JPH10293979A - 剪断型圧電素子を用いたアクチュエータ及びこのアクチュエータを使用したヘッド微小移動機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 構成が簡単、かつ寸法精度が不要であると共
に、位置決め精度の高い安価なアクチュエータを提供す
る。 【解決手段】 固定端２１側に所定間隔を隔てて所定形
状の２つの電極２２，２３を並べて設け、これら２つの
電極２２，２３の上側に所定の肉厚を備えた剪断型圧電
素子２４を積層し、この剪断型圧電素子２４の電極２
２，２３に対向する自由端側の面の全面には対向電極２
５を設けてアクチュエータ２０を構成する。２つの電極
２２，２３間に通電すれば、剪断型圧電素子の分極方向
に応じて対向電極２５がその面内で変位するので、この
対向電極２５がアクチュエータの動作部となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は剪断型圧電素子を用
いたアクチュエータ、及びこのアクチュエータを使用し
たヘッド微小移動機構に関し、特に、高精度に位置決め
が可能な剪断型圧電素子を用いたアクチュエータ、及び
このアクチュエータを使用したヘッド微小移動機構に関
する。

【０００２】磁気ディスク装置は、近年急激に市場拡大
を遂げているマルチメディア機器のキーデバイスの１つ
である。マルチメディア機器では、画像や音声等をより
大量に、かつ高速に取り扱うため、より記憶容量の多い
装置の開発が望まれている。磁気ディスク装置の大容量
化は一般に、ディスク１枚当たりの記憶容量を増加させ
ることで実現する。しかし、ディスクの直径を変えずに
記憶密度を急激に増加させるとトラックピッチが急激に
狭まるため、記録トラックに対する読み書きを行うヘッ
ド素子の位置決めを如何に正確に行うかが技術的な問題
となっており、位置決め精度の良いヘッドアクチュエー
タが望まれている。

【０００３】

【従来の技術】従来、磁気ディスク装置においては、高
精度の位置決めを行うために、一般にキャリッジ等の可
動部の剛性を向上させ、面内方向の主共振点周波数を上
げる試みがなされてきた。しかし、共振点の向上には限
界があり、仮に可動部の面内共振点を大幅に上げること
ができたとしても、可動部を支持する軸受けのばね特性
に起因する振動が発生してしまい、位置決め精度を低下
させるという問題を解決することはできなかった。

【０００４】これらの問題を解決する手段の１つとし
て、ヘッドアクチュエータのアームの先端にトラックフ
ォロー用の第２のアクチュエータを設けることが提案さ
れている。この第２のアクチュエータは、ヘッドアクチ
ュエータの動作とは独立に、アームの先端部に設けられ
たヘッドを微小移動させることができるものである。例
えば、図２４(a) に示す特開平３−６９０７２号公報に
は、ディスク装置１００のメインアクチュエータ１１０
の他に、アーム１１１の先端にサブアクチュエータ１２
０を設けたものが開示されている。このサブアクチュエ
ータ１２０は積層型のピエゾ素子１２３を２個使用して
ヘッド１１４を微小移動させるものである。このサブア
クチュエータ１２０には、厚み方向に変位するピエゾ素
子を複数枚積層して構成される積層型のピエゾ素子１２
３がヘッドの移動平面の中に２個設けられており、ヘッ
ドの移動平面の面内でヘッドの移動方向と同じ方向にヘ
ッドが微小に変位できるようになっている。

【０００５】更に、このサブアクチュエータ１２０で
は、積層型のピエゾ素子１２３は２本のアーム１１１の
延長方向に２個配置されており、２個のピエゾ素子１２
３の間の部分には、図２４(b) にその詳細が示されるよ
うに、揺動センタスプリング１２１が設けられている。
この揺動センタスプリング１２１は、センタアーム１２
２の長手方向に垂直な方向にセンタアーム１２２の両側
から内側に向かって複数本のスリット１２４を交互に設
けて構成される。この複数本のスリット１２２により、
センタアーム１２２はスプリングとして機能し、積層型
のピエゾ素子１２３を与圧すると共に伸縮動作を増長す
る。積層型のピエゾ素子１２３とアーム１１１の間は絶
縁材で電気的に絶縁されており、両端の電極からリード
線が引出されてこれを介して積層型のピエゾ素子１２３
の駆動電圧が与えられる。

【０００６】この従来例における問題点は、積層型ピエ
ゾ素子１２３の製造性が困難であること、高精度に加工
された与圧バネ機構が必要なこと、リード線または線材
による積層型ピエゾ素子１２３の電極の引出しが必要な
こと等である。更に、特許公報第２５２８２６１号に記
載の発明では、やはりアームの先端にトラックフォロー
用の微動アクチュエータを設けたヘッドの微小移動機構
が開示されている。ここでは、図２５(a) に示すよう
に、ヘッドアクチュエータＨＡのキャリッジ５に突設さ
れたアクセスアーム２と、ヘッド４が先端部に取り付け
られた支持ばね３とを連結する連結板１にヘッドの微小
移動機構ＭＴが設けられている。キャリッジ５は回転軸
６に取り付けられ、連結板１のアクセスアーム２への固
定は、アクセスアーム２に形成された固定用孔２ａに、
連結板１の裏面に設けられた突起１６を嵌合して接着剤
等によって行われる。

【０００７】ヘッドの微小移動機構ＭＴが設けられる連
結板１には、固定領域１０、可動領域１１、伸縮領域１
２、ヒンジ部１３、および空隙１５が設けられている。
そして、図２５(b) に示すように、伸縮領域１２にはそ
の表裏に溝部１２ａが設けられており、この溝部１２ａ
にピエゾ素子１４が固定されている。連結板１の中心線
に対して線対称の位置にあるピエゾ素子１４は、同時に
逆向きに変形させられる。ピエゾ素子１４は図２６(a)
に矢符にて示す厚さ方向に分極されている。そして、連
結板１が共通電極として接地され、両ピエゾ素子１４の
外側面に電源８，８′から異なる電位が与えられると、
電源８により通電されたものは分極方向と逆向きの電界
がかかって長手方向に伸び、電源８′により通電された
ものは分極方向と同方向の電界がかかって長手方向に縮
む。

【０００８】図２６(b) は、両ピエゾ素子の表裏両側に
ピエゾ素子１４の外側面に電源８′から同じ電位が与え
られる場合の構成を示すものである。この場合も、ピエ
ゾ素子１４は矢符にて示される厚さ方向に分極されてい
る。そして、連結板１は同様に共通電極として接地さ
れ、両ピエゾ素子１４の外側面に電源８′から同じ電位
が与えられると、図面左側のピエゾ素子１４には分極方
向と逆向きの電界がかかって長手方向に伸び、図面右側
のピエゾ素子１４には分極方向と同方向の電界がかかっ
て長手方向に縮むので、図２６(a) の構成と同じ動作が
行われる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
ような構成のヘッドの微小移動機構では、積層型ピエゾ
素子の製造性と、素子外形寸法の精度が必要であり、ア
ームにも高い寸法加工精度が必要であること、また、比
較的剛性の高い連結板を伸び縮みさせる必要があり、多
くの力が必要でストロークが確保できないという問題点
があった。

【００１０】そこで、本発明は、前記従来の問題点を解
消し、素子の高い寸法精度が必要されないと共に、高精
度の位置決めが可能な剪断型圧電素子を用いたアクチュ
エータ及びこのアクチュエータを使用したヘッド微小移
動機構を提供することを目的としている。

【００１１】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成する本発
明の特徴は、以下に第１から第１６の発明として示され
る。第１の発明の構成上の特徴は、剪断型圧電素子を用
いたアクチュエータが、固定端側に並んで設けられた２
つの電極と、これら２つの電極の上側に積層された、剪
断型圧電素子、及び、この剪断型圧電素子の前記２つの
電極に対向する自由端側の面に設けられた対向電極とか
ら構成され、２つの電極間に通電することによって、剪
断型圧電素子の分極方向に応じて対向電極の面内方向に
変位することにある。

【００１２】第２の発明の構成上の特徴は、第１の発明
において、剪断型圧電素子の分極方向が前記２つの電極
が並列に並ぶ方向に平行であり、２つの電極に通電する
ことによって、剪断型圧電素子の中央部を中心にして回
転する方向に変位することにある。第３の発明の構成上
の特徴は、第１の発明において、剪断型圧電素子の分極
方向が２つの電極が並列に並ぶ方向に平行であり、か
つ、２つの電極上の剪断型圧電素子の分極方向が互いに
逆方向を向いており、２つの電極に通電することによっ
て、剪断型圧電素子の分極方向に平行な方向に変位する
ことにある。

【００１３】第４の発明の構成上の特徴は、第１の発明
において、剪断型圧電素子の分極方向が２つの電極が並
列に並ぶ方向に垂直であり、かつ、２つの電極上の剪断
型圧電素子の分極方向が互いに逆方向を向いており、２
つの電極に通電することによって、剪断型圧電素子の分
極方向に平行な方向に変位することにある。

【００１４】第５の発明の構成上の特徴は、第１から第
４の発明のいずれかにおいて、剪断型圧電素子が２つの
独立した剪断型圧電素子に分割されており、それぞれの
剪断型圧電素子は２つの電極上にそれぞれ積層されるこ
とにある。第６の発明の構成上の特徴は、少なくとも１
枚の記録ディスクと、この記録ディスクの情報記録面に
対してそれぞれ１つ設けられて情報の読み書き動作を行
うヘッドと、このヘッドを前記記録ディスク上の所望の
記録トラックに位置決めするために記録ディスクの半径
方向に移動させるヘッドアクチュエータとを備えたディ
スク装置において、ヘッドをヘッドアクチュエータの動
作と独立に微小距離だけ移動させるためにヘッドアクチ
ュエータの一部に、第１の発明から第５の発明の何れか
のアクチュエータを用いてヘッドの微小移動機構を構成
し、このアクチュエータの２つの電極をヘッドアクチュ
エータのアームの先端部に設け、アクチュエータの対向
電極の上にヘッドアクチュエータの支持ばねの基部を取
り付けられたことにある。

【００１５】第７の発明の構成上の特徴は、第６の発明
において、２つの電極の分割面がアームの長手方向に沿
う方向に設けられたことにある。第８の発明の構成上の
特徴は、第６の発明において、２つの電極の分割面がア
ームの長手方向に垂直な方向に設けられたことにある。
第９の発明の構成上の特徴は、剪断型圧電素子を用いた
アクチュエータを、固定端側に設けられた所定深さを備
えた円形の溝と、この円形の溝の内周面上に、この内周
面を左右対称に２分割するように設けられる２つの電極
と、これら２つの電極の内周面上に所定の肉厚を備えて
それぞれ積層され、分極方向が分割線に対して線対称で
ある半リング状の２つの剪断型圧電素子と、２つの半リ
ング状の剪断型圧電素子の両方の内周面に跨がって設け
られる対向電極、及び、この対向電極の内周面に固着さ
れる回転軸とから構成し、２つの電極間に通電すること
によって、前記回転軸を回転させることにある。

【００１６】第１０の発明の構成上の特徴は、少なくと
も１枚の記録ディスクと、この記録ディスクの情報記録
面に対してそれぞれ１つ設けられて情報の読み書き動作
を行うヘッドと、このヘッドを記録ディスク上の所望の
記録トラックに位置決めするために記録ディスクの半径
方向に移動させるヘッドアクチュエータとを備えたディ
スク装置において、ヘッドをヘッドアクチュエータの動
作と独立に微小距離だけ移動させるためにヘッドアクチ
ュエータの一部に第９の発明のアクチュエータを用いた
ヘッドの微小移動機構であって、アクチュエータの固定
端がヘッドアクチュエータのアームの先端部に設けら
れ、アクチュエータの可動部がヘッドアクチュエータの
支持ばねの基部に取り付けられていることにある。

【００１７】第１１の発明の構成上の特徴は、剪断型圧
電素子を用いたアクチュエータであって、固定端側に設
けられた所定深さを備えたスリット状の深い溝と、スリ
ット状の深い溝内の対向する２つの平面上にそれぞれ設
けられた２つの電極と、この２つの電極の上にそれぞれ
積層される所定の厚さを備えた２つの剪断型圧電素子
と、２つの剪断型圧電素子の間の隙間に挿入されて固定
される導電性の移動板とから構成され、２つの電極間と
移動板との間に通電することによって、剪断型圧電素子
の分極方向に応じて前記移動板を変位させることにあ
る。

【００１８】第１２の発明の構成上の特徴は、少なくと
も１枚の記録ディスクと、この記録ディスクの情報記録
面に対してそれぞれ１つ設けられて情報の読み書き動作
を行うヘッドと、このヘッドを記録ディスク上の所望の
記録トラックに位置決めするために記録ディスクの半径
方向に移動させるヘッドアクチュエータとを備えたディ
スク装置において、ヘッドをヘッドアクチュエータの動
作と独立に微小距離だけ移動させるためにヘッドアクチ
ュエータの一部に第１１の発明のアクチュエータを用い
たヘッドの微小移動機構であって、アクチュエータの固
定端をヘッドアクチュエータのアームの先端部とし、ア
クチュエータの移動板をヘッドアクチュエータの支持ば
ねの基部としたことにある。

