JPH10296717A - ウェーハの製造方法 - Google Patents
ウェーハの製造方法Info
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- JPH10296717A JPH10296717A JP12496597A JP12496597A JPH10296717A JP H10296717 A JPH10296717 A JP H10296717A JP 12496597 A JP12496597 A JP 12496597A JP 12496597 A JP12496597 A JP 12496597A JP H10296717 A JPH10296717 A JP H10296717A
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- wafer
- cutting
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワイヤーソー切断装置にてワイヤーにスラリ
ーを散布して結晶インゴットの切断面に持ち込ませ、こ
れをウェーハに切断するワイヤーソーによるウェーハの
製造方法において、スラリー供給に起因して発生するウ
ェーハの厚みばらつきや破損等の問題を解消して、高精
度のウェーハを安定的に製造できるウェーハの製造方法
の提供。 【解決手段】 切断に寄与するスラリー量を被切断単結
晶の切断接触長さに応じて変化させて、ワイヤーでのス
ラリー持ち込み量を切断始めから切断終わりまで最適な
一定量に保持して、切断精度の向上を図り、結晶インゴ
ットを挟み配置される複数対のスラリーノズルの配管へ
のスラリー送り出し方向を相互に交差方向となるように
配管接続したワイヤーソー切断装置を用いて、一方のノ
ズルパイプ先端部分に詰まりを生じても他方のノズルパ
イプにてその詰まりにより供給不足、むらとなった部分
を補い安定したスラリー供給を実現する。
ーを散布して結晶インゴットの切断面に持ち込ませ、こ
れをウェーハに切断するワイヤーソーによるウェーハの
製造方法において、スラリー供給に起因して発生するウ
ェーハの厚みばらつきや破損等の問題を解消して、高精
度のウェーハを安定的に製造できるウェーハの製造方法
の提供。 【解決手段】 切断に寄与するスラリー量を被切断単結
晶の切断接触長さに応じて変化させて、ワイヤーでのス
ラリー持ち込み量を切断始めから切断終わりまで最適な
一定量に保持して、切断精度の向上を図り、結晶インゴ
ットを挟み配置される複数対のスラリーノズルの配管へ
のスラリー送り出し方向を相互に交差方向となるように
配管接続したワイヤーソー切断装置を用いて、一方のノ
ズルパイプ先端部分に詰まりを生じても他方のノズルパ
イプにてその詰まりにより供給不足、むらとなった部分
を補い安定したスラリー供給を実現する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ワイヤーソー切
断装置を用いて、例えば、半導体単結晶インゴットなど
のインゴットよりウェーハを製造する方法の改良に係
り、スラリーノズルの位置を移動させたり、スラリー供
給ポンプにインバーターを取り付け、切断に寄与するス
ラリー量を被切断単結晶の切断接触長さに応じて変化さ
せて、ワイヤーでのスラリー持ち込み量を切断始めから
切断終わりまで最適な一定量に保持することにより、ワ
イヤーソーにより切断する単結晶などインゴットの切断
精度の向上を図ったウェーハの製造方法に関する。
断装置を用いて、例えば、半導体単結晶インゴットなど
のインゴットよりウェーハを製造する方法の改良に係
り、スラリーノズルの位置を移動させたり、スラリー供
給ポンプにインバーターを取り付け、切断に寄与するス
ラリー量を被切断単結晶の切断接触長さに応じて変化さ
せて、ワイヤーでのスラリー持ち込み量を切断始めから
切断終わりまで最適な一定量に保持することにより、ワ
イヤーソーにより切断する単結晶などインゴットの切断
