JPH1030601A - 流体圧制御装置 - Google Patents
流体圧制御装置Info
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- JPH1030601A JPH1030601A JP20520996A JP20520996A JPH1030601A JP H1030601 A JPH1030601 A JP H1030601A JP 20520996 A JP20520996 A JP 20520996A JP 20520996 A JP20520996 A JP 20520996A JP H1030601 A JPH1030601 A JP H1030601A
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- rotary valve
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- fluid pressure
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Landscapes
- Supply Devices, Intensifiers, Converters, And Telemotors (AREA)
- Magnetically Actuated Valves (AREA)
- Servomotors (AREA)
- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
- Multiple-Way Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】外部からの衝撃力による誤作動が少なく、ゴミ
等による目詰まりの恐れが少なく、しかも中立時のパワ
ーロスが小さい流体圧制御装置を提供する。 【解決手段】2個の可変オリフィス穴24,25とドレ
ーン穴27とが形成されたバルブボデー13,23と、
バルブボデーの内部に回転可能に配置され、いずれか一
方の可変オリフィス穴とドレーン穴とを選択的に連通さ
せる回転バルブ16と、電気信号を機械的回転力に変換
し、回転バルブを駆動するアクチュエータ12と、可変
オリフィス穴にそれぞれ流体圧を供給する2つの流路3
6,37と、各流路にそれぞれ設けられた固定オリフィ
ス32,33と、流路の固定オリフィスと可変オリフィ
ス穴との中間部に形成された出力ポート28,29とを
備える。回転バルブ16の回転に伴い、ドレーン穴27
といずれか一方の可変オリフィス穴24,25との開度
を調整することにより、2つの出力ポート28,29か
らの出力圧を調整可能とする。
等による目詰まりの恐れが少なく、しかも中立時のパワ
ーロスが小さい流体圧制御装置を提供する。 【解決手段】2個の可変オリフィス穴24,25とドレ
ーン穴27とが形成されたバルブボデー13,23と、
バルブボデーの内部に回転可能に配置され、いずれか一
方の可変オリフィス穴とドレーン穴とを選択的に連通さ
せる回転バルブ16と、電気信号を機械的回転力に変換
し、回転バルブを駆動するアクチュエータ12と、可変
オリフィス穴にそれぞれ流体圧を供給する2つの流路3
6,37と、各流路にそれぞれ設けられた固定オリフィ
ス32,33と、流路の固定オリフィスと可変オリフィ
ス穴との中間部に形成された出力ポート28,29とを
備える。回転バルブ16の回転に伴い、ドレーン穴27
といずれか一方の可変オリフィス穴24,25との開度
を調整することにより、2つの出力ポート28,29か
らの出力圧を調整可能とする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は油圧あるいは空圧な
どの加圧された流体の圧力を制御する装置、特に2つの
出力圧を微細制御するのに適した流体圧制御装置に関す
るものである。
どの加圧された流体の圧力を制御する装置、特に2つの
出力圧を微細制御するのに適した流体圧制御装置に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】図1に従来の流体圧制御装置の典型例を
示す。この従来例は、一般的にノズルフラッパ式電気・
流体圧変換器と称され、電気信号に応じて出力圧P1 ,
P2 が変化するものである。
示す。この従来例は、一般的にノズルフラッパ式電気・
流体圧変換器と称され、電気信号に応じて出力圧P1 ,
P2 が変化するものである。
【0003】ここで、この電気・流体圧変換器の構造と
動作原理を説明する。トルクモータ1は上部磁極2、下
部磁極3、アーマチュア4、アーマチュア4に固定され
たフラッパ5およびフレキシブルチューブ6を備えてお
り、コイル7は上,下部磁極2,3の内部でアーマチュ
ア4を取り囲むよう設けてある。フラッパ5に対向する
ようノズル8,9が設置され、出力ポート(P1 ,
P2 )と圧力流体供給ポート(Ps)の間に固定オリフ
ィス10,11が設けられている。
動作原理を説明する。トルクモータ1は上部磁極2、下
部磁極3、アーマチュア4、アーマチュア4に固定され
たフラッパ5およびフレキシブルチューブ6を備えてお
り、コイル7は上,下部磁極2,3の内部でアーマチュ
ア4を取り囲むよう設けてある。フラッパ5に対向する
ようノズル8,9が設置され、出力ポート(P1 ,
P2 )と圧力流体供給ポート(Ps)の間に固定オリフ
ィス10,11が設けられている。
【0004】図1の(a)は中立状態を示しており、フ
ラッパ5とノズル8,9の対向距離d1 ,d2 は等し
い。したがって、出力ポートの圧力P1 とP2 も等しい
状態が保持される。図1の(b)はコイル7に電気信号
(電流)が印加され、アーマチュア4の右端がN極、左
端がS極になった場合を示す。この時、フラッパ5は左
側へ変位し、フラッパ5とノズル8,9の対向距離はd
2 >d1 となるから、出力ポートの圧力はP1 >P2 と
なる。コイル7に流れる電流の方向を逆にすれば、P1
<P2 となる。このように、電流の流れる方向および大
きさに応じて、出力ポートの圧力P1,P2 を任意に制
御できる。
ラッパ5とノズル8,9の対向距離d1 ,d2 は等し
い。したがって、出力ポートの圧力P1 とP2 も等しい
状態が保持される。図1の(b)はコイル7に電気信号
(電流)が印加され、アーマチュア4の右端がN極、左
端がS極になった場合を示す。この時、フラッパ5は左
側へ変位し、フラッパ5とノズル8,9の対向距離はd
2 >d1 となるから、出力ポートの圧力はP1 >P2 と
