JPH10282006A - 円筒体表面欠陥検査装置 - Google Patents
円筒体表面欠陥検査装置Info
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- JPH10282006A JPH10282006A JP9969597A JP9969597A JPH10282006A JP H10282006 A JPH10282006 A JP H10282006A JP 9969597 A JP9969597 A JP 9969597A JP 9969597 A JP9969597 A JP 9969597A JP H10282006 A JPH10282006 A JP H10282006A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 円筒状被検査物の円筒表面上の欠陥の状態に
かかわらず、正確にその欠陥を検出することが可能な円
筒体欠陥検査装置を提供する。 【解決手段】 円筒状被検査物１の円筒面１ａの円周方
向にレーザ光を一定の角度で照射させ、その反射光を受
光センサ９で受光する。被検査物１の円筒面１ａの円周
方向の走査と同期して被検査物１を被検査物１の軸方向
Ａに移動させる。これにより、被検査物１の円筒面１ａ
にレーザ光を一定の角度で照射し、被検査物１の円筒面
１ａを螺旋状に走査する。反射光量が予め定められた値
よりも低くなった場合に被検査物に欠陥があると判定す
る。
かかわらず、正確にその欠陥を検出することが可能な円
筒体欠陥検査装置を提供する。 【解決手段】 円筒状被検査物１の円筒面１ａの円周方
向にレーザ光を一定の角度で照射させ、その反射光を受
光センサ９で受光する。被検査物１の円筒面１ａの円周
方向の走査と同期して被検査物１を被検査物１の軸方向
Ａに移動させる。これにより、被検査物１の円筒面１ａ
にレーザ光を一定の角度で照射し、被検査物１の円筒面
１ａを螺旋状に走査する。反射光量が予め定められた値
よりも低くなった場合に被検査物に欠陥があると判定す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、円筒体表面欠陥検
査装置、より詳細には、円筒状の被検査物の円筒表面に
検査光を照射し、その反射光を検出することにより、円
筒状被検査物の円筒表面の欠陥を検出する円筒体欠陥検
査装置の構造に関する。
査装置、より詳細には、円筒状の被検査物の円筒表面に
検査光を照射し、その反射光を検出することにより、円
筒状被検査物の円筒表面の欠陥を検出する円筒体欠陥検
査装置の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】円筒体表面欠陥検査装置に関する従来技
術として、例えば、特開平６−１１８００７号公報に開
示されたものがある。この公報のものは、円筒体の被検
査物にスリット光を照射し、そのスリット像を撮像する
ことにより、被検査物表面の欠陥を検出するというもの
である。
術として、例えば、特開平６−１１８００７号公報に開
示されたものがある。この公報のものは、円筒体の被検
査物にスリット光を照射し、そのスリット像を撮像する
ことにより、被検査物表面の欠陥を検出するというもの
である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記特開平６
−１１８００７号公報のものは、被検査物，照明装置お
よび受光装置の光学的位置関係が被検査物の軸方向の位
置によって異なるので、被検査物全面における正確な検
査ができない。また、被検査物の直径の変化に対応する
機構がなく、仮に、その調整機構を付加する場合には、
被検査物の円周方向に対する照明装置，受光センサなど
の取り付け角度を調整する必要があるので不便であり、
さらに、正確な検査には、被検査物の取り付け精度が必
要となり、運用が困難である。
−１１８００７号公報のものは、被検査物，照明装置お
よび受光装置の光学的位置関係が被検査物の軸方向の位
