JPH10283632A - 磁気ディスク、磁気ディスク装置及び磁気ディスク用基板の成形用スタンパの作成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 適切なヘッドスライダの接触領域を有し、か
つ接触領域から情報記録領域へ移動する際のヘッドスラ
イダの姿勢変化を小さくした磁気ディスク及びその磁気
ディスクを用いた磁気ディスク装置及びその磁気ディス
クの磁気ディスク用基板の成形用スタンパの作成方法を
提供すること。 【解決手段】 表面に情報を記録するための凹凸部３ｔ
が形成され、その内周部若しくは外周部にヘッドスライ
ダが接触するための凸形状のピット列３ｐが形成されて
いる磁気ディスクの、前記凹凸部の高さと前記ピット列
の高さを異ならせる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、磁気記録方式に
よって情報を記録再生する磁気ディスク及びその磁気デ
ィスクを用いた磁気ディスク装置及びその磁気ディスク
の磁気ディスク用基板の成形用スタンパの作成方法に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】磁気ディスクの高密度化は年々スピード
を増しており、近年においては６０％／年の増加率で進
められている。この高密度化は、磁気ヘッドとしてＭＲ
ヘッドを採用したり、磁気ディスクの磁性媒体材料を改
良することによって可能であるが、その他に、磁気ディ
スクと磁気ヘッドとの距離（スペイシング）を小さくす
ること、例えば５０ｎｍを切るような値とすることによ
っても可能である。

【０００３】このようなスペイシングを達成するために
は、磁気ディスクの表面をそのスペイシング以下の表面
粗さ、例えば鏡面にする必要がある。ところが、通常の
磁気ディスク装置では、そのスタート時とストップ時に
磁気ディスクと磁気ヘッドが搭載されているヘッドスラ
イダとが接触状態にある、いわゆるＣＳＳ（コンタクト
スタートストップ）を採用しているため、磁気ディスク
の表面を鏡面にすると磁気ディスクとヘッドスライダの
真接触面積が増大し、スティクションを起こしてしま
う。

【０００４】この磁気ディスクの鏡面化とＣＳＳとを両
立させるため、近年の磁気ディスク装置では磁気ディス
クに情報記録領域（データゾーン）の他に磁気ディスク
と磁気ヘッドが搭載されているヘッドスライダとが接触
する接触領域（ＣＳＳゾーン）を設けている。即ち、デ
ータの読み書きを行うデータゾーンは鏡面化し、ヘッド
スライダが接触するＣＳＳゾーンはスティクションが起
こらない程度に粗面化（テクスチャ）することにより、
磁気ディスクの鏡面化とＣＳＳとを両立させている。こ
のテクスチャ方法としては、ＣＳＳゾーンにおける磁気
ディスク用基板表面を研磨テープで研磨する研磨法を用
いるのが一般的である。

【０００５】ところが、この方法を用いると、データゾ
ーンの平均高さ面（浮上量基準面）よりＣＳＳゾーンの
平均高さ面（浮上量基準面）が低くなる。従って、ＣＳ
Ｓゾーンでは浮上しているヘッドスライダが、ＣＳＳゾ
ーンからデータゾーンに移動する際に傾いたり、極端な
場合にはクラッシュすることがあるという欠点がある。

【０００６】この欠点を解決するために、磁気ディスク
用基板をアルミニウムで形成し、ＣＳＳゾーンにおける
磁気ディスク用基板表面にレーザ光を照射してクレータ
状の凸部を形成する方法が提案されている（”Ｌａｓｅ
ｒ Ｔｅｘｔｕｒｉｎｇ ｆｏｒ ｌｏｗ−ｆｌｙ−ｈ
ｅｉｇｈｔ ｍｅｄｉａ”，Ｒ．Ｒａｎｊａｎ，Ｊ．Ａ
ｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．６９（８），１５ Ａｐｒｉｌ １
９９１参照）。この方法では、凸部の密度を調節するこ
とにより、ＣＳＳゾーンの平均高さ面（浮上量基準面）
とデータゾーンの平均高さ面（浮上量基準面）との差を
調節できるので、ＣＳＳゾーンからデータゾーンへのヘ
ッドスライダの移動も何ら障害なく行うことが可能とな
る。