なる。コイル7に流れる電流の方向を逆にすれば、P1
<P2 となる。このように、電流の流れる方向および大
きさに応じて、出力ポートの圧力P1,P2 を任意に制
御できる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】図1に示す電気・流体
圧変換器は、特に応答性能が良いことから、航空機の油
圧制御、フライトシュミレータなどのサーボシステムあ
るいは一般産業用圧力制御,位置制御などに広く用いら
れている。ところが、この電気・流体圧変換器には次の
ような幾つかの問題があった。
圧変換器は、特に応答性能が良いことから、航空機の油
圧制御、フライトシュミレータなどのサーボシステムあ
るいは一般産業用圧力制御,位置制御などに広く用いら
れている。ところが、この電気・流体圧変換器には次の
ような幾つかの問題があった。
【0006】すなわち、上記従来例の場合、ノズル8,
9とフラッパ5とが一直線状に配置されるため、この軸
方向に外部からの衝撃力が作用すると、フラッパ5がそ
のショックで変位し、距離d1 ,d2 が変化してしま
う。つまり、電気信号が入力されていないにも拘わら
ず、出力圧P1 ,P2 が変化してしまうという不具合が
あった。
9とフラッパ5とが一直線状に配置されるため、この軸
方向に外部からの衝撃力が作用すると、フラッパ5がそ
のショックで変位し、距離d1 ,d2 が変化してしま
う。つまり、電気信号が入力されていないにも拘わら
ず、出力圧P1 ,P2 が変化してしまうという不具合が
あった。
【0007】また、上記従来例では、フラッパ5とノズ
ル8,9の対向距離d1 ,d2 は、電気−流体圧の変換
効率を高めるため、非常に小さくしなければならない。
高速仕様の場合、中立時のd1 ,d2 は50μm程度で
あり、応答性を犠牲にする場合でも100〜150μm
と非常に小さい。そして、図1(b)のようにフラッパ
5が中立位置から変位した場合、上記寸法はさらに小さ
くなる。また、同様の理由でノズル8,9の先端の開口
部の直径も大きくできない。このように各寸法が非常に
小さいということは、圧力流体にゴミ等が混入している
場合、ノズル8,9とフラッパ5の対向隙間に目詰まり
を生じるという不具合を生じる。トルクモータ1は一般
に比較的小さな電流で圧力を制御できるよう設計されて
いるが、目詰まりの原因となるゴミを強制的に除去でき
るだけの力がない。
ル8,9の対向距離d1 ,d2 は、電気−流体圧の変換
効率を高めるため、非常に小さくしなければならない。
高速仕様の場合、中立時のd1 ,d2 は50μm程度で
あり、応答性を犠牲にする場合でも100〜150μm
と非常に小さい。そして、図1(b)のようにフラッパ
5が中立位置から変位した場合、上記寸法はさらに小さ
くなる。また、同様の理由でノズル8,9の先端の開口
部の直径も大きくできない。このように各寸法が非常に
小さいということは、圧力流体にゴミ等が混入している
場合、ノズル8,9とフラッパ5の対向隙間に目詰まり
を生じるという不具合を生じる。トルクモータ1は一般
に比較的小さな電流で圧力を制御できるよう設計されて
いるが、目詰まりの原因となるゴミを強制的に除去でき
るだけの力がない。
【0008】さらに、従来例の持つもう一つの欠点は、
中立時に無駄な圧力流体がノズル8,9とフラッパ5と
の対向隙間からリザーバタンクへ流出し、パワーロスが
大きくなることである。
中立時に無駄な圧力流体がノズル8,9とフラッパ5と
の対向隙間からリザーバタンクへ流出し、パワーロスが
大きくなることである。
【0009】そこで、本発明の目的は、上記のような問
題を解決できる流体圧制御装置を提供しようとするもの
である。
題を解決できる流体圧制御装置を提供しようとするもの
である。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、2個の可変オリフィス穴とドレーン穴と
が形成されたバルブボデーと、バルブボデーの内部に回
転可能に配置され、いずれか一方の可変オリフィス穴と
ドレーン穴とを選択的に連通させる回転バルブと、電気
信号を機械的回転力に変換し、回転バルブを駆動するア
クチュエータと、上記可変オリフィス穴にそれぞれ流体
圧を供給する2つの流路と、上記流路にそれぞれ設けら
れた固定オリフィスと、上記流路の固定オリフィスと可
変オリフィス穴との中間部に形成された出力ポートとを
備え、上記回転バルブの回転に伴い、ドレーン穴といず
れか一方の可変オリフィス穴との開度を調整することに
より、2つの出力ポートからの出力圧を調整可能とした
ものである。
に、本発明は、2個の可変オリフィス穴とドレーン穴と
が形成されたバルブボデーと、バルブボデーの内部に回
転可能に配置され、いずれか一方の可変オリフィス穴と
ドレーン穴とを選択的に連通させる回転バルブと、電気
信号を機械的回転力に変換し、回転バルブを駆動するア
クチュエータと、上記可変オリフィス穴にそれぞれ流体
圧を供給する2つの流路と、上記流路にそれぞれ設けら
れた固定オリフィスと、上記流路の固定オリフィスと可
変オリフィス穴との中間部に形成された出力ポートとを
備え、上記回転バルブの回転に伴い、ドレーン穴といず
れか一方の可変オリフィス穴との開度を調整することに
より、2つの出力ポートからの出力圧を調整可能とした
ものである。
【0011】本発明では従来のフラッパに相当するもの
が回転バルブであるから、回転方向の衝撃が作用しない
限り、回転バルブがショックで変位することがない。回
転方向の衝撃は実際には殆どあり得ないので、誤作動を
確実に防止できる。バルブの中立時に可変オリフィスが
完全に閉じられるので、中立時におけるパワーロスが全
くない。また、流体に混入したゴミによる目詰まりに関
しては、開口部を大きく取ることができるので、ゴミが
混入してもゴミ自身が流れ去る、いわば自浄作用を期待
でき、またゴミが滞留しても、回転バルブの回転駆動力
が大きいので、容易に除去できる。
が回転バルブであるから、回転方向の衝撃が作用しない
限り、回転バルブがショックで変位することがない。回
転方向の衝撃は実際には殆どあり得ないので、誤作動を
確実に防止できる。バルブの中立時に可変オリフィスが
完全に閉じられるので、中立時におけるパワーロスが全
くない。また、流体に混入したゴミによる目詰まりに関
しては、開口部を大きく取ることができるので、ゴミが
混入してもゴミ自身が流れ去る、いわば自浄作用を期待
でき、またゴミが滞留しても、回転バルブの回転駆動力
が大きいので、容易に除去できる。
【0012】また、非磁性体よりなる薄肉隔壁部によっ
