JPH10296536A - 測定装置 - Google Patents
測定装置Info
- Publication number
- JPH10296536A JPH10296536A JP10859797A JP10859797A JPH10296536A JP H10296536 A JPH10296536 A JP H10296536A JP 10859797 A JP10859797 A JP 10859797A JP 10859797 A JP10859797 A JP 10859797A JP H10296536 A JPH10296536 A JP H10296536A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measurement
- measuring
- differential transformer
- root diameter
- precision
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Gear Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】一定の軸直角断面形状を持って軸方向にねじれ
た形状の部品の歯底径を測定するための測定装置を得
る。 【解決手段】測定子の移動量の検出に差動トランスを用
い、該測定子を含む測定ユニットの移動量の検出に高精
度スケールを用い、該差動トランスの検出値により測定
ユニットの移動信号を出し、該測定ユニットを移動させ
て測定し、差動トランスと高精度スケールの検出結果か
ら演算して被測定物の歯底径を測定することにより、測
定子が被測定物に干渉することなく、又、測定範囲が差
動トランスの検出範囲を超えた所でも測定出来、更に測
定の零点調整すること無しに、広範囲の歯底径の高精度
な測定を可能にする測定装置。
た形状の部品の歯底径を測定するための測定装置を得
る。 【解決手段】測定子の移動量の検出に差動トランスを用
い、該測定子を含む測定ユニットの移動量の検出に高精
度スケールを用い、該差動トランスの検出値により測定
ユニットの移動信号を出し、該測定ユニットを移動させ
て測定し、差動トランスと高精度スケールの検出結果か
ら演算して被測定物の歯底径を測定することにより、測
定子が被測定物に干渉することなく、又、測定範囲が差
動トランスの検出範囲を超えた所でも測定出来、更に測
定の零点調整すること無しに、広範囲の歯底径の高精度
な測定を可能にする測定装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はスクリュー圧縮機に
使用されるロータの様に、一定の軸直角断面形状を持っ
て軸方向にねじれた形状の部品の歯底径を測定するため
の測定装置および測定方法に関する。
使用されるロータの様に、一定の軸直角断面形状を持っ
て軸方向にねじれた形状の部品の歯底径を測定するため
の測定装置および測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の測定方法の場合、スクリュー圧縮
機に使用されるロータの様に、一定の軸直角断面形状を
持って軸方向にねじれた形状の部品の歯底径の加工機上
での測定は、マイクロメータによるか、又は、被測定物
の被測定部以外の部分、例えば歯部の近くに有る軸部か
又は歯部の外径を基準にしたダイヤルインジケータ等に
よるマスターとの比較測定か、又は、加工機の切り込み
ユニットにタッチセンサを付け、このタッチセンサの信
号により加工機に付けたスケールを読み取って測定する
方法であり、加工機外では、加工機上の測定方法と同じ
か、又は、三次元座標測定機による方法であった。
機に使用されるロータの様に、一定の軸直角断面形状を
持って軸方向にねじれた形状の部品の歯底径の加工機上
での測定は、マイクロメータによるか、又は、被測定物
の被測定部以外の部分、例えば歯部の近くに有る軸部か
又は歯部の外径を基準にしたダイヤルインジケータ等に
よるマスターとの比較測定か、又は、加工機の切り込み
ユニットにタッチセンサを付け、このタッチセンサの信
号により加工機に付けたスケールを読み取って測定する
方法であり、加工機外では、加工機上の測定方法と同じ
か、又は、三次元座標測定機による方法であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の測定方法では以