置によって異なるので、被検査物全面における正確な検
査ができない。また、被検査物の直径の変化に対応する
機構がなく、仮に、その調整機構を付加する場合には、
被検査物の円周方向に対する照明装置，受光センサなど
の取り付け角度を調整する必要があるので不便であり、
さらに、正確な検査には、被検査物の取り付け精度が必
要となり、運用が困難である。
【０００４】本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなさ
れたもので、円筒状被検査物の円筒表面上の欠陥の状態
にかかわらず、正確にその欠陥を検出することが可能な
円筒体表面欠陥検査装置を提供することを目的としてな
されたものである。
れたもので、円筒状被検査物の円筒表面上の欠陥の状態
にかかわらず、正確にその欠陥を検出することが可能な
円筒体表面欠陥検査装置を提供することを目的としてな
されたものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、円筒
状の被検査物の円筒表面に検査光を照射してその反射光
を検出し、連続して検出される前記反射光データを処理
することにより、前記被検査物円筒表面の欠陥を検出す
る円筒体表面欠陥検査装置において、前記円筒状の被検
査物の円筒表面に対して該円筒表面の円周方向に移動し
ながら一定の入射角度で前記検査光を照射する検査光照
射手段と、前記被検査物を該被検査物の軸方向に移動さ
せる被検査物移動手段とを有し、前記検査光照射手段と
前記被検査物移動手段とが協働することにより、前記検
査光が前記被検査物円筒表面を螺旋状に走査して前記被
検査物円筒表面の欠陥を検出することを特徴としたもの
であり、被検査物円筒表面上の欠陥の存在する場所にか
かわらず正確に欠陥を検出することができるようにした
ものである。
状の被検査物の円筒表面に検査光を照射してその反射光
を検出し、連続して検出される前記反射光データを処理
することにより、前記被検査物円筒表面の欠陥を検出す
る円筒体表面欠陥検査装置において、前記円筒状の被検
査物の円筒表面に対して該円筒表面の円周方向に移動し
ながら一定の入射角度で前記検査光を照射する検査光照
射手段と、前記被検査物を該被検査物の軸方向に移動さ
せる被検査物移動手段とを有し、前記検査光照射手段と
前記被検査物移動手段とが協働することにより、前記検
査光が前記被検査物円筒表面を螺旋状に走査して前記被
検査物円筒表面の欠陥を検出することを特徴としたもの
であり、被検査物円筒表面上の欠陥の存在する場所にか
かわらず正確に欠陥を検出することができるようにした
ものである。
【０００６】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、前記検査光照射手段が、前記被検査物円筒表面に前
記検査光のスポットが形成されるように該被検査物の直
径に応じて前記検査光照射手段の光学系の光路長を調整
する光路長調整手段を有することを特徴としたものであ
り、様々な直径の検査物に対応することができるように
したものである。
て、前記検査光照射手段が、前記被検査物円筒表面に前
記検査光のスポットが形成されるように該被検査物の直
径に応じて前記検査光照射手段の光学系の光路長を調整
する光路長調整手段を有することを特徴としたものであ
り、様々な直径の検査物に対応することができるように
したものである。
【０００７】請求項３の発明は、請求項１あるいは２の
発明において、基準となる被検査物円筒表面に対する反
射光の結像位置に配設されて該基準となる被検査物円筒
表面に対する反射光と検査対象の被検査物円筒表面に対
する反射光との焦点のずれ量を検出する受光センサを有
し、該受光センサにより検出された前記焦点ずれ量に基
づいて前記検査対象の被検査物の良否を判定する被検査
物良否判定手段を有することを特徴としたものであり、
被検査物円筒表面の凹凸の状態に応じて被検査物の良否
を判定することができるようにしたものである。
