JPH10296719A - ワイヤソーおよびそのインゴット切断方法 - Google Patents
ワイヤソーおよびそのインゴット切断方法Info
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- JPH10296719A JPH10296719A JP9123087A JP12308797A JPH10296719A JP H10296719 A JPH10296719 A JP H10296719A JP 9123087 A JP9123087 A JP 9123087A JP 12308797 A JP12308797 A JP 12308797A JP H10296719 A JPH10296719 A JP H10296719A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 後工程でのウェーハ洗浄を容易にし、かつ
比較的洗浄コストを安価とする。また、インゴット洗浄
時のウェーハの損傷を防ぐ。 【解決手段】 切断手段１３により、走行中のワイヤ列
１１にインゴット１６を相対的に押し付けてウェーハ１
６Ａに切断する。インゴット切断直後、低粘度油ｂを圧
縮空気供給手段１９からの圧縮空気ｃの圧力によりイン
ゴット１６の切断溝１６ａへ噴出する。この結果、スラ
リー状の砥液ａを接着剤としてウェーハ１６Ａ間に付着
した砥粒や切り粉が吹き飛ばされる。これにより、切断
直後のインゴット１６に付着する砥粒量が減少し、後工
程でのウェーハ１６Ａ洗浄が容易になる。また、洗浄後
の低粘度油ｂは砥液ａ用の油として再利用できるので、
このように洗浄力の大きな洗浄が、比較的低コストで実
用化できる。
比較的洗浄コストを安価とする。また、インゴット洗浄
時のウェーハの損傷を防ぐ。 【解決手段】 切断手段１３により、走行中のワイヤ列
１１にインゴット１６を相対的に押し付けてウェーハ１
６Ａに切断する。インゴット切断直後、低粘度油ｂを圧
縮空気供給手段１９からの圧縮空気ｃの圧力によりイン
ゴット１６の切断溝１６ａへ噴出する。この結果、スラ
リー状の砥液ａを接着剤としてウェーハ１６Ａ間に付着
した砥粒や切り粉が吹き飛ばされる。これにより、切断
直後のインゴット１６に付着する砥粒量が減少し、後工
程でのウェーハ１６Ａ洗浄が容易になる。また、洗浄後
の低粘度油ｂは砥液ａ用の油として再利用できるので、
このように洗浄力の大きな洗浄が、比較的低コストで実
用化できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明はワイヤソーおよび
そのインゴット切断方法、詳しくは切断直後のインゴッ
ト（ウェーハ）に付着している砥粒量が少なくて、後工
程におけるウェーハ洗浄が容易であり、しかも切断直後
の洗浄工程の低コスト化が図れるワイヤソーおよびその
インゴット切断方法に関する。
そのインゴット切断方法、詳しくは切断直後のインゴッ
ト（ウェーハ）に付着している砥粒量が少なくて、後工
程におけるウェーハ洗浄が容易であり、しかも切断直後
の洗浄工程の低コスト化が図れるワイヤソーおよびその
インゴット切断方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤソーは、ラッピングオイルに遊離
砥粒を混入したスラリー状の砥液を、単結晶シリコン製
などのインゴットにかけながら、例えば走行するワイヤ
列にインゴットを相対的に押し付けて、研削作用により
多数枚のウェーハに切断する装置である。そして、この
切断直後のウェーハ間には、切り粉を含む砥粒が多量に
付着しており、洗浄負荷が高い。また、ある種のワイヤ
ソーでは、後工程のウェーハ洗浄が簡単になるように、
切断直後、切断溝に残った切り粉を含む砥粒を洗い流し
ている。従来、この切断直後の洗浄に使用される洗い油
としては、砥粒を含まない低粘度の油、例えば灯油が知
られている。
砥粒を混入したスラリー状の砥液を、単結晶シリコン製
などのインゴットにかけながら、例えば走行するワイヤ
列にインゴットを相対的に押し付けて、研削作用により
多数枚のウェーハに切断する装置である。そして、この
切断直後のウェーハ間には、切り粉を含む砥粒が多量に
付着しており、洗浄負荷が高い。また、ある種のワイヤ
ソーでは、後工程のウェーハ洗浄が簡単になるように、
切断直後、切断溝に残った切り粉を含む砥粒を洗い流し
ている。従来、この切断直後の洗浄に使用される洗い油
としては、砥粒を含まない低粘度の油、例えば灯油が知
られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、洗浄専