下の様な問題が有った。
下の様な問題が有った。
【０００４】マイクロメータによる測定方法は、測定者
の熟練による部分が多く、高精度な測定は難しかった。
特に、圧縮機の性能を向上させるために、被測定物の部
品の歯形が特殊になり、通常のマイクロメータのアンビ
ル、スピンドルの径が使えなく、アンビル、スピンドル
が小さい径になると更に測定精度が悪くなった。又、マ
イクロメータの一般の測定では、アンビルとスピンドル
の２平面で被測定物を挟み、この２平面の最小距離を求
める様にすれば測定が出来るが、本発明で測定しようと
する部品の歯形が凹の場合、２平面で被測定距離を挟む
ことが出来ず、アンビル及びスピンドルの先端形状を球
にして、２点間で挟むしかなく、こうなると高精度の測
定は非常に難しかった。更に、被測定物の軸直角形状が
奇数歯になると、マイクロメータでは測定出来なかっ
た。
の熟練による部分が多く、高精度な測定は難しかった。
特に、圧縮機の性能を向上させるために、被測定物の部
品の歯形が特殊になり、通常のマイクロメータのアンビ
ル、スピンドルの径が使えなく、アンビル、スピンドル
が小さい径になると更に測定精度が悪くなった。又、マ
イクロメータの一般の測定では、アンビルとスピンドル
の２平面で被測定物を挟み、この２平面の最小距離を求
める様にすれば測定が出来るが、本発明で測定しようと
する部品の歯形が凹の場合、２平面で被測定距離を挟む
ことが出来ず、アンビル及びスピンドルの先端形状を球
にして、２点間で挟むしかなく、こうなると高精度の測
定は非常に難しかった。更に、被測定物の軸直角形状が
奇数歯になると、マイクロメータでは測定出来なかっ
た。
【０００５】また、被測定物の被測定部以外の部分を基
準にしたダイヤルインジケータ等によるマスターとの比
較測定は、被測定物が大きくなると、本原理の測定装置
自体も大きくなり、測定装置が大きくなることで誤差が
発生し、又、測定装置が大きくなることで手扱いが難し
くなり、これが測定誤差になり、高精度の測定は難しか
った。また、加工機の切り込みユニットにタッチセンサ
を付け、このタッチセンサの信号により加工機に付けた
スケールを読み取って測定する方法は、被測定物がねじ
れ形状のため、歯底の測定位置に正確にタッチセンサを
当てることが難しく、これが誤差になるため、高精度の
測定は難しかった。
準にしたダイヤルインジケータ等によるマスターとの比
較測定は、被測定物が大きくなると、本原理の測定装置
自体も大きくなり、測定装置が大きくなることで誤差が
発生し、又、測定装置が大きくなることで手扱いが難し
くなり、これが測定誤差になり、高精度の測定は難しか
った。また、加工機の切り込みユニットにタッチセンサ
を付け、このタッチセンサの信号により加工機に付けた
スケールを読み取って測定する方法は、被測定物がねじ
れ形状のため、歯底の測定位置に正確にタッチセンサを
当てることが難しく、これが誤差になるため、高精度の
測定は難しかった。
【０００６】測定精度の十分な三次元座標測定機によれ
ば、高精度な歯底径の測定は出来るが、この方法は加工
機から被測定物を外さないと、測定が出来ない。圧縮機
の性能を向上させるためには、被測定物を高精度に加工
する必要が有り、被測定物を高精度に加工するために
は、加工機上で高精度に測定することが必要で有り、三
次元座標測定機による測定では、これが出来ない。
ば、高精度な歯底径の測定は出来るが、この方法は加工
機から被測定物を外さないと、測定が出来ない。圧縮機
の性能を向上させるためには、被測定物を高精度に加工
する必要が有り、被測定物を高精度に加工するために
は、加工機上で高精度に測定することが必要で有り、三
次元座標測定機による測定では、これが出来ない。
【０００７】
【課題を解決するための手段】スクリュー圧縮機のロー
タの様に、一定の軸直角断面形状を持って軸方向にねじ
れた形状の部品の歯底径の測定に於いて、測定子の移動
量の検出に差動トランスを用い、該測定子を含む測定ユ
ニットの移動量の検出に高精度スケールを用い、該差動
トランスの検出値により測定ユニットの移動信号を出
し、該測定ユニットを移動させて測定し、差動トランス
と高精度スケールの検出結果から演算して被測定物の歯
底径を測定することにより、測定子が被測定物に干渉す
ることなく、又、測定範囲が差動トランスの検出範囲を
超えた所でも測定出来、更に測定の零点調整すること無
