JPH10284877A - Icハンドラのマガジン回収装置 - Google Patents

Icハンドラのマガジン回収装置

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JPH10284877A
JPH10284877A JP9790997A JP9790997A JPH10284877A JP H10284877 A JPH10284877 A JP H10284877A JP 9790997 A JP9790997 A JP 9790997A JP 9790997 A JP9790997 A JP 9790997A JP H10284877 A JPH10284877 A JP H10284877A
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JP
Japan
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magazine
unloader
receiving member
stocker
unit
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Application number
JP9790997A
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English (en)
Inventor
Kenji Iijima
健治 飯島
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Hitachi High Tech Corp
Original Assignee
Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 ローダ部でICデバイスを払い出した空マガ
ジンをアンローダ部に自動的に供給して、このアンロー
ダ部でICデバイスを収容するための空マガジンとして
利用する等、ICハンドラのより完全な自動化を図る。 【構成】 アンローダ部20のマガジンストッカ30に
は空マガジンMが収容され、ローダ部3側の空マガジン
Mは、昇降ガイド42に沿って昇降し、昇降ブロック4
3に上下方向に回動可能に連結されたマガジン受け部材
41のマガジン受け面41aに載置される。この時には
マガジン受け面41aが水平状態に保持される。マガジ
ンストッカ30は、マガジン受け部材41の下方位置に
配置され、その下降ストロークの所定の高さ位置に作動
部材46が設けられて、マガジンMはその両端がガイド
部材31,31の凹溝31a,31aにより規制された
状態で、作動部材46がマガジン受け部材41の下面に
設けたカム面41bを押動して、マガジン受け部材41
を上方に回動させてマガジンMから離脱する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ICデバイスの電
気的特性の試験・測定等を行うために、ICデバイスを
マガジンに収容させた状態から、ICデバイスをテスタ
に供給して、テスト終了後のICデバイスを分類分けし
て、それぞれマガジンに収容させるようにしたICハン
ドラにおいて、ローダ部でICデバイスを払い出したマ
ガジンまたはアンローダ部でテスト後のICデバイスを
収容させたマガジンを所定のマガジン収容部材に自動的
に回収するためのマガジン回収装置に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】図7にICデバイスの電気的特性の試験
・測定を行う測定装置の概略構成を示す。同図におい
て、1はテスタ、2はICハンドラである。テスタ1
は、ICデバイスDのリードに接離するコンタクトを備
えたテストヘッド1aが鉛直状態となるように配置され
ている。ICハンドラ2はローダ部3,ローダ側搬送路
4、テスタ1への接続機構部5、アンローダ側搬送路6
及びテスト後のICデバイスDを測定結果毎に分類分け
するアンローダ部7を備えている。
【0003】ここで、ICハンドラ2はICデバイスD
を自重で滑走させるようになっており、このためにロー
ダ側搬送路4は所定角度傾斜したシュートから構成さ
れ、接続機構部5はICデバイスDを垂直方向にガイド
する手段を備え、アンローダ側搬送路6も傾斜シュート
を備えている。そして、ローダ側搬送路4から接続機構
部5への移行時、及び接続機構部5からアンローダ側搬
送路6への移行時には、それぞれICデバイスDの走行
方向を変える必要があることから、それらの各接合位置
には、図中の実線位置と仮想線位置との間に変位可能な
方向転換部材8,9が設けられている。また、接続機構
部5には、図示は省略するが、それに供給されたICデ
バイスDを所定の位置で位置決めクランプするための手
段と、このようにしてクランプされたICデバイスDを
