０
に取り付けられたプーリ５２２ａの回転はベルト５２３
を介してプーリ５２２ｂに伝達され、このプーリ５２２
ｂの回転により駆動されるボールネジ５２４のシャフト
５２４ａに沿ってナット５２４ｂが往復運動する。この
ナット５２４ｂにロッド５２６が取り付けられ、ロッド
５２６の先端でテフロン製のベローズ５２７をシリンダ
ー室５２５内で伸縮させるようになっている。なお図５
では、シャフト５２４の中心線に対して上半分がベロー
ズ５２７の伸長時、下半分がベローズ５２７の圧縮時を
示している。ベローズ５２７の伸縮運動のスピードは、
センサ５５１の出力に基づき、スピードコントローラ５
５２によってステッピングモータ５２１を制御すること
により制御される。

【００２５】枠体５１内には、シリンダー室５２５に連
結されたアルミダイキャストのマニホールド５３が設け
られている。マニホールド５３は本管５３１とこれから
分岐する４個の分岐管５３２（５３２ａ〜５３２ｄ）を
有し、それぞれの分岐管５３２に圧縮空気により駆動さ
れるエアオペレートバルブ５４（５４ａ〜５４ｄ）が取
り付けられて、各バルブ５４がそれぞれ対応するポンプ
３１に接続されている。エアオペレートバルブ５４は、
圧縮空気が導入されない定常状態でオープンであるノー
マリオープンタイプであり、圧縮空気が導入されると図
示しないロッドを介して弁５４１（５４１ａ〜５４１
ｄ）が下側に押し付けられて分岐管５３２を閉じる。

【００２６】作動流体としてのフッ素オイル５３０は、
シリンダー室５２５からマニホールド５３、更にその各
分岐管５３２を介して各ポンプ３１のチューブフラム６
０８の外側に配置された作動流体スペース６０９に非圧
縮状態で封入される。そしてアクチュエータ３２を駆動
したとき、シリンダー室５２５からマニホールド５３、
更に各分岐管５３２を介して各ポンプ３１のチューブフ
ラム６０８にフッ素オイル５３０が押し込まれる。この
とき、ノーマリオープンタイプのバルブ５４のうち不要
なものを閉じることにより、必要とするフォトレジスト
に応じて選択されたポンプ３１に対してのみフッ素オイ
ル５３０を供給することができることになる。なおシリ
ンダー室５２５のフッ素オイル供給口には圧力センサ５
６１が取り付けられ、シリンダー室５２５内の油圧を適
当にコントロールする。

【００２７】以上のようにこの実施例におけるポンプユ
ニット３は、一つのアクチュエータ３２と、これにより
駆動される４個のポンプ３１が一体化された４連式であ
り、コンパクト化と低コスト化が図られている。また、
アクチュエータ３２により圧縮駆動されるフッ素オイル
の圧力は、マニホールド５３とこれに取り付けられた４
個のエアオペレートバルブ５４によって、選択的にポン
プ３１に伝達されるようになっている。またアクチュエ
ータ３２にはギヤヘッドタイプのステッピングモータを
用いており、これにより吐出圧力の高圧化対応が可能
で、分解能向上及び吐出精度の向上が図られる。

【００２８】次に、フィルタユニット４の具体的な構成
を、図８の正面図及び図９の側面図により説明する。図
示のようにフィルタユニット４は４個のフィルタ４１を
支持パネル４０１上に、それぞれのエアオペレートバル
ブ４２，４４及びサックバックバルブ４３と共に取り付
けて構成される。フィルタ４１の内部構成は示さない
が、通常のディスポーザブルタイプであり、一次側の流
入口４０２（４０２ａ〜４０２ｄ）を下に、二次側の流
出口４０３（４０３ａ〜４０３ｄ）を上にして配列して
いる。即ち、ポンプユニット３でのフォトレジスト液の
流れを“下→上”にしたと同様に、フィルタユニット４
でも“下→上”の流れとしている。これにより、ポンプ
ユニット３により下から上に汲み上げられたフォトレジ
スト液はそのままフィルタ４１を下から上に流れること
になる。従って例えば、Ｕ字型の経路を通す場合のよう
なフォトレジスト液の無用な滞留がなくなり、液の置換
性が優れたものとなる。

【００２９】フィルタ４１は、フォトレジスト液の流入
口４０２及び流出口４０３に隣接してそれぞれ液排出口
４０５（４０５ａ〜４０５ｄ）と排気口４０４（４０４
ａ〜４０４ｄ）を有する。排気口４０４は前述のように
エアオペレートバルブ４４を介して排気口６につなが
る。フィルタ４１の一次側のエア抜きは、二次側の流出
口４０３のバルブ４２を閉じた状態として、排気部のバ
ルブ４４を開けてフィルタ４１内部に液を導入すること
により行われるが、この動作は、システムコントローラ
１０からの制御信号を受けて自動的に適当なタイミング
で行われる。