てバルブボデーの内部と外部とを分離し、アクチュエー
タをバルブボデーの外部に配置するとともに、アクチュ
エータの回転シャフトと回転バルブとにそれぞれ永久磁
石を取り付け、アクチュエータの回転シャフトと回転バ
ルブとを薄肉隔壁部を介して永久磁石によって磁気的に
連結してもよい。この場合には、加圧流体の漏れの心配
がないので、シールが簡単となり、部品交換の必要もな
くなる。
てバルブボデーの内部と外部とを分離し、アクチュエー
タをバルブボデーの外部に配置するとともに、アクチュ
エータの回転シャフトと回転バルブとにそれぞれ永久磁
石を取り付け、アクチュエータの回転シャフトと回転バ
ルブとを薄肉隔壁部を介して永久磁石によって磁気的に
連結してもよい。この場合には、加圧流体の漏れの心配
がないので、シールが簡単となり、部品交換の必要もな
くなる。
【0013】
【発明の実施の形態】図2,図3は本発明にかかる流体
圧制御装置の一実施例を示す。2相(あるいは4相)、
3相または5相のステッピングモータ12がバルブ本体
13にボルト14で取り付けられている。電気信号を機
械的回転力に変換できるものであれば、ステッピングモ
ータ12の他に、例えば回転型トルクモータ、DCモー
タあるいはDCサーボモータなどを用いることができる
が、本実施例ではモータのロータ慣性が比較的小さく、
発生トルクが比較的大きな(つまり高応答の期待でき
る)ステッピングモータを主として入力段に用いた。し
たがって、ステッピングモータ以外のモータを排除する
ものではない。
圧制御装置の一実施例を示す。2相(あるいは4相)、
3相または5相のステッピングモータ12がバルブ本体
13にボルト14で取り付けられている。電気信号を機
械的回転力に変換できるものであれば、ステッピングモ
ータ12の他に、例えば回転型トルクモータ、DCモー
タあるいはDCサーボモータなどを用いることができる
が、本実施例ではモータのロータ慣性が比較的小さく、
発生トルクが比較的大きな(つまり高応答の期待でき
る)ステッピングモータを主として入力段に用いた。し
たがって、ステッピングモータ以外のモータを排除する
ものではない。
【0014】ステッピングモータ12の回転シャフト1
5は回転バルブ16に固定されたシャフト17にフレキ
シブルカップリング18を介して強固に接続されてい
る。この実施例では、止めネジ19でフレキシブルカッ
プリング18をシャフト15,17に固定する方式を図
示しているが、クランプ方式でもよいし、シャフト1
5,17を一体加工し、フレキシブルカップリング18
を省略しうる設計としてもよい。回転バルブ16のシャ
フト17,20は軸受21,22で支持され、回転バル
ブ16とこれら軸受21,22はスリーブ23の内周に
回転自在に挿入されている。なお、スリーブ23はバル
ブ本体13に固定され、これら部品によって本発明のバ
ルブボデーが構成されている。
5は回転バルブ16に固定されたシャフト17にフレキ
シブルカップリング18を介して強固に接続されてい
る。この実施例では、止めネジ19でフレキシブルカッ
プリング18をシャフト15,17に固定する方式を図
示しているが、クランプ方式でもよいし、シャフト1
5,17を一体加工し、フレキシブルカップリング18
を省略しうる設計としてもよい。回転バルブ16のシャ
フト17,20は軸受21,22で支持され、回転バル
ブ16とこれら軸受21,22はスリーブ23の内周に
回転自在に挿入されている。なお、スリーブ23はバル
ブ本体13に固定され、これら部品によって本発明のバ
ルブボデーが構成されている。
【0015】スリーブ23には放射状に設けられた3個
の貫通穴、すなわち可変オリフィス穴24,25とリザ
ーバタンク26に加圧流体を戻すためのドレーン穴27
とが設けられている。穴24,25に連通する流路3
6,37の途中に出力ポート28,29が設けられ、出
力ポート28,29の圧力P1 ,P2 を取り出すことが
できるようになっている。出力ポート28,29と加圧
流体の供給ポート30,31の間には、図1に示した従
来例と同様の固定オリフィス32,33が取り付けられ
ている。
の貫通穴、すなわち可変オリフィス穴24,25とリザ
ーバタンク26に加圧流体を戻すためのドレーン穴27
とが設けられている。穴24,25に連通する流路3
6,37の途中に出力ポート28,29が設けられ、出
力ポート28,29の圧力P1 ,P2 を取り出すことが
できるようになっている。出力ポート28,29と加圧
流体の供給ポート30,31の間には、図1に示した従
来例と同様の固定オリフィス32,33が取り付けられ
ている。
【0016】回転バルブ16は穴24,25に対向する
円筒部に平坦な切欠面34,35を有する。なお、一方
の切欠面35はなくてもよいが、回転バルブ16の回転
バランスをよくするために設けられている。図3は中立
状態、すなわち穴24,25が回転バルブ16の円筒部
で閉じられた状態を示し、このとき出力ポート28,2
9の圧力は P1 =P2 =Ps となる。なお、Psは元圧である。
円筒部に平坦な切欠面34,35を有する。なお、一方
の切欠面35はなくてもよいが、回転バルブ16の回転
バランスをよくするために設けられている。図3は中立
状態、すなわち穴24,25が回転バルブ16の円筒部
で閉じられた状態を示し、このとき出力ポート28,2
9の圧力は P1 =P2 =Ps となる。なお、Psは元圧である。
【0017】図4は回転バルブ16が中立位置から時計
回り方向に回転した状態を示す。中立位置では閉じられ
ていた穴25が、回転バルブ16に設けられている切欠
面34によって開口し、供給ポート31、固定オリフィ
ス33を流れてくる加圧流体がこの開口部を通り、穴2
7、流路38を経てリザーバタンク26に戻る。したが
って、出力ポート29の圧力P2 は元圧Psより低くな
る。一方、穴24は回転バルブ16の円筒部で閉じられ
たままであるから、出力ポート28の圧力はP1 =Ps
である。すなわち、出力ポート28,29の圧力は、P
1 >P2 の関係になる。回転バルブ16の回転方向を反
時計回り方向にすれば、P1 <P2 となる。このように
して、本発明では回転バルブ16の回転方向および回転
角度の大きさに応じて出力ポート28,29の圧力
P1 ,P2 を任意に制御できることになる。
回り方向に回転した状態を示す。中立位置では閉じられ
ていた穴25が、回転バルブ16に設けられている切欠
面34によって開口し、供給ポート31、固定オリフィ
ス33を流れてくる加圧流体がこの開口部を通り、穴2