【０００７】ところが、磁気ディスクのＣＳＳゾーンに
凸部を形成する場合、レーザ光を透過させない金属等の
不透明な磁気ディスク用基板から成る磁気ディスクに適
用することはできるが、レーザ光が透過するようなガラ
スや樹脂等の透明な磁気ディスク用基板から成る磁気デ
ィスクには適用することができないという問題があっ
た。

【０００８】そこで、透明な磁気ディスク用基板から成
る磁気ディスクでもＣＳＳゾーンに凸部を形成すること
ができる方法として、光ディスク等で使用するスタンパ
を用いた射出成形法が提案されている。この方法は、先
ず、磁気ディスク用基板上のＣＳＳゾーンの凸部を形成
する領域に対応するスタンパの領域に凹状の窪みを形成
し、このスタンパを用いて樹脂を射出成形する。これに
より、凹状の窪みに樹脂が充填されるので、磁気ディス
ク用基板上のＣＳＳゾーンに凸部（凸形状のピット列）
を形成することができる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】上述したスタンパによ
り成形される磁気ディスク用基板は、データゾーンが平
滑（フラット）に形成されている磁気ディスクに適用す
る場合は問題ないが、データゾーンが凹凸（ディスクリ
ート）に形成されているディスクリート型磁気ディスク
に適用する場合は、以下の問題がある。即ち、情報はデ
ィスクリート型磁気ディスク上において可能な限り広い
面積の部分に記録された方が記録再生精度が向上するた
め、データゾーンにおいては凸部の面積の方が凹部の面
積より大きくなるように形成されている。

【００１０】このようなディスクリート型磁気ディスク
に形成されるＣＳＳゾーンのピットの高さとデータゾー
ンの凸部の高さは、スタンパを作成するときに塗布した
レジストの厚みで決定され、これは一定となる。従っ
て、ＣＳＳゾーンにおけるヘッドスライダの浮上量とデ
ータゾーンにおけるヘッドスライダの浮上量を同一にし
ようとすると、負荷容量（ヘッドスライダの浮上に寄与
する凸部の面積）をＣＳＳゾーンとデータゾーンとで同
一にしなければならず、ヘッドスライダとピットとの真
実接触面積が大きくなってしまい、ヘッドスライダの張
り付きが生じやすくなるという問題があった。

【００１１】逆に、ヘッドスライダの張り付きを防止す
るためにピットの面積を小さくすると、ＣＳＳゾーンで
の負荷容量が小さくなってヘッドスライダの浮上量が低
下し、ヘッドスライダがＣＳＳゾーンからデータゾーン
へ移動する際の姿勢変化が大きくなり、極端な場合には
ヘッドスライダがクラッシュする場合があるという問題
があった。

【００１２】この発明は、上述した事情から成されたも
のであり、適切なヘッドスライダの接触領域を有し、か
つ接触領域から情報記録領域へ移動する際のヘッドスラ
イダの姿勢変化を小さくした磁気ディスク及びその磁気
ディスクを用いた磁気ディスク装置及びその磁気ディス
クの磁気ディスク用基板の成形用スタンパの作成方法を
提供することを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記目的は、この発明に
あっては、表面に情報を記録するための凹凸部が形成さ
れ、その内周部若しくは外周部にヘッドスライダが接触
するための凸形状のピット列が形成されている磁気ディ
スクであって、前記凹凸部の高さと前記ピット列の高さ
を異ならせることにより達成される。

