JPH10282426A - レーザ顕微鏡 - Google Patents
レーザ顕微鏡Info
- Publication number
- JPH10282426A JPH10282426A JP9098181A JP9818197A JPH10282426A JP H10282426 A JPH10282426 A JP H10282426A JP 9098181 A JP9098181 A JP 9098181A JP 9818197 A JP9818197 A JP 9818197A JP H10282426 A JPH10282426 A JP H10282426A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- light
- amount
- filter
- laser light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 煩雑な操作を必要とせずに複数のレーザ光の
それぞれを適正光量にすることができるとともに、複数
のレーザ光の出力バランスを適正にすることができ、し
かも安価なレーザ顕微鏡を提供する． 【解決手段】 互いに波長が異なる複数のレーザ光を出
射する少なくとも１つの光源１０と、レーザ光の適正光
量に関するデータを記憶するＲＯＭ４１と、複数のレー
ザ光の各々の光量を個別に調整可能なＮＤフィルタ１
２，２１と、複数のレーザ光のうちの少なくとも１つの
レーザ光の光量を検出するためのシャッタ２３，３２、
ダイクロイックミラー３１、平行平面ガラス３３及びＳ
ＰＤ３４とを備えたレーザ顕微鏡において、ＣＰＵ４０
がＳＰＤ３４から得られる検出信号に基づいて、複数の
レーザ光の各々の光量がＲＯＭ４１に記憶された適正光
量となるように、ＮＤフィルタ１２，２１を制御する。
それぞれを適正光量にすることができるとともに、複数
のレーザ光の出力バランスを適正にすることができ、し
かも安価なレーザ顕微鏡を提供する． 【解決手段】 互いに波長が異なる複数のレーザ光を出
射する少なくとも１つの光源１０と、レーザ光の適正光
量に関するデータを記憶するＲＯＭ４１と、複数のレー
ザ光の各々の光量を個別に調整可能なＮＤフィルタ１
２，２１と、複数のレーザ光のうちの少なくとも１つの
レーザ光の光量を検出するためのシャッタ２３，３２、
ダイクロイックミラー３１、平行平面ガラス３３及びＳ
ＰＤ３４とを備えたレーザ顕微鏡において、ＣＰＵ４０
がＳＰＤ３４から得られる検出信号に基づいて、複数の
レーザ光の各々の光量がＲＯＭ４１に記憶された適正光
量となるように、ＮＤフィルタ１２，２１を制御する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はレーザ顕微鏡に関
し、特に常に適正な光量で観察を行うことができるレー
ザ顕微鏡に関する。
し、特に常に適正な光量で観察を行うことができるレー
ザ顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来のレーザ顕微鏡のレーザ光の
調光方法を説明するブロック構成図である。
調光方法を説明するブロック構成図である。
【０００３】このレーザ顕微鏡は、互いに波長が異なる
複数のレーザ光を射出するレーザ光源１１０と、このレ
ーザ光源１１０の前側に配置された励起フィルタ１１１
と、レーザ光源１１０から射出されたレーザ光を反射す
る全反射ミラー１１２と、レーザ光の光量を検出するシ
リコン・フォト・ダイオード（以下ＳＰＤと称する）１
１３と、このＳＰＤ１１３へレーザ光を導く平行平面ガ
ラス１１４と、この平行平面ガラス１１４と全反射ミラ
ー１１２との間の光路Ｌ上に配置されたＮＤフィルタ１
１５と、このＮＤフィルタ１１５と平行平面ガラス１１
４との光路Ｌ上に開閉可能に配置されたシャッタ１１６
と、ＳＰＤ１１３の受光出力を増幅するアンプ１１７
と、その出力をＡ／Ｄ変換によってデジタル化するＡ／
Ｄ変換器１１８と、演算等の処理を行うＣＰＵ１４０
と、ＣＰＵ１４０で処理された結果等を表示する光量モ
ニタ１４３とを備える。
複数のレーザ光を射出するレーザ光源１１０と、このレ
ーザ光源１１０の前側に配置された励起フィルタ１１１
と、レーザ光源１１０から射出されたレーザ光を反射す
る全反射ミラー１１２と、レーザ光の光量を検出するシ
リコン・フォト・ダイオード（以下ＳＰＤと称する）１
１３と、このＳＰＤ１１３へレーザ光を導く平行平面ガ
ラス１１４と、この平行平面ガラス１１４と全反射ミラ
ー１１２との間の光路Ｌ上に配置されたＮＤフィルタ１
１５と、このＮＤフィルタ１１５と平行平面ガラス１１
４との光路Ｌ上に開閉可能に配置されたシャッタ１１６
と、ＳＰＤ１１３の受光出力を増幅するアンプ１１７
と、その出力をＡ／Ｄ変換によってデジタル化するＡ／
Ｄ変換器１１８と、演算等の処理を行うＣＰＵ１４０
と、ＣＰＵ１４０で処理された結果等を表示する光量モ
ニタ１４３とを備える。
【０００４】図４は従来の他のレーザ顕微鏡のレーザ光
の調光方法を説明するブロック構成図であり、図３のレ
ーザ顕微鏡と同一部分には同一符号を付す。
の調光方法を説明するブロック構成図であり、図３のレ
ーザ顕微鏡と同一部分には同一符号を付す。
【０００５】このレーザ顕微鏡は、互いに波長が異なる
複数のレーザ光を射出するレーザ光源１１０と、このレ
ーザ光源１１０の前側に配置された励起フィルタ１１１
と、レーザ光源１１０とは異なる波長のレーザ光を出射
