JPH10286689A - はんだ合金 - Google Patents
はんだ合金Info
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Abstract
良く、熱疲労強度に優れるSn-Sb 系「はんだ合金」を得
る。 【解決手段】スズを主成分とし、アンチモンを2.5な
いし3.5重量%、銀を1.0ないし3.5重量%、銅
を1.0重量%以下の量含む「はんだ合金」にする。
Description
属の接合に使用される「はんだ合金」に係り、特に鉛を
含有しないで対環境性の良好な「はんだ合金」に関す
る。
として、所望の接合温度を有し、接合時に「ぬれ性」が
良好であること、熱疲労強度や耐食性が優れること、さ
らに環境に対する配慮から鉛Pbを含有しないことが望ま
れる。半導体装置におけるチップの「はんだ合金」接合
部は、金属導体との面積接合であり、パワー通電時のチ
ップの熱発生により大きな熱ひずみを発生するために接
合部に使用される「はんだ合金」は過酷な使用環境に置
かれることとなり、優れた熱疲労強度が要求される。さ
らに半導体装置によっては構造的に複数回の「はんだ接
合」を必要とする場合があり、このときには接合温度の
異なる複数の種類の「はんだ合金」が必要で、後工程の
温度プロファイルの影響を受けにくい「はんだ合金」が
必要になる。
金」としては、Pb-Sn 「はんだ合金」、及びSn-Sb 「は
んだ合金」が知られている。しかしながら従来の「はん
だ合金」には以下のような問題があった。Pb-Sn 「はん
だ合金」は、引張り強度が低くて延性に富むため、発生
ひずみ量が大きくて疲労強度が低く、また下記に記述す
るように耐熱性が低い点と合わせ、熱疲労強度が低いと
いう欠点がある。Pb-Sn 「はんだ合金」は、183 ℃を共
晶温度とする合金であり、Pbの増加により溶融点を183
℃から300 ℃付近まで高めることはできるが、液相のみ
が存在する液相温度と固相のみが存在する固相温度(18
3 ℃)の間の固液共存領域が広くなる。共晶組成(63Pb
37Sn)以外の高Pb「はんだ合金」であっても、接合時の
凝固時間は通常短く、高Pb―低Sn「はんだ合金」の二元
系状態図に基づいて理想的な凝固過程を辿ることは少な
く、鉛、スズ、それぞれの濃度が高い相や共晶組織など
種々形態の金属組織となり、安定化し難い。また耐熱性
の点では、共晶温度が183 ℃であるために比較的低温域
で材質劣化が生じやすいという問題がある。
するため環境対策の点で望ましくない。
に替わる「はんだ合金」でPbを含有せず、かつ耐熱性の
良好な「はんだ合金」としては、溶融点232-245 ℃を有
するSn-Sb 「はんだ合金」が広く知られている。図4は
Sn-Sb 「はんだ合金」の相平衡を示す状態図である。
ック(昭和49年版)に所収のものである。Sn-Sb 「は
んだ合金」は、Pb-Sn 「はんだ合金」より強度が比較的
高く優れている。Sn-Sb 「はんだ合金」は、Sb8.5wt%に
おいて包晶点(包晶温度245℃)を有し、Sbは通常、8 w
t% 以下で使用される。溶融はSnの溶融点232 ℃と包晶
温度245 ℃の間で生じるので、固液共存領域が狭くて溶
融開始温度が高く、耐熱性に優れている。Sb量を増加す
ることにより、強度的にも優れたものが得られる。しか
しながらSn-Sb 「はんだ合金」は、はんだ接合時のぬれ
性が悪く、また熱疲労強度も充分に満足できるものでは
なかった。
的は、Sn-Sb 「はんだ合金」に改良を加え、ぬれ性が良
く、熱疲労強度に優れるSn-Sb 系「はんだ合金」を提供
することにある。
よればスズを主成分とし、アンチモンを2.5ないし
3.5重量%、銀を1.0ないし3.5重量%、銅を
1.0重量%以下の量含むこと、またはスズを主成分と
し、アンチモンを2.5ないし3.5重量%、銀を1.