発明において、基準となる被検査物円筒表面に対する反
射光の結像位置に配設されて該基準となる被検査物円筒
表面に対する反射光と検査対象の被検査物円筒表面に対
する反射光との焦点のずれ量を検出する受光センサを有
し、該受光センサにより検出された前記焦点ずれ量に基
づいて前記検査対象の被検査物の良否を判定する被検査
物良否判定手段を有することを特徴としたものであり、
被検査物円筒表面の凹凸の状態に応じて被検査物の良否
を判定することができるようにしたものである。
【０００８】請求項４の発明は、請求項３の発明におい
て、前記受光センサにより検出された前記焦点ずれ量に
基づいて該焦点ずれを補正するように前記検査光照射手
段の光学系の位置を補正する焦点ずれ補正手段と、該焦
点ずれ補正手段により補正された前記光学系の変位量を
検出する光学系変位量検出手段と、該光学系変位量検出
手段により検出された変位量に基づいて前記被検査物の
位置ずれを補正する被検査物位置補正手段とを有し、前
記被検査物良否判定手段が、前記光学系変位量検出手段
により検出された変位量に基づいて前記被検査物の良否
を判定することを特徴としたものであり、被検査物の位
置ずれを補正して被検査物の良否を判定することができ
るようにしたものである。
て、前記受光センサにより検出された前記焦点ずれ量に
基づいて該焦点ずれを補正するように前記検査光照射手
段の光学系の位置を補正する焦点ずれ補正手段と、該焦
点ずれ補正手段により補正された前記光学系の変位量を
検出する光学系変位量検出手段と、該光学系変位量検出
手段により検出された変位量に基づいて前記被検査物の
位置ずれを補正する被検査物位置補正手段とを有し、前
記被検査物良否判定手段が、前記光学系変位量検出手段
により検出された変位量に基づいて前記被検査物の良否
を判定することを特徴としたものであり、被検査物の位
置ずれを補正して被検査物の良否を判定することができ
るようにしたものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１は、本発明による円筒体表面
欠陥検査装置の一実施例を説明するための要部構成図
で、図中、１は被検査物、１ａは被検査物１の円筒面、
２はレーザ発振器、３はハーフミラー、４はレンズ、５
は回転ミラー、６，７は円錐ミラー、８はピンホール、
９は受光センサ、Ａは被検査物１の移動方向、Ｂは反射
光の結像位置である。
欠陥検査装置の一実施例を説明するための要部構成図
で、図中、１は被検査物、１ａは被検査物１の円筒面、
２はレーザ発振器、３はハーフミラー、４はレンズ、５
は回転ミラー、６，７は円錐ミラー、８はピンホール、
９は受光センサ、Ａは被検査物１の移動方向、Ｂは反射
光の結像位置である。
【００１０】図１により、まず、円筒状の被検査物１の
円周方向にレーザ光を一定の角度で照射させ、その反射
光を受光センサ９で受光する機構について説明する。
円周方向にレーザ光を一定の角度で照射させ、その反射
光を受光センサ９で受光する機構について説明する。
【００１１】レーザ発振器２により放出されたレーザ光
はハーフミラー３およびレンズ４を通過し、回転ミラー
５に入射する。回転ミラー５にて偏向されたレーザ光は
円錐ミラー６、および、円錐ミラー７を介して被検査物
１の円筒面１ａにスポットを形成する。円筒面１ａの反
射光は、円錐ミラー７及び円錐ミラー６を介して回転ミ
ラー５に入射する。
はハーフミラー３およびレンズ４を通過し、回転ミラー
５に入射する。回転ミラー５にて偏向されたレーザ光は
円錐ミラー６、および、円錐ミラー７を介して被検査物
１の円筒面１ａにスポットを形成する。円筒面１ａの反
射光は、円錐ミラー７及び円錐ミラー６を介して回転ミ
ラー５に入射する。
【００１２】被検査物１の円筒面１ａが被検査物１の直
径方向の基準位置にある場合、すなわち、被検査物１の
円筒面１ａに凹凸がない場合、回転ミラー５に入射した
反射光は、レンズ４およびハーフミラー３により、Ｂの
位置に結像してピンホール８を通過し、受光センサ９に