【００１９】第１３の発明の構成上の特徴は、少なくと
も１枚の記録ディスクと、この記録ディスクの情報記録
面に対してそれぞれ１つ設けられて情報の読み書き動作
を行うヘッドと、このヘッドを記録ディスク上の所望の
記録トラックに位置決めするために記録ディスクの半径
方向に移動させるヘッドアクチュエータとを備えたディ
スク装置において、ヘッドをヘッドアクチュエータの動
作と独立に微小距離だけ移動させるためにヘッドアクチ
ュエータの一部に第１の発明から第５の発明の何れか１
つのアクチュエータを用いたヘッドの微小移動機構であ
って、アクチュエータの２つの電極をヘッドアクチュエ
ータの支持ばねの先端部に設け、アクチュエータの対向
電極の上にヘッドアクチュエータのヘッドスライダを取
り付けたことにある。

【００２０】第１４の発明の構成上の特徴は、第１３の
発明において、２つの電極を支持ばねの長手方向に沿う
方向に並んで設けたことにある。第１５の発明の構成上
の特徴は、第１３の発明において、２つの電極を支持ば
ねの長手方向に垂直な方向に並んで設けたことにある。
第１６の発明の構成上の特徴は、少なくとも１枚の記録
ディスクと、この記録ディスクの情報記録面に対してそ
れぞれ１つ設けられて情報の読み書き動作を行うヘッド
と、このヘッドを前記記録ディスク上の所望の記録トラ
ックに位置決めするために記録ディスクの半径方向に移
動させるヘッドアクチュエータとを備えたディスク装置
において、ヘッドをヘッドアクチュエータの動作と独立
に微小距離だけ移動させるためにヘッドアクチュエータ
の一部に第４の発明に記載のアクチュエータを用いたヘ
ッドの微小移動機構であって、アクチュエータの２つの
電極が前記ヘッドスライダのヘッド側の端面に設けら
れ、アクチュエータの対向電極の上に前記ヘッドアクチ
ュエータのヘッドを備えたヘッド素子基板が取り付けら
れたことにある。

【００２１】第１の発明から第５の発明、第９の発明、
及び第１１の発明では、安価で精度の良いアクチュエー
タが得られる。第６の発明から第８の発明、及び第１３
の発明では、第１の発明から第５の発明のアクチュエー
タの何れかを使用した安価で精度の良いヘッドの微小移
動機構が得られる。

【００２２】第１０の発明では、第９の発明のアクチュ
エータを使用した安価で精度の良いヘッドの微小移動機
構が得られる。第１２の発明では、第１１の発明のアク
チュエータを使用した安価で精度の良いヘッドの微小移
動機構が得られる。第１４の発明及び第１５の発明で
は、第１３の発明のアクチュエータを使用した安価で精
度の良いヘッドの微小移動機構が得られる。

【００２３】第１６の発明では、第４の発明のアクチュ
エータを使用した安価で精度の良いヘッドの微小移動機
構が得られる。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下添付図面を用いて本発明の実
施形態を具体的な実施例に基づいて詳細に説明する。図
１(a) は剪断型圧電素子２４を用いた本発明のアクチュ
エータ２０の基本的な構成を示すものであり、単一の剪
断型圧電素子を用いたアクチュエータ２０の一例の構成
を分解して示している。本発明のアクチュエータ２０
は、固定端２１側に所定間隔を隔てて並んで設けられた
所定形状の２つの電極２２，２３の上側に、所定の肉厚
を備えた剪断型圧電素子２４が積層され、この剪断型圧
電素子２４の２つの電極２２，２３に対向する自由端側
の面の全面には対向電極２５が設けられて構成される。
２つの電極２２，２３にはそれぞれリードパターン２
６，２７が接続されている。

【００２５】図１(b) は図１(a) のアクチュエータ２０
の組立後の状態を示すものである。本発明のアクチュエ
ータ２０は、そのリードパターン２６，２７の先に電圧
アンプ２８とコントローラ２９を接続することによって
動作する。即ち、本発明のアクチュエータ２０では、電
圧アンプ２８とコントローラ２９を用いて２つの電極２
２，２３間に電圧を印加することによって剪断型圧電素
子２４を変形させ、対向電極２５をその面内で、例え
ば、二点鎖線で示す回転方向に変位させることができ
る。

【００２６】本発明のアクチュエータ２０の変位の方向
は、固定端２１側に設けられた電極２２，２３に対する
剪断型圧電素子２４の分極の方向や、電極２２，２３に
印加する電圧の方向によって異なる。電極２２，２３に
印加する電圧の方向は、コントローラ２９から出力する
駆動信号の極性で決まる。従って、以下に示す図２から
図５を用いて、本発明のアクチュエータ２０の種々の実
施例とその動作例を説明する。図２(a) から図２(d) は
本発明の第１及び第２の実施例のアクチュエータの構成
例を示すものである。第１及び第２の実施例のアクチュ
エータでは、単一の剪断型圧電素子２４が使用されてい
る。

【００２７】図２(a) は剪断型圧電素子２４の分極方向
が一方向である第１の実施例のアクチュエータ２０Ａの
構成を示すものである。第１の実施例のアクチュエータ
２０Ａは、固定端２１側に設けられた電極２２，２３の
上に、分極方向が２つの電極２２，２３が並列に並ぶ方
向に平行な剪断型圧電素子２４が積層されており、その
上に対向電極２５が設けられている。

【００２８】図２(b) は図２(a) に示す第１の実施例の
アクチュエータ２０Ａの電極２２，２３間に電圧を印加
した時の、アクチュエータ２０Ａの変形方向を示すもの
である。２つの電極２２，２３間に電圧を印加すると、
例えば、電極２３に正の電圧を印加し、電極２２に負の
電圧を印加すると、分極方向の異なる剪断型圧電素子２
４が電気的に直列に接続された状態となり、２つの電極
２２，２３の上側にある剪断型圧電素子２４の伸縮方向
が逆になる。この場合は、対向電極２５が剪断型圧電素
子２４の中央部を中心にして二点鎖線で示す方向に回転
する。電極２２，２３に印加する電圧の極性を逆にすれ
ば、対向電極２５は図２(b) に示される回転方向と逆方
向に回転する。

【００２９】図２(c) は剪断型圧電素子２４の分極方向
が２つある第２の実施例のアクチュエータ２０Ｂの構成
を示すものである。第２の実施例のアクチュエータ２０
Ｂも、固定端２１側に設けられた電極２２，２３の上
に、分極方向が２つの電極２２，２３が並列に並ぶ方向
に平行でかつ互いに逆方向である剪断型圧電素子２４が
積層されており、その上に対向電極２５が設けられてい
る。

【００３０】図２(d) は図２(c) に示す第２の実施例の
アクチュエータ２０Ｂの電極２２，２３間に電圧を印加
した時の、アクチュエータ２０Ｂの変形方向を示すもの
である。２つの電極２２，２３間に電圧を印加すると、
例えば、電極２３に正の電圧を印加し、電極２２に負の
電圧を印加すると、分極方向が同一の剪断型圧電素子２
４が電気的に直列に接続された状態となり、２つの電極
２２，２３の上側にある剪断型圧電素子２４の伸縮方向
が同じになる。従って、この場合は、対向電極２５は二
点鎖線で示す方向に並進する。電極２２，２３に印加す
る電圧の極性を逆にすれば、対向電極２５は図２(d) に
示される並進方向と逆方向に並進する。

【００３１】図３(a) から図３(d) は本発明の第３及び
第４の実施例のアクチュエータの構成例を示すものであ
る。第３及び第４の実施例のアクチュエータでも単一の
剪断型圧電素子２４が使用されているが、剪断型圧電素
子２４の中央部には、２つの電極の並ぶ方向に平行に仕
切溝２４１が設けられている。そして、この仕切溝２４
１を境にして剪断型圧電素子２４の分極方向が異なって
いる。

【００３２】図３(a) は剪断型圧電素子２４の分極方向
が２つある第３の実施例のアクチュエータ２０Ｃの構成
を示すものである。第３の実施例のアクチュエータ２０
Ｃは、固定端２１側に設けられた電極２２，２３の上
に、分極方向が仕切溝２４１を境にして離反する方向を
向いている剪断型圧電素子２４が積層されており、その
上に対向電極２５が仕切溝２４１を覆って全面に設けら
れている。

【００３３】図３(b) は図３(a) に示す第３の実施例の
アクチュエータ２０Ｃの電極２２，２３間に電圧を印加
した時の、アクチュエータ２０Ｃの変形方向を示すもの
である。２つの電極２２，２３間に電圧を印加すると、
分極方向が同一の剪断型圧電素子２４が電気的に直列に
接続された状態となり、２つの電極２２，２３の上側に
ある剪断型圧電素子２４の伸縮方向が同じになる。従っ
て、この場合は、対向電極２５は二点鎖線で示す方向に
並進する。電極２２，２３に印加する電圧の極性を逆に
すれば、対向電極２５は図３(b) に示される並進方向と
逆方向に並進する。

【００３４】図３(c) は剪断型圧電素子２４の分極方向
が２つある第４の実施例のアクチュエータ２０Ｄの構成
を示すものである。第４の実施例のアクチュエータ２０
Ｄは、固定端２１側に設けられた電極２２，２３の上
に、分極方向が仕切溝２４１を境にして向き合う方向を
向いている剪断型圧電素子２４が積層されており、その
上に対向電極２５が仕切溝２４１を覆って全面に設けら
れている。

【００３５】図３(d) は図３(c) に示す第４の実施例の
アクチュエータ２０Ｄの電極２２，２３間に電圧を印加
した時の、アクチュエータ２０Ｄの変形方向を示すもの
である。２つの電極２２，２３間に電圧を印加すると、
分極方向が同一の剪断型圧電素子２４が電気的に直列に
接続された状態となり、第３の実施例のアクチュエータ
２０Ｃと同様に、対向電極２５は二点鎖線で示す方向に
並進する。電極２２，２３に印加する電圧の極性を逆に
すれば、対向電極２５は図３(d) に示される並進方向と
逆方向に並進する。

【００３６】図４(a) から図４(d) は本発明の第５及び
第６の実施例のアクチュエータの構成例を示すものであ
る。第５及び第６の実施例のアクチュエータでは、２つ
の剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂが使用されている。図
４(a) は剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂの分極方向が同
じ方向である第５の実施例のアクチュエータ２０Ｅの構
成を示すものである。第５の実施例のアクチュエータ２
０Ｅは、固定端２１側に設けられた電極２２，２３の上
に、分極方向がそれぞれ電極２２，２３の長手方向と同
じ同一方向に揃った剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂが積
層されており、その上に対向電極２５が設けられてい
る。

【００３７】図４(b) は図４(a) に示す第５の実施例の
アクチュエータ２０Ｅの電極２２，２３間に電圧を印加
した時の、アクチュエータ２０Ｅの変形方向を示すもの
である。２つの電極２２，２３間に電圧を印加すると、
例えば、電極２３に正の電圧を印加し、電極２２に負の
電圧を印加すると、分極方向の異なる剪断型圧電素子２
４Ａ，２４Ｂが電気的に直列に接続された状態となり、
２つの電極２２，２３の上側にある剪断型圧電素子２４
Ａ，２４Ｂの伸縮方向が逆になる。この場合は、対向電
極２５が剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂの中央部を中心
にして二点鎖線で示す方向に回転する。電極２２，２３
に印加する電圧の極性を逆にすれば、対向電極２５は図
４(b) に示される回転方向と逆方向に回転する。図４
(c) は剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂの分極方向が逆で
ある第６の実施例のアクチュエータ２０Ｆの構成を示す
ものである。第６の実施例のアクチュエータ２０Ｆも、
固定端２１側に設けられた電極２２，２３の上に、分極
方向がそれぞれ電極２２，２３の長手方向と同じで互い
に逆方向を向いた剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂが積層
されており、その上に対向電極２５が設けられている。

【００３８】図４(d) は図４(c) に示す第６の実施例の
アクチュエータ２０Ｆの電極２２，２３間に電圧を印加
した時の、アクチュエータ２０Ｆの変形方向を示すもの
である。２つの電極２２，２３間に電圧を印加すると、
例えば、電極２３に正の電圧を印加し、電極２２に負の
電圧を印加すると、分極方向が同一の剪断型圧電素子２
４Ａ，２４Ｂが電気的に直列に接続された状態となり、
２つの電極２２，２３の上側にある剪断型圧電素子２４
Ａ，２４Ｂの伸縮方向が同じになる。従って、この場合
は、対向電極２５は二点鎖線で示す方向に並進する。電
極２２，２３に印加する電圧の極性を逆にすれば、対向
電極２５は図４(d) に示される並進方向と逆方向に並進
する。