0ないし3.5重量%、ニッケルを1.0重量%以下の
量含むことにより達成される。
溶融点232 ℃から240 ℃において、熱疲労特性を高めて
いるが、ぬれ性の改善と一層の強度増加をAg,Cu,Niの添
加により達成する。Agの添加は、疲労強度,ぬれ性を向
上する。Agは、結晶粒界に高濃度に存在し、結晶粒界の
移動を抑えるため疲労強度が向上する。しかしながらSn
-Ag 合金は、Sn-3.5wt% Agにおいて共晶点( 共晶温度22
1 ℃) を有し、Ag添加により溶融点の低下をもたらすの
でCu,Ni 添加により溶融点を高めて溶融点の低下を補う
ことができる。Ag添加量としては、3wt%と、6wt%含
有する合金では強度は同レベルである。Ag添加量が3.5w
t%を越すと、溶融点(液相温度)が高くなり、接合温度
をぬれ性確保のためにも高くする必要があり、さらに固
液共存領域が大きくなる。
中に固溶して耐熱性と合金強度を向上させる。Cuを3wt
%以上添加すると、溶融点(液相温度)が急激に上昇
し、また特開平5-50286 号公報に指摘されているように
金属間化合物(Cu3Sn など)の形成量が多くなり、疲労
強度が損なわれる。Cuは0.5wt%の添加しても強度の向上
をもたらす。
合金の熱的安定性をもたらすとともに、結晶組織の微細
化効果、Ni-Sn 化合物の形成による熱疲労特性向上効
果、およびCu基板と接合する際の接合強度を低下させる
金属間化合物(Cu3Sn )の生成を抑制する。Ni量が多く
なると(5wt%以上)、合金溶製が困難となり、接合時に
粘度が大きくなって広がり性が低下する。Ni量が1.0 wt
% 以下では、強度向上、およびぬれ性が向上する。Ni量
が1wt %を越すと硬くなり圧延加工性が悪くなる。
とし、アンチモンを2.5ないし3.5重量%、銀を
1.0ないし3.5重量%、銅を1.0重量%以下の量
含むSn-Sb 系「はんだ合金」,スズを主成分とし、アン
チモンを2.5ないし3.5重量%、銀を1.0ないし
3.5重量%、ニッケルを1.0重量%以下の量含むSn
-Sb 系「はんだ合金」,またはスズを主成分とし、アン
チモンを2.5ないし3.5重量%、銀を1.0ないし
3.5重量%、銅を1.0重量%以下の量、ニッケルを
1.0重量%以下の量含むSn-Sb 系「はんだ合金」が用
いられる。
金」の最適組成領域を示す要部拡大正四面体図である。
図2はSn,Sb,Ag,Ni からなる「はんだ合金」の最適組成
領域を示す要部拡大正四面体図である。図3はSn,Sb,A
g,Ni+Cu からなる「はんだ合金」の最適組成領域を示
す要部拡大正四面体図である。
f5,f6,f7,f8,またはf1,f2,f3,f4,f9,f10 ,f
11 ,f12,で囲まれた領域である。但しf1,f2,f3,
f4,で囲まれる平面は含まれない。nを1 ないし12の整
数とするとき fn ( Sb重量%,Ag重量%,Cu 重量%また
はNi重量%または(Cu+Ni) 重量%,Sn 重量%) は正四面
体内の「はんだ合金」組成を示す。金属の重量%は正四
面体の高さを100 としたときに各組成から四つの平面に
下した垂線の長さである。(Cu+Ni) 重量%はCu,Niそれ
ぞれが1.0 重量%以下である。
0, 95.5) 、f3(3.5, 3.5, 0,93.0) 、f4(2.5, 3.5,
0, 94.0) 、f5(2.5, 1.0, 1.0, 95.5)、f6(3.5, 1.
0,1.0, 94.5) 、f7(3.5, 3.5, 1.0, 92.0)、f8(2.5,
3.5, 1.0, 93.0)、f9(2.5, 1.0, 2.0, 94.5)、f10(3.