用の低粘度の灯油類を利用した場合には、砥液として再
利用することができない洗い油を多量に使用することか
ら、コスト高になるという問題点があった。そこで、発
明者らは、鋭意研究を重ねた結果、比較的低粘度の砥液
用油を洗浄油に利用し、インゴット洗浄時には、この低
粘度油を例えば圧縮空気の圧力により切断直後の切断溝
へ例えば霧状に噴出すれば、高い洗浄効果が安価に得ら
れることを突き止め、この発明を完成させた。
用の低粘度の灯油類を利用した場合には、砥液として再
利用することができない洗い油を多量に使用することか
ら、コスト高になるという問題点があった。そこで、発
明者らは、鋭意研究を重ねた結果、比較的低粘度の砥液
用油を洗浄油に利用し、インゴット洗浄時には、この低
粘度油を例えば圧縮空気の圧力により切断直後の切断溝
へ例えば霧状に噴出すれば、高い洗浄効果が安価に得ら
れることを突き止め、この発明を完成させた。
【０００４】
【発明の目的】この発明は、切断直後のインゴットに付
着する砥粒量が少なく、後工程でのウェーハ洗浄が容易
で、かつ比較的洗浄コストが安価なワイヤソーおよびそ
のインゴット切断方法を提供することを、その目的とし
ている。また、この発明は、インゴット洗浄時における
ウェーハの損傷を防止できるワイヤソーのインゴット切
断方法を提供することも、その目的としている。
着する砥粒量が少なく、後工程でのウェーハ洗浄が容易
で、かつ比較的洗浄コストが安価なワイヤソーおよびそ
のインゴット切断方法を提供することを、その目的とし
ている。また、この発明は、インゴット洗浄時における
ウェーハの損傷を防止できるワイヤソーのインゴット切
断方法を提供することも、その目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、走行
するワイヤ列によりインゴットを切断する切断手段と、
砥液を貯留する砥液タンクと、この貯留された砥液をワ
イヤ列またはインゴット付近に供給する砥液供給手段と
を備えたワイヤソーであって、上記砥液用の低粘度油を
貯留する低粘度油タンクと、この貯留された低粘度油
を、切断直後の上記インゴットの切断溝へ向かって所定
速度で噴出する噴出手段と、上記砥液タンクに接続さ
れ、使用後の砥液および低粘度油を回収する回収手段と
を有するワイヤソーである。
するワイヤ列によりインゴットを切断する切断手段と、
砥液を貯留する砥液タンクと、この貯留された砥液をワ
イヤ列またはインゴット付近に供給する砥液供給手段と
を備えたワイヤソーであって、上記砥液用の低粘度油を
貯留する低粘度油タンクと、この貯留された低粘度油
を、切断直後の上記インゴットの切断溝へ向かって所定
速度で噴出する噴出手段と、上記砥液タンクに接続さ
れ、使用後の砥液および低粘度油を回収する回収手段と
を有するワイヤソーである。
【０００６】なお、この発明が適用されるワイヤソーに
は品種の限定がなく、例えばインゴットをワイヤ列に押
接して切断するものでも、反対にワイヤ列をインゴット
に押接して切断するものでもよい。また、ワイヤ列の上
部にインゴットが当接するものでも、ワイヤ列の下部に
押し当てられるものでもよい。さらに、ワイヤ列および
／またはインゴットを相対的に揺動させる機能を有する
ものでもよい。また、ここでいう切断手段は、ワイヤ列
を一方向へ走行させるだけでなく、ワイヤの長さ方向へ
往復動させるものをも含む。
は品種の限定がなく、例えばインゴットをワイヤ列に押
接して切断するものでも、反対にワイヤ列をインゴット
に押接して切断するものでもよい。また、ワイヤ列の上
部にインゴットが当接するものでも、ワイヤ列の下部に
押し当てられるものでもよい。さらに、ワイヤ列および
／またはインゴットを相対的に揺動させる機能を有する
ものでもよい。また、ここでいう切断手段は、ワイヤ列
を一方向へ走行させるだけでなく、ワイヤの長さ方向へ
往復動させるものをも含む。
【０００７】そして、砥液供給装置は、切断進行状態に
合わせて、自動的に砥液供給量を調整するものでも、手
動で砥液供給量を調整するものでもよい。この低粘度油
の運動粘性係数は、通常の砥液用の油より小さければよ
いが、１〜１００ｍＰａ・ｓ、特に１０ｍＰａ・ｓが好
ましい。１ｍＰａ・ｓ未満では、その組成変動によりス
ラリーの粘度が低下し、切断不良の原因となる。また、
１００ｍＰａ・ｓを超えると、脱砥粒効果が小さくな
る。
合わせて、自動的に砥液供給量を調整するものでも、手
動で砥液供給量を調整するものでもよい。この低粘度油
の運動粘性係数は、通常の砥液用の油より小さければよ
いが、１〜１００ｍＰａ・ｓ、特に１０ｍＰａ・ｓが好