するレーザ光源１２０と、レーザ光源１２０から射出さ
れたレーザ光を反射する全反射ミラー１２１と、レーザ
光源１１０から出射されたレーザ光を反射し、レーザ光
源１２０から出射されたレーザ光を透過するダイクロイ
ックミラー１２２と、励起フィルタ１１１とダイクロイ
ックミラー１２２との間の光路上に矢印ａで示すように
挿入可能に配置されたＮＤフィルタ１２３と、レーザ光
の光量を検出するＳＰＤ１１３と、このＳＰＤ１１３へ
レーザ光を導く平行平面ガラス１１４と、この平行平面
ガラス１１４とダイクロイックミラー１２２との間の光
路上に配置されたＮＤフィルタ１１５と、このＮＤフィ
ルタ１１５と平行平面ガラス１１４との光路上に開閉可
能に配置されたシャッタ１１６と、ＳＰＤ１１３の受光
出力を増幅するアンプ１１７と、その出力をＡ／Ｄ変換
によってデジタル化するＡ／Ｄ変換器１１８と、演算等
の処理を行うＣＰＵ１４０と、ＣＰＵ１４０で処理され
た結果を表示する光量モニタ１４３とを備える。
複数のレーザ光を射出するレーザ光源１１０と、このレ
ーザ光源１１０の前側に配置された励起フィルタ１１１
と、レーザ光源１１０とは異なる波長のレーザ光を出射
するレーザ光源１２０と、レーザ光源１２０から射出さ
れたレーザ光を反射する全反射ミラー１２１と、レーザ
光源１１０から出射されたレーザ光を反射し、レーザ光
源１２０から出射されたレーザ光を透過するダイクロイ
ックミラー１２２と、励起フィルタ１１１とダイクロイ
ックミラー１２２との間の光路上に矢印ａで示すように
挿入可能に配置されたＮＤフィルタ１２３と、レーザ光
の光量を検出するＳＰＤ１１３と、このＳＰＤ１１３へ
レーザ光を導く平行平面ガラス１１４と、この平行平面
ガラス１１４とダイクロイックミラー１２２との間の光
路上に配置されたＮＤフィルタ１１５と、このＮＤフィ
ルタ１１５と平行平面ガラス１１４との光路上に開閉可
能に配置されたシャッタ１１６と、ＳＰＤ１１３の受光
出力を増幅するアンプ１１７と、その出力をＡ／Ｄ変換
によってデジタル化するＡ／Ｄ変換器１１８と、演算等
の処理を行うＣＰＵ１４０と、ＣＰＵ１４０で処理され
た結果を表示する光量モニタ１４３とを備える。
【０００６】上記いずれのレーザ顕微鏡においても、Ｓ
ＰＤ１１３で検出された光量をモニタ１４３に表示し、
この光量に基づいて光路内に配置された透過率固定又は
連続可変のＮＤフィルタ１１５で光量を調整することで
調光が行われる。
ＰＤ１１３で検出された光量をモニタ１４３に表示し、
この光量に基づいて光路内に配置された透過率固定又は
連続可変のＮＤフィルタ１１５で光量を調整することで
調光が行われる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図３のレーザ
顕微鏡の場合、光量モニタ１４３に表示された値を基に
レーザ光を変える度にＮＤフィルタ１１５を操作しなけ
ればならず、レーザ光の調光は手間のかかる煩わしいも
のであった。
顕微鏡の場合、光量モニタ１４３に表示された値を基に
レーザ光を変える度にＮＤフィルタ１１５を操作しなけ
ればならず、レーザ光の調光は手間のかかる煩わしいも
のであった。
【０００８】また、図３のレーザ顕微鏡のように複数の
光源を用いて多重励起を行う場合、１つのＮＤフィルタ
１１５及び１つの光量モニタ１４３を用いて調光を行っ
ているので、各レーザ光源１１０，１２０から出射され
た波長の異なる励起光が同じＮＤフィルタ１１５で調光
されることになる。
光源を用いて多重励起を行う場合、１つのＮＤフィルタ
１１５及び１つの光量モニタ１４３を用いて調光を行っ
ているので、各レーザ光源１１０，１２０から出射され
た波長の異なる励起光が同じＮＤフィルタ１１５で調光
されることになる。
【０００９】したがって、レーザ光の出射出力がかなり
異なるレーザ光の組合せの場合には、各レーザ光の出射
出力の差に応じて、例えばディスクリートＮＤフィルタ
１２３を出射出力の大きなレーザ光源の光路上に挿入し
て各レーザ光の出力バランスをとる必要がある。
異なるレーザ光の組合せの場合には、各レーザ光の出射
出力の差に応じて、例えばディスクリートＮＤフィルタ
１２３を出射出力の大きなレーザ光源の光路上に挿入し
て各レーザ光の出力バランスをとる必要がある。
【００１０】また、長期間の使用によってレーザ光源１
１０，１２０の出力が落ちてきた場合には、光の透過強
度の異なる別のＮＤフィルタ１２３を用い、適正光量が
得られるようにする。
１０，１２０の出力が落ちてきた場合には、光の透過強
度の異なる別のＮＤフィルタ１２３を用い、適正光量が
得られるようにする。
【００１１】そのため、複数のレーザ光源を用いて多重
励起を行う場合、レーザ光の調光はやはり手間のかかる
煩わしいものであった。
励起を行う場合、レーザ光の調光はやはり手間のかかる
煩わしいものであった。
【００１２】これに対し、レーザ光源毎にＳＰＤ１１３
や光量モニタ１４３を設けて対処することもできるが、
光路が複雑化するととともに、顕微鏡が大型化し高価に
なってしまう。
や光量モニタ１４３を設けて対処することもできるが、
光路が複雑化するととともに、顕微鏡が大型化し高価に
なってしまう。
【００１３】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題は煩雑な操作を必要とせずに複数の
レーザ光のそれぞれを適正光量にすることができるとと
もに、複数のレーザ光の出力バランスを適正にすること
ができ、しかも安価なレーザ顕微鏡を提供することであ
る。