精度の向上を図ったウェーハの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体基板材料である円柱状のシリコン
単結晶インゴットよりウェーハを製造するのに、走行す
るワイヤーでウェーハに切断するワイヤーソー切断装置
が多く利用されている。
単結晶インゴットよりウェーハを製造するのに、走行す
るワイヤーでウェーハに切断するワイヤーソー切断装置
が多く利用されている。
【０００３】シリコン単結晶インゴット用のワイヤーソ
ー切断装置の構成例を説明すると、図５に示すごとく、
１本のシリコン単結晶インゴットより多数のウェーハに
同時に切断するため、水平配置された３本の長尺ローラ
ー１，２，３の外周にワイヤー４を一定間隔で平行に巻
回配置して、一方のワイヤーボビン５から送り出された
ワイヤー４が該ローラー１，２，３の外周を巻回走行後
に他方のワイヤーボビン６へと巻き取られるように構成
し、上側の２本のローラー２，３間に軸方向に一定間隔
でワイヤー４が配列して同一方向に走行している所へ、
シリコン単結晶インゴット７を治具８に接着してこの治
具８を図示しない別途の保持機構を介して機械的に保持
した状態で降下させてワイヤー４へ押しつけて切断する
ものである。また、単結晶インゴット７は降下させる
他、上昇させながらワイヤーへ押しつけて切断する構成
もある。
ー切断装置の構成例を説明すると、図５に示すごとく、
１本のシリコン単結晶インゴットより多数のウェーハに
同時に切断するため、水平配置された３本の長尺ローラ
ー１，２，３の外周にワイヤー４を一定間隔で平行に巻
回配置して、一方のワイヤーボビン５から送り出された
ワイヤー４が該ローラー１，２，３の外周を巻回走行後
に他方のワイヤーボビン６へと巻き取られるように構成
し、上側の２本のローラー２，３間に軸方向に一定間隔
でワイヤー４が配列して同一方向に走行している所へ、
シリコン単結晶インゴット７を治具８に接着してこの治
具８を図示しない別途の保持機構を介して機械的に保持
した状態で降下させてワイヤー４へ押しつけて切断する
ものである。また、単結晶インゴット７は降下させる
他、上昇させながらワイヤーへ押しつけて切断する構成
もある。
【０００４】このワイヤーソー切断装置において、研磨
剤が不可欠であるが、オイルもしくは水系のベースとし
たものに一定量の研磨粉を混ぜ合わせたもの（以下、ス
ラリーという）を単結晶インゴットの切断面の両端部に
供給する構成（実開昭５７−１９３３４９号）の他、ワ
イヤーへ散布、載置させる構成（特開平７−５２１４９
号）や、さらにシリコン単結晶インゴット上部にも直接
散布する構成（特開平７−１９５３５８号）がある。
剤が不可欠であるが、オイルもしくは水系のベースとし
たものに一定量の研磨粉を混ぜ合わせたもの（以下、ス
ラリーという）を単結晶インゴットの切断面の両端部に
供給する構成（実開昭５７−１９３３４９号）の他、ワ
イヤーへ散布、載置させる構成（特開平７−５２１４９
号）や、さらにシリコン単結晶インゴット上部にも直接
散布する構成（特開平７−１９５３５８号）がある。
【０００５】スラリーをワイヤーへ載せる構成例として
は、図５に示すごとく、スラリーは供給タンク１０内で
撹拌機１７にて撹拌されており、ポンプ１１にて一対の
上側ローラー２，３近傍に長手方向に平行に配置したノ
ズルパイプ１３，１４へ一定流量供給し、ノズルから散
布されてワイヤー４へスラリーを載せることにより、シ
リコン単結晶インゴット７の切断面へと供給される。な
お、供給されたスラリーは回収槽１５に切断屑とともに
落下して回収され、循環系１６にて切断屑が濾過除去さ
れた後、再度供給タンク１０に戻される。
は、図５に示すごとく、スラリーは供給タンク１０内で
撹拌機１７にて撹拌されており、ポンプ１１にて一対の
上側ローラー２，３近傍に長手方向に平行に配置したノ
ズルパイプ１３，１４へ一定流量供給し、ノズルから散
布されてワイヤー４へスラリーを載せることにより、シ
リコン単結晶インゴット７の切断面へと供給される。な
お、供給されたスラリーは回収槽１５に切断屑とともに
