JPH10290584A

JPH10290584A - 超音波モータ

Info

Publication number: JPH10290584A
Application number: JP9097616A
Authority: JP
Inventors: Yuichi Yamakawa; 祐一山川
Original assignee: Seiko Precision Inc
Current assignee: Seiko Precision Inc
Priority date: 1997-04-15
Filing date: 1997-04-15
Publication date: 1998-10-27

Abstract

(57)【要約】【課題】構成が簡単であり、ロータに高精度を要求す
ることのない超音波モータを提供する。【解決手段】円環型圧電セラミック２２の外周部に接
触するロータＲは、複数のロータ片２５を連結部材２６
で一体に連結したものからなり、各ロータ片には回転方
向と直交する方向に凹部が設けてある。また、ロータＲ
の外側には弾性部材２７が設けてあり、各ロータ片が円
環型圧電セラミックの外周面に向けて大きな押圧力を働
かせるようにしてある。ガイド板２８，２９はロータの
案内部を介して同方向に回転する。一方のガイド板の外
周には歯車の歯形２９ｂが形成してある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の技術分野】本発明は超音波モータに関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】モータの種類には種々のものがあるが、
近時、コイルや磁石が不要で小型かつ軽量で速い応答性
をもつなど従来のモータとは大きく相違する超音波モー
タが各分野で採用されるようになってきた。また、超音
波モータは、印加する電界の調整により任意の回転数が
得られるため、減速装置を必要とせず高トルクが得られ
るなどの特徴を有することから各種機器へ応用されつつ
ある。このような超音波モータにはいくつかの種類があ
るが、その中の１つとして円環型圧電セラミックを振動
体として採用したものがある。

【０００３】ところで、円環型圧電セラミックの振動に
よって回転移動するロータからトルクを取り出す場合
に、円環型圧電セラミックとロータとの間の摩擦力を大
きくすることが必要とされている。これについては、ロ
ータの内径部を約１０°のテーパ状に仕上げ、これに対
応して圧電セラミックの外径もテーパ状に仕上げ、両テ
ーパ部を嵌合することによって両者間の摩擦力を大きく
する技術が提案されている（例えば、特開昭６３−１８
１６７７号公報）。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記したように、円環
型圧電セラミックとロータとの間の摩擦力を増大させる
ために両者の嵌合部をテーパ状に仕上げると、これら両
テーパ部の加工に高精度が要求され、製造コスト増大の
一因となる問題がある。また、上記した構成によって
は、接触圧を増大させることが困難であるため、ロータ
の回転による高トルクを得ることが難しいという問題が
ある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記の問題を解決するた
めに本発明は、円環型圧電セラミックの内径部をベース
板に固定されたガイド部材に固定することにより振動体
とし、この円環型圧電セラミックの外周部にこれと接触
するロータを設け、この円環型圧電セラミックに電界を
印加することにより発生する超音波振動によってロータ
を回転させる超音波モータにおいて、以下の手段を採用
した。

【０００６】上記したロータを円環型圧電セラミックの
外周部に放射状に配設してなる複数のロータ片によって
構成し、これらの各ロータ片からなるロータの外側に、
各ロータ片の内側部が円環型圧電セラミックの外周部に
接触する方向に押圧する弾性部材を設けることにより、
ロータに大きなトルクを発生可能としてある。

【０００７】また、ロータの回転方向に対して直交する
方向に凹部を設け、各ロータ片の内側部と円環型圧電セ
ラミックの外周部との接触面を大きくしてある。

【０００８】さらに、ロータは複数のロータ片を連結部
材を用いて一体に連結して構成してある。

【０００９】また、円環型圧電セラミックの両側に１対
のガイド板を設け、これらのガイド板の少なくとも一方
は、各ロータ片に対して円環型圧電セラミックの径方向
には進退自在に、ロータの回転方向には進退不能に係合
させてある。

【００１０】さらに、外部へロータの回転を出力させる
手段としては、回転するガイド板の外周部に歯車の歯形
を形成してある。

【００１１】さらにまた、上記した１対のガイド板のい
ずれか一方に、他方のガイド板を同方向に回転可能に結
合する結合フックを設けてある。

【００１２】

【発明の実施の形態】本発明は、ベース板に設けられて
いるガイド部材に円環型圧電セラミックの内径部が固定
されて振動体が構成され、この円環型圧電セラミックの
外周部に接触するロータが設けてあり、円環型圧電セラ
ミックに電界を印加することによって発生する超音波振
動によってロータを回転させる超音波モータに適用した
ものである。