【００３９】図５(a) から図５(d) は本発明の第７及び
第８の実施例のアクチュエータの実施例を示すものであ
る。第７及び第８の実施例のアクチュエータでも２つの
剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂが使用されているが、剪
断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂの分極方向が第５及び第６
の実施例のアクチュエータと異なっている。図５(a) は
剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂの分極方向が２つある第
７の実施例のアクチュエータ２０Ｇの構成を示すもので
ある。第７の実施例のアクチュエータ２０Ｇは、固定端
２１側に設けられた電極２２，２３の上に、分極方向が
２つの電極２２，２３に直交する方向に互いに離反する
方向を向いている剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂが積層
されており、その上に対向電極２５が剪断型圧電素子２
４Ａ，２４Ｂを覆って全面に設けられている。

【００４０】図５(b) は図５(a) に示す第７の実施例の
アクチュエータ２０Ｇの電極２２，２３間に電圧を印加
した時の、アクチュエータ２０Ｇの変形方向を示すもの
である。２つの電極２２，２３間に電圧を印加すると、
分極方向が同一の剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂが電気
的に直列に接続された状態となり、２つの電極２２，２
３の上側にある剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂの伸縮方
向が同じになる。従って、この場合は、対向電極２５は
二点鎖線で示す方向に並進する。電極２２，２３に印加
する電圧の極性を逆にすれば、対向電極２５は図５(b)
に示される並進方向と逆方向に並進する。

【００４１】図５(c) は剪断型圧電素子２４の分極方向
が２つある第８の実施例のアクチュエータ２０Ｈの構成
を示すものである。第４の実施例のアクチュエータ２０
Ｈは、固定端２１側に設けられた電極２２，２３の上
に、分極方向２つの電極２２，２３に直交する方向に互
いに向き合う方向を向いている剪断型圧電素子２４Ａ，
２４Ｂが積層されており、その上に対向電極２５が剪断
型圧電素子２４Ａ，２４Ｂを覆って全面に設けられてい
る。

【００４２】図５(d) は図５(c) に示す第８の実施例の
アクチュエータ２０Ｈの電極２２，２３間に電圧を印加
した時の、アクチュエータ２０Ｈの変形方向を示すもの
である。２つの電極２２，２３間に電圧を印加すると、
分極方向が同一の剪断型圧電素子２４が電気的に直列に
接続された状態となり、第７の実施例のアクチュエータ
２０Ｇと同様に、対向電極２５は二点鎖線で示す方向に
並進する。電極２２，２３に印加する電圧の極性を逆に
すれば、対向電極２５は図５(d) に示される並進方向と
逆方向に並進する。

【００４３】以上、第１から第８の実施例によって説明
した本発明のアクチュエータは、構成が簡単であり、図
１(b) で説明したように、固定端２１に形成したリード
パターン２６，２７を通じて２つの電極２２，２３に電
圧を印加すれば、２つの電極２２，２３上に積層された
単一の剪断型圧電素子２４、或いは２つの剪断型圧電素
子２４Ａ，２４Ｂの分極方向に応じて、対向電極２５を
回転駆動、或いは並進駆動することができる。

【００４４】次に、以上のように構成された本発明のア
クチュエータの何れかを、記録ディスクの情報記録面に
対して情報の読み書き動作を行うヘッドを先端に備えた
ヘッドアクチュエータに組み込むことにより、ヘッドを
ヘッドアクチュエータの動作とは独立に微小変位させる
ことができるヘッドの微小移動機構について説明する。

【００４５】図６(a) は本発明のアクチュエータ２０を
ディスク装置のヘッドアクチュエータのアクセスアーム
２とこのアーム２に取り付けられる支持ばね３との間に
使用した第１の形態のヘッド微小移動機構３０の基本的
な構成を示すものである。また、図６(b) は図６(a) の
ヘッド微小移動機構３０の組立後の状態を示すものであ
る。

【００４６】第１の形態のヘッド微小移動機構３０で
は、アクチュエータ２０の２つの電極２２，２３が、ヘ
ッドアクチュエータのアクセスアーム２の先端部を固定
端として設けられている。そして、この電極２２，２３
の上に、単一の剪断型圧電素子２４を介して、先端部に
ヘッド４が設けられた支持ばね３の基部が取り付けられ
ている。支持ばね３は、図６(b) に示されるように、ア
クセスアーム２の両面に取り付けられるので、１つのア
クセスアーム２に対して第１の形態のヘッドの微小移動
機構３０は２個設けられている。また、アクチュエータ
２０のリードパターン２６，２７はアクセスアーム２の
上に形成されている。

【００４７】図６(c) は図６(b) のヘッドの微小移動機
構３０の詳細な構成を示す断面図であり、ヘッドの微小
移動機構３０の上半分のみが示されている。アクセスア
ーム２の上には絶縁層３１があり、その上に電極２２，
２３が形成されている。電極２２，２３の上には剪断型
圧電素子２４が積層され、その上に対向電極２５があ
る。支持ばね３の基部はこの対向電極２５の上に絶縁層
３２を介して取り付けられている。

【００４８】図７は本発明のアクチュエータ２０を、デ
ィスク装置のヘッドアクチュエータのアーム２とこのア
ーム２に取り付けられる支持ばね３との間に取り付ける
工程を説明するものである。アクチュエータ２０がアー
ム２に取り付けられる際は、アーム２の上に形成された
電極２２，２３上にハンダペースト３３を塗布し、その
上に、先に支持ばね３の基部が取り付けられた剪断型圧
電素子２４を加熱しながら実装する。

【００４９】このように、ヘッドアクチュエータのアク
セスアーム２と支持ばね３との間に設けられる本発明の
第１の形態のヘッドの微小移動機構３０により、支持ば
ね３の先端部に設けられたヘッド４を、ヘッドアクチュ
エータの動作とは独立して微小移動させることができる
が。なお、ヘッド４を微小移動させる方向は、ヘッドの
微小移動機構３０に前述の第１から第８の実施例のアク
チュエータ２０の何れを使用するかによって異なる。そ
こで、以下に示す図８から図１３を用いて、本発明の第
１の形態のヘッドの微小移動機構３０の種々の実施例と
その動作例を説明する。

【００５０】図８(a) から図８(d) は、本発明の第１の
形態における第１の実施例のヘッドの微小移動機構３０
Ａの種々の構成例を示すものである。第１の形態におけ
る第１の実施例のヘッドの微小移動機構３０Ａでは、ヘ
ッドアクチュエータのアクセスアーム２の先端部と支持
ばね３との間に、本発明の第１の実施例のアクチュエー
タ２０Ａが使用されている。

【００５１】図８(a) に示される構成では、アーム２の
先端部に電極２２，２３がアーム２の長手方向に並列に
設けられており、剪断型圧電素子２４の分極方向はアー
ム２の先端方向である。この場合は、電極２２，２３に
電圧を印加することにより、支持ばね３は回転駆動され
る。図８(b) に示される構成は、剪断型圧電素子２４の
分極方向がアーム２の基部方向である点のみが図８(a)
の構成と異なる。この場合も、電極２２，２３に電圧を
印加することにより、支持ばね３は回転駆動されるが、
その回転方向は図８(a) の構成とは逆方向である。

【００５２】図８(c) に示される構成では、アーム２の
先端部に電極２２，２３がアーム２の長手方向に垂直な
方向に並列に設けられており、剪断型圧電素子２４の分
極方向は電極２２，２３の先端方向である。この場合も
電極２２，２３に電圧を印加することにより、支持ばね
３は回転駆動される。図８(d) に示される構成は、剪断
型圧電素子２４の分極方向が電極２２，２３の基部方向
である点のみが図８(c) の構成と異なる。この場合も、
電極２２，２３に電圧を印加することにより、支持ばね
３は回転駆動されるが、その回転方向は図８(c) の構成
とは逆方向である。

【００５３】図９(a) から図９(d) は、本発明の第１の
形態における第２の実施例のヘッドの微小移動機構３０
Ｂの種々の構成例を示すものである。第１の形態におけ
る第２の実施例のヘッドの微小移動機構３０Ｂでは、ヘ
ッドアクチュエータのアクセスアーム２の先端部と支持
ばね３との間に、本発明の第２の実施例のアクチュエー
タ２０Ｂが使用されている。

【００５４】図９(a) に示される構成では、アーム２の
先端部に電極２２，２３がアーム２の長手方向に並列に
設けられており、剪断型圧電素子２４の分極方向は一方
がアーム２の先端方向、他方がアーム２の基部方向であ
る。この場合は、電極２２，２３に電圧を印加すること
により、支持ばね３はアーム２の長手方向に並進駆動さ
れる。図９(b) に示される構成は、剪断型圧電素子２４
の分極方向が図９(a)に示される構成と逆になっている
点のみが異なる。この場合も、電極２２，２３に電圧を
印加することにより、支持ばね３は並進駆動されるが、
その並進方向は図９(a) の構成とは逆方向である。

【００５５】図９(c) に示される構成では、アーム２の
先端部に電極２２，２３がアーム２の長手方向に垂直な
方向に並列に設けられており、剪断型圧電素子２４の分
極方向は一方がアーム２の左端方向、他方がアーム２の
右端方向である。この場合も電極２２，２３に電圧を印
加することにより、支持ばね３はアーム２の長手方向に
垂直な方向に並進駆動される。図９(d) に示される構成
は、剪断型圧電素子２４の分極方向が図９(c) に示され
る構成と逆になっている点のみが異なる。この場合も、
電極２２，２３に電圧を印加することにより、支持ばね
３はアーム２の長手方向に垂直な方向に並進駆動される
が、その並進方向は図９(c) の構成とは逆方向である。

【００５６】図１０(a) は、本発明の第１の形態におけ
る第３の実施例のヘッドの微小移動機構３０Ｃの構成例
を示すものである。第１の形態における第３の実施例の
ヘッドの微小移動機構３０Ｃでは、ヘッドアクチュエー
タのアクセスアーム２の先端部と支持ばね３との間に、
本発明の第３の実施例のアクチュエータ２０Ｃが使用さ
れている。

【００５７】図１０(a) に示される構成では、アーム２
の先端部に電極２２，２３がアーム２の長手方向に並列
に設けられており、剪断型圧電素子２４の分極方向は仕
切溝２４１を境にして離反する方向である。この場合
は、電極２２，２３に電圧を印加することにより、支持
ばね３はアーム２の長手方向に垂直な方向に並進駆動さ
れる。

【００５８】なお、第１の形態における第３の実施例の
ヘッドの微小移動機構３０Ｃにおいても、アーム２の先
端部に電極２２，２３をアーム２の長手方向に垂直な方
向に並列に設け、剪断型圧電素子２４をその分極方向が
アーム２の長手方向に向くようにしても良い。この場合
は、電極２２，２３に電圧を印加することにより、支持
ばね３はアーム２の長手方向に並進駆動される。

【００５９】図１０(b) は、本発明の第１の形態におけ
る第４の実施例のヘッドの微小移動機構３０Ｄの構成例
を示すものである。第１の形態における第４の実施例の
ヘッドの微小移動機構３０Ｄでは、ヘッドアクチュエー
タのアクセスアーム２の先端部と支持ばね３との間に、
本発明の第４の実施例のアクチュエータ２０Ｄが使用さ
れている。

【００６０】図１０(b) に示される構成では、アーム２
の先端部に電極２２，２３がアーム２の長手方向に並列
に設けられており、剪断型圧電素子２４の分極方向は仕
切溝２４１を境にして向かい合う方向である。この場合
は、電極２２，２３に電圧を印加することにより、支持
ばね３はアーム２の長手方向に垂直な方向に並進駆動さ
れるが、その並進方向は図１０(a) の構成とは逆方向で
ある。

【００６１】なお、第１の形態における第４の実施例の
ヘッドの微小移動機構３０Ｄにおいても、アーム２の先
端部に電極２２，２３をアーム２の長手方向に垂直な方
向に並列に設け、剪断型圧電素子２４をその分極方向が
アーム２の長手方向に向くようにしても良い。この場合
は、電極２２，２３に電圧を印加することにより、支持
ばね３はアーム２の長手方向に並進駆動される。

【００６２】図１１(a) から図１１(d) は、本発明の第
１の形態における第５の実施例のヘッドの微小移動機構
３０Ｅの種々の構成例を示すものである。第１の形態に
おける第５の実施例のヘッドの微小移動機構３０Ｅで
は、ヘッドアクチュエータのアクセスアーム２の先端部
と支持ばね３との間に、本発明の第５の実施例のアクチ
ュエータ２０Ｅが使用されている。

【００６３】図１１(a) に示される構成では、アーム２
の先端部に電極２２，２３がアーム２の長手方向に並列
に設けられており、この電極２２，２３上に剪断型圧電
素子２４Ａ，２４Ｂが積層される。剪断型圧電素子２４
Ａ，２４Ｂの分極方向はそれぞれアーム２の先端方向で
ある。この場合は、電極２２，２３に電圧を印加するこ
とにより、支持ばね３は回転駆動される。図１１(b) に
示される構成は、剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂの分極
方向がアーム２の基部方向である点のみが図１１(a) の
構成と異なる。この場合も、電極２２，２３に電圧を印
加することにより支持ばね３は回転駆動されるが、その
回転方向は図１１(a) の構成とは逆方向である。