落下して回収され、循環系１６にて切断屑が濾過除去さ
れた後、再度供給タンク１０に戻される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】図５に示すワイヤーソ
ー切断装置において、これにより切断されたウェーハに
厚みばらつき等が生じる問題があった。また、スラリー
内への異物混入等が生じた場合、スラリー供給パイプで
あるノズルパイプ１３，１４先端が詰まり、その部分が
供給不能となり、ワイヤーの断線、ワイヤー飛び、ウェ
ーハ破損等の問題があった。
ー切断装置において、これにより切断されたウェーハに
厚みばらつき等が生じる問題があった。また、スラリー
内への異物混入等が生じた場合、スラリー供給パイプで
あるノズルパイプ１３，１４先端が詰まり、その部分が
供給不能となり、ワイヤーの断線、ワイヤー飛び、ウェ
ーハ破損等の問題があった。
【０００７】発明者は、切断したウェーハに厚みばらつ
き等が生じる原因について種々検討した結果、図５に示
すワイヤーソー切断装置のスラリー供給方法は、スラリ
ー供給部の位置及び流量が一定のため、ウェーハ状に切
断する際の初期切断、中央部、切断終了付近のワイヤー
によるスラリー持ち込み量、すなわち切断に寄与するス
ラリー量が異なることになり、切断カーフロスに差が生
じ、これにより切断されたウェーハに厚みばらつき等が
生じることを知見した。
き等が生じる原因について種々検討した結果、図５に示
すワイヤーソー切断装置のスラリー供給方法は、スラリ
ー供給部の位置及び流量が一定のため、ウェーハ状に切
断する際の初期切断、中央部、切断終了付近のワイヤー
によるスラリー持ち込み量、すなわち切断に寄与するス
ラリー量が異なることになり、切断カーフロスに差が生
じ、これにより切断されたウェーハに厚みばらつき等が
生じることを知見した。
【０００８】この発明は、ワイヤーソー切断装置にてワ
イヤーにスラリーを散布して半導体単結晶インゴットな
どの種々材質の被切断インゴットの切断面に持ち込ま
せ、これをウェーハに切断するワイヤーソーによるウェ
ーハの製造方法において、スラリー供給に起因して発生
するウェーハの厚みばらつきや破損等の問題を解消し
て、高精度のウェーハを安定的に製造できるウェーハの
製造方法の提供を目的としている。
イヤーにスラリーを散布して半導体単結晶インゴットな
どの種々材質の被切断インゴットの切断面に持ち込ま
せ、これをウェーハに切断するワイヤーソーによるウェ
ーハの製造方法において、スラリー供給に起因して発生
するウェーハの厚みばらつきや破損等の問題を解消し
て、高精度のウェーハを安定的に製造できるウェーハの
製造方法の提供を目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】発明者は、高精度のウェ
ーハを安定的に製造するため、図５に示すワイヤーソー
切断装置のスラリー供給方法の問題点について種々検討
した結果、切断に寄与するスラリー量を、半導体単結晶
インゴットなどの種々材質の被切断インゴットの切断接
触長さに応じて変化させて、ワイヤーでのスラリー持ち
込み量を切断始めから切断終わりまで最適な一定量に保
持することにより、ワイヤーソーにより切断するインゴ
ットの切断精度の向上を図ることができることを知見
し、この発明を完成した。
ーハを安定的に製造するため、図５に示すワイヤーソー
切断装置のスラリー供給方法の問題点について種々検討
した結果、切断に寄与するスラリー量を、半導体単結晶
インゴットなどの種々材質の被切断インゴットの切断接
触長さに応じて変化させて、ワイヤーでのスラリー持ち
込み量を切断始めから切断終わりまで最適な一定量に保
持することにより、ワイヤーソーにより切断するインゴ
ットの切断精度の向上を図ることができることを知見
し、この発明を完成した。
【００１０】また、発明者は、ワイヤーソーによるスラ
リー持ち込み量を被切断インゴットの切断接触長さに応
じて変化させ得る方法として、 １）ワイヤーにスラリーを散布するためのノズルを可動