たもので、その課題は煩雑な操作を必要とせずに複数の
レーザ光のそれぞれを適正光量にすることができるとと
もに、複数のレーザ光の出力バランスを適正にすること
ができ、しかも安価なレーザ顕微鏡を提供することであ
る。
【００１４】
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め請求項１記載の発明のレーザ顕微鏡は、互いに波長が
異なる複数のレーザ光を出射する少なくとも１つの光源
と、レーザ光の適正光量に関するデータを記憶する記憶
手段と、複数のレーザ光の各々の光量を個別に調整可能
な調整手段と、複数のレーザ光のうちの少なくとも１つ
のレーザ光の光量を検出するための検出手段と、検出手
段から得られる検出信号に基づいて、複数のレーザ光の
各々の光量が記憶手段に記憶された適正光量となるよう
に、調整手段を制御する制御手段とを備えることを特徴
とする。
め請求項１記載の発明のレーザ顕微鏡は、互いに波長が
異なる複数のレーザ光を出射する少なくとも１つの光源
と、レーザ光の適正光量に関するデータを記憶する記憶
手段と、複数のレーザ光の各々の光量を個別に調整可能
な調整手段と、複数のレーザ光のうちの少なくとも１つ
のレーザ光の光量を検出するための検出手段と、検出手
段から得られる検出信号に基づいて、複数のレーザ光の
各々の光量が記憶手段に記憶された適正光量となるよう
に、調整手段を制御する制御手段とを備えることを特徴
とする。
【００１５】検出手段から得られる検出信号に基づい
て、複数のレーザ光の各々の光量が記憶手段に記憶され
た適正光量となるように、調整手段が制御されるので、
複数のレーザ光の多重励起を行う場合、煩雑な操作を必
要とせずに各レーザ光を適正光量にすることができると
ともに、複数のレーザ光の出力バランスを適正にするこ
とができる。
て、複数のレーザ光の各々の光量が記憶手段に記憶され
た適正光量となるように、調整手段が制御されるので、
複数のレーザ光の多重励起を行う場合、煩雑な操作を必
要とせずに各レーザ光を適正光量にすることができると
ともに、複数のレーザ光の出力バランスを適正にするこ
とができる。
【００１６】請求項２記載の発明のレーザ顕微鏡は、請
求項１記載のレーザ顕微鏡において、複数のレーザ光が
それぞれ単独で通過する複数の分割光路と、複数の分割
光路のレーザ光の全てが合成されて通過する主光路とを
備え、複数の分割光路の全て又は１つを除いた光路には
遮光手段が配置され、主光路には主光路を通過するレー
ザ光の光量を検出する１つの検出器が配置されているこ
とを特徴とする。
求項１記載のレーザ顕微鏡において、複数のレーザ光が
それぞれ単独で通過する複数の分割光路と、複数の分割
光路のレーザ光の全てが合成されて通過する主光路とを
備え、複数の分割光路の全て又は１つを除いた光路には
遮光手段が配置され、主光路には主光路を通過するレー
ザ光の光量を検出する１つの検出器が配置されているこ
とを特徴とする。
【００１７】１つの検出器によって主光路を通過するレ
ーザ光の光量を検出するので、光路の簡略化を図ること
ができる。したがって、顕微鏡の小型化やコストダウン
を図ることができる。
ーザ光の光量を検出するので、光路の簡略化を図ること
ができる。したがって、顕微鏡の小型化やコストダウン
を図ることができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて説明する。
面に基づいて説明する。
【００１９】図１はこの発明の第１実施形態に係るレー
ザ顕微鏡のレーザ光の調光方法を説明するブロック構成
図である。
ザ顕微鏡のレーザ光の調光方法を説明するブロック構成
図である。
【００２０】このレーザ顕微鏡１は、レーザ光源１０
と、励起フィルタ１１と、ＮＤフィルタ（調整手段）１
２と、レーザ光源２０と、ＮＤフィルタ（調整手段）２
１と、全反射ミラー２２と、シャッタ２３と、ダイクロ
イックミラー３１と、シャッタ３２と、平行平面ガラス
３３と、シリコンフォトダイオード（受光手段）３４
（以下「ＳＰＤ」と記す）と、アンプ３５と、Ａ／Ｄ変
換器３６と、ＣＰＵ（制御手段）４０と、ＲＯＭ（記憶
手段）４１と、ＲＡＭ４２と、光量モニタ４３とを備え
る。シャッタ２３と、ダイクロイックミラー３１と、シ
ャッタ３２と、平行平面ガラス３３と、ＳＰＤ３４とで
検出手段が構成される。
と、励起フィルタ１１と、ＮＤフィルタ（調整手段）１
２と、レーザ光源２０と、ＮＤフィルタ（調整手段）２
１と、全反射ミラー２２と、シャッタ２３と、ダイクロ
イックミラー３１と、シャッタ３２と、平行平面ガラス
３３と、シリコンフォトダイオード（受光手段）３４
（以下「ＳＰＤ」と記す）と、アンプ３５と、Ａ／Ｄ変
換器３６と、ＣＰＵ（制御手段）４０と、ＲＯＭ（記憶
手段）４１と、ＲＡＭ４２と、光量モニタ４３とを備え
る。シャッタ２３と、ダイクロイックミラー３１と、シ
ャッタ３２と、平行平面ガラス３３と、ＳＰＤ３４とで
検出手段が構成される。
【００２１】レーザ光源１０として、可視光レーザの中
で最も出力が大きく、青色、緑色を中心とした複数の波
長のレーザ光を発振できるＡｒレーザを用いる。ここで
は、波長λが４８８ｎｍ及び５１４ｎｍの２つの波長の
レーザ光を出射する空冷Ａｒレーザを用いる。
で最も出力が大きく、青色、緑色を中心とした複数の波
長のレーザ光を発振できるＡｒレーザを用いる。ここで
は、波長λが４８８ｎｍ及び５１４ｎｍの２つの波長の
レーザ光を出射する空冷Ａｒレーザを用いる。
【００２２】励起フィルタ１１は円盤状の励起フィルタ