入射する。この時、受光センサ９の受光量は最大値を取
る。
径方向の基準位置にある場合、すなわち、被検査物１の
円筒面１ａに凹凸がない場合、回転ミラー５に入射した
反射光は、レンズ４およびハーフミラー３により、Ｂの
位置に結像してピンホール８を通過し、受光センサ９に
入射する。この時、受光センサ９の受光量は最大値を取
る。
【００１３】被検査物１の円筒面１ａが被検査物１の直
径方向の基準位置にない場合、すなわち、被検査物１の
円筒面１ａに凹凸がある場合、回転ミラー５に入射した
反射光は、レンズ４およびハーフミラー３により、Ｂの
位置よりも前あるいは後ろに結像する。その結果、ピン
ホール８を通過して受光センサ９に入射する反射光量
は、被検査物１の円筒面１ａが被検査物１の直径方向の
基準位置にある場合に比べて減少する。
径方向の基準位置にない場合、すなわち、被検査物１の
円筒面１ａに凹凸がある場合、回転ミラー５に入射した
反射光は、レンズ４およびハーフミラー３により、Ｂの
位置よりも前あるいは後ろに結像する。その結果、ピン
ホール８を通過して受光センサ９に入射する反射光量
は、被検査物１の円筒面１ａが被検査物１の直径方向の
基準位置にある場合に比べて減少する。
【００１４】ここで、被検査物１をその軸方向に移動さ
せずに固定した場合、レーザ発振器２から放出され、回
転ミラー５の回転により被検査物１の円筒表面１ａの同
一円周上に一定の入射角度で走査するレーザ光の反射光
が受光センサ９で受光される受光量は、被検査物１の円
筒面１ａに凹凸がない場合には大きく、凹凸がある場合
には小さくなる。
せずに固定した場合、レーザ発振器２から放出され、回
転ミラー５の回転により被検査物１の円筒表面１ａの同
一円周上に一定の入射角度で走査するレーザ光の反射光
が受光センサ９で受光される受光量は、被検査物１の円
筒面１ａに凹凸がない場合には大きく、凹凸がある場合
には小さくなる。
【００１５】請求項１の発明は、図１に示したように、
被検査物１の円筒面１ａの円周方向にレーザ光を一定の
角度で照射させ、その反射光を受光センサ９で受光する
機構において、被検査物１の円周方向の走査と同期して
被検査物１を被検査物１の軸方向Ａに移動させることに
より、被検査物１の円筒面１ａにレーザ光を一定の角度
で照射し、被検査物１の円筒面１ａを螺旋状に走査する
ことができるようにしたもので、被検査物１の円筒面１
ａ全面を一定の入射角度でレーザ光を照射し、その反射
光量を受光センサ９で測定することにより、反射光量が
予め定められた値よりも低くなった場合に被検査物に欠
陥があると判定するようにしたものである。
被検査物１の円筒面１ａの円周方向にレーザ光を一定の
角度で照射させ、その反射光を受光センサ９で受光する
機構において、被検査物１の円周方向の走査と同期して
被検査物１を被検査物１の軸方向Ａに移動させることに
より、被検査物１の円筒面１ａにレーザ光を一定の角度
で照射し、被検査物１の円筒面１ａを螺旋状に走査する
ことができるようにしたもので、被検査物１の円筒面１
ａ全面を一定の入射角度でレーザ光を照射し、その反射
光量を受光センサ９で測定することにより、反射光量が
予め定められた値よりも低くなった場合に被検査物に欠
陥があると判定するようにしたものである。
【００１６】図２は、本発明による円筒体表面欠陥検査
装置の他の実施例を説明するための要部構成図で、図
中、１０は円錐ハーフミラー、１１はドーナツ形ミラ
ー、Ｄは被検査物１の直径で、その他、図１に示した実
施例と同じ作用をする部分には、図１に示した実施例と
同じ符号が付してある。
装置の他の実施例を説明するための要部構成図で、図
中、１０は円錐ハーフミラー、１１はドーナツ形ミラ
ー、Ｄは被検査物１の直径で、その他、図１に示した実
施例と同じ作用をする部分には、図１に示した実施例と
同じ符号が付してある。
【００１７】請求項２の発明は、図２に示したように、
図１に示した実施例の円錐ミラー７を円錐ハーフミラー
１０および被検査物１の軸方向Ａに移動可能なドーナツ
