JPH10282143A - 平板状被検査体試験用プローブユニットおよびその製造方法 - Google Patents
平板状被検査体試験用プローブユニットおよびその製造方法Info
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- JPH10282143A JPH10282143A JP10077697A JP10077697A JPH10282143A JP H10282143 A JPH10282143 A JP H10282143A JP 10077697 A JP10077697 A JP 10077697A JP 10077697 A JP10077697 A JP 10077697A JP H10282143 A JPH10282143 A JP H10282143A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 各プローブ領域が隣のプローブ領域の弾
性変形の影響を受けないにもかかわらず、各プローブ領
域が独立的に不規則に弾性変形することを防止すること
にある。 【解決手段】 プローブユニットは、平板状被検査体の
試験に用いられる。プローブユニットは、配線パターン
の複数の配線部をシート状の非導電性部材の一方の面に
間隔をおいて形成し、シート状のばね部材を非導電性部
材の他方の面に配置し、以上の配線部を含む細長い複数
のプローブ領域を形成する複数のスリットを非導電性部
材を除きかつ少なくともばね部材に形成している。これ
により、ばね部材はプローブ領域の変形を隣のプローブ
領域に伝達せず、非導電性部材はプローブ領域の不規則
な変形を規制する。
性変形の影響を受けないにもかかわらず、各プローブ領
域が独立的に不規則に弾性変形することを防止すること
にある。 【解決手段】 プローブユニットは、平板状被検査体の
試験に用いられる。プローブユニットは、配線パターン
の複数の配線部をシート状の非導電性部材の一方の面に
間隔をおいて形成し、シート状のばね部材を非導電性部
材の他方の面に配置し、以上の配線部を含む細長い複数
のプローブ領域を形成する複数のスリットを非導電性部
材を除きかつ少なくともばね部材に形成している。これ
により、ばね部材はプローブ領域の変形を隣のプローブ
領域に伝達せず、非導電性部材はプローブ領域の不規則
な変形を規制する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、集積回路のような
平板状被検査体の電気的特性試験に用いるプローブユニ
ットおよびその製造方法に関する。
平板状被検査体の電気的特性試験に用いるプローブユニ
ットおよびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエーハ上の集積回路、半導体ウ
エーハからチップに分離された集積回路、および、チッ
プの実装が終了した集積回路は、回路が仕様書通りに動
作するか否かの通電試験をされる。この種の通電試験
は、プローブボード、プローブカード等と称されている
検査用ヘッドすなわち試験用ヘッドを用いて電気的特性
を測定することにより、行われる。
エーハからチップに分離された集積回路、および、チッ
プの実装が終了した集積回路は、回路が仕様書通りに動
作するか否かの通電試験をされる。この種の通電試験
は、プローブボード、プローブカード等と称されている
検査用ヘッドすなわち試験用ヘッドを用いて電気的特性
を測定することにより、行われる。
【０００３】この種の試験用ヘッドは、集積回路の電気
的接続用パッドすなわち電極部に通電可能の状態に接触
される複数のプローブ要素を備える。プローブ要素は、
高周波信号を集積回路に確実に作用させ、対応する電気
信号を集積回路から確実に得られるように、集積回路の
接続パッドのような電極部のアルミニウム酸化物のよう
な電気絶縁膜を突き破る機能を有することが求められて
いる。
的接続用パッドすなわち電極部に通電可能の状態に接触
される複数のプローブ要素を備える。プローブ要素は、
高周波信号を集積回路に確実に作用させ、対応する電気
信号を集積回路から確実に得られるように、集積回路の
接続パッドのような電極部のアルミニウム酸化物のよう
な電気絶縁膜を突き破る機能を有することが求められて
いる。
【０００４】上記の要求は、一般には、集積回路の電極
部の表面をプローブ要素の先端で擦る、いわゆる擦り作
用により達成される。そのような擦り作用は、集積回路
の電極部とプローブ要素の先端とを接触させた状態でわ
ずかに過剰に押圧し、そのようなオーバードライブによ
る反りをプローブ要素に生じさせ、それにより集積回路
の電極部とプローブ要素の先端との接触部位を相対的に
変位させることにより、生じる。
部の表面をプローブ要素の先端で擦る、いわゆる擦り作
用により達成される。そのような擦り作用は、集積回路
