JPH10284347A - 真空可変コンデンサ - Google Patents
真空可変コンデンサInfo
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- JPH10284347A JPH10284347A JP9087090A JP8709097A JPH10284347A JP H10284347 A JPH10284347 A JP H10284347A JP 9087090 A JP9087090 A JP 9087090A JP 8709097 A JP8709097 A JP 8709097A JP H10284347 A JPH10284347 A JP H10284347A
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- Diaphragms And Bellows (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 調整ナットの回転トルクを大きくすることな
く、通電能力を増大する。 【解決手段】 第１のベローズ１６の外周側に同心状に
第２のベローズ１７を設け、その一端を可動側集電導体
４に気密に取り付けるとともに、他端を可動側取付導体
６に取り付け、コンデンサ電流は第２のベローズ１７に
流す。
く、通電能力を増大する。 【解決手段】 第１のベローズ１６の外周側に同心状に
第２のベローズ１７を設け、その一端を可動側集電導体
４に気密に取り付けるとともに、他端を可動側取付導体
６に取り付け、コンデンサ電流は第２のベローズ１７に
流す。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、大電力送信機の
発振回路、半導体製造装置用の高周波電源回路、あるい
は誘導加熱装置のタンク回路等に用いられる真空可変コ
ンデンサに関するものである。
発振回路、半導体製造装置用の高周波電源回路、あるい
は誘導加熱装置のタンク回路等に用いられる真空可変コ
ンデンサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】真空可変コンデンサの耐電圧及び静電容
量特性を安定させ、かつ全長の小形化を図ったものとし
て、本出願人が特願平６−２３３９１２号で提案したも
のがある。これを図３及び図４によって説明する。図に
おいて、１は内部が真空にされた円筒状の真空容器であ
り、円筒部２の両端に固定側取付導体３と可動側集電導
体４を気密に取り付けて形成している。又、円筒部２
は、セラミック等からなる絶縁円筒２ａの両端に銅製の
円筒２ｂ，２ｃを接合して形成される。固定側取付導体
３の内面側には径が異なる複数の円筒状電極板Ｆ1，
Ｆ2，…を同心円状に一定間隔をもって取り付けて固定
電極５を形成しており、また固定電極５の各電極板間に
非接触で挿出入される径が異なる複数の円筒状電極板Ｍ
1，Ｍ2，…を可動側取付導体６に同心状に取り付けて可
動電極７を形成している。
量特性を安定させ、かつ全長の小形化を図ったものとし
て、本出願人が特願平６−２３３９１２号で提案したも
のがある。これを図３及び図４によって説明する。図に
おいて、１は内部が真空にされた円筒状の真空容器であ
り、円筒部２の両端に固定側取付導体３と可動側集電導
体４を気密に取り付けて形成している。又、円筒部２
は、セラミック等からなる絶縁円筒２ａの両端に銅製の
円筒２ｂ，２ｃを接合して形成される。固定側取付導体
３の内面側には径が異なる複数の円筒状電極板Ｆ1，
Ｆ2，…を同心円状に一定間隔をもって取り付けて固定
電極５を形成しており、また固定電極５の各電極板間に
非接触で挿出入される径が異なる複数の円筒状電極板Ｍ
1，Ｍ2，…を可動側取付導体６に同心状に取り付けて可
動電極７を形成している。
【０００３】８は固定側取付導体３の内側中心即ち固定
電極５の軸心部に立設されたガイドピン、９は可動側取
付導体６の中心即ち可動電極７の軸心部に貫通して設け
られたガイド部であり、ガイド部９はガイドピン８と摺
動自在に嵌合する嵌合孔９ａを有する。又、可動側集電
導体４の中心には挿通孔４ａが設けられ、可動側集電導
体４の内面側には挿通孔４ａの周縁部において円筒状の
ねじ受部１０の一端が取り付けられ、ねじ受部１０の他
端には鍔部１０ａが設けられている。１１はねじ受部１
