JPH10296986A - インクジェット記録ヘッドの製造方法およびインクジェット記録ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 記録ヘッドのオリフィス等をレーザ加工によ
って形成する際に生じる付着生成物を良好に除去する。 【解決手段】 レーザにより加工されるオリフィス等よ
り小さなサイズの微粒子をノズル７から加工物である天
板５およびオリフィスプレート６に噴射して付着生成物
の除去を行う。この際、用いる微粒子の材質を水酸化ア
ルミニウムとし、また、噴射量を比較的小さなものとす
ることにより、天板等に付着した生成物を除去できると
ともに、天板等の表面や形状を損なわないようにするこ
とができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は一般にインクと呼ば
れる記録液を微細な吐出口から吐出するインクジェット
記録ヘッドの製造方法及びその製造方法によって製造さ
れたインクジェット記録ヘッドに関し、詳しくは記録ヘ
ッドを形成する樹脂にレーザ光を照射して加工をおこな
うアブレーションや、成膜、その他の加工などの際に被
加工部材の表面に付着した汚染物質（副生成物）を除去
する方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、インクジェット記録装置にお
けるインク吐出方式として、電気機械変換体を用いたも
の、また電界中にインク滴を飛翔させるとともにこの電
界を変化させることにより選択的に液滴を偏向して吐出
させるもの等、種々の吐出方式が知られている。

【０００３】これらの中でも、熱エネルギーを利用して
記録液を吐出する方式のインクジェット記録ヘッドは、
記録用の液滴を吐出して飛翔用液滴を形成するための液
体吐出部（吐出口）を高密度に配列することができ、高
解像力の記録をすることが可能であるほか、全体的にコ
ンパクト化も容易であるなど種々の利点を有しており、
広く実用化されている。

【０００４】図１はこの方式のインクジェット記録ヘッ
ドの構成を示す斜視図である。また、図２は、この記録
ヘッドの流路を形成する前の、液室２０とオリフィス面
（以下オリフィスプレート）６を一体成形した天板を示
す模式的斜視図である。

【０００５】記録ヘッド製造において図２に示す天板の
部分１９にエキシマレーザ光を照射して流路（不図示）
を形成した後、オリフィスプレート部６に流路と連通す
るようにエキシマレーザ光を照射して穴明け加工をする
ことで、吐出口（以下オリフィス）を形成する。このよ
うにオリフィス等の加工は、エキシマレーザ光による加
工が一般的である。

【０００６】エキシマレーザの構成を図３に示す。同図
において、１はレーザ光発振装置、２はレーザ光発振装
置から発振されたレーザビーム、３はレーザビームを集
光するためのレンズ、４はオリフィスのパターンのすべ
て、あるいは一部を有したマスク、６は樹脂により一体
成形された天板のオリフィスプレートの部分、５は天板
である。

【０００７】ところで、従来のレーザ加工では、樹脂か
らなる被加工物がレーザ光によるアブレーションで分解
除去される際に生ずる炭素あるいは炭化物からなると思
われる微小破片が流路周辺や吐出口周辺部に付着堆積す
る現象が知られている。そのため、従来はヘリウムガス
を吹き付けながらレーザ光で流路加工及びオリフィス加
工をすることにより、上述のような微小破片が吐出口周
辺等に付着することを防止していた。このような従来の
構成については、例えば特開平４−２７９３５７号公報
に記載されている。しかしながら、このようなヘリウム
ガスの吹き付けを伴うレーザ加工は付着物を完全に除去
することは困難であるという問題がある。

【０００８】一方、上記微小破片が付着する場合には、
付着堆積物の厚さは、甚だしい場合は数μｍに及び、設
計寸法公差の点からも無視し得ない寸法になる。そし
て、この付着堆積物の量はレーザ光照射部のパワー密度
分布やパワーの増減、パルス幅等によって変化するの
で、その量を制御することは困難であることが多い。

【０００９】一方、近年のインクジェット記録装置では
高画質化の要求に応えるため、その一構成として、画像
の解像度を上げるため吐出口及び流路をより高密度な配
置としそれに伴い、吐出口や流路のサイズを、より微細
化することが必要となりつつある。そのため、上記のよ
うな付着堆積物が存在するとその存在による影響は相対
的に大きなものとなり、その偏在による流路寸法のばら
つきや、吐出方向のばらつき、また、不吐出等がより重
大な問題となる。

