JPH10306366A - 蒸着めっき用付着量測定方法 - Google Patents
蒸着めっき用付着量測定方法Info
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- JPH10306366A JPH10306366A JP11112097A JP11112097A JPH10306366A JP H10306366 A JPH10306366 A JP H10306366A JP 11112097 A JP11112097 A JP 11112097A JP 11112097 A JP11112097 A JP 11112097A JP H10306366 A JPH10306366 A JP H10306366A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 蒸発槽内の金属蒸気をサンプリングし、原子
吸光法でめっき付着量を測定する。 【解決手段】 蒸発槽１４に収容されている溶融金属浴
１５の直上に一端が開口している蒸気取出し管１６を経
由して金属蒸気３の一部を蒸発槽１４から蒸気量測定室
７に導く。蒸気量測定室７では、金属蒸気３を測定光９
で照射し、金属蒸気３による測定光９の吸光度を検出す
る。吸光度は付着量演算装置１２に入力され、吸光度か
ら溶融金属浴１５直上における金属蒸気３の圧力が演算
され、演算結果から付着量が求められる。 【効果】 蒸気圧の高い蒸発槽１４から金属蒸気３がサ
ンプリングされるため、高精度の測定が可能となる。
吸光法でめっき付着量を測定する。 【解決手段】 蒸発槽１４に収容されている溶融金属浴
１５の直上に一端が開口している蒸気取出し管１６を経
由して金属蒸気３の一部を蒸発槽１４から蒸気量測定室
７に導く。蒸気量測定室７では、金属蒸気３を測定光９
で照射し、金属蒸気３による測定光９の吸光度を検出す
る。吸光度は付着量演算装置１２に入力され、吸光度か
ら溶融金属浴１５直上における金属蒸気３の圧力が演算
され、演算結果から付着量が求められる。 【効果】 蒸気圧の高い蒸発槽１４から金属蒸気３がサ
ンプリングされるため、高精度の測定が可能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、蒸着めっきを施す際に
めっき付着量を応答性良く測定する方法及び装置に関す
る。
めっき付着量を応答性良く測定する方法及び装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】蒸着めっき装置において、蒸着をしなが
らめっき付着量を測定する方法としては、水晶式膜厚
計，直流抵抗式膜厚計等が使用されてきた。また、蒸着
時間で付着量を算出する方法も知られている。水晶式膜
厚計は、水晶振動子の片面に付着するめっき金属の膜厚
に応じて水晶振動子の固有振動数が変化することを利用
したものであり、蒸着中の固有振動数の変化によってめ
っき付着量が測定される。しかし、本来は薄膜の付着量
測定に開発された方法であり、Ｚｎめっき等のような高
付着量の測定には不向きである。他方、直流抵抗式の膜
厚計は、蒸着した膜の電気抵抗からめっき付着量を算出
する方式であり、高付着量の測定に適したものといえ
る。しかし、蒸着の機会ごとに又は数回に１回、基板を
交換する必要があり、連続的蒸着で形成されるめっき層
の付着量を測定することには不向きである。また、蒸着
時間から付着量を算出する方法では、誤差が大きくな
り、測定結果に信頼性が欠ける。
らめっき付着量を測定する方法としては、水晶式膜厚
計，直流抵抗式膜厚計等が使用されてきた。また、蒸着
時間で付着量を算出する方法も知られている。水晶式膜
厚計は、水晶振動子の片面に付着するめっき金属の膜厚
に応じて水晶振動子の固有振動数が変化することを利用
したものであり、蒸着中の固有振動数の変化によってめ
っき付着量が測定される。しかし、本来は薄膜の付着量
測定に開発された方法であり、Ｚｎめっき等のような高
付着量の測定には不向きである。他方、直流抵抗式の膜
厚計は、蒸着した膜の電気抵抗からめっき付着量を算出