ホイール１１Ａに配置され、この励起フィルタホイール
１１Ａをモータ１３によって回転させることで、分割光
路Ｌ１上に励起フィルタ１１を位置させることができ
る。
ホイール１１Ａに配置され、この励起フィルタホイール
１１Ａをモータ１３によって回転させることで、分割光
路Ｌ１上に励起フィルタ１１を位置させることができ
る。
【００２３】励起フィルタホイール１１Ａは遮光材でで
きており、励起フィルタ１１を通る光だけを透過させ
る。モータ１３の駆動はＣＰＵ４０によって制御され
る。励起フィルタ１１は、例えば波長λが４８８ｎｍ及
び５１４ｎｍの光だけを透過させる特性を有する。
きており、励起フィルタ１１を通る光だけを透過させ
る。モータ１３の駆動はＣＰＵ４０によって制御され
る。励起フィルタ１１は、例えば波長λが４８８ｎｍ及
び５１４ｎｍの光だけを透過させる特性を有する。
【００２４】ＮＤフィルタ１２は透過する光の減衰を目
的とするものである。このＮＤフィルタ１２として、モ
ータ１４を用いて光の透過位置を変化させることによっ
て透過率を変えることができる、透過率可変のものを用
いる。
的とするものである。このＮＤフィルタ１２として、モ
ータ１４を用いて光の透過位置を変化させることによっ
て透過率を変えることができる、透過率可変のものを用
いる。
【００２５】レーザ光源２０にＨｅ−Ｎｅレーザを用
い、波長λが５４３．５ｎｍの光を出射する。
い、波長λが５４３．５ｎｍの光を出射する。
【００２６】ＮＤフィルタ２１はＮＤフィルタ１２と同
じ構成とし、このＮＤフィルタ２１の光の透過位置をモ
ータ２４を用いて可変とする。
じ構成とし、このＮＤフィルタ２１の光の透過位置をモ
ータ２４を用いて可変とする。
【００２７】なお、モータ１４，２４の駆動はＣＰＵ４
０からの指令によって制御される。
０からの指令によって制御される。
【００２８】シャッタ２３はＨｅ−Ｎｅレーザの分割光
路Ｌ２中に配置され、モータ２５によって開閉される。
路Ｌ２中に配置され、モータ２５によって開閉される。
【００２９】また、シャッタ３２はＡｒレーザ及びＨｅ
−Ｎｅレーザの主光路Ｌ３中に配置され、モータ３７に
よって開閉される。
−Ｎｅレーザの主光路Ｌ３中に配置され、モータ３７に
よって開閉される。
【００３０】なお、モータ２５及びモータ３７のそれぞ
れの駆動はＣＰＵ４０からの指令によって制御される。
れの駆動はＣＰＵ４０からの指令によって制御される。
【００３１】全反射ミラー２２はレーザ光源２０から出
射されたＨｅ−Ｎｅレーザを反射させ、ダイクロイック
ミラー３１はレーザ光源２０から出射されたＨｅ−Ｎｅ
レーザを透過し、レーザ光源１０から出射されたＡｒレ
ーザを反射させる。
射されたＨｅ−Ｎｅレーザを反射させ、ダイクロイック
ミラー３１はレーザ光源２０から出射されたＨｅ−Ｎｅ
レーザを透過し、レーザ光源１０から出射されたＡｒレ
ーザを反射させる。
【００３２】平行平面ガラス３３は主光路Ｌ３中に配置
され、レーザ光を反射する。
され、レーザ光を反射する。
【００３３】ＳＰＤ３４は平行平面ガラス３３で反射さ
れたレーザ光を受光し、受光量に相当する電気信号に変
換し出力する。
れたレーザ光を受光し、受光量に相当する電気信号に変
換し出力する。
【００３４】アンプ３５はこの電気信号を増幅し、Ａ／
Ｄ変換器３６はアンプ３５の出力信号をデジタル信号に
変換する。
Ｄ変換器３６はアンプ３５の出力信号をデジタル信号に
変換する。
【００３５】ＲＯＭ４１には複数のレーザ光の光量バラ
ンスや試料に対する個々のレーザ光の適正光量ａ，ｂに
関するデータ等が記憶されている。
ンスや試料に対する個々のレーザ光の適正光量ａ，ｂに
関するデータ等が記憶されている。
【００３６】ＣＰＵ４０はＡ／Ｄ変換器３６、ＲＯＭ４
１及びＲＡＭ４２に基づいて後述する演算処理等を行
う。
１及びＲＡＭ４２に基づいて後述する演算処理等を行
う。
【００３７】次に上記レーザ顕微鏡の光量調整時の動作
を説明する。
を説明する。
【００３８】まず、画像を取得する前に、シャッタ３２
を閉じて主光路Ｌ３を遮断し、ＳＰＤ３４の零点調整を
行う。
を閉じて主光路Ｌ３を遮断し、ＳＰＤ３４の零点調整を
行う。
【００３９】次に、例えば励起フィルタホイール１１Ａ
を回転させて励起フィルタ１１を閉じるとともに、シャ
ッタ２３及びシャッタ３２をそれぞれ開き、レーザ光源
２０から出射され、分割光路Ｌ２及び主光路Ｌ３を通る
Ｈｅ−Ｎｅレーザ光だけをＳＰＤ３４で受光する。
を回転させて励起フィルタ１１を閉じるとともに、シャ
ッタ２３及びシャッタ３２をそれぞれ開き、レーザ光源
２０から出射され、分割光路Ｌ２及び主光路Ｌ３を通る
Ｈｅ−Ｎｅレーザ光だけをＳＰＤ３４で受光する。
【００４０】このとき、光量が適正光量ａとなるように
モータ２４を駆動してＮＤフィルタ２１を動かし、レー
ザ光源２０の調光を行なう。適正光量ａはオペレータが
図示しない入力装置から入力しておいてもよいし、ＲＯ
Ｍ４１やデータベース（図示せず）に登録してある過去
の実験データから呼出してもよい。
モータ２４を駆動してＮＤフィルタ２１を動かし、レー
ザ光源２０の調光を行なう。適正光量ａはオペレータが
図示しない入力装置から入力しておいてもよいし、ＲＯ
Ｍ４１やデータベース（図示せず）に登録してある過去
の実験データから呼出してもよい。
【００４１】調光後の光量ａをＨｅ−Ｎｅレーザ光の出
力としてＲＡＭ４２に記憶する。
力としてＲＡＭ４２に記憶する。
【００４２】次に、励起フィルタホイール１１Ａを回転