【００１０】これに対し、付着物を除去する方法として
ブラスト加工による方法が考えられる。ブラスト加工
は、サンド（硅砂）やその他、粒子径が数１０μｍから
１００μｍ程度の粒子を圧縮空気を用いて被加工物に噴
射しその衝撃力で被加工物を削り取ったり、被加工物の
表面に付着したスケールや塗料等を選択的に除去したり
する方法である。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ブラスト加工機は加工量を制御しにくいため高精度の加
工には実用上、用いることが出来なかった。

【００１２】また、本発明が対称とするインクジェット
記録ヘッドでは数１０μｍ程度以下のサイズの流路や吐
出口における付着物を問題にしているので、付着物の除
去を良好に行なうには少なくとも数１０μｍ程度以下、
望ましくは数μｍ程度以下の粒子を用いることが必要と
なる。

【００１３】さらには、従来のブラスト加工機は、本来
的に被加工物を削り取るよう構成されているため、レー
ザ加工に伴って生じる付着物の除去にそのまま用いるこ
とができないという問題もある。

【００１４】本発明は上記問題点を解消するためになさ
れたものであり、その目的とするところは、レーザ加工
による付着物を良好に除去できるインクジェット記録ヘ
ッドの製造方法およびインクジェット記録ヘッドを提供
することにある。

【００１５】

【課題を解決するための手段】そのために本発明では、
インクを吐出するインクジェット記録ヘッドの製造方法
において、インクジェット記録ヘッドを形成する部材の
所定の形状をレーザにより加工し、該加工により形成さ
れる所定の形状のサイズより小さなサイズの粒子を前記
部材に対して噴射することにより、前記加工によって当
該部材に付着した物質を除去する、ステップを有したこ
とを特徴とする。

【００１６】好ましくは、前記粒子は水酸化アルミニウ
ムからなることを特徴とする。

【００１７】または前記粒子はポリスチレンからなるこ
とを特徴とする。

【００１８】また、インクを吐出するインクジェット記
録ヘッドにおいて、インクを吐出するためのオリフィス
および該オリフィスに連通する液路用溝であって、レー
ザを用いて形成されたオリフィスおよび液路用溝を具
え、前記レーザによるオリフィスおよび液路用溝の形成
の後、該オリフィスおよび液路用溝それぞれのサイズよ
り小さなサイズの粒子が噴射されて、前記レーザの加工
により当該オリフィスおよび液路用溝に付着した物質を
除去されたことを特徴とする。

【００１９】以上の構成によれば、インクジェット記録
ヘッドの例えばオリフィス等、所定の形状をレーザによ
り形成する場合、そのレーザ加工によってオリフィス等
に付着する物質をオリフィス等のサイズより小さなサイ
ズの粒子を噴射して除去するので、粒子を付着物質に適
切に当てることができこの物質を良好に除去できる。

【００２０】また、粒子の材質を水酸化アルミニウム等
とするので、上記物質の除去に際して記録ヘッドの部材
に損傷を与えることを防止できる。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の一
実施形態を詳細に説明する。

【００２２】図１は本発明の一実施形態に係わるインク
ジェットカートリッジを示す外観斜視図であり、記録ヘ
ッドとインクタンクを一体とし、装置に対して交換可能
なものである。

【００２３】図１に示すインクジェット記録ヘッドは、
インク流路および共通液室を構成するための凹部（以
下、溝ともいう）、さらにはオリフィスプレート６を一
体に形成した天板と、インク吐出に利用されるエネルギ
ーを発生するための電気熱変換体（以下、吐出ヒータと
もいう）およびこれに電気信号を供給するためのＡｌ配
線とが、成膜技術によってＳｉ基板上に形成された基板
（以下、ヒータボードともいう）とを接合することによ
ってその主要部が構成される。

【００２４】図中３００は上記基板を接合して記録ヘッ
ドの構造部材をなすベース板であり、また、３００は、
記録ヘッドとインクタンクとの間でインク供給のために
介在するインク供給部である。また、１０００はカート
リッジ本体であり、カートリッジ本体内部にはインクタ
ンクが内蔵され、インク供給部６００を介して記録ヘッ
ドに適時インクを供給することができる。