の電極部とプローブ要素の先端とを接触させた状態でわ
ずかに過剰に押圧し、そのようなオーバードライブによ
る反りをプローブ要素に生じさせ、それにより集積回路
の電極部とプローブ要素の先端との接触部位を相対的に
変位させることにより、生じる。
【０００５】この種の通電試験に用いられている試験用
ヘッドの１つとして、弾性変形可能のフィルム状プロー
ブユニットを用いるものがある（たとえば、特開平４−
３６３６７１号公報）。
ヘッドの１つとして、弾性変形可能のフィルム状プロー
ブユニットを用いるものがある（たとえば、特開平４−
３６３６７１号公報）。
【０００６】このフィルム状プローブユニットは、集積
回路の製作に用いられている、写真食刻法、印刷配線法
等、いわゆる印刷配線技術により配線パターンを弾性変
形可能のフィルム状配線基板に形成し、配線パターンの
配線部をフィンガー状に分離する複数のスリットを配線
基板に形成して各配線部の一部をプローブ要素としてい
る。
回路の製作に用いられている、写真食刻法、印刷配線法
等、いわゆる印刷配線技術により配線パターンを弾性変
形可能のフィルム状配線基板に形成し、配線パターンの
配線部をフィンガー状に分離する複数のスリットを配線
基板に形成して各配線部の一部をプローブ要素としてい
る。
【０００７】具体的には、フィルム状プローブユニット
は、シート状のばね部材を可撓性を有するシート状の非
導電性部材の一方の面の少なくとも一部に積層し、直線
状の複数の配線部を有する配線パターンを可撓性の非導
電性部材の他方の面に形成し、プローブ要素を形成する
１以上の配線部を含む細長い領域を形成する複数のスリ
ットをばね部材および非導電性部材に形成することによ
り、複数のフィンガー状プローブ領域を形成し、各プロ
ーブ要素の先端にバンプすなわち突起を形成している。
は、シート状のばね部材を可撓性を有するシート状の非
導電性部材の一方の面の少なくとも一部に積層し、直線
状の複数の配線部を有する配線パターンを可撓性の非導
電性部材の他方の面に形成し、プローブ要素を形成する
１以上の配線部を含む細長い領域を形成する複数のスリ
ットをばね部材および非導電性部材に形成することによ
り、複数のフィンガー状プローブ領域を形成し、各プロ
ーブ要素の先端にバンプすなわち突起を形成している。
【０００８】この種のフィルム状プローブユニットは、
これをプローブ取付体に接着剤により接着した後、プロ
ーブ取付体を適宜な取付具により板状配線基板に取り付
けることにより、試験用ヘッドとして組み立てられ、ま
たプローブ要素の先端の突起を集積回路の平坦な電極部
に押圧した状態で使用される。
これをプローブ取付体に接着剤により接着した後、プロ
ーブ取付体を適宜な取付具により板状配線基板に取り付
けることにより、試験用ヘッドとして組み立てられ、ま
たプローブ要素の先端の突起を集積回路の平坦な電極部
に押圧した状態で使用される。
【０００９】上記のフィルム状プローブユニットによれ
ば、配線部およびプローブ領域を印刷配線技術により製
作することができるから、金属線から製作した複数のプ
ローブを用いるプローブユニットを用いた板状ヘッドに
比べ廉価になり、また１以上のプローブ要素を含む各プ
ローブ領域がスリットにより独立しているから、プロー
ブ領域が独立していない他のフィルム状プローブユニッ
トに比べ、各プローブ要素が集積回路の電極部に良好に
接触する。
ば、配線部およびプローブ領域を印刷配線技術により製
作することができるから、金属線から製作した複数のプ
ローブを用いるプローブユニットを用いた板状ヘッドに
比べ廉価になり、また１以上のプローブ要素を含む各プ
ローブ領域がスリットにより独立しているから、プロー
ブ領域が独立していない他のフィルム状プローブユニッ
トに比べ、各プローブ要素が集積回路の電極部に良好に
接触する。
【００１０】しかし、従来のフィルム状プローブユニッ
トでは、各プローブ領域が完全に独立しているため、オ
ーバードライブ時に各プローブ領域がそれ自身のねじれ
および撓み等に起因して不規則に弾性変形する。プロー
ブ領域が個々に不規則に弾性変形すると、たとえプロー
ブ要素の先端に突起を形成していても、集積回路の電極
部に対する突起の電気的接触状態がプローブ領域毎に異
なるから、正しい電気的試験を行うことができない。
トでは、各プローブ領域が完全に独立しているため、オ
ーバードライブ時に各プローブ領域がそれ自身のねじれ
および撓み等に起因して不規則に弾性変形する。プロー
ブ領域が個々に不規則に弾性変形すると、たとえプロー
ブ要素の先端に突起を形成していても、集積回路の電極
部に対する突起の電気的接触状態がプローブ領域毎に異
なるから、正しい電気的試験を行うことができない。
【００１１】
【解決しようとする課題】本発明の目的は、各プローブ
領域が隣のプローブ領域の弾性変形の影響を受けないに
もかかわらず、各プローブ領域が独立的に不規則に弾性
