JPH10297910A - 六フッ化硫黄の精製方法 - Google Patents
六フッ化硫黄の精製方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 不純物を含む六フッ化硫黄から簡便かつ効率
的に有害不純物を除去する六フッ化硫黄の精製方法を得
る。 【解決手段】 不純物を含む六フッ化硫黄を、アルカリ
土類金属化合物、アルミン酸アルカリ金属塩およびテト
ラアルキルアンモニウム塩からなる群から選ばれた１種
以上の化合物と炭素質固体とからなる精製剤と接触させ
る。
的に有害不純物を除去する六フッ化硫黄の精製方法を得
る。 【解決手段】 不純物を含む六フッ化硫黄を、アルカリ
土類金属化合物、アルミン酸アルカリ金属塩およびテト
ラアルキルアンモニウム塩からなる群から選ばれた１種
以上の化合物と炭素質固体とからなる精製剤と接触させ
る。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、六フッ化硫黄の精
製方法に関するものであり、特に有害不純物を含む回収
六フッ化硫黄ガスを精製剤と接触させて精製する方法に
関する。
製方法に関するものであり、特に有害不純物を含む回収
六フッ化硫黄ガスを精製剤と接触させて精製する方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】六フッ化硫黄（以下「ＳＦ6 」と記す）
は、気体として優れた電気絶縁性を有することから、遮
断機や変圧器などの気体絶縁媒体として需要が増大して
いる。ＳＦ6 それ自体は化学的に安定であり、毒性も腐
食性も認められないが、例えば縮小型変電設備の機器な
どに用いられると、コロナ放電や遮断時に発生するアー
クなどの強い電気的ストレスに曝され、分解して種々の
不純物を生成し障害をもたらすようになる。例えば、電
気的ストレスにより分解して生成する不純物の中で、四
フッ化硫黄（以下「ＳＦ4 」と記す）、二フッ化硫黄
（以下「ＳＦ2 」と記す）、一フッ化硫黄（以下「Ｓ2
Ｆ2」と記す）などは非常に反応性に富む物質であり、
機器内に微量の水分が存在すると、これと反応してフッ
化水素（以下「ＨＦ」と記す）、亜硫酸ガス（以下「Ｓ
Ｏ2 」と記す）、フッ化チオニル（以下「ＳＯＦ2 」と
記す）、フッ化スルフリル（以下「ＳＯ2Ｆ2」と記す）
などの強酸性物質や微量の五フッ化硫黄（以下「Ｓ2 Ｆ
10」と記す）を生成する。これらの不純物を含むＳＦ6
ガスを使用し続けると、機器類の金属部材を腐食するな
どの障害が現れるので、適宜に機器から抜き出して新し
いＳＦ6 と入れ替えが行われる。
は、気体として優れた電気絶縁性を有することから、遮
断機や変圧器などの気体絶縁媒体として需要が増大して
いる。ＳＦ6 それ自体は化学的に安定であり、毒性も腐
食性も認められないが、例えば縮小型変電設備の機器な
どに用いられると、コロナ放電や遮断時に発生するアー
クなどの強い電気的ストレスに曝され、分解して種々の
不純物を生成し障害をもたらすようになる。例えば、電
気的ストレスにより分解して生成する不純物の中で、四
フッ化硫黄（以下「ＳＦ4 」と記す）、二フッ化硫黄
（以下「ＳＦ2 」と記す）、一フッ化硫黄（以下「Ｓ2
Ｆ2」と記す）などは非常に反応性に富む物質であり、
機器内に微量の水分が存在すると、これと反応してフッ
化水素（以下「ＨＦ」と記す）、亜硫酸ガス（以下「Ｓ
Ｏ2 」と記す）、フッ化チオニル（以下「ＳＯＦ2 」と
記す）、フッ化スルフリル（以下「ＳＯ2Ｆ2」と記す）
などの強酸性物質や微量の五フッ化硫黄（以下「Ｓ2 Ｆ
10」と記す）を生成する。これらの不純物を含むＳＦ6
ガスを使用し続けると、機器類の金属部材を腐食するな
どの障害が現れるので、適宜に機器から抜き出して新し
いＳＦ6 と入れ替えが行われる。
【０００３】しかしＳＦ6 ガスは高価であるばかりでな
く、地球温暖化など環境への影響も無視できない状況下
で、前記の有害不純物を含むＳＦ6 は、回収して精製処
理した後リサイクルすることが求められるようになって
きた。この課題に対しては従来からも種々の精製方法が
提案されている。例えば、乾式法としては、回収ガス
を活性アルミナ、Ｘ型合成ゼオライトと接触させる方法
（特公昭４７−６２０５号公報）、転化剤を用いて不
純物ガス成分を固体合成物と生成ガスとに転化させ、次
いでガス吸収剤を用いて前記の生成ガスを吸収除去する
方法（特開昭６０−５４７２３号公報）など、また湿式
法としては、回収ガスをアルカリ槽（水酸化カルシウ
ム水溶液）で処理する方法（浜野，ほか；大電力試験場
におけるＳＦ6 ガス回収装置；平成８年電気学会全国大
会）、リチウム置換した巨大網状構造ポリマーと接触
させる方法（特開平６−２１１５０６号公報）などが知
られている。
く、地球温暖化など環境への影響も無視できない状況下
で、前記の有害不純物を含むＳＦ6 は、回収して精製処
理した後リサイクルすることが求められるようになって
きた。この課題に対しては従来からも種々の精製方法が
提案されている。例えば、乾式法としては、回収ガス
を活性アルミナ、Ｘ型合成ゼオライトと接触させる方法
（特公昭４７−６２０５号公報）、転化剤を用いて不
純物ガス成分を固体合成物と生成ガスとに転化させ、次
いでガス吸収剤を用いて前記の生成ガスを吸収除去する
方法（特開昭６０−５４７２３号公報）など、また湿式
法としては、回収ガスをアルカリ槽（水酸化カルシウ
ム水溶液）で処理する方法（浜野，ほか；大電力試験場
におけるＳＦ6 ガス回収装置；平成８年電気学会全国大
会）、リチウム置換した巨大網状構造ポリマーと接触
させる方法（特開平６−２１１５０６号公報）などが知
られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来提案され
ている前記の各精製方法にはそれぞれ問題があった。例