させて励起フィルタ１１を光路上に挿入し、光源１０か
ら出射されたＡｒレーザ光も分割光路Ｌ１及び主光路Ｌ
３を通りＳＰＤ３４で受光できるようにする。
させて励起フィルタ１１を光路上に挿入し、光源１０か
ら出射されたＡｒレーザ光も分割光路Ｌ１及び主光路Ｌ
３を通りＳＰＤ３４で受光できるようにする。
【００４３】そのため、ＳＰＤ３４ではＨｅ−Ｎｅレー
ザ光とＡｒレーザ光とを合成した光量ｃが検出される。
ザ光とＡｒレーザ光とを合成した光量ｃが検出される。
【００４４】ＣＰＵ４０では、ＳＰＤ３４で受光した光
量ｃからＨｅ−Ｎｅレーザの光量ａを減算してＡｒレー
ザの光量を求め、適正光量ｂとなるようにモータ１４を
駆動してＮＤフィルタ１２を動かし、適正光量ｂをＲＡ
Ｍ４２に記憶させるとともに、光量モニタ４３に表示さ
せる。
量ｃからＨｅ−Ｎｅレーザの光量ａを減算してＡｒレー
ザの光量を求め、適正光量ｂとなるようにモータ１４を
駆動してＮＤフィルタ１２を動かし、適正光量ｂをＲＡ
Ｍ４２に記憶させるとともに、光量モニタ４３に表示さ
せる。
【００４５】その後、光量を変えたい場合には、ＮＤフ
ィルタを片方ずつ駆動し、その都度光量ｃの増減から駆
動させたＮＤフィルタに対応する光量を演算し、演算結
果をＲＡＭ４２に記憶させるとともに、光量モニタ４３
に表示する。
ィルタを片方ずつ駆動し、その都度光量ｃの増減から駆
動させたＮＤフィルタに対応する光量を演算し、演算結
果をＲＡＭ４２に記憶させるとともに、光量モニタ４３
に表示する。
【００４６】この実施形態によれば、１つのＳＰＤ３４
と１つの光量モニタ４３で複数のレーザ光の調光を自動
的に行うことができるので、レーザ出力が大きく異なる
ときでもＮＤフィルタの交換等の煩雑な操作を必要とせ
ずにレーザ光を適正光量とすることができるとともに、
レーザ光の出力バランスを適正にすることができ、同時
に光路を簡素化でき、顕微鏡を小型化して安価とするこ
とができる。
と１つの光量モニタ４３で複数のレーザ光の調光を自動
的に行うことができるので、レーザ出力が大きく異なる
ときでもＮＤフィルタの交換等の煩雑な操作を必要とせ
ずにレーザ光を適正光量とすることができるとともに、
レーザ光の出力バランスを適正にすることができ、同時
に光路を簡素化でき、顕微鏡を小型化して安価とするこ
とができる。
【００４７】なお、調光は上記方法に限定されるもので
はなく、まずシャッタ２３を閉じてレーザ光源１０の調
光を行い、次に励起フィルタ１１を閉じるとともに、シ
ャッタ２３を開けてレーザ光源２０の調光を行うように
してもよい。
はなく、まずシャッタ２３を閉じてレーザ光源１０の調
光を行い、次に励起フィルタ１１を閉じるとともに、シ
ャッタ２３を開けてレーザ光源２０の調光を行うように
してもよい。
【００４８】上記第１実施形態ではレーザ光源が２つの
場合で説明したが、３つ以上の光源の場合においても適
用できる。また、制御手段としてはＣＰＵ４０でなく、
ＲＯＭ４１やＲＡＭ４２を含むマイコンであってもよ
い。
場合で説明したが、３つ以上の光源の場合においても適
用できる。また、制御手段としてはＣＰＵ４０でなく、
ＲＯＭ４１やＲＡＭ４２を含むマイコンであってもよ
い。
【００４９】図２はこの発明の第２実施形態に係るレー
ザ顕微鏡のレーザ光の調光方法を説明するブロック構成
図であり、図１のレーザ顕微鏡と同一部分については同
一符号を付しその説明を省略する。
ザ顕微鏡のレーザ光の調光方法を説明するブロック構成
図であり、図１のレーザ顕微鏡と同一部分については同
一符号を付しその説明を省略する。
【００５０】このレーザ顕微鏡５０は、レーザ光源６０
と、励起フィルタ６１と、ダイクロイックミラー６２，
６３と、ＮＤフィルタ（調整手段）６４，６５と、シャ
ッタ６６，６７と、全反射ミラー６８，６９と、シャッ
タ３２と、平行平面ガラス３３と、ＳＰＤ（受光手段）
３４と、アンプ３５と、Ａ／Ｄ変換器３６と、ＣＰＵ
（制御手段）４０と、ＲＯＭ（記憶手段）４１と、ＲＡ
Ｍ４２と、光量モニタ４３とを備える。シャッタ６６，
６７と、ダイクロイックミラー６２，６３と、シャッタ
３２と、平行平面ガラス３３と、ＳＰＤ３４とで検出手
段が構成される。
と、励起フィルタ６１と、ダイクロイックミラー６２，
６３と、ＮＤフィルタ（調整手段）６４，６５と、シャ
ッタ６６，６７と、全反射ミラー６８，６９と、シャッ
タ３２と、平行平面ガラス３３と、ＳＰＤ（受光手段）
３４と、アンプ３５と、Ａ／Ｄ変換器３６と、ＣＰＵ
（制御手段）４０と、ＲＯＭ（記憶手段）４１と、ＲＡ
Ｍ４２と、光量モニタ４３とを備える。シャッタ６６，
６７と、ダイクロイックミラー６２，６３と、シャッタ
３２と、平行平面ガラス３３と、ＳＰＤ３４とで検出手
段が構成される。
【００５１】レーザ光源６０は、複数の波長のレーザ光
を出射できる。このレーザ光源６０としては、例えば波
長λが４８８ｎｍ，５６８ｎｍ及び６４７ｎｍで光量の
ピークを有するレーザ光を出射するクリプトン・アルゴ
ンイオンレーザが用いられる。
を出射できる。このレーザ光源６０としては、例えば波
長λが４８８ｎｍ，５６８ｎｍ及び６４７ｎｍで光量の
ピークを有するレーザ光を出射するクリプトン・アルゴ
ンイオンレーザが用いられる。
【００５２】励起フィルタ６１はＣＰＵ４０によって制
御され、例えば波長λが４８８ｎｍ及び５６８ｎｍの光
だけを透過させる特性を有する。
御され、例えば波長λが４８８ｎｍ及び５６８ｎｍの光
だけを透過させる特性を有する。
【００５３】ダイクロイックミラー６２，６３は波長λ