【００６４】図１１(c) に示される構成では、アーム２
の先端部に電極２２，２３がアーム２の長手方向に垂直
な方向に並列に設けられており、剪断型圧電素子２４
Ａ，２４Ｂの分極方向はそれぞれ電極２２，２３の先端
方向である。この場合も電極２２，２３に電圧を印加す
ることにより、支持ばね３は回転駆動される。図１１
(d) に示される構成は、剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂ
の分極方向が電極２２，２３の基部方向である点のみが
図１１(c) の構成と異なる。この場合も、電極２２，２
３に電圧を印加することにより、支持ばね３は回転駆動
されるが、その回転方向は図１１(c) の構成とは逆方向
である。

【００６５】図１２(a) から図１２(d) は、本発明の第
１の形態における第６の実施例のヘッドの微小移動機構
３０Ｆの種々の構成例を示すものである。第１の形態に
おける第６の実施例のヘッドの微小移動機構３０Ｆで
は、ヘッドアクチュエータのアクセスアーム２の先端部
と支持ばね３との間に、本発明の第６の実施例のアクチ
ュエータ２０Ｆが使用されている。

【００６６】図１２(a) に示される構成では、アーム２
の先端部に電極２２，２３がアーム２の長手方向に並列
に設けられており、剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂの分
極方向は一方がアーム２の先端方向、他方がアーム２の
基部方向である。この場合は、電極２２，２３に電圧を
印加することにより、支持ばね３はアーム２の長手方向
に並進駆動される。図１２(b) に示される構成は、剪断
型圧電素子２４Ａ，２４Ｂの分極方向が図１２(a) に示
される構成と逆になっている点のみが異なる。この場合
も、電極２２，２３に電圧を印加することにより、支持
ばね３は並進駆動されるが、その並進方向は図１２(a)
の構成とは逆方向である。

【００６７】図１２(c) に示される構成では、アーム２
の先端部に電極２２，２３がアーム２の長手方向に垂直
な方向に並列に並べられており、剪断型圧電素子２４
Ａ，２４Ｂの分極方向は一方がアーム２の左端方向、他
方がアーム２の右端方向である。この場合も電極２２，
２３に電圧を印加することにより、支持ばね３はアーム
２の長手方向に垂直な方向に並進駆動される。図１２
(d) に示される構成は、剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂ
の分極方向が図１２(c) に示される構成と逆になってい
る点のみが異なる。この場合も、電極２２，２３に電圧
を印加することにより、支持ばね３はアーム２の長手方
向に垂直な方向に並進駆動されるが、その並進方向は図
１２(c) の構成とは逆方向である。

【００６８】図１３(a) は、本発明の第１の形態におけ
る第７の実施例のヘッドの微小移動機構３０Ｇの構成例
を示すものである。第１の形態における第７の実施例の
ヘッドの微小移動機構３０Ｇでは、ヘッドアクチュエー
タのアクセスアーム２の先端部と支持ばね３との間に、
本発明の第７の実施例のアクチュエータ２０Ｇが使用さ
れている。

【００６９】図１３(a) に示される構成では、アーム２
の先端部に電極２２，２３がアーム２の長手方向に並列
に設けられており、剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂの分
極方向はアーム２の長手方向に垂直に互いに離反する方
向である。この場合は、電極２２，２３に電圧を印加す
ることにより、支持ばね３はアーム２の長手方向に垂直
な方向に並進駆動される。

【００７０】なお、第１の形態における第７の実施例の
ヘッドの微小移動機構３０Ｇにおいても、アーム２の先
端部に電極２２，２３をアーム２の長手方向に垂直な方
向に並列に設け、剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂをその
分極方向がアーム２の長手方向に向くようにしても良
い。この場合は、電極２２，２３に電圧を印加すること
により、支持ばね３はアーム２の長手方向に並進駆動さ
れる。

【００７１】図１３(b) は、本発明の第１の形態におけ
る第８の実施例のヘッドの微小移動機構３０Ｈの構成例
を示すものである。第１の形態における第８の実施例の
ヘッドの微小移動機構３０Ｈでは、ヘッドアクチュエー
タのアクセスアーム２の先端部と支持ばね３との間に、
本発明の第８の実施例のアクチュエータ２０Ｈが使用さ
れている。

【００７２】図１３(b) に示される構成では、アーム２
の先端部に電極２２，２３がアーム２の長手方向に並列
に設けられており、剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂの分
極方向はアーム２の長手方向に垂直に向かい合う方向で
ある。この場合は、電極２２，２３に電圧を印加するこ
とにより、支持ばね３はアーム２の長手方向に垂直な方
向に並進駆動されるが、その並進方向は図１３(a) の構
成とは逆方向である。

【００７３】なお、第１の形態における 第８の実施例
のヘッドの微小移動機構３０Ｈにおいても、アーム２の
先端部に電極２２，２３をアーム２の長手方向に垂直な
方向に並列に設け、剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂをそ
の分極方向がアーム２の長手方向に向くようにしても良
い。この場合は、電極２２，２３に電圧を印加すること
により、支持ばね３はアーム２の長手方向に並進駆動さ
れる。

【００７４】図１４(a) は本発明の第９の実施例のアク
チュエータの構成を示すものであり、第９の実施例のア
クチュエータ２０Ｊの構成を分解して示している。第９
の実施例のアクチュエータ２０Ｊは、固定端２１側に所
定深さを備えた円形の溝１９が設けられており、この円
形の溝１９の内周面上にこの内周面を左右対称に２分割
するように２つの電極２２Ａ，２３Ａが設けられる。そ
して、これら２つの電極２２Ａ，２３Ａの内周面上に所
定の肉厚を備えた半リング状の２つの剪断型圧電素子２
４Ｃ，２４Ｄがそれぞれ積層される。半リング状の２つ
の剪断型圧電素子２４Ｃ，２４Ｄの分極方向は周方向で
あり、分割線に対して線対称である。更に、２つの半リ
ング状の剪断型圧電素子２４Ｃ，２４Ｄの両方の内周面
には対向電極２５Ａが跨がって設けられ、この対向電極
２５Ａの内周面に回転軸１８が固着されて第９の実施例
のアクチュエータ２０Ｊが構成される。

【００７５】円形の溝１９の対向する縁部にはリードパ
ターン２６Ａ，２７Ａが接続されており、このリードパ
ターン２６Ａ，２７Ａの先にはアンプ２８とコントロー
ラ２９が接続されている。第９の実施例のアクチュエー
タ２０Ｊでは、コントローラ２９から出力される所定の
極性の駆動信号をアンプ２８で増幅し、２つの電極２２
Ａ，２３Ａ間に電圧を印加することによって剪断型圧電
素子２４Ｃ，２４Ｄを変形させ、対向電極２５Ａを回転
させることができる。この結果、対向電極２５Ａに固着
された回転軸１８を回転駆動することができる。コント
ローラ２９からは正、負両極性の駆動信号が出力できる
ので、駆動信号の極性を変えることにより、回転軸１８
の回転量、回転方向を制御することができる。

【００７６】図１４(b) は図１４(a) のアクチュエータ
２０Ｊを、ディスク装置のヘッドアクチュエータのアー
ム２と支持ばね３との間に取り付けて第１の形態におけ
る第９の実施例のヘッドの微小移動機構３０Ｊを構成す
る様子を示すものである。ヘッドアクチュエータのアー
ム２の先端部には、アクチュエータ２０Ｊの固定端とし
て円形の溝１８が設けられており、２つの電極２２Ａ，
２３Ａ、剪断型圧電素子２４Ｃ，２４Ｄ、及び対向電極
２５Ａがこの円形の溝１９の中に収納される。そして、
支持ばね３の基部の裏面側に突設されたボス１８Ａが対
向電極２５Ａに固着されて第１の形態における第９の実
施例のヘッド微小移動機構３０Ｊが構成される。

【００７７】図１５(a) は本発明の第１０の実施例のア
クチュエータ２０Ｋの構成を示すものである。固定端２
１Ａは板状であり、その先端部には凹部２１Ｂが形成さ
れている。凹部２１Ｂ内の対向する２つの平面上にはそ
れぞれ電極が設けられている。なお、固定端２１Ａが導
電性の金属であれば、電極は不要である。そして、これ
ら２つの電極の間には、移動板１７を両側から挟んでサ
ンドイッチ状になった２つの剪断型圧電素子２４が嵌め
込まれる。移動板１７が金属の場合は剪断型圧電素子２
４の移動板１７側の端面に電極は不要である。

【００７８】図１５(b) は組立後の第１０の実施例のア
クチュエータ２０Ｋの状態を示すものであり、図１５
(c) は図１５(b) のアクチュエータ２０Ｋの電圧アンプ
２８との接続を示す回路構成図である。第１０の実施例
のアクチュエータ２０Ｋは、移動板１７と固定端２１Ａ
との間に電圧アンプ２８とコントローラ２９を接続し、
電極間の電圧の大きさと印加方向とをコントロールする
ことにより、移動板１７を図１５(b) に示すように揺動
させることができる。

【００７９】なお、この第１０の実施例のアクチュエー
タ２０Ｊは、固定端２１Ａをヘッドアクチュエータのア
ーム２、移動板１７をヘッドアクチュエータの支持ばね
３とすれば、そのまま第１の形態における第１０の実施
例のヘッド微小移動機構３０Ｋとして使用することがで
きる。以上説明した第１の形態における 第１から第１
０の実施例のヘッド微小微小移動機構３０Ａ〜３０Ｋ
は、構成の簡単で変位精度の高い第１から第１０の実施
例のアクチュエータ２０Ａ〜２０Ｋを使用しているの
で、変位精度が高く、かつ、製造、組み立て性が向上す
る。

【００８０】図１６(a) は本発明のアクチュエータ２０
をディスク装置のヘッドアクチュエータのアクセスアー
ム２に取り付けられる支持ばね３と、この支持ばね３の
先端部に設けられるヘッド４（実際にはインダクディブ
ヘッドやＭＲヘッドを備えたヘッドスライダ４Ａ）との
間に使用した第２の形態のヘッド微小移動機構４０の基
本的な構成を示すものである。また、図１６(b) は図１
６(a) のヘッド微小移動機構４０の組立後の状態を示す
ものである。

【００８１】第２の形態のヘッド微小移動機構４０で
は、アクチュエータ２０の２つの電極２２，２３が、ヘ
ッドアクチュエータの支持ばね３の先端部にある島部３
Ａを固定端として設けられている。この島部３Ａは２本
のブリッジ３Ｂで支持ばね３の先端部に接続されてお
り、島部３Ａの回りには孔３Ｃが形成されている。島部
３Ａには２つの電極２２，２３の他に、ヘッド４に電気
的に接続させるための４つのパッド３Ｄが設けられてい
る。また、支持ばね３の上には２つの電極２２，２３に
接続するリードパターン２６，２７と、４つのパッド３
Ｄに接続するリードパターン４１〜４４があり、リード
パターン２６，２７は一方のブリッジ３Ｂを通って２つ
の電極２２，２３に接続しており、リードパターン４１
〜４４は他方のブリッジ３Ｂを通って４つのパッド３Ｄ
に接続している。そして、この電極２２，２３の上に、
この例では２個の剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂを介し
て、先端部にヘッド４が設けられたヘッドスライダ４Ａ
が取り付けられている。支持ばね３は、図１６(b) に示
されるように、アクセスアーム２の両面に取り付けられ
るので、１本のアクセスアーム２について第２の形態の
ヘッドの微小移動機構４０は２個設けられている。

【００８２】図１６(c) は図１６(b) のヘッドの微小移
動機構４０の詳細な構成を示すＤ−Ｄ線における断面図
である。支持ばね３の上には絶縁層３１があり、その上
に電極２２，２３が形成されている。電極２２，２３の
上にはそれぞれ剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂが積層さ
れ、その上に対向電極２５がある。そして、対向電極２
５の上に絶縁層３２を介してヘッドスライダ４Ａが取り
付けられている。

【００８３】このように、ヘッドアクチュエータの支持
ばね３とヘッドスライダ４Ａとの間に設けられる本発明
の第２の形態のヘッドの微小移動機構４０により、ヘッ
ドスライダ４Ａの先端部に設けられたヘッド４を、ヘッ
ドアクチュエータの動作とは独立して微小移動させるこ
とができる。なお、ヘッド４を微小移動させる方向は、
ヘッドの微小移動機構４０に前述の第１から第８の実施
例のアクチュエータ２０の何れを使用するかによって異
なる。そこで、以下に示す図１７(a) から図２２(b) を
用いて、本発明の第２の形態のヘッドの微小移動機構４
０の種々の実施例とその動作例を説明する。