えば前記の方法では、ＳＯ2 、ＳＯＦ2 、ＳＯ2Ｆ2、
Ｓ2 Ｆ10などに対して十分な吸着効果が得られない、
の方法は、不純物を水酸化カルシウムと反応させて水素
を発生させ、この水素ガスを吸着除去するものである
が、可燃性の水素ガスを発生させる問題がありまた十分
な処理能力が得られない、の方法は湿式法であり設備
が大規模となる、は高価な吸収剤を用いるほか、湿式
法であるため大量の水分が混入する、などの問題があ
り、何れも工業的に採用できる経済的な方法ではなかっ
た。本発明は、上記の課題を解決するためになされたも
のであって、従ってその目的は、不純物を含むＳＦ6 か
ら簡便かつ効率的に有害不純物を除去することができる
ＳＦ6 の精製方法を提供することにある。
ている前記の各精製方法にはそれぞれ問題があった。例
えば前記の方法では、ＳＯ2 、ＳＯＦ2 、ＳＯ2Ｆ2、
Ｓ2 Ｆ10などに対して十分な吸着効果が得られない、
の方法は、不純物を水酸化カルシウムと反応させて水素
を発生させ、この水素ガスを吸着除去するものである
が、可燃性の水素ガスを発生させる問題がありまた十分
な処理能力が得られない、の方法は湿式法であり設備
が大規模となる、は高価な吸収剤を用いるほか、湿式
法であるため大量の水分が混入する、などの問題があ
り、何れも工業的に採用できる経済的な方法ではなかっ
た。本発明は、上記の課題を解決するためになされたも
のであって、従ってその目的は、不純物を含むＳＦ6 か
ら簡便かつ効率的に有害不純物を除去することができる
ＳＦ6 の精製方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに本発明は、不純物を含むＳＦ6 を、アルカリ土類金
属化合物、アルミン酸アルカリ金属塩およびテトラアル
キルアンモニウム塩からなる群から選ばれた１種以上の
化合物と炭素質固体とからなる精製剤と接触させるＳＦ
6 の精製方法を提供する。前記の不純物を含むＳＦ
6 は、不純物としてＨＦ、ＳＯ2 、Ｓ2Ｆ2、ＳＦ2 、Ｓ
Ｆ4 、Ｓ2 Ｆ10、ＳＯＦ2 およびＳＯ2Ｆ2からなる群の
何れか１種以上を含むものであってよい。前記精製剤の
アルカリ土類金属化合物は、カルシウム、マグネシウ
ム、バリウムおよびストロンチウムの酸化物、水酸化
物、炭酸塩および硝酸塩からなる群から選ばれたもので
あることが好ましい。またアルミン酸アルカリ金属塩
は、アルミン酸リチウム、アルミン酸ナトリウム、アル
ミン酸カリウムおよびアルミン酸セシウムからなる群か
ら選ばれたものであることが好ましい。またテトラアル
キルアンモニウム塩は、水酸化テトラメチルアンモニウ
ム、水酸化テトラエチルアンモニウム、炭酸テトラメチ
ルアンモニウム、炭酸テトラエチルアンモニウム、塩化
テトラメチルアンモニウム、塩化テトラエチルアンモニ
ウム、アルミン酸テトラメチルアンモニウムおよびアル
ミン酸テトラエチルアンモニウムからなる群から選ばれ
たものであることが好ましい。前記精製剤の炭素質固体
は、コークス粉末、チャー炭、石炭、ピッチ、木炭、活
性炭およびカーボンブラックからなる群から選ばれた１
種以上であることが好ましい。前記精製剤の比表面積
は、８０ｍ2 ／ｇ〜１０００ｍ2 ／ｇの範囲内であるこ
とが好ましい。また前記精製剤の平均細孔径は、７オン
グストローム〜１５００オングストロームの範囲内であ
ることが好ましい。前記により精製されたＳＦ6 中に含
まれるＨＦ濃度は、０．１重量ｐｐｍ以下とされること
が好ましい。また、前記のＳＦ6 の精製方法は、脱水工
程が付加されていることが好ましい。この脱水工程は、
脱水剤としてゼオライトを用いるものであることが好ま
しい。前記により精製されたＳＦ6 中に含まれる水分濃
度は、５０重量ｐｐｍ以下とされることが好ましい。
めに本発明は、不純物を含むＳＦ6 を、アルカリ土類金
属化合物、アルミン酸アルカリ金属塩およびテトラアル
キルアンモニウム塩からなる群から選ばれた１種以上の
化合物と炭素質固体とからなる精製剤と接触させるＳＦ
6 の精製方法を提供する。前記の不純物を含むＳＦ
6 は、不純物としてＨＦ、ＳＯ2 、Ｓ2Ｆ2、ＳＦ2 、Ｓ
Ｆ4 、Ｓ2 Ｆ10、ＳＯＦ2 およびＳＯ2Ｆ2からなる群の
何れか１種以上を含むものであってよい。前記精製剤の
アルカリ土類金属化合物は、カルシウム、マグネシウ
ム、バリウムおよびストロンチウムの酸化物、水酸化
物、炭酸塩および硝酸塩からなる群から選ばれたもので
あることが好ましい。またアルミン酸アルカリ金属塩
は、アルミン酸リチウム、アルミン酸ナトリウム、アル
ミン酸カリウムおよびアルミン酸セシウムからなる群か
ら選ばれたものであることが好ましい。またテトラアル
キルアンモニウム塩は、水酸化テトラメチルアンモニウ
ム、水酸化テトラエチルアンモニウム、炭酸テトラメチ
ルアンモニウム、炭酸テトラエチルアンモニウム、塩化
テトラメチルアンモニウム、塩化テトラエチルアンモニ
ウム、アルミン酸テトラメチルアンモニウムおよびアル
ミン酸テトラエチルアンモニウムからなる群から選ばれ
たものであることが好ましい。前記精製剤の炭素質固体
は、コークス粉末、チャー炭、石炭、ピッチ、木炭、活
性炭およびカーボンブラックからなる群から選ばれた１
種以上であることが好ましい。前記精製剤の比表面積
は、８０ｍ2 ／ｇ〜１０００ｍ2 ／ｇの範囲内であるこ
とが好ましい。また前記精製剤の平均細孔径は、７オン
グストローム〜１５００オングストロームの範囲内であ
ることが好ましい。前記により精製されたＳＦ6 中に含
まれるＨＦ濃度は、０．１重量ｐｐｍ以下とされること
が好ましい。また、前記のＳＦ6 の精製方法は、脱水工
程が付加されていることが好ましい。この脱水工程は、
脱水剤としてゼオライトを用いるものであることが好ま
しい。前記により精製されたＳＦ6 中に含まれる水分濃
度は、５０重量ｐｐｍ以下とされることが好ましい。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を説明