＝４８８ｎｍのレーザ光を反射し、波長λ＝５６８ｎｍ
のレーザ光を透過させる。
＝４８８ｎｍのレーザ光を反射し、波長λ＝５６８ｎｍ
のレーザ光を透過させる。
【００５４】ＮＤフィルタ６４，６５は透過する光の減
衰を目的とするものである。このＮＤフィルタ６４、６
５として、モータ６４Ａ，６５Ａを用いて光の透過位置
を変化させることによって透過率を変えることができ
る、透過率可変のものを用いる。
衰を目的とするものである。このＮＤフィルタ６４、６
５として、モータ６４Ａ，６５Ａを用いて光の透過位置
を変化させることによって透過率を変えることができ
る、透過率可変のものを用いる。
【００５５】なお、モータ６４Ａ，６５Ａの駆動はＣＰ
Ｕ４０からの指令によって制御される。
Ｕ４０からの指令によって制御される。
【００５６】シャッタ６６はＮＤフィルタ６４とともに
波長λ＝５６８ｎｍのレーザ光が通る分割光路Ｌ５中に
配置され、モータ６６Ａによって開閉される。
波長λ＝５６８ｎｍのレーザ光が通る分割光路Ｌ５中に
配置され、モータ６６Ａによって開閉される。
【００５７】また、シャッタ６７はＮＤフィルタ６５と
ともに波長λ＝４８８ｎｍのレーザ光が通る分割光路Ｌ
４中に配置され、モータ６７Ａによって開閉される。
ともに波長λ＝４８８ｎｍのレーザ光が通る分割光路Ｌ
４中に配置され、モータ６７Ａによって開閉される。
【００５８】なお、モータ６６Ａ，６７Ａの駆動はＣＰ
Ｕ４０からの指令によって制御される。
Ｕ４０からの指令によって制御される。
【００５９】全反射ミラー６８，６９は分割光路Ｌ４中
に配置され、ダイクロイックミラー６２で反射された波
長λ＝４８８ｎｍのレーザ光をＮＤフィルタ６５及びシ
ャッタ６７を介してダイクロイックミラー６３へ導く。
に配置され、ダイクロイックミラー６２で反射された波
長λ＝４８８ｎｍのレーザ光をＮＤフィルタ６５及びシ
ャッタ６７を介してダイクロイックミラー６３へ導く。
【００６０】次に上記レーザ顕微鏡の光量調整時の動作
を説明する。
を説明する。
【００６１】まず、画像を取得する前に、シャッタ３２
を閉じて主光路Ｌ６を遮断し、ＳＰＤ（受光手段）３４
の零点調整を行う。
を閉じて主光路Ｌ６を遮断し、ＳＰＤ（受光手段）３４
の零点調整を行う。
【００６２】次に、例えばシャッタ６６を閉じるととも
に、シャッタ６７及びシャッタ３２をそれぞれ開き、分
割光路Ｌ４及び主光路Ｌ６を通る波長λ＝４８８ｎｍの
レーザ光だけをＳＰＤ３４で受光する。
に、シャッタ６７及びシャッタ３２をそれぞれ開き、分
割光路Ｌ４及び主光路Ｌ６を通る波長λ＝４８８ｎｍの
レーザ光だけをＳＰＤ３４で受光する。
【００６３】このとき、光量が適正光量ａとなるように
モータ６５Ａを駆動してＮＤフィルタ６５を動かし、調
光を行なう。適正光量ａはオペレータが図示しない入力
装置から入力しておいてもよいし、ＲＯＭ４１やデータ
ベース（図示せず）に登録してある過去の実験データか
ら呼出してもよい。
モータ６５Ａを駆動してＮＤフィルタ６５を動かし、調
光を行なう。適正光量ａはオペレータが図示しない入力
装置から入力しておいてもよいし、ＲＯＭ４１やデータ
ベース（図示せず）に登録してある過去の実験データか
ら呼出してもよい。
【００６４】調光後の光量ａを波長λ＝４８８ｎｍのレ
ーザ光の光量としてＲＡＭ４２に記憶させる。
ーザ光の光量としてＲＡＭ４２に記憶させる。
【００６５】次に、シャッタ６６を開き、波長λ＝５６
８ｎｍのレーザ光もＳＰＤ３４で受光できるようにす
る。
８ｎｍのレーザ光もＳＰＤ３４で受光できるようにす
る。
【００６６】そのため、ＳＰＤ３４ではＮＤフィルタ６
５で調光された波長λ＝４８８ｎｍのレーザ光とＮＤフ
ィルタ６４で調光された波長λ＝５６８ｎｍのレーザ光
とを合成した光量ｃが検出される。
５で調光された波長λ＝４８８ｎｍのレーザ光とＮＤフ
ィルタ６４で調光された波長λ＝５６８ｎｍのレーザ光
とを合成した光量ｃが検出される。
【００６７】ＣＰＵ４０では、ＳＰＤ３４で受光した光
量ｃから波長λ＝４８８ｎｍのレーザ光の光量ａを減算
して波長λ＝５６８ｎｍのレーザ光の光量を求め、適正
光量ｂとなるようにモータ６４Ａを駆動してＮＤフィル
タ６４を動かし、適正光量ｂをＲＡＭ４２に記憶すると
ともに、光量モニタ４３に表示する。
量ｃから波長λ＝４８８ｎｍのレーザ光の光量ａを減算
して波長λ＝５６８ｎｍのレーザ光の光量を求め、適正
光量ｂとなるようにモータ６４Ａを駆動してＮＤフィル
タ６４を動かし、適正光量ｂをＲＡＭ４２に記憶すると
ともに、光量モニタ４３に表示する。
【００６８】その後、光量を変えたい場合には、ＮＤフ
ィルタを片方づつ駆動し、その都度光量ｃの増減から駆
動させたＮＤフィルタに対応する光量を演算し、演算結
果をＲＡＭ４２に記憶させるとともに、光量モニタ４３
に表示する。
ィルタを片方づつ駆動し、その都度光量ｃの増減から駆
動させたＮＤフィルタに対応する光量を演算し、演算結
果をＲＡＭ４２に記憶させるとともに、光量モニタ４３
に表示する。
【００６９】この第２実施形態によれば、第１実施形態
と同様の効果を発揮できる。
と同様の効果を発揮できる。
【００７０】なお、この第２実施形態においても調光方
法は上記方法に限定されるものではなく、先ずシャッタ
６７を閉じるとともに、シャッタ６６を開けてて波長λ
＝５６８ｎｍのレーザ光の調光を行い、次にシャッタ６
６を閉じるとともに、シャッタ６７を開けて波長λ＝４
８８ｎｍのレーザ光の調光を行うようにしてもよい。