テストヘッド1aに接離する手段とを備えている。さら
に、アンローダ部7には、ICデバイスDを分類分けし
て収容させるために、ICデバイスDの送り方向と直交
する方向に移動可能な振り分け部材10が配置されてい
る。
【0004】以上のように構成される測定装置は、IC
デバイスDを自重滑走させて、ローダ部3から接続機構
部5に移行させて、この接続機構部5によりテスタ1の
テストヘッド1aに接続し、テストを終了した後にはさ
らにアンローダ部7に送り込まれるが、ICデバイスD
は、図8に例示的に示したように、パッケージ部Pの両
側に多数のリードLを延在させたものであり、このIC
デバイスDはマガジンMに1列に収容され、このマガジ
ンMから取り出されて、電気的特性の測定が行われ、テ
スト後には再びマガジンMに収容される。従って、マガ
ジンMは、一端がストッパ等を装着することによって閉
塞され、他端が開放されたスティック状の部材である。
このマガジンMの開放側の端部が下方となるようにして
傾斜させると、ICデバイスDを1個ずつ放出でき、ま
た開放側の端部が上方になるように傾斜させると、内部
にICデバイスDを収容させることができる。
【0005】而して、前述した測定装置は、マガジンM
を用いてICデバイスDの供給を行い、かつテスト後の
ICデバイスDをマガジンMに収容させる。従って、ロ
ーダ部3にはICデバイスDの供給部にICデバイスD
を収容させたマガジンMを配置すると共に、アンローダ
部7のICデバイスの受け取り部にもマガジンMを配置
しておく。そして、ローダ部3におけるICデバイスD
の供給位置、即ちローダ側搬送路4が臨む位置には、マ
ガジンMを傾斜させる機構を配置して、図1に仮想線で
示したように、マガジンMを傾斜させることによって、
内部からICデバイスDを供給して、順次ローダ側搬送
路4に送り込むようにする。そして、このように供給さ
れたICデバイスDは自重で滑走して、接続機構部5で
テストヘッド1aに接続した後に、アンローダ側搬送路
6を走行して、アンローダ部7に設けたマガジンMに収
容させることになる。ここで、アンローダ側搬送路6は
傾斜しているから、アンローダ部7の受け取り位置に配
置したマガジンMは、アンローダ側搬送路6と同じ角度
傾斜させるようにしている。以上の構成により、ICハ
ンドラとしては、ICデバイスDを搬送するために、格
別の搬送手段を設けなくとも良いから、その構成が著し
く簡略化される。
【0006】このように、ローダ部3ではマガジンMを
傾斜させて、内部のICデバイスDを供給するが、全て
のICデバイスDが払い出されると、空マガジンMを排
出し、新たな実マガジンMをローダ部3におけるICデ
バイスDの供給位置に搬入しなければならない。このた
めに、ローダ部3には、図9に示したように、実マガジ
ンを多数積み重ねた状態にストックするマガジンストッ
カ11が1乃至複数列設けられる。そして、マガジン搬
送手段12によりマガジンMが1個ずつ取り出されて、
ICデバイスDの供給位置に移行させるようになってい
る。また、ICデバイスDが払い出された空マガジンを
回収するために、マガジン回収箱13が設けられる。従
って、空マガジンは順次このマガジン回収箱13に落と
し込まれるようにして回収される。一方、アンローダ部
7にもマガジンストッカが設けられており、このアンロ
ーダ部7側のマガジンストッカは、空のマガジンを収容
する空マガジンストッカである。そして、アンローダ部
7では、マガジンは所定角度傾斜した状態に配置される
関係から、そのマガジンストッカも、このアンローダ部
7でICデバイスDを受け取る受取位置のマガジンと同
じ角度傾斜するように配置されている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前述した構
成において、ローダ部側では、マガジンストッカは実マ
ガジンをストックするものであり、またアンローダ部側
のマガジンストッカは空マガジンをストックするもので
ある。ローダ部では、マガジンストッカからはマガジン
が1本ずつ取り出されて、ICデバイスの供給位置に移
行して、ICデバイスの供給が行われる。そして、マガ
ジンが払い出されて空になると、この空マガジンをその
ままアンローダ部に供給できるようにすれば、アンロー
ダ用のマガジンとして利用することは可能である。ただ
し、従来技術においては、ローダ部側で発生する空マガ
ジンをそのままアンローダ部側で利用するようになって
おらず、ローダ部側で発生した空マガジンをアンローダ
部側で再利用する場合には、マガジン回収箱で回収され
たマガジンを揃えて、アンローダ側のマガジンストッカ
に供給しなければならないことになる。以上のことか
ら、マガジンストッカへのマガジンの装着等の作業を人
手により行わなければならない分だけ、装置の自動化及
び無人化ができないという問題点があった。とりわけ、
