JPH10296700A - セラミックス基板のブレーク装置 - Google Patents
セラミックス基板のブレーク装置Info
- Publication number
- JPH10296700A JPH10296700A JP9105028A JP10502897A JPH10296700A JP H10296700 A JPH10296700 A JP H10296700A JP 9105028 A JP9105028 A JP 9105028A JP 10502897 A JP10502897 A JP 10502897A JP H10296700 A JPH10296700 A JP H10296700A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- break
- ceramic substrate
- teeth
- pulley
- belt
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 51
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims description 41
- 239000011295 pitch Substances 0.000 abstract 2
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 7
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 3
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 235000013372 meat Nutrition 0.000 description 1
- 239000011253 protective coating Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0005—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by breaking, e.g. dicing
- B28D5/0017—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by breaking, e.g. dicing using moving tools
- B28D5/0029—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by breaking, e.g. dicing using moving tools rotating
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B26—HAND CUTTING TOOLS; CUTTING; SEVERING
- B26F—PERFORATING; PUNCHING; CUTTING-OUT; STAMPING-OUT; SEVERING BY MEANS OTHER THAN CUTTING
- B26F3/00—Severing by means other than cutting; Apparatus therefor
- B26F3/002—Precutting and tensioning or breaking
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
- H05K1/0306—Inorganic insulating substrates, e.g. ceramic, glass
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0011—Working of insulating substrates or insulating layers
- H05K3/0044—Mechanical working of the substrate, e.g. drilling or punching
- H05K3/0052—Depaneling, i.e. dividing a panel into circuit boards; Working of the edges of circuit boards
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T225/00—Severing by tearing or breaking
- Y10T225/30—Breaking or tearing apparatus
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T225/00—Severing by tearing or breaking
- Y10T225/30—Breaking or tearing apparatus
- Y10T225/307—Combined with preliminary weakener or with nonbreaking cutter
- Y10T225/321—Preliminary weakener
- Y10T225/325—With means to apply moment of force to weakened work
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Forests & Forestry (AREA)
- Perforating, Stamping-Out Or Severing By Means Other Than Cutting (AREA)