する。本発明のＳＦ6 の精製方法は、例えばガス遮断器
（ＧＣＢ）などのガス絶縁機器に使用されて、コロナ放
電や遮断時に発生する電気アークなどにより分解し有害
な不純物を生成したＳＦ6 （以下「不純ＳＦ6 」と記
す）からこの有害不純物を除去し、リサイクルする際な
どの精製工程に適用される。これらのガス絶縁機器に使
用された後の不純ＳＦ6 は、一般にＳＦ4 、ＳＦ2 、Ｓ
2Ｆ2、ＳＯ2 、ＳＯＦ2 、ＳＯ2Ｆ2、Ｓ2 Ｆ10などの腐
食性有害不純物を含んでいる。
する。本発明のＳＦ6 の精製方法は、例えばガス遮断器
（ＧＣＢ）などのガス絶縁機器に使用されて、コロナ放
電や遮断時に発生する電気アークなどにより分解し有害
な不純物を生成したＳＦ6 （以下「不純ＳＦ6 」と記
す）からこの有害不純物を除去し、リサイクルする際な
どの精製工程に適用される。これらのガス絶縁機器に使
用された後の不純ＳＦ6 は、一般にＳＦ4 、ＳＦ2 、Ｓ
2Ｆ2、ＳＯ2 、ＳＯＦ2 、ＳＯ2Ｆ2、Ｓ2 Ｆ10などの腐
食性有害不純物を含んでいる。
【０００７】本発明の精製方法の一実施形態において
は、アルカリ土類金属化合物、アルミン酸アルカリ金属
塩および／またはテトラアルキルアンモニウム塩と炭素
質固体とからなる精製剤を、例えば反応管に充填し、こ
の反応管に室温で、前記の不純ＳＦ6 をガス流として流
通させる。これにより、不純ＳＦ6 中の不純物は精製剤
に吸着され、実質的に有害不純物を含まないＳＦ6 （以
下「精製ＳＦ6 」と記す）を、簡便かつ効果的に回収す
ることができる。
は、アルカリ土類金属化合物、アルミン酸アルカリ金属
塩および／またはテトラアルキルアンモニウム塩と炭素
質固体とからなる精製剤を、例えば反応管に充填し、こ
の反応管に室温で、前記の不純ＳＦ6 をガス流として流
通させる。これにより、不純ＳＦ6 中の不純物は精製剤
に吸着され、実質的に有害不純物を含まないＳＦ6 （以
下「精製ＳＦ6 」と記す）を、簡便かつ効果的に回収す
ることができる。
【０００８】得られた精製ＳＦ6 を前記のガス絶縁機器
などにリサイクルするに際しては、精製ＳＦ6 中の水分
が５０重量ｐｐｍ以下とされることが好ましい。これ
は、前記のＳＦ6 精製工程に、例えば脱水剤としてゼオ
ライトを用いる脱水工程を付加することにより達成する
ことができる。
などにリサイクルするに際しては、精製ＳＦ6 中の水分
が５０重量ｐｐｍ以下とされることが好ましい。これ
は、前記のＳＦ6 精製工程に、例えば脱水剤としてゼオ
ライトを用いる脱水工程を付加することにより達成する
ことができる。
【０００９】以下、本発明の構成要素について詳しく説
明する。本発明に用いる精製剤は、アルカリ土類金属化
合物、アルミン酸アルカリ金属塩およびテトラアルキル
アンモニウム塩からなる群から選ばれた１種以上の化合
物と炭素質固体とからなる。
明する。本発明に用いる精製剤は、アルカリ土類金属化
合物、アルミン酸アルカリ金属塩およびテトラアルキル
アンモニウム塩からなる群から選ばれた１種以上の化合
物と炭素質固体とからなる。
【００１０】前記のアルカリ土類金属化合物の例として
は、カルシウム、マグネシウム、バリウムまたはストロ
ンチウムの酸化物、水酸化物、炭酸塩または硝酸塩など
を挙げることができる。これらは１種を単独で用いても
よく、または２種以上の混合物として用いてもよい。就
中、カルシウムの酸化物、水酸化物、炭酸塩または硝酸
塩が好ましく、安価に入手できて取扱いが容易な点で生
石灰、消石灰、または石灰石が更に好適である。
は、カルシウム、マグネシウム、バリウムまたはストロ
ンチウムの酸化物、水酸化物、炭酸塩または硝酸塩など
を挙げることができる。これらは１種を単独で用いても
よく、または２種以上の混合物として用いてもよい。就
中、カルシウムの酸化物、水酸化物、炭酸塩または硝酸
塩が好ましく、安価に入手できて取扱いが容易な点で生
石灰、消石灰、または石灰石が更に好適である。
【００１１】前記のアルミン酸アルカリ金属塩の例とし
ては、アルミン酸リチウム、アルミン酸ナトリウム、ア
ルミン酸カリウムまたはアルミン酸セシウムなどを挙げ
ることができる。これらは１種を単独で用いてもよく、
または２種以上の混合物として用いてもよい。就中、ア
ルミン酸ナトリウムまたはアルミン酸カリウムが入手の
容易さの点で好適である。特にアルミン酸ナトリウムが
好ましい。
ては、アルミン酸リチウム、アルミン酸ナトリウム、ア
ルミン酸カリウムまたはアルミン酸セシウムなどを挙げ
ることができる。これらは１種を単独で用いてもよく、
または２種以上の混合物として用いてもよい。就中、ア
ルミン酸ナトリウムまたはアルミン酸カリウムが入手の
容易さの点で好適である。特にアルミン酸ナトリウムが
好ましい。
【００１２】前記のテトラアルキルアンモニウム塩の例
としては、水酸化テトラメチルアンモニウム、水酸化テ
トラエチルアンモニウム、炭酸テトラメチルアンモニウ
ム、炭酸テトラエチルアンモニウム、塩化テトラメチル
アンモニウム、塩化テトラエチルアンモニウム、アルミ
ン酸テトラメチルアンモニウムまたはアルミン酸テトラ
エチルアンモニウムなどを挙げることができる。これら
は１種を単独で用いてもよく、または２種以上の混合物
として用いてもよい。就中、水酸化テトラメチルアンモ
ニウム、炭酸テトラメチルアンモニウム、塩化テトラメ
チルアンモニウムまたはアルミン酸テトラメチルアンモ
ニウムが入手の容易さの点で好適である。特に炭酸テト
ラメチルアンモニウムが好ましい。炭酸テトラメチルア
ンモニウムとアルミン酸テトラメチルアンモニウムはそ
れぞれ、水酸化テトラメチルアンモニウムに炭酸ガスま
たは水酸化アルミニウムを反応させて製造することがで
きる。
としては、水酸化テトラメチルアンモニウム、水酸化テ
トラエチルアンモニウム、炭酸テトラメチルアンモニウ