【００１４】上記構成によれば、接触領域でのピット列
の高さと情報記録領域での凹凸部の高さが異なるので、
ヘッドスライダが接触領域から情報記録領域に移動する
際に安定した浮上姿勢を維持することができ、磁気ディ
スクの信頼性を高めることができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、この発明の好適な実施形態
を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述
べる実施形態は、この発明の好適な具体例であるから、
技術的に好ましい種々の限定が付されているが、この発
明の範囲は、以下の説明において、特にこの発明を限定
する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるもの
ではない。

【００１６】図１は、この発明の磁気ディスク装置の実
施形態であるハードディスク装置の構成例を示す斜視図
である。このハードディスク装置１は、アルミニウム合
金等により形成された筐体２の平面部の裏側にスピンド
ルモータ９が配設されていると共に、このスピンドルモ
ータ９によって角速度一定で回転駆動される磁気ディス
ク３が備えられている。さらに、この筐体２には、アー
ム４がピボット４ａの周りに揺動可能に取り付けられて
いる。このアーム４の一端には、ボイスコイル５が取り
付けられ、またこのアーム４の他端には、ヘッドスライ
ダ６が取り付けられている。

【００１７】筐体２上には、ボイスコイル５を挟持する
ように、マグネット７ａ、７ｂが取り付けられている。
ボイスコイル５及びマグネット７ａ、７ｂにより、ボイ
スコイルモータ７が形成されている。ヘッドスライダ６
は、その下面の両側にエアベアリングサーフェイスとし
て作用するレールが形成されていると共に、これらのレ
ールの先端側にはテーパ部が形成されている。そして、
一方のレールの後端面には磁気ヘッド８が搭載されてい
る。

【００１８】このような構成において、スピンドルモー
タ９が駆動されると、磁気ディスク３は角速度一定で回
転する。そして、磁気ディスク３の回転に伴ってヘッド
スライダ６のレールの先端側のテーパ部から空気が流入
すると、この空気はレールに沿って流れ込む。そして、
この空気がレールの後端側から流出すると、ヘッドスラ
イダ６は浮揚力を受けて磁気ディスク３の表面から微小
間隔（浮上量）をもって浮上走行することになる。即
ち、ヘッドスライダ６は、磁気ディスク３の表面との間
隙が走行方向に対して先端側から後端側に向かって小さ
くなっていくことによる圧力の増加により浮上すること
になる。

【００１９】そして、ボイスコイル５に外部から電流が
供給されると、アーム４は、マグネット７ａ、７ｂの磁
界と、このボイスコイル５に流れる電流とによって生ず
る力に基づいて、ピボット４ａの周りを回動する。これ
により、アーム４の他端に取り付けられたヘッドスライ
ダ６は、磁気ディスク３の回転に伴って、その表面上で
浮上走行しながら磁気ディスク３の実質的に半径方向に
移動する。従って、このヘッドスライダ６に搭載された
磁気ヘッド８は、磁気ディスク３に対してシーク動作
し、情報を記録再生する。

【００２０】図２は、この発明の磁気ディスクの実施形
態を示す平面図、図３は、その表面の斜視図、図４は、
その断面側面図である。この磁気ディスク３は、樹脂製
の磁気ディスク用基板が用いられており、外周側に円環
状にＣＳＳゾーン３ａが設けられ、ＣＳＳゾーン３ａの
内周側にデータゾーン３ｂが円環状に設けられている。
そして、図３及び図４に示すように、ＣＳＳゾーン３ａ
には、矩形の凸形状のピット３ｐの列が同心円環状に形
成されている。また、データゾーン３ｂには、凹凸部
（ディスクリート）、即ち凸形状のデータトラック３ｔ
及び凹形状のガードバンド３ｇが同心円環状に形成され
ている。尚、ＣＳＳゾーン３ａは、磁気ディスク用基板
の内周側に円環状に設けても良い。また、ピット３ｐの
形状は、円柱状等任意に選択することが可能である。