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 重層した歯付きベルトの表面に押圧ベルトの
間にセラミックス基板を挟持し、上記ベルトの屈折によ
りセラミックス基板をバー状基板に分割するブレーク装
置において、セラミックス基板の分割成功率を向上す
る。同基板の縦割れを防止してロスを防ぐ。分割要部材
の損耗を抑制する。 【解決手段】 共通のプーリ軸の両側部にそれぞれブレ
ークプーリを形成し、上記２個のブレークプーリの歯を
周方向にずらす。
間にセラミックス基板を挟持し、上記ベルトの屈折によ
りセラミックス基板をバー状基板に分割するブレーク装
置において、セラミックス基板の分割成功率を向上す
る。同基板の縦割れを防止してロスを防ぐ。分割要部材
の損耗を抑制する。 【解決手段】 共通のプーリ軸の両側部にそれぞれブレ
ークプーリを形成し、上記２個のブレークプーリの歯を
周方向にずらす。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、チップ型電子部品
の製造に係わり、大判のセラミックス基板をバー状基板
に分割するためのブレーク装置に関する。
の製造に係わり、大判のセラミックス基板をバー状基板
に分割するためのブレーク装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、図６及び図７で示すように、ブレ
ーク溝ａを形成した大判のセラミックス基板ｂを、進行
方向に平行に配置した一対の重層した搬送ベルトｃと押
圧ベルトｄとの間に挟持して搬送しながら、ブレークプ
ーリｅで上記ベルトc,d を屈折させることにより、セラ
ミックス基板ｂをブレーク溝ａに沿って多数のバー状基
板ｆに分割するセラミックス基板のブレーク装置ｇがあ
り、上記搬送ベルトｃには、搬送中のセラミックス基板
ｂの姿勢の乱れの原因となる滑りを防止するために、裏
面に多数の係合歯ｈを一定間隔で形成した歯付きベルト
を用い、ブレークプーリｅの外周には、上記搬送ベルト
の係合歯ｈに噛合する多数の歯ｊを周設している。
ーク溝ａを形成した大判のセラミックス基板ｂを、進行
方向に平行に配置した一対の重層した搬送ベルトｃと押
圧ベルトｄとの間に挟持して搬送しながら、ブレークプ
ーリｅで上記ベルトc,d を屈折させることにより、セラ
ミックス基板ｂをブレーク溝ａに沿って多数のバー状基
板ｆに分割するセラミックス基板のブレーク装置ｇがあ
り、上記搬送ベルトｃには、搬送中のセラミックス基板
ｂの姿勢の乱れの原因となる滑りを防止するために、裏
面に多数の係合歯ｈを一定間隔で形成した歯付きベルト
を用い、ブレークプーリｅの外周には、上記搬送ベルト
の係合歯ｈに噛合する多数の歯ｊを周設している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、歯付きベル
トには、係合歯ｈがあって屈折しにくい厚肉部ｋと、係
合歯ｈがなく屈折しやすい薄肉部ｍとがあり、厚肉部ｋ
ではブレークプーリｅによって屈折する際の曲率半径が
大きく、薄肉部ｍでは曲率半径が小さくなる。
トには、係合歯ｈがあって屈折しにくい厚肉部ｋと、係
合歯ｈがなく屈折しやすい薄肉部ｍとがあり、厚肉部ｋ
ではブレークプーリｅによって屈折する際の曲率半径が
大きく、薄肉部ｍでは曲率半径が小さくなる。
【０００４】従って、セラミックス基板ｂ分割の際に、
搬送ベルトｃと押圧ベルトｄに挟持されたセラミックス
基板ｂがブレークプーリｅにさしかかったとき、ブレー
ク溝ａの端部が薄肉部ｍに位置すると、分割の成功率が
良いので問題ないが、ブレーク溝ａの端部が厚肉部ｋに
位置すると、分割の成功率が低下して、歩留まりが悪化
することになる。
搬送ベルトｃと押圧ベルトｄに挟持されたセラミックス
基板ｂがブレークプーリｅにさしかかったとき、ブレー
ク溝ａの端部が薄肉部ｍに位置すると、分割の成功率が
良いので問題ないが、ブレーク溝ａの端部が厚肉部ｋに
位置すると、分割の成功率が低下して、歩留まりが悪化
することになる。
【０００５】しかるに、従来は、前記ブレークプーリｅ
を同位相でプーリ軸ｎに形成しているため、ブレーク溝
ａの端部が両方とも厚肉部ｋに位置して、分割の成功率
が低下するという問題がある。
を同位相でプーリ軸ｎに形成しているため、ブレーク溝
ａの端部が両方とも厚肉部ｋに位置して、分割の成功率
が低下するという問題がある。
【０００６】この分割成功率の低下を防止するために
は、押圧ベルトｄの押圧力を高めなければならず、押圧
力を高めると、今度はセラミックス基板に縦方向の割れ
が生じて多量のロスが発生するという問題がある。
は、押圧ベルトｄの押圧力を高めなければならず、押圧
力を高めると、今度はセラミックス基板に縦方向の割れ
が生じて多量のロスが発生するという問題がある。
【０００７】また、押圧ベルトｄの押圧力を高めると、
搬送ベルトｃにもこの押圧力が波及して、搬送ベルトｃ
の係合歯ｈやブレークプーリｅの歯ｊの損耗が激しく、
タンガロイ処理（商品名）等の対策を講じても十分に損
耗を防止できなかった。
搬送ベルトｃにもこの押圧力が波及して、搬送ベルトｃ
の係合歯ｈやブレークプーリｅの歯ｊの損耗が激しく、
タンガロイ処理（商品名）等の対策を講じても十分に損
耗を防止できなかった。
【０００８】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明では、裏
面に多数の係合歯を形成した一対の歯付きベルトで搬送
ベルトを形成し、各搬送ベルトの表面にそれぞれ押圧ベ
ルトを重層し、この重層した各ベルトを、搬送ベルトの
裏面に噛合する多数の歯を一定ピッチで形成した一対の
ブレークプーリで屈折させて、上記一対の搬送ベルトと