ム、炭酸テトラエチルアンモニウム、塩化テトラメチル
アンモニウム、塩化テトラエチルアンモニウム、アルミ
ン酸テトラメチルアンモニウムまたはアルミン酸テトラ
エチルアンモニウムなどを挙げることができる。これら
は１種を単独で用いてもよく、または２種以上の混合物
として用いてもよい。就中、水酸化テトラメチルアンモ
ニウム、炭酸テトラメチルアンモニウム、塩化テトラメ
チルアンモニウムまたはアルミン酸テトラメチルアンモ
ニウムが入手の容易さの点で好適である。特に炭酸テト
ラメチルアンモニウムが好ましい。炭酸テトラメチルア
ンモニウムとアルミン酸テトラメチルアンモニウムはそ
れぞれ、水酸化テトラメチルアンモニウムに炭酸ガスま
たは水酸化アルミニウムを反応させて製造することがで
きる。
【００１３】前記の炭素質固体の例としては、コークス
粉末、チャー炭、石炭、ピッチ、木炭、活性炭およびカ
ーボンブラックなどを挙げることができる。これらは１
種を単独で用いてもよく、または２種以上の混合物とし
て用いてもよい。炭素質固体の形状としては、粉末また
は細粒状またはペレット状であることが好ましい。細粒
状の場合は、球形であっても破砕形であってもいずれで
もよい。これらの炭素質固体は、比表面積が１００ｍ2
／ｇ〜２５００ｍ2 ／ｇの範囲内、特に５００ｍ2 ／ｇ
〜２０００ｍ2 ／ｇの範囲内であることが好ましい。特
に好適な炭素質固体の例としては、粉末状のものではチ
ャー炭、細粒状のものでは活性炭を挙げることができ
る。
粉末、チャー炭、石炭、ピッチ、木炭、活性炭およびカ
ーボンブラックなどを挙げることができる。これらは１
種を単独で用いてもよく、または２種以上の混合物とし
て用いてもよい。炭素質固体の形状としては、粉末また
は細粒状またはペレット状であることが好ましい。細粒
状の場合は、球形であっても破砕形であってもいずれで
もよい。これらの炭素質固体は、比表面積が１００ｍ2
／ｇ〜２５００ｍ2 ／ｇの範囲内、特に５００ｍ2 ／ｇ
〜２０００ｍ2 ／ｇの範囲内であることが好ましい。特
に好適な炭素質固体の例としては、粉末状のものではチ
ャー炭、細粒状のものでは活性炭を挙げることができ
る。
【００１４】本発明に用いる精製剤は、種々の方法で調
製することができる。例えばアルミン酸ナトリウムなど
の水溶液に炭素質固体として活性炭などを浸漬し、攪拌
後に乾燥すれば、担持型の精製剤が得られる。また、例
えば消石灰粉末などとチャー炭粉末などとを所定の割合
に混合し、水を加えて混練し、取扱い易い粒径のペレッ
ト状に成形した後乾燥すれば、ペレット型の精製剤が得
られる。
製することができる。例えばアルミン酸ナトリウムなど
の水溶液に炭素質固体として活性炭などを浸漬し、攪拌
後に乾燥すれば、担持型の精製剤が得られる。また、例
えば消石灰粉末などとチャー炭粉末などとを所定の割合
に混合し、水を加えて混練し、取扱い易い粒径のペレッ
ト状に成形した後乾燥すれば、ペレット型の精製剤が得
られる。
【００１５】精製剤が担持型である場合、例えばアルミ
ン酸アルカリ金属塩および／またはテトラアルキルアン
モニウム塩の炭素質固体への担持量は、炭素質固体とし
て活性炭を用いる場合、活性炭１００ｍｌに対する担持
量ｇとして１重／容％〜３０重／容％の範囲内、特に５
重／容％〜２０重／容％の範囲内とすることが好まし
い。１重／容％未満では効果が不十分であり、３０重／
容％を越えると炭素質固体の細孔閉塞などが起こって逆
に効率が低下する。
ン酸アルカリ金属塩および／またはテトラアルキルアン
モニウム塩の炭素質固体への担持量は、炭素質固体とし
て活性炭を用いる場合、活性炭１００ｍｌに対する担持
量ｇとして１重／容％〜３０重／容％の範囲内、特に５
重／容％〜２０重／容％の範囲内とすることが好まし
い。１重／容％未満では効果が不十分であり、３０重／
容％を越えると炭素質固体の細孔閉塞などが起こって逆
に効率が低下する。
【００１６】精製剤がペレット型である場合、例えばア
ルカリ土類金属化合物と炭素質固体の混合割合は、組成
物の種類にもよるが、同重量割合かまたはアルカリ土類
金属化合物の割合を大きくすることが好ましい。担持型
であってもペレット型であっても、精製剤は十分に乾燥
する必要があり、乾燥には乾燥ガスとして窒素、ヘリウ
ム、アルゴンなどの不活性ガスを用いることが好まし
い。
ルカリ土類金属化合物と炭素質固体の混合割合は、組成
物の種類にもよるが、同重量割合かまたはアルカリ土類
金属化合物の割合を大きくすることが好ましい。担持型
であってもペレット型であっても、精製剤は十分に乾燥
する必要があり、乾燥には乾燥ガスとして窒素、ヘリウ
ム、アルゴンなどの不活性ガスを用いることが好まし
い。
【００１７】精製剤の比表面積は、８０ｍ2 ／ｇ〜１０
００ｍ2 ／ｇの範囲内、特に１００ｍ2 ／ｇ〜７００ｍ
2 ／ｇの範囲内とすることが好ましい。また精製剤の平
均細孔径は、７オングストローム〜１５００オングスト
ロームの範囲内、特に７オングストローム〜１１００オ
ングストロームの範囲内とすることが好ましい。これら
の範囲外では精製効率が低下する。前記範囲の比表面積
および平均細孔径は、精製剤の調製に際して素材、配合
割合、調製法などを選択することにより実現できる。
００ｍ2 ／ｇの範囲内、特に１００ｍ2 ／ｇ〜７００ｍ
2 ／ｇの範囲内とすることが好ましい。また精製剤の平
均細孔径は、７オングストローム〜１５００オングスト
ロームの範囲内、特に７オングストローム〜１１００オ
ングストロームの範囲内とすることが好ましい。これら
の範囲外では精製効率が低下する。前記範囲の比表面積
および平均細孔径は、精製剤の調製に際して素材、配合
割合、調製法などを選択することにより実現できる。
【００１８】前記の精製剤を用いて不純ＳＦ6 を精製す
るに際しては、不純ＳＦ6 をこの精製剤と接触させる。
この接触工程において、不純ＳＦ6 中の不純物濃度は