【００２５】図４（Ａ）および（Ｂ）は上述したヒータ
ボードのそれぞれ平面図およびその部分拡大図である。

【００２６】同図（Ａ）において１０１はヒータボード
の基体、１０３は複数の吐出ヒータが配列する吐出ヒー
タ部である。１０４は端子であり、ワイヤボンディング
により別体の回路基板端子と接続される。１０２は温度
センサーであり、吐出ヒータ部１０３等と同じ成膜プロ
セスにより形成される。同図（Ｂ）において、１８およ
び１０６はそれぞれ、吐出ヒータおよび配線である。ま
た、１０８はヘッド内のインクを加熱するための保温ヒ
ータである。

【００２７】一方、記録ヘッドの天板は耐インク性に優
れたポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリフ
ェニレンオキサイト等の樹脂を用い、オリフィスプレー
トと共に金型内で一体に同時成形され図２に示す天板を
得ることができる。

【００２８】このように成形された天板は、洗浄された
後、撥水処理が行われる。撥水剤の塗布は吸収体である
ベルイータ・Ｆメッシュ（鐘紡（株）製）を所定の大き
さにカットし、その吸収体を撥水処理剤に浸漬して引き
上げ、それを洗浄した溝付き天板の吐出口形成面に押し
つけながら移動させることにより行う。撥水処理剤はサ
イトップＣＴＸ−ＣＺ５Ａ（旭硝子（株）製）を用い
る。撥水剤の塗布が完了した溝付き天板は、１５０℃の
オーブン中で５時間、熱乾燥、硬化され、その後徐冷
し、８０℃以下でオーブンから取り出される。

【００２９】次に、本実施形態のインク流路溝やオリフ
ィスの形成方法を説明する。

【００３０】図３は、以上のようにして得られた天板５
と一体に形成されたオリフィスプレート６にエキシマレ
ーザを照射してインク流路およびオリフィスの加工を行
う様子を示す模式図である。

【００３１】図３において、１はＫrfエキシマレーザを
発振するレーザ光発振装置、２はレーザ光発振装置１か
ら発振される波長２４８ｎｍ、パルス幅約１５ｎｓｅｃ
のパルスレーザビーム、３はレーザビーム２を集光する
ための合成石英レンズ、４はレーザビーム２に対して遮
蔽可能なクロムを蒸着した投影マスクであり、ワーク面
上でインク流路溝幅が３５μｍ、非溝部の幅が７．５μ
ｍになるようなパターンが設けられている。１パルスあ
たり０．７Ｊ／ｃｍ² のエネルギー密度で３６０パルス
照射することにより溝の深さ３０μｍが得られた。

【００３２】このようにしてインク流路を加工した後、
天板５を９０度回転させて、天板と一体に形成されたオ
リフィスプレートにインク流路側から同様にエキシマレ
ーザビームを照射してオリフィス加工を行う。エキシマ
レーザビームのパワー密度は、０．７Ｊ／ｃｍ² でオリ
フィスの加工を行う。このようにして、直径２０μｍ、
ピッチ４２．５μｍのオリフィスを得ることができる。

【００３３】以上のようにエキシマレーザで流路溝や穴
加工を行なった加工表面を倍率２００倍の金属顕微鏡で
観察したところ、黒色の付着生成物が全面に堆積してい
ることを確認した。なお、付着生成物は炭化物が主体で
ある為に黒色であり、樹脂により形成される天板は透明
もしくはやや黄色みがかった色である為付着生成物は容
易に判別できる。

【００３４】次に、エキシマレーザで溝とオリフィスを
加工した際に発生した上述の付着生成物の除去を行な
う。

【００３５】除去装置としてはソニー（株）製のパウダ
ービーム加工機ＨＪ−２７００を用いた。本装置は乾燥
した高圧エアーで微粒子を常に分散化させながら噴射ノ
ズルに供給させる機構を持つ装置である。

【００３６】図５に示すように微粒子供給部１０は電子
天秤９上にあり、微粒子の減少速度を計測出来る。供給
部１０には、エアー用マスフローメータ１３、エアー用
レギュレータ１４およびエアー供給ライン１５を介して
エアーが供給され、この供給部１０へ送る高圧エアーの
流量を多くすると、噴射ノズル７に送られる微粒子の量
を増すことができる。微粒子が常に一定量減少するよう
に制御することで、６〜３０ｇ／ｍｉｎの任意の量をノ
ズル７に供給して噴射できる。供給部内の微粒子が減少
して重量が供給の下限に達すると、補給用バルブ１１が
自動的に開き補給ライン１７を介して微粒子が補給さ
れ、上限の重量で閉じる。このようにして、供給部１０
には自動的に微粒子が補給される。