マガジン回収箱に回収されたマガジンは様々な方向を向
いており、これらを1本ずつ方向を合わせるようにして
揃える作業はかなり面倒なものとなる。
【0008】本発明は以上の点に鑑みてなされたもので
あって、その目的とするところは、マガジンを使用した
後に、それを自動的に所定の部材に回収できるようにな
し、もって例えばローダ部側で発生する空マガジンをア
ンローダ部側のマガジンストッカに供給でき、人手によ
る作業を少なくできるようにすることにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明は、ICデバイスを1列に収容するステ
ィック状のマガジンを1本ずつ積み重ねた状態に回収す
るために、これらマガジンの両端が係入する一対のガイ
ド部材を有するマガジン収容部と、昇降駆動手段に昇降
可能に連結され、マガジンが載置されるマガジン受け面
を備えたマガジン受け部材と、このマガジン受け部材
を、常時にはそのマガジン受け面が水平状態になるよう
に付勢する付勢手段及びこの付勢手段に抗して上方に向
けて回動させる作動手段とを有し、前記マガジン受け部
材は、前記駆動手段により前記マガジン収容部の位置で
上下方向に移動可能となし、また前記作動手段は、前記
マガジン受け部材の下降によりそのマガジン受け面に載
置したマガジンの両端が前記両ガイド部材に係入した後
に、このマガジン受け部材に当接して上方に回動させる
位置に配置する構成としたことをその特徴とするもので
ある。
【0010】以上の構成を有するマガジン回収装置は、
ICハンドラにおいて、例えばローダ部でICデバイス
を払い出した空マガジンを回収して、アンローダ部のマ
ガジンストッカに供給するために用いることができる。
このためには、マガジン収容部は、ICハンドラのアン
ローダ部に配置されるマガジンストッカとする。そし
て、ローダ部から排出される空のマガジンをマガジン受
け部材のマガジン面に載置して、このアンローダ部側の
マガジンストッカに送り込む。このためには、アンロー
ダ部側のマガジンストッカはマガジンを水平状態にして
収容させるようにするのが好ましい。そこで、アンロー
ダ部に接続したアンローダ側搬送路には、ICデバイス
を傾斜した状態から水平状態になるように姿勢を制御す
る姿勢制御通路を設けて、この姿勢制御通路内に送り込
まれたICデバイスは、押し込み手段によりマガジン内
に強制的に送り込むように構成すれば良い。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施の形態について説明する。まず、図1はICデバイス
Dの電気的特性の測定装置の概略構成を示す。この図か
ら明らかなように、従来技術の測定装置として示した図
7のものと比較して、アンローダ部側の構成が異なって
いる。従って、このアンローダ部の部位の構成以外につ
いては、図7と同じ符号を付して、その具体的な説明は
省略する。
【0012】而して、21はICハンドラ2におけるア
ンローダ部であって、このアンローダ部21には、接続
機構部5の作動によりテスタ1のテストヘッド1aと接
続されて、テストを行った後のICデバイスDが送り込
まれて、ICデバイスDを複数の品質に分けてそれぞれ
別個のマガジンMに収容するためのものである。従っ
て、図2に示したように、アンローダ部21のICデバ
イスDの受取位置としては、分類分けする種類に相当す
る数だけ存在しており、これら各受取位置にはそれぞれ
マガジンMが平行に並べて配置されている。ここで、従
来技術のものと異なり、各受取位置に配置されるマガジ
ンMは水平状態に配置されている。
【0013】アンローダ側搬送路22は傾斜した搬送路
となっており、このアンローダ側搬送路22には振り分
け部材23が接続されて、テスト結果に基づいて、IC
デバイスDをアンローダ部21に配置した複数本のマガ
ジンMのうち、どのマガジンに収容させるかによって、
振り分け部材23を変位させて、所定のマガジンに向け
て送り出すようにしている。ただし、振り分け部材23
から直接マガジンMにICデバイスDが送り込まれるの
ではなく、アンローダ部21の各受取位置に配置されて
いるマガジンMのそれぞれに接続するように姿勢制御通
路24が設けられている。即ち、振り分け部材23から
送り出されたICデバイスDは傾斜しているが、このI
CデバイスDを姿勢制御通路24内で水平状態に姿勢を
変えるようにしている。従って、この姿勢制御通路24
は、上下方向に湾曲した通路となっている。
【0014】以上のようにして、姿勢制御通路24によ
ってICデバイスDを水平状態に姿勢を変えるようにす
ることによって、マガジンMは水平に配置した状態でI
CデバイスDを受け取るようになる。ここで、ICデバ
イスDが水平状態になると停止してしまい、マガジンM
内に送り込めなくなってしまう。このために、ICデバ
イスDを強制的にマガジンMに送り込む手段を必要とす