２．０重量％以下であることが好ましい。不純物がこれ
以上含まれていると、大量の精製剤が必要となり、また
精製時間も多くかかるので好ましくない。
るに際しては、不純ＳＦ6 をこの精製剤と接触させる。
この接触工程において、不純ＳＦ6 中の不純物濃度は
２．０重量％以下であることが好ましい。不純物がこれ
以上含まれていると、大量の精製剤が必要となり、また
精製時間も多くかかるので好ましくない。
【００１９】接触に際して不純ＳＦ6 は気体であっても
液体であってもよいが、通常は気体として接触させるこ
とが好ましい。接触方法としては一般に流体−固体接触
に用いられる方法が何れも採用可能である。従って流動
床方式や移動床方式も用いることができるが、一般には
固定床方式が好ましい。気−固接触方式を採用する場
合、接触工程の圧力は特に限定されないが、経済的見地
から大気圧〜２ＭＰａの範囲内とすることが好ましい。
また接触工程の温度も特に限定されないが、例えば−４
０℃〜１００℃の範囲内で適宜選択することができる。
特別な事情がなければ、経済的見地から接触温度は常温
とすることが好ましい。
液体であってもよいが、通常は気体として接触させるこ
とが好ましい。接触方法としては一般に流体−固体接触
に用いられる方法が何れも採用可能である。従って流動
床方式や移動床方式も用いることができるが、一般には
固定床方式が好ましい。気−固接触方式を採用する場
合、接触工程の圧力は特に限定されないが、経済的見地
から大気圧〜２ＭＰａの範囲内とすることが好ましい。
また接触工程の温度も特に限定されないが、例えば−４
０℃〜１００℃の範囲内で適宜選択することができる。
特別な事情がなければ、経済的見地から接触温度は常温
とすることが好ましい。
【００２０】以上説明した精製剤との接触工程によっ
て、不純ＳＦ6 は、例えばＨＦ濃度として０．１重量ｐ
ｐｍ以下（ハロゲンイオン分析、イオンクロマトグラフ
ィー）のレベルまで精製することができる。この精製条
件でＳイオン量はＳＯ4 -として０．１重量ｐｐｍ以下
（イオンクロマトグラフィー）となる。更に他の有害不
純物であるＳＯ2 、ＳＦ2 、ＳＦ4 、ＳＯ2Ｆ2およびＳ
ＯＦ2 も、ガスクロマトグラフィー（ＧＣ）およびガス
クロマトグラフィー／質量分析（ＧＣ／ＭＡＳ）におい
て検出限界以下（０．１重量ｐｐｍ以下）とすることが
できる。
て、不純ＳＦ6 は、例えばＨＦ濃度として０．１重量ｐ
ｐｍ以下（ハロゲンイオン分析、イオンクロマトグラフ
ィー）のレベルまで精製することができる。この精製条
件でＳイオン量はＳＯ4 -として０．１重量ｐｐｍ以下
（イオンクロマトグラフィー）となる。更に他の有害不
純物であるＳＯ2 、ＳＦ2 、ＳＦ4 、ＳＯ2Ｆ2およびＳ
ＯＦ2 も、ガスクロマトグラフィー（ＧＣ）およびガス
クロマトグラフィー／質量分析（ＧＣ／ＭＡＳ）におい
て検出限界以下（０．１重量ｐｐｍ以下）とすることが
できる。
【００２１】前記の接触工程で得られた精製ＳＦ6 を気
体絶縁媒体としてリサイクルするためには、ＳＦ6 分解
の一要因をなす水分を十分に除去する必要がある。そこ
で、本発明のＳＦ6 の精製方法には、水分含量を厳重に
管理できる脱水工程を付加することが好ましい。この脱
水工程は、前記の接触工程の後に、好ましくは脱水剤と
して合成ゼオライトなどを用いる気−固接触により行う
ことが好ましい。この工程で用いるに好適な脱水剤は合
成ゼオライトであり、特に「モレキュラーシーブ（商品
名）」として一般に知られている分子ふるいの中から、
好適な細粒径範囲のものを選択して用いることが好まし
い。
体絶縁媒体としてリサイクルするためには、ＳＦ6 分解
の一要因をなす水分を十分に除去する必要がある。そこ
で、本発明のＳＦ6 の精製方法には、水分含量を厳重に
管理できる脱水工程を付加することが好ましい。この脱
水工程は、前記の接触工程の後に、好ましくは脱水剤と
して合成ゼオライトなどを用いる気−固接触により行う
ことが好ましい。この工程で用いるに好適な脱水剤は合
成ゼオライトであり、特に「モレキュラーシーブ（商品
名）」として一般に知られている分子ふるいの中から、
好適な細粒径範囲のものを選択して用いることが好まし
い。
【００２２】前記の分子ふるいを脱水剤として用いる気
−固接触脱水工程は、圧力が大気圧〜２ＭＰａの範囲
内、温度が−４０℃〜１００℃の範囲内、特に常温にお
いて運転することが経済的見地から好ましい。この脱水
工程によって、精製ＳＦ6 中の水分含量を５０重量ｐｐ
ｍ以下、更に、特に好ましい水分含量限界である１０重
量ｐｐｍ以下にすることができる。
−固接触脱水工程は、圧力が大気圧〜２ＭＰａの範囲
内、温度が−４０℃〜１００℃の範囲内、特に常温にお
いて運転することが経済的見地から好ましい。この脱水
工程によって、精製ＳＦ6 中の水分含量を５０重量ｐｐ
ｍ以下、更に、特に好ましい水分含量限界である１０重
量ｐｐｍ以下にすることができる。
【００２３】
【実施例】以下、実施例により本発明を更に詳しく説明
する。不純ＳＦ6 試料 ：試験のため、下記の不純ＳＦ6 試料を
調製した。
する。不純ＳＦ6 試料 ：試験のため、下記の不純ＳＦ6 試料を
調製した。
【００２４】（不純ＳＦ6 試料１）六フッ化硫黄（昭和
電工社製、純分９９．９９９％以上、ハロゲンイオン１
重量ｐｐｍ以下）を、ガス絶縁開閉試験装置に約０．５
ＭＰａの充填圧まで充填し、ガス絶縁開閉試験を繰り返
した後、このガスを、真空乾燥し冷却したシリンダー容
器に採取し、不純ＳＦ6 試料１とした。この試料の分析
結果を以下に示す。分析方法は、電子捕獲型分析法（Ｇ
Ｃ／ＥＣＤ）、炎光光度分析法（ＧＣ／ＦＰＤ）、熱伝
導度法（ＧＣ／ＴＣＤ）、ガスクロマトグラフィー／質
量分析法（ＧＣ／ＭＡＳ）、ハロゲンイオン分析法（イ
オンクロマトグラフィー）および水分分析法（水晶発振
子法）によった。分析結果は、水分を除くガス成分の重