【００３７】しかしながら、このような装置は本来的に
パウダービームにより切削加工することを目的とするも
のであり、本実施形態のように記録ヘッド加工に伴って
生じる付着物の除去にそのまま用いることはできない。
このため噴射する微粒子の材質、噴射量（供給量）等を
適切に定める必要がある。

【００３８】本実施形態では、上記図５に示す構成にお
いて、微粒子として、水酸化アルミニウムＡｌ（ＯＨ）
₃ の平均粒径４μｍのものを用いる。微粒子供給量は６
ｇ／ｍｉｎもしくはそれ以下とし、また、エア流量は３
００ｎｍ³ ／ｍｉｎ、噴射ノズル７とワーク間距離は２
５ｍｍとし、溝加工面及びオリフィスプレート面それぞ
れに対して噴射角度が４５°になるようにワークを傾け
てセットし、微粒子を噴射する。噴射ノズル７の口径は
１０ｍｍ×１．６ｍｍであり、必要加工長１５ｍｍ長さ
のワークの長手方向に対して１００ｍｍ／秒で４回スキ
ャンを行ないながら噴射する。その際、ノズル７の口径
の長手方向をワークの長手方向に沿うようにスキャンさ
せた。総加工時間は４秒、加工面に対する実質の噴射加
工時間は約０．１秒である。その後、軽くエアブローし
て微粒子を飛ばしてから、純水で超音波洗浄した後にス
ピンドライヤーで乾燥させる。

【００３９】因に、パウダービーム加工機を本来の切削
等に用いる場合の条件は、粒子としてＳｉＣ（炭化シリ
コン）の平均粒径７μｍのものを用いる。また、その供
給量は２０８ｇ／ｍｉｎ、ノズル口径２０ｍｍ×０．６
ｍｍである。

【００４０】微粒子の噴射加工を行なった加工表面を倍
率２００倍の金属顕微鏡で観察して、付着生成物の無い
ことを確認した。

【００４１】次に、加工面をＳＥＭ（走査型電子顕微
鏡）の倍率１０００倍で観察して付着生成物の除去され
た加工面の表面状態を観察した。その結果、表面は１μ
ｍ程度の凹凸を持った梨地状になっているものの、流路
溝の角部が丸くなったり形状が変形したりしていないこ
とが確認できた。また、微粒子の残留も見られなかっ
た。

【００４２】他の実施形態として、微粒子の材質として
ポリスチレンを用い同様な条件でこの微粒子を噴射させ
て付着生成物の除去を行うものでもよい。この場合も金
属顕微鏡で観察して、付着生成物の無いことを確認し
た。また、走査型電子顕微鏡を用いて付着生成物の除去
された加工面の表面状態を観察したところ、流路溝の角
部が丸くなったり形状が変形したりしていないことが確
認でき、さらに、微粒子の残留も見られなかった。

【００４３】（その他）なお、本発明は、特にインクジ
ェット記録方式の中でも、インク吐出を行わせるために
利用されるエネルギとして熱エネルギを発生する手段
（例えば電気熱変換体やレーザ光等）を備え、前記熱エ
ネルギによりインクの状態変化を生起させる方式の記録
ヘッド、記録装置において優れた効果をもたらすもので
ある。かかる方式によれば記録の高密度化，高精細化が
達成できるからである。

【００４４】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書，同第４７４０
７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式は所謂オンデマンド型，
コンティニュアス型のいずれにも適用可能であるが、特
に、オンデマンド型の場合には、液体（インク）が保持
されているシートや液路に対応して配置されている電気
熱変換体に、記録情報に対応していて核沸騰を越える急
速な温度上昇を与える少なくとも１つの駆動信号を印加
することによって、電気熱変換体に熱エネルギを発生せ
しめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさせて、結
果的にこの駆動信号に一対一で対応した液体（インク）
内の気泡を形成できるので有効である。この気泡の成
長，収縮により吐出用開口を介して液体（インク）を吐
出させて、少なくとも１つの滴を形成する。この駆動信
号をパルス形状とすると、即時適切に気泡の成長収縮が
行われるので、特に応答性に優れた液体（インク）の吐
出が達成でき、より好ましい。このパルス形状の駆動信
号としては、米国特許第４４６３３５９号明細書，同第
４３４５２６２号明細書に記載されているようなものが
適している。なお、上記熱作用面の温度上昇率に関する
発明の米国特許第４３１３１２４号明細書に記載されて
いる条件を採用すると、さらに優れた記録を行うことが
できる。