【００１３】ロータは、円環型圧電セラミックの外周部
に放射状に配設してある複数のロータ片からなり、この
ロータの外側には、各ロータ片の内側部が円環型圧電セ
ラミックの外周部に接触する方向に押圧する弾性部材を
設けるのが好ましい。

【００１４】また、ロータは各ロータ片の内側部にロー
タの回転方向に対して直交する方向に凹部を設けること
により常に広い面積で円環型圧電セラミックの外周部と
の面接触を確保可能にしたものとすることが好ましい。

【００１５】さらに、上記した各ロータ片は連結部材を
用いて一体に連結することが好ましい。

【００１６】また、上記した円環型圧電セラミックの両
側には、１対のガイド板をロータの回転方向と同軸に回
転可能に設け、これらのガイド板の少なくとも一方は、
各ロータ片に対して円環型圧電セラミックの径方向には
進退自在に、ロータの回転方向には進退不能に係合する
ようにすることが好ましい。

【００１７】さらに、上記した１対のガイド板のいずれ
か一方の外周部には、歯車の歯形を形成することによ
り、シャフトレスでロータからのトルクを外部機器に伝
達可能とすることが好ましい。

【００１８】さらにまた、上記した１対のガイド板のい
ずれか一方のガイド板に、他方のガイド板を同方向に回
転可能に結合する結合フックを設けることにより構成を
簡単にすることが好ましい。

【００１９】

【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
して説明する。まず、第１の実施例として、超音波モー
タにおけるロータの回転を出力軸から出力させるように
構成したものについて説明する。図１，２に示すよう
に、ベース板１に段差付きの円筒状に形成してなる突出
部１ａに円環型圧電セラミック２が取り付けてある。円
環型圧電セラミック２の内周部２ａには４か所に半円状
の凹部２ｂが形成してあり、この凹部２ｂには、ベース
板１の突出部１ａに立設された４本のピン３の径方向断
面の半部が係合することにより円環型圧電セラミック２
は回転不能に支持されている。

【００２０】ベース板１の突出部１ａの上面及びその周
囲に位置する円環型圧電セラミック２の内周部２ａ（半
円状の凹部２ｂも含む）周辺の部分の上面には、弾性押
さえ板４がビス６によって固定してある（図３参照）。
つまり、この第１の実施例における円環型圧電セラミッ
ク２は、４本のガイドピン３及び弾性押さえ板４により
ベース板１に取り付けられており、図示しない電極から
電界を印加されることによって発生する超音波振動が完
全に妨げられてしまうことのないように支持されてい
る。

【００２１】円環型圧電セラミック２の外周部にはロー
タＲが設けてある。ロータＲは円環型圧電セラミック２
の外周部に放射状に配設してある多数のロータ片５から
なる。ロータ片５の内側部は、円環型圧電セラミック２
の外周部との接触面となっており、なるべく大きな面積
かつ大きな押圧力で接触することが望まれる部分であ
る。各ロータ片の内周部はこの外周部との接触面積を大
きくする形状としてある。ここで、ロータの回転方向に
対して直交する方向に凹部５ａが設けてある（図３参
照）。この凹部５ａは、ロータ片５に高精度を要求する
ことなく常に円環型圧電セラミック２の外周面に対して
ロータＲが接触するようにしたものである。

【００２２】ロータ片５の下端部は突起状の案内部５ｂ
が形成してある。また、ロータ片５の上端部には長円状
の突起からなる案内部５ｃが形成してある。各ロータ片
５は、リブ状の連結部材（図示略）を用いて一体に連結
されることにより、組み立て時における作業を容易化
し、かつ組み立て工数の節減を図ってある。

【００２３】ロータＲの外周部には、コイルばねの両端
を結合してなる円環状の弾性部材７が設けてある。弾性
部材７は、各ロータ片５を円環型圧電セラミック２の外
周部に接触する方向に押圧力を作用させるもので、これ
により各ロータ片５の内側は、常に円環型圧電セラミッ
ク２の外周面に弾接させられ、ロータＲに対して大きな
トルクを発生可能としてある。