する方式であり、高付着量の測定に適したものといえ
る。しかし、蒸着の機会ごとに又は数回に１回、基板を
交換する必要があり、連続的蒸着で形成されるめっき層
の付着量を測定することには不向きである。また、蒸着
時間から付着量を算出する方法では、誤差が大きくな
り、測定結果に信頼性が欠ける。
【０００３】そこで、本発明者等は、原子吸光法を応用
しためっき付着量測定方法を開発し、特願平８−９９３
１４号で提案した。提案した測定方法では、図１に示す
ように蒸発源１の蒸発金属２を加熱して金属蒸気３を発
生させ、案内ダクト４を介して金属蒸気３を被めっき鋼
帯５に導く。このとき、案内ダクト４を通過する金属蒸
気３の一部を、所定温度に加熱した蒸気取出し管６を介
して取り出し、蒸気量測定室７に導く。案内ダクト４か
ら蒸気量測定室７に導入される金属蒸気３の量は、真空
ポンプ８で減圧されている蒸気量測定室７の雰囲気圧と
案内ダクト４の金属蒸気圧との圧力差に応じて変わる。
蒸気量測定室７では、図２に示すように金属蒸気３に吸
収される特定の波長をもつ測定光９を放射するホロカソ
ードランプを光源１０として使用し、光源１０の反対側
に光電子増倍管を検出器１１として配置している。蒸気
取出し管６から送り込まれた金属蒸気３を測定光９で照
射すると原子吸光が生じ、金属蒸気３に吸収されない測
定光９が検出器１１に到達する。そのため、検出器１１
による測定結果から金属蒸気３に吸収された光量、すな
わち吸光度が判る。この吸光度から蒸気案内ダクト４内
の金属蒸気圧が付着量演算装置１２で演算され、被めっ
き鋼帯５に対する蒸着速度が求められる。
しためっき付着量測定方法を開発し、特願平８−９９３
１４号で提案した。提案した測定方法では、図１に示す
ように蒸発源１の蒸発金属２を加熱して金属蒸気３を発
生させ、案内ダクト４を介して金属蒸気３を被めっき鋼
帯５に導く。このとき、案内ダクト４を通過する金属蒸
気３の一部を、所定温度に加熱した蒸気取出し管６を介
して取り出し、蒸気量測定室７に導く。案内ダクト４か
ら蒸気量測定室７に導入される金属蒸気３の量は、真空
ポンプ８で減圧されている蒸気量測定室７の雰囲気圧と
案内ダクト４の金属蒸気圧との圧力差に応じて変わる。
蒸気量測定室７では、図２に示すように金属蒸気３に吸
収される特定の波長をもつ測定光９を放射するホロカソ
ードランプを光源１０として使用し、光源１０の反対側
に光電子増倍管を検出器１１として配置している。蒸気
取出し管６から送り込まれた金属蒸気３を測定光９で照
射すると原子吸光が生じ、金属蒸気３に吸収されない測
定光９が検出器１１に到達する。そのため、検出器１１
による測定結果から金属蒸気３に吸収された光量、すな
わち吸光度が判る。この吸光度から蒸気案内ダクト４内
の金属蒸気圧が付着量演算装置１２で演算され、被めっ
き鋼帯５に対する蒸着速度が求められる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】原子吸光法による測定
では、案内ダクト４を通過する金属蒸気３の流量を直接
測定し、測定結果からめっき付着量が求められる。その
ため、高精度でめっき付着量が測定される。また、案内
ダクト４を通過する金属蒸気３の流量を調整するシャッ
タ１３を蒸気取出し管６の近傍に配置できるため、応答
性の高い制御が可能となる。この方法では、案内ダクト
４から金属蒸気３がサンプリングされるため、案内ダク
ト４内の蒸気量が少ないと案内ダクト４に外部から雰囲
気ガスが流入することがある。雰囲気ガスの流入がある
と蒸気取出し管６近傍で金属蒸気３の流れが乱され、案
内ダクト４内の金属蒸気量に相当する蒸気量を蒸気測定
装置７内に導くことができなくなる。案内ダクト４内の
蒸気量に正確に相当する金属蒸気量を常に蒸気量測定装
置７内に導くためには、乱れが発生しないように金属蒸
気３を流す必要があり、流動解析等を行って案内ダクト
４の形状及び蒸気取出し管６の位置を慎重に決定するこ
とが要求される。更に、案内ダクト４から蒸気量測定装
置７内に圧力差を利用して金属蒸気３を導くため、金属