【００２１】このような磁気ディスク３の磁気ディスク
用基板は、光ディスク等で使用するスタンパを用いた射
出成形法により作成することができる。従って、１枚の
スタンパから多数の磁気ディスク用基板を作成すること
が可能であるため、テクスチャのばらつきがほとんど無
く、１枚毎に行うテクスチャの検査や管理という工程を
省略することができる。

【００２２】ここで、ＣＳＳゾーン３ａ及びデータゾー
ン３ｂにおけるヘッドスライダ６の浮上安定性を確保で
きる凹凸の形成比率や高さを決定するため、ヘッドスラ
イダ６の浮上量と、磁気ディスク３に形成される凸部の
面積と凹部の面積との比率（凸部の面積／凹部の面積）
との関係を調べた結果を図５に示す。ところで、磁気デ
ィスク３のＣＳＳゾーン３ａへのヘッドスライダ６の張
り付きを防止するためには、ＣＳＳゾーン３ａに形成さ
れる凸部の面積と凹部の面積との比率を１：２、即ち凸
部の面積／凹部の面積＝１／２とする必要があるので、
このときのヘッドスライダ６の浮上量は４０ｎｍとな
る。

【００２３】また、磁気ディスク３と磁気ヘッド８との
スペイシングは５０ｎｍ以下とすることが望まれている
ことから、ヘッドスライダ６の浮上量を５０ｎｍとする
には、磁気ディスク３のデータゾーン３ｂに形成される
凸部の面積と凹部の面積との比率を２：１、即ち凸部の
面積／凹部の面積＝２とする必要がある。従って、ヘッ
ドスライダ６がＣＳＳゾーン３ａからデータゾーン３ｂ
に移動する際のヘッドスライダ６の姿勢変化を無くすに
は、ＣＳＳゾーン３ａに形成される凸部、即ちピット３
ｐの高さは、データゾーン３ｂに形成される凸部、即ち
データトラック３ｄの高さより１０ｎｍ高くする必要が
ある。例えば、データゾーン３ｂに形成されるデータト
ラック３ｄの高さが２００ｎｍの場合、ＣＳＳゾーン３
ａに形成されるピット３ｐの高さは２１０ｎｍとなる。

【００２４】以上より、このような磁気ディスク３を作
成するためのスタンパにおけるＣＳＳゾーン３ａに対応
する領域に形成される凸部の面積と凹部の面積との比率
を２：１、即ち凸部の面積／凹部の面積＝２となり、デ
ータゾーン３ｂに対応する領域に形成される凸部の面積
と凹部の面積との比率を１：２、即ち凸部の面積／凹部
の面積＝１／２となる。また、ＣＳＳゾーン３ａに対応
する領域に形成されるピット３ｐの高さは、データゾー
ン３ｂに対応する領域に形成されるデータトラック３ｄ
の高さより１０ｎｍ高くなる。

【００２５】上述した磁気ディスク３の磁気ディスク用
基板を作成するためのスタンパの作成工程について図６
〜図９を参照して説明する。先ず、円板状のガラス原盤
２０の表面にレジスト２１をスピンコート法等により２
００ｎｍの厚さで均一に塗布する。このガラス原盤２０
の表面は鏡面に仕上げられているので、塗布したレジス
ト２１の表面もガラス原盤２０の表面性を反映して鏡面
となる（図６（Ａ））。

【００２６】レジスト２１を塗布した後、レジスト２１
の表面における磁気ディスク３のデータゾーン３ｂに対
応する領域に、データトラック３ｔ及びガードバンド３
ｇとなる凹凸のパターンをレーザ発振器２２を用いて描
画する。その際、レジスト２１がポジ型レジストであれ
ば、レーザ光Ｌが照射された箇所が現像した際に流れ落
ちるので、データトラック３ｔとなる箇所にはレーザ光
Ｌを照射せず、ガードバンド３ｇの箇所にレーザ光Ｌを
照射するようにしてパターンを描画する（図６
（Ｂ））。