しに、広範囲の歯底径の高精度な測定ができるように構
成した。
タの様に、一定の軸直角断面形状を持って軸方向にねじ
れた形状の部品の歯底径の測定に於いて、測定子の移動
量の検出に差動トランスを用い、該測定子を含む測定ユ
ニットの移動量の検出に高精度スケールを用い、該差動
トランスの検出値により測定ユニットの移動信号を出
し、該測定ユニットを移動させて測定し、差動トランス
と高精度スケールの検出結果から演算して被測定物の歯
底径を測定することにより、測定子が被測定物に干渉す
ることなく、又、測定範囲が差動トランスの検出範囲を
超えた所でも測定出来、更に測定の零点調整すること無
しに、広範囲の歯底径の高精度な測定ができるように構
成した。
【０００８】
【発明の実施の形態】上記課題は、以下の様な測定装置
によれば解決出来る。
によれば解決出来る。
【０００９】測定子の移動量の検出に差動トランスを用
い、該測定子で被測定面の変化量を測定し、該測定子を
含む測定ユニットの移動量の検出に高精度スケールを用
い、該差動トランスの検出値により測定ユニットの移動
信号を出し、該測定ユニットを移動させて測定し、差動
トランスと高精度スケールの検出結果から被測定物の歯
底径を測定する。
い、該測定子で被測定面の変化量を測定し、該測定子を
含む測定ユニットの移動量の検出に高精度スケールを用
い、該差動トランスの検出値により測定ユニットの移動
信号を出し、該測定ユニットを移動させて測定し、差動
トランスと高精度スケールの検出結果から被測定物の歯
底径を測定する。
【００１０】本発明の実施の形態の一例として、図１に
スクリュー圧縮機のロータの歯底径の測定方法を示す。
スクリュー圧縮機のロータの歯底径の測定方法を示す。
【００１１】図１に於いて、被測定物１は、加工機のセ
ンタ等に支持されており、測定装置のベース５は加工機
のテーブル１０の上に固定されている。歯底径２の測定
法方は次の通りである。被測定物１を回転させ、歯底径
測定位置より少し手前の位置で、駆動モータ９を回転さ
せ、伝達ネジ８により高精度スケール７の読み値で設定
値まで移動させる。この時の測定ユニット６の正確な停
止位置を高精度スケール７の読み値Ｓiで電気的に記憶
しておく。測定子３を介して差動トランス４により、歯
底径２の変化量を測定し、最小値Ｔiを電気的に記憶す
る。差動トランス４の測定値が（最小値＋一定量）にな
ったところで、モータ９に信号を出し、測定ユニット６
を逃がす。測定ユニット６を逃がすのは、測定子３と被
測定物１が干渉して、測定装置が壊れるのを防ぐためで
ある。同じ操作を歯数分のＮ回繰り返す。この結果よ
り、測定装置の基準値であるＳ＝０、Ｔ＝０の時の基準
径をＤ0とすると、歯底径Ｄは Ｄ＝Ｄ0ーΣＳi/Ｎ＋Σ
Ｔi/Ｎ で求める事が出来る。また、前記測定装置に於
いて、差動トランス又は高精度スケールを同等な検出器
に置き換えることもできる。 また、該測定装置による
測定方法により、又は該測定装置を加工機上に取り付
け、歯底径を高精度に測定し、この結果を加工機にフィ
ードバックすることにより、高精度加工を可能にした加
工方法又は加工装置を得ることができる。
ンタ等に支持されており、測定装置のベース５は加工機
のテーブル１０の上に固定されている。歯底径２の測定
法方は次の通りである。被測定物１を回転させ、歯底径
測定位置より少し手前の位置で、駆動モータ９を回転さ
せ、伝達ネジ８により高精度スケール７の読み値で設定
値まで移動させる。この時の測定ユニット６の正確な停
止位置を高精度スケール７の読み値Ｓiで電気的に記憶
しておく。測定子３を介して差動トランス４により、歯
底径２の変化量を測定し、最小値Ｔiを電気的に記憶す
る。差動トランス４の測定値が（最小値＋一定量）にな
ったところで、モータ９に信号を出し、測定ユニット６
を逃がす。測定ユニット６を逃がすのは、測定子３と被
測定物１が干渉して、測定装置が壊れるのを防ぐためで
ある。同じ操作を歯数分のＮ回繰り返す。この結果よ
り、測定装置の基準値であるＳ＝０、Ｔ＝０の時の基準
径をＤ0とすると、歯底径Ｄは Ｄ＝Ｄ0ーΣＳi/Ｎ＋Σ
Ｔi/Ｎ で求める事が出来る。また、前記測定装置に於
いて、差動トランス又は高精度スケールを同等な検出器
に置き換えることもできる。 また、該測定装置による
測定方法により、又は該測定装置を加工機上に取り付
け、歯底径を高精度に測定し、この結果を加工機にフィ
ードバックすることにより、高精度加工を可能にした加