１ａを有する可動リードボルトであり、その一端はガイ
ド部９と一体的に形成された可動リード１２の嵌合孔１
２ａと嵌合固定され、ねじ部１１ａはねじ受部１０の鍔
部１０ａに挿通される。嵌合孔９ａ，１２ａは連続して
同径に形成されている。１３はねじ孔１３ａを有する調
整ナットであり、可動リードボルト１１のねじ部１１ａ
はねじ受部１０内においてねじ孔１３ａと螺合する。
又、調整ナット１３の一端は軸受１４を介して鍔部１０
ａの外面側に回転自在に支持される。
電極５の軸心部に立設されたガイドピン、９は可動側取
付導体６の中心即ち可動電極７の軸心部に貫通して設け
られたガイド部であり、ガイド部９はガイドピン８と摺
動自在に嵌合する嵌合孔９ａを有する。又、可動側集電
導体４の中心には挿通孔４ａが設けられ、可動側集電導
体４の内面側には挿通孔４ａの周縁部において円筒状の
ねじ受部１０の一端が取り付けられ、ねじ受部１０の他
端には鍔部１０ａが設けられている。１１はねじ受部１
１ａを有する可動リードボルトであり、その一端はガイ
ド部９と一体的に形成された可動リード１２の嵌合孔１
２ａと嵌合固定され、ねじ部１１ａはねじ受部１０の鍔
部１０ａに挿通される。嵌合孔９ａ，１２ａは連続して
同径に形成されている。１３はねじ孔１３ａを有する調
整ナットであり、可動リードボルト１１のねじ部１１ａ
はねじ受部１０内においてねじ孔１３ａと螺合する。
又、調整ナット１３の一端は軸受１４を介して鍔部１０
ａの外面側に回転自在に支持される。
【０００４】又、可動リードボルト１１の先端にはねじ
穴１１ｂが設けられ、ねじ孔１１ｂには調整ねじ１５が
螺合される。調整ナット１３にはねじ孔１３ａより径が
大きな径大孔１３ｂが設けられている。１６は可動リー
ド１２、可動リードボルト１１及びねじ受部１０の外周
側に位置し、一端が可動側集電導体４に気密に取り付け
られるとともに、他端が可動リード１２に気密に取り付
けられた円筒状の第１のベローズであり、伸縮自在であ
るとともに、その外周側を真空に保つ。
穴１１ｂが設けられ、ねじ孔１１ｂには調整ねじ１５が
螺合される。調整ナット１３にはねじ孔１３ａより径が
大きな径大孔１３ｂが設けられている。１６は可動リー
ド１２、可動リードボルト１１及びねじ受部１０の外周
側に位置し、一端が可動側集電導体４に気密に取り付け
られるとともに、他端が可動リード１２に気密に取り付
けられた円筒状の第１のベローズであり、伸縮自在であ
るとともに、その外周側を真空に保つ。
【０００５】なお、真空容器１を全体としてセラミック
等の絶縁筒で形成してもよい。又、ガイドピン８とガイ
ド部９のいずれか一方は絶縁材料で構成する必要があ
り、摺動性を保つために例えばガイドピン８をアルミナ
などのセラミックで形成し、ガイド部９をリン青銅で形
成するとよく、またガイドピン８を金属製としその表面
に滑性の優れたナイロン樹脂をコーティングしてもよ
い。可動リード１２は導体で形成する。従って、ガイド
部９を絶縁材料にした場合には、ガイド部９と可動リー
ド１２は当然別体となる。
等の絶縁筒で形成してもよい。又、ガイドピン８とガイ
ド部９のいずれか一方は絶縁材料で構成する必要があ
り、摺動性を保つために例えばガイドピン８をアルミナ
などのセラミックで形成し、ガイド部９をリン青銅で形
成するとよく、またガイドピン８を金属製としその表面
に滑性の優れたナイロン樹脂をコーティングしてもよ
い。可動リード１２は導体で形成する。従って、ガイド
部９を絶縁材料にした場合には、ガイド部９と可動リー
ド１２は当然別体となる。
【０００６】上記構成の真空可変コンデンサにおいて、
最大静電容量値を調節する場合、調整ねじ１５を可動リ
ードボルト１１のねじ穴１１ｂに螺入する前に調整ナッ
ト１３を若干回転させ（右ねじの場合には右回転）、ガ
イドピン８の先端８ａと可動リードボルト１１の上端面
１１ｄが突き当たる最大静電容量位置より若干可動リー
ド１２を下方に移動させ、定義された最大静電容量値に
調整する。この若干の調整量は真空可変コンデンサの静
電容量のバラツキの程度で決まる。次に、この状態で調
整ねじ１５をその頭部の当接面が調整ナット１３のねじ
孔１３ａと径大孔１３ｂとの間に形成された段部１３ｃ
に当接するまでねじ穴１１ｂに螺入し、この当接位置で
調整ねじ１５を可動リードボルト１１に接着剤等で固定
し、可動リードボルト１１の上昇位置を規制する。な
お、調整ねじ１５と調整ナット１３はフリーである。