【００２７】データトラック３ｔ及びガードバンド３ｇ
となる凹凸のパターンを描画した後、レジスト２１を現
像する。これにより、レーザ光Ｌが照射されていない箇
所のレジスト２１が残る（図６（Ｃ））。レジスト２１
を現像した後、ガラス原盤２０の表面にＮｉ（ニッケ
ル）を無電解メッキする（図７（Ｄ））。さらに、この
無電解メッキ層２３の表面にＮｉを電解メッキする（図
７（Ｅ））。これにより、ガラス原盤２０の表面にＮｉ
が堆積して無電解メッキ層２３及び電解メッキ層２４で
成るスタンパの原形ができる。

【００２８】ここで、無電解メッキと電解メッキを行う
理由は以下の通りである。無電解メッキは、堆積速度は
遅いが、メッキ工程中にメッキ浴に泡が発生しないの
で、欠陥のないメッキ層を形成することができる。一
方、電解メッキは、堆積速度は速いが、メッキ工程中に
メッキ浴に泡が発生するため、泡がメッキ層に巻き込ま
れ欠陥ができる可能性がある。そこで、先ず、スタンパ
として使用する際の表面転写性を良好なものとするため
に、工数が掛かっても欠陥の無い無電解メッキ層２３を
形成しておき、次に、スタンパとして使用する際の成形
圧力に耐えうるような厚さとするために、欠陥が有って
も工数の掛からない電解メッキ層２４を形成する。そし
て、無電解メッキ層２３及び電解メッキ層２４をガラス
原盤２０から剥離してスタンパ２５とする（図７
（Ｆ））。

【００２９】次に、スタンパ２５の表面にレジスト２１
ａをスピンコート法等により５００ｎｍの厚さで均一に
塗布する（図８（Ｇ））。ここで、レジスト２１ａの厚
さを５００ｎｍとしたのは、レジスト２１ａがエッチン
グされる速度と無電解メッキ層２３がエッチングされる
速度は、加速電圧によっても異なるが、略２倍の速度で
レジスト２１ａがエッチングされる速度の方が速いの
で、無電解メッキ層２３を２１０ｎｍエッチングするこ
と及びその他のマージンも併せて考慮して決定したもの
である。

【００３０】レジスト２１ａを塗布した後、レジスト２
１ａの表面における磁気ディスク３のＣＳＳゾーン３ａ
に対応する領域に、ピット３ｐとなる凹凸のパターンを
レーザ発振器２２を用いて描画する。その際、レジスト
２１ａがポジ型レジストであれば、レーザ光Ｌが照射さ
れた箇所が現像した際に流れ落ちるので、ピット３ｐと
なる箇所にレーザ光Ｌを照射し、ピット３ｐ以外の箇所
にレーザ光Ｌを照射すないようにしてパターンを描画す
る（図８（Ｈ））。ピット３ｐとなる凹凸のパターンを
描画した後、レジスト２１ａを現像する。これにより、
レーザ光Ｌが照射されていない箇所のレジスト２１ａが
残る（図８（Ｉ））。

【００３１】レジスト２１ａを現像した後、露出した無
電解メッキ層２３を物理的イオンエッチング装置で２１
０ｎｍエッチングする（図８（Ｊ））。このとき残った
レジスト２１ａも多少エッチングされる。この物理的イ
オンエッチング装置は、電圧で加速させたイオンを被エ
ッチング物に衝突させ、その衝突エネルギで被エッチン
グ物を加工する装置である。従って、適当な加速電圧と
イオン照射時間を選択することにより、所定の加工量を
得ることができる。尚、物理的イオンエッチングの他に
化学的エッチングによっても同様に行うことができる。
そして、無電解メッキ層２３をエッチングした後（図９
（Ｋ））、残ったレジスト２１ａをアセトン等の溶剤で
剥離し、最終的なスタンパ２５ａとする（図９
（Ｌ））。