量ｐｐｍで表し、Ｈ2 Ｏは別途に重量ｐｐｍで表示し
た。（以下、全ての分析結果を同様に表示する。） 成分分析値（単位は重量ｐｐｍ）； ＳＦ6 ９９．８４３０ ＣＦ4 ０．０６２０ Ｃ2Ｆ6 ０．００６３ Ｃ2Ｆ4 ０．００１２ ＳＯＦ2 ０．０５１２ ＳＯ2Ｆ2 ０．００２２ ＳＯ2 ０．００１３ ＨＦ ０．０３２８ Ｈ2Ｏ ０．００８６
電工社製、純分９９．９９９％以上、ハロゲンイオン１
重量ｐｐｍ以下）を、ガス絶縁開閉試験装置に約０．５
ＭＰａの充填圧まで充填し、ガス絶縁開閉試験を繰り返
した後、このガスを、真空乾燥し冷却したシリンダー容
器に採取し、不純ＳＦ6 試料１とした。この試料の分析
結果を以下に示す。分析方法は、電子捕獲型分析法（Ｇ
Ｃ／ＥＣＤ）、炎光光度分析法（ＧＣ／ＦＰＤ）、熱伝
導度法（ＧＣ／ＴＣＤ）、ガスクロマトグラフィー／質
量分析法（ＧＣ／ＭＡＳ）、ハロゲンイオン分析法（イ
オンクロマトグラフィー）および水分分析法（水晶発振
子法）によった。分析結果は、水分を除くガス成分の重
量ｐｐｍで表し、Ｈ2 Ｏは別途に重量ｐｐｍで表示し
た。（以下、全ての分析結果を同様に表示する。） 成分分析値（単位は重量ｐｐｍ）； ＳＦ6 ９９．８４３０ ＣＦ4 ０．０６２０ Ｃ2Ｆ6 ０．００６３ Ｃ2Ｆ4 ０．００１２ ＳＯＦ2 ０．０５１２ ＳＯ2Ｆ2 ０．００２２ ＳＯ2 ０．００１３ ＨＦ ０．０３２８ Ｈ2Ｏ ０．００８６
【００２５】（不純ＳＦ6 試料２）前記の不純ＳＦ6 試
料１に更に市販の四フッ化硫黄（ＳＦ4 ）および五フッ
化硫黄（Ｓ2 Ｆ10）を添加し、不純ＳＦ6 試料２とし
た。この試料の分析結果を以下に示す。Ｓ2 Ｆ10の分析
方法は電子捕獲型分析法（ＧＣ／ＥＣＤ）によった。 成分分析値（単位は重量ｐｐｍ）； ＳＦ6 ９９．８４２２ ＣＦ4 ０．０６２０ Ｃ2Ｆ6 ０．００６３ Ｃ2Ｆ4 ０．００１２ ＳＯＦ2 ０．０５１２ ＳＯ2Ｆ2 ０．００２２ ＳＯ2 ０．００１３ ＳＦ4 ０．０００５ Ｓ2 Ｆ10 ０．０００３ ＨＦ ０．０３２８ Ｈ2Ｏ ０．０１１８
料１に更に市販の四フッ化硫黄（ＳＦ4 ）および五フッ
化硫黄（Ｓ2 Ｆ10）を添加し、不純ＳＦ6 試料２とし
た。この試料の分析結果を以下に示す。Ｓ2 Ｆ10の分析
方法は電子捕獲型分析法（ＧＣ／ＥＣＤ）によった。 成分分析値（単位は重量ｐｐｍ）； ＳＦ6 ９９．８４２２ ＣＦ4 ０．０６２０ Ｃ2Ｆ6 ０．００６３ Ｃ2Ｆ4 ０．００１２ ＳＯＦ2 ０．０５１２ ＳＯ2Ｆ2 ０．００２２ ＳＯ2 ０．００１３ ＳＦ4 ０．０００５ Ｓ2 Ｆ10 ０．０００３ ＨＦ ０．０３２８ Ｈ2Ｏ ０．０１１８
【００２６】精製剤の調製：下記の３種の精製剤を調製
した。 （精製剤１）アルミン酸ナトリウムの２５％水溶液４０
ｍｌに、粒状活性炭（比表面積１２００ｍ2 ／ｇ、粒径
０．５ｍｍ〜２ｍｍ）１００ｍｌを浸漬し、攪拌後、乾
燥窒素ガスにて２００℃で３時間乾燥させ、水分を含ま
ないアルミン酸ナトリウム担持活性炭（ＮａＡｌＯ2 担
持量１０ｇ／１００ｍｌ活性炭）を調製し、精製剤１と
した。精製剤１は、比表面積が約５７０ｍ2 ／ｇ、平均
細孔径が約１４オングストロームであった。
した。 （精製剤１）アルミン酸ナトリウムの２５％水溶液４０
ｍｌに、粒状活性炭（比表面積１２００ｍ2 ／ｇ、粒径
０．５ｍｍ〜２ｍｍ）１００ｍｌを浸漬し、攪拌後、乾
燥窒素ガスにて２００℃で３時間乾燥させ、水分を含ま
ないアルミン酸ナトリウム担持活性炭（ＮａＡｌＯ2 担
持量１０ｇ／１００ｍｌ活性炭）を調製し、精製剤１と
した。精製剤１は、比表面積が約５７０ｍ2 ／ｇ、平均
細孔径が約１４オングストロームであった。
【００２７】（精製剤２）水酸化テトラメチルアンモニ
ウムの２５％水溶液４０ｍｌに、粒状活性炭（比表面積
１２００ｍ2 ／ｇ、粒径０．５ｍｍ〜２ｍｍ）１００ｍ
ｌを浸漬し、攪拌後、乾燥窒素ガスにて５０℃で５時間
乾燥させ、水分を含まないテトラメチルアンモニウム担
持活性炭（（ＣＨ3）4ＮＯＨ担持量１０ｇ／１００ｍｌ
活性炭）を調製し、精製剤２とした。精製剤２は、比表
面積が約５６０ｍ2 ／ｇ、平均細孔径が約１３オングス
トロームであった。
ウムの２５％水溶液４０ｍｌに、粒状活性炭（比表面積
１２００ｍ2 ／ｇ、粒径０．５ｍｍ〜２ｍｍ）１００ｍ
ｌを浸漬し、攪拌後、乾燥窒素ガスにて５０℃で５時間
乾燥させ、水分を含まないテトラメチルアンモニウム担
持活性炭（（ＣＨ3）4ＮＯＨ担持量１０ｇ／１００ｍｌ
活性炭）を調製し、精製剤２とした。精製剤２は、比表
面積が約５６０ｍ2 ／ｇ、平均細孔径が約１３オングス
トロームであった。
【００２８】（精製剤３）粒度２５０μｍ以下のチャー
炭と粒度２５０μｍ以下の消石灰とを、重量比１：３の
割合で配合し、ヘンシェルミキサーで混合しながら水を
加えて造粒し、次いで１１０℃で４時間乾燥し、更に窒
素雰囲気下８００℃で８時間熱処理して脱水焼成し、得
られた焼成物を２ｍｍ〜４ｍｍのペレットに整粒して精
製剤３を調製した。精製剤３は炭素（Ｃ）と酸化カルシ
ウム（ＣａＯ）が主成分であり、比表面積が約１２０ｍ
2 ／ｇ、平均細孔径が約１０００オングストロームであ
った。
炭と粒度２５０μｍ以下の消石灰とを、重量比１：３の
割合で配合し、ヘンシェルミキサーで混合しながら水を
加えて造粒し、次いで１１０℃で４時間乾燥し、更に窒
素雰囲気下８００℃で８時間熱処理して脱水焼成し、得
られた焼成物を２ｍｍ〜４ｍｍのペレットに整粒して精
製剤３を調製した。精製剤３は炭素（Ｃ）と酸化カルシ
ウム（ＣａＯ）が主成分であり、比表面積が約１２０ｍ
2 ／ｇ、平均細孔径が約１０００オングストロームであ
った。
【００２９】精製実験： （実施例１）容積７５ｍｌのＳＵＳ製シリンダーに、前
記の精製剤１を４０ｍｌ充填し、これに前記の不純ＳＦ
6 試料１を、室温で１２ＮＬ／ｈｒの速度で供給した。