変形することを防止することにある。
領域が隣のプローブ領域の弾性変形の影響を受けないに
もかかわらず、各プローブ領域が独立的に不規則に弾性
変形することを防止することにある。
【００１２】
【解決手段、作用、効果】本発明の、平板状被検査体の
試験に用いるプローブユニットは、シート状の非導電性
部材と、該非導電性部材の一方の面に間隔をおいて形成
された細長い複数の配線部を備える配線パターンと、非
導電性部材の他方の面にあって少なくとも配線部の一端
部に対応する部位に配置されたシート状のばね部材と、
１以上の配線部を含む細長い複数のプローブ領域を形成
する複数のスリットであって非導電性部材を除きかつ少
なくともばね部材に形成された複数のスリットと、各配
線部の一端部から突出する突起とを含む。
試験に用いるプローブユニットは、シート状の非導電性
部材と、該非導電性部材の一方の面に間隔をおいて形成
された細長い複数の配線部を備える配線パターンと、非
導電性部材の他方の面にあって少なくとも配線部の一端
部に対応する部位に配置されたシート状のばね部材と、
１以上の配線部を含む細長い複数のプローブ領域を形成
する複数のスリットであって非導電性部材を除きかつ少
なくともばね部材に形成された複数のスリットと、各配
線部の一端部から突出する突起とを含む。
【００１３】各プローブ領域は、スリットにより区画さ
れた細長い領域の、ばね部材、非導電性部材、配線部お
よび突起により形成される。各プローブ要素は、配線部
とこれに設けられた突起とにより形成される。隣り合う
プローブ領域のばね部材はスリットにより分離されてい
るが、隣り合うプローブ領域の非導電性部材は分離され
ることなく一体的に続く。
れた細長い領域の、ばね部材、非導電性部材、配線部お
よび突起により形成される。各プローブ要素は、配線部
とこれに設けられた突起とにより形成される。隣り合う
プローブ領域のばね部材はスリットにより分離されてい
るが、隣り合うプローブ領域の非導電性部材は分離され
ることなく一体的に続く。
【００１４】１以上のプローブユニットを用いた試験用
ヘッドと被検査体とが相対的に押圧されたとき、ばね部
材は、これにスリットが形成されているから、プローブ
領域の変形を隣のプローブ領域に伝達しない。これに対
し、非導電性部材は、これのばね性がばね部材に比べて
小さいことから、プローブ領域の変形を隣のプローブ領
域に伝達せず、またこれがスリットにより分離されてい
ないことから、プローブ領域の不規則な変形を規制す
る。
ヘッドと被検査体とが相対的に押圧されたとき、ばね部
材は、これにスリットが形成されているから、プローブ
領域の変形を隣のプローブ領域に伝達しない。これに対
し、非導電性部材は、これのばね性がばね部材に比べて
小さいことから、プローブ領域の変形を隣のプローブ領
域に伝達せず、またこれがスリットにより分離されてい
ないことから、プローブ領域の不規則な変形を規制す
る。
【００１５】本発明のプローブユニットによれば、プロ
ーブ領域を形成するスリットを、ばね部材には形成した
が、非導電性部材には形成しないから、各プローブ要素
が隣のプローブ領域の弾性変形の影響を受けないにもか
かわらず、各プローブ領域が独立して不規則に弾性変形
するおそれがない。
ーブ領域を形成するスリットを、ばね部材には形成した
が、非導電性部材には形成しないから、各プローブ要素
が隣のプローブ領域の弾性変形の影響を受けないにもか
かわらず、各プローブ領域が独立して不規則に弾性変形
するおそれがない。
【００１６】配線パターンは、さらに、隣り合う配線部
の間を該配線部の伸長方向へ伸びる細長い導電体部であ
って非導電性部材に形成された導電体部を含むことがで
きる。このようにすれば、各導電体部をアースに接続す
ることにより、隣り合うプローブ要素間における電気信
号の漏洩、および、各プローブ要素への雑音の混入が防
止される。
の間を該配線部の伸長方向へ伸びる細長い導電体部であ
って非導電性部材に形成された導電体部を含むことがで
きる。このようにすれば、各導電体部をアースに接続す
ることにより、隣り合うプローブ要素間における電気信
号の漏洩、および、各プローブ要素への雑音の混入が防
止される。
【００１７】平板状被検査体試験用プローブユニットの
製造方法は、細長い複数のプローブ領域を形成する複数
のスリットをシート状のばね部材に形成し、該ばね部材
とシート状の非導電性部材とをばね部材が非導電性部材
の一方の面に固定された状態に配置し、隣り合うスリッ
ト間に対応する部位を該スリットの長手方向へ伸びる複
数の配線部を有する配線パターンを非導電性部材の他方
の面に形成し、配線部の一端部からばね部材と反対の側
に突出する突起を各配線部に形成することを含む。
製造方法は、細長い複数のプローブ領域を形成する複数
のスリットをシート状のばね部材に形成し、該ばね部材
とシート状の非導電性部材とをばね部材が非導電性部材