押圧ベルトとの間に挟持して搬送中のセラミックス基板
を、同セラミックス基板に形成したブレーク溝に沿って
多数のバー状基板に分割すべく構成したセラミックス基
板のブレーク装置において、共通のプーリ軸の両側部に
それぞれブレークプーリを形成し、しかも、プーリ軸方
向から見て、上記２個のブレークプーリの歯を周方向に
ずらしたことを特徴とするセラミックス基板のブレーク
装置を提供せんとするものである。
面に多数の係合歯を形成した一対の歯付きベルトで搬送
ベルトを形成し、各搬送ベルトの表面にそれぞれ押圧ベ
ルトを重層し、この重層した各ベルトを、搬送ベルトの
裏面に噛合する多数の歯を一定ピッチで形成した一対の
ブレークプーリで屈折させて、上記一対の搬送ベルトと
押圧ベルトとの間に挟持して搬送中のセラミックス基板
を、同セラミックス基板に形成したブレーク溝に沿って
多数のバー状基板に分割すべく構成したセラミックス基
板のブレーク装置において、共通のプーリ軸の両側部に
それぞれブレークプーリを形成し、しかも、プーリ軸方
向から見て、上記２個のブレークプーリの歯を周方向に
ずらしたことを特徴とするセラミックス基板のブレーク
装置を提供せんとするものである。
【０００９】また、次のような特徴を併せ有するもので
ある。
ある。
【００１０】上記押圧ベルトの搬送ベルト方向の押圧力
を変更可能とする押圧部を具備すること。
を変更可能とする押圧部を具備すること。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明に実施の形態は、ブレーク
プーリの両端に、1/2 ピッチだけ位相をずらした歯付き
プーリを設けて、搬送ベルトの係合歯の位相を1/2 ピッ
チだけずらすことにより、分割前のセラミックス基板に
形成されたブレーク溝の端部が、一対の搬送ベルトの内
の少なくとも一方の薄肉部に位置する確率を高めて、ブ
レーク圧力を大きくしなくても、分割の成功率を高める
ようにしている。
プーリの両端に、1/2 ピッチだけ位相をずらした歯付き
プーリを設けて、搬送ベルトの係合歯の位相を1/2 ピッ
チだけずらすことにより、分割前のセラミックス基板に
形成されたブレーク溝の端部が、一対の搬送ベルトの内
の少なくとも一方の薄肉部に位置する確率を高めて、ブ
レーク圧力を大きくしなくても、分割の成功率を高める
ようにしている。
【００１２】なお、ブレーク溝の一端部に発生した亀裂
は、ブレーク圧力下では急速に発展し、瞬時にしてブレ
ーク溝の他端部に達するので、必ずしも亀裂をブレーク
溝の両端部から発生させる必要はない。
は、ブレーク圧力下では急速に発展し、瞬時にしてブレ
ーク溝の他端部に達するので、必ずしも亀裂をブレーク
溝の両端部から発生させる必要はない。
【００１３】また、ブレークプーリの上方に、３個のプ
ーリの外周に押圧ベルトを巻回した押圧部を設けて、１
個のプーリを昇降機構に連動連結して押圧ベルトの張力
を変更可能とし、残る２個のプーリ間の押圧ベルトでブ
レークプーリ上の搬送ベルトを押圧するようにしてい
る。
ーリの外周に押圧ベルトを巻回した押圧部を設けて、１
個のプーリを昇降機構に連動連結して押圧ベルトの張力
を変更可能とし、残る２個のプーリ間の押圧ベルトでブ
レークプーリ上の搬送ベルトを押圧するようにしてい
る。
【００１４】
【実施例】本発明の実施例について図面を参照して説明
する。
する。
【００１５】本発明のブレーク装置Ａは、大判のセラミ
ックス基板Ｃを一方向のブレーク溝C1に沿ってバー状基
板C3に分割する工程に用いられるものである。
ックス基板Ｃを一方向のブレーク溝C1に沿ってバー状基
板C3に分割する工程に用いられるものである。
【００１６】図１は、本発明に係るブレーク装置Ａの要
部の側面図、図２は同ブレーク装置Ａの要部の斜視図、
図３はブレークプーリ１と搬送ベルト2,2 の側面図であ
る。
部の側面図、図２は同ブレーク装置Ａの要部の斜視図、
図３はブレークプーリ１と搬送ベルト2,2 の側面図であ
る。
【００１７】ブレーク装置Ａは、図１で示すように、下
部に軸支したブレークプーリ1,1 と、同ブレークプーリ
1,1 の上面を走行する一対の搬送ベルト2,2 と、搬送ベ
ルト2,2 の上方に配置した押圧ベルト31を具備する押圧
部３とで構成されており、搬送ベルト2,2 の上面に載置
した分割前のセラミックス基板Ｃをブレークプーリ1,1
の上方位置に搬送して、搬送ベルト2,2 と押圧ベルト31
との間に上記セラミックス基板を挟持し、押圧部３で押
圧ベルト31に張力を付与して搬送ベルト2,2 と押圧ベル
ト31とを斜め下方向に屈折させることにより、セラミッ
クス基板を多数のバー状基板C3に分割して右方向に搬出
するようにしている。
部に軸支したブレークプーリ1,1 と、同ブレークプーリ
1,1 の上面を走行する一対の搬送ベルト2,2 と、搬送ベ
ルト2,2 の上方に配置した押圧ベルト31を具備する押圧
部３とで構成されており、搬送ベルト2,2 の上面に載置
した分割前のセラミックス基板Ｃをブレークプーリ1,1
の上方位置に搬送して、搬送ベルト2,2 と押圧ベルト31
との間に上記セラミックス基板を挟持し、押圧部３で押
圧ベルト31に張力を付与して搬送ベルト2,2 と押圧ベル
ト31とを斜め下方向に屈折させることにより、セラミッ
クス基板を多数のバー状基板C3に分割して右方向に搬出
するようにしている。
【００１８】ブレークプーリ1,1 は、図２及び図３で示
すように、外周に後述する搬送ベルト2,2 の係合歯21に
噛合するための歯11,11 を一定のピッチｐで形成してお
り、隣接する歯11と歯11の間の凹部12は略半円弧形状に
形成されており、上記搬送ベルト2,2 の下面に近接して
回動自在に軸支したプーリ軸13の両端部に形成してい