最大静電容量値を調節する場合、調整ねじ１５を可動リ
ードボルト１１のねじ穴１１ｂに螺入する前に調整ナッ
ト１３を若干回転させ（右ねじの場合には右回転）、ガ
イドピン８の先端８ａと可動リードボルト１１の上端面
１１ｄが突き当たる最大静電容量位置より若干可動リー
ド１２を下方に移動させ、定義された最大静電容量値に
調整する。この若干の調整量は真空可変コンデンサの静
電容量のバラツキの程度で決まる。次に、この状態で調
整ねじ１５をその頭部の当接面が調整ナット１３のねじ
孔１３ａと径大孔１３ｂとの間に形成された段部１３ｃ
に当接するまでねじ穴１１ｂに螺入し、この当接位置で
調整ねじ１５を可動リードボルト１１に接着剤等で固定
し、可動リードボルト１１の上昇位置を規制する。な
お、調整ねじ１５と調整ナット１３はフリーである。
【０００７】このように、可動リードボルト１１の上昇
位置を規正することにより、製作された真空可変コンデ
ンサの最大静電容量値にバラツキがあっても各真空可変
コンデンサごとに最大静電容量値を調整でき、定義され
た最大静電容量値に合致した品質の真空可変コンデンサ
が得られる。又、調整ナット１３を最大静電容量位置よ
りも右ねじの場合左に回そうとしても調整ねじ１５が段
部１３ｃに当接し、調整ナット１３を左に回すことがで
きないので、調整ねじ１５は調整ナット１３が可動リー
ドボルト１１から抜け出るのを防止するストッパの役目
をするとともに、静電容量値が定義された最大静電容量
値以上になるのを防止する。
位置を規正することにより、製作された真空可変コンデ
ンサの最大静電容量値にバラツキがあっても各真空可変
コンデンサごとに最大静電容量値を調整でき、定義され
た最大静電容量値に合致した品質の真空可変コンデンサ
が得られる。又、調整ナット１３を最大静電容量位置よ
りも右ねじの場合左に回そうとしても調整ねじ１５が段
部１３ｃに当接し、調整ナット１３を左に回すことがで
きないので、調整ねじ１５は調整ナット１３が可動リー
ドボルト１１から抜け出るのを防止するストッパの役目
をするとともに、静電容量値が定義された最大静電容量
値以上になるのを防止する。
【０００８】又、真空可変コンデンサの静電容量の調整
においては、調整ナット１３を例えば右回転させると可
動リードボルト１１は下降し、電極板Ｆ1，Ｆ2，…と電
極板Ｍ1，Ｍ2，…の交差長さが減少して静電容量が減少
し、逆に調整ナット１３を左回転させると静電容量が増
大する。
においては、調整ナット１３を例えば右回転させると可
動リードボルト１１は下降し、電極板Ｆ1，Ｆ2，…と電
極板Ｍ1，Ｍ2，…の交差長さが減少して静電容量が減少
し、逆に調整ナット１３を左回転させると静電容量が増
大する。
【０００９】又、真空可変コンデンサでは真空との差圧
により常に可動リードボルト１１を上方へ押し上げる力
が働くので、調整ナット１３にも同様の力が働き、ねじ
受部１０の外面に面圧が生じ、調整ナット１３の回転に
は大きな回転トルクを必要とするが、調整ナット１３と
ねじ受部１０の外面との間に軸受１４を設けたので、回
転が容易になり、小さな回転トルクでよい。又、ねじ受
部１０を可動側集電導体４よりも内部方向に突出させて
設けたので、可動リードボルト１１の移動はねじ受部１
０の鍔部１０ａの内面に可動リードボルト１１の当接面
１１ｃが当接するまでとなり、小形にすることができ
る。又、ガイドピン８とガイド部９を設けたことにより
可動電極７は固定電極５に対して平行に移動し、耐電圧
と静電容量を安定化させることができる。なお、真空可
変コンデンサの電流は固定側取付導体３から固定電極５
及び可動電極７を介してその可動側取付導体６、可動リ
ード１２を通り、ベローズ１６を介して可動側集電導体
４に流れる。
により常に可動リードボルト１１を上方へ押し上げる力
が働くので、調整ナット１３にも同様の力が働き、ねじ
受部１０の外面に面圧が生じ、調整ナット１３の回転に
は大きな回転トルクを必要とするが、調整ナット１３と
ねじ受部１０の外面との間に軸受１４を設けたので、回
転が容易になり、小さな回転トルクでよい。又、ねじ受
部１０を可動側集電導体４よりも内部方向に突出させて
設けたので、可動リードボルト１１の移動はねじ受部１
０の鍔部１０ａの内面に可動リードボルト１１の当接面
１１ｃが当接するまでとなり、小形にすることができ
る。又、ガイドピン８とガイド部９を設けたことにより