の一方の面に固定された状態に配置し、隣り合うスリッ
ト間に対応する部位を該スリットの長手方向へ伸びる複
数の配線部を有する配線パターンを非導電性部材の他方
の面に形成し、配線部の一端部からばね部材と反対の側
に突出する突起を各配線部に形成することを含む。
【００１８】本発明の製造方法によれば、スリットをば
ね部材に形成した後、ばね部材と非導電性部材とを組み
合わせるから、ばね部材と非導電性部材とを組み合わせ
た後にスリットを形成する場合に比べ、スリットを非導
電性部材に形成することなくばね部材に形成する作業が
著しく簡単になり、プローブユニットを容易に製作する
ことができる。
ね部材に形成した後、ばね部材と非導電性部材とを組み
合わせるから、ばね部材と非導電性部材とを組み合わせ
た後にスリットを形成する場合に比べ、スリットを非導
電性部材に形成することなくばね部材に形成する作業が
著しく簡単になり、プローブユニットを容易に製作する
ことができる。
【００１９】さらに、隣り合う配線部の間を該配線部の
伸長方向へ伸びる導電体部を非導電性部材に配線パター
ンとともに形成することを含むことができる。このよう
にすれば、隣り合うプローブ要素間における電気信号の
漏洩および各プローブ要素への雑音の混入防止に用いる
導電体部を配線パターンとともに形成することができ
る。
伸長方向へ伸びる導電体部を非導電性部材に配線パター
ンとともに形成することを含むことができる。このよう
にすれば、隣り合うプローブ要素間における電気信号の
漏洩および各プローブ要素への雑音の混入防止に用いる
導電体部を配線パターンとともに形成することができ
る。
【００２０】
【発明の実施の形態】図１および図２を参照するに、フ
ィルム状のプローブユニット２０は、ポリイミド樹脂の
ような電気絶縁材料により可撓性を有するシート状に形
成された非導電性部材２２と、非導電性部材２２の一方
の面に形成された配線パターン２４と、非導電性部材２
２の他方の面に積層されたシート状のばね部材２６と、
ばね部材２６に形成された複数のスリット２８とを含
む。
ィルム状のプローブユニット２０は、ポリイミド樹脂の
ような電気絶縁材料により可撓性を有するシート状に形
成された非導電性部材２２と、非導電性部材２２の一方
の面に形成された配線パターン２４と、非導電性部材２
２の他方の面に積層されたシート状のばね部材２６と、
ばね部材２６に形成された複数のスリット２８とを含
む。
【００２１】被導電性部材２２は、電気絶縁材料をシー
ト状ばね部材２６の一方の面にコーティングのような適
宜な手法により、可撓性を有するシート状に形成され
て、、ばね部材２６に固着されている。しかし、電気絶
縁性のシート状部材とばね部材２６とを、接着、溶着等
の適宜な手法により、固着してもよい。
ト状ばね部材２６の一方の面にコーティングのような適
宜な手法により、可撓性を有するシート状に形成され
て、、ばね部材２６に固着されている。しかし、電気絶
縁性のシート状部材とばね部材２６とを、接着、溶着等
の適宜な手法により、固着してもよい。
【００２２】配線パターン２４は、写真食刻法、印刷配
線法等、いわゆる印刷配線技術により、電気絶縁部材す
なわち非導電性部材２２の他方の面に形成されており、
また互いに間隔をおいた複数の配線部３０と、互いに間
隔をおいた複数の導電体部３２とを有する。
線法等、いわゆる印刷配線技術により、電気絶縁部材す
なわち非導電性部材２２の他方の面に形成されており、
また互いに間隔をおいた複数の配線部３０と、互いに間
隔をおいた複数の導電体部３２とを有する。
【００２３】ばね部材２６は、ステンレス板、銅板、黄
銅板、ベリリウム板等の薄い板ばね材により形成されて
おり、また被導電性部材２２に重ねられている。ばね部
材２６は、製作時の段階では被導電性部材２２の一方の
面全体に設けられているが、プローブユニットを試験用
ヘッドに組み立てられるまでに、少なくとも配線部３０
および導電体部３２の端部に対応する非導電性部材２２
の部位以外の部分を除去される。しかし、そのような部
分を除去しなくてもよい。
銅板、ベリリウム板等の薄い板ばね材により形成されて
おり、また被導電性部材２２に重ねられている。ばね部
材２６は、製作時の段階では被導電性部材２２の一方の
面全体に設けられているが、プローブユニットを試験用
ヘッドに組み立てられるまでに、少なくとも配線部３０
および導電体部３２の端部に対応する非導電性部材２２
の部位以外の部分を除去される。しかし、そのような部
分を除去しなくてもよい。
【００２４】各スリット２８は、非導電性部材２２、配
線パターン２４およびシート状ばね部材２６の端部の側
を配線部３０を含む複数のプローブ領域３４に分割する
ように、写真食刻法、レーザビーム切削法等の適宜な手
段を用いる切削加工により配線部３０間に対応するばね
部材２６の部位にこれを貫通する状態に形成されてい
