JPH10293088A - 基板表面検査装置 - Google Patents
基板表面検査装置Info
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- JPH10293088A JPH10293088A JP9102022A JP10202297A JPH10293088A JP H10293088 A JPH10293088 A JP H10293088A JP 9102022 A JP9102022 A JP 9102022A JP 10202297 A JP10202297 A JP 10202297A JP H10293088 A JPH10293088 A JP H10293088A
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 96
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 39
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 36
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 8
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 4
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1306—Details
- G02F1/1309—Repairing; Testing
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ガラス基板１のおもて面及び裏面の検査を１つ
の検査ステージ５上で行う。 【解決手段】基板のおもて面を検査して基板固定枠２を
立てるときは、回動用のモータ及び移動用のモータ１３
を回転させる。回動用のモータの回転により、平歯車８
ａを介して基板固定枠２が立ち上がり、移動用のモータ
１３の回転によりボールネジ１１が回転し、ボールナッ
ト１２及びボールナット１２に係合された基板固定枠３
が移動する。そして、基板固定枠２を反対側に回動させ
ることによりガラス基板１が裏面に反転する。
の検査ステージ５上で行う。 【解決手段】基板のおもて面を検査して基板固定枠２を
立てるときは、回動用のモータ及び移動用のモータ１３
を回転させる。回動用のモータの回転により、平歯車８
ａを介して基板固定枠２が立ち上がり、移動用のモータ
１３の回転によりボールネジ１１が回転し、ボールナッ
ト１２及びボールナット１２に係合された基板固定枠３
が移動する。そして、基板固定枠２を反対側に回動させ
ることによりガラス基板１が裏面に反転する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板表面検査装置
に関し、特に基板の表面及び裏面を容易に検査する技術
に関する。
に関し、特に基板の表面及び裏面を容易に検査する技術
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、例えばＬＣＤ(liquid crysta
l display:液晶表示) には、ガラス基板が用いられ、製
造工程中、そのガラス基板の表面及び裏面について、ゴ
ミ、キズ、ムラ等の有無が検査される。かかる検査は、
反射光及び透過光により目視検査で行われ、従来の基板
表面検査装置では、表面、裏面の検査を１ステージ毎に
行っていた。
l display:液晶表示) には、ガラス基板が用いられ、製
造工程中、そのガラス基板の表面及び裏面について、ゴ
ミ、キズ、ムラ等の有無が検査される。かかる検査は、
反射光及び透過光により目視検査で行われ、従来の基板
表面検査装置では、表面、裏面の検査を１ステージ毎に
行っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
基板表面検査装置では、ガラス基板のセット、反転等
は、作業者により行われ、作業が煩雑であった。また、
近年、このような検査を１ステージ上で行いたいという
要望が強くなってきた。本発明はこのような従来の課題
に鑑みてなされたもので、基板の表面及び裏面の検査を
１ステージ上で簡単に行えるような基板表面検査装置を
提供することを目的とする。
基板表面検査装置では、ガラス基板のセット、反転等
は、作業者により行われ、作業が煩雑であった。また、
近年、このような検査を１ステージ上で行いたいという
要望が強くなってきた。本発明はこのような従来の課題