7、流路38を経てリザーバタンク26に戻る。したが
って、出力ポート29の圧力P2 は元圧Psより低くな
る。一方、穴24は回転バルブ16の円筒部で閉じられ
たままであるから、出力ポート28の圧力はP1 =Ps
である。すなわち、出力ポート28,29の圧力は、P
1 >P2 の関係になる。回転バルブ16の回転方向を反
時計回り方向にすれば、P1 <P2 となる。このように
して、本発明では回転バルブ16の回転方向および回転
角度の大きさに応じて出力ポート28,29の圧力
P1 ,P2 を任意に制御できることになる。
【0018】図2において、プラグ39は軸受21,2
2で支持された回転バルブ16をシャフト17,20の
軸方向に移動しないようにするために設けたもので、シ
ール40で外部への流体のリークを防止している。ま
た、シャフト17の外周には回転シール41が設けら
れ、これも外部への流体のリークを防止している。
2で支持された回転バルブ16をシャフト17,20の
軸方向に移動しないようにするために設けたもので、シ
ール40で外部への流体のリークを防止している。ま
た、シャフト17の外周には回転シール41が設けら
れ、これも外部への流体のリークを防止している。
【0019】さて、上記の圧力制御バルブの構成によっ
て得られる作用効果について、以下に説明する。図3で
明らかなように、バルブの中立時に可変オリフィスを構
成する穴24,25が完全に閉じられ、中立時における
パワーロスが全くない。また、流体に混入したゴミによ
る目詰まりに関しては、図4にみるように開口部を大き
く取ることができるので、ゴミが混入してもゴミ自身が
流れ去る、自浄効果を期待できる。例えば、ゴミが滞留
しても、回転バルブ16の回転駆動力が大きいので、容
易に除去できる。
て得られる作用効果について、以下に説明する。図3で
明らかなように、バルブの中立時に可変オリフィスを構
成する穴24,25が完全に閉じられ、中立時における
パワーロスが全くない。また、流体に混入したゴミによ
る目詰まりに関しては、図4にみるように開口部を大き
く取ることができるので、ゴミが混入してもゴミ自身が
流れ去る、自浄効果を期待できる。例えば、ゴミが滞留
しても、回転バルブ16の回転駆動力が大きいので、容
易に除去できる。
【0020】また、従来例(図1参照)ではノズル8,
9とフラッパ5とが一直線状に配置されるため、この軸
方向に外部からの衝撃が作用すると、フラッパ5がその
ショックで変位し、d1 とd2 を変化させ、電気信号が
ないにも拘わらず、P1 とP2 が変化してしまう。これ
に対し、本発明ではフラッパに相当するものが回転バル
ブ16であり、回転方向の衝撃(実際にはあり得ない)
が作用しない限り、誤動作しないという特徴がある。ま
た、ステッピングモータ12の駆動力がギヤ機構などを
介在せずに直接回転バルブ16に伝えられるので、イナ
ーシャによる応答性の低下や、バックラッシによる精度
低下がない。
9とフラッパ5とが一直線状に配置されるため、この軸
方向に外部からの衝撃が作用すると、フラッパ5がその
ショックで変位し、d1 とd2 を変化させ、電気信号が
ないにも拘わらず、P1 とP2 が変化してしまう。これ
に対し、本発明ではフラッパに相当するものが回転バル
ブ16であり、回転方向の衝撃(実際にはあり得ない)
が作用しない限り、誤動作しないという特徴がある。ま
た、ステッピングモータ12の駆動力がギヤ機構などを
介在せずに直接回転バルブ16に伝えられるので、イナ
ーシャによる応答性の低下や、バックラッシによる精度
低下がない。
【0021】図2に示された圧力制御装置では、ステッ
ピングモータ12の回転シャフト15と回転バルブ16
のシャフト17をフレキシブルカップリング18によっ
て結合した例を示したが、この方法では加圧流体の外部
へのリークを防ぐために回転シール41を取り付けなけ
ればならず、シャフト17とシール41との接触による
問題があり、いかに優れたシール41であっても寿命が
存在する。このため、一定期間動作させた後シール41
を交換したり、シャフトのシールと接触する部分に摩耗
が発生した場合は、回転バルブ16も交換しなければな
らない。
ピングモータ12の回転シャフト15と回転バルブ16
のシャフト17をフレキシブルカップリング18によっ
て結合した例を示したが、この方法では加圧流体の外部
へのリークを防ぐために回転シール41を取り付けなけ
ればならず、シャフト17とシール41との接触による
問題があり、いかに優れたシール41であっても寿命が
存在する。このため、一定期間動作させた後シール41
を交換したり、シャフトのシールと接触する部分に摩耗
が発生した場合は、回転バルブ16も交換しなければな
らない。
【0022】そこで、図5のような圧力制御装置を用い
ることが可能である。この場合には、ステッピングモー
タ12の回転シャフト15と回転バルブ16のシャフト
17との結合を永久磁石70,72を用いて無接触で行
ったものである。この構造では、プラグ39に設けられ
た薄肉隔壁部73によって加圧流体が供給される部分と
外部とが分離され、図2に見られるような回転シール4
1が不要となる。この場合、隔壁部73は非磁性体でな
ければならない。69,71は永久磁石70,72のホ
ルダであり、一般的に強磁性材料で形成され、それぞれ
シャフト15,17に強固に取り付けられている。
ることが可能である。この場合には、ステッピングモー
タ12の回転シャフト15と回転バルブ16のシャフト
17との結合を永久磁石70,72を用いて無接触で行
ったものである。この構造では、プラグ39に設けられ
た薄肉隔壁部73によって加圧流体が供給される部分と
外部とが分離され、図2に見られるような回転シール4
1が不要となる。この場合、隔壁部73は非磁性体でな
ければならない。69,71は永久磁石70,72のホ
ルダであり、一般的に強磁性材料で形成され、それぞれ
シャフト15,17に強固に取り付けられている。
【0023】図6は永久磁石70,72の対向面を軸方
向から見た図である。この例では、円板状の永久磁石を
4分割し、N,S極を交互に着磁したものである。当然
ながら、4分割に限る必要はない。このような永久磁石
70,72を対向して設置すれば、回転あるいは揺動を
無接触で伝えることができる。そのため、シール41が
不要になるとともに、部品の交換も実質的に不要とな
る。
向から見た図である。この例では、円板状の永久磁石を
4分割し、N,S極を交互に着磁したものである。当然
ながら、4分割に限る必要はない。このような永久磁石
70,72を対向して設置すれば、回転あるいは揺動を