る。各スリット２８は、図示の例では、ばね部材２６の
みに形成されているだけであって、非導電性部材２２に
は形成されていない。
線パターン２４およびシート状ばね部材２６の端部の側
を配線部３０を含む複数のプローブ領域３４に分割する
ように、写真食刻法、レーザビーム切削法等の適宜な手
段を用いる切削加工により配線部３０間に対応するばね
部材２６の部位にこれを貫通する状態に形成されてい
る。各スリット２８は、図示の例では、ばね部材２６の
みに形成されているだけであって、非導電性部材２２に
は形成されていない。
【００２５】各配線部３０は、スリット２８によりフィ
ンガー状に分割されたばね部材２６の残存部に対応する
箇所にあって隣り合う導電体部３２の間を直線状に伸び
ている。各導電体部３２は、スリット１２に対応する箇
所にあって被導電性部材２２の一端縁から隣り合う配線
部３０の間を直線状に伸びている。
ンガー状に分割されたばね部材２６の残存部に対応する
箇所にあって隣り合う導電体部３２の間を直線状に伸び
ている。各導電体部３２は、スリット１２に対応する箇
所にあって被導電性部材２２の一端縁から隣り合う配線
部３０の間を直線状に伸びている。
【００２６】各配線部３０は、その先端部にニッケルメ
ッキのような適宜な手法により形成された突起３６を有
する。図示の例では、各突起３６は、ニッケルメッキに
より形成された半球状の突出部すなわちバンプである。
しかし、予め所定の形状に製作された突起を導電性接着
剤により配線部３０に固定してもよい。各配線部３０と
これに設けられた突起３６との対は、プローブ要素とし
て作用する。
ッキのような適宜な手法により形成された突起３６を有
する。図示の例では、各突起３６は、ニッケルメッキに
より形成された半球状の突出部すなわちバンプである。
しかし、予め所定の形状に製作された突起を導電性接着
剤により配線部３０に固定してもよい。各配線部３０と
これに設けられた突起３６との対は、プローブ要素とし
て作用する。
【００２７】各プローブ領域３４は、スリット２８によ
り区画された細長い領域内の、非導電性部材２２、ばね
部材２４、配線部３０および突起３６により形成され
る。図示の例では、各プローブ領域３４は、１つの配線
部３０を含み、したがって１つのプローブ要素を形成し
ている。しかし、各プローブ領域３４は、複数のプロー
ブ要素を含むように、複数の配線部３０とを含む範囲で
あってもよい。
り区画された細長い領域内の、非導電性部材２２、ばね
部材２４、配線部３０および突起３６により形成され
る。図示の例では、各プローブ領域３４は、１つの配線
部３０を含み、したがって１つのプローブ要素を形成し
ている。しかし、各プローブ領域３４は、複数のプロー
ブ要素を含むように、複数の配線部３０とを含む範囲で
あってもよい。
【００２８】図示の例では、４つのスリット２８と、５
つの配線部３０と、４つの導電体部３２と、５つのプロ
ーブ領域３４とを示すにすぎないが、実際にはプローブ
ユニット２０は、それ以上の、スリット、配線部、導電
体部およびプローブ領域を備える。
つの配線部３０と、４つの導電体部３２と、５つのプロ
ーブ領域３４とを示すにすぎないが、実際にはプローブ
ユニット２０は、それ以上の、スリット、配線部、導電
体部およびプローブ領域を備える。
【００２９】図３および図４に示すように、プローブユ
ニット２０を用いる検査用ヘッドすなわち試験用ヘッド
４０は、たとえば、複数（図示の例では、４つ）のプロ
ーブユニット２０をプローブ取付体４２に接着剤のよう
な適宜な装着手段により装着し、そのプローブ取付体４
２をリングプレート４４のような適宜な取付具により、
電気的絶縁板を用いた配線基板４６に取り付けることに
より、組み立てることができる。
ニット２０を用いる検査用ヘッドすなわち試験用ヘッド
４０は、たとえば、複数（図示の例では、４つ）のプロ
ーブユニット２０をプローブ取付体４２に接着剤のよう
な適宜な装着手段により装着し、そのプローブ取付体４
２をリングプレート４４のような適宜な取付具により、
電気的絶縁板を用いた配線基板４６に取り付けることに
より、組み立てることができる。
【００３０】試験時、各配線部３０は試験用電気信号の
供給のために配線基板４６に形成された図示しない配線
部に電気的に接続され各導電体部３２はアースに接続さ
れ、プローブユニット２０と被検査体とは相対的に押圧
される。
供給のために配線基板４６に形成された図示しない配線
部に電気的に接続され各導電体部３２はアースに接続さ
れ、プローブユニット２０と被検査体とは相対的に押圧
される。
【００３１】プローブユニット２０と被検査体とが相対
的に押圧されたとき、ばね部材２６は、これにスリット
２８が形成されているから、プローブ領域３４の変形を
隣のプローブ領域３４に伝達しない。非導電性部材２２
は、これのばね性がばね部材２６に比べて小さいから、