【００２４】円環型圧電セラミック２の上下両側には、
それぞれガイド板８，９が設けてある。円環型圧電セラ
ミック２の下側に位置する下ガイド板８は、ベース板１
の突出部１ａに回転自在に嵌合しており、上側に位置す
る上ガイド板９は、下ガイド板８にビス１０を介して結
合している。

【００２５】上ガイド板９の外周部には放射状に長溝部
９ａが形成してあり、上述したロータ片５の案内部５ｃ
がこの中で摺動可能に位置している。詳しくは、上ガイ
ド板９は、各ロータ片５に対して円環型圧電セラミック
２の径方向には進退自在に、ロータの回転方向には進退
不能に係合している。これにより、円環型圧電セラミッ
ク２に発生する振動がロータ片５によって完全に妨げら
れてしまうことがないようになっている。

【００２６】上ガイド板９の中心部には、一体回転可能
に圧着してなる出力軸１１が立設してある。出力軸１１
の下方は、ベース板の突出部１ａに設けてある垂直孔部
１ｂ内に没入しており、この孔部内に装着されたベアリ
ング１２によって円滑に回転自在に支持されている。出
力軸１１の上部には、ピニオン（図示略）を取り付ける
ことにより外部機器へトルクを出力可能となる。

【００２７】次に第２の実施例として、ガイド板の外周
部に歯車の歯形を形成し、これによって、直接的にロー
タのトルクを外部機器に伝達可能とした構成の超音波モ
ータについて説明する。図４に示ように、ベース板２１
の突出部２１ａは複数段に形成してあり、最上段の円筒
部には、円環型圧電セラミック２２を取り付けるガイド
部材２３が取り付けてある。

【００２８】円環型圧電セラミック２２の下面側は、内
周部から一定の幅の範囲が突出部２１ａの段差の周囲に
形成された耳状の保持部（図示略）の上面に支持され、
上面側は、ガイド部材２３の上部に形成された４つのつ
ば部２３ａによって保持されている。

【００２９】ガイド部材のつば部２３ａの下方かつその
外周部には、半円柱状のガイド部（図示略）が形成して
ある他、１か所には円環型圧電セラミック２２の内周部
に形成された半円状の係合部と係合可能な係合突起２３
ｂが形成してある（図６参照）。さらにガイド部材２３
の下端の１カ所には下方に突出して、ベース板２１の上
面に形成された係合部２１ｂに係合する位置決めピン部
２３ｃが形成してある。

【００３０】ガイド部材２３の上面には、ベース板２１
の支持部２１ａに嵌合したばね座金２４が当接してお
り、さらにその上面には、ばね押えキャップ３０の下面
が当接している。なお、ばね座金は皿ばねやコイルばね
であってもよい。ばね押えキャップ３０は、皿小ねじ３
１によってベース板の支持部２１ａの上端部に取り付け
られている。この皿小ねじ３１を固く締め付けることに
より、ばね座金２４が変形してその弾性力によりガイド
部材２３を弾性的に押圧し、円環型圧電セラミック２２
を弾性保持するようにしてある。

【００３１】円環型圧電センサ２２の外周部には、第１
の実施例で説明したものと同様のロータＲが設けてあ
る。各ロータ片２５は、第１の実施例と同様に連結部材
２６によって一体に連結することによりロータＲを構成
している。ロータＲの外周部には、第１の実施例で説明
したものと同様の弾性部材２７が設けてあり、ロータＲ
を構成する多数のロータ片２５を円環型圧電セラミック
２２の外周部に接触する方向に押圧している。

【００３２】ロータ片２５は、実質的に角柱状に形成さ
れた胴部の内側に、ロータの回転方向に直交する方向に
凹部２５ａが形成してある。これによりロータ片２５に
高精度を要求することなく常に円環型圧電セラミック２
２の外周部との間に接触面が得られるようにしてある
（図６参照）。

【００３３】ロータ片２５の胴部の下端部には、後述の
下ガイド板２８に設けてあるガイド孔２８ａに係合する
突起状の案内部２５ｂが形成してある。同じく胴部の上
端部には、後述の上ガイド板２９に設けられた長円孔２
９ａに係合する長円状の突起からなる案内部２５ｃが形
成してある（図４参照）。