5, 1.0, 2.0, 93.5) 、f11(3.5, 3.5, 2.0, 91.0) 、
f12(2.5, 3.5, 2.0, 92.0) 「はんだ合金」は、Sn,Sb,Ag,Cu,Ni各原料金属を電気炉
中で溶解することにより作製される。
た。この溶製原料を金型に鋳込み引張り試験片(3 mm
φ)を作製し、また溶製原料の一部を用いてぬれ性を測
定した。引張試験は室温で実施した。ぬれ性はメニスコ
グラフ法で、フラックス(RMAタイプ)を使用して測
定した。はんだ原料を280 ℃に加熱、溶融させ、2 mm
φの銅線を使用し、浸漬後、ぬれ力を測定した。
び,ぬれ力が表1に示される。表中の組成を示す数字は
重量%を表す。
強度は増大するが、ぬれ性は低下する傾向を有する。Ag
添加量を増加すると、強度の向上が認められる。しかし
強度レベルの増加はAgを3wt%添加しても6 wt% 添加して
もほぼ同レベルである。Agは溶融点を大きく低下しない
で、ぬれ性を改善するのに有効であるが、3.5wt%を越す
と、溶融温度(液相線)が上昇し、作業温度を高くする
必要が生じ、共晶温度221 ℃(固相線)との固液共存温
度域も広くなる。従って強度を向上させ、ぬれ性を改善
させる適切なAgの添加量は1 〜3.5wt%量である。
向上するから、強化効果をもたらしていることがわか
る。Sn-3wt%Sb-1wt%Ag-1wt%Cu にNiを0.5wt%, 1.0wt%添
加したものは優れたぬれ性を示しており、複合添加によ
り強度向上とともにぬれ性が向上することがわかる。ま
たSn-3%wtSb-3wt%Agにおいては、Cu,Ni を0.5wt%添加し
たものは、強度が最も高く、ぬれ性もSn−5 wt%Sb 「は
んだ合金」,Sn −8 wt%Sb 「はんだ合金」に比して優れ
ている。Sn-3wt%Sb 「はんだ合金」に3 wt% Ag,0.5wt%
Cu, 0.5wt%Niを複合添加することにより強度は3〜5倍
になっている。Cu,Ni は単独に添加しても強度向上に効
果はあるが、複合添加した方が熱疲労強度の向上に役立
つ。
にあり、耐熱強度に優れることが特徴であるが、ぬれ性
に劣ることが欠点であった。以上の実施例で得た測定結
果からわかるようにAg,Cu,Niを添加することにより、4w
t%以上のSbを含有するSn-Sb「はんだ合金」に比し、強
度的に格段に優れ、耐熱性を有し、ぬれ性も向上した
「はんだ合金」が得られる。
を主成分とし、アンチモンを2.5ないし3.5重量
%、銀を1.0ないし3.5重量%、銅を1.0重量%
以下の量含むとし、またはスズを主成分とし、アンチモ
ンを2.5ないし3.5重量%、銀を1.0ないし3.
5重量%、ニッケルを1.0重量%以下の量含むとする
ので、4wt%以上のSbを含有するSn-Sb 「はんだ合金」に
比し、強度的に格段に優れ、耐熱性を有し、ぬれ性も向
上した「はんだ合金」が得られた。また本合金は鉛を含
まないので環境的にも望ましい「はんだ合金」が得られ
た。
成領域を示す要部拡大正四面体図
成領域を示す要部拡大正四面体図
組成領域を示す要部拡大正四面体図
Claims (2)
- 【請求項1】スズを主成分とし、アンチモンを2.5な
いし3.5重量%、銀を1.0ないし3.5重量%、銅
を1.0重量%以下の量含む「はんだ合金」。 - 【請求項2】スズを主成分とし、アンチモンを2.5な
いし3.5重量%、銀を1.0ないし3.5重量%、ニ
ッケルを1.0重量%以下の量含む「はんだ合金」。
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