プローブ領域３４の変形を隣のプローブ領域３４に伝達
せず、またこれがスリット２８により分離されていない
ことから、プローブ領域３４の不規則な変形を規制す
る。
的に押圧されたとき、ばね部材２６は、これにスリット
２８が形成されているから、プローブ領域３４の変形を
隣のプローブ領域３４に伝達しない。非導電性部材２２
は、これのばね性がばね部材２６に比べて小さいから、
プローブ領域３４の変形を隣のプローブ領域３４に伝達
せず、またこれがスリット２８により分離されていない
ことから、プローブ領域３４の不規則な変形を規制す
る。
【００３２】このため、プローブユニット２０によれ
ば、各プローブ領域が隣のプローブ領域の弾性変形の影
響を受けないにもかかわらず、各プローブ領域が独立し
て不規則に弾性変形するおそれがない。また、各導電体
部３２をアースに接続することにより、隣り合うプロー
ブ要素間における電気信号の漏洩、および、各プローブ
要素への電気的雑音の混入が防止される。
ば、各プローブ領域が隣のプローブ領域の弾性変形の影
響を受けないにもかかわらず、各プローブ領域が独立し
て不規則に弾性変形するおそれがない。また、各導電体
部３２をアースに接続することにより、隣り合うプロー
ブ要素間における電気信号の漏洩、および、各プローブ
要素への電気的雑音の混入が防止される。
【００３３】プローブユニット２０は、細長い複数のプ
ローブ領域３４を形成する複数のスリット２８をシート
状のばね部材２６に形成し、ばね部材２６とシート状の
非導電性部材２２とをばね部材２６が非導電性部材２２
の一方の面に固定された状態に装着し、隣り合うスリッ
ト２８間に対応する部位をスリット２８の長手方向へ伸
びる複数の配線部３０と隣り合う配線部３０間をその長
手方向へ伸びる複数の導電体部３２とを有する配線パタ
ーン２４を非導電性部材２２の他方の面に形成し、各配
線部３０の一端部からばね部材２６と反対の側に突出す
る突起３６を各配線部３０に形成することにより製作す
ることができる。
ローブ領域３４を形成する複数のスリット２８をシート
状のばね部材２６に形成し、ばね部材２６とシート状の
非導電性部材２２とをばね部材２６が非導電性部材２２
の一方の面に固定された状態に装着し、隣り合うスリッ
ト２８間に対応する部位をスリット２８の長手方向へ伸
びる複数の配線部３０と隣り合う配線部３０間をその長
手方向へ伸びる複数の導電体部３２とを有する配線パタ
ーン２４を非導電性部材２２の他方の面に形成し、各配
線部３０の一端部からばね部材２６と反対の側に突出す
る突起３６を各配線部３０に形成することにより製作す
ることができる。
【００３４】このようにすれば、スリット２８をばね部
材２６に形成した後、ばね部材２６と非導電性部材２２
とを固定するから、ばね部材と非導電性部材とを固定し
た後にスリットを形成する場合に比べ、スリットを非導
電性部材に形成することなくばね部材に形成する作業が
著しく簡単になり、プローブユニットを容易に製作する
ことができる。しかし、本発明のプローブユニットは、
ばね部材と非導電性部材とを固定した後にスリットを形
成してもよい。
材２６に形成した後、ばね部材２６と非導電性部材２２
とを固定するから、ばね部材と非導電性部材とを固定し
た後にスリットを形成する場合に比べ、スリットを非導
電性部材に形成することなくばね部材に形成する作業が
著しく簡単になり、プローブユニットを容易に製作する
ことができる。しかし、本発明のプローブユニットは、
ばね部材と非導電性部材とを固定した後にスリットを形
成してもよい。
【００３５】図５および図６に示すプローブユニット５
０のように、突起３６の先端が露出した状態に、配線部
３０、導電体部３２および突起３６を覆う電気絶縁性の
保護層５２を非導電性部材２２に設けてもよい。突起３
６は、棒状の主体部とこれに一体的に続く半球状の先端
部とを有し、先端が保護層５２からわずかに突出されて
いる。
０のように、突起３６の先端が露出した状態に、配線部
３０、導電体部３２および突起３６を覆う電気絶縁性の
保護層５２を非導電性部材２２に設けてもよい。突起３
６は、棒状の主体部とこれに一体的に続く半球状の先端
部とを有し、先端が保護層５２からわずかに突出されて
いる。
【００３６】このように保護層５２を設けるならば、保
護層が突起の半球状の面の外周部を覆う形に突起および
配線部が覆われているから、配線部３０、導電体部３２
および突起３６の損傷が防止されるとともに、配線部３
０からの突起３６の脱落が防止される。
護層が突起の半球状の面の外周部を覆う形に突起および
配線部が覆われているから、配線部３０、導電体部３２
および突起３６の損傷が防止されるとともに、配線部３
０からの突起３６の脱落が防止される。
【００３７】なお、ばね部材２６のみを貫通するスリッ
ト２８をばね部材２６に形成する代わりに、ばね部材２
６を厚さ方向に貫通し、かつ、非導電性部材２２をその