式となして、ノズル位置を結晶インゴットに対して近接
あるいは離反させてワイヤーによる切断面へのスラリー
の持ち込み量を変化させる方法、 ２）ワイヤーにスラリーを散布するためのノズルを複数
にして各ノズルの開閉並びに供給量を変化させる方法、 ３）吐出量可変型のスラリー供給ポンプを用いてワイヤ
ーによる切断面へのスラリーの持ち込み量を変化させる
方法、 の各方法を単独あるいは組み合せて採用でき、ワイヤー
とインゴットとの接触長さに応じて、スラリー供給流量
の制御を行い十分なスラリー供給を実現でき、切断厚み
が均一な高精度のウェーハを製造できることを知見し
た。
リー持ち込み量を被切断インゴットの切断接触長さに応
じて変化させ得る方法として、 １）ワイヤーにスラリーを散布するためのノズルを可動
式となして、ノズル位置を結晶インゴットに対して近接
あるいは離反させてワイヤーによる切断面へのスラリー
の持ち込み量を変化させる方法、 ２）ワイヤーにスラリーを散布するためのノズルを複数
にして各ノズルの開閉並びに供給量を変化させる方法、 ３）吐出量可変型のスラリー供給ポンプを用いてワイヤ
ーによる切断面へのスラリーの持ち込み量を変化させる
方法、 の各方法を単独あるいは組み合せて採用でき、ワイヤー
とインゴットとの接触長さに応じて、スラリー供給流量
の制御を行い十分なスラリー供給を実現でき、切断厚み
が均一な高精度のウェーハを製造できることを知見し
た。
【００１１】さらに、発明者は、上記の製造方法におい
て、インゴットを挟み配置される複数対のスラリーノズ
ルの配管へのスラリー送り出し方向を相互に交差方向と
なるように配管接続したワイヤーソー切断装置を用いる
ことにより、パイプ先端が各々詰まりを発生してもパイ
プ取り付け元側では詰まりが発生しないため、インゴッ
トを切断する長手方向での供給ばらつきやむらはなくな
り、安定したスラリー供給を実現できることを知見し
た。
て、インゴットを挟み配置される複数対のスラリーノズ
ルの配管へのスラリー送り出し方向を相互に交差方向と
なるように配管接続したワイヤーソー切断装置を用いる
ことにより、パイプ先端が各々詰まりを発生してもパイ
プ取り付け元側では詰まりが発生しないため、インゴッ
トを切断する長手方向での供給ばらつきやむらはなくな
り、安定したスラリー供給を実現できることを知見し
た。
【００１２】
【発明の実施の形態】この発明は、ワイヤーソーのスラ
リー供給に際して被切断材とワイヤーの接触長さに応じ
て、切断初期から切断終了までのスラリー持ち込み量を
一定にするように、スラリーパイプによる供給位置を可
変したり、ポンプによる流量を可変することを特徴と
し、さらに、スラリーノズルを複数対、そのスラリー送
り出し方向を相互に交差方向となるように配設すること
で、メイン配管先端部分が詰まりを生じてもサブ配管に
てその詰まりにより供給不足、むらとなった部分を補い
安定したスラリー供給を実現して、高精度のウェーハの
製造を可能にするものである。
リー供給に際して被切断材とワイヤーの接触長さに応じ
て、切断初期から切断終了までのスラリー持ち込み量を
一定にするように、スラリーパイプによる供給位置を可
変したり、ポンプによる流量を可変することを特徴と
し、さらに、スラリーノズルを複数対、そのスラリー送
り出し方向を相互に交差方向となるように配設すること
で、メイン配管先端部分が詰まりを生じてもサブ配管に
てその詰まりにより供給不足、むらとなった部分を補い
安定したスラリー供給を実現して、高精度のウェーハの
製造を可能にするものである。
【００１３】図１のワイヤーソー切断装置は、この発明
によるウェーハの製造方法に用いる構成の一例を示すも
のであり、シリコン単結晶インゴット用であり、基本的
な構成は前述した図５のものと同等であるが、スラリー
の供給系が異なる。すなわち、上側ローラー２，３近傍
に長手方向に平行に配置したノズルパイプ２０，２１
は、ノズルパイプ２０，２１の基端側が回転軸２２に螺
合するナット部材に支持されて、モーター２３の回動に
て単結晶インゴット７に対して平行に近接離反可能に構