工方法又は加工装置を得ることができる。
【００１２】また、スクリュー圧縮機のロータの様に、
一定の軸直角断面形状を持って軸方向にねじれた形状の
部品の歯底径の測定に於いて、測定子の移動量の検出に
差動トランスを用い、該測定子を含む測定ユニットの移
動量の検出に高精度スケールを用い、該差動トランスの
検出値により測定ユニットの移動信号を出し、該測定ユ
ニットを移動させて測定し、差動トランスと高精度スケ
ールの検出結果から演算して被測定物の歯底径を測定す
ることにより、測定子が被測定物に干渉することなく、
又、測定範囲が差動トランスの検出範囲を超えた所でも
測定出来、更に測定の零点調整すること無しに、広範囲
の歯底径の高精度な測定を可能にする測定方法とするこ
とができる。
一定の軸直角断面形状を持って軸方向にねじれた形状の
部品の歯底径の測定に於いて、測定子の移動量の検出に
差動トランスを用い、該測定子を含む測定ユニットの移
動量の検出に高精度スケールを用い、該差動トランスの
検出値により測定ユニットの移動信号を出し、該測定ユ
ニットを移動させて測定し、差動トランスと高精度スケ
ールの検出結果から演算して被測定物の歯底径を測定す
ることにより、測定子が被測定物に干渉することなく、
又、測定範囲が差動トランスの検出範囲を超えた所でも
測定出来、更に測定の零点調整すること無しに、広範囲
の歯底径の高精度な測定を可能にする測定方法とするこ
とができる。
【００１３】測定子の移動量の検出に差動トランスを用
い、該測定子で被測定面の変化量を測定し、該測定子を
含む測定ユニットの移動量の検出に高精度スケールを用
い、該差動トランスの検出値により測定ユニットの移動
信号を出し、該測定ユニットを移動させて測定したの
で、差動トランスと高精度スケールの検出結果から被測
定物の歯底径を測定することにより、解決出来た。
い、該測定子で被測定面の変化量を測定し、該測定子を
含む測定ユニットの移動量の検出に高精度スケールを用
い、該差動トランスの検出値により測定ユニットの移動
信号を出し、該測定ユニットを移動させて測定したの
で、差動トランスと高精度スケールの検出結果から被測
定物の歯底径を測定することにより、解決出来た。
【００１４】
【発明の効果】本発明によれば、加工機上で、スクリュ
ー圧縮機の様な、一定の軸直角断面を持って軸方向にね
じれた形状の部品の歯底径を、加工機上で高精度に測定
する事が出来、更に、測定する歯底径が変化した場合で
も測定の零点調整をすることなく、高精度に測定するこ
とが出来る。高精度な歯底径の測定により、高精度な部
品加工が可能になり、この結果、本部品を使用した圧縮
機等の性能、信頼性を向上させる事が可能になる。
ー圧縮機の様な、一定の軸直角断面を持って軸方向にね
じれた形状の部品の歯底径を、加工機上で高精度に測定
する事が出来、更に、測定する歯底径が変化した場合で
も測定の零点調整をすることなく、高精度に測定するこ
とが出来る。高精度な歯底径の測定により、高精度な部
品加工が可能になり、この結果、本部品を使用した圧縮
機等の性能、信頼性を向上させる事が可能になる。
【図１】測定装置の全体概念図。
１…被測定物、２…歯底径、３…定子、４…差動トラン
ス、５ベース、６…測定ユニット、７…高精度スケー
ル、８…駆動ネジ、９…駆動モータ、１０…加工機テー
ブル。
ス、５ベース、６…測定ユニット、７…高精度スケー
ル、８…駆動ネジ、９…駆動モータ、１０…加工機テー
ブル。
Claims (1)
- 【請求項１】スクリュー圧縮機のロータの様に、一定の
軸直角断面形状を持って軸方向にねじれた形状の部品の
歯底径の測定に於いて、測定子の移動量の検出に差動ト
ランスを用い、該測定子を含む測定ユニットの移動量の
検出に高精度スケールを用い、該差動トランスの検出値
により測定ユニットの移動信号を出し、該測定ユニット
を移動させて測定し、差動トランスと高精度スケールの
検出結果から演算して被測定物の歯底径を測定すること
により、測定子が被測定物に干渉することなく、又、測
定範囲が差動トランスの検出範囲を超えた所でも測定出
来、更に測定の零点調整すること無しに、広範囲の歯底