法は上記方法に限定されるものではなく、先ずシャッタ
６７を閉じるとともに、シャッタ６６を開けてて波長λ
＝５６８ｎｍのレーザ光の調光を行い、次にシャッタ６
６を閉じるとともに、シャッタ６７を開けて波長λ＝４
８８ｎｍのレーザ光の調光を行うようにしてもよい。
【００７１】上記第２実施形態では２つの波長のレーザ
光の場合で説明したが、３つ以上の波長の場合において
も同様に適用できる。また、制御手段としてはＣＰＵ４
０でなく、ＲＯＭ４１やＲＡＭ４２を含むマイコンであ
ってもよいことは第１実施形態と同様である。
光の場合で説明したが、３つ以上の波長の場合において
も同様に適用できる。また、制御手段としてはＣＰＵ４
０でなく、ＲＯＭ４１やＲＡＭ４２を含むマイコンであ
ってもよいことは第１実施形態と同様である。
【００７２】
【発明の効果】以上に説明したように請求項１記載の発
明のレーザ顕微鏡によれば、複数のレーザ光の多重励起
を行う場合、煩雑な操作を必要とせずに各レーザ光を適
正光量にすることができるとともに、複数のレーザ光の
出力バランスを適正にすることができる。そのため、常
に適正光量で観察を行うことができる。
明のレーザ顕微鏡によれば、複数のレーザ光の多重励起
を行う場合、煩雑な操作を必要とせずに各レーザ光を適
正光量にすることができるとともに、複数のレーザ光の
出力バランスを適正にすることができる。そのため、常
に適正光量で観察を行うことができる。
【００７３】請求項２記載の発明のレーザ顕微鏡によれ
ば、１つの検出器によって主光路を通過するレーザ光の
光量を検出するので、光路の簡略化を図ることができ
る。したがって、顕微鏡の小型化やコストダウンを図る
ことができる。
ば、１つの検出器によって主光路を通過するレーザ光の
光量を検出するので、光路の簡略化を図ることができ
る。したがって、顕微鏡の小型化やコストダウンを図る
ことができる。
【図１】図１はこの発明の第１実施形態に係るレーザ顕
微鏡のレーザ光の調光方法を説明するブロック構成図で
ある。
微鏡のレーザ光の調光方法を説明するブロック構成図で
ある。
【図２】図２はこの発明の第２実施形態に係るレーザ顕
微鏡のレーザ光の調光方法を説明するブロック構成図で
ある。
微鏡のレーザ光の調光方法を説明するブロック構成図で
ある。
【図３】図３は従来のレーザ顕微鏡のレーザ光の調光方
法を説明するブロック構成図である。
法を説明するブロック構成図である。
【図４】図４は従来の他のレーザ顕微鏡のレーザ光の調
光方法を説明するブロック構成図である。
光方法を説明するブロック構成図である。
１ レーザ顕微鏡 １０，２０ レーザ光源 １２，２１ ＮＤフィルタ（光量調節手段） ３４ ＳＰＤ（受光手段） ４０ ＣＰＵ（制御手段） ４１ ＲＯＭ（記憶手段） ４３ 光量モニタ（表示手段）
Claims (2)
- 【請求項１】 互いに波長が異なる複数のレーザ光を出
射する少なくとも１つの光源と、 前記レーザ光の適正光量に関するデータを記憶する記憶
手段と、 前記複数のレーザ光の各々の光量を個別に調整可能な調
整手段と、 前記複数のレーザ光のうちの少なくとも１つのレーザ光
の光量を検出するための検出手段と、 前記検出手段から得られる検出信号に基づいて、前記複
数のレーザ光の各々の光量が前記記憶手段に記憶された
前記適正光量となるように、前記調整手段を制御する制
御手段と、を備えることを特徴とするレーザ顕微鏡。 - 【請求項２】 前記複数のレーザ光がそれぞれ単独で通
過する複数の分割光路と、前記複数の分割光路のレーザ
光の全てが合成されて通過する主光路とを備え、 前記複数の分割光路の全て又は１つを除いた光路には遮
光手段が配置され、前記主光路には前記主光路を通過す
るレーザ光の光量を検出する１つの検出器が配置されて
いることを特徴とする請求項１記載のレーザ顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9098181A JPH10282426A (ja) | 1997-04-01 | 1997-04-01 | レーザ顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9098181A JPH10282426A (ja) | 1997-04-01 | 1997-04-01 | レーザ顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10282426A true JPH10282426A (ja) | 1998-10-23 |
Family
ID=14212861
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9098181A Withdrawn JPH10282426A (ja) | 1997-04-01 | 1997-04-01 | レーザ顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10282426A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003021784A (ja) * | 2001-07-06 | 2003-01-24 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型レーザー顕微鏡及びその画像取得方法 |