ましい。１ｍＰａ・ｓ未満では、その組成変動によりス
ラリーの粘度が低下し、切断不良の原因となる。また、
１００ｍＰａ・ｓを超えると、脱砥粒効果が小さくな
る。
【０００８】請求項２に記載の発明は、砥液を供給しな
がらワイヤソーのワイヤ列によりインゴットを切断する
ワイヤソーのインゴット切断方法において、該インゴッ
トの切断直後、圧縮空気とともに、上記インゴットの切
断溝へ向かって砥液用の低粘度油を噴出して上記インゴ
ットを洗浄し、次いで洗浄後の低粘度油を回収し、それ
からこの回収された低粘度油を上記砥液用の油として再
利用するワイヤソーのインゴット切断方法である。
がらワイヤソーのワイヤ列によりインゴットを切断する
ワイヤソーのインゴット切断方法において、該インゴッ
トの切断直後、圧縮空気とともに、上記インゴットの切
断溝へ向かって砥液用の低粘度油を噴出して上記インゴ
ットを洗浄し、次いで洗浄後の低粘度油を回収し、それ
からこの回収された低粘度油を上記砥液用の油として再
利用するワイヤソーのインゴット切断方法である。
【０００９】請求項３に記載の発明は、上記インゴット
洗浄時には、切断直後の各ウェーハ間に上記ワイヤ列を
配置した状態で、上記インゴットの洗浄を行う請求項２
に記載のワイヤソーのインゴット切断方法である。
洗浄時には、切断直後の各ウェーハ間に上記ワイヤ列を
配置した状態で、上記インゴットの洗浄を行う請求項２
に記載のワイヤソーのインゴット切断方法である。
【００１０】
【作用】請求項１〜請求項３に記載のワイヤソーおよび
そのインゴット切断方法では、切断手段により走行する
ワイヤ列にインゴットを相対的に押し付けて、研削作用
によって、インゴットを多数枚のウェーハに切断する。
インゴット切断直後、比較的低粘度の砥液用油を、例え
ば圧縮空気の圧力により霧状にしてインゴットの切断溝
へ噴出すると、スラリー状の砥液を接着剤としてウェー
ハ間に付着した砥粒やインゴットの切り粉が溝外へ吹き
出される。この圧縮空気と低粘度油を併用した強力なイ
ンゴット洗浄により、切断直後のインゴットに付着する
砥粒量が減少し、後工程でのウェーハ洗浄が容易にな
る。また、洗浄後の油は、濾過せずにそのまま砥液用の
油として再利用できるので、このように洗浄力の大きな
洗浄が、比較的低コストで実用化できる。
そのインゴット切断方法では、切断手段により走行する
ワイヤ列にインゴットを相対的に押し付けて、研削作用
によって、インゴットを多数枚のウェーハに切断する。
インゴット切断直後、比較的低粘度の砥液用油を、例え
ば圧縮空気の圧力により霧状にしてインゴットの切断溝
へ噴出すると、スラリー状の砥液を接着剤としてウェー
ハ間に付着した砥粒やインゴットの切り粉が溝外へ吹き
出される。この圧縮空気と低粘度油を併用した強力なイ
ンゴット洗浄により、切断直後のインゴットに付着する
砥粒量が減少し、後工程でのウェーハ洗浄が容易にな
る。また、洗浄後の油は、濾過せずにそのまま砥液用の
油として再利用できるので、このように洗浄力の大きな
洗浄が、比較的低コストで実用化できる。
【００１１】特に、請求項３に記載のワイヤソーのイン
ゴット切断方法では、切断直後のインゴットの切断溝に
ワイヤ列を置いたままインゴットを洗浄するので、ウェ
ーハ間に残された１本１本のワイヤが、両側にあるウェ
ーハのスペーサとなって各ウェーハを支持し、インゴッ
ト洗浄時に高圧で低粘度油を噴出しても、この圧力によ
り各ウェーハはバタつき難く、これによりバタつきを原
因としたウェーハの損傷を防止できる。
ゴット切断方法では、切断直後のインゴットの切断溝に
ワイヤ列を置いたままインゴットを洗浄するので、ウェ
ーハ間に残された１本１本のワイヤが、両側にあるウェ
ーハのスペーサとなって各ウェーハを支持し、インゴッ
ト洗浄時に高圧で低粘度油を噴出しても、この圧力によ
り各ウェーハはバタつき難く、これによりバタつきを原
因としたウェーハの損傷を防止できる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施例を図面を
参照して説明する。図１はこの発明の第１の実施例に係
るワイヤソーを示す模式図、図２は同インゴット洗浄作
業状態を示す要部拡大斜視図である。図１において、１
０はワイヤソーであり、このワイヤソー１０は、多数本
のワイヤからなるワイヤ列１１と、砥液ａをワイヤ列１
１へ供給する砥液供給装置１２と、ワイヤ列１１を往復
走行させてインゴット１６を切断する切断手段１３と、
これら砥液供給装置１２、切断手段１３の動作を制御す
る制御部１４とを備えている。
参照して説明する。図１はこの発明の第１の実施例に係
るワイヤソーを示す模式図、図２は同インゴット洗浄作