【００３４】円環型圧電セラミック２２の上下には、そ
れぞれ上述したガイド板２８，２９が位置している。円
環型圧電セラミック２２の下方に位置する下ガイド板２
８は、内径部がベース板の支持部２１ａに回転自在に支
持されており、上述したロータ片２５の案内部２５ｂを
介して、ロータＲと同一方向に回転可能としてある。

【００３５】円環型圧電セラミック２２の上方に位置す
る上ガイド板２９は、上述したばね押えキャップ３０の
筒部に回転自在に支持されている。上ガイド板２９も同
様にして、ロータ片２５の案内部２５ｃを介して、ロー
タＲと同一方向に回転可能としてある。これにより、上
ガイド板２９は、各ロータ片２５に対して円環型圧電セ
ラミック２２の径方向には進退自在に、ロータＲの回転
方向には進退不能に係合しているため、ロータ片２５に
高精度を要求することなく常に円環型圧電セラミック２
２の外周部との間に接触面が得られるようにしてある。

【００３６】上ガイド板２９の外周には、歯車の歯形２
９ｂが形成してあり、これによりロータＲの回転によっ
て生じるトルクを外部機器に対して直接的に出力可能と
なる。出力軸及び出力用のピニオンも設置することを要
しないので、部品点数を減少させることができる。さら
に、上ガイド板２９と出力軸との圧着加工も要しないの
で工数の削減も可能となる。

【００３７】下ガイド板２８と上ガイド板２９とは、下
ガイド板に一体に形成された結合フック２８ｃを介して
結合させてあり、ロータＲのトルクかいずれか一方にし
か伝達されない構成とした場合にも、両ガイド板を連動
可能としてある。なお歯車の歯形及び結合フックは上下
どちら側に設けるようにしてもよい。

【００３８】

【発明の効果】本発明によれば、２つの実施例で説明し
たように、ロータを複数個のロータ片によって構成し、
各ロータ片の内側を円環型圧電セラミックの外周部に向
けて押圧する弾性部材が設けてあるので、高精度の加工
を必要とせずに、接触面を得ることが可能となり、効率
の高いロータを備えた超音波モータを安価に製造するこ
とが可能となる。

【００３９】また、ロータにおける、円環型圧電セラミ
ックとの接触面に回転方向と直交する凹部が設けてある
ので、部品のばらつき等によって接触面が失われてしま
うようなことがなくなる。

【００４０】また、各ロータ片を連結部材で一体に連結
してあるので、円環型圧電セラミックの外周との均一な
当りを損なうことなく組み立て工数の減少が可能となる
ので、製造コストの低減に寄与する。

【００４１】また、円環型圧電セラミックの上下両側に
設けてあるガイド板をロータに従動させるガイド板とロ
ータ片との係合状態は、円環型圧電セラミックの径方向
には進退自在に、そしてロータの回転方向には進退不能
に係合してあるので、ロータの回転によるトルクを円滑
に出力可能となる。

【００４２】また、ガイド板のいずれか一方の外周部に
歯車の歯形を形成したものとすれば、シャフトや出力用
ピニオンが不要となるので、部品点数の削減および加工
工数の削減を図ることが可能になる。

【００４３】さらにまた、ガイド板の一方に結合フック
を設けて、両ガイド板を同方向に回転可能にすれば、組
み立てが容易となるので製造コストの低減に寄与する。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例１の構成を示す一部切欠平面図である。

【図２】図１Ａ−Ａ線断面図である。

【図３】上ガイド板を除去した内部構成を示す平面図で
ある。

【図４】実施例２の構成を示す一部切欠平面図である。

【図５】図４Ｂ−Ｂ線断面図である。

【図６】ガイド部材と円環型圧電セラミックとロータ及
び弾性部材をそれぞれ上下から見た状態を示す平面図及
び下面図である。

【符号の説明】

１，２１ベース板２，２２円環型圧電セラミック４押さえ板５，２５ロータ片５ａ，２５ａ凹部７，２７弾性部材８，２８ガイド板（下）９，２９ガイド板（上）２３ガイド部材２６連結部材２８ｃ結合フック２９ｂ歯形Ｒロータ

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成１０年３月２７日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正内容】