る。
すように、外周に後述する搬送ベルト2,2 の係合歯21に
噛合するための歯11,11 を一定のピッチｐで形成してお
り、隣接する歯11と歯11の間の凹部12は略半円弧形状に
形成されており、上記搬送ベルト2,2 の下面に近接して
回動自在に軸支したプーリ軸13の両端部に形成してい
る。
【００１９】特に、上記２個のブレークプーリ1,1 は、
プーリ軸13方向から見て、各ブレークプーリ1,1 の歯1
1,11 を周方向に、１ピッチｐ以内の範囲でずらしてい
る（本実施例では1/2 ピッチｐ）。
プーリ軸13方向から見て、各ブレークプーリ1,1 の歯1
1,11 を周方向に、１ピッチｐ以内の範囲でずらしてい
る（本実施例では1/2 ピッチｐ）。
【００２０】搬送ベルト2,2 は、図２及び図３で示すよ
うに、上記一対のブレークプーリ1,1 の上面に接して、
それぞれ側面視では斜め下方向に屈折し、平面視では進
行方向に並行に張設されており、各搬送ベルト2,2 の下
面には、前記ブレークプーリ1,1 の係合歯21に係合して
滑りを防止するために、前記と同一ピッチｐで多数の係
合歯21を突設している。
うに、上記一対のブレークプーリ1,1 の上面に接して、
それぞれ側面視では斜め下方向に屈折し、平面視では進
行方向に並行に張設されており、各搬送ベルト2,2 の下
面には、前記ブレークプーリ1,1 の係合歯21に係合して
滑りを防止するために、前記と同一ピッチｐで多数の係
合歯21を突設している。
【００２１】上記係合歯21は、ブレークプーリ1,1 の凹
部12に符合するための略半円弧形状に突出した厚肉部22
と、ブレークプーリ1,1 の歯先に符合するための薄肉部
23とが形成されており、厚肉部22は屈折しにくく、薄肉
部23は屈折しやすいことから、搬送ベルト2,2 をブレー
クプーリ1,1 に巻回した際に、搬送ベルト2,2 の上面が
円弧形状ではなく、略折れ線形状になる。
部12に符合するための略半円弧形状に突出した厚肉部22
と、ブレークプーリ1,1 の歯先に符合するための薄肉部
23とが形成されており、厚肉部22は屈折しにくく、薄肉
部23は屈折しやすいことから、搬送ベルト2,2 をブレー
クプーリ1,1 に巻回した際に、搬送ベルト2,2 の上面が
円弧形状ではなく、略折れ線形状になる。
【００２２】また、搬送ベルト2,2 の進行方向に測った
厚肉部22の長さを、同様にして測った薄肉部23の長さよ
りも大きくしている（本実施例では約３倍）。
厚肉部22の長さを、同様にして測った薄肉部23の長さよ
りも大きくしている（本実施例では約３倍）。
【００２３】従って、搬送ベルト2,2 をブレークプーリ
1,1 に巻回した際に、各搬送ベルト2,2 の上面は、厚肉
部22では曲率半径が大きく、薄肉部23では曲率半径が小
さいことになる。
1,1 に巻回した際に、各搬送ベルト2,2 の上面は、厚肉
部22では曲率半径が大きく、薄肉部23では曲率半径が小
さいことになる。
【００２４】押圧部３は、図１で示すように、機枠A1の
上方突出部分に、側面視略Ｚ字形状の押圧部フレーム32
を載設し、同押圧部フレーム32の左側低部に昇降機構33
を載設している。昇降機構33は、回動自在の螺杆と同螺
杆に螺着したナットを内蔵しており、押圧部フレーム32
の右側上部に吊下状態に垂設した電動モータ34を歯付き
ベルト35を介して上記螺杆に連動連結し、電動モータ34
の回動により昇降アーム36を昇降作動させるようにして
いる。
上方突出部分に、側面視略Ｚ字形状の押圧部フレーム32
を載設し、同押圧部フレーム32の左側低部に昇降機構33
を載設している。昇降機構33は、回動自在の螺杆と同螺
杆に螺着したナットを内蔵しており、押圧部フレーム32
の右側上部に吊下状態に垂設した電動モータ34を歯付き
ベルト35を介して上記螺杆に連動連結し、電動モータ34
の回動により昇降アーム36を昇降作動させるようにして
いる。
【００２５】また、前記機枠A1の上方突出部に下部枢軸
37を設けて、同下部枢軸37に下部リンク杆38の右端部を
回動自在に枢着すると共に、押圧部フレーム32の上部に
上部枢軸39を設けて、同上部枢軸39に上部リンク杆40の
右端部を回動自在に枢着し、更に、上記下部リンク杆38
の左端部と上部リンク杆40の左端部とを、両端にロッド
エンド41,41 を螺着した伸縮自在の連結杆42で連結して
並行リンク機構を形成し、上部リンク杆40の中途部に調
節ネジ43の螺動によりバネ受体44を昇降させる弾力調節
機構45を枢着し、バネ受体44と前記昇降アーム36との間
に押しバネ46を介装すると共に、下部リンク杆38の中途
部に上部プーリ47を回動自在に軸支している。
37を設けて、同下部枢軸37に下部リンク杆38の右端部を
回動自在に枢着すると共に、押圧部フレーム32の上部に
上部枢軸39を設けて、同上部枢軸39に上部リンク杆40の
右端部を回動自在に枢着し、更に、上記下部リンク杆38
の左端部と上部リンク杆40の左端部とを、両端にロッド
エンド41,41 を螺着した伸縮自在の連結杆42で連結して
並行リンク機構を形成し、上部リンク杆40の中途部に調
節ネジ43の螺動によりバネ受体44を昇降させる弾力調節
機構45を枢着し、バネ受体44と前記昇降アーム36との間
に押しバネ46を介装すると共に、下部リンク杆38の中途
部に上部プーリ47を回動自在に軸支している。
【００２６】そして、上記上部プーリ47と、機枠A1のブ
レークプーリ1,1 の斜め左側上方位置に軸支した前部プ
ーリ48と、ブレークプーリ1,1 の後方で前部プーリ48よ
りも低位置に軸支した後部プーリ49との間に押圧ベルト
31を略三角形状に巻回して、同三角形状の底辺に当る部
分の押圧ベルト31で、搬送ベルト2,2 と搬送ベルト2,2