る。そこで、姿勢制御通路24の水平部分に向けてエア
シリンダ25を設けるようにする。そして、このエアシ
リンダ25には、押し込みロッド26を連結して、この
押し込みロッド26を姿勢制御通路24を貫通させて、
ICデバイスDが停止する部位からマガジンMの内部に
挿入できるようになっている。
【0015】エアシリンダ25による押し込みロッド2
6の移動ストロークは、姿勢制御通路24におけるIC
デバイスDが停止する位置の手前側から、マガジンM内
にICデバイスDが満杯となった状態で、その端部が位
置する部位までのストロークを有するものとする。従っ
て、ICデバイスDはマガジンMの手前側から順次奥側
に向けて押し込まれるようにして収容される。そして、
姿勢制御通路24には、ICデバイスDの有無を検出す
るセンサ27を設けておき、このセンサ27でICデバ
イスDが供給されたことを検出した時に、押し込みロッ
ド26を作動させて、ICデバイスDをマガジンM内に
順次押し込むことができるようになっている。
【0016】さらに、図2において、30はマガジンス
トッカである。このマガジンストッカ30は空マガジン
が多段に積層した状態に収容されている。マガジンスト
ッカ30は、図3に示したように、前後一対のガイド部
材31,31を有し、これら両ガイド部材31,31は
角棒状の部材からなり、相対向する面には、上下方向に
貫通する凹溝31a,31aが形成されている。この凹
溝31a,31aの間隔は、マガジンMの長さより僅か
に長くなっており、また溝幅はマガジンMの幅より僅か
に広くなっている。そして、このマガジンストッカ30
には、マガジンMが水平状態にして収容されることにな
る。
【0017】このマガジンストッカ30における両ガイ
ド部材31,31の下端部には、マガジンMを1本ずつ
分離して下方に落とし込む個別分離手段32が設けられ
ている。この個別分離手段32は、種々の構成のものが
知られているが、例えば上下に位置する2個のシリンダ
32a,32bを用いることができる。この構成におい
ては、常時は、下側のシリンダ32aにより最下段のマ
ガジンが脱落しないように保持されており、この状態か
ら上側のシリンダ32bで下から2番目のマガジンを保
持した状態で、シリンダ32aによるマガジンの保持を
解除すると、1本のマガジンが分離される。そして、シ
リンダ32aをマガジン保持状態に変位させて、シリン
ダ32bによるマガジンの保持を解除すると、ガイド部
材31,31間に位置する全てのマガジンが1本分下降
する。
【0018】マガジンストッカ30の位置と、アンロー
ダ部21によるICデバイスを受け取る位置との間にマ
ガジンMを搬送するために、マガジン搬送手段33が設
けられており、このマガジン搬送手段33によりマガジ
ンストッカ30から個別分離されたマガジンを取り出し
て、アンローダ部21におけるICデバイスの受取位置
に供給されることになる。このマガジン搬送手段33
は、図3には概略的に示したが、垂直方向に変位させる
部材と、水平方向に移動させる部材とで構成され、例え
ばシリンダとボールねじ送り手段との組み合わせや矩形
運動送り手段等により構成できる。そして、所要のIC
デバイスの受取位置に供給されると、マガジンMはマガ
ジン搬送手段33から分離されて、ICデバイスの受取
位置に保持されることになる。
【0019】ここで、マガジンストッカ30は空マガジ
ンをストックするためのものであり、ローダ部3におい
ては、マガジンMからICデバイスDを払い出して空に
なったマガジンが排出される。このローダ部3から排出
される空マガジンをマガジンストッカ30に送り込むよ
うにすることによって、アンローダ部21への空マガジ
ンの供給及びローダ部3における空マガジンの回収作業
を不要ならしめるようにしている。
【0020】このために、図4乃至図6に示したよう
に、ローダ部3には、ICデバイス供給位置から空マガ
ジンを運び出すマガジン搬出手段40が設けられてい
る。このマガジン搬出手段40は所定の間隔を置いて2
個のマガジンを載置して搬送できるようになっている。
そして、このマガジン搬出手段40は、1個のマガジン
MをICデバイスDの供給位置に搬送すると共に、もう
1個のICデバイスDをマガジン受け部材41の位置に
搬送するためのものである。ここで、もう1個のICデ
バイスDは、供給位置でICデバイスDを払い出した空
マガジンである。マガジン搬出手段40の駆動機構はマ
ガジン搬送手段33と同様の構成とすることができる。
マガジン受け部材41は、水平状態に保持されているマ
ガジン受け面41aを有し、このマガジン受け部材41
は昇降ガイド42に沿ってボールねじ送り手段やシリン
ダ等により昇降する昇降ブロック43に連結して設けら
れている。そして、マガジン受け部材41は、マガジン
搬出手段40からマガジンMをそのマガジン受け面41
aに受け取ると、このマガジン受け面41a上に安定し