【００３２】このようにして作成したスタンパ２５ａを
用いた磁気ディスク用基板の射出成形工程について図１
１を参照して説明する。ここで、磁気ディスク用基板の
形状は、例えば外径６５ｍｍ、内径２０ｍｍ、厚さ１．
２ｍｍの円盤状である。磁気ディスク用基板の樹脂材料
としては、例えばＡＰＯ（Ａｍｏｒｐｈｕｓ Ｐｏｌｙ
Ｏｒｅｆｉｎ）系樹脂が用いられる。また、射出成形
機は、例えば図１０に示すように、固定金型２６と可動
金型２７を備えている。固定金型２６の一端面には、ス
タンパ２５ａが取り付けられ樹脂が充填されるキャビテ
ィ２８が設けられている。さらに、固定金型２６の他端
面からキャビティ２８の中央に貫通し、キャビティ２８
内に樹脂を導くためのゲートが設けられている。可動金
型２７には、磁気ディスク用基板のセンター穴となる部
分を切断するためのカッタ２９が備えられている。

【００３３】先ず、キャビティ２８の壁面にスタンパ２
５ａを取り付け、可動金型２７を移動させてキャビティ
２８を閉じる（図１１（Ａ））。そして、ゲートを介し
てキャビティ２８内に樹脂３０を充填する（図１１
（Ｂ））。樹脂３０を充填した後、カッタ２９をキャビ
ティ２８内に突出させて樹脂３０の内径を切断する（図
１１（Ｃ））。次に、樹脂３０を冷却して固化させ（図
１１（Ｄ））、カッタ２９を可動金型２７内に戻すと共
に可動金型２７を移動させてキャビティ２８を開く（図
１１（Ｅ））。最後に、キャビティ２８内から磁気ディ
スク用基板３１及びスプルー（カッタ２９により切断さ
れた樹脂３０の内径の部分）を取り出し、磁気ディスク
用基板３１を次の工程に搬送し、スプルーを廃棄する
（図１１（Ｆ））。

【００３４】このようにして成形された磁気ディスク用
基板３１は、図１２に示すようにスタンパ２５ａの表面
形状が反映されたものとなる。即ち、ＣＳＳゾーン３ａ
の高さ面、即ちピット３ｐの高さ（２１０ｎｍ）は、デ
ータゾーン３ｂの高さ面、即ちデータトラック３ｔの高
さ（２００ｎｍ）よりも高く形成されたものとすること
ができる。

【００３５】尚、この例では、スタンパ２５ａを固定金
型２６のみに取り付けたが、可動金型２７にも取り付け
て射出成形する場合の工程は上記工程と基本的に同じで
ある。また、この実施形態では、樹脂を射出成形して磁
気ディスク用基板としたが、成形可能な材料、例えばガ
ラスや柔らかい金属等を型押し成形して磁気ディスク用
基板としても良い。

【００３６】

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、適切
なヘッドスライダの接触領域を有し、かつ接触領域から
情報記録領域へ移動する際のヘッドスライダの姿勢変化
を小さくすることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の磁気ディスク装置の実施形態である
ハードディスク装置の構成例を示す斜視図。