で搬送されてきたセラミックス基板Ｃをブレークプーリ
1,1 方向に押圧して、これらの進行方向を略水平方向か
ら斜め右下方向に変更させるようにしている。
レークプーリ1,1 の斜め左側上方位置に軸支した前部プ
ーリ48と、ブレークプーリ1,1 の後方で前部プーリ48よ
りも低位置に軸支した後部プーリ49との間に押圧ベルト
31を略三角形状に巻回して、同三角形状の底辺に当る部
分の押圧ベルト31で、搬送ベルト2,2 と搬送ベルト2,2
で搬送されてきたセラミックス基板Ｃをブレークプーリ
1,1 方向に押圧して、これらの進行方向を略水平方向か
ら斜め右下方向に変更させるようにしている。
【００２７】上述した押圧ベルト31の押圧力は、電動モ
ータ34の回動により昇降アーム36を昇降させることで調
節できるので、上記押圧力制御を自動化することができ
る。
ータ34の回動により昇降アーム36を昇降させることで調
節できるので、上記押圧力制御を自動化することができ
る。
【００２８】なお、上記押圧力の初期設定は連結杆42の
伸縮で可能であり、押圧力の弾力性は弾力調節機構45の
調節ネジ43の螺動により可能である。
伸縮で可能であり、押圧力の弾力性は弾力調節機構45の
調節ネジ43の螺動により可能である。
【００２９】図４は、本ブレーク装置Ａで分割されるセ
ラミックス基板Ｃを示しており、同セラミックス基板Ｃ
の表面に格子状のブレーク溝C1を形成して、同ブレーク
溝C1で区画された領域内に電子部品の構成要素C2や保護
被膜を形成しており、ブレーク溝C1の部分は薄肉がある
ことと、切欠効果とにより、同ブレーク溝C1に沿って分
割のための亀裂が発生しやすくなっている。
ラミックス基板Ｃを示しており、同セラミックス基板Ｃ
の表面に格子状のブレーク溝C1を形成して、同ブレーク
溝C1で区画された領域内に電子部品の構成要素C2や保護
被膜を形成しており、ブレーク溝C1の部分は薄肉がある
ことと、切欠効果とにより、同ブレーク溝C1に沿って分
割のための亀裂が発生しやすくなっている。
【００３０】本発明の実施例は上記のように構成されて
おり、上記一対の搬送ベルト2,2 の上面にセラミックス
基板Ｃを、一方のブレーク溝C1がプーリ軸13と並行にな
るように載置すると、搬送ベルト2,2 は滑りが防止され
ているので、上記平行状態を保持したまま押圧部３の下
方に搬送されて、搬送ベルト2,2 と押圧ベルト31との間
に挟持される。
おり、上記一対の搬送ベルト2,2 の上面にセラミックス
基板Ｃを、一方のブレーク溝C1がプーリ軸13と並行にな
るように載置すると、搬送ベルト2,2 は滑りが防止され
ているので、上記平行状態を保持したまま押圧部３の下
方に搬送されて、搬送ベルト2,2 と押圧ベルト31との間
に挟持される。
【００３１】搬送ベルト2,2 と押圧ベルト31と間に挟持
されたセラミックス基板Ｃは、更に右方向に進行して、
搬送ベルト2,2 と押圧ベルト31との屈折に伴うセラミッ
クス基板Ｃの屈折により、進行方向前端のブレーク溝C1
から順に、該ブレーク溝C1に沿って多数のバー状基板C3
に分割され、搬送ベルト2,2 上を右方向に搬出される。
されたセラミックス基板Ｃは、更に右方向に進行して、
搬送ベルト2,2 と押圧ベルト31との屈折に伴うセラミッ
クス基板Ｃの屈折により、進行方向前端のブレーク溝C1
から順に、該ブレーク溝C1に沿って多数のバー状基板C3
に分割され、搬送ベルト2,2 上を右方向に搬出される。
【００３２】上記分割の際に、上述したようにブレーク
プーリ1,1 に巻回した搬送ベルト2,2 上面の曲率半径
が、薄肉部23では小さいことから、同薄肉部23上にセラ
ミックス基板Ｃのブレーク溝C1が位置した場合が、セラ
ミックス基板Ｃ進行方向の前端微小部分に大きな屈折力
を作用させることができるので、分割の成功率が高いこ
とになる。
プーリ1,1 に巻回した搬送ベルト2,2 上面の曲率半径
が、薄肉部23では小さいことから、同薄肉部23上にセラ
ミックス基板Ｃのブレーク溝C1が位置した場合が、セラ
ミックス基板Ｃ進行方向の前端微小部分に大きな屈折力
を作用させることができるので、分割の成功率が高いこ
とになる。
【００３３】なお、上記ブレーク溝C1が厚肉部22上に位
置した場合は、同厚肉部22の曲率半径が大きいことか
ら、セラミックス基板Ｃ前端の微小部分に作用する屈折
力が小さいので、分割の成功率が低くなる。
置した場合は、同厚肉部22の曲率半径が大きいことか
ら、セラミックス基板Ｃ前端の微小部分に作用する屈折
力が小さいので、分割の成功率が低くなる。
【００３４】特に、本実施例では、前記プーリ軸13の両
端部に嵌着したブレークプーリ1,1の歯を周方向に1/2
ピッチｐだけずらしているので、一対の搬送ベルトの薄
肉部23のいずれかと、ブレーク溝C1の両端部のいずれか
とが符合する確率が高くなり、セラミックス基板Ｃ分割
の成功率を高めることができる。
端部に嵌着したブレークプーリ1,1の歯を周方向に1/2
ピッチｐだけずらしているので、一対の搬送ベルトの薄
肉部23のいずれかと、ブレーク溝C1の両端部のいずれか
とが符合する確率が高くなり、セラミックス基板Ｃ分割
の成功率を高めることができる。
【００３５】なお、上記セラミックス基板Ｃ分割の際
に、セラミックス基板Ｃの一端部に発生した亀裂は、ブ
レーク圧力下で急速に発展し、瞬時にして他端部に達し
て分割を完了するので、必ずしも亀裂を両端部から発生
させる必要はない。
に、セラミックス基板Ｃの一端部に発生した亀裂は、ブ
レーク圧力下で急速に発展し、瞬時にして他端部に達し
て分割を完了するので、必ずしも亀裂を両端部から発生
させる必要はない。
【００３６】図５は、大判のセラミックス基板Ｃを、上
記実施例のブレーク装置Ａを用いて分割した際の実績