無接触で伝えることができる。そのため、シール41が
不要になるとともに、部品の交換も実質的に不要とな
る。
【0024】上記実施例では、バルブボデーに2個の可
変オリフィス穴24,25とその中間部に1個のドレー
ン穴38とを形成したが、これに限るものではなく、2
個の可変オリフィス穴と2個のドレーン穴とを形成して
もよい。この場合には、一方の可変オリフィス穴と一方
のドレーン穴とが連通した時、他方の可変オリフィス穴
と他方のドレーンとは連通しないように形成する必要が
ある。
変オリフィス穴24,25とその中間部に1個のドレー
ン穴38とを形成したが、これに限るものではなく、2
個の可変オリフィス穴と2個のドレーン穴とを形成して
もよい。この場合には、一方の可変オリフィス穴と一方
のドレーン穴とが連通した時、他方の可変オリフィス穴
と他方のドレーンとは連通しないように形成する必要が
ある。
【0025】次に、回転バルブ16を操作するステッピ
ングモータ12の駆動方法について説明する。既に述べ
たように、ステッピングモータ12として2相(あるい
は4相),3相または5相モータが産業用として広く用
いられている。ここでは、本発明の主旨を理解しやすく
するため、2相ステッピングモータの場合について詳述
する。
ングモータ12の駆動方法について説明する。既に述べ
たように、ステッピングモータ12として2相(あるい
は4相),3相または5相モータが産業用として広く用
いられている。ここでは、本発明の主旨を理解しやすく
するため、2相ステッピングモータの場合について詳述
する。
【0026】図7は2相ステッピングモータの一般的な
駆動方法を示す。2相ステッピングモータは、A相,B
相と称する2組の巻線がステータに巻かれており、A相
とB相に図7で示すような電気信号を与えると、P度ず
つ回転する。Pはステッピングモータの基本ステップ角
と称し、1.8度、3.75度あるいは7.5度と目的
に応じて色々な角度を持つように設計される。本発明に
関しては、基本ステップ角を限定する必要はなく、何度
でもよいので、以下Pで表現する。
駆動方法を示す。2相ステッピングモータは、A相,B
相と称する2組の巻線がステータに巻かれており、A相
とB相に図7で示すような電気信号を与えると、P度ず
つ回転する。Pはステッピングモータの基本ステップ角
と称し、1.8度、3.75度あるいは7.5度と目的
に応じて色々な角度を持つように設計される。本発明に
関しては、基本ステップ角を限定する必要はなく、何度
でもよいので、以下Pで表現する。
【0027】図7でA相に電流を印加し、B相を無励磁
のままにすると、以前の位置からP度回転して停止す
る。次にA相を励磁したまま、B相も励磁すると、さら
にP度回転して停止する。このように、図7で示す手順
でA相,B相を励磁すると、P度を基準回転角としてス
テッピングモータは回転し続ける。図7から明らかなよ
うに4P度進むと、同じ動作が繰り返される。
のままにすると、以前の位置からP度回転して停止す
る。次にA相を励磁したまま、B相も励磁すると、さら
にP度回転して停止する。このように、図7で示す手順
でA相,B相を励磁すると、P度を基準回転角としてス
テッピングモータは回転し続ける。図7から明らかなよ
うに4P度進むと、同じ動作が繰り返される。
【0028】ここで、回転角4P以内の領域について注
目する。A相とB相に与える電気信号の関係を上記のよ
うにON,OFFの2段階とした場合には、分解能はP
度でしかない。しかし、図2〜図4に示す圧力制御装置
のように、回転バルブ16が微小角度回転するだけで出
力圧が大きく変化する場合には、基本ステップ角P=
1.8度では微細な圧力制御ができない場合がある。そ
こで、次のような制御を行えば、回転バルブ16の特定
の回転位置を分解能無限小で制御でき、圧力を高精度に
制御できることになる。すなわち、図7の4Pを一周期
とした場合、A相とB相に与えるべき信号を1/4周期
ずらす、換言すれば、A相とB相にそれぞれcosとs
inの三角関数関係を有する電気信号を与えることがで
きれば、回転角4P以内の任意の回転位置を分解能無限
小で制御できる。具体的にいえば、A相にcosθ,B
相にsinθに比例する電流を与えると、上記した如く
回転角4P以内の任意の回転位置を制御しうる。ここ
で、θは0〜2πの任意の値を示す。
目する。A相とB相に与える電気信号の関係を上記のよ
うにON,OFFの2段階とした場合には、分解能はP
度でしかない。しかし、図2〜図4に示す圧力制御装置
のように、回転バルブ16が微小角度回転するだけで出
力圧が大きく変化する場合には、基本ステップ角P=
1.8度では微細な圧力制御ができない場合がある。そ
こで、次のような制御を行えば、回転バルブ16の特定
の回転位置を分解能無限小で制御でき、圧力を高精度に
制御できることになる。すなわち、図7の4Pを一周期
とした場合、A相とB相に与えるべき信号を1/4周期
ずらす、換言すれば、A相とB相にそれぞれcosとs
inの三角関数関係を有する電気信号を与えることがで
きれば、回転角4P以内の任意の回転位置を分解能無限
小で制御できる。具体的にいえば、A相にcosθ,B
相にsinθに比例する電流を与えると、上記した如く
回転角4P以内の任意の回転位置を制御しうる。ここ
で、θは0〜2πの任意の値を示す。
【0029】上述した三角関数はマイクロプロセッサ、
あるいは三角関数の関係を予めROMなどに記憶させる
方法などで容易に得ることができるが、ステッピングモ
ータのA相,B相に印加すべき電気信号に変換するため
には、D/A変換が追加的に必要になり、経済的ではな
い。そこで、以下にステッピングモータの最適な制御方
法の一例を、図8,図9を参照して具体的に述べる。
あるいは三角関数の関係を予めROMなどに記憶させる
方法などで容易に得ることができるが、ステッピングモ
ータのA相,B相に印加すべき電気信号に変換するため
には、D/A変換が追加的に必要になり、経済的ではな
い。そこで、以下にステッピングモータの最適な制御方
法の一例を、図8,図9を参照して具体的に述べる。
【0030】39は時間に応じて電圧が三角関数状に変
化する発振器で、例えば特公平6−66587号公報に
開示されたクワドラチャ発振回路などを用いることがで
きる。出力端40にsin状に変化する電圧、出力端4
1にcos状に変化する電圧が出力され、それぞれ図9
のA,Bに示すように周期T秒を有する。
化する発振器で、例えば特公平6−66587号公報に
開示されたクワドラチャ発振回路などを用いることがで
きる。出力端40にsin状に変化する電圧、出力端4