業状態を示す要部拡大斜視図である。図１において、１
０はワイヤソーであり、このワイヤソー１０は、多数本
のワイヤからなるワイヤ列１１と、砥液ａをワイヤ列１
１へ供給する砥液供給装置１２と、ワイヤ列１１を往復
走行させてインゴット１６を切断する切断手段１３と、
これら砥液供給装置１２、切断手段１３の動作を制御す
る制御部１４とを備えている。
【００１３】図１および図２に示すように、砥液供給装
置１２は、砥液ａを貯留する砥液タンク１５と、この貯
留された砥液ａを、インゴット１６付近に供給する砥液
供給手段１７と、砥液ａ用の低粘度油ｂを貯留する低粘
度油タンク１８と、この貯留された低粘度油ｂを、圧縮
空気供給手段１９からの圧縮空気ｃとともに、切断直後
のインゴット１６の切断溝１６ａへ噴出する噴出手段２
０と、砥液タンク１５に連結されて、供給された砥液ａ
および低粘度油ｂを回収する回収手段の一例である回収
槽２１と、砥液タンク１５の下流に設けられた砥液供給
ポンプ２３とを有している。２２は回収槽２１に設けら
れた網であり、この網２２で砥液ａに含まれるインゴッ
ト１６の切り粉などを除去する。
置１２は、砥液ａを貯留する砥液タンク１５と、この貯
留された砥液ａを、インゴット１６付近に供給する砥液
供給手段１７と、砥液ａ用の低粘度油ｂを貯留する低粘
度油タンク１８と、この貯留された低粘度油ｂを、圧縮
空気供給手段１９からの圧縮空気ｃとともに、切断直後
のインゴット１６の切断溝１６ａへ噴出する噴出手段２
０と、砥液タンク１５に連結されて、供給された砥液ａ
および低粘度油ｂを回収する回収手段の一例である回収
槽２１と、砥液タンク１５の下流に設けられた砥液供給
ポンプ２３とを有している。２２は回収槽２１に設けら
れた網であり、この網２２で砥液ａに含まれるインゴッ
ト１６の切り粉などを除去する。
【００１４】砥液供給手段１７は、砥液供給ポンプ２３
により、砥液タンク１５の砥液ａを、一対の砥液供給ノ
ズル２５を介して、インゴット１６の両側のワイヤ列１
１上に乗せるように供給する。噴出手段２０は、低粘度
油タンク１８下流に配置された低粘度油ポンプ２６によ
り、低粘度油タンク１８内の低粘度油ｂを、一対の低粘
度油ノズル２７へ供給し、この供給された低粘度油ｂ
を、圧縮空気供給手段１９からの圧縮空気により、イン
ゴット１６の切断溝１６ａへ噴出する。なお、各低粘度
油ノズル２７は、インゴット１６の軸線に沿って延びる
筒体であり、このインゴット１６側の周面に、同じく軸
線方向へ延びるスリット状の噴出口２７ａが形成されて
いる。切断手段１３は、逆三角形状に配置された３個の
溝ローラ２８と、いずれかの溝ローラ２８の回転軸に連
結された図外の往復動モータとを有している。これらの
溝ローラ２８には、一括してワイヤ列１１が架けわたさ
れている。
により、砥液タンク１５の砥液ａを、一対の砥液供給ノ
ズル２５を介して、インゴット１６の両側のワイヤ列１
１上に乗せるように供給する。噴出手段２０は、低粘度
油タンク１８下流に配置された低粘度油ポンプ２６によ
り、低粘度油タンク１８内の低粘度油ｂを、一対の低粘
度油ノズル２７へ供給し、この供給された低粘度油ｂ
を、圧縮空気供給手段１９からの圧縮空気により、イン
ゴット１６の切断溝１６ａへ噴出する。なお、各低粘度
油ノズル２７は、インゴット１６の軸線に沿って延びる
筒体であり、このインゴット１６側の周面に、同じく軸
線方向へ延びるスリット状の噴出口２７ａが形成されて
いる。切断手段１３は、逆三角形状に配置された３個の
溝ローラ２８と、いずれかの溝ローラ２８の回転軸に連
結された図外の往復動モータとを有している。これらの
溝ローラ２８には、一括してワイヤ列１１が架けわたさ
れている。
【００１５】制御部１４は、主に、圧縮空気供給手段１
９を用いた圧縮空気ｃの供給制御と、砥液供給ポンプ２
３を用いたワイヤ列１１上に乗せられる砥液ａの供給制
御と、低粘度油ポンプ２６を用いた低粘度油ｂの供給制
御とを行う。なお、制御部１４は、例えばコンピュータ
で構成されることができる。なお、図１、図２におい
て、２９はインゴット１６のカーボンベッドである。
９を用いた圧縮空気ｃの供給制御と、砥液供給ポンプ２
３を用いたワイヤ列１１上に乗せられる砥液ａの供給制
御と、低粘度油ポンプ２６を用いた低粘度油ｂの供給制
御とを行う。なお、制御部１４は、例えばコンピュータ
で構成されることができる。なお、図１、図２におい
て、２９はインゴット１６のカーボンベッドである。
【００１６】次に、この発明の第１の実施例に係るワイ
ヤソー１０の動作を説明する。図１に示すように、砥液
タンク１５内の砥液ａを、砥液供給ポンプ２３および各