成してあり、スラリーの供給は、供給タンク１０に接続
の母管１２からの枝管２４に伸縮自在管又は可撓性管を
用いてノズルパイプ２０，２１の移動を可能にしてい
る。
によるウェーハの製造方法に用いる構成の一例を示すも
のであり、シリコン単結晶インゴット用であり、基本的
な構成は前述した図５のものと同等であるが、スラリー
の供給系が異なる。すなわち、上側ローラー２，３近傍
に長手方向に平行に配置したノズルパイプ２０，２１
は、ノズルパイプ２０，２１の基端側が回転軸２２に螺
合するナット部材に支持されて、モーター２３の回動に
て単結晶インゴット７に対して平行に近接離反可能に構
成してあり、スラリーの供給は、供給タンク１０に接続
の母管１２からの枝管２４に伸縮自在管又は可撓性管を
用いてノズルパイプ２０，２１の移動を可能にしてい
る。
【００１４】また、上記構成のノズルパイプ２０，２１
と同様構成で基端側が反対側となるように支持してモー
ター３３の回動にて単結晶インゴット７に対して平行に
近接離反可能に構成したもう一対のノズルパイプ３０，
３１が設けてある。スラリーの供給は、供給タンク１０
に接続の母管１２からの枝管３４に伸縮自在管又は可撓
性管を用いてノズルパイプ３０，３１の移動を可能にし
ている。
と同様構成で基端側が反対側となるように支持してモー
ター３３の回動にて単結晶インゴット７に対して平行に
近接離反可能に構成したもう一対のノズルパイプ３０，
３１が設けてある。スラリーの供給は、供給タンク１０
に接続の母管１２からの枝管３４に伸縮自在管又は可撓
性管を用いてノズルパイプ３０，３１の移動を可能にし
ている。
【００１５】ウェーハの製造に際し、単結晶インゴット
７を治具８に接着してこの治具８を図示しない別途の保
持機構を介して機械的に保持した状態で降下させてワイ
ヤー４へ押しつけて切断するが、図２Ａに示すごとく、
まず切断初めの時点ではノズルパイプ２０，２１は単結
晶インゴット７より遠い位置にあり、切断の進行ととも
にノズルパイプ２０，２１は単結晶インゴット７に接近
して、図２Ｂに示すごとく、直径方向に切断している際
に最も近接し、また、切断後期になると再度ノズルパイ
プ２０，２１は単結晶インゴット７より離反して切断初
めの位置に戻る。
７を治具８に接着してこの治具８を図示しない別途の保
持機構を介して機械的に保持した状態で降下させてワイ
ヤー４へ押しつけて切断するが、図２Ａに示すごとく、
まず切断初めの時点ではノズルパイプ２０，２１は単結
晶インゴット７より遠い位置にあり、切断の進行ととも
にノズルパイプ２０，２１は単結晶インゴット７に接近
して、図２Ｂに示すごとく、直径方向に切断している際
に最も近接し、また、切断後期になると再度ノズルパイ
プ２０，２１は単結晶インゴット７より離反して切断初
めの位置に戻る。
【００１６】この場合、ノズルパイプ２０，２１よりワ
イヤー４へ散布されるスラリーの量は常時一定量である
と、ノズルパイプ２０，２１の単結晶インゴット７まで
の距離に応じてワイヤー４が切断面に持ち込むスラリー
の量が変動して、図３に図２の切断位置とスラリー供給
量のグラフに示すごとく、ノズルパイプ２０，２１の位
置制御にてワイヤー４と単結晶インゴット７との切断接
触長さに応じて必要かつ十分なスラリー量、すなわち、
単位切断接触長さ当たりのスラリーの持ち込み量を常時
一定量に保持することが可能になる。
イヤー４へ散布されるスラリーの量は常時一定量である
と、ノズルパイプ２０，２１の単結晶インゴット７まで
の距離に応じてワイヤー４が切断面に持ち込むスラリー
の量が変動して、図３に図２の切断位置とスラリー供給
量のグラフに示すごとく、ノズルパイプ２０，２１の位
置制御にてワイヤー４と単結晶インゴット７との切断接
触長さに応じて必要かつ十分なスラリー量、すなわち、
単位切断接触長さ当たりのスラリーの持ち込み量を常時
一定量に保持することが可能になる。
【００１７】図２では、ノズルパイプ２０，２１の位置
制御のみを示しているが、スラリー供給量を各々半減し
てもう一対のノズルパイプ３０，３１とともに上述の単