【００８４】図１７(a) から図１７(d) は、本発明の第
２の形態における第１の実施例のヘッドの微小移動機構
４０Ａの種々の構成例を示すものである。第２の形態に
おけ第１の実施例のヘッドの微小移動機構４０Ａでは、
ヘッドアクチュエータの支持ばね３の先端部とヘッドス
ライダ４Ａとの間に、本発明の第１の実施例のアクチュ
エータ２０Ａが使用されている。

【００８５】図１７(a) に示される構成では、支持ばね
３の先端部にある島部３Ａに電極２２，２３が支持ばね
３の長手方向に並列に設けられており、剪断型圧電素子
２４の分極方向はアーム２の先端方向である。この場合
は、電極２２，２３に電圧を印加することにより、ヘッ
ドスライダ４Ａは回転駆動される。図１７(b) に示され
る構成は、剪断型圧電素子２４の分極方向が支持ばね３
の基部方向である点のみが図１７(a) の構成と異なる。
この場合も、電極２２，２３に電圧を印加することによ
り、ヘッドスライダ４Ａは回転駆動されるが、その回転
方向は図１７(a) の構成とは逆方向である。

【００８６】図１７(c) に示される構成では、支持ばね
３の先端部にある島部３Ａに電極２２，２３が支持ばね
３の長手方向に垂直な方向に並列に設けられており、剪
断型圧電素子２４の分極方向は電極２２，２３の先端方
向である。この場合も電極２２，２３に電圧を印加する
ことにより、ヘッドスライダ４Ａは回転駆動される。図
１７(d) に示される構成は、剪断型圧電素子２４の分極
方向が電極２２，２３の基部方向である点のみが図１７
(c) の構成と異なる。この場合も、電極２２，２３に電
圧を印加することにより、ヘッドスライダ４Ａは回転駆
動されるが、その回転方向は図１７(c) の構成とは逆方
向である。

【００８７】図１８(a) から図１８(d) は、本発明の第
２の形態における第２の実施例のヘッドの微小移動機構
４０Ｂの種々の構成例を示すものである。第２の形態に
おける第２の実施例のヘッドの微小移動機構４０Ｂで
は、ヘッドアクチュエータの支持ばね３の先端部とヘッ
ドスライダ４Ａとの間に、本発明の第２の実施例のアク
チュエータ２０Ｂが使用されている。

【００８８】図１８(a) に示される構成では、支持ばね
３の先端部にある島部３Ａに電極２２，２３が支持ばね
３の長手方向に並列に設けられており、剪断型圧電素子
２４の分極方向は一方が支持ばね３の先端方向、他方が
支持ばね３の基部方向である。この場合は、電極２２，
２３に電圧を印加することにより、ヘッドスライダ４Ａ
は支持ばね３の長手方向に並進駆動される。図１８(b)
に示される構成は、剪断型圧電素子２４の分極方向が図
１８(a) に示される構成と逆になっている点のみが異な
る。この場合も、電極２２，２３に電圧を印加すること
により、ヘッドスライダ４Ａは並進駆動されるが、その
並進方向は図１８(a) の構成とは逆方向である。

【００８９】図１８(c) に示される構成では、支持ばね
３の先端部にある島部３Ａに電極２２，２３が支持ばね
３の長手方向に垂直な方向に並列に設けられており、剪
断型圧電素子２４の分極方向は一方が島部３Ａの左端方
向、他方が島部３Ａの右端方向である。この場合も電極
２２，２３に電圧を印加することにより、ヘッドスライ
ダ４Ａは支持ばね３の長手方向に垂直な方向に並進駆動
される。図１８(d) に示される構成は、剪断型圧電素子
２４の分極方向が図１８(c) に示される構成と逆になっ
ている点のみが異なる。この場合も、電極２２，２３に
電圧を印加することにより、ヘッドスライダ４Ａは支持
ばね３の長手方向に垂直な方向に並進駆動されるが、そ
の並進方向は図１８(c) の構成とは逆方向である。

【００９０】図１９(a) は、本発明の第２の形態におけ
る第３の実施例のヘッドの微小移動機構４０Ｃの構成例
を示すものである。第２の形態における第３の実施例の
ヘッドの微小移動機構４０Ｃでは、ヘッドアクチュエー
タの支持ばね３の先端部とヘッドスライダ４Ａとの間
に、本発明の第３の実施例のアクチュエータ２０Ｃが使
用されている。

【００９１】図１９(a) に示される構成では、支持ばね
３の先端部にある島部３Ａに電極２２，２３が支持ばね
３の長手方向に並列に設けられており、剪断型圧電素子
２４の分極方向は仕切溝２４１を境にして離反する方向
である。この場合は、電極２２，２３に電圧を印加する
ことにより、ヘッドスライダ４Ａは支持ばね３の長手方
向に垂直な方向に並進駆動される。

【００９２】なお、第２の形態における第３の実施例の
ヘッドの微小移動機構４０Ｃにおいても、支持ばね３の
先端部にある島部３Ａに電極２２，２３を支持ばね３の
長手方向に垂直な方向に並列に設け、剪断型圧電素子２
４をその分極方向が支持ばね３の長手方向に向くように
しても良い。この場合は、電極２２，２３に電圧を印加
することにより、ヘッドスライダ４Ａは支持ばね３の長
手方向に並進駆動される。

【００９３】図１９(b) は、本発明の第２の形態におけ
る第４の実施例のヘッドの微小移動機構４０Ｄの構成例
を示すものである。第２の形態における第４の実施例の
ヘッドの微小移動機構４０Ｄでは、ヘッドアクチュエー
タの支持ばね３の先端部とヘッドスライダ４Ａとの間
に、本発明の第４の実施例のアクチュエータ２０Ｄが使
用されている。

【００９４】図１９(b) に示される構成では、支持ばね
３の先端部にある島部３Ａに電極２２，２３が支持ばね
３の長手方向に並列に設けられており、剪断型圧電素子
２４の分極方向は仕切溝２４１を境にして向かい合う方
向である。この場合は、電極２２，２３に電圧を印加す
ることにより、ヘッドスライダ４Ａは支持ばね３の長手
方向に垂直な方向に並進駆動されるが、その並進方向は
図１９(a) の構成とは逆方向である。

【００９５】なお、第２の形態における第４の実施例の
ヘッドの微小移動機構４０Ｄにおいても、支持ばね３の
先端部にある島部３Ａに電極２２，２３をアーム２の長
手方向に垂直な方向に並列に設け、剪断型圧電素子２４
をその分極方向が支持ばね３の長手方向に向くようにし
ても良い。この場合は、電極２２，２３に電圧を印加す
ることにより、支持ばね３は支持ばね３の長手方向に並
進駆動される。

【００９６】図２０(a) から図２０(d) は、本発明の第
２の形態における第５の実施例のヘッドの微小移動機構
４０Ｅの種々の構成例を示すものである。第２の形態に
おける第５の実施例のヘッドの微小移動機構４０Ｅで
は、ヘッドアクチュエータの支持ばね３の先端部とヘッ
ドスライダ４Ａとの間に、本発明の第５の実施例のアク
チュエータ２０Ｅが使用されている。

【００９７】図２０(a) に示される構成では、支持ばね
３の先端部にある島部３Ａに電極２２，２３がアーム２
の長手方向に並列に設けられており、この電極２２，２
３上に剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂが積層される。剪
断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂの分極方向はそれぞれ支持
ばね３の先端方向である。この場合は、電極２２，２３
に電圧を印加することにより、ヘッドスライダ４Ａは回
転駆動される。図２０(b) に示される構成は、剪断型圧
電素子２４Ａ，２４Ｂの分極方向が支持ばね３の基部方
向である点のみが図２０(a) の構成と異なる。この場合
も、電極２２，２３に電圧を印加することによりヘッド
スライダ４Ａは回転駆動されるが、その回転方向は図２
０(a) の構成とは逆方向である。

【００９８】図２０(c) に示される構成では、支持ばね
３の先端部にある島部３Ａに電極２２，２３が支持ばね
３の長手方向に垂直な方向に並列に設けられており、剪
断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂの分極方向はそれぞれ電極
２２，２３の先端方向である。この場合も電極２２，２
３に電圧を印加することにより、ヘッドスライダ４Ａは
回転駆動される。図２０(d) に示される構成は、剪断型
圧電素子２４Ａ，２４Ｂの分極方向が電極２２，２３の
基部方向である点のみが図２０(c) の構成と異なる。こ
の場合も、電極２２，２３に電圧を印加することによ
り、ヘッドスライダ４Ａは回転駆動されるが、その回転
方向は図２０(c) の構成とは逆方向である。

【００９９】図２１(a) から図２１(d) は、本発明の第
２の形態における第６の実施例のヘッドの微小移動機構
４０Ｆの種々の構成例を示すものである。第２の形態に
おける第６の実施例のヘッドの微小移動機構４０Ｆで
は、ヘッドアクチュエータの支持ばね３の先端部とヘッ
ドスライダ４Ａとの間に、本発明の第６の実施例のアク
チュエータ２０Ｆが使用されている。

【０１００】図２１(a) に示される構成では、支持ばね
３の先端部にある島部３Ａに電極２２，２３が支持ばね
３の長手方向に並列に設けられており、剪断型圧電素子
２４Ａ，２４Ｂの分極方向は一方が支持ばね３の先端方
向、他方が支持ばね３の基部方向である。この場合は、
電極２２，２３に電圧を印加することにより、ヘッドス
ライダ４Ａは支持ばね３の長手方向に並進駆動される。
図２１(b) に示される構成は、剪断型圧電素子２４Ａ，
２４Ｂの分極方向が図２１(a) に示される構成と逆にな
っている点のみが異なる。この場合も、電極２２，２３
に電圧を印加することにより、ヘッドスライダ４Ａは並
進駆動されるが、その並進方向は図２１(a) の構成とは
逆方向である。図２１(c) に示される構成では、支持ば
ね３の先端部にある島部３Ａに電極２２，２３が支持ば
ね３の長手方向に垂直な方向に並列に並べられており、
剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂの分極方向は一方が島部
３Ａの左端方向、他方が島部３Ａの右端方向である。こ
の場合も電極２２，２３に電圧を印加することにより、
ヘッドスライダ４Ａは支持ばね３の長手方向に垂直な方
向に並進駆動される。図２１(d) に示される構成は、剪
断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂの分極方向が図２１(c) に
示される構成と逆になっている点のみが異なる。この場
合も、電極２２，２３に電圧を印加することにより、ヘ
ッドスライダ４Ａは支持ばね３の長手方向に垂直な方向
に並進駆動されるが、その並進方向は図２１(c) の構成
とは逆方向である。

【０１０１】図２２(a) は、本発明の第２の形態におけ
る第７の実施例のヘッドの微小移動機構４０Ｇの構成例
を示すものである。第２の形態における第７の実施例の
ヘッドの微小移動機構４０Ｇでは、ヘッドアクチュエー
タの支持ばね３の先端部とヘッドスライダ４Ａとの間
に、本発明の第７の実施例のアクチュエータ２０Ｇが使
用されている。

【０１０２】図２２(a) に示される構成では、支持ばね
３の先端部にある島部３Ａに電極２２，２３が支持ばね
３の長手方向に並列に設けられており、剪断型圧電素子
２４Ａ，２４Ｂの分極方向は支持ばね３の長手方向に垂
直に互いに離反する方向である。この場合は、電極２
２，２３に電圧を印加することにより、ヘッドスライダ
４Ａは支持ばね３の長手方向に垂直な方向に並進駆動さ
れる。

【０１０３】なお、第２の形態における第７の実施例の
ヘッドの微小移動機構４０Ｇにおいても、支持ばね３の
先端部にある島部３Ａに電極２２，２３を支持ばね３の
長手方向に垂直な方向に並列に設け、剪断型圧電素子２
４Ａ，２４Ｂをその分極方向が支持ばね３の長手方向に
向くようにしても良い。この場合は、電極２２，２３に
電圧を印加することにより、ヘッドスライダ４Ａは支持
ばね３の長手方向に並進駆動される。

【０１０４】図２２(b) は、本発明の第２の形態におけ
る第８の実施例のヘッドの微小移動機構４０Ｈの構成例
を示すものである。第２の形態における第８の実施例の
ヘッドの微小移動機構４０Ｈでは、ヘッドアクチュエー
タの支持ばね３の先端部とヘッドスライダ４Ａとの間
に、本発明の第８の実施例のアクチュエータ２０Ｈが使
用されている。

【０１０５】図２２(b) に示される構成では、支持ばね
３の先端部にある島部３Ａに電極２２，２３が支持ばね
３の長手方向に並列に設けられており、剪断型圧電素子
２４Ａ，２４Ｂの分極方向は支持ばね３の長手方向に垂
直に向かい合う方向である。この場合は、電極２２，２
３に電圧を印加することにより、ヘッドスライダ４Ａは
支持ばね３の長手方向に垂直な方向に並進駆動される
が、その並進方向は図２２(a) の構成とは逆方向であ
る。