（実線）を示しており、本実施例では、押圧ベルト31の
圧力が０の時でも既に４０％の成功率を示し、１Kgf の
圧力では約１００％の成功率を示している。
記実施例のブレーク装置Ａを用いて分割した際の実績
（実線）を示しており、本実施例では、押圧ベルト31の
圧力が０の時でも既に４０％の成功率を示し、１Kgf の
圧力では約１００％の成功率を示している。
【００３７】従って、押圧ベルト31の押圧力を低くし
て、高い分割成功率を保持しながら、縦方向の割れを防
止してロスの発生を防止することができる。
て、高い分割成功率を保持しながら、縦方向の割れを防
止してロスの発生を防止することができる。
【００３８】これに対し、従来のブレーク装置での実績
（破線）は、圧力が０の時、５％程度の成功率であり、
成功率を約１００％にするには約２Kgf の圧力を要する
ので、縦方向への割れが生じて多量のロスが発生する可
能性が高い。
（破線）は、圧力が０の時、５％程度の成功率であり、
成功率を約１００％にするには約２Kgf の圧力を要する
ので、縦方向への割れが生じて多量のロスが発生する可
能性が高い。
【００３９】
【発明の効果】本発明によれば次のような効果を得るこ
とができる。
とができる。
【００４０】請求項１記載の発明では、裏面に多数の係
合歯を形成した一対の歯付きベルトで搬送ベルトを形成
し、各搬送ベルトの表面にそれぞれ押圧ベルトを重層
し、この重層した各ベルトを、搬送ベルトの裏面に噛合
する多数の歯を一定ピッチで形成した一対のブレークプ
ーリで屈折させて、上記一対の搬送ベルトと押圧ベルト
との間に挟持して搬送中のセラミックス基板を、同セラ
ミックス基板に形成したブレーク溝に沿って多数のバー
状基板に分割すべく構成したセラミックス基板のブレー
ク装置において、共通のプーリ軸の両側部にそれぞれブ
レークプーリを形成し、しかも、プーリ軸方向から見
て、上記２個のブレークプーリの歯を周方向にずらした
ことによって、分割前のセラミックス基板に形成された
ブレーク溝の端部が、一対の搬送ベルトの薄肉部の内の
少なくとも一方に位置する確率を高めて、ブレーク圧力
を大きくしなくても、分割の成功率を高めることができ
る。
合歯を形成した一対の歯付きベルトで搬送ベルトを形成
し、各搬送ベルトの表面にそれぞれ押圧ベルトを重層
し、この重層した各ベルトを、搬送ベルトの裏面に噛合
する多数の歯を一定ピッチで形成した一対のブレークプ
ーリで屈折させて、上記一対の搬送ベルトと押圧ベルト
との間に挟持して搬送中のセラミックス基板を、同セラ
ミックス基板に形成したブレーク溝に沿って多数のバー
状基板に分割すべく構成したセラミックス基板のブレー
ク装置において、共通のプーリ軸の両側部にそれぞれブ
レークプーリを形成し、しかも、プーリ軸方向から見
て、上記２個のブレークプーリの歯を周方向にずらした
ことによって、分割前のセラミックス基板に形成された
ブレーク溝の端部が、一対の搬送ベルトの薄肉部の内の
少なくとも一方に位置する確率を高めて、ブレーク圧力
を大きくしなくても、分割の成功率を高めることができ
る。
【００４１】なお、ブレーク溝の一端部に発生した亀裂
は、ブレーク圧力下では急速に発展し、瞬時にして基板
のブレーク溝の他端部に達するので、必ずしも亀裂をブ
レーク溝の両端部から発生させる必要はない。
は、ブレーク圧力下では急速に発展し、瞬時にして基板
のブレーク溝の他端部に達するので、必ずしも亀裂をブ
レーク溝の両端部から発生させる必要はない。
【００４２】請求項２記載の発明では、上記押圧ベルト
の搬送ベルト方向の押圧力を変更可能とする押圧部を具
備しているので、十分な分割の成功率を得るのに要する
最小限の押圧力を設定することができ、セラミックス基
板の縦割れによるロスや、ブレークプーリや搬送ベルト
の損耗を最小限に抑制することができる。
の搬送ベルト方向の押圧力を変更可能とする押圧部を具
備しているので、十分な分割の成功率を得るのに要する
最小限の押圧力を設定することができ、セラミックス基
板の縦割れによるロスや、ブレークプーリや搬送ベルト
の損耗を最小限に抑制することができる。
【図１】本発明に係るセラミックス基板のブレーク装置
の要部側面説明図である。
の要部側面説明図である。
【図２】同要部斜視図である。
【図３】搬送ベルトとブレークプーリとの側面図であ
る。
る。
【図４】大判のセラミックス基板の平面図である。
【図５】セラミックス基板分割の成功率と押圧力との関
係を示すグラフである。
係を示すグラフである。
【図６】従来のブレーク装置の要部側面説明図である。
【図７】従来の搬送ベルトとブレークプーリとの側面説
明図である。
明図である。
Ａ ブレーク装置 Ｃ セラミックス基板 C1 ブレーク溝 C3 バー状基板 ｐ ピッチ １ ブレークプーリ 11 歯11 13 プーリ軸 ２ 搬送ベルト 21 係合歯 ３ 押圧部 31 押圧ベルト
Claims (2)
- 【請求項１】 裏面に多数の係合歯を形成した一対の歯
付きベルトで搬送ベルトを形成し、各搬送ベルトの表面
にそれぞれ押圧ベルトを重層し、この重層した各ベルト
を、搬送ベルトの裏面に噛合する多数の歯を一定ピッチ
で形成した一対のブレークプーリで屈折させて、上記一
対の搬送ベルトと押圧ベルトとの間に挟持して搬送中の
セラミックス基板を、同セラミックス基板に形成したブ
レーク溝に沿って多数のバー状基板に分割すべく構成し
たセラミックス基板のブレーク装置において、 共通のプーリ軸の両側部にそれぞれブレークプーリを形
成し、しかも、プーリ軸方向から見て、上記２個のブレ
ークプーリの歯を周方向にずらしたことを特徴とするセ
ラミックス基板のブレーク装置。 - 【請求項２】 上記押圧ベルトの搬送ベルト方向への押