| JP2005031678A (ja) * | 2003-07-11 | 2005-02-03 | Carl Zeiss Jena Gmbh | レーザ走査型顕微鏡における照明光線を捕捉するための配置およびその方法 |
| JP2006503283A (ja) * | 2002-10-16 | 2006-01-26 | パーキンエルマー・シンガポール・プライベート・リミテッド | 画像化に関する改善 |
| JP2008175884A (ja) * | 2007-01-16 | 2008-07-31 | Olympus Corp | レーザ顕微鏡 |
-
1997
- 1997-04-01 JP JP9098181A patent/JPH10282426A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003021784A (ja) * | 2001-07-06 | 2003-01-24 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型レーザー顕微鏡及びその画像取得方法 |
| JP2006503283A (ja) * | 2002-10-16 | 2006-01-26 | パーキンエルマー・シンガポール・プライベート・リミテッド | 画像化に関する改善 |
| JP4829499B2 (ja) * | 2002-10-16 | 2011-12-07 | パーキンエルマー・シンガポール・プライベート・リミテッド | 画像化に関する改善 |
| US8289620B2 (en) | 2002-10-16 | 2012-10-16 | Perkinelmer Singapore Pte Ltd. | Imaging |
| JP2005031678A (ja) * | 2003-07-11 | 2005-02-03 | Carl Zeiss Jena Gmbh | レーザ走査型顕微鏡における照明光線を捕捉するための配置およびその方法 |
| JP2008175884A (ja) * | 2007-01-16 | 2008-07-31 | Olympus Corp | レーザ顕微鏡 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4821117A (en) | Endoscopic system for producing fluorescent and visible images | |
| US6943944B2 (en) | Laser microscope and laser pulse width control method | |
| EP2567281B1 (en) | Tunable multiple laser pulse scanning microscope and method of operating the same | |
| Wolf | Designing, building, and using a fluorescence recovery after photobleaching instrument | |
| US6848825B1 (en) | Laser scanning microscope with AOTF | |
| JP2009145242A (ja) | 光測定装置 | |
| JP2000056228A (ja) | レ―ザ走査顕微鏡に使用される波長別検出のためのシステムおよび画像記録方法 | |
| JP4854879B2 (ja) | 走査型レーザー顕微鏡及びその画像取得方法 | |
| US7428104B2 (en) | Optical device for the combination of light beams | |
| JPH11231222A (ja) | 走査ユニット付顕微鏡、そのための配置および操作方法 | |
| JPH11149045A (ja) | 組込み短パルスレーザをもつハイコンパクトレーザ走査型顕微鏡 | |
| JPH10282426A (ja) | レーザ顕微鏡 | |
| CN110023027A (zh) | 激光加工系统和激光加工方法 | |
| WO2001025736A1 (en) | Variable-wavelength optical output device | |
| JPH1194742A (ja) | 蛍光顕微鏡 | |
| US7457030B2 (en) | Wavelength conversion device | |
| JP2002156282A (ja) | 分光光度計 | |
| JP2001083093A (ja) | 蛍光分光光度計 | |
| JPH06148085A (ja) | ウェハ異物検査方法およびウェハ異物検査装置 | |
| FR2635595A1 (fr) | Installation perfectionnee pour le tirage d'epreuves photographiques | |
| JP2001290079A (ja) | 光量調整装置 | |
| JP2006171027A (ja) | 顕微鏡用照明装置および蛍光顕微鏡装置 | |
| JP2000019432A (ja) | 照明光調光装置 | |
| JPH03209783A (ja) | 固体レーザ装置の共振器 | |
| JP2012037834A (ja) | レーザ顕微鏡用照明装置およびレーザ顕微鏡 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040601 |