可動電極７は固定電極５に対して平行に移動し、耐電圧
と静電容量を安定化させることができる。なお、真空可
変コンデンサの電流は固定側取付導体３から固定電極５
及び可動電極７を介してその可動側取付導体６、可動リ
ード１２を通り、ベローズ１６を介して可動側集電導体
４に流れる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】上記したように、真空
可変コンデンサにおいては、構造上電流が第１のベロー
ズ１６に流れるが、第１のベローズ１６は薄肉な金属
（例えば銅系又はステンレス系金属に銅をコーティング
したもの）により形成されているために通電能力があま
り大きくなく、従って真空可変コンデンサの通電能力は
第１のベローズ１６によって決定されることになる。
可変コンデンサにおいては、構造上電流が第１のベロー
ズ１６に流れるが、第１のベローズ１６は薄肉な金属
（例えば銅系又はステンレス系金属に銅をコーティング
したもの）により形成されているために通電能力があま
り大きくなく、従って真空可変コンデンサの通電能力は
第１のベローズ１６によって決定されることになる。
【００１１】一方、近年、半導体製造装置用の高周波電
源の大容量化が進められており、これに伴って真空可変
コンデンサの大電流化も要求されている。このため、ベ
ローズ１６の通電能力を高める必要があり、ベローズ１
６の大径化を図り、通電面積を増大する必要があった。
しかしながら、ベローズ１６を大径化すると、真空側と
大気側の差圧から生じるベローズ１６の自閉力が増大
し、静電容量を調整する調整ナット１３の回転トルクも
増大し、調整ナット１３をモータにより回転させる場合
にはモータも大形化した。
源の大容量化が進められており、これに伴って真空可変
コンデンサの大電流化も要求されている。このため、ベ
ローズ１６の通電能力を高める必要があり、ベローズ１
６の大径化を図り、通電面積を増大する必要があった。
しかしながら、ベローズ１６を大径化すると、真空側と
大気側の差圧から生じるベローズ１６の自閉力が増大
し、静電容量を調整する調整ナット１３の回転トルクも
増大し、調整ナット１３をモータにより回転させる場合
にはモータも大形化した。
【００１２】この発明は上記のような課題を解決するた
めに成されたものであり、静電容量を調整する調整ナッ
トの回転トルクを高めることなく、通電能力を増大させ
ることができる真空可変コンデンサを得ることを目的と
する。
めに成されたものであり、静電容量を調整する調整ナッ
トの回転トルクを高めることなく、通電能力を増大させ
ることができる真空可変コンデンサを得ることを目的と
する。
【００１３】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に係
る真空可変コンデンサは、第１のベローズの外周側に同
心状に設けられ、一端が可動側集電導体に取り付けられ
るとともに他端が可動側取付導体又は可動リードに取り
付けられ、第１のベローズより大径の電流通電用の筒状
の第２のベローズを設けたものである。
る真空可変コンデンサは、第１のベローズの外周側に同
心状に設けられ、一端が可動側集電導体に取り付けられ
るとともに他端が可動側取付導体又は可動リードに取り
付けられ、第１のベローズより大径の電流通電用の筒状
の第２のベローズを設けたものである。
【００１４】請求項２に係る真空可変コンデンサは、第
２のベローズを銅、銀、ステンレスに銅をコーティング
したもの、ステンレスに銀をコーティングしたもののい
ずれかにより形成したものである。
２のベローズを銅、銀、ステンレスに銅をコーティング
したもの、ステンレスに銀をコーティングしたもののい
ずれかにより形成したものである。
【００１５】請求項３に係る真空可変コンデンサは、第
１のベローズの外周側に同心状に設けられ、一端が可動
側集電導体に取り付けられるとともに他端が可動側取付
導体又は可動リードに取り付けられた電流通電用の螺旋
状の導線を設けたものである。
１のベローズの外周側に同心状に設けられ、一端が可動
側集電導体に取り付けられるとともに他端が可動側取付
導体又は可動リードに取り付けられた電流通電用の螺旋
状の導線を設けたものである。
【００１６】請求項４に係る真空可変コンデンサは、導
線を銅又は銀により形成したものである。
線を銅又は銀により形成したものである。