【書類名】明細書

【発明の名称】超音波モータ

【特許請求の範囲】

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【０００２】

【従来の技術】モータの種類には種々のものがあるが、
近時、コイルや磁石が不要で小型かつ軽量で速い応答性
をもつ超音波モータが各分野で採用されるようになって
きた。また、超音波モータは、印加する電界の調整によ
り任意の回転数が得られるため、減速装置を必要とせず
高トルクが得られるなどの特徴を有することから各種機
器へ応用されつつある。このような超音波モータにはい
くつかの種類があるが、その中の１つとして円環型圧電
セラミックを振動体として採用したものがある。

【０００４】

【０００５】

【００１２】

【００１９】

【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
して説明する。まず、第１の実施例として、超音波モー
タにおけるロータの回転を出力軸から出力させるように
構成したものについて説明する。図１，２に示すよう
に、ベース板１に段差付きの円筒状に形成してなる突出
部１ａに円環型圧電セラミック２が取り付けてある。円
環型圧電セラミック２の内周部２ａには４か所に半円状
の凹部２ｂ（図３参照）が形成してあり、この凹部２ｂ
には、ベース板１の突出部１ａに立設された４本のピン
３の径方向断面の半部が係合することにより円環型圧電
セラミック２は回転不能に支持されている。

【００２４】円環型圧電セラミック２の上下両側には、
それぞれガイド板８，９が設けてある。円環型圧電セラ
ミック２の下側に位置する下ガイド板８は、円筒形状を
なし、その内径は円環型圧電セラミック２の外径より若
干大きくなっており、上側に位置する上ガイド板９は、
下ガイド板８にビス１０を介して結合している。

【００２５】上ガイド板９の外周部には放射状に長溝部
９ａが形成してあり、上述したロータ片５の案内部５ｃ
がこの中で摺動可能に位置している。詳しくは、各ロー
タ片５は上ガイド板９に対して円環型圧電セラミック２
の径方向には進退自在に、ロータの回転方向には進退不
能に係合している。これにより、円環型圧電セラミック
２に発生する振動が各ロータ片５によって完全に妨げら
れてしまうことがないようになっている。

【００２７】次に第２の実施例として、ガイド板の外周
部に歯車の歯形を形成し、これによって、直接的にロー
タのトルクを外部機器に伝達可能とした構成の超音波モ
ータについて説明する。図４，５に示ように、ベース板
２１の突出部２１ａは複数段に形成してあり、最上段の
円筒部には、円環型圧電セラミック２２を取り付けるガ
イド部材２３が取り付けてある。

【００２８】円環型圧電セラミック２２の下面側は、内
周部から一定の幅の範囲が突出部２１ａの段差の周囲に
形成された耳状の保持部（図示略）の上面に支持され、
上面側は、ガイド部材２３の上部に形成された４つのつ
ば部２３ａ（図６参照）によって保持されている。

【００２９】ガイド部材のつば部２３ａの下方かつその
外周部には、半円柱状のガイド部２３ｄが形成してある
他、１か所には円環型圧電セラミック２２の内周部２２
ａに形成された半円状の係合部２２ｂと係合可能な係合
突起２３ｂが形成してある（図６参照）。さらにガイド
部材２３の下端の１カ所には下方に突出して、ベース板
２１の上面に形成された係合部２１ｂに係合する位置決
めピン部２３ｃが形成してある。

【００３０】ガイド部材２３の上面には、ベース板２１
の支持部２１ａに嵌合したばね座金２４が当接してお
り、さらにその上面には、ばね押えキャップ３０の下面
が当接している。なお、ばね座金は皿ばねやコイルばね
であってもよい。ばね押えキャップ３０は、皿小ねじ３
１によってベース板２１の支持部２１ａの上端部に取り
付けられている。この皿小ねじ３１を固く締め付けるこ
とにより、ばね座金２４が変形してその弾性力によりガ
イド部材２３を弾性的に押圧し、円環型圧電セラミック
２２を弾性保持するようにしてある。

【００３１】円環型圧電セラミック２２の外周部には、
第１の実施例で説明したものと同様のロータＲが設けて
ある。各ロータ片２５は、第１の実施例と同様に連結部
材２６によって一体に連結することによりロータＲを構
成している。ロータＲの外周部には、第１の実施例で説
明したものと同様の弾性部材２７が設けてあり、ロータ
Ｒを構成する多数のロータ片２５を円環型圧電セラミッ
ク２２の外周部に接触する方向に押圧している。