シリンダーの出口でガスを採取し、ガス分析およびハロ
ゲンイオン分析を行った。ハロゲンイオン分析は、超純
水に出口ガスを一定時間吹き込み、この試料をイオンク
ロマトグラフィーにより分析した。分析結果を以下に示
す。 成分分析値（単位は重量ｐｐｍ，−は測定限界以下）； ＳＦ6 ９９．９４６７ ＣＦ4 ０．０４８２ Ｃ2Ｆ6 ０．００５１ Ｃ2Ｆ4 − ＳＯＦ2 − ＳＯ2Ｆ2 − ＳＯ2 − ＨＦ − Ｆ- ＜０．００１ ＳＯ4 - ０．００４ Ｈ2 Ｏ ０．０１２９ 上記の結果から、精製剤１によって、不純ＳＦ6 試料１
中の有害不純物が効果的に除去されたことは明かであ
る。
記の精製剤１を４０ｍｌ充填し、これに前記の不純ＳＦ
6 試料１を、室温で１２ＮＬ／ｈｒの速度で供給した。
シリンダーの出口でガスを採取し、ガス分析およびハロ
ゲンイオン分析を行った。ハロゲンイオン分析は、超純
水に出口ガスを一定時間吹き込み、この試料をイオンク
ロマトグラフィーにより分析した。分析結果を以下に示
す。 成分分析値（単位は重量ｐｐｍ，−は測定限界以下）； ＳＦ6 ９９．９４６７ ＣＦ4 ０．０４８２ Ｃ2Ｆ6 ０．００５１ Ｃ2Ｆ4 − ＳＯＦ2 − ＳＯ2Ｆ2 − ＳＯ2 − ＨＦ − Ｆ- ＜０．００１ ＳＯ4 - ０．００４ Ｈ2 Ｏ ０．０１２９ 上記の結果から、精製剤１によって、不純ＳＦ6 試料１
中の有害不純物が効果的に除去されたことは明かであ
る。
【００３０】（実施例２）容積７５ｍｌのＳＵＳ製シリ
ンダーに、前記の精製剤２を４０ｍｌ充填し、これに前
記の不純ＳＦ6 試料１を、室温で２０ＮＬ／ｈｒの速度
で供給した。シリンダーの出口でガスを採取し、実施例
１と同様にしてガス分析およびハロゲンイオン分析を行
った。分析結果を以下に示す。 成分分析値（単位は重量ｐｐｍ，−は測定限界以下）； ＳＦ6 ９９．９４１５ ＣＦ4 ０．０５２８ Ｃ2Ｆ6 ０．００５７ Ｃ2Ｆ4 − ＳＯＦ2 − ＳＯ2Ｆ2 − ＳＯ2 − ＨＦ − Ｆ- ＜０．０１ ＳＯ4 - ０．０１ Ｈ2 Ｏ 約１５０ 上記の結果から、精製剤１によって、不純ＳＦ6 試料１
中の有害不純物が効果的に除去されたことは明かであ
る。
ンダーに、前記の精製剤２を４０ｍｌ充填し、これに前
記の不純ＳＦ6 試料１を、室温で２０ＮＬ／ｈｒの速度
で供給した。シリンダーの出口でガスを採取し、実施例
１と同様にしてガス分析およびハロゲンイオン分析を行
った。分析結果を以下に示す。 成分分析値（単位は重量ｐｐｍ，−は測定限界以下）； ＳＦ6 ９９．９４１５ ＣＦ4 ０．０５２８ Ｃ2Ｆ6 ０．００５７ Ｃ2Ｆ4 − ＳＯＦ2 − ＳＯ2Ｆ2 − ＳＯ2 − ＨＦ − Ｆ- ＜０．０１ ＳＯ4 - ０．０１ Ｈ2 Ｏ 約１５０ 上記の結果から、精製剤１によって、不純ＳＦ6 試料１
中の有害不純物が効果的に除去されたことは明かであ
る。
【００３１】（実施例３）実施例２で得られた出口ガス
から水分を除去する実験を行った。容積７５ｍｌのＳＵ
Ｓ製シリンダーに、市販の合成ゼオライト（ユニオン昭
和社製モレキュラーシーブ３Ａ）を６０ｍｌ充填し、こ
れに前記の実施例２で得られた出口ガスを導入し、排出
ガス中の水分を分析した。分析値は５重量ｐｐｍ以下で
あった。この実施例３の方法によりＳＦ6 試料中の水分
が所定限度以下まで効果的に除去されたことは明かであ
る。
から水分を除去する実験を行った。容積７５ｍｌのＳＵ
Ｓ製シリンダーに、市販の合成ゼオライト（ユニオン昭
和社製モレキュラーシーブ３Ａ）を６０ｍｌ充填し、こ
れに前記の実施例２で得られた出口ガスを導入し、排出
ガス中の水分を分析した。分析値は５重量ｐｐｍ以下で
あった。この実施例３の方法によりＳＦ6 試料中の水分
が所定限度以下まで効果的に除去されたことは明かであ
る。
【００３２】（実施例４）容積７５ｍｌのＳＵＳ製シリ
ンダー２本を直列に連結し、第一のシリンダーには精製
剤３を４０ｍｌ充填し、第二のシリンダーには精製剤１
を４０ｍｌ充填し、第一のシリンダーから不純ＳＦ6 試
料１を、室温で２０ＮＬ／ｈｒの速度で供給した。第二
シリンダーの出口でガスを採取し、実施例１と同様にし
てガス分析およびハロゲンイオン分析を行った。分析結
果を以下に示す。 成分分析値（単位は重量ｐｐｍ，−は測定限界以下）； ＳＦ6 ９９．９５７９ ＣＦ4 ０．０３８９ Ｃ2Ｆ6 ０．００３２ Ｃ2Ｆ4 − ＳＯＦ2 − ＳＯ2Ｆ2 − ＳＯ2 − ＨＦ − Ｆ- ＜０．００１ ＳＯ4 - ０．００２ Ｈ2 Ｏ ０．００５ 上記の結果から、精製剤３および精製剤１の併用は、不
純ＳＦ6 試料１中の有害不純物の除去に有効であるばか
りでなく、パーフルオロカーボン類（ＣＦ4 、Ｃ2Ｆ6）
の除去にも有効であることがわかる。
ンダー２本を直列に連結し、第一のシリンダーには精製
剤３を４０ｍｌ充填し、第二のシリンダーには精製剤１
を４０ｍｌ充填し、第一のシリンダーから不純ＳＦ6 試
料１を、室温で２０ＮＬ／ｈｒの速度で供給した。第二
シリンダーの出口でガスを採取し、実施例１と同様にし
てガス分析およびハロゲンイオン分析を行った。分析結
果を以下に示す。 成分分析値（単位は重量ｐｐｍ，−は測定限界以下）； ＳＦ6 ９９．９５７９ ＣＦ4 ０．０３８９ Ｃ2Ｆ6 ０．００３２ Ｃ2Ｆ4 − ＳＯＦ2 − ＳＯ2Ｆ2 − ＳＯ2 − ＨＦ − Ｆ- ＜０．００１ ＳＯ4 - ０．００２ Ｈ2 Ｏ ０．００５ 上記の結果から、精製剤３および精製剤１の併用は、不
純ＳＦ6 試料１中の有害不純物の除去に有効であるばか
りでなく、パーフルオロカーボン類（ＣＦ4 、Ｃ2Ｆ6）
の除去にも有効であることがわかる。
【００３３】（実施例５）容積７５ｍｌのＳＵＳ製シリ
ンダーに、前記の精製剤１を４０ｍｌ充填し、これに前
記の不純ＳＦ6 試料２を、室温で１２ＮＬ／ｈｒの速度
で供給した。シリンダーの出口でガスを採取し、実施例
１と同様にしてガス分析およびハロゲンイオン分析を行