【００１７】請求項５に係る真空可変コンデンサは、導
線を帯状にしたものである。
線を帯状にしたものである。
【００１８】
実施形態１ 以下、この発明の実施形態１を図面とともに説明する。
図１は実施形態１による真空可変コンデンサの縦断面図
を示し、１７は第１のベローズ１６の外周側に同心状に
設けられた円筒状の第２のベローズであり、その一端は
可動側集電導体４に気密に取り付けられ、他端は可動側
取付導体６に気密に取り付けられている。他の構成は従
来と同様である。
図１は実施形態１による真空可変コンデンサの縦断面図
を示し、１７は第１のベローズ１６の外周側に同心状に
設けられた円筒状の第２のベローズであり、その一端は
可動側集電導体４に気密に取り付けられ、他端は可動側
取付導体６に気密に取り付けられている。他の構成は従
来と同様である。
【００１９】上記構成において、第２のベローズ１７は
第１のベローズ１６より大径であるため通電面積が大き
く、また高周波電流の表皮効果などにより電流はほとん
ど第２のベローズ１７を流れることになる。このように
第２のベローズ１７は通電面積が大きいため、通電能力
が向上し、通電能力が高い真空可変コンデンサが得られ
る。又、第１のベローズ１６はほとんど真空側と大気側
を区分するだけの機能を有するだけで良いので、小径で
よく、真空側と大気側の差圧による自閉力も小さいので
調整ナット１３の回転トルクも小さくてよい。なお、第
２のベローズ１７には自閉力は生じない。又、真空容器
１内の真空は第１及び第２のベローズ１６，１７により
二重に保たれるので、真空への信頼を高めることができ
る。
第１のベローズ１６より大径であるため通電面積が大き
く、また高周波電流の表皮効果などにより電流はほとん
ど第２のベローズ１７を流れることになる。このように
第２のベローズ１７は通電面積が大きいため、通電能力
が向上し、通電能力が高い真空可変コンデンサが得られ
る。又、第１のベローズ１６はほとんど真空側と大気側
を区分するだけの機能を有するだけで良いので、小径で
よく、真空側と大気側の差圧による自閉力も小さいので
調整ナット１３の回転トルクも小さくてよい。なお、第
２のベローズ１７には自閉力は生じない。又、真空容器
１内の真空は第１及び第２のベローズ１６，１７により
二重に保たれるので、真空への信頼を高めることができ
る。
【００２０】なお、第２のベローズ１７は、銅、銀、ス
テンレスに銅をコーティングしたもの、ステンレスに銀
をコーティングしたもののうちのいずれかにより形成す
れば、これらは導電率が高いため、通電能力をより向上
できるからである。
テンレスに銅をコーティングしたもの、ステンレスに銀
をコーティングしたもののうちのいずれかにより形成す
れば、これらは導電率が高いため、通電能力をより向上
できるからである。
【００２１】実施形態２ 図２は実施形態２による真空可変コンデンサの縦断面図
を示し、１８は第１のベローズ１６の外周側に同心状に
設けられた螺旋状の導線であり、その一端は可動側集電
導体４に取り付けられるとともに、他端は可動側取付導
体６に取り付けられる。他の構成は従来と同様である。
を示し、１８は第１のベローズ１６の外周側に同心状に
設けられた螺旋状の導線であり、その一端は可動側集電
導体４に取り付けられるとともに、他端は可動側取付導
体６に取り付けられる。他の構成は従来と同様である。
【００２２】上記構成において、コンデンサ電流は第１
のベローズ１６及び導線１８の双方に流れるので通電面
積が増大し、通電能力が向上する。又、第１のベローズ
１６は通電面積を増大するために大径にする必要がな
く、小径のままでよいので、自閉力が小さく、調整ナッ
ト１３の回転トルクも小さくてよい。又、導線１８は螺
旋状であるので、伸縮性があり、可動電極７の移動に追
従することができる。
のベローズ１６及び導線１８の双方に流れるので通電面
積が増大し、通電能力が向上する。又、第１のベローズ
１６は通電面積を増大するために大径にする必要がな
く、小径のままでよいので、自閉力が小さく、調整ナッ
ト１３の回転トルクも小さくてよい。又、導線１８は螺
旋状であるので、伸縮性があり、可動電極７の移動に追
従することができる。
【００２３】なお、導線１８を導電率の高い銅又は銀に
より形成すれば、より通電能力を高めることができる。
又、導線１８を帯状とすれば、通電面積が増大し、やは
り通電能力を向上することができる。