1にcos状に変化する電圧が出力され、それぞれ図9
のA,Bに示すように周期T秒を有する。
【0031】sin状の電圧信号はコンパレータ42の
正入力に印加され、出力43から図9のCの矩形波を得
る。この波形Cは、コンデンサ44,抵抗45で微分さ
れ、その出力端46に波形Dを得る。この波形Dは、電
圧V2 と比較され、コンパレータ47の出力波形が図9
のEのようになり、アナログスイッチ48をON−OF
Fする。演算増幅器49の負入力には抵抗50を通じて
電圧V0 によって決まる一定電流が流れる。演算増幅器
49の出力と負入力の間には積分コンデンサ51が接続
されているので、図9に示すように一定勾配で変化する
電圧Fが演算増幅器49の出力53に得られる。既に述
べたように、アナログスイッチ48は図9のEの信号に
よってONとなるので、一定周期T秒毎に出力53はO
vにリセットされる。なお、抵抗52はアナログスイッ
チ48の保護抵抗である。
正入力に印加され、出力43から図9のCの矩形波を得
る。この波形Cは、コンデンサ44,抵抗45で微分さ
れ、その出力端46に波形Dを得る。この波形Dは、電
圧V2 と比較され、コンパレータ47の出力波形が図9
のEのようになり、アナログスイッチ48をON−OF
Fする。演算増幅器49の負入力には抵抗50を通じて
電圧V0 によって決まる一定電流が流れる。演算増幅器
49の出力と負入力の間には積分コンデンサ51が接続
されているので、図9に示すように一定勾配で変化する
電圧Fが演算増幅器49の出力53に得られる。既に述
べたように、アナログスイッチ48は図9のEの信号に
よってONとなるので、一定周期T秒毎に出力53はO
vにリセットされる。なお、抵抗52はアナログスイッ
チ48の保護抵抗である。
【0032】このようにして、ノコギリ歯状の電圧信号
Fが図9のように得られ、この信号はコンパレータ54
の正入力に接続され、負入力に加えられる電圧V1 と比
較される。したがって、コンパレータ54の出力は図9
のGのようにV1 に応じた時間幅を有するゲート信号と
なる。このゲート信号はコンデンサ55と抵抗56で微
分され、図9の波形Hを得る。この波形はコンパレータ
57で電圧V3 と比較され、出力58に図9に示す信号
Iを得る。この信号はアナログスイッチ59,60をO
N−OFFする。
Fが図9のように得られ、この信号はコンパレータ54
の正入力に接続され、負入力に加えられる電圧V1 と比
較される。したがって、コンパレータ54の出力は図9
のGのようにV1 に応じた時間幅を有するゲート信号と
なる。このゲート信号はコンデンサ55と抵抗56で微
分され、図9の波形Hを得る。この波形はコンパレータ
57で電圧V3 と比較され、出力58に図9に示す信号
Iを得る。この信号はアナログスイッチ59,60をO
N−OFFする。
【0033】アナログスイッチ59はsin状電圧信号
回路40と演算増幅器65からなる回路に、またアナロ
グスイッチ60はcos状電圧信号回路41と演算増幅
器6からなる回路にそれぞれ接続されている。抵抗6
1,63はアナログスイッチ59,60の保護抵抗であ
り、コンデンサ62,64はチャージコンデンサの役割
を果たす。演算増幅器65,66はボルテージフォロワ
ーになっているので、図9のIで示すパルスの立ち下が
る時刻におけるの図9のA,Bの電圧が保持され、出力
67にはsin2πt/T、出力68にはcos2πt
/Tに比例した電圧が得られ、これらをステッピングモ
ータのB相およびA相に加えるとよいことになる。
回路40と演算増幅器65からなる回路に、またアナロ
グスイッチ60はcos状電圧信号回路41と演算増幅
器6からなる回路にそれぞれ接続されている。抵抗6
1,63はアナログスイッチ59,60の保護抵抗であ
り、コンデンサ62,64はチャージコンデンサの役割
を果たす。演算増幅器65,66はボルテージフォロワ
ーになっているので、図9のIで示すパルスの立ち下が
る時刻におけるの図9のA,Bの電圧が保持され、出力
67にはsin2πt/T、出力68にはcos2πt
/Tに比例した電圧が得られ、これらをステッピングモ
ータのB相およびA相に加えるとよいことになる。
【0034】以上の説明から明らかなように、アナログ
電圧であるV1 を変化させれば、tを周期Tの範囲内で
任意(厳密には図9のEで示すリセット時間は除く)に
変化させることができる。そのため、ステッピングモー
タのA相,B相に必要な三角関数の関係をもった電気信
号を与えることができ、結果としてアナログ電圧信号に
よってステッピングモータの回転角度位置をほぼ4Pの
角度内で任意に制御できることになる。
電圧であるV1 を変化させれば、tを周期Tの範囲内で
任意(厳密には図9のEで示すリセット時間は除く)に
変化させることができる。そのため、ステッピングモー
タのA相,B相に必要な三角関数の関係をもった電気信
号を与えることができ、結果としてアナログ電圧信号に
よってステッピングモータの回転角度位置をほぼ4Pの
角度内で任意に制御できることになる。
【0035】さて、図9に示した周期Tに関して、具体
的には0.1msec(10KHz)あるいはさらに短
い周期でも図8の回路は容易に動作する。本発明で述べ
た圧力制御装置は流体の圧力を制御するものであって、
例えば油圧などを非圧縮性流体と仮定しても、応答性と
して200Hz程度を考えておけば十分である。したが
って、本発明で提案したステッピングモータの駆動方法
で用いる10KHzは全く無視でき、実用的には上述し
たアナログ電圧V1 とステッピングモータの回転位置の
間には、ステッピングモータのロータの慣性、A相とB
相のコイルのインダクタンスなどに起因する応答遅れ以
外、遅れを生じないと考えることができる。
的には0.1msec(10KHz)あるいはさらに短
い周期でも図8の回路は容易に動作する。本発明で述べ
た圧力制御装置は流体の圧力を制御するものであって、
例えば油圧などを非圧縮性流体と仮定しても、応答性と
して200Hz程度を考えておけば十分である。したが
って、本発明で提案したステッピングモータの駆動方法
で用いる10KHzは全く無視でき、実用的には上述し
たアナログ電圧V1 とステッピングモータの回転位置の
間には、ステッピングモータのロータの慣性、A相とB
相のコイルのインダクタンスなどに起因する応答遅れ以
外、遅れを生じないと考えることができる。
【0036】以上は2相ステッピングモータの場合を述
べたが、最近多用されている2相ステッピングモータの
基本ステップ角Pは1.8度で、その回転角4Pは7.