【００３２】ロータ片２５は、実質的に角柱状に形成さ
れた胴部の内側に、ロータＲの回転方向に直交する方向
に凹部２５ａが形成してある。これによりロータ片２５
に高精度を要求することなく常に円環型圧電セラミック
２２の外周部との間に接触面が得られるようにしてある
（図６参照）。

【００３５】円環型圧電セラミック２２の上方に位置す
る上ガイド板２９は、上述したばね押えキャップ３０の
筒部に回転自在に支持されている。上ガイド板２９も同
様にして、ロータ片２５の案内部２５ｃを介して、ロー
タＲと同一方向に回転可能としてある。これにより、各
ロータ片２５は上ガイド板２９に対して円環型圧電セラ
ミック２２の径方向には進退自在に、ロータＲの回転方
向には進退不能に係合しているため、ロータ片２５に高
精度を要求することなく常に円環型圧電セラミック２２
の外周部との間に接触面が得られるようにしてある。

【００３８】

【００４０】また、各ロータ片を連結部材で一体に連結
してあるので、円環型圧電セラミックの外周との均一な
当りを損なうことなく組み立て工数の減少が可能となる
ので、製造コストを低減できる。

【００４３】さらにまた、ガイド板の一方に結合フック
を設けて、両ガイド板を同方向に回転可能にすれば、組
み立てが容易となるので製造コストの低減を低減でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例１の構成を示す一部切欠平面図である。

【図２】図１Ａ−Ａ線断面図である。

【図４】実施例２の構成を示す一部切欠平面図である。

【図５】図４Ｂ−Ｂ線断面図である。

【図６】ガイド部材と円環型圧電セラミックとロータ及
び弾性部材を上から見た状態を示す平面図である。

【符号の説明】１，２１ベース板２，２２円環型圧電セラミック４弾性押さえ板５，２５ロータ片５ａ，２５ａ凹部７，２７弾性部材８，２８ガイド板（下）９，２９ガイド板（上）２３ガイド部材２６連結部材２８ｃ結合フック２９ｂ歯形Ｒロータ

【手続補正２】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図２

【補正方法】変更

【補正内容】

【図２】

【手続補正３】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図５

【補正方法】変更

【補正内容】

【図５】

【手続補正４】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図６

【補正方法】変更

【補正内容】

【図６】

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ベース板に設けられているガイド部に円
環型圧電セラミックの内周部が固定されて振動体が構成
され、当該円環型圧電セラミックの外周部に接触するロ
ータが設けてあり、上記円環型圧電セラミックに電界を
印加することによって発生する超音波振動によって上記
ロータを回転させる超音波モータにおいて、上記ロータは、上記円環型圧電セラミックの外周部に放
射状に配設してある複数のロータ片からなり、上記ロータの外側には、上記各ロータ片の内側部が上記
円環型圧電セラミックの外周部に接触する方向に押圧す
る弾性部材が設けてあることを特徴とする超音波モー
タ。
【請求項２】請求項１において、上記各ロータ片の内
側部には、上記ロータの回転方向に対して直交する方向
に凹部が設けてあることを特徴とする超音波モータ。
【請求項３】請求項１ないし２において、上記各ロー
タ片は連結部材を用いて一体に連結してあることを特徴
とする超音波モータ。
【請求項４】請求項１ないし３において、上記円環型
圧電セラミックの両側には、１対のガイド板が上記ロー
タの回転方向と同方向に回転可能に設けてあり、上記ガ
イド板の少なくとも一方は、上記各ロータ片に対して上
記円環型圧電セラミックの径方向には進退自在に、上記
ロータの回転方向には進退不能に係合してあることを特
徴とする超音波モータ。
【請求項５】請求項４において、上記１対のガイド板
のいずれか一方の外周部には、歯車の歯形が形成してあ
ることを特徴とする超音波モータ。
【請求項６】請求項４ないし５において、上記１対の
ガイド板のいずれか一方のガイド板には、他方のガイド
板を同方向に回転可能に結合する結合フックが設けてあ
ることを特徴とする超音波モータ。