た状態に保持できるように、所定の幅を有するものであ
る。
【0021】マガジン受け部材41は、昇降ブロック4
3に支点ピン44により上下方向に回動可能に連結され
ており、常時においては、そのマガジン受け面41aが
水平状態に保持するようにするために、昇降ブロック4
3にはストッパ部43aが設けられると共に、マガジン
受け部材41をこのストッパ部43aに当接する方向に
付勢する付勢手段としてのばね45が作用している。従
って、マガジン受け部材41はばね45に抗して上方に
回動可能となっている。
【0022】マガジンストッカ30は、マガジン受け部
材41の下方位置に配置されており、従ってマガジン受
け部材41のマガジン受け面41a上にマガジンMを設
置した状態で、昇降ブロック43を下降させると、マガ
ジンMはマガジンストッカ30を構成する一対のガイド
部材31,31間に移行して、このマガジンMの両端
は、凹溝31a,31a内に挿嵌されることになる。な
お、マガジンMの凹溝31a内への挿嵌をより確実なも
のとするには、凹溝31aの上端部にテーパ状に拡開す
る呼び込み部を形成するのが好ましい。
【0023】ここで、マガジン受け部材41は、マガジ
ンストッカ30を構成するガイド部材31,31間の位
置に下降するようになっており、従ってこの下降ストロ
ークの間において、ガイド部材31と干渉するおそれは
ない。そして、このマガジン受け部材41上に設置した
マガジンMの両端がガイド部材31,31の凹溝31
a,31a内に入り込んだ後には、このマガジン受け部
材41を上方向に回動させて、マガジン受け部材41か
らマガジンMを離脱させるようになっている。このため
に、所定の高さ位置には、作動部材46が固定的に設け
られている。
【0024】作動部材46は水平方向に配設したロッド
状の部材からなり、マガジン受け部材41が下降する
と、その下面に設けた円弧状のカム面41bが作動部材
46に当接して、このマガジン受け部材41が支点ピン
44を中心としてばね45に抗して上方に回動するよう
になっている。この結果、図6に示したように、マガジ
ン受け部材41によりマガジンMは一度上方に押し上げ
られるようになる。ただし、その両端がガイド部材3
1,31の凹溝31a,31aにより規制されているか
ら、マガジン受け部材41が所定角度上方に回動する
と、このマガジン受け部材41はマガジンMから離間す
ることになる。従って、マガジンMはマガジン受け部材
41による規制が解除されて、自重によりマガジンスト
ッカ30に既に収容されているマガジンの上に落とし込
まれる。
【0025】ここで、作動部材46の配設位置として
は、マガジン受け部材41が上方に回動してもその上に
設置したマガジンがガイド部材31の上方から突出しな
い位置であり、かつできるだけ上方に配置する。これに
よって、マガジンストッカ30には、実質的に作動部材
46の配設位置より下方の部位をマガジンの収容空間と
して利用できるようになる。
【0026】このように構成することによって、ローダ
部3から排出されたマガジンをアンローダ部21に回収
して、このアンローダ部21においてテストが終了した
ICデバイスを収容させるための空マガジンとして供給
できるようになる。ここで、アンローダ部21では、ロ
ーダ部3から供給されるICデバイスDを収容させるの
であるから、ローダ部3で使ったマガジンの数と、アン
ローダ部21で必要なマガジンの数とを比較すると、ア
ンローダ部21の方が、実質的に、ICデバイスDの受
取位置に配置され、ICデバイスDを分類分けする種類
に相当する数のマガジンだけ多く必要とするが、少なく
ともその数の分だけアンローダ部21側にマガジンを予
め供給しておけば、測定装置の作動中にアンローダ部2
1側に空マガジンを補給する必要は実質的になくなる。
従って、このICデバイスの測定装置における人手によ
り行わなければならない作業を少なくできて、より自動
化を図ることができる。
【0027】なお、前述した実施の形態においては、I
Cデバイスの電気的特性の試験・測定を行うための測定
装置に用いられるICハンドラとして構成したものとし
て説明したが、これ以外の検査等を行うための装置とし
て構成することもできる。また、ローダ部から排出され
る空マガジンをアンローダ部に回収して、アンローダ部
用のマガジンとして用いるようにしたが、例えばアンロ
ーダ部においてテスト終了後のICデバイスを収容させ
たマガジンを、例えば持ち運び可能なマガジンカセット
に回収するための装置として用いることもできる。
【0028】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、一対の
ガイド部材を有するマガジン収容部にマガジンを収容さ
せる作業を自動化できる構成としたので、ICハンドラ
におけるローダ部でICデバイスを払い出した空マガジ