結晶インゴット７への近接離反を行わせることができ、
この場合、一方のノズルパイプ先端部分に詰まりを生じ
ても他方のノズルパイプにてその詰まりにより供給不
足、むらとなった部分を補い安定したスラリー供給を実
現して、高精度の切断が確保できる。
制御のみを示しているが、スラリー供給量を各々半減し
てもう一対のノズルパイプ３０，３１とともに上述の単
結晶インゴット７への近接離反を行わせることができ、
この場合、一方のノズルパイプ先端部分に詰まりを生じ
ても他方のノズルパイプにてその詰まりにより供給不
足、むらとなった部分を補い安定したスラリー供給を実
現して、高精度の切断が確保できる。
【００１８】また、もう一対のノズルパイプ３０，３１
は固定型で、ノズルパイプ２０，２１のみが移動型とな
り、両方のノズルパイプからのスラリー供給でワイヤー
４と単結晶インゴット７との切断接触長さに応じて必要
かつ十分なスラリー量を確保することもできる。
は固定型で、ノズルパイプ２０，２１のみが移動型とな
り、両方のノズルパイプからのスラリー供給でワイヤー
４と単結晶インゴット７との切断接触長さに応じて必要
かつ十分なスラリー量を確保することもできる。
【００１９】また、ノズルパイプ２０，２１ともう一対
のノズルパイプ３０，３１の固定配置の位置、すなわち
単結晶インゴット７に対する遠近を適宜選定して、該切
断接触長さに応じて使用するノズルパイプを選定してバ
ルブの開閉を行い、あるいは両方を同時に使用したり、
さらに可変吐出ポンプを併用してスラリー供給量を適宜
変動させる等の手段を採用することができる。さらに、
一対のノズルパイプと可変吐出ポンプを用いてスラリー
供給量を適宜変動させることも可能である。
のノズルパイプ３０，３１の固定配置の位置、すなわち
単結晶インゴット７に対する遠近を適宜選定して、該切
断接触長さに応じて使用するノズルパイプを選定してバ
ルブの開閉を行い、あるいは両方を同時に使用したり、
さらに可変吐出ポンプを併用してスラリー供給量を適宜
変動させる等の手段を採用することができる。さらに、
一対のノズルパイプと可変吐出ポンプを用いてスラリー
供給量を適宜変動させることも可能である。
【００２０】以上の装置、方法の一例は、シリコン単結
晶インゴットの切断について説明したが、その他の結晶
材、コンクリート材等種々材質の切断のためにも適用で
きる。
晶インゴットの切断について説明したが、その他の結晶
材、コンクリート材等種々材質の切断のためにも適用で
きる。
【００２１】
【実施例】前述した図１に示す構成のワイヤーソー切断
装置において、二対のノズルパイプ２０，２１、ノズル
パイプ３０，３１が同時に単結晶インゴット７との切断
接触長さに応じて単結晶インゴット７への近接離反を行
わせるため、単結晶インゴット７の降下位置とスラリー
供給系とを連動する制御系を採用して、外径が６イン
チ、８インチ、１２インチの各シリコン単結晶インゴッ
トに対してこの発明によるウェーハの製造方法を実施し
た。
装置において、二対のノズルパイプ２０，２１、ノズル
パイプ３０，３１が同時に単結晶インゴット７との切断
接触長さに応じて単結晶インゴット７への近接離反を行
わせるため、単結晶インゴット７の降下位置とスラリー
供給系とを連動する制御系を採用して、外径が６イン
チ、８インチ、１２インチの各シリコン単結晶インゴッ
トに対してこの発明によるウェーハの製造方法を実施し
た。
【００２２】また、比較のために図１の装置の該制御系
を作動させることなく、図５の従来のワイヤーソー切断
装置と同等の構成となして、先の３種の単結晶インゴッ
トよりシリコンウェーハを作製した。得られた全てのシ
リコンウェーハの全面の厚みを静電容量式厚み測定器で
計測して得たウェーハ切断形状（ＴＴＶ）を図４のグラ
フに示す。図４において、△印が６インチ、○印が８イ
ンチ、□印が１２インチの各シリコンウェーハを示す。
を作動させることなく、図５の従来のワイヤーソー切断
装置と同等の構成となして、先の３種の単結晶インゴッ
トよりシリコンウェーハを作製した。得られた全てのシ