厚さ方向に貫通しない程度に非導電性部材２２に達する
スリットをばね部材２６および非導電性部材２２に形成
してもよい。
ト２８をばね部材２６に形成する代わりに、ばね部材２
６を厚さ方向に貫通し、かつ、非導電性部材２２をその
厚さ方向に貫通しない程度に非導電性部材２２に達する
スリットをばね部材２６および非導電性部材２２に形成
してもよい。
【００３８】被導電性部材をコーティングによりばね部
材に形成する代わりに、被導電性部材をシート状ばね部
材に、塗布技術、印刷技術等により形成してもよいし、
ばね部材をシート状被導電性部材に、印刷技術、真空蒸
着技術等により形成してもよい。また、半球状の突起を
旗は半球状の突出部を有する突起を用いる代わりに、円
柱形、角柱形、円錐形、角錐形等、他の形状の突起を用
いてもよい。
材に形成する代わりに、被導電性部材をシート状ばね部
材に、塗布技術、印刷技術等により形成してもよいし、
ばね部材をシート状被導電性部材に、印刷技術、真空蒸
着技術等により形成してもよい。また、半球状の突起を
旗は半球状の突出部を有する突起を用いる代わりに、円
柱形、角柱形、円錐形、角錐形等、他の形状の突起を用
いてもよい。
【００３９】ばね部材２６は、プローブユニットを試験
用ヘッドに組み立てた状態において、少なくともプロー
ブ領域３４の先端からプローブユニット取付体４２への
プローブユニットの取付部間で存在すればよい。それゆ
えに、非導電性部材の一方の面全体にばね部材が配置さ
れている場合、プローブユニットを試験用ヘッドに組み
立てる前にばね部材の不必要な部分を除去してもよい。
用ヘッドに組み立てた状態において、少なくともプロー
ブ領域３４の先端からプローブユニット取付体４２への
プローブユニットの取付部間で存在すればよい。それゆ
えに、非導電性部材の一方の面全体にばね部材が配置さ
れている場合、プローブユニットを試験用ヘッドに組み
立てる前にばね部材の不必要な部分を除去してもよい。
【００４０】しかし、ばね部材の不必要な個所を除去し
なくてもよい。また、プローブユニットの長さ寸法をプ
ローブ領域３４の先端からプローブユニット取付体４２
へのプローブユニットの取付部位まで程度とし、試験用
ヘッドに組み立てるときに、フレキシブルフラットケー
ブルをプローブユニットに電気的および機械的に接続し
てもよい。さらに、ばね部材の大きさをプローブユニッ
トの製作の段階から最小必要限度の大きさとしてもよ
い。
なくてもよい。また、プローブユニットの長さ寸法をプ
ローブ領域３４の先端からプローブユニット取付体４２
へのプローブユニットの取付部位まで程度とし、試験用
ヘッドに組み立てるときに、フレキシブルフラットケー
ブルをプローブユニットに電気的および機械的に接続し
てもよい。さらに、ばね部材の大きさをプローブユニッ
トの製作の段階から最小必要限度の大きさとしてもよ
い。
【００４１】本発明は、上記実施例に限定されない。た
とえば、本発明は、集積回路の試験に用いるプローブユ
ニットのみならず、液晶表示パネルのような他の平板状
被検査体の検査に用いるプローブユニットにも適用する
ことができるし、複数のプローブユニットを１つの試験
用ヘッドに用いるプローブユニットのみならず、１つの
プローブユニットを１つの試験用ヘッドに用いるプロー
ブユニットにも適用することができる。
とえば、本発明は、集積回路の試験に用いるプローブユ
ニットのみならず、液晶表示パネルのような他の平板状
被検査体の検査に用いるプローブユニットにも適用する
ことができるし、複数のプローブユニットを１つの試験
用ヘッドに用いるプローブユニットのみならず、１つの
プローブユニットを１つの試験用ヘッドに用いるプロー
ブユニットにも適用することができる。
【図１】本発明のプローブユニットの一実施例を示す斜
視図である。
視図である。
【図２】図１に示すプローブユニットの正面図である。
【図３】図１に示すプローブユニットを用いた試験用ヘ
ッドの一実施例を示す底面図である。
ッドの一実施例を示す底面図である。
【図４】図３における４−４線に沿って得た断面図であ
る。
る。
【図５】本発明のプローブユニットの他の実施例におけ
るプローブ領域の他の実施例を示す縦断面図である。
るプローブ領域の他の実施例を示す縦断面図である。
【図６】図５における６−６線に沿って得た断面図であ
る。
る。
２０，５０ プローブユニット ２２ シート状の非導電性部材 ２４ 配線パターン ２６ シート状のばね部材 ２８ スリット ３０ 配線部 ３２ 導電体部 ３４ プローブ領域 ３６ 突出部 ４０ 試験用ヘッド
Claims (4)
- 【請求項１】 シート状の非導電性部材と、該非導電性
部材の一方の面に間隔をおいて形成された細長い複数の
配線部を備える配線パターンと、前記非導電性部材の他
方の面にあって少なくとも前記配線部の一端部に対応す
る部位に配置されたシート状のばね部材と、１以上の配