【０１０６】なお、第２の形態における第８の実施例の
ヘッドの微小移動機構４０Ｈにおいても、支持ばね３の
先端部にある島部３Ａに電極２２，２３を支持ばね３の
長手方向に垂直な方向に並列に設け、剪断型圧電素子２
４Ａ，２４Ｂをその分極方向が支持ばね３の長手方向に
向くようにしても良い。この場合は、電極２２，２３に
電圧を印加することにより、ヘッドスライダ４Ａは支持
ばね３の長手方向に並進駆動される。

【０１０７】以上説明した本発明の第２の形態における
第１から第８の実施例のヘッド微小移動機構４０Ａから
４０Ｈでは、第１から第８の実施例のアクチュエータ２
０Ａ〜２０Ｈが駆動する部分はヘッドスライダ４Ａのみ
で良く、可動部質量があるのでアクチュエータの共振点
を向上させることができる。図２３(a) は本発明の第２
の形態における第９の実施例のヘッドの微小移動機構４
０Ｊの構成例を示すものである。第２の形態における第
９の実施例のヘッドの微小移動機構４０Ｊでは、ヘッド
スライダ４Ａの先端部とヘッド素子基板４Ｂとの間に、
本発明の第３の実施例のアクチュエータ２０Ｃが使用さ
れている。

【０１０８】図２３(a) に示される構成では、支持ばね
３の先端部にある島部３Ａに取り付けられたヘッドスラ
イダ４Ａの、ヘッド素子基板４Ｂを取り付ける前の端面
に電極２２，２３が並んで設けられており、この電極２
２，２３上に剪断型圧電素子２４を挟んでヘッド素子基
板４Ｂが取り付けられる。ヘッド素子基板４Ｂの剪断型
圧電素子２４側の面には図示はしないが全面に対向電極
が設けられている。この場合の剪断型圧電素子２４の分
極方向は支持ばね３の長手方向に垂直に互いに離反する
方向である。

【０１０９】図２３(b) は組立後の第２の形態における
第９の実施例のヘッドの微小移動機構４０Ｊの構成を示
すものである。第２の形態における第９の実施例のヘッ
ドの微小移動機構４０Ｊでは、電極２２，２３に電圧を
印加することにより、ヘッド素子基板４Ｂは矢印で示す
ようにヘッドスライダ４Ａの長手方向に垂直な方向に並
進駆動される。

【０１１０】以上説明した本発明の第２の形態における
第１から第９の実施例のヘッドの微小移動機構４０Ａ〜
４０Ｊでは、構造が簡単で制御精度の高いアクチュエー
タ２０Ａ〜２０Ｊを使用しているので、製造が簡単で組
立性が高い。

【０１１１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
素子の高い寸法精度が必要されないと共に、高精度の位
置決めが可能な剪断型圧電素子を用いたアクチュエータ
を提供することが可能になる。また、本発明によれば、
寸法精度が必要とされず、高精度の位置決めが可能なア
クチュエータを使用することにより、構造か簡単で、製
造、組立性が高く、且つ、位置決め精度の良いヘッド微
小移動機構を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】(a) は本発明の剪断型圧電素子を用いたアクチ
ュエータの基本的な構成を示すものであり、単一の剪断
型圧電素子を用いたアクチュエータの構成を分解して示
す組立斜視図、(b) は(a) のアクチュエータの組立後の
動作の一例を示す斜視図である。

【図２】(a) から(d) は単一の剪断型圧電素子を用いた
本発明の第１の形態のアクチュエータの実施例を示すも
のであり、(a) は剪断型圧電素子の分極方向が一方向で
ある第１の実施例の構成を示す斜視図、(b) は(a) に示
す第１の実施例のアクチュエータに電圧を印加した時の
アクチュエータの変形方向を示す平面図、(c) は剪断型
圧電素子の分極方向が２つの電極に平行で且つ互いに逆
方向である第２の実施例の構成を示す斜視図、(d) は
(c) に示す第２の実施例のアクチュエータに電圧を印加
した時のアクチュエータの変形方向を示す平面図であ
る。

【図３】(a) から(d) は中央部に仕切溝を設けた単一の
剪断型圧電素子を用いた本発明の第１の形態の変形例の
アクチュエータの実施例を示すものであり、(a) は剪断
型圧電素子の分極方向が仕切溝に垂直な方向に互いに離
反するように向いた第３の実施例の構成を示す斜視図、
(b) は(a) に示す第３の実施例のアクチュエータに電圧
を印加した時のアクチュエータの変形方向を示す平面
図、(c) は剪断型圧電素子の分極方向が仕切溝に垂直な
方向に互いに向き合うように向いた第４の実施例の構成
を示す斜視図、(d) は(c) に示す第４の実施例のアクチ
ュエータに電圧を印加した時のアクチュエータの変形方
向を示す平面図である。

【図４】(a) から(d) は２つの剪断型圧電素子を用いた
本発明の第２の形態のアクチュエータの実施例を示すも
のであり、(a) は２個の剪断型圧電素子の分極方向が２
つの電極に平行な同方向である第５の実施例の構成を示
す斜視図、(b) は(a) に示す第５の実施例のアクチュエ
ータに電圧を印加した時のアクチュエータの変形方向を
示す平面図、(c) は２つの剪断型圧電素子の分極方向が
２つの電極に平行で且つ互いに逆方向である第６の実施
例の構成を示す斜視図、(d) は(c) に示す第６の実施例
のアクチュエータに電圧を印加した時のアクチュエータ
の変形方向を示す平面図である。

【図５】(a) から(d) は２つの剪断型圧電素子を用いた
本発明の第２の形態のアクチュエータの実施例を示すも
のであり、(a) は２個の剪断型圧電素子の分極方向が２
つの電極に交差する方向に互いに離反するように向いた
第７の実施例の構成を示す斜視図、(b) は(a) に示す第
７の実施例のアクチュエータに電圧を印加した時のアク
チュエータの変形方向を示す平面図、(c) は２つの剪断
型圧電素子の分極方向が２つの電極に交差する方向に互
いに向かい合うように向いた第８の実施例の構成を示す
斜視図、(d) は(c) に示す第８の実施例のアクチュエー
タに電圧を印加した時のアクチュエータの変形方向を示
す平面図である。

【図６】(a) は本発明のアクチュエータをディスク装置
のヘッドアクチュエータのアームとこのアームに取り付
けられる支持ばねとの間に使用したヘッド微小移動機構
の第１の形態の基本的な構成を示す組立斜視図、(b) は
(a) のヘッド微小移動機構の組立後の状態を示す斜視
図、(c) は(b) のＣ−Ｃ線における断面図である。

【図７】本発明のアクチュエータをディスク装置のヘッ
ドアクチュエータのアームとこのアームに取り付けられ
る支持ばねとの間に取り付ける工程を説明する説明図で
ある。

【図８】(a) から(d) は本発明の第１の実施例のアクチ
ュエータを、ディスク装置のヘッドアクチュエータのア
ームと支持ばねとの間に取り付けて構成した、本発明の
第１の形態の第１の実施例のヘッド微小移動機構の種々
の構成を、電極方向、剪断型圧電素子の分極方向、及び
この構成において電極間に電圧を印加した時の支持ばね
の微小移動方向別に示す組立斜視図である。

【図９】(a) から(d) は本発明の第２の実施例のアクチ
ュエータを、ディスク装置のヘッドアクチュエータのア
ームと支持ばねとの間に取り付けて構成した、本発明の
第１の形態の第２の実施例のヘッド微小移動機構の種々
の構成を、電極方向、剪断型圧電素子の分極方向、及び
この構成において電極間に電圧を印加した時の支持ばね
の微小移動方向別に示す組立斜視図である。

【図１０】(a) は本発明の第３の実施例のアクチュエー
タを、ディスク装置のヘッドアクチュエータのアームと
支持ばねとの間に取り付けて構成した、本発明の第１の
形態の第３の実施例のヘッド微小移動機構の構成を、電
極方向、剪断型圧電素子の分極方向、及びこの構成にお
いて電極間に電圧を印加した時の支持ばねの微小移動方
向と共に示す組立斜視図、(b) は本発明の第４の実施例
のアクチュエータを、ディスク装置のヘッドアクチュエ
ータのアームと支持ばねとの間に取り付けて構成した、
本発明の第１の形態の第４の実施例のヘッド微小移動機
構の構成を、電極方向、剪断型圧電素子の分極方向、及
びこの構成において電極間に電圧を印加した時の支持ば
ねの微小移動方向と共に示す組立斜視図である。

【図１１】(a) から(d) は本発明の第５の実施例のアク
チュエータを、ディスク装置のヘッドアクチュエータの
アームと支持ばねとの間に取り付けて構成した、本発明
の第１の形態の第５の実施例のヘッド微小移動機構の種
々の構成を、電極方向、剪断型圧電素子の分極方向、及
びこの構成において電極間に電圧を印加した時の支持ば
ねの微小移動方向別に示す組立斜視図である。

【図１２】(a) から(d) は本発明の第６の実施例のアク
チュエータを、ディスク装置のヘッドアクチュエータの
アームと支持ばねとの間に取り付けて構成した、本発明
の第１の形態の第６の実施例のヘッド微小移動機構の種
々の構成を、電極方向、剪断型圧電素子の分極方向、及
びこの構成において電極間に電圧を印加した時の支持ば
ねの微小移動方向別に示す組立斜視図である。

【図１３】(a) は本発明の第７の実施例のアクチュエー
タを、ディスク装置のヘッドアクチュエータのアームと
支持ばねとの間に取り付けて構成した、本発明の第１の
形態の第７の実施例のヘッド微小移動機構の構成を、電
極方向、剪断型圧電素子の分極方向、及びこの構成にお
いて電極間に電圧を印加した時の支持ばねの微小移動方
向と共に示す組立斜視図、(b) は本発明の第８の実施例
のアクチュエータを、ディスク装置のヘッドアクチュエ
ータのアームと支持ばねとの間に取り付けて構成した、
本発明の第１の形態の第８の実施例のヘッド微小移動機
構の構成を、電極方向、剪断型圧電素子の分極方向、及
びこの構成において電極間に電圧を印加した時の支持ば
ねの微小移動方向と共に示す組立斜視図である。

【図１４】(a) は本発明の第９の実施例のアクチュエー
タの構成を示す組立斜視図、(b)は(a) のアクチュエー
タを、ディスク装置のヘッドアクチュエータのアームと
このアームに取り付けられる支持ばねとの間に取り付け
て第１の形態の第９の実施例のヘッド微小移動機構を構
成する際の、アクチュエータ、アーム先端部、及び支持
ばねの基部の構成と、この構成のアクチュエータに電圧
を印加した時の支持ばねの微小移動方向を示す組立斜視
図である。

【図１５】(a) は本発明の第１０の実施例のアクチュエ
ータの構成を示す組立斜視図、(b) は(a) のアクチュエ
ータの組立後の状態を示す斜視図、(c) は(b) のアクチ
ュエータの電源との接続を示す回路構成図である。

【図１６】(a) は本発明のアクチュエータをディスク装
置のヘッドアクチュエータのアームに取り付けられる支
持ばねと支持ばねの先端部に取り付けられるヘッドスラ
イダとの間に使用したヘッド微小移動機構の第２の形態
の基本的な構成を示す組立斜視図、(b) は(a) のヘッド
微小移動機構の組立後の状態を示す斜視図、(c) は(b)
のＤ−Ｄ線における局部断面図である。

【図１７】(a) から(d) は本発明の第１の実施例のアク
チュエータを、ディスク装置のヘッドアクチュエータの
支持ばねとヘッドスライダとの間に取り付けて構成し
た、本発明の第２の形態の第１の実施例のヘッド微小移
動機構の種々の構成を、電極方向、剪断型圧電素子の分
極方向、及びこの構成において電極間に電圧を印加した
時の支持ばねの微小移動方向別に示す組立斜視図であ
る。

【図１８】(a) から(d) は本発明の第２の実施例のアク
チュエータを、ディスク装置のヘッドアクチュエータの
支持ばねとヘッドスライダとの間に取り付けて構成し
た、本発明の第２の形態の第２の実施例のヘッド微小移
動機構の種々の構成を、電極方向、剪断型圧電素子の分
極方向、及びこの構成において電極間に電圧を印加した
時の支持ばねの微小移動方向別に示す組立斜視図であ
る。

【図１９】(a) は本発明の第３の実施例のアクチュエー
タを、ディスク装置のヘッドアクチュエータの支持ばね
とヘッドスライダとの間に取り付けて構成した、本発明
の第２の形態の第３の実施例のヘッド微小移動機構の構
成を、電極方向、剪断型圧電素子の分極方向、及びこの
構成において電極間に電圧を印加した時の支持ばねの微
小移動方向と共に示す組立斜視図、(b) は本発明の第４
の実施例のアクチュエータを、ディスク装置のヘッドア
クチュエータの支持ばねとヘッドスライダとの間に取り
付けて構成した、本発明の第２の形態の第４の実施例の
ヘッド微小移動機構の構成を、電極方向、剪断型圧電素
子の分極方向、及びこの構成において電極間に電圧を印
加した時の支持ばねの微小移動方向と共に示す組立斜視
図である。