砥液供給ノズル２５を介して、インゴット１６の両側の
ワイヤ列１１上に乗せる。この作業を連続的に行いなが
ら、切断手段１３によりワイヤ列１１を往復動させ、こ
の往復動中にインゴット１６をワイヤ列１１に押し付け
ることにより、多数枚のウェーハ１６Ａをインゴット１
６から切断する。切断に使用された後の砥液ａは、３本
の溝ローラ２８により、逆三角形を維持して回転するワ
イヤ列１１の下部から回収槽２１へ落下する。この際、
砥液ａは網２２によって切り粉などが除去される。その
後、砥液ａは砥液タンク１５に戻され、さらに、循環使
用される。
ヤソー１０の動作を説明する。図１に示すように、砥液
タンク１５内の砥液ａを、砥液供給ポンプ２３および各
砥液供給ノズル２５を介して、インゴット１６の両側の
ワイヤ列１１上に乗せる。この作業を連続的に行いなが
ら、切断手段１３によりワイヤ列１１を往復動させ、こ
の往復動中にインゴット１６をワイヤ列１１に押し付け
ることにより、多数枚のウェーハ１６Ａをインゴット１
６から切断する。切断に使用された後の砥液ａは、３本
の溝ローラ２８により、逆三角形を維持して回転するワ
イヤ列１１の下部から回収槽２１へ落下する。この際、
砥液ａは網２２によって切り粉などが除去される。その
後、砥液ａは砥液タンク１５に戻され、さらに、循環使
用される。
【００１７】インゴット１６の切断が終了すると、イン
ゴット１６はワイヤ列１１の上方へ引き上げられる。そ
の直後、制御部１４からの指令により、砥液ａの供給側
のポンプ２３が停止する一方、圧縮空気供給手段１９お
よび低粘度油ポンプ２６が作動して、低粘度油タンク１
８から各低粘度油ノズル２７まで供給された低粘度油ｂ
を、圧縮空気供給手段１９からの圧縮空気の圧力でもっ
て霧状にして、インゴット１６の各切断溝１６ａに噴出
する。なお、必ずしも霧状で噴出する必要はない。これ
により、スラリー状で高粘度の砥液ａが接着剤の役目を
果すことにより、ウェーハ１６Ａ間に付着した砥粒やイ
ンゴットの切り粉が、切断溝１６ａの外へ吹き飛ばされ
る。この圧縮空気と低粘度油を併用した強力なインゴッ
ト洗浄により、切断後のインゴット１６に付着する砥粒
量が減少し、後工程でのウェーハ１６Ａの洗浄が容易に
なる。また、洗浄後の低粘度油ｂは、網２２により濾過
されて砥液タンク１５へ送られ、その後、砥液ａとして
再利用される。これにより、洗浄力の大きなインゴット
１６の洗浄が、比較的低コスト化できる。
ゴット１６はワイヤ列１１の上方へ引き上げられる。そ
の直後、制御部１４からの指令により、砥液ａの供給側
のポンプ２３が停止する一方、圧縮空気供給手段１９お
よび低粘度油ポンプ２６が作動して、低粘度油タンク１
８から各低粘度油ノズル２７まで供給された低粘度油ｂ
を、圧縮空気供給手段１９からの圧縮空気の圧力でもっ
て霧状にして、インゴット１６の各切断溝１６ａに噴出
する。なお、必ずしも霧状で噴出する必要はない。これ
により、スラリー状で高粘度の砥液ａが接着剤の役目を
果すことにより、ウェーハ１６Ａ間に付着した砥粒やイ
ンゴットの切り粉が、切断溝１６ａの外へ吹き飛ばされ
る。この圧縮空気と低粘度油を併用した強力なインゴッ
ト洗浄により、切断後のインゴット１６に付着する砥粒
量が減少し、後工程でのウェーハ１６Ａの洗浄が容易に
なる。また、洗浄後の低粘度油ｂは、網２２により濾過
されて砥液タンク１５へ送られ、その後、砥液ａとして
再利用される。これにより、洗浄力の大きなインゴット
１６の洗浄が、比較的低コスト化できる。
【００１８】次に、図３に基づいて、この発明の第２の
実施例に係るワイヤソーおよびそのインゴット切断方法
を説明する。図３は、この発明の第２の実施例に係るワ
イヤソーによりインゴット洗浄する直前の状態を示す要
部拡大図である。図３において、３０は第２の実施例の
ワイヤソーであり、このワイヤソー３０は、切断直後の
インゴット１６の切断溝１６ａよりワイヤ列１１を抜き
取らずに、各ウェーハ１６Ａ間にワイヤ列１１を残した
ままインゴット１６を洗浄するものである。この場合、
各ワイヤ１１ａは図３に示すようにウェーハ１６Ａの下
端部間に位置している。よって、このとき、各切断溝１
６ａは、最大の幅（間隔）を形成している。
実施例に係るワイヤソーおよびそのインゴット切断方法
を説明する。図３は、この発明の第２の実施例に係るワ
イヤソーによりインゴット洗浄する直前の状態を示す要
部拡大図である。図３において、３０は第２の実施例の
ワイヤソーであり、このワイヤソー３０は、切断直後の
インゴット１６の切断溝１６ａよりワイヤ列１１を抜き
取らずに、各ウェーハ１６Ａ間にワイヤ列１１を残した