に鑑みてなされたもので、基板の表面及び裏面の検査を
１ステージ上で簡単に行えるような基板表面検査装置を
提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】このため、請求項１の発
明にかかる装置は、基板のおもて面及び裏面を検査する
基板表面検査装置において、前記基板の端部を担持して
基板を固定する基板固定枠と、該基板固定枠を、載置し
た検査ステージ上で基板のおもて面及び裏面を反転させ
るように回動させる手段と、該基板固定枠を検査ステー
ジのステージ面と略平行に移動させる移動手段と、を備
えた。
明にかかる装置は、基板のおもて面及び裏面を検査する
基板表面検査装置において、前記基板の端部を担持して
基板を固定する基板固定枠と、該基板固定枠を、載置し
た検査ステージ上で基板のおもて面及び裏面を反転させ
るように回動させる手段と、該基板固定枠を検査ステー
ジのステージ面と略平行に移動させる移動手段と、を備
えた。
【０００５】かかる構成によれば、基板のおもて面を検
査するときは、基板を検査ステージ面と略平行にする。
また、基板に光を透過させて検査するときは、回動手段
により基板固定枠を立てる。そして、基板の裏面を検査
するときは、移動手段により移動させて回動手段により
基板を立てたときとは反対側に回動する。これにより、
基板のおもて面と裏面とが反転する。裏面の検査を行う
ことが可能となる。
査するときは、基板を検査ステージ面と略平行にする。
また、基板に光を透過させて検査するときは、回動手段
により基板固定枠を立てる。そして、基板の裏面を検査
するときは、移動手段により移動させて回動手段により
基板を立てたときとは反対側に回動する。これにより、
基板のおもて面と裏面とが反転する。裏面の検査を行う
ことが可能となる。
【０００６】請求項２の発明にかかる装置では、前記回
動手段は、モータと、該モータの回転を基板固定枠に伝
達する歯車と、によって構成されている。かかる構成に
よれば、モータの回転が歯車を介して基板固定枠に伝達
され、基板固定枠が回動される。請求項３の発明にかか
る装置では、前記移動手段は、ボールネジと、基板固定
枠及び回動手段と係合してボールネジと噛み合うボール
ナットと、によって構成されている。
動手段は、モータと、該モータの回転を基板固定枠に伝
達する歯車と、によって構成されている。かかる構成に
よれば、モータの回転が歯車を介して基板固定枠に伝達
され、基板固定枠が回動される。請求項３の発明にかか
る装置では、前記移動手段は、ボールネジと、基板固定
枠及び回動手段と係合してボールネジと噛み合うボール
ナットと、によって構成されている。
【０００７】かかる構成によれば、ボールネジを回転さ
せることにより、ボールナットが移動し、基板固定枠及
び回動手段がボールナットと係合しているので、一体と
なって移動する。
せることにより、ボールナットが移動し、基板固定枠及
び回動手段がボールナットと係合しているので、一体と
なって移動する。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図１
〜図７に基づいて説明する。図１は、例えばＬＣＤ用の
ガラス基板の表面を検査する基板表面検査装置を示し、
図２は、図１のＡ−Ａ’断面図であり、図３は、図１の
部分拡大図である。。
〜図７に基づいて説明する。図１は、例えばＬＣＤ用の
ガラス基板の表面を検査する基板表面検査装置を示し、
図２は、図１のＡ−Ａ’断面図であり、図３は、図１の
部分拡大図である。。
【０００９】基板固定枠２は、ガラス基板１を固定する
ための枠であり、ガラス基板１を固定するストッパ（図
示せず）と、ガラス基板１が落下しないようにガラス基
板１を吸着する吸着盤（図示せず）と、を備えている。
このガラス基板１は、一般的には５５０×６５０ｍｍ、
厚さ０．７ｍｍ程度のものであり、ストッパは、このガ
ラス基板１の端から５〜１０ｍｍ以内の部分を支持す
る。
ための枠であり、ガラス基板１を固定するストッパ（図
示せず）と、ガラス基板１が落下しないようにガラス基
板１を吸着する吸着盤（図示せず）と、を備えている。
このガラス基板１は、一般的には５５０×６５０ｍｍ、
厚さ０．７ｍｍ程度のものであり、ストッパは、このガ
ラス基板１の端から５〜１０ｍｍ以内の部分を支持す
る。
【００１０】検査ステージ５上には、バックボード６が
備えられている。このバックボード６は、ガラス基板１
の表面を見やすくするために備えられたものであり、黒
に塗装され、艶消しされている。基板固定枠２は、シャ