2度でしかない。つまり、図3のような回転バルブ16
に適用した場合、左右に3.6度ずつしか回転できな
い。特定の応用分野ではこの角度(7.2度)で十分な
場合があるが、他の応用範囲ではより大きな回転角が要
求される場合がある。基本ステップ角の大きな2相ステ
ッピングモータを選択することも可能であるが、出力ト
ルク及び応答性が劣る。これに対し、3相ステッピング
モータの場合には、基本ステップ角Pが3.75度で、
出力トルクおよび応答性も優れたものが市販されてお
り、しかも、回転角が6Pつまり22.5度であるか
ら、広い分野に応用できるという特長がある。例えば、
図3のような回転バルブ16に適用した場合、左右に1
1.25度ずつ回転できることになるので、可変オリフ
ィス穴24,25の開度変化を大きくでき、出力圧
P1 ,P2 の制御範囲を広げることが可能になる。
べたが、最近多用されている2相ステッピングモータの
基本ステップ角Pは1.8度で、その回転角4Pは7.
2度でしかない。つまり、図3のような回転バルブ16
に適用した場合、左右に3.6度ずつしか回転できな
い。特定の応用分野ではこの角度(7.2度)で十分な
場合があるが、他の応用範囲ではより大きな回転角が要
求される場合がある。基本ステップ角の大きな2相ステ
ッピングモータを選択することも可能であるが、出力ト
ルク及び応答性が劣る。これに対し、3相ステッピング
モータの場合には、基本ステップ角Pが3.75度で、
出力トルクおよび応答性も優れたものが市販されてお
り、しかも、回転角が6Pつまり22.5度であるか
ら、広い分野に応用できるという特長がある。例えば、
図3のような回転バルブ16に適用した場合、左右に1
1.25度ずつ回転できることになるので、可変オリフ
ィス穴24,25の開度変化を大きくでき、出力圧
P1 ,P2 の制御範囲を広げることが可能になる。
【0037】以下に3相ステッピングモータの場合を説
明する。3相ステッピングモータは、図10で示すよう
に電気信号をステッピングモータの3個(U,Vおよび
W相)のコイルに与えると、2相ステッピングモータと
同様に基本ステップ角P度ずつ回転する。図10でU相
に正の電流を印加し、V相を無励磁、W相に負の電流を
印加すると、以前の位置からP度回転して停止する。次
に、U相に正の電流を印加したままV相に負の電流を印
加し、W相を無励磁とすると、更にP度回転して停止す
る。このように、図10で示す手順でU,VおよびW相
を励磁すると、P度を基本ステップ角としてステッピン
グモータは回転し続ける。図10から明らかなように、
6P進むと、同じ動作が繰り返される。
明する。3相ステッピングモータは、図10で示すよう
に電気信号をステッピングモータの3個(U,Vおよび
W相)のコイルに与えると、2相ステッピングモータと
同様に基本ステップ角P度ずつ回転する。図10でU相
に正の電流を印加し、V相を無励磁、W相に負の電流を
印加すると、以前の位置からP度回転して停止する。次
に、U相に正の電流を印加したままV相に負の電流を印
加し、W相を無励磁とすると、更にP度回転して停止す
る。このように、図10で示す手順でU,VおよびW相
を励磁すると、P度を基本ステップ角としてステッピン
グモータは回転し続ける。図10から明らかなように、
6P進むと、同じ動作が繰り返される。
【0038】ここで、回転角6P以内の領域に注目する
と、U,VおよびW相に与える電気信号を正,無,負の
3段階とした場合には、分解能はP度でしかないが、次
のような方法を用いれば、特定の回転位置を分解能無限
小で制御できる。即ち、図10の6Pを一周期とすれ
ば、U,VおよびW相に与えるべき信号を1/3周期ず
つずらす、つまりU,VおよびW相にそれぞれsin
θ,sin(θ−240°),sin(θ−120°)
の三角関数関係を有する電気信号を与えることができれ
ば、回転角6P以内の任意の回転位置を分解能無限小で
制御しうる。
と、U,VおよびW相に与える電気信号を正,無,負の
3段階とした場合には、分解能はP度でしかないが、次
のような方法を用いれば、特定の回転位置を分解能無限
小で制御できる。即ち、図10の6Pを一周期とすれ
ば、U,VおよびW相に与えるべき信号を1/3周期ず
つずらす、つまりU,VおよびW相にそれぞれsin
θ,sin(θ−240°),sin(θ−120°)
の三角関数関係を有する電気信号を与えることができれ
ば、回転角6P以内の任意の回転位置を分解能無限小で
制御しうる。
【0039】3相の場合は、 sinθ+sin(θ−240°)+sin(θ−120°)=0 …(1) が成り立つので、U,VおよびW相に印加すべき電気信
号は容易に得ることができる。即ち、U相とW相に印加
すべき電気信号を得ることができれば、(1)式から U+W+V=0 であるから、 V=−U−W …(2) の関係でVが求まる。
号は容易に得ることができる。即ち、U相とW相に印加
すべき電気信号を得ることができれば、(1)式から U+W+V=0 であるから、 V=−U−W …(2) の関係でVが求まる。
【0040】図11において、Uはsinθ、Wはsi
n(θ−120°)を示す。図9のC〜Iの波形は3相
ステッピングモータの場合でも全く同じであるため、こ
こでは省略する。
n(θ−120°)を示す。図9のC〜Iの波形は3相
ステッピングモータの場合でも全く同じであるため、こ
こでは省略する。
【0041】図12は3相ステッピングモータの駆動回
路の一例を示す。図8と同一機能の部品には同一符号を
付した。図8と図12の違いの1つは、図12では発振
器39がsinθとsin(θ−120°)の2つの信
号を出力することである。勿論、sinθとsin(θ
−240°)との組み合わせでもよく、最も経済的な組
み合わせを選べばよい。もう1つの違いは、図12では
抵抗74,75,76と演算増幅器77からなる加算回
路を追加したことである。この例の場合、加算によって
Vを得る方法を示している。
路の一例を示す。図8と同一機能の部品には同一符号を
付した。図8と図12の違いの1つは、図12では発振
器39がsinθとsin(θ−120°)の2つの信
号を出力することである。勿論、sinθとsin(θ
−240°)との組み合わせでもよく、最も経済的な組