【００３０】この実施例の場合、サックバックバルブ４
３は、エアオペレートバルブ４２と一体構成されてい
る。サックバックバルブ４３の機能をポンプ自体に持た
せることも考えられるが、サックバック機能に要求され
るボリュームレンジは、０〜０．０５［ｍｌ］と微小量
であり、０．０５［ｍｌ］程度の流量をこの実施例のア
クチュエータ３２により制御しようとすると、０．０７
５［ｍｍ］というストローク長で制御しなければなら
ず、技術的には難しい。従って、小型のサックバックバ
ルブ一体型のエアオペレートバルブを用いることによ
り、微小量のサックバックを可能としている。

【００３１】以上説明したようにこの実施例によれば、
複数のポンプとフィルタとをそれぞれユニット化してい
る。従って、レジストボトルとノズルへの配管作業のみ
でシステムを運転可能とするようなシステムフォトレジ
スト・ディスペンス・システムの構築が可能であり、機
器の交換やレイアウト変更等の作業も容易になる。また
フィルタユニットはノズルと共にレジスト塗布室に配置
し、ポンプはレジストボトルと共にレジスト塗布室の外
に配置して一次ポンプを用いることなくフォトレジスト
液の吐出を行うようにしており、システムの簡単化が図
られるのみならず、フィルタを通った後のフォトレジス
ト液の劣化や汚染は防止され、更にレジスト塗布室の汚
染も防止される。更にこの実施例では、ポンプユニッ
ト，フィルタユニット共に、フォトレジスト液が下から
上に流れる構成としており、フォトレジスト液の滞留防
止及び置換性向上が図られる。

【００３２】特にこの実施例によるポンプユニットは、
チューブフラムタイプの複数のポンプを一つのステッピ
ングモータを用いたアクチュエータにより選択的に駆動
するように、マニホールドを組み合わせて一体化してお
り、ポンプユニットの小型化とコスト低下が図られてい
る。

【００３３】なおこの発明は上記実施例に限られるもの
ではない。例えば実施例ではポンプ及びフィルタをそれ
ぞれ４個ずつユニット化したが、２個ずつのユニット化
でもよいし、５個以上のユニット化でもよい。また実施
例ではポンプをチューブフラム式としたが、他の形式の
ポンプを用いた場合もこの発明は有効である。更にこの
発明によるポンプユニットは、実施例で説明したフォト
レジスト塗布装置に限らず、同様の流体吐出制御を必要
とする装置に適用することができる。

【００３４】

【発明の効果】以上述べたようにこの発明によれば、複
数のポンプを一つのアクチュエータにより選択的に駆動
するように、マニホールドを組み合わせて一体化して、
コンパクト化と低コスト化を図り、特にフォトレジスト
塗布装置に適用したときにフィルタと別置として一次ポ
ンプを用いることなくシステム全体の構成を簡単なもの
にすることを可能としたポンプユニットを提供すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の一実施例によるシステムの概略構
成を示す。

【図２】 同実施例のシステムの具体構成を示す。

【図３】 同実施例のポンプユニットとフィルタユニッ
トの配置例を示す。

【図４】 同実施例のポンプユニットとフィルタユニッ
トの他の配置例を示す。

【図５】 同実施例のポンプユニットの具体的構成を示
す正面図と側面図である。

【図６】 同ポンプユニットの背面図である。

【図７】 同ポンプユニットのポンプ構造を模式的に示
す断面図である。

【図８】 同実施例のフィルタユニットの具体的構成を
示す正面図である。

【図９】 同フィルタユニットの側面図である。

【符号の説明】

１（１ａ〜１ｄ）…レジストボトル、２…チャンバ、３
…ポンプユニット、３１ａ〜３１ｄ…ポンプ、３２…ア
クチュエータ、５２１…ステッピングモータ、５２６…
ピストン、５２７…ベローズ、５２５…フッ素オイル、
５３…マニホールド、５３２（５３２ａ〜５３２ｄ）…
分岐管、５４（５４ａ〜５４ｄ）…エアオペレートバル
ブ、６０１…ポンプ本体、６０４…ポンプ室、６０８…
チューブフラム、６１０ａ〜６１０ｄ…逆止バルブ、４
…フィルタユニット、４１（４１ａ〜４１ｄ）…フィル
タ。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 作動流体により駆動される複数個のポン
   プが一つのアクチュエータを共有してユニット化され、 前記各ポンプの作動流体スペースはマニホールドを介し
   て前記アクチュエータのシリンダー室に連結され、 前記マニホールドの前記各ポンプへの分岐部に前記アク
   チュエータにより駆動される作動流体の前記各ポンプへ
   の供給を選択的にオンオフするバルブが設けられている
   ことを特徴とするポンプユニット。
2. 【請求項２】 前記各ポンプは、ポンプ室と作動流体ス
   ペースの間にチューブ状の可撓性膜が張設されたチュー
   ブフラム式であることを特徴とする請求項１記載のポン
   プユニット。
3. 【請求項３】 前記バルブは、ノーマリオープンタイプ
   のエアオペレートバルブであることを特徴とする請求項
   １記載のポンプユニット。
4. 【請求項４】 前記アクチュエータは、ステッピングモ
   ータと、このモータにより駆動されてシリンダー室内を
   伸縮するベローズを有することを特徴とする請求項１記
   載のポンプユニット。