ままインゴット１６を洗浄するものである。この場合、
各ワイヤ１１ａは図３に示すようにウェーハ１６Ａの下
端部間に位置している。よって、このとき、各切断溝１
６ａは、最大の幅（間隔）を形成している。
【００１９】ウェーハ１６Ａ間に残された１本１本のワ
イヤ１１ａが、両側にあるウェーハ１６Ａ間のスペーサ
となって各ウェーハ１６Ａを支持する。このため、洗浄
時に高圧で低粘度油ｂを噴出しても、各ウェーハ１６Ａ
はバタつきが起き難くなる。これにより、このバタつき
を原因としたウェーハ１６Ａの損傷を防止できる。ま
た、各切断溝１６ａに低粘度油ｂがスムースに供給さ
れ、各切断溝１６ａから砥粒、切り粉等が効率よく排除
される。なお、その他の構成および作用は第１の実施例
と同様であるので、説明を省略する。この発明はこの実
施例に限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲
での設計変更などがあっても、これらはこの発明に含ま
れる。
イヤ１１ａが、両側にあるウェーハ１６Ａ間のスペーサ
となって各ウェーハ１６Ａを支持する。このため、洗浄
時に高圧で低粘度油ｂを噴出しても、各ウェーハ１６Ａ
はバタつきが起き難くなる。これにより、このバタつき
を原因としたウェーハ１６Ａの損傷を防止できる。ま
た、各切断溝１６ａに低粘度油ｂがスムースに供給さ
れ、各切断溝１６ａから砥粒、切り粉等が効率よく排除
される。なお、その他の構成および作用は第１の実施例
と同様であるので、説明を省略する。この発明はこの実
施例に限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲
での設計変更などがあっても、これらはこの発明に含ま
れる。
【００２０】
【発明の効果】以上説明してきたように、この発明に係
るワイヤソーおよびそのインゴット切断方法では、イン
ゴット切断直後、砥液用の低粘度油を圧縮空気により切
断溝へ噴出するようにしたので、切断溝内に残った砥粒
やインゴットの切り粉を強制的に溝外へ吹き飛ばす。こ
れにより、切断直後のインゴットに付着する砥粒量を減
少でき、後工程のウェーハ洗浄が容易になる。また、洗
浄後の低粘度油は、砥液用の油として再利用できるの
で、低コスト化も図れる。
るワイヤソーおよびそのインゴット切断方法では、イン
ゴット切断直後、砥液用の低粘度油を圧縮空気により切
断溝へ噴出するようにしたので、切断溝内に残った砥粒
やインゴットの切り粉を強制的に溝外へ吹き飛ばす。こ
れにより、切断直後のインゴットに付着する砥粒量を減
少でき、後工程のウェーハ洗浄が容易になる。また、洗
浄後の低粘度油は、砥液用の油として再利用できるの
で、低コスト化も図れる。
【００２１】特に、請求項３に記載のワイヤソーのイン
ゴット切断方法では、切断直後に、各ウェーハ間にワイ
ヤ列を残したままインゴットを洗浄するようにしたの
で、ウェーハ間に残った各ワイヤが、ウェーハのスペー
サの役目を果たし、その後、高圧で低粘度油を噴出した
ときに、各ウェーハのバタつきが抑えられ、このバタつ
きを原因としたウェーハの損傷を防止できる。
ゴット切断方法では、切断直後に、各ウェーハ間にワイ
ヤ列を残したままインゴットを洗浄するようにしたの
で、ウェーハ間に残った各ワイヤが、ウェーハのスペー
サの役目を果たし、その後、高圧で低粘度油を噴出した
ときに、各ウェーハのバタつきが抑えられ、このバタつ
きを原因としたウェーハの損傷を防止できる。
【図１】この発明の第１の実施例に係るワイヤソーを示
す模式図である。
す模式図である。
【図２】この発明の第１の実施例に係るワイヤソーでの
インゴット洗浄作業状態を示す要部拡大斜視図である。
インゴット洗浄作業状態を示す要部拡大斜視図である。
【図３】この発明の第２の実施例に係るワイヤソーによ
りインゴット洗浄する直前の状態を示す要部拡大図であ
る。
りインゴット洗浄する直前の状態を示す要部拡大図であ
る。
１０、３０ ワイヤソー、 １１ ワイヤ列、 １２ 砥液供給装置、 １３ 切断手段、 １５ 砥液タンク、 １６ インゴット、 １７ 砥液供給手段、 １８ 低粘度油タンク、 １９ 圧縮空気供給手段、 ２０ 噴出手段、 ２１ 回収手段、 ａ 砥液、 ｂ 低粘度油、 ｃ 圧縮空気。
Claims (3)
- 【請求項１】 走行するワイヤ列によりインゴットを切
断する切断手段と、砥液を貯留する砥液タンクと、この
貯留された砥液をワイヤ列またはインゴット付近に供給
する砥液供給手段とを備えたワイヤソーであって、 上記砥液用の低粘度油を貯留する低粘度油タンクと、 この貯留された低粘度油を、切断直後の上記インゴット