圧力を変更可能とする押圧部を具備することを請求項１
記載のセラミックス基板のブレーク装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9105028A JPH10296700A (ja) | 1997-04-22 | 1997-04-22 | セラミックス基板のブレーク装置 |
| US09/063,144 US6098861A (en) | 1997-04-22 | 1998-04-20 | Breaking apparatus for ceramic board |
| MYPI98001771A MY114588A (en) | 1997-04-22 | 1998-04-21 | Breaking apparatus for ceramic board |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9105028A JPH10296700A (ja) | 1997-04-22 | 1997-04-22 | セラミックス基板のブレーク装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10296700A true JPH10296700A (ja) | 1998-11-10 |
Family
ID=14396587
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9105028A Pending JPH10296700A (ja) | 1997-04-22 | 1997-04-22 | セラミックス基板のブレーク装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6098861A (ja) |
| JP (1) | JPH10296700A (ja) |
| MY (1) | MY114588A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106611744A (zh) * | 2015-10-26 | 2017-05-03 | 株式会社村田制作所 | 基板分割装置 |
| JP2019188571A (ja) * | 2018-04-27 | 2019-10-31 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 端材除去機構並びに端材除去方法 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7156274B2 (en) * | 1999-08-17 | 2007-01-02 | Pufahl Joseph A | Media separating apparatus and method |
| US6702170B1 (en) * | 1999-08-17 | 2004-03-09 | Joseph A. Pufahl | Media separating apparatus and method |
| US7080766B2 (en) * | 2002-07-01 | 2006-07-25 | Agilent Technologies, Inc. | Manufacture of singulated supports comprising arrays |
| US20060261118A1 (en) * | 2005-05-17 | 2006-11-23 | Cox Judy K | Method and apparatus for separating a pane of brittle material from a moving ribbon of the material |
| US9126857B2 (en) | 2012-11-15 | 2015-09-08 | Corning Incorporated | Separation apparatuses for separating sheets of brittle material and methods for separating sheets of brittle material |
| CN103997851B (zh) * | 2014-05-30 | 2017-01-18 | 昆山一邦泰汽车零部件制造有限公司 | 一种旋转移动式印刷电路板 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1319080A (en) * | 1919-10-21 | Sylvania | ||
| US3300112A (en) * | 1964-08-11 | 1967-01-24 | Saint Gobain | Machine for severing glass |
| US3494523A (en) * | 1968-02-07 | 1970-02-10 | Bernard F Kalvelage | Device for fracturing scored sheets of brittle material |
| BE759665A (fr) * | 1969-12-01 | 1971-04-30 | Central Glass Co Ltd | Methode et appareil pour decouper des feuilles de verre |
| US3743149A (en) * | 1972-04-20 | 1973-07-03 | A Groppe | Glass cutting table |
| US4109841A (en) * | 1976-05-26 | 1978-08-29 | Ppg Industries, Inc. | Apparatus for opening score lines in glass sheets |