径の高精度な測定を可能にする測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10859797A JPH10296536A (ja) | 1997-04-25 | 1997-04-25 | 測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10859797A JPH10296536A (ja) | 1997-04-25 | 1997-04-25 | 測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10296536A true JPH10296536A (ja) | 1998-11-10 |
Family
ID=14488844
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10859797A Pending JPH10296536A (ja) | 1997-04-25 | 1997-04-25 | 測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10296536A (ja) |
-
1997
- 1997-04-25 JP JP10859797A patent/JPH10296536A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5425267B2 (ja) | 座標測定装置 | |
| US4866643A (en) | Method for automatic compensation of probe offset in a coordinate measuring machine | |
| JPH01503733A (ja) | 加工物検査方法および装置 | |
| US4429464A (en) | Roundness calibration standard | |
| CN107588742A (zh) | 一种基于线结构光的圆柱齿轮齿廓偏差测量方法 | |
| GB2288463A (en) | Measuring conical threads | |
| CN111089555A (zh) | 一种阶梯轴的直径和长度检测装置 | |
| JP5069287B2 (ja) | 誤差補正の方法 | |
| CN112729087B (zh) | 差分式电涡流微位移传感器标定装置、方法、计算机设备和存储介质 | |
| CN117260389A (zh) | 多传感器融合驱动的大型深孔零件形状误差在位测量系统 | |
| KR20050016099A (ko) | 측정방법 및 측정장치 | |
| JPH0769126B2 (ja) | 切削工具の刃先精度検出方法 | |
| US20030088991A1 (en) | Single-side measuring devices and methods | |
| EP0420416A2 (en) | Method and apparatus of datuming a coordinate positioning machine | |
| Khan et al. | A methodology for error characterization and quantification in rotary joints of multi-axis machine tools | |
| Goddard et al. | A measuring system for the evaluation of spindle rotation accuracy | |
| US3869802A (en) | Gauging apparatus | |
| Ouyang et al. | Ball array calibration on a coordinate measuring machine using a gage block | |
| JPH10296536A (ja) | 測定装置 | |
| JPS5853843B2 (ja) | 回転軸の回転精度測定方法 | |
| JPH11108653A (ja) | 測定装置 | |
| Sartori et al. | A way to improve the accuracy of a co-ordinate measuring machine | |
| CN114838650A (zh) | 一种基于转台的位移传感器标定装置和方法 | |
| CN116734741B (zh) | 一种四通道激光位移传感器的法矢测量校准装置及方法 | |
| JPH076786B2 (ja) | 非接触回転精度測定方法 |