の切断溝へ向かって所定速度で噴出する噴出手段と、 上記砥液タンクに接続され、使用後の砥液および低粘度
油を回収する回収手段とを有するワイヤソー。 - 【請求項２】 砥液を供給しながらワイヤソーのワイヤ
列によりインゴットを切断するワイヤソーのインゴット
切断方法において、 該インゴットの切断直後、圧縮空気とともに、上記イン
ゴットの切断溝へ向かって砥液用の低粘度油を噴出して
上記インゴットを洗浄し、次いで洗浄後の低粘度油を回
収し、それからこの回収された低粘度油を上記砥液用の
油として再利用するワイヤソーのインゴット切断方法。 - 【請求項３】 上記インゴット洗浄時には、切断直後の
各ウェーハ間に上記ワイヤ列を配置した状態で、上記イ
ンゴットの洗浄を行う請求項２に記載のワイヤソーのイ
ンゴット切断方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12308797A JP3672147B2 (ja) | 1997-04-25 | 1997-04-25 | ワイヤソーを用いたインゴット切断方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12308797A JP3672147B2 (ja) | 1997-04-25 | 1997-04-25 | ワイヤソーを用いたインゴット切断方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10296719A true JPH10296719A (ja) | 1998-11-10 |
| JP3672147B2 JP3672147B2 (ja) | 2005-07-13 |
Family
ID=14851893
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12308797A Expired - Fee Related JP3672147B2 (ja) | 1997-04-25 | 1997-04-25 | ワイヤソーを用いたインゴット切断方法 |
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|---|---|
| JP (1) | JP3672147B2 (ja) |
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6381830B1 (en) | 1998-09-01 | 2002-05-07 | Sumitomo Special Metals Co., Ltd. | Method for cutting rare earth alloy, method for manufacturing rare earth alloy plates and method for manufacturing rare earth alloy magnets using wire saw, and voice coil motor |
| US6408840B2 (en) | 1999-12-14 | 2002-06-25 | Sumitomo Special Metals Co., Ltd. | Method and apparatus for cutting a rare earth alloy |
| WO2011086170A1 (de) * | 2010-01-15 | 2011-07-21 | Wolfgang Coenen | Verfahren und vorrichtung zum bereitstellen von wafern sowie verwendung derselben |
| CN102528945A (zh) * | 2012-01-17 | 2012-07-04 | 上海富春建业科技股份有限公司 | 切割机空压系统、其控制方法及用途 |
| CN102528955A (zh) * | 2010-12-31 | 2012-07-04 | 微钻石线材设备有限公司 | 钻石线的切割冷却装置 |
| CN104441285A (zh) * | 2014-11-17 | 2015-03-25 | 福州天石源超硬材料工具有限公司 | 小型卧式环形金刚石线切割机 |
| CN104827594A (zh) * | 2015-06-11 | 2015-08-12 | 河南鸿昌电子有限公司 | 可浇注粘合剂的线切割机 |
| JP2015147293A (ja) * | 2014-01-09 | 2015-08-20 | 株式会社コベルコ科研 | 被加工物の切断方法 |