| US4131222A (en) * | 1976-09-21 | 1978-12-26 | Pilkington Brothers Limited | Snapping of sheets of glass |
| US4195758A (en) * | 1978-04-03 | 1980-04-01 | Gte Automatic Electric Laboratories, Incorporated | Apparatus for separating snapstrates into individual hybrid substrates |
| DE2918331C3 (de) * | 1979-05-07 | 1982-02-25 | Glas - und Spiegel-Manufactur AG, 4650 Gelsenkirchen | Vorrichtung zum Brechen von Glasplatten entlang gerader, quer über die Glasplatten verlaufender Schnittlinien |
| AT391858B (de) * | 1988-04-25 | 1990-12-10 | Lisec Peter | Vorrichtung zum brechen von einseitig geritzten glastafeln |
-
1997
- 1997-04-22 JP JP9105028A patent/JPH10296700A/ja active Pending
-
1998
- 1998-04-20 US US09/063,144 patent/US6098861A/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-04-21 MY MYPI98001771A patent/MY114588A/en unknown
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106611744A (zh) * | 2015-10-26 | 2017-05-03 | 株式会社村田制作所 | 基板分割装置 |
| JP2019188571A (ja) * | 2018-04-27 | 2019-10-31 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 端材除去機構並びに端材除去方法 |
| KR20190125167A (ko) * | 2018-04-27 | 2019-11-06 | 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 | 단재 제거 기구 그리고 단재 제거 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| MY114588A (en) | 2002-11-30 |
| US6098861A (en) | 2000-08-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH10296700A (ja) | セラミックス基板のブレーク装置 | |
| JP3692837B2 (ja) | ベルト式無段変速機 | |
| JP2017085081A (ja) | 分布ブラッグ反射器を有する発光ダイオードチップ | |
| JP6896488B2 (ja) | 表示装置 | |
| EP1239308A3 (en) | Wire grid polarizer | |
| KR102565148B1 (ko) | 플립칩형 발광 다이오드 칩 및 그것을 포함하는 발광 장치 | |
| CN110610961B (zh) | 阵列基板和显示面板 | |
| JP2010210705A5 (ja) | ||
| JP2012182430A5 (ja) | ||
| JP7336071B2 (ja) | 板ガラスの製造方法及びその製造装置 | |
| WO2014194470A1 (zh) | 一种锡丝传送装置 | |
| JP5985817B2 (ja) | ベルト駆動装置 | |
| US20170026026A1 (en) | Surface acoustic wave device | |
| US6966432B2 (en) | Drive mechanism for a conveyor with stretching compensation means | |
| JP2006256768A (ja) | 基板搬送装置、基板処理装置及び平面表示装置 | |
| JP2503831B2 (ja) | エンドレス歯付ベルト | |
| JP2548079B2 (ja) | 折畳装置の折帳搬出装置 | |
| JP6105764B2 (ja) | ベルト駆動装置 | |
| CN114864619B (zh) | 发光基板及其制备方法、显示装置 | |
| JPH10331920A (ja) | 無段変速機用金属ベルト | |
| JP3216934B2 (ja) | アウターリードの曲げ成形方法及びこれを用いた半導体装置 | |
| KR20210065475A (ko) | 다열 복합 롤러 방식의 기판 이송장치 | |
| WO2006003237A3 (en) | Travelator | |
| CN113805376B (zh) | 凸块结构及液晶显示器 | |
| RU2266449C1 (ru) | Звездочка для роликовых цепных передач |