フト７に固定され、このシャフト７の端部には、平歯車
８ａが連結されている。
備えられている。このバックボード６は、ガラス基板１
の表面を見やすくするために備えられたものであり、黒
に塗装され、艶消しされている。基板固定枠２は、シャ
フト７に固定され、このシャフト７の端部には、平歯車
８ａが連結されている。
【００１１】図３に示すように、この平歯車８ａに平歯
車８ｂが噛み合い、この平歯車８ｂは、モータ９用の減
速機１０に連結されている。検査ステージ５の上面に
は、ボールネジ１１と、このボールネジ１１と噛み合う
ボールナット１２と、が備えられている。また、図１に
示すように、検査ステージ５の下面には、モータ１３が
配置され、ボールネジ１１はタイミングベルト１４を介
してモータ１３に接続され、モータ１３が回転すること
によりボールネジ１１は回転し、ボールナット１２は、
検査ステージ５のステージ面と平行に移動する。基板固
定枠２は、このボールナット１２に固定されている。
車８ｂが噛み合い、この平歯車８ｂは、モータ９用の減
速機１０に連結されている。検査ステージ５の上面に
は、ボールネジ１１と、このボールネジ１１と噛み合う
ボールナット１２と、が備えられている。また、図１に
示すように、検査ステージ５の下面には、モータ１３が
配置され、ボールネジ１１はタイミングベルト１４を介
してモータ１３に接続され、モータ１３が回転すること
によりボールネジ１１は回転し、ボールナット１２は、
検査ステージ５のステージ面と平行に移動する。基板固
定枠２は、このボールナット１２に固定されている。
【００１２】検査ステージ５は架台１５によって支持さ
れ、この架台１５にはモータ１６の回転速度を減速する
減速機１７が取り付けられている。図３に示すように、
この減速機１７は架台１５に回動自由に取付られてい
る。減速機１７はさらに減速機１８に連結され、この減
速機１８は、タイミングベルト１９を介してモータ２０
に連結されている。
れ、この架台１５にはモータ１６の回転速度を減速する
減速機１７が取り付けられている。図３に示すように、
この減速機１７は架台１５に回動自由に取付られてい
る。減速機１７はさらに減速機１８に連結され、この減
速機１８は、タイミングベルト１９を介してモータ２０
に連結されている。
【００１３】尚、モータ９、１３、１６、２０には、例
えばバックラッシュのないＡＣサーボモータ等が用いら
れる。図４〜図７に示すように、検査ステージ５の真
上、側方には、夫々、反射光検査用の照明装置２１、透
過光検査用の照明装置２２が配置されている。尚、モー
タ９、平歯車８ａ，８ｂ、シャフト７が回動手段に、モ
ータ１３、タイミングベルト１４、ボールネジ１１、ボ
ールナット１２が移動手段に相当する。
えばバックラッシュのないＡＣサーボモータ等が用いら
れる。図４〜図７に示すように、検査ステージ５の真
上、側方には、夫々、反射光検査用の照明装置２１、透
過光検査用の照明装置２２が配置されている。尚、モー
タ９、平歯車８ａ，８ｂ、シャフト７が回動手段に、モ
ータ１３、タイミングベルト１４、ボールネジ１１、ボ
ールナット１２が移動手段に相当する。
【００１４】次に動作を説明する。まず、ガラス基板１
を基板固定枠２に載置する。そして、ガラス基板１をス
トッパで基板固定枠２に固定することにより、ガラス基
板１は、吸着盤によって吸着され、落下が防止される。
ガラス基板１の表面検査は、まず、ガラス基板１のおも
て面に光を反射させておもて面を検査し、次に、ガラス
基板１を立てて光を透過させ、そして、ガラス基板１を
裏面に反転して光を反射させることにより行われる。
を基板固定枠２に載置する。そして、ガラス基板１をス
トッパで基板固定枠２に固定することにより、ガラス基
板１は、吸着盤によって吸着され、落下が防止される。
ガラス基板１の表面検査は、まず、ガラス基板１のおも
て面に光を反射させておもて面を検査し、次に、ガラス
基板１を立てて光を透過させ、そして、ガラス基板１を
裏面に反転して光を反射させることにより行われる。
【００１５】ガラス基板１のおもて面を検査する場合、
図４に示すように、ガラス基板１の面が検査ステージ５
のステージ面と平行になるように基板固定枠２を配設す
る。そして、照明装置２１でガラス基板１の表面を真上
から照明する。ガラス基板１の表面にゴミ、キズ、ムラ
等があると、照明装置２２の光はガラス基板１上で散乱
するため、これによりこのガラス基板１の表面のゴミ等
の有無がはっきり分かる。
図４に示すように、ガラス基板１の面が検査ステージ５
のステージ面と平行になるように基板固定枠２を配設す