蒸気３が流れる案内ダクト４内と蒸気量測定装置７内の
圧力が等しい又は案内ダクト４内の圧力が蒸気量測定装
置７よりも低い場合には不向きである。本発明は、この
ような問題を解消すべく案出されたものであり、蒸発槽
から金属蒸気をサンプリングして吸光度を測定すること
により、蒸発槽内の金属蒸気圧に正確に対応する金属蒸
気量を蒸気量測定装置に導き、高精度で金属蒸気量を測
定することを目的とする。
では、案内ダクト４を通過する金属蒸気３の流量を直接
測定し、測定結果からめっき付着量が求められる。その
ため、高精度でめっき付着量が測定される。また、案内
ダクト４を通過する金属蒸気３の流量を調整するシャッ
タ１３を蒸気取出し管６の近傍に配置できるため、応答
性の高い制御が可能となる。この方法では、案内ダクト
４から金属蒸気３がサンプリングされるため、案内ダク
ト４内の蒸気量が少ないと案内ダクト４に外部から雰囲
気ガスが流入することがある。雰囲気ガスの流入がある
と蒸気取出し管６近傍で金属蒸気３の流れが乱され、案
内ダクト４内の金属蒸気量に相当する蒸気量を蒸気測定
装置７内に導くことができなくなる。案内ダクト４内の
蒸気量に正確に相当する金属蒸気量を常に蒸気量測定装
置７内に導くためには、乱れが発生しないように金属蒸
気３を流す必要があり、流動解析等を行って案内ダクト
４の形状及び蒸気取出し管６の位置を慎重に決定するこ
とが要求される。更に、案内ダクト４から蒸気量測定装
置７内に圧力差を利用して金属蒸気３を導くため、金属
蒸気３が流れる案内ダクト４内と蒸気量測定装置７内の
圧力が等しい又は案内ダクト４内の圧力が蒸気量測定装
置７よりも低い場合には不向きである。本発明は、この
ような問題を解消すべく案出されたものであり、蒸発槽
から金属蒸気をサンプリングして吸光度を測定すること
により、蒸発槽内の金属蒸気圧に正確に対応する金属蒸
気量を蒸気量測定装置に導き、高精度で金属蒸気量を測
定することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の蒸着めっき用付
着量測定方法は、その目的を達成するため、蒸発槽に収
容されている溶融金属浴の直上に一端が開口している蒸
気取出し管を経由して金属蒸気の一部を蒸発槽から蒸気
量測定室に導き、蒸気量測定室において金属蒸気を測定
光で照射し、得られた吸光度から溶融金属浴直上におけ
る金属蒸気の圧力を演算し、演算結果からめっき付着量
を算出することを特徴とする。また、付着量測定装置
は、蒸発槽に収容されている溶融金属浴の直上に一端が
開口し、蒸気量測定室に他端が開口した蒸気取出し管
と、蒸気取出し管から送り込まれた金属蒸気に測定光を
出射する光源と、金属蒸気を照射した後の測定光が入射
される検出器と、金属蒸気による測定光の吸光度が入力
される付着量演算装置とを備えている。
着量測定方法は、その目的を達成するため、蒸発槽に収
容されている溶融金属浴の直上に一端が開口している蒸
気取出し管を経由して金属蒸気の一部を蒸発槽から蒸気
量測定室に導き、蒸気量測定室において金属蒸気を測定
光で照射し、得られた吸光度から溶融金属浴直上におけ
る金属蒸気の圧力を演算し、演算結果からめっき付着量
を算出することを特徴とする。また、付着量測定装置
は、蒸発槽に収容されている溶融金属浴の直上に一端が
開口し、蒸気量測定室に他端が開口した蒸気取出し管
と、蒸気取出し管から送り込まれた金属蒸気に測定光を
出射する光源と、金属蒸気を照射した後の測定光が入射
される検出器と、金属蒸気による測定光の吸光度が入力
される付着量演算装置とを備えている。
【０００６】
【実施の形態】本発明では、図３に示すように、蒸発槽
１４に収容されている溶融金属浴１５の直上空間に蒸気
取出し管１６の一端を開口させている。蒸気取出し管１
６の他端開口は、蒸気量測定室７に臨んでいる。なお、
その他の設備構成は、先願で提案した図１と同じである
ため、図１の符番を適宜使用して説明する。大半の金属
蒸気３は案内ダクト４を経て被めっき鋼帯５に送られる
が、一部の金属蒸気３は蒸気取出し管１６を経て蒸発槽
１４から蒸気量測定室７に直接送り込まれる。蒸気量測