【図２０】(a) から(d) は本発明の第５の実施例のアク
チュエータを、ディスク装置のヘッドアクチュエータの
支持ばねとヘッドスライダとの間に取り付けて構成し
た、本発明の第２の形態の第５の実施例のヘッド微小移
動機構の種々の構成を、電極方向、剪断型圧電素子の分
極方向、及びこの構成において電極間に電圧を印加した
時の支持ばねの微小移動方向別に示す組立斜視図であ
る。

【図２１】(a) から(d) は本発明の第６の実施例のアク
チュエータを、ディスク装置のヘッドアクチュエータの
支持ばねとヘッドスライダとの間に取り付けて構成し
た、本発明の第２の形態の第６の実施例のヘッド微小移
動機構の種々の構成を、電極方向、剪断型圧電素子の分
極方向、及びこの構成において電極間に電圧を印加した
時の支持ばねの微小移動方向別に示す組立斜視図であ
る。

【図２２】(a) は本発明の第７の実施例のアクチュエー
タを、ディスク装置のヘッドアクチュエータの支持ばね
とヘッドスライダとの間に取り付けて構成した、本発明
の第２の形態の第７の実施例のヘッド微小移動機構の構
成を、電極方向、剪断型圧電素子の分極方向、及びこの
構成において電極間に電圧を印加した時の支持ばねの微
小移動方向と共に示す組立斜視図、(b) は本発明の第８
の実施例のアクチュエータを、ディスク装置のヘッドア
クチュエータの支持ばねとヘッドスライダとの間に取り
付けて構成した、本発明の第２の形態の第８の実施例の
ヘッド微小移動機構の構成を、電極方向、剪断型圧電素
子の分極方向、及びこの構成において電極間に電圧を印
加した時の支持ばねの微小移動方向と共に示す組立斜視
図である。

【図２３】(a) は本発明の第３の実施例のアクチュエー
タを、ディスク装置のヘッドアクチュエータのヘッドス
ライダの先端部とヘッド素子基板との間に取り付けて構
成した、本発明の第２の形態の第９の実施例のヘッド微
小移動機構の構成を、電極方向、剪断型圧電素子の分極
方向、及びこの構成において電極間に電圧を印加した時
の支持ばねの微小移動方向と共に示す組立斜視図、(b)
は(a) のヘッド微小移動機構の組立後の状態を示す斜視
図である。

【図２４】(a) はサブアクチュエータを備えた従来のヘ
ッドアクチュエータの平面図、(b) は(a) のサブアクチ
ュエータの拡大図である。

【図２５】(a) は従来の他のヘッド微小移動機構を搭載
したディスク装置のヘッドアクチュエータの構成を示す
組立斜視図、(b) は(a) のヘッドアクチュエータにおけ
るヘッド微小移動機構を拡大して示す部分拡大組立斜視
図である。

【図２６】(a) ，(b) は図２５(b) のピエゾ素子の電源
への接続例を示す回路構成図である。

【符号の説明】

２…アクセスアーム ３…支持ばね ４…ヘッド ４Ａ…ヘッドスライダ １８…回転軸 １９…円形の溝 ２０…アクチュエータ ２１…固定端 ２１Ａ…板状部 ２１Ｂ…凹部 ２２，２３…電極 ２４，２４Ａ，２４Ｂ…剪断型圧電素子 ２５…対向電極 ２６，２７…リードパターン ２８…電圧アンプ ２９…コントローラ ３０…第１の形態のヘッド微小移動機構 ４０…第２の形態のヘッド微小移動機構

【手続補正書】

【提出日】平成１０年５月７日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４１

【補正方法】変更

【補正内容】

【００４１】図５(c) は剪断型圧電素子２４の分極方向
が２つある第８の実施例のアクチュエータ２０Ｈの構成
を示すものである。第８の実施例のアクチュエータ２０
Ｈは、固定端２１側に設けられた電極２２，２３の上
に、分極方向２つの電極２２，２３に直交する方向に互
いに向き合う方向を向いている剪断型圧電素子２４Ａ，
２４Ｂが積層されており、その上に対向電極２５が剪断
型圧電素子２４Ａ，２４Ｂを覆って全面に設けられてい
る。

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００５２

【補正方法】変更

【補正内容】

【００５２】図８(c) に示される構成では、アーム２の
先端部に電極２２，２３がアーム２の長手方向に垂直な
方向に並列に設けられており、剪断型圧電素子２４の分
極方向は電極２２，２３の先端方向である。この場合も
電極２２，２３に電圧を印加することにより、支持ばね
３は回転駆動される。図８(d) に示される構成は、剪断
型圧電素子２４の分極方向が電極２２，２３の基部方向
である点のみが図８(c) の構成と異なる。この場合も、
電極２２，２３に電圧を印加することにより、支持ばね
３は回転駆動されるが、その回転方向は図８(c) の構成
とは逆方向である。なお、図８(a) から(d) で説明した
第１の実施例のアクチュエータ２０Ａの駆動方向は、特
定方向に電圧を印加した場合の例であり、電極２２，２
３に接続される図示しない電圧アンプ回路により、逆方
向の極性の電圧を印加すれば、アクチュエータ２０Ａの
駆動方向は逆方向となる。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００７５

【補正方法】変更

【補正内容】

【００７５】円形の溝１９の対向する縁部にはリードパ
ターン２６Ａ，２７Ａが接続されており、このリードパ
ターン２６Ａ，２７Ａの先にはアンプ２８とコントロー
ラ２９が接続されている。第９の実施例のアクチュエー
タ２０Ｊでは、コントローラ２９から出力される所定の
極性の駆動信号をアンプ２８で増幅し、２つの電極２２
Ａ，２３Ａ間に電圧を印加することによって剪断型圧電
素子２４Ｃ，２４Ｄを変形させ、対向電極２５Ａを回転
させることができる。この結果、対向電極２５Ａに固着
された回転軸１８を回転駆動することができる。コント
ローラ２９からは正、負両極性の駆動信号が出力できる
ので、駆動信号の極性を変えることにより、回転軸１８
の回転量、回転方向を制御することができる。なお、図
１４(a) の電極２６Ａはグランドに接続されているが、
電極２６Ａをグランドに接続する代わりにもう１つの電
圧アンプを電極２６Ａに接続し、剪断型圧電素子２４
Ｃ，２４Ｄを差動駆動しても良い。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００７８

【補正方法】変更

【補正内容】

【００７８】図１５(b) は組立後の第１０の実施例のア
クチュエータ２０Ｋの状態を示すものであり、図１５
(c) は図１５(b) のアクチュエータ２０Ｋの電圧アンプ
２８との接続を示す回路構成図である。第１０の実施例
のアクチュエータ２０Ｋは、移動板１７と固定端２１Ａ
との間に電圧アンプ２８とコントローラ２９を接続し、
電極間の電圧の大きさと印加方向とをコントロールする
ことにより、移動板１７を図１５(b) に示すように揺動
させることができる。なお、図１５(c) の固定端２１Ａ
はグランドに接続されているが、固定端２１Ａをグラン
ドに接続する代わりにもう１つの電圧アンプを固定端２
１Ａに接続し、剪断型圧電素子２４を差動駆動しても良
い。

【手続補正５】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００８１

【補正方法】変更

【補正内容】

【００８１】第２の形態のヘッド微小移動機構４０で
は、アクチュエータ２０の２つの電極２２，２３が、ヘ
ッドアクチュエータの支持ばね３の先端部にある島部３
Ａを固定端として設けられている。この島部３Ａは２本
のブリッジ３Ｂで支持ばね３の先端部に接続されてお
り、島部３Ａの回りには孔３Ｃが形成されている。島部
３Ａには２つの電極２２，２３の他に、ヘッド４に電気
的に接続させるための４つのパッド３Ｄが設けられてい
る。また、支持ばね３の上には２つの電極２２，２３に
接続するリードパターン２６，２７と、４つのパッド３
Ｄに接続するリードパターン４１〜４４があり、リード
パターン２６，２７は一方のブリッジ３Ｂを通って２つ
の電極２２，２３に接続しており、リードパターン４１
〜４４は他方のブリッジ３Ｂを通って４つのパッド３Ｄ
に接続している。そして、この電極２２，２３の上に、
この例では２個の剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂを介し
て、先端部にヘッド４が設けられたヘッドスライダ４Ａ
が取り付けられている。パッド３Ｄとヘッド４（４Ｂ）
との接続は、ここでは図示していないが、リード線等の
柔軟なもので接続することができる。支持ばね３は、図
１６(b) に示されるように、アクセスアーム２の両面に
取り付けられるので、１本のアクセスアーム２について
第２の形態のヘッドの微小移動機構４０は２個設けられ
ている。

【手続補正６】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００８６

【補正方法】変更

【補正内容】

【００８６】図１７(c) に示される構成では、支持ばね
３の先端部にある島部３Ａに電極２２，２３が支持ばね
３の長手方向に垂直な方向に並列に設けられており、剪
断型圧電素子２４の分極方向は電極２２，２３の先端方
向である。この場合も電極２２，２３に電圧を印加する
ことにより、ヘッドスライダ４Ａは回転駆動される。図
１７(d) に示される構成は、剪断型圧電素子２４の分極
方向が電極２２，２３の基部方向である点のみが図１７
(c) の構成と異なる。この場合も、電極２２，２３に電
圧を印加することにより、ヘッドスライダ４Ａは回転駆
動されるが、その回転方向は図１７(c) の構成とは逆方
向である。なお、図１７(a) から(d) におけるアクチュ
エータ２０Ａの駆動方向は、特定方向に電圧を印加した
場合の例であり、電極２２，２３に接続される図示しな
い電圧アンプ回路により、逆方向の極性の電圧を印加す
れば、アクチュエータ２０Ａの駆動方向は逆方向とな
る。

【手続補正７】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００８９

【補正方法】変更

【補正内容】

【００８９】図１８(c) に示される構成では、支持ばね
３の先端部にある島部３Ａに電極２２，２３が支持ばね
３の長手方向に垂直な方向に並列に設けられており、剪
断型圧電素子２４の分極方向は一方が島部３Ａの左端方
向、他方が島部３Ａの右端方向である。この場合も電極
２２，２３に電圧を印加することにより、ヘッドスライ
ダ４Ａは支持ばね３の長手方向に垂直な方向に並進駆動
される。図１８(d) に示される構成は、剪断型圧電素子
２４の分極方向が図１８(c) に示される構成と逆になっ
ている点のみが異なる。この場合も、電極２２，２３に
電圧を印加することにより、ヘッドスライダ４Ａは支持
ばね３の長手方向に垂直な方向に並進駆動されるが、そ
の並進方向は図１８(c) の構成とは逆方向である。な
お、図１８(a) から(d) におけるアクチュエータ２０Ｂ
の駆動方向は、特定方向に電圧を印加した場合の例であ
り、電極２２，２３に接続される図示しない電圧アンプ
回路により、逆方向の極性の電圧を印加すれば、アクチ
ュエータ２０Ｂの駆動方向は逆方向となる。

【手続補正８】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００９５

【補正方法】変更

【補正内容】

【００９５】なお、図１９(a) 及び(b) におけるアクチ
ュエータ２０Ｃ，２０Ｄの駆動方向は、特定方向に電圧
を印加した場合の例であり、電極２２，２３に接続され
る図示しない電圧アンプ回路により、逆方向の極性の電
圧を印加すれば、アクチュエータ２０Ｃ，２０Ｄの駆動
方向は逆方向となる。また、第２の形態における第４の
実施例のヘッドの微小移動機構４０Ｄにおいても、支持
ばね３の先端部にある島部３Ａに電極２２，２３をアー
ム２の長手方向に垂直な方向に並列に設け、剪断型圧電
素子２４をその分極方向が支持ばね３の長手方向に向く
ようにしても良い。この場合は、電極２２，２３に電圧
を印加することにより、ヘッドスライダ４Ａは支持ばね
３の長手方向に並進駆動される。

【手続補正９】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００９８

【補正方法】変更

【補正内容】

【００９８】図２０(c) に示される構成では、支持ばね
３の先端部にある島部３Ａに電極２２，２３が支持ばね
３の長手方向に垂直な方向に並列に設けられており、剪
断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂの分極方向はそれぞれ電極
２２，２３の先端方向である。この場合も電極２２，２
３に電圧を印加することにより、ヘッドスライダ４Ａは
回転駆動される。図２０(d) に示される構成は、剪断型
圧電素子２４Ａ，２４Ｂの分極方向が電極２２，２３の
基部方向である点のみが図２０(c) の構成と異なる。こ
の場合も、電極２２，２３に電圧を印加することによ
り、ヘッドスライダ４Ａは回転駆動されるが、その回転
方向は図２０(c) の構成とは逆方向である。なお、図２
０(a) から(d) におけるアクチュエータ２０Ｅの駆動方
向は、特定方向に電圧を印加した場合の例であり、電極
２２，２３に接続される図示しない電圧アンプ回路によ
り、逆方向の極性の電圧を印加すれば、アクチュエータ
２０Ｅの駆動方向は逆方向となる。