る。そして、照明装置２１でガラス基板１の表面を真上
から照明する。ガラス基板１の表面にゴミ、キズ、ムラ
等があると、照明装置２２の光はガラス基板１上で散乱
するため、これによりこのガラス基板１の表面のゴミ等
の有無がはっきり分かる。
【００１６】尚、光が反射する角度を調節する場合は、
モータ１６又はモータ２０を回転させて検査ステージ５
を傾斜させる。即ち、モータ１６を回転させたとき、モ
ータ１６の回転速度は減速機１７によって減速され、減
速機１７に固定された架台１５が回動し、検査ステージ
５は、図２に示すようにＸ方向に傾斜する。
モータ１６又はモータ２０を回転させて検査ステージ５
を傾斜させる。即ち、モータ１６を回転させたとき、モ
ータ１６の回転速度は減速機１７によって減速され、減
速機１７に固定された架台１５が回動し、検査ステージ
５は、図２に示すようにＸ方向に傾斜する。
【００１７】また、モータ２０を回転させたとき、モー
タ２０の回転がタイミングベルト１９を介して減速機１
８に伝達され、減速機１８は回動し、検査ステージ５
は、図１に示すようにＹ方向に傾斜する。次に、ガラス
基板１に光を透過させて検査をする場合は、モータ９及
びモータ１３を回転させる。モータ９の回転は、平歯車
８ｂ，８ａを介してシャフト７に伝達され、シャフト７
が回転して基板固定枠２は図５に示すように立ち上が
る。また、モータ１３を回転させたときは、モータ１３
の回転速度が減速機１０によって減速され、タイミング
ベルト１４を介してボールネジ１１が回転し、ボールナ
ット１２が移動し、基板固定枠２が図６に示すように移
動する。基板固定枠２はこのボールナット１２に固定さ
れているので、基板固定枠２は検査ステージ５のステー
ジ面と平行に移動する。基板固定枠２が立ち上がった
ら、モータ９の回転を停止し、ボールナット１２が所定
の位置まで移動したとき、モータ１３の回転を停止す
る。尚、モータ９及びモータ１３の駆動タイミングは、
例えば基板固定枠２を立ち上げから移動させるように別
々であってもよい。
タ２０の回転がタイミングベルト１９を介して減速機１
８に伝達され、減速機１８は回動し、検査ステージ５
は、図１に示すようにＹ方向に傾斜する。次に、ガラス
基板１に光を透過させて検査をする場合は、モータ９及
びモータ１３を回転させる。モータ９の回転は、平歯車
８ｂ，８ａを介してシャフト７に伝達され、シャフト７
が回転して基板固定枠２は図５に示すように立ち上が
る。また、モータ１３を回転させたときは、モータ１３
の回転速度が減速機１０によって減速され、タイミング
ベルト１４を介してボールネジ１１が回転し、ボールナ
ット１２が移動し、基板固定枠２が図６に示すように移
動する。基板固定枠２はこのボールナット１２に固定さ
れているので、基板固定枠２は検査ステージ５のステー
ジ面と平行に移動する。基板固定枠２が立ち上がった
ら、モータ９の回転を停止し、ボールナット１２が所定
の位置まで移動したとき、モータ１３の回転を停止す
る。尚、モータ９及びモータ１３の駆動タイミングは、
例えば基板固定枠２を立ち上げから移動させるように別
々であってもよい。
【００１８】そして、照明装置２２でガラス基板１を照
明し、反対側からガラス基板１を観察する。次に、ガラ
ス基板１の裏面を検査するときは、モータ９及びモータ
１３を逆方向に回転させる。モータ９の回転は、減速機
１０、平歯車８ａ，８ｂを介してシャフト７に伝達さ
れ、シャフト７が回動し、基板固定枠２が図７に示すよ
うに倒れ、ガラス基板１のガラス面が検査ステージ５の
ステージ面と平行になったとき、モータ９の回転を停止
させる。そして、ガラス基板１のおもて面を検査したと
きと同様に照明装置２１でガラス基板１の裏面を照明し
て照明装置２１からの反射光によりガラス基板１の裏面
を観察し、ゴミ等の有無の検査が行われる。
明し、反対側からガラス基板１を観察する。次に、ガラ
ス基板１の裏面を検査するときは、モータ９及びモータ
１３を逆方向に回転させる。モータ９の回転は、減速機
１０、平歯車８ａ，８ｂを介してシャフト７に伝達さ
れ、シャフト７が回動し、基板固定枠２が図７に示すよ
うに倒れ、ガラス基板１のガラス面が検査ステージ５の
ステージ面と平行になったとき、モータ９の回転を停止
させる。そして、ガラス基板１のおもて面を検査したと
きと同様に照明装置２１でガラス基板１の裏面を照明し
て照明装置２１からの反射光によりガラス基板１の裏面
を観察し、ゴミ等の有無の検査が行われる。
【００１９】かかる構成によれば、基板固定枠２は回動
し、検査ステージ５のステージ面と平行に基板固定枠２