型ミラー１１に置き換えたもので、対象とする被検査物
１の直径ＤがΔＤ変化した際に、ドーナツ型ミラー１１
をΔＸ＝ΔＤ／２だけ被検査物１の軸方向Ａに移動させ
ることにより、光路長を一定に保つことができるように
したもので、これにより、対象とする被検査物１の直径
Ｄが変化しても正確な検査ができるようにしたものであ
る。
図１に示した実施例の円錐ミラー７を円錐ハーフミラー
１０および被検査物１の軸方向Ａに移動可能なドーナツ
型ミラー１１に置き換えたもので、対象とする被検査物
１の直径ＤがΔＤ変化した際に、ドーナツ型ミラー１１
をΔＸ＝ΔＤ／２だけ被検査物１の軸方向Ａに移動させ
ることにより、光路長を一定に保つことができるように
したもので、これにより、対象とする被検査物１の直径
Ｄが変化しても正確な検査ができるようにしたものであ
る。
【００１８】図３は、本発明による円筒体表面欠陥検査
装置の他の実施例を説明するための要部構成図で、図
中、１２は４分割フォトダイオード、ａ，ｂ，ｃ，ｄは
４分割フォトダイオード１２の分割領域で、その他、図
１あるいは２に示した実施例と同じ作用をする部分に
は、図１あるいは２に示した実施例と同じ符号が付して
ある。
装置の他の実施例を説明するための要部構成図で、図
中、１２は４分割フォトダイオード、ａ，ｂ，ｃ，ｄは
４分割フォトダイオード１２の分割領域で、その他、図
１あるいは２に示した実施例と同じ作用をする部分に
は、図１あるいは２に示した実施例と同じ符号が付して
ある。
【００１９】請求項３の発明は、図３（Ａ）に示したよ
うに、被検査物１にスポットを形成した検査光の反射光
が、被検査物１の円筒面１ａが基準位置にある場合の反
射光の結像する位置Ｂに置かれた４分割フォトダイオー
ド１２で検出され、図３（Ｂ）に示したような、被検査
物１の位置による４分割フォトダイオード１２でのスポ
ット形状により、被検査物１の円筒面１ａの凹凸を次の
ようなフォーカス誤差 ｛（Ｓａ＋Ｓｄ）−（Ｓｂ＋Ｓｃ）｝／｛（Ｓａ＋Ｓ
ｄ）−（Ｓｂ＋Ｓｃ）｝（ここで、Ｓａ，Ｓｂ，Ｓｃ，
Ｓｄは、それぞれ、分割領域ａ，ｂ，ｃ，ｄ上のスポッ
ト面積を表す）として求めることができ、これにより、
被検査物１の円筒面１ａが凸である場合、あるいは、凹
である場合のそれぞれの状況に応じて欠陥を検出するス
レッシュレベルを設定して正確な欠陥検出ができるよう
にしたものである。
うに、被検査物１にスポットを形成した検査光の反射光
が、被検査物１の円筒面１ａが基準位置にある場合の反
射光の結像する位置Ｂに置かれた４分割フォトダイオー
ド１２で検出され、図３（Ｂ）に示したような、被検査
物１の位置による４分割フォトダイオード１２でのスポ
ット形状により、被検査物１の円筒面１ａの凹凸を次の
ようなフォーカス誤差 ｛（Ｓａ＋Ｓｄ）−（Ｓｂ＋Ｓｃ）｝／｛（Ｓａ＋Ｓ
ｄ）−（Ｓｂ＋Ｓｃ）｝（ここで、Ｓａ，Ｓｂ，Ｓｃ，
Ｓｄは、それぞれ、分割領域ａ，ｂ，ｃ，ｄ上のスポッ
ト面積を表す）として求めることができ、これにより、
被検査物１の円筒面１ａが凸である場合、あるいは、凹
である場合のそれぞれの状況に応じて欠陥を検出するス
レッシュレベルを設定して正確な欠陥検出ができるよう
にしたものである。
【００２０】図４は、本発明による円筒体表面欠陥検査
装置の他の実施例を説明するための要部構成図で、図
中、１３はモータ、１４は変位計で、その他、図１乃至
３に示した実施例と同じ作用をする部分には、図１乃至
３に示した実施例と同じ符号が付してある。
装置の他の実施例を説明するための要部構成図で、図
中、１３はモータ、１４は変位計で、その他、図１乃至
３に示した実施例と同じ作用をする部分には、図１乃至
３に示した実施例と同じ符号が付してある。
【００２１】請求項４の発明は、図４に示したように、
４分割フォトダイオード１２の出力により求められるフ
ォーカス誤差をモータ１３にフィードバックしてフォー
カス誤差が０になるようにレンズ４の位置を調整し、こ
の時、変位計１４で検出されたレンズ４の変位が被検査
物１の円筒面１ａの凹凸であり、これを判定することに