った。Ｓ2 Ｆ10の分析方法は電子捕獲型分析法（ＧＣ／
ＥＣＤ）によった。分析結果を以下に示す。 成分分析値（単位は重量ｐｐｍ，−は測定限界以下）； ＳＦ6 ９９．８４２３ ＣＦ4 ０．０４７２ Ｃ2Ｆ6 ０．００５０ Ｃ2Ｆ4 − ＳＯＦ2 − ＳＯ2Ｆ2 − ＳＯ2 − ＳＦ4 − Ｓ2 Ｆ10 ＜０．０００１ ＨＦ − Ｆ- ＜０．００１ ＳＯ4 - ０．００３ Ｈ2 Ｏ ０．０１２４ 上記の結果から、精製剤１によって、不純ＳＦ6 試料２
中のＳＦ4 およびＳ2Ｆ10も、他の有害不純物と同様に
効果的に除去されたことは明かである。
ンダーに、前記の精製剤１を４０ｍｌ充填し、これに前
記の不純ＳＦ6 試料２を、室温で１２ＮＬ／ｈｒの速度
で供給した。シリンダーの出口でガスを採取し、実施例
１と同様にしてガス分析およびハロゲンイオン分析を行
った。Ｓ2 Ｆ10の分析方法は電子捕獲型分析法（ＧＣ／
ＥＣＤ）によった。分析結果を以下に示す。 成分分析値（単位は重量ｐｐｍ，−は測定限界以下）； ＳＦ6 ９９．８４２３ ＣＦ4 ０．０４７２ Ｃ2Ｆ6 ０．００５０ Ｃ2Ｆ4 − ＳＯＦ2 − ＳＯ2Ｆ2 − ＳＯ2 − ＳＦ4 − Ｓ2 Ｆ10 ＜０．０００１ ＨＦ − Ｆ- ＜０．００１ ＳＯ4 - ０．００３ Ｈ2 Ｏ ０．０１２４ 上記の結果から、精製剤１によって、不純ＳＦ6 試料２
中のＳＦ4 およびＳ2Ｆ10も、他の有害不純物と同様に
効果的に除去されたことは明かである。
【００３４】
【発明の効果】本発明の六フッ化硫黄の精製方法は、不
純物を含む六フッ化硫黄を、アルカリ土類金属化合物、
アルミン酸アルカリ金属塩またはテトラアルキルアンモ
ニウム塩から選ばれた１種以上の化合物と炭素質固体と
からなる精製剤と接触させるものであるので、大規模な
設備を必要とせず、簡便かつ効果的に有害不純物を除去
することができる。更に本発明の精製方法は、脱水工程
を付加することによりＳＦ6 分解の一要因をなす水分を
除去することができて、精製ＳＦ6 を気体絶縁媒体とし
てリサイクルさせることができるようになる。
純物を含む六フッ化硫黄を、アルカリ土類金属化合物、
アルミン酸アルカリ金属塩またはテトラアルキルアンモ
ニウム塩から選ばれた１種以上の化合物と炭素質固体と
からなる精製剤と接触させるものであるので、大規模な
設備を必要とせず、簡便かつ効果的に有害不純物を除去
することができる。更に本発明の精製方法は、脱水工程
を付加することによりＳＦ6 分解の一要因をなす水分を
除去することができて、精製ＳＦ6 を気体絶縁媒体とし
てリサイクルさせることができるようになる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大野 博基 神奈川県川崎市川崎区扇町５−１ 昭和電 工株式会社化学品研究所内 (72)発明者 中條 哲夫 神奈川県川崎市川崎区扇町５−１ 昭和電 工株式会社化学品研究所内 (72)発明者 大井 敏夫 神奈川県川崎市川崎区扇町５−１ 昭和電 工株式会社川崎工場内 (72)発明者 丸茂 国臣 神奈川県川崎市川崎区扇町５−１ 昭和電 工株式会社化学品研究所内
Claims (12)
- 【請求項１】 不純物を含む六フッ化硫黄を、アルカリ
土類金属化合物、アルミン酸アルカリ金属塩およびテト
ラアルキルアンモニウム塩からなる群から選ばれた１種
以上の化合物と炭素質固体とからなる精製剤と接触させ
る六フッ化硫黄の精製方法。 - 【請求項２】 不純物としてフッ化水素、亜硫酸ガス、
一フッ化硫黄、二フッ化硫黄、四フッ化硫黄、五フッ化
硫黄、フッ化チオニルおよびフッ化スルフリルからなる
群の何れか１種以上を含む六フッ化硫黄を、請求項１に
記載の精製剤と接触させる六フッ化硫黄の精製方法。 - 【請求項３】 アルカリ土類金属化合物が、カルシウ
ム、マグネシウム、バリウムおよびストロンチウムの酸
化物、水酸化物、炭酸塩および硝酸塩からなる群から選
ばれたものである請求項１に記載の六フッ化硫黄の精製
方法。 - 【請求項４】 アルミン酸アルカリ金属塩が、アルミン
酸リチウム、アルミン酸ナトリウム、アルミン酸カリウ
ムおよびアルミン酸セシウムからなる群から選ばれたも
のである請求項１に記載の六フッ化硫黄の精製方法。 - 【請求項５】 テトラアルキルアンモニウム塩が、水酸
化テトラメチルアンモニウム、水酸化テトラエチルアン
モニウム、炭酸テトラメチルアンモニウム、炭酸テトラ
エチルアンモニウム、塩化テトラメチルアンモニウム、
塩化テトラエチルアンモニウム、アルミン酸テトラメチ
ルアンモニウムおよびアルミン酸テトラエチルアンモニ
ウムからなる群から選ばれたものである請求項１に記載
の六フッ化硫黄の精製方法。 - 【請求項６】 炭素質固体がコークス粉末、チャー炭、
石炭、ピッチ、木炭、活性炭およびカーボンブラックか
らなる群から選ばれた１種以上である請求項１に記載の
六フッ化硫黄の精製方法。 - 【請求項７】 精製剤の比表面積が８０ｍ2 ／ｇ〜１０
００ｍ2 ／ｇの範囲内である請求項１に記載の六フッ化
硫黄の精製方法。 - 【請求項８】 精製剤の平均細孔径が７オングストロー
ム〜１５００オングストロームの範囲内である請求項１
に記載の六フッ化硫黄の精製方法。 - 【請求項９】 精製された六フッ化硫黄中に含まれるフ
ッ化水素濃度を０．１重量ｐｐｍ以下とする請求項１に
記載の六フッ化硫黄の精製方法。 - 【請求項１０】 脱水工程が付加された請求項１に記載
の六フッ化硫黄の精製方法。 - 【請求項１１】 脱水工程が、脱水剤としてゼオライト
を用いるものである請求項９に記載の六フッ化硫黄の精
製方法。 - 【請求項１２】 精製された六フッ化硫黄中に含まれる
水分濃度を５０重量ｐｐｍ以下とする請求項１０に記載
の六フッ化硫黄の精製方法。
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