リコンウェーハの全面の厚みを静電容量式厚み測定器で
計測して得たウェーハ切断形状（ＴＴＶ）を図４のグラ
フに示す。図４において、△印が６インチ、○印が８イ
ンチ、□印が１２インチの各シリコンウェーハを示す。
【００２３】従来方法では切断中心部へは、十分なスラ
リー供給ができないためにウェーハ切断形状が太鼓状に
なり、ウェーハ切断形状（ＴＴＶ）が劣るが、この発明
の製造方法ではワイヤーとの接触長さに応じてスラリー
配管を近づけて流量を可変させることにより、インゴッ
ト中心部へのスラリー持ち込み量が増し、一段とＴＴＶ
が良好となったことが分かる。
リー供給ができないためにウェーハ切断形状が太鼓状に
なり、ウェーハ切断形状（ＴＴＶ）が劣るが、この発明
の製造方法ではワイヤーとの接触長さに応じてスラリー
配管を近づけて流量を可変させることにより、インゴッ
ト中心部へのスラリー持ち込み量が増し、一段とＴＴＶ
が良好となったことが分かる。
【００２４】
【発明の効果】この発明により、切断に寄与するスラリ
ー量を被切断単結晶の切断接触長さに応じて変化させ
て、ワイヤーでのスラリー持ち込み量を切断始めから切
断終わりまで最適な一定量に保持することにより、ワイ
ヤーソーにより切断する単結晶等のインゴットの切断精
度の向上を図ることができ、また、結晶インゴットを挟
み配置される複数対のスラリーノズルの配管へのスラリ
ー送り出し方向を相互に交差方向となるように配管接続
したワイヤーソー切断装置を用いることにより、一方の
ノズルパイプ先端部分に詰まりを生じても他方のノズル
パイプにてその詰まりにより供給不足、むらとなった部
分を補い安定したスラリー供給を実現して、高精度の切
断が確保でき、すぐれたウェーハ切断形状（ＴＴＶ）を
有するウェーハを量産することができる。
ー量を被切断単結晶の切断接触長さに応じて変化させ
て、ワイヤーでのスラリー持ち込み量を切断始めから切
断終わりまで最適な一定量に保持することにより、ワイ
ヤーソーにより切断する単結晶等のインゴットの切断精
度の向上を図ることができ、また、結晶インゴットを挟
み配置される複数対のスラリーノズルの配管へのスラリ
ー送り出し方向を相互に交差方向となるように配管接続
したワイヤーソー切断装置を用いることにより、一方の
ノズルパイプ先端部分に詰まりを生じても他方のノズル
パイプにてその詰まりにより供給不足、むらとなった部
分を補い安定したスラリー供給を実現して、高精度の切
断が確保でき、すぐれたウェーハ切断形状（ＴＴＶ）を
有するウェーハを量産することができる。
【図１】この発明による製造方法に用いるワイヤーソー
切断装置並びにスラリー供給系を示す概略斜視説明図で
ある。
切断装置並びにスラリー供給系を示す概略斜視説明図で
ある。
【図２】Ａ，Ｂ，Ｃはこの発明による製造方法におい
て、ワイヤーの単結晶の切断位置とスラリーノズルの移
動位置との関係を示す説明図である。
て、ワイヤーの単結晶の切断位置とスラリーノズルの移
動位置との関係を示す説明図である。
【図３】この発明によるスラリー流量変化をワイヤーの
単結晶の切断位置との関係を示すグラフであり、ａ，
ｂ，ｃは図２のＡ，Ｂ，Ｃに対応する。
単結晶の切断位置との関係を示すグラフであり、ａ，
ｂ，ｃは図２のＡ，Ｂ，Ｃに対応する。
【図４】ウェーハ切断形状（ＴＴＶ）を示すグラフであ
る。
る。
【図５】従来の製造方法に用いるワイヤーソー切断装置
並びにスラリー供給系を示す概略斜視説明図である。
並びにスラリー供給系を示す概略斜視説明図である。
１，２，３ ローラー ４ ワイヤー ５，６ ワイヤーボビン ７ 単結晶インゴット ８ 治具 １０ 供給タンク １１ ポンプ １２ 母管 １３，１４，２０，２１，３０，３１ ノズルパイプ １５ 回収槽 １６ 循環系 １７ 撹拌機 ２２，３２ 回転軸 ２３，３３ モーター ２４，３４ 枝管
Claims (5)
- 【請求項１】 ワイヤーソー切断装置にてワイヤーにス
ラリーを散布してインゴットの切断面に持ち込ませ、こ
れをウェーハに切断するワイヤーソーによるウェーハの