より、被検査物１の欠陥を検出することができるように
したものである。
４分割フォトダイオード１２の出力により求められるフ
ォーカス誤差をモータ１３にフィードバックしてフォー
カス誤差が０になるようにレンズ４の位置を調整し、こ
の時、変位計１４で検出されたレンズ４の変位が被検査
物１の円筒面１ａの凹凸であり、これを判定することに
より、被検査物１の欠陥を検出することができるように
したものである。
【００２２】この発明によれば、請求項３の発明の比べ
てより広範囲に被検査物１の円筒面１ａの凹凸を正確に
検出することが可能で、これにより、被検査物１の取り
付け位置が多少ずれていても被検査物１の位置を補正し
てより正確な欠陥の検出が可能である。
てより広範囲に被検査物１の円筒面１ａの凹凸を正確に
検出することが可能で、これにより、被検査物１の取り
付け位置が多少ずれていても被検査物１の位置を補正し
てより正確な欠陥の検出が可能である。
【００２３】
【発明の効果】請求項１の発明は、円筒状の被検査物の
円筒表面に検査光を照射してその反射光を検出し、連続
して検出される前記反射光データを処理することによ
り、前記被検査物円筒表面の欠陥を検出する円筒体表面
欠陥検査装置において、前記円筒状の被検査物の円筒表
面に対して該円筒表面の円周方向に移動しながら一定の
入射角度で前記検査光を照射する検査光照射手段と、前
記被検査物を該被検査物の軸方向に移動させる被検査物
移動手段とを有し、前記検査光照射手段と前記被検査物
移動手段とが協働することにより、前記検査光が前記被
検査物円筒表面を螺旋状に走査して前記被検査物円筒表
面の欠陥を検出するので、被検査物の円筒表面上の欠陥
の存在する場所にかかわらず正確に欠陥を検出すること
ができる。
円筒表面に検査光を照射してその反射光を検出し、連続
して検出される前記反射光データを処理することによ
り、前記被検査物円筒表面の欠陥を検出する円筒体表面
欠陥検査装置において、前記円筒状の被検査物の円筒表
面に対して該円筒表面の円周方向に移動しながら一定の
入射角度で前記検査光を照射する検査光照射手段と、前
記被検査物を該被検査物の軸方向に移動させる被検査物
移動手段とを有し、前記検査光照射手段と前記被検査物
移動手段とが協働することにより、前記検査光が前記被
検査物円筒表面を螺旋状に走査して前記被検査物円筒表
面の欠陥を検出するので、被検査物の円筒表面上の欠陥
の存在する場所にかかわらず正確に欠陥を検出すること
ができる。
【００２４】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、前記検査光照射手段が、前記被検査物円筒表面に前
記検査光のスポットが形成されるように該被検査物の直
径に応じて前記検査光照射手段の光学系の光路長を調整
する光路長調整手段を有するので、様々な直径の検査物
に対応することができる。
て、前記検査光照射手段が、前記被検査物円筒表面に前
記検査光のスポットが形成されるように該被検査物の直
径に応じて前記検査光照射手段の光学系の光路長を調整
する光路長調整手段を有するので、様々な直径の検査物
に対応することができる。
【００２５】請求項３の発明は、請求項１あるいは２の
発明において、基準となる被検査物円筒表面に対する反
射光の結像位置に配設されて該基準となる被検査物円筒
表面に対する反射光と検査対象の被検査物円筒表面に対
する反射光との焦点のずれ量を検出する受光センサを有
し、該受光センサにより検出された前記焦点ずれ量に基
づいて前記検査対象の被検査物の良否を判定する被検査
物良否判定手段を有するので、被検査物の円筒表面の凹
凸の状態に応じて被検査物の良否を判定することができ
る。
発明において、基準となる被検査物円筒表面に対する反
射光の結像位置に配設されて該基準となる被検査物円筒
表面に対する反射光と検査対象の被検査物円筒表面に対
する反射光との焦点のずれ量を検出する受光センサを有
し、該受光センサにより検出された前記焦点ずれ量に基