| WO2016200003A1 (ko) * | 2015-06-08 | 2016-12-15 | 주식회사 엘지실트론 | 잉곳 절단 장치 |
| CN107538632A (zh) * | 2016-06-24 | 2018-01-05 | 上海新昇半导体科技有限公司 | 一种线切割砂浆供应系统及方法 |
| CN108247878A (zh) * | 2018-02-07 | 2018-07-06 | 湖南宇晶机器股份有限公司 | 带辅助上下料结构的多线切割机工作台 |
| KR20210065009A (ko) * | 2019-11-26 | 2021-06-03 | 주식회사 이건 | 친환경적 와이어 집진 장치 |
| CN114434664A (zh) * | 2022-03-07 | 2022-05-06 | 广东高景太阳能科技有限公司 | 一种降低硅棒切割跳线率的装置及切割方法 |
| CN115107178A (zh) * | 2022-07-30 | 2022-09-27 | 西安奕斯伟材料科技有限公司 | 一种线切割机的晶棒固定装置 |
| CN116618358A (zh) * | 2023-05-23 | 2023-08-22 | 麦斯克电子材料股份有限公司 | 一种砂线切割12吋半导体硅片的清洗装置和方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102704357B1 (ko) * | 2022-11-10 | 2024-09-09 | 에스케이실트론 주식회사 | 분사 세정 장치 및 이를 구비한 절단 웨이퍼 세정 장치 |
-
1997
- 1997-04-25 JP JP12308797A patent/JP3672147B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| US6505394B2 (en) | 1998-09-01 | 2003-01-14 | Sumitomo Special Metals Co., Ltd. | Method for cutting rare earth alloy, method for manufacturing rare earth alloy plates and method for manufacturing rare earth alloy magnets using wire saw, and voice coil motor |
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| WO2016200003A1 (ko) * | 2015-06-08 | 2016-12-15 | 주식회사 엘지실트론 | 잉곳 절단 장치 |
| KR20160144171A (ko) * | 2015-06-08 | 2016-12-16 | 주식회사 엘지실트론 | 잉곳 절단 장치 |
| US10377056B2 (en) | 2015-06-08 | 2019-08-13 | Sk Siltron Co., Ltd. | Ingot slicing apparatus |
| CN104827594A (zh) * | 2015-06-11 | 2015-08-12 | 河南鸿昌电子有限公司 | 可浇注粘合剂的线切割机 |
| CN107538632A (zh) * | 2016-06-24 | 2018-01-05 | 上海新昇半导体科技有限公司 | 一种线切割砂浆供应系统及方法 |
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| KR20210065009A (ko) * | 2019-11-26 | 2021-06-03 | 주식회사 이건 | 친환경적 와이어 집진 장치 |
| CN114434664A (zh) * | 2022-03-07 | 2022-05-06 | 广东高景太阳能科技有限公司 | 一种降低硅棒切割跳线率的装置及切割方法 |
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| CN116618358A (zh) * | 2023-05-23 | 2023-08-22 | 麦斯克电子材料股份有限公司 | 一种砂线切割12吋半导体硅片的清洗装置和方法 |
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|---|---|
| JP3672147B2 (ja) | 2005-07-13 |
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