より形成すれば、より通電能力を高めることができる。
又、導線１８を帯状とすれば、通電面積が増大し、やは
り通電能力を向上することができる。
【００２４】なお、上記各実施形態においては、ガイド
ピン８を固定側取付導体３に取り付けるとともに、ガイ
ド部９を可動側取付導体６に取り付けたが、これを逆に
してもよい。又、可動リード１２をガイド部９と一体に
したが、別体としてもよい。又、第１のベローズ１６の
上端を可動リード１２に取り付けたが、可動側取付導体
６に取り付けてもよい。又、第２のベローズ１７の上端
及び導線１８の上端を可動側取付導体６に取り付けた
が、可動リード１２に取り付けてもよい。さらに、可動
リード１２と可動リードボルト１１を一体にしてもよ
い。
ピン８を固定側取付導体３に取り付けるとともに、ガイ
ド部９を可動側取付導体６に取り付けたが、これを逆に
してもよい。又、可動リード１２をガイド部９と一体に
したが、別体としてもよい。又、第１のベローズ１６の
上端を可動リード１２に取り付けたが、可動側取付導体
６に取り付けてもよい。又、第２のベローズ１７の上端
及び導線１８の上端を可動側取付導体６に取り付けた
が、可動リード１２に取り付けてもよい。さらに、可動
リード１２と可動リードボルト１１を一体にしてもよ
い。
【００２５】
【発明の効果】以上のようにこの発明の請求項１によれ
ば、第１のベローズの外周側に同心状に第２のベローズ
を設けたので、通電面積が増大し、通電能力を高めるこ
とができる。又、差圧により自閉力を発生する第１のベ
ローズは小径でよいので、調整ナットの回転トルクを小
さくすることができる。さらに、ベローズを二重に設け
たので、真空の信頼性を高めることができる。
ば、第１のベローズの外周側に同心状に第２のベローズ
を設けたので、通電面積が増大し、通電能力を高めるこ
とができる。又、差圧により自閉力を発生する第１のベ
ローズは小径でよいので、調整ナットの回転トルクを小
さくすることができる。さらに、ベローズを二重に設け
たので、真空の信頼性を高めることができる。
【００２６】請求項２によれば、第２のベローズを導電
率の高い材料により形成したので、通電能力をより高め
ることができる。
率の高い材料により形成したので、通電能力をより高め
ることができる。
【００２７】請求項３によれば、第１のベローズの外周
側に同心状に螺旋状の導線を設けたので、通電面積が増
大し、通電能力を向上することができる。又、第１のベ
ローズは小径のままでよいので自閉力を小さくすること
ができ、調整ナットの回転トルクを小さくすることがで
きる。
側に同心状に螺旋状の導線を設けたので、通電面積が増
大し、通電能力を向上することができる。又、第１のベ
ローズは小径のままでよいので自閉力を小さくすること
ができ、調整ナットの回転トルクを小さくすることがで
きる。
【００２８】請求項４によれば、導線を導電率のよい材
料により形成したので、通電能力をさらに高めることが
できる。
料により形成したので、通電能力をさらに高めることが
できる。
【００２９】請求項５によれば、導線を帯状としたの
で、通電面積を大きくすることができ、通電能力を向上
することができる。
で、通電面積を大きくすることができ、通電能力を向上
することができる。
【図１】この発明の実施形態１による真空可変コンデン
サの縦断面図である。
サの縦断面図である。
【図２】実施形態２による真空可変コンデンサの縦断面
図である。
図である。
【図３】従来の真空可変コンデンサの縦断面図である。
【図４】図３の一部拡大図である。
１…真空容器 ２…円筒部 ３…固定側取付導体 ４…可動側集電導体 ５…固定電極 ６…可動側取付導体 ７…可動電極 ８…ガイドピン ９…ガイド部 １０…ねじ受部 １１…可動リードボルト １２…可動リード １３…調整ナット １６…第１のベローズ １７…第２のベローズ １８…導線
Claims (5)
- 【請求項１】 絶縁部分を有する円筒部の一端に固定側
取付導体を設けるとともに、円筒部の他端に可動側集電
導体を設け、内部を真空にされた真空容器と、固定側取
付導体に同心円状で径の異なる複数の円筒状電極板を取
り付けて形成した固定電極と、この固定電極の各円筒状
電極板間に非接触で挿出入できるように径の異なる複数
の円筒状電極板を可動側取付導体に同心状に取り付けて
形成した可動電極と、固定側取付導体及び可動側取付導