づいて前記検査対象の被検査物の良否を判定する被検査
物良否判定手段を有するので、被検査物の円筒表面の凹
凸の状態に応じて被検査物の良否を判定することができ
る。
【００２６】請求項４の発明は、請求項３の発明におい
て、前記受光センサにより検出された前記焦点ずれ量に
基づいて該焦点ずれを補正するように前記検査光照射手
段の光学系の位置を補正する焦点ずれ補正手段と、該焦
点ずれ補正手段により補正された前記光学系の変位量を
検出する光学系変位量検出手段と、該光学系変位量検出
手段により検出された変位量に基づいて前記被検査物の
位置ずれを補正する被検査物位置補正手段とを有し、前
記被検査物良否判定手段が、前記光学系変位量検出手段
により検出された変位量に基づいて前記被検査物の良否
を判定するので、被検査物の取り付け位置の精度によら
ずに被検査物の良否を判定することができる。
て、前記受光センサにより検出された前記焦点ずれ量に
基づいて該焦点ずれを補正するように前記検査光照射手
段の光学系の位置を補正する焦点ずれ補正手段と、該焦
点ずれ補正手段により補正された前記光学系の変位量を
検出する光学系変位量検出手段と、該光学系変位量検出
手段により検出された変位量に基づいて前記被検査物の
位置ずれを補正する被検査物位置補正手段とを有し、前
記被検査物良否判定手段が、前記光学系変位量検出手段
により検出された変位量に基づいて前記被検査物の良否
を判定するので、被検査物の取り付け位置の精度によら
ずに被検査物の良否を判定することができる。
【図１】 本発明による円筒体表面欠陥検査装置の一実
施例を説明するための要部構成図である。
施例を説明するための要部構成図である。
【図２】 本発明による円筒体表面欠陥検査装置の他の
実施例を説明するための要部構成図である。
実施例を説明するための要部構成図である。
【図３】 本発明による円筒体表面欠陥検査装置の他の
実施例を説明するための要部構成図である。
実施例を説明するための要部構成図である。
【図４】 本発明による円筒体表面欠陥検査装置の他の
実施例を説明するための要部構成図である。
実施例を説明するための要部構成図である。
１…被検査物、１ａ…被検査物１の円筒面、２…レーザ
発振器、３…ハーフミラー、４…レンズ、５…回転ミラ
ー、６，７…円錐ミラー、８…ピンホール、９…受光セ
ンサ、１０…円錐ハーフミラー、１１…ドーナツ形ミラ
ー、１２…４分割フォトダイオード、１３…モータ、１
４…変位計、Ａ…被検査物１の移動方向、Ｂ…反射光の
結像位置、Ｄ…被検査物１の直径、ａ，ｂ，ｃ，ｄ…４
分割フォトダイオード１２の分割領域。
発振器、３…ハーフミラー、４…レンズ、５…回転ミラ
ー、６，７…円錐ミラー、８…ピンホール、９…受光セ
ンサ、１０…円錐ハーフミラー、１１…ドーナツ形ミラ
ー、１２…４分割フォトダイオード、１３…モータ、１
４…変位計、Ａ…被検査物１の移動方向、Ｂ…反射光の
結像位置、Ｄ…被検査物１の直径、ａ，ｂ，ｃ，ｄ…４
分割フォトダイオード１２の分割領域。
Claims (4)
- 【請求項１】 円筒状の被検査物の円筒表面に検査光を
照射してその反射光を検出し、連続して検出される前記
反射光データを処理することにより、前記被検査物円筒
表面の欠陥を検出する円筒体表面欠陥検査装置におい
て、前記円筒状の被検査物の円筒表面に対して該円筒表
面の円周方向に移動しながら一定の入射角度で前記検査
光を照射する検査光照射手段と、前記被検査物を該被検
査物の軸方向に移動させる被検査物移動手段とを有し、
前記検査光照射手段と前記被検査物移動手段とが協働す
ることにより、前記検査光が前記被検査物円筒表面を螺
旋状に走査して前記被検査物円筒表面の欠陥を検出する
ことを特徴とする円筒体表面欠陥検査装置。 - 【請求項２】 請求項１の円筒体表面欠陥検査装置にお
いて、前記検査光照射手段が、前記被検査物円筒表面に
前記検査光のスポットが形成されるように該被検査物の
直径に応じて前記検査光照射手段の光学系の光路長を調
整する光路長調整手段を有することを特徴とする円筒体