【００４５】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口，液路，電気熱変換体
の組合せ構成（直線状液流路または直角液流路）の他に
熱作用部が屈曲する領域に配置されている構成を開示す
る米国特許第４５５８３３３号明細書，米国特許第４４
５９６００号明細書を用いた構成も本発明に含まれるも
のである。加えて、複数の電気熱変換体に対して、共通
するスリットを電気熱変換体の吐出部とする構成を開示
する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギの圧
力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開示す
る特開昭５９−１３８４６１号公報に基いた構成として
も本発明の効果は有効である。すなわち、記録ヘッドの
形態がどのようなものであっても、本発明によれば記録
を確実に効率よく行うことができるようになるからであ
る。

【００４６】さらに、記録装置が記録できる記録媒体の
最大幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドに対しても本発明は有効に適用できる。そのよう
な記録ヘッドとしては、複数記録ヘッドの組合せによっ
てその長さを満たす構成や、一体的に形成された１個の
記録ヘッドとしての構成のいずれでもよい。

【００４７】加えて、上例のようなシリアルタイプのも
のでも、装置本体に固定された記録ヘッド、あるいは装
置本体に装着されることで装置本体との電気的な接続や
装置本体からのインクの供給が可能になる交換自在のチ
ップタイプの記録ヘッド、あるいは記録ヘッド自体に一
体的にインクタンクが設けられたカートリッジタイプの
記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効である。

【００４８】また、本発明の記録装置の構成として、記
録ヘッドの吐出回復手段、予備的な補助手段等を付加す
ることは本発明の効果を一層安定できるので、好ましい
ものである。これらを具体的に挙げれば、記録ヘッドに
対してのキャッピング手段、クリーニング手段、加圧或
は吸引手段、電気熱変換体或はこれとは別の加熱素子或
はこれらの組み合わせを用いて加熱を行う予備加熱手
段、記録とは別の吐出を行なう予備吐出手段を挙げるこ
とができる。

【００４９】また、搭載される記録ヘッドの種類ないし
個数についても、例えば単色のインクに対応して１個の
みが設けられたものの他、記録色や濃度を異にする複数
のインクに対応して複数個数設けられるものであっても
よい。すなわち、例えば記録装置の記録モードとしては
黒色等の主流色のみの記録モードだけではなく、記録ヘ
ッドを一体的に構成するか複数個の組み合わせによるか
いずれでもよいが、異なる色の複色カラー、または混色
によるフルカラーの各記録モードの少なくとも一つを備
えた装置にも本発明は極めて有効である。

【００５０】さらに加えて、以上説明した本発明実施例
においては、インクを液体として説明しているが、室温
やそれ以下で固化するインクであって、室温で軟化もし
くは液化するものを用いてもよく、あるいはインクジェ
ット方式ではインク自体を３０℃以上７０℃以下の範囲
内で温度調整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあ
るように温度制御するものが一般的であるから、使用記
録信号付与時にインクが液状をなすものを用いてもよ
い。加えて、熱エネルギによる昇温を、インクの固形状
態から液体状態への状態変化のエネルギとして使用せし
めることで積極的に防止するため、またはインクの蒸発
を防止するため、放置状態で固化し加熱によって液化す
るインクを用いてもよい。いずれにしても熱エネルギの
記録信号に応じた付与によってインクが液化し、液状イ
ンクが吐出されるものや、記録媒体に到達する時点では
すでに固化し始めるもの等のような、熱エネルギの付与
によって初めて液化する性質のインクを使用する場合も
本発明は適用可能である。このような場合のインクは、
特開昭５４−５６８４７号公報あるいは特開昭６０−７
１２６０号公報に記載されるような、多孔質シート凹部
または貫通孔に液状又は固形物として保持された状態
で、電気熱変換体に対して対向するような形態としても
よい。本発明においては、上述した各インクに対して最
も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行するもので
ある。