体の中心部に設けられたガイドピン及びこのガイドピン
と電気的に絶縁して摺動自在に嵌合するガイド部と、可
動側集電導体の中心部に設けられた挿通孔に設けられた
ねじ受部と、可動側取付導体に可動リードを介して一体
的に取り付けられるとともに、ねじ受部に挿通された可
動リードボルトと、可動リードボルトと螺合されるとと
もにねじ受部に係止され、回転によって可動電極を固定
電極に対して移動させる調整ナットと、可動リードボル
トの外周側に位置し、一端が可動側集電導体に取り付け
られるとともに、他端が可動側取付導体又は可動リード
に取り付けられた筒状の第１のベローズと、第１のベロ
ーズの外周側に同心状に設けられ、一端が可動側集電導
体に取り付けられるとともに、他端が可動側取付導体又
は可動リードに取り付けられた筒状の第２のベローズを
備えたことを特徴とする真空可変コンデンサ。 - 【請求項２】 第２のベローズを銅、銀、ステンレスに
銅をコーティングしたもの、ステンレスに銀をコーティ
ングしたもののうちのいずれかにより形成したことを特
徴とする請求項１記載の真空可変コンデンサ。 - 【請求項３】 絶縁部分を有する円筒部の一端に固定側
取付導体を設けるとともに、円筒部の他端に可動側集電
導体を設け、内部を真空にされた真空容器と、固定側取
付導体に同心円状で径の異なる複数の円筒状電極板を取
り付けて形成した固定電極と、この固定電極の各円筒状
電極板間に非接触で挿出入できるように径の異なる複数
の円筒状電極板を可動側取付導体に同心状に取り付けて
形成した可動電極と、固定側取付導体及び可動側取付導
体の中心部に設けられたガイドピン及びこのガイドピン
と電気的に絶縁して摺動自在に嵌合するガイド部と、可
動側集電導体の中心部に設けられた挿通孔に設けられた
ねじ受部と、可動側取付導体に可動リードを介して一体
的に取り付けられるとともに、ねじ受部に挿通された可
動リードボルトと、可動リードボルトと螺合されるとと
もにねじ受部に係止され、回転によって可動電極を固定
電極に対して移動させる調整ナットと、可動リードボル
トの外周側に位置し、一端が可動側集電導体に取り付け
られるとともに、他端が可動側取付導体又は可動リード
に取り付けられた筒状の第１のベローズと、第１のベロ
ーズの外周側に同心状に設けられ、一端が可動側集電導
体に取り付けられるとともに、他端が可動側取付導体又
は可動リードに取り付けられた螺旋状の導線を備えたこ
とを特徴とする真空可変コンデンサ。 - 【請求項４】 導線を銅又は銀により形成したことを特
徴とする請求項３記載の真空可変コンデンサ。 - 【請求項５】 導線を帯状としたことを特徴とする請求
項３又は４記載の真空可変コンデンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9087090A JPH10284347A (ja) | 1997-04-07 | 1997-04-07 | 真空可変コンデンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9087090A JPH10284347A (ja) | 1997-04-07 | 1997-04-07 | 真空可変コンデンサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10284347A true JPH10284347A (ja) | 1998-10-23 |
Family
ID=13905264
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9087090A Pending JPH10284347A (ja) | 1997-04-07 | 1997-04-07 | 真空可変コンデンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10284347A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7041930B2 (en) | 2003-12-08 | 2006-05-09 | Kabushiki Kaisha Meidensha | Bellows for use in vacuum capacitor |
| JP2006332388A (ja) * | 2005-05-27 | 2006-12-07 | Meidensha Corp | 真空可変コンデンサ |