ンをアンローダ部に自動的に供給して、このアンローダ
部でICデバイスを収容するための空マガジンとして利
用できるようになる等、ICハンドラをより完全な自動
化が図られる等の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の一形態を示すマガジン回収装置
を設けたICデバイスの測定装置の概略構成図である。
【図2】アンローダ部の平面図である。
【図3】アンローダ部におけるマガジンストッカの構成
説明図である。
【図4】マガジン回収装置の構成説明図である。
【図5】図4の矢印方向から見た図である。
【図6】マガジン回収装置の作動説明図である。
【図7】従来技術によるICデバイスの測定装置の概略
構成図である。
【図8】ICデバイスと、このICデバイスを収容する
マガジンとの外観図である。
【図9】従来技術のICデバイスの測定装置におけるロ
ーダ部の構成説明図である。
【符号の説明】
1 テスタ 2 ICハ
ンドラ 3 ローダ部 4 ローダ
側搬送路 5 接続機構部 21 アン
ローダ部 22 アンローダ側搬送路 23 振り
分け部材 24 姿勢制御通路 25 エア
シリンダ 26 押し込みロッド 30 マガ
ジンストッカ 31 ガイド部材 31a 凹
溝 41 マガジン受け部材 41a マ
ガジン受け面 41b カム面 43 昇降
ブロック 44 支点ピン 45 ばね 46 作動部材

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ICデバイスを1列に収容するスティッ
    ク状のマガジンを1本ずつ積み重ねた状態に回収するた
    めに、これらマガジンの両端が係入する一対のガイド部
    材を有するマガジン収容部と、昇降駆動手段に昇降可能
    に連結され、マガジンが載置されるマガジン受け面を備
    えたマガジン受け部材と、このマガジン受け部材を、常
    時にはそのマガジン受け面が水平状態になるように付勢
    する付勢手段及びこの付勢手段に抗して上方に向けて回
    動させる作動手段とを有し、前記マガジン受け部材は、
    前記駆動手段により前記マガジン収容部の位置で上下方
    向に移動可能となし、また前記作動手段は、前記マガジ
    ン受け部材の下降によりそのマガジン受け面に載置した
    マガジンの両端が前記両ガイド部材に係入した後に、こ
    のマガジン受け部材に当接して上方に回動させる位置に
    配置する構成としたことを特徴とするICハンドラのマ
    ガジン回収装置。
  2. 【請求項2】 前記マガジン収容部は、上下方向に向け
    て貫通する凹溝を形成した一対のガイド部材からなり、
    ICデバイスを自重滑走させるようにしたICハンドラ
    における空マガジンを収容するアンローダ部のマガジン
    ストッカであり、このアンローダ部の上方に位置するロ
    ーダ部側でICデバイスを払い出した空マガジンを前記
    マガジン受け部材に載置させて、前記アンローダ部のマ
    ガジンストッカのガイド部材に供給する構成としたこと
    を特徴とする請求項1記載のICハンドラのマガジン回
    収装置。
  3. 【請求項3】 前記マガジンストッカには、マガジンを
    水平状態にして収容されるようになっており、前記アン
    ローダ部のICデバイスの受取位置には、マガジンが水
    平に配置されて、ICデバイスを受け取るように構成し
    たことを特徴とする請求項2記載のICハンドラのマガ
    ジン回収装置。
  4. 【請求項4】 前記アンローダ部に接続したアンローダ
    側搬送路には、ICデバイスを傾斜した状態から水平状
    態になるように姿勢を制御する姿勢制御通路を設けて、
    この姿勢制御通路内に送り込まれたICデバイスは、押
    し込み手段により前記マガジン内に強制的に送り込む構
    成としたことを特徴とする請求項3記載のICハンドラ
    のマガジン回収装置。
JP9790997A 1997-04-02 1997-04-02 Icハンドラのマガジン回収装置 Pending JPH10284877A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100442671B1 (ko) * 2002-01-21 2004-08-02 미래산업 주식회사 수직식 핸들러의 반도체 소자 걸림 해제장치

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100442671B1 (ko) * 2002-01-21 2004-08-02 미래산업 주식회사 수직식 핸들러의 반도체 소자 걸림 해제장치

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