【図２】この発明の磁気ディスクの実施形態を示す平面
図。

【図３】図２の磁気ディスクの詳細を示す斜視図。

【図４】図２の磁気ディスクの詳細を示す断面側面図。

【図５】ヘッドスライダの浮上量と磁気ディスクの凹凸
の面積比率との関係を示す図。

【図６】この発明の磁気ディスクの実施形態の磁気ディ
スク用基板を作成するためのスタンパの作成工程を示す
第１の図。

【図７】この発明の磁気ディスクの実施形態の磁気ディ
スク用基板を作成するためのスタンパの作成工程を示す
第２の図。

【図８】この発明の磁気ディスクの実施形態の磁気ディ
スク用基板を作成するためのスタンパの作成工程を示す
第３の図。

【図９】この発明の磁気ディスクの実施形態の磁気ディ
スク用基板を作成するためのスタンパの作成工程を示す
第４の図。

【図１０】この発明の磁気ディスクの実施形態を作成す
るための成形部の一例を示す断面側面図。

【図１１】この発明の磁気ディスクの実施形態を作成す
るための成形工程を示す断面側面図。

【図１２】この発明の磁気ディスクの実施形態の磁気デ
ィスク用基板を作成するためのスタンパにより成形され
た磁気ディスクの実施形態を示す断面側面図。

【符号の説明】

１・・・ハードディスク装置、２・・・筐体、３・・・
磁気ディスク、３ａ・・・ＣＳＳゾーン、３ｂ・・・デ
ータゾーン、３ｐ・・・ピット、３ｔ・・・データトラ
ック、３ｇ・・・ガードバンド、４・・・アーム、４ａ
・・・ピボット、５・・・ボイスコイル、６・・・ヘッ
ドスライダ、７・・・ボイスコイルモータ、７ａ、７ｂ
・・・マグネット、８・・・磁気ヘッド、９・・・モー
タ、１０ａ・・・上蓋ディンプル、１１・・・アームデ
ィンプル、１２・・・弾性体、２０・・・ガラス原盤、
２１、２１ａ・・・レジスト、２２・・・レーザ発振
器、２３・・・無電解メッキ層、２４・・・電解メッキ
層、２５、２５ａ・・・スタンパ、２６・・・固定金
型、２７・・・可動金型、２８・・・キャビティ、２９
・・・カッタ、３０・・・樹脂、３１・・・磁気ディス
ク用基板

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 表面に情報を記録するための凹凸部が形
   成され、その内周部若しくは外周部にヘッドスライダが
   接触するための凸形状のピット列が形成されている磁気
   ディスクであって、 前記凹凸部の高さと前記ピット列の高さが異なることを
   特徴とする磁気ディスク。
2. 【請求項２】 前記凹凸部の高さが、前記ピット列の高
   さより低い請求項１に記載の磁気ディスク。
3. 【請求項３】 前記情報記録領域の凸部の面積と凹部の
   面積との比率と、前記接触領域の凸部の面積と凹部の面
   積との比率が異なる請求項１に記載の磁気ディスク。
4. 【請求項４】 前記情報記録領域の凸部の面積と凹部の
   面積との比率が、前記接触領域の凸部の面積と凹部の面
   積との比率より大きい請求項１に記載の磁気ディスク。
5. 【請求項５】 情報を記録再生する磁気ヘッドが搭載さ
   れたヘッドスライダを有する磁気ヘッド装置と、 表面に前記情報を記録するための凹凸部が形成され、そ
   の内周部若しくは外周部に前記ヘッドスライダが接触す
   るための凸形状のピット列が形成されており、前記凹凸
   部の高さと前記ピット列の高さが異なる磁気ディスクと
   を備えたことを特徴とする磁気ディスク装置。
6. 【請求項６】 表面に情報を記録するための凹凸部が形
   成され、その内周部若しくは外周部にヘッドスライダが
   接触するための凸形状のピット列が形成されており、前
   記凹凸部の高さと前記ピット列の高さが異なる磁気ディ
   スクの磁気ディスク用基板を成形するためのスタンパを
   作成する際、 前記凹凸部を成形するための凹凸部を表面の部分に形成
   し、 前記表面の全体を被覆材で覆い、 前記ピット列を成形するための凹部が形成される前記表
   面の部分に覆われている前記被覆材を除去し、 前記ピット列を成形するための凹部を前記被覆材が除去
   された前記表面の部分に形成し、 残った前記被覆材を除去してスタンパとすることを特徴
   とする磁気ディスク用基板の成形用スタンパの作成方
   法。