み合わせを選べばよい。もう1つの違いは、図12では
抵抗74,75,76と演算増幅器77からなる加算回
路を追加したことである。この例の場合、加算によって
Vを得る方法を示している。
【0042】以上、2相および3相のモータを用いた例
について説明したが、この他に5相モータを用いること
もできる。この場合は72度位相のずれた5つの正弦波
状電圧に対し同様の処理をすればよいが、3相の場合と
同様の電気回路を追加する必要がある。
について説明したが、この他に5相モータを用いること
もできる。この場合は72度位相のずれた5つの正弦波
状電圧に対し同様の処理をすればよいが、3相の場合と
同様の電気回路を追加する必要がある。
【0043】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
よれば、アクチュエータで回転バルブを回転させること
により、ドレーン穴と一方の可変オリフィス穴との開度
を調整し、2つの出力ポートからの出力圧を調整可能と
したので、従来のフラッパと異なり、外部からの衝撃が
作用しても回転バルブがショックで変位することがな
く、誤作動を確実に防止できる。また、バルブの中立時
に可変オリフィスが完全に閉じられるので、中立時にお
けるパワーロスが全くない。さらに、流体に混入したゴ
ミによる目詰まりに関しては、開口部を大きく取ること
ができるので、ゴミが混入してもゴミ自身が流れ去る、
いわば自浄作用を期待できる。そのため、長期間安定し
た性能を発揮できる。
よれば、アクチュエータで回転バルブを回転させること
により、ドレーン穴と一方の可変オリフィス穴との開度
を調整し、2つの出力ポートからの出力圧を調整可能と
したので、従来のフラッパと異なり、外部からの衝撃が
作用しても回転バルブがショックで変位することがな
く、誤作動を確実に防止できる。また、バルブの中立時
に可変オリフィスが完全に閉じられるので、中立時にお
けるパワーロスが全くない。さらに、流体に混入したゴ
ミによる目詰まりに関しては、開口部を大きく取ること
ができるので、ゴミが混入してもゴミ自身が流れ去る、
いわば自浄作用を期待できる。そのため、長期間安定し
た性能を発揮できる。
【図1】従来の流体圧制御装置の一例の構造図である。
【図2】本発明にかかる流体圧制御装置の一例の縦断面
図である。
図である。
【図3】図2のN−N線断面図である。
【図4】回転バルブが回転した状態の一部断面図であ
る。
る。
【図5】本発明の他の実施例の縦断面図である。
【図6】永久磁石の対向面を軸方向から見た図である。
【図7】2相ステッピングモータの一般的な駆動方法を
示す信号波形図である。
示す信号波形図である。
【図8】2相ステッピングモータの制御回路の回路図で
ある。
ある。
【図9】図8の制御回路の各部の信号波形図である。
【図10】3相ステッピングモータの一般的な駆動方法
を示す信号波形図である。
を示す信号波形図である。
【図11】3相ステッピングモータの特殊な駆動方法を
示す信号波形図である。
示す信号波形図である。
【図12】3相ステッピングモータの制御回路の回路図
である。
である。
12 ステッピングモータ(アクチュエータ) 13 バルブ本体 16 回転バルブ 23 スリーブ 24,25 可変オリフィス穴 27 ドレーン穴 28,29 出力ポート 30,31 供給ポート 32,33 固定オリフィス 36,37 流路 70,71 永久磁石 73 薄肉隔壁部
Claims (2)
- 【請求項1】2個の可変オリフィス穴とドレーン穴とが
形成されたバルブボデーと、 バルブボデーの内部に回転可能に配置され、いずれか一
方の可変オリフィス穴とドレーン穴とを選択的に連通さ
せる回転バルブと、 電気信号を機械的回転力に変換し、回転バルブを駆動す
るアクチュエータと、 上記可変オリフィス穴にそれぞれ流体圧を供給する2つ
の流路と、 上記流路にそれぞれ設けられた固定オリフィスと、 上記流路の固定オリフィスと可変オリフィス穴との中間
部に形成された出力ポートとを備え、 上記回転バルブの回転に伴い、ドレーン穴といずれか一
方の可変オリフィス穴との開度を調整することにより、
2つの出力ポートからの出力圧を調整可能とした流体圧
制御装置。 - 【請求項2】請求項1に記載の流体圧制御装置におい
て、 非磁性体よりなる薄肉隔壁部によって、加圧流体が供給
されるバルブボデーの内部と外部とが分離され、上記ア
クチュエータがバルブボデーの外部に配置されるととも
に、アクチュエータの回転シャフトと回転バルブとにそ
れぞれ永久磁石が取り付けられ、アクチュエータの回転
シャフトと回転バルブとが上記薄肉隔壁部を介して永久
磁石によって磁気的に連結されていることを特徴とする
流体圧制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20520996A JPH1030601A (ja) | 1996-07-15 | 1996-07-15 | 流体圧制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20520996A JPH1030601A (ja) | 1996-07-15 | 1996-07-15 | 流体圧制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1030601A true JPH1030601A (ja) | 1998-02-03 |
Family
ID=16503214
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20520996A Pending JPH1030601A (ja) | 1996-07-15 | 1996-07-15 | 流体圧制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1030601A (ja) |
-
1996
- 1996-07-15 JP JP20520996A patent/JPH1030601A/ja active Pending
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