表面欠陥検査装置。 - 【請求項３】 請求項１あるいは２に記載の円筒体表面
欠陥検査装置において、基準となる被検査物円筒表面に
対する反射光の結像位置に配設されて該基準となる被検
査物円筒表面に対する反射光と検査対象の被検査物円筒
表面に対する反射光との焦点のずれ量を検出する受光セ
ンサを有し、該受光センサにより検出された前記焦点ず
れ量に基づいて前記検査対象の被検査物の良否を判定す
る被検査物良否判定手段を有することを特徴とする円筒
体表面欠陥検査装置。 - 【請求項４】 請求項３に記載の円筒体表面欠陥検査装
置において、前記受光センサにより検出された前記焦点
ずれ量に基づいて該焦点ずれを補正するように前記検査
光照射手段の光学系の位置を補正する焦点ずれ補正手段
と、該焦点ずれ補正手段により補正された前記光学系の
変位量を検出する光学系変位量検出手段と、該光学系変
位量検出手段により検出された変位量に基づいて前記被
検査物の位置ずれを補正する被検査物位置補正手段とを
有し、前記被検査物良否判定手段が、前記光学系変位量
検出手段により検出された変位量に基づいて前記被検査
物の良否を判定することを特徴とする円筒体表面欠陥検
査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9969597A JPH10282006A (ja) | 1997-04-01 | 1997-04-01 | 円筒体表面欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9969597A JPH10282006A (ja) | 1997-04-01 | 1997-04-01 | 円筒体表面欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10282006A true JPH10282006A (ja) | 1998-10-23 |
Family
ID=14254193
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9969597A Pending JPH10282006A (ja) | 1997-04-01 | 1997-04-01 | 円筒体表面欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10282006A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010139432A (ja) * | 2008-12-12 | 2010-06-24 | Kirin Techno-System Co Ltd | 表面検査装置 |
| JP2011089927A (ja) * | 2009-10-23 | 2011-05-06 | Fujitsu Ltd | 光走査装置および光走査方法 |
| CN117434084A (zh) * | 2023-12-06 | 2024-01-23 | 四川万圣通实业有限公司 | 一种钢管的数字化检测装置及检测方法 |
-
1997
- 1997-04-01 JP JP9969597A patent/JPH10282006A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010139432A (ja) * | 2008-12-12 | 2010-06-24 | Kirin Techno-System Co Ltd | 表面検査装置 |
| JP2011089927A (ja) * | 2009-10-23 | 2011-05-06 | Fujitsu Ltd | 光走査装置および光走査方法 |
| CN117434084A (zh) * | 2023-12-06 | 2024-01-23 | 四川万圣通实业有限公司 | 一种钢管的数字化检测装置及检测方法 |
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