製造方法において、切断始めから切断終わりまでのイン
ゴットとワイヤーの接触長さの変化に応じて、ワイヤー
による切断面へのスラリーの持ち込み量を変化させて、
単位切断接触長さ当たりのスラリーの持ち込み量を常時
一定量に保持するウェーハの製造方法。 - 【請求項２】 請求項１において、ワイヤーにスラリー
を散布するためのノズル位置をインゴットに対して近接
あるいは離反させてワイヤーによる切断面へのスラリー
の持ち込み量を変化させるウェーハの製造方法。 - 【請求項３】 請求項１において、ワイヤーにスラリー
を散布するためのノズルを複数にして各ノズルの開閉並
びに供給量を変化させるウェーハの製造方法。 - 【請求項４】 請求項１、請求項２または請求項３にお
いて、吐出量可変型のスラリー供給ポンプを用いてワイ
ヤーによる切断面へのスラリーの持ち込み量を変化させ
るウェーハの製造方法。 - 【請求項５】 請求項１、請求項２、請求項３または請
求項４において、インゴットを挟み配置される複数対の
スラリーノズルの配管へのスラリー送り出し方向を相互
に交差方向となるように配管接続したワイヤーソー切断
装置を用いるウェーハの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12496597A JPH10296717A (ja) | 1997-04-28 | 1997-04-28 | ウェーハの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12496597A JPH10296717A (ja) | 1997-04-28 | 1997-04-28 | ウェーハの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10296717A true JPH10296717A (ja) | 1998-11-10 |
Family
ID=14898608
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12496597A Pending JPH10296717A (ja) | 1997-04-28 | 1997-04-28 | ウェーハの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10296717A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012161867A (ja) * | 2011-02-04 | 2012-08-30 | Denso Corp | ワイヤーソー装置 |
| CN111098419A (zh) * | 2019-12-30 | 2020-05-05 | 杨兆安 | 一种硅片生产用切片装置 |
| WO2023179662A1 (zh) * | 2022-03-24 | 2023-09-28 | 高景太阳能股份有限公司 | 一种硅片切割中砂浆喷射控制方法及控制系统 |
-
1997
- 1997-04-28 JP JP12496597A patent/JPH10296717A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012161867A (ja) * | 2011-02-04 | 2012-08-30 | Denso Corp | ワイヤーソー装置 |
| CN111098419A (zh) * | 2019-12-30 | 2020-05-05 | 杨兆安 | 一种硅片生产用切片装置 |
| CN111098419B (zh) * | 2019-12-30 | 2021-07-13 | 郑州合晶硅材料有限公司 | 一种硅片生产用切片装置 |
| WO2023179662A1 (zh) * | 2022-03-24 | 2023-09-28 | 高景太阳能股份有限公司 | 一种硅片切割中砂浆喷射控制方法及控制系统 |
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