【００５１】さらに加えて、本発明インクジェット記録
装置の形態としては、コンピュータ等の情報処理機器の
画像出力端末として用いられるものの他、リーダ等と組
合せた複写装置、さらには送受信機能を有するファクシ
ミリ装置の形態を採るもの等であってもよい。

【００５２】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、インクジェット記録ヘッドの例えばオリフィ
ス等、所定の形状をレーザにより形成する場合、そのレ
ーザ加工によってオリフィス等に付着する物質をオリフ
ィス等のサイズより小さなサイズの粒子を噴射して除去
するので、粒子を付着物質に適切に当てることができこ
の物質を良好に除去できる。

【００５３】また、粒子の材質を水酸化アルミニウム等
とするので、上記物質の除去に際して記録ヘッドの部材
に損傷を与えることを防止できる。

【００５４】この結果、付着堆積物の偏在による流路寸
法のバラツキや、付着堆積物の一部分の脱落による液滴
の吐出方向のバラツキ発生や吐出口を塞ぐことによる記
録への悪影響を防止でき、高画質化の要求に応えること
が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係るインクジェットカー
トリッジの構成を示す外観斜視図である。

【図２】上記カートリッジにおける記録ヘッドを形成す
るオリフィスプレート一体形の天板を示す斜視図であ
る。

【図３】本発明の一実施形態におけるレーザによる流路
溝およびオリフィス加工の様子を模式的に示す図であ
る。

【図４】（Ａ）及び（Ｂ）は上記記録ヘッドを形成する
ヒータボードのそれぞれ平面図及び部分拡大図である。

【図５】本発明の一実施形態において微粒子を噴射して
レーザ加工時の付着物を除去している様子を模式的に示
す図である。

【符号の説明】

１ レーザ光発振装置 ２ レーザビーム ３ 集光レンズ ４ マスク ５ 天板 ６ オリフィスプレート ７ 微粒子噴射ノズル ９ 電子天秤 １０ 微粒子供給タンク １１ 微粒子補給用バルブ １２ 噴射ノズル供給側マスフローメータ １３ エアー用マスフローメータ １４ エアー用レギュレータ １５ ドライエアー供給ライン １６ 微粒子圧送ライン １７ 微粒子補給ライン １８ 吐出ヒータ １９ 液路加工面 ２０ 液室部 １０１ ヒータボード基体 １０２ 温度センサー １０３ 吐出ヒータ部 １０４ 端子 １０６ 配線 １０８ 保温ヒータ ３００ ベース部材 ６００ インク供給部 １０００ カートリッジ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 池亀 健 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 インクを吐出するインクジェット記録ヘ
   ッドの製造方法において、 インクジェット記録ヘッドを形成する部材の所定の形状
   をレーザにより加工し、 該加工により形成される所定の形状のサイズより小さな
   サイズの粒子を前記部材に対して噴射することにより、
   前記加工によって当該部材に付着した物質を除去する、 ステップを有したことを特徴とするインクジェット記録
   ヘッドの製造方法。
2. 【請求項２】 前記粒子は水酸化アルミニウムからなる
   ことを特徴とする請求項１記載のインクジェット記録ヘ
   ッドの製造方法。
3. 【請求項３】 前記粒子はポリスチレンからなることを
   特徴とする請求項１記載のインクジェット記録ヘッドの
   製造方法。
4. 【請求項４】 前記粒子の噴射量は、略６ｇ／ｍｉｎ以
   下であることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか
   記載のインクジェット記録ヘッド製造方法。
5. 【請求項５】 前記インクジェット記録ヘッドは、熱エ
   ネルギーを利用してインクを吐出することを特徴とする
   請求項１ないし４のいずれか記載のインクジェット記録
   ヘッド製造方法。
6. 【請求項６】 インクを吐出するインクジェット記録ヘ
   ッドにおいて、 インクを吐出するためのオリフィスおよび該オリフィス
   に連通する液路用溝であって、レーザを用いて形成され
   たオリフィスおよび液路用溝を具え、 前記レーザによるオリフィスおよび液路用溝の形成の
   後、該オリフィスおよび液路用溝それぞれのサイズより
   小さなサイズの粒子が噴射されて、前記レーザの加工に
   より当該オリフィスおよび液路用溝に付着した物質を除
   去されたことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
7. 【請求項７】 前記インクジェット記録ヘッドは、熱エ
   ネルギーを利用してインクを吐出することを特徴とする
   請求項６記載のインクジェット記録ヘッド。