線部を含む細長い複数のプローブ領域を形成する複数の
スリットであって前記非導電性部材を除きかつ少なくと
も前記ばね部材に形成された複数のスリットと、前記各
配線部の一端部から突出する突起とを含む、平板状被検
査体試験用プローブユニット。 - 【請求項２】 前記配線パターンは、さらに、隣り合う
前記配線部の間を該配線部の伸長方向へ伸びる細長い導
電体部であって前記非導電性部材に形成された導電体部
を含む、請求項１に記載のプローブユニット。 - 【請求項３】 細長い複数のプローブ領域を形成する複
数のスリットをシート状のばね部材に形成し、該ばね部
材とシート状の非導電性部材とを前記ばね部材が前記非
導電性部材の一方の面に固定された状態に配置し、隣り
合うスリット間に対応する部位を該スリットの長手方向
へ伸びる複数の配線部を有する配線パターンを前記非導
電性部材の他方の面に形成し、前記配線部の一端部から
前記ばね部材と反対の側に突出する突起を各配線部に形
成することを含む、平板状被検査体試験用プローブユニ
ットの製造方法。 - 【請求項４】 さらに、隣り合う配線部の間を該配線部
の伸長方向へ伸びる導電体部を前記非導電性部材に前記
配線パターンとともに形成することを含む、請求項４に
記載の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10077697A JPH10282143A (ja) | 1997-04-04 | 1997-04-04 | 平板状被検査体試験用プローブユニットおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10077697A JPH10282143A (ja) | 1997-04-04 | 1997-04-04 | 平板状被検査体試験用プローブユニットおよびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10282143A true JPH10282143A (ja) | 1998-10-23 |
| JPH10282143A5 JPH10282143A5 (ja) | 2005-01-20 |
Family
ID=14282890
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10077697A Pending JPH10282143A (ja) | 1997-04-04 | 1997-04-04 | 平板状被検査体試験用プローブユニットおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10282143A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001249144A (ja) * | 1999-12-28 | 2001-09-14 | Mitsubishi Materials Corp | コンタクトプローブ、プローブ装置及びコンタクトプローブ製造方法 |
| JP2006226829A (ja) * | 2005-02-17 | 2006-08-31 | Yamaha Corp | プローブヘッド及び電子デバイスの検査方法 |
| JP2013186002A (ja) * | 2012-03-08 | 2013-09-19 | Micronics Japan Co Ltd | 電気的接触子 |
-
1997
- 1997-04-04 JP JP10077697A patent/JPH10282143A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001249144A (ja) * | 1999-12-28 | 2001-09-14 | Mitsubishi Materials Corp | コンタクトプローブ、プローブ装置及びコンタクトプローブ製造方法 |
| JP2006226829A (ja) * | 2005-02-17 | 2006-08-31 | Yamaha Corp | プローブヘッド及び電子デバイスの検査方法 |
| JP2013186002A (ja) * | 2012-03-08 | 2013-09-19 | Micronics Japan Co Ltd | 電気的接触子 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060303 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20060620 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060721 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061219 |