| CN105264630A (zh) * | 2013-06-06 | 2016-01-20 | 株式会社明电舍 | 封闭形继电器 |
| CN110240388A (zh) * | 2019-06-06 | 2019-09-17 | 河南工程学院 | 基于电压分级检测的交换电极电渗透污泥脱水系统及方法 |
| US10910184B2 (en) | 2013-06-06 | 2021-02-02 | Meidensha Corporation | Sealed relay |
| CN114121484A (zh) * | 2020-08-26 | 2022-03-01 | 昆山国力电子科技股份有限公司 | 一体式水冷可变陶瓷真空电容器 |
| CN115342965A (zh) * | 2022-09-21 | 2022-11-15 | 内蒙古工业大学 | 一种电容式气体压力传感器结构 |
| WO2023176514A1 (ja) * | 2022-03-17 | 2023-09-21 | 株式会社明電舎 | 真空コンデンサ |
| WO2026023490A1 (ja) * | 2024-07-22 | 2026-01-29 | 株式会社明電舎 | 真空コンデンサ |
| JP7816442B1 (ja) * | 2024-09-04 | 2026-02-18 | 株式会社明電舎 | 真空コンデンサ |
-
1997
- 1997-04-07 JP JP9087090A patent/JPH10284347A/ja active Pending
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7041930B2 (en) | 2003-12-08 | 2006-05-09 | Kabushiki Kaisha Meidensha | Bellows for use in vacuum capacitor |
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| US10910184B2 (en) | 2013-06-06 | 2021-02-02 | Meidensha Corporation | Sealed relay |
| CN110240388B (zh) * | 2019-06-06 | 2023-09-12 | 河南工程学院 | 基于电压分级检测的交换电极电渗透污泥脱水系统及方法 |
| CN110240388A (zh) * | 2019-06-06 | 2019-09-17 | 河南工程学院 | 基于电压分级检测的交换电极电渗透污泥脱水系统及方法 |
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| WO2023176514A1 (ja) * | 2022-03-17 | 2023-09-21 | 株式会社明電舎 | 真空コンデンサ |
| JP2023136974A (ja) * | 2022-03-17 | 2023-09-29 | 株式会社明電舎 | 真空コンデンサ |
| CN115342965A (zh) * | 2022-09-21 | 2022-11-15 | 内蒙古工业大学 | 一种电容式气体压力传感器结构 |
| WO2026023490A1 (ja) * | 2024-07-22 | 2026-01-29 | 株式会社明電舎 | 真空コンデンサ |
| JP2026015838A (ja) * | 2024-07-22 | 2026-02-03 | 株式会社明電舎 | 真空コンデンサ |
| JP7816442B1 (ja) * | 2024-09-04 | 2026-02-18 | 株式会社明電舎 | 真空コンデンサ |
| WO2026053815A1 (ja) * | 2024-09-04 | 2026-03-12 | 株式会社明電舎 | 真空コンデンサ |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040827 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041012 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050222 |