【手続補正１０】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０１００

【補正方法】変更

【補正内容】

【０１００】図２１(a) に示される構成では、支持ばね
３の先端部にある島部３Ａに電極２２，２３が支持ばね
３の長手方向に並列に設けられており、剪断型圧電素子
２４Ａ，２４Ｂの分極方向は一方が支持ばね３の先端方
向、他方が支持ばね３の基部方向である。この場合は、
電極２２，２３に電圧を印加することにより、ヘッドス
ライダ４Ａは支持ばね３の長手方向に並進駆動される。
図２１(b) に示される構成は、剪断型圧電素子２４Ａ，
２４Ｂの分極方向が図２１(a) に示される構成と逆にな
っている点のみが異なる。この場合も、電極２２，２３
に電圧を印加することにより、ヘッドスライダ４Ａは並
進駆動されるが、その並進方向は図２１(a) の構成とは
逆方向である。図２１(c) に示される構成では、支持ば
ね３の先端部にある島部３Ａに電極２２，２３が支持ば
ね３の長手方向に垂直な方向に並列に並べられており、
剪断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂの分極方向は一方が島部
３Ａの左端方向、他方が島部３Ａの右端方向である。こ
の場合も電極２２，２３に電圧を印加することにより、
ヘッドスライダ４Ａは支持ばね３の長手方向に垂直な方
向に並進駆動される。図２１(d) に示される構成は、剪
断型圧電素子２４Ａ，２４Ｂの分極方向が図２１(c) に
示される構成と逆になっている点のみが異なる。この場
合も、電極２２，２３に電圧を印加することにより、ヘ
ッドスライダ４Ａは支持ばね３の長手方向に垂直な方向
に並進駆動されるが、その並進方向は図２１(c) の構成
とは逆方向である。なお、図２１(a) から(d) における
アクチュエータ２０Ｆの駆動方向は、特定方向に電圧を
印加した場合の例であり、電極２２，２３に接続される
図示しない電圧アンプ回路により、逆方向の極性の電圧
を印加すれば、アクチュエータ２０Ｆの駆動方向は逆方
向となる。

【手続補正１１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０１０６

【補正方法】変更

【補正内容】

【０１０６】なお、第２の形態における第８の実施例の
ヘッドの微小移動機構４０Ｈにおいても、支持ばね３の
先端部にある島部３Ａに電極２２，２３を支持ばね３の
長手方向に垂直な方向に並列に設け、剪断型圧電素子２
４Ａ，２４Ｂをその分極方向が支持ばね３の長手方向に
向くようにしても良い。この場合は、電極２２，２３に
電圧を印加することにより、ヘッドスライダ４Ａは支持
ばね３の長手方向に並進駆動される。ここでも同様に、
図２２(a) 及び(b) におけるアクチュエータ２０Ｇ，２
０Ｈの駆動方向は、特定方向に電圧を印加した場合の例
であり、電極２２，２３に接続される図示しない電圧ア
ンプ回路により、逆方向の極性の電圧を印加すれば、ア
クチュエータ２０Ｇ，２０Ｈの駆動方向は逆方向とな
る。

【手続補正１２】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図３

【補正方法】変更

【補正内容】

【図３】

【手続補正１３】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図６

【補正方法】変更

【補正内容】

【図６】

【手続補正１４】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図１６

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１６】

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小金沢 新治 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 山田 朋良 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 植松 幸弘 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 野口 忠良 東京都港区新橋５丁目36番11号 富士電気 化学株式会社内 (72)発明者 中野 寿 東京都港区新橋５丁目36番11号 富士電気 化学株式会社内 (72)発明者 阪本 竜馬 東京都港区新橋５丁目36番11号 富士電気 化学株式会社内

Claims (16)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 剪断型圧電素子を用いたアクチュエータ
   であって、 固定端側に並んで設けられた２つの電極と、 これら２つの電極の上側に積層された、剪断型圧電素
   子、及び、 この剪断型圧電素子の前記２つの電極に対向する自由端
   側の面に設けられた対向電極とから構成され、 前記２つの電極間に通電することによって、前記剪断型
   圧電素子の分極方向に応じて前記対向電極の面内方向に
   変位することを特徴とするアクチュエータ。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の剪断型圧電素子を用い
   たアクチュエータであって、 前記剪断型圧電素子の分極方向が前記２つの電極が並列
   に並ぶ方向に平行であり、前記２つの電極に通電するこ
   とによって、前記対向電極が前記剪断型圧電素子の中央
   部を中心にして回転する方向に変位することを特徴とす
   るアクチュエータ。
3. 【請求項３】 請求項１に記載の剪断型圧電素子を用い
   たアクチュエータであって、 前記剪断型圧電素子の分極方向が前記２つの電極が並列
   に並ぶ方向に平行であり、かつ、前記２つの電極上の前
   記剪断型圧電素子の分極方向が互いに逆方向を向いてお
   り、前記２つの電極に通電することによって、前記剪断
   型圧電素子の分極方向に平行な方向に変位することを特
   徴とするアクチュエータ。
4. 【請求項４】 請求項１に記載の剪断型圧電素子を用い
   たアクチュエータであって、 前記剪断型圧電素子の分極方向が前記２つの電極が並列
   に並ぶ方向に垂直であり、かつ、前記２つの電極上の前
   記剪断型圧電素子の分極方向が互いに逆方向を向いてお
   り、前記２つの電極に通電することによって、前記剪断
   型圧電素子の分極方向に平行な方向に変位することを特
   徴とするアクチュエータ。
5. 【請求項５】 請求項１から４の何れか１項に記載のア
   クチュエータにおいて、前記剪断型圧電素子が２つの独
   立した剪断型圧電素子に分割されており、それぞれの剪
   断型圧電素子は前記２つの電極上にそれぞれ積層される
   ことを特徴とするアクチュエータ。
6. 【請求項６】 少なくとも１枚の記録ディスクと、この
   記録ディスクの情報記録面に対してそれぞれ１つ設けら
   れて情報の読み書き動作を行うヘッドと、このヘッドを
   前記記録ディスク上の所望の記録トラックに位置決めす
   るために記録ディスクの半径方向に移動させるヘッドア
   クチュエータとを備えたディスク装置において、前記ヘ
   ッドを前記ヘッドアクチュエータの動作と独立に微小距
   離だけ移動させるために前記ヘッドアクチュエータの一
   部に請求項１から５の何れか１項に記載のアクチュエー
   タを用いたヘッドの微小移動機構であって、 前記アクチュエータの２つの電極が前記ヘッドアクチュ
   エータのアームの先端部に設けられ、 前記アクチュエータの対向電極の上に前記ヘッドアクチ
   ュエータの支持ばねの基部が取り付けられたことを特徴
   とするアクチュエータを使用したヘッドの微小移動機
   構。
7. 【請求項７】 請求項６に記載のヘッドの微小移動機構
   であって、 前記２つの電極の分割面が前記アームの長手方向に沿う
   方向に設けられていることを特徴とするヘッドの微小機
   構。
8. 【請求項８】 請求項６に記載のヘッドの微小移動機構
   であって、 前記２つの電極の分割面が前記アームの長手方向に垂直
   な方向に設けられていることを特徴とするヘッドの微小
   機構。
9. 【請求項９】 剪断型圧電素子を用いたアクチュエータ
   であって、 固定端側に設けられた所定深さを備えた円形の溝と、 この円形の溝の内周面上に、この内周面を左右対称に２
   分割するように設けられる２つの電極と、 これら２つの電極の内周面上に所定の肉厚を備えてそれ
   ぞれ積層され、分極方向が分割線に対して線対称である
   半リング状の２つの剪断型圧電素子と、 前記２つの半リング状の剪断型圧電素子の両方の内周面
   に跨がって設けられる対向電極、及び、 この対向電極の内周面に固着される回転軸とから構成さ
   れ、 前記２つの電極間に通電することによって、前記回転軸
   を回転させることを特徴とするアクチュエータ。
10. 【請求項１０】 少なくとも１枚の記録ディスクと、こ
    の記録ディスクの情報記録面に対してそれぞれ１つ設け
    られて情報の読み書き動作を行うヘッドと、このヘッド
    を前記記録ディスク上の所望の記録トラックに位置決め
    するために記録ディスクの半径方向に移動させるヘッド
    アクチュエータとを備えたディスク装置において、前記
    ヘッドを前記ヘッドアクチュエータの動作と独立に微小
    距離だけ移動させるために前記ヘッドアクチュエータの
    一部に請求項９に記載のアクチュエータを用いたヘッド
    の微小移動機構であって、 前記アクチュエータの固定端が前記ヘッドアクチュエー
    タのアームの先端部に設けられ、 前記アクチュエータの可動部が前記ヘッドアクチュエー
    タの支持ばねの基部に取り付けられていることを特徴と
    するアクチュエータを使用したヘッドの微小移動機構。
11. 【請求項１１】 剪断型圧電素子を用いたアクチュエー
    タであって、 固定端側に設けられた所定深さを備えたスリット状の深
    い溝と、 前記スリット状の深い溝内の対向する２つの平面上にそ
    れぞれ設けられた２つの電極と、 この２つの電極の上にそれぞれ積層される所定の厚さを
    備えた２つの剪断型圧電素子と、 前記２つの剪断型圧電素子の間の隙間に挿入されて固定
    される導電性の移動板とから構成され、 前記２つの電極間と前記移動板との間に通電することに
    よって、前記剪断型圧電素子の分極方向に応じて前記移
    動板を変位させることを特徴とするアクチュエータ。
12. 【請求項１２】 少なくとも１枚の記録ディスクと、こ
    の記録ディスクの情報記録面に対してそれぞれ１つ設け
    られて情報の読み書き動作を行うヘッドと、このヘッド
    を前記記録ディスク上の所望の記録トラックに位置決め
    するために記録ディスクの半径方向に移動させるヘッド
    アクチュエータとを備えたディスク装置において、前記
    ヘッドを前記ヘッドアクチュエータの動作と独立に微小
    距離だけ移動させるために前記ヘッドアクチュエータの
    一部に請求項１１に記載のアクチュエータを用いたヘッ
    ドの微小移動機構であって、 前記アクチュエータの固定端が前記ヘッドアクチュエー
    タのアームの先端部であり、 前記アクチュエータの移動板が前記ヘッドアクチュエー
    タの支持ばねの基部であることを特徴とするアクチュエ
    ータを使用したヘッドの微小移動機構。
13. 【請求項１３】 少なくとも１枚の記録ディスクと、こ
    の記録ディスクの情報記録面に対してそれぞれ１つ設け
    られて情報の読み書き動作を行うヘッドと、このヘッド
    を前記記録ディスク上の所望の記録トラックに位置決め
    するために記録ディスクの半径方向に移動させるヘッド
    アクチュエータとを備えたディスク装置において、前記
    ヘッドを前記ヘッドアクチュエータの動作と独立に微小
    距離だけ移動させるために前記ヘッドアクチュエータの
    一部に、請求項１から５の何れか１項に記載のアクチュ
    エータを用いたヘッドの微小移動機構であって、 前記アクチュエータの２つの電極が前記ヘッドアクチュ
    エータの支持ばねの先端部に設けられ、 前記アクチュエータの対向電極の上に前記ヘッドアクチ
    ュエータのヘッドスライダが取り付けられたことを特徴
    とするアクチュエータを使用したヘッドの微小移動機
    構。
14. 【請求項１４】 請求項１３に記載のヘッドの微小移動
    機構であって、 前記２つの電極が前記支持ばねの長手方向に沿う方向に
    並んで設けられていることを特徴とするヘッドの微小機
    構。
15. 【請求項１５】 請求項１３に記載のヘッドの微小移動
    機構であって、 前記２つの電極が前記支持ばねの長手方向に垂直な方向
    に並んで設けられていることを特徴とするヘッドの微小
    機構。
16. 【請求項１６】 少なくとも１枚の記録ディスクと、こ
    の記録ディスクの情報記録面に対してそれぞれ１つ設け
    られて情報の読み書き動作を行うヘッドと、このヘッド
    を前記記録ディスク上の所望の記録トラックに位置決め
    するために記録ディスクの半径方向に移動させるヘッド
    アクチュエータとを備えたディスク装置において、前記
    ヘッドを前記ヘッドアクチュエータの動作と独立に微小
    距離だけ移動させるために前記ヘッドアクチュエータの
    一部に請求項４に記載のアクチュエータを用いたヘッド
    の微小移動機構であって、 前記アクチュエータの２つの電極が前記ヘッドスライダ
    のヘッド側の端面に設けられ、 前記アクチュエータの対向電極の上に前記ヘッドアクチ
    ュエータのヘッドを備えたヘッド素子基板が取り付けら
    れたことを特徴とするアクチュエータを使用したヘッド
    の微小移動機構。