は移動するようになっているので、ガラス基板１のおも
て面及び裏面の検査を１ステージ上で行うことができ
る。また、ガラス基板１の操作を人手を介さずに行うこ
とができ、ガラス基板１のおもて面及び裏面検査を容易
に行うことができる。
し、検査ステージ５のステージ面と平行に基板固定枠２
は移動するようになっているので、ガラス基板１のおも
て面及び裏面の検査を１ステージ上で行うことができ
る。また、ガラス基板１の操作を人手を介さずに行うこ
とができ、ガラス基板１のおもて面及び裏面検査を容易
に行うことができる。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
かかる装置によれば、１つの検査ステージ上で基板のお
もて面及び裏面を容易に検査することができる。請求項
２の発明にかかる装置によれば、基板固定枠を回動させ
ることができる。
かかる装置によれば、１つの検査ステージ上で基板のお
もて面及び裏面を容易に検査することができる。請求項
２の発明にかかる装置によれば、基板固定枠を回動させ
ることができる。
【００２１】請求項３の発明にかかる装置によれば、基
板固定枠及び回動手段を一体として移動させることがで
きる。
板固定枠及び回動手段を一体として移動させることがで
きる。
【図１】本発明の実施の形態を示す側面図。
【図２】図１のＡ−Ａ’断面図。
【図３】図２の部分拡大図。
【図４】図１〜図３の動作説明図。
【図５】同上動作説明図。
【図６】同上動作説明図。
【図７】同上動作説明図。
１ ガラス基板 ２ 基板固定枠 ８ａ，８ｂ 平歯車 １１ ボールネジ １２ ボールナット
Claims (3)
- 【請求項１】基板のおもて面及び裏面を検査する基板表
面検査装置において、 前記基板の端部を担持して基板を固定する基板固定枠
と、 該基板固定枠を、載置した検査ステージ上で基板のおも
て面及び裏面を反転させるように回動させる手段と、 該基板固定枠を検査ステージのステージ面と略平行に移
動させる移動手段と、を備えたことを特徴とする基板表
面検査装置。 - 【請求項２】前記回動手段は、モータと、該モータの回
転を基板固定枠に伝達する歯車と、によって構成された
ことを特徴とする請求項１に記載の基板表面検査装置。 - 【請求項３】前記移動手段は、ボールネジと、基板固定
枠及び回動手段と係合してボールネジと噛み合うボール
ナットと、によって構成されたことを特徴とする請求項
１又は請求項２に記載の基板表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10202297A JP3364408B2 (ja) | 1997-04-18 | 1997-04-18 | 基板表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10202297A JP3364408B2 (ja) | 1997-04-18 | 1997-04-18 | 基板表面検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10293088A true JPH10293088A (ja) | 1998-11-04 |
| JP3364408B2 JP3364408B2 (ja) | 2003-01-08 |
Family
ID=14316134
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10202297A Expired - Lifetime JP3364408B2 (ja) | 1997-04-18 | 1997-04-18 | 基板表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3364408B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011215123A (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Jokon Kaku | 検査システムのフレーム機構 |
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-
1997
- 1997-04-18 JP JP10202297A patent/JP3364408B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (9)
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