定室７では、先願と同様に光源１０からの測定光９で金
属蒸気３を照射し、照射後の測定光９を検出器１１で検
出することにより、測定光９の吸光度を測定する。測定
された吸光度は、付着量演算装置１２に入力される。
１４に収容されている溶融金属浴１５の直上空間に蒸気
取出し管１６の一端を開口させている。蒸気取出し管１
６の他端開口は、蒸気量測定室７に臨んでいる。なお、
その他の設備構成は、先願で提案した図１と同じである
ため、図１の符番を適宜使用して説明する。大半の金属
蒸気３は案内ダクト４を経て被めっき鋼帯５に送られる
が、一部の金属蒸気３は蒸気取出し管１６を経て蒸発槽
１４から蒸気量測定室７に直接送り込まれる。蒸気量測
定室７では、先願と同様に光源１０からの測定光９で金
属蒸気３を照射し、照射後の測定光９を検出器１１で検
出することにより、測定光９の吸光度を測定する。測定
された吸光度は、付着量演算装置１２に入力される。
【０００７】蒸発槽１４内の金属蒸気３は、真空ポンプ
８で減圧されている蒸気量測定室７の雰囲気圧と蒸発槽
１４の金属蒸気圧との圧力差に応じた量で蒸気取出し管
６から蒸気量測定室７に導かれる。蒸発槽１４内には蒸
発金属２自体の蒸気が常に高い圧力で充満しているた
め、雰囲気ガスの逆流なく、蒸発槽１４内の金属蒸気圧
力に相当する金属蒸気量が常に蒸気量測定装置７に導か
れる。また、蒸発槽１４内は簡単な構造であるため、形
状及び蒸気取出し管６，１６の位置を正確に定めなくて
も、正確な蒸気量の測定が可能になる。更に、真空槽１
７（図４）内で高い圧力になっている蒸発槽１４内から
金属蒸気３が取り出されるため、真空槽１７内が低い圧
力であっても、それとは関係なく圧力差によって金属蒸
気３を蒸発槽１４から蒸気量測定装置７に導くことがで
きる。蒸気量測定室７は、先願と同様に光源１０からの
測定光９で金属蒸気３を照射し、金属蒸気３に吸収され
ない光量を検出器１１で検出する。このようにして得ら
れた吸光度は、電気信号に変換され、付着量演算装置１
２に入力される。付着量演算装置１２では、予めインプ
ットしている検量線に基づき入力された吸光度から蒸発
槽１４内の金属蒸気３の圧力を演算する。蒸発槽１４内
の金属蒸気３の圧力は、原子吸光法で測定した金属蒸気
３の量と正の相関関係にある。この相関関係を利用し、
蒸気取出し管６で取り出された金属蒸気量を測定するこ
とにより、蒸発槽１４内の金属蒸気３の圧力が求められ
る。求められた金属蒸気３の圧力から蒸発槽１４を出て
被めっき鋼帯５に蒸着する金属蒸気量が判るので、被め
っき鋼帯５に対するめっき付着量が求められる。
８で減圧されている蒸気量測定室７の雰囲気圧と蒸発槽
１４の金属蒸気圧との圧力差に応じた量で蒸気取出し管
６から蒸気量測定室７に導かれる。蒸発槽１４内には蒸
発金属２自体の蒸気が常に高い圧力で充満しているた
め、雰囲気ガスの逆流なく、蒸発槽１４内の金属蒸気圧
力に相当する金属蒸気量が常に蒸気量測定装置７に導か
れる。また、蒸発槽１４内は簡単な構造であるため、形
状及び蒸気取出し管６，１６の位置を正確に定めなくて
も、正確な蒸気量の測定が可能になる。更に、真空槽１
７（図４）内で高い圧力になっている蒸発槽１４内から
金属蒸気３が取り出されるため、真空槽１７内が低い圧
力であっても、それとは関係なく圧力差によって金属蒸
気３を蒸発槽１４から蒸気量測定装置７に導くことがで
きる。蒸気量測定室７は、先願と同様に光源１０からの
測定光９で金属蒸気３を照射し、金属蒸気３に吸収され
ない光量を検出器１１で検出する。このようにして得ら
れた吸光度は、電気信号に変換され、付着量演算装置１
２に入力される。付着量演算装置１２では、予めインプ
ットしている検量線に基づき入力された吸光度から蒸発
槽１４内の金属蒸気３の圧力を演算する。蒸発槽１４内
の金属蒸気３の圧力は、原子吸光法で測定した金属蒸気
３の量と正の相関関係にある。この相関関係を利用し、
蒸気取出し管６で取り出された金属蒸気量を測定するこ
とにより、蒸発槽１４内の金属蒸気３の圧力が求められ
る。求められた金属蒸気３の圧力から蒸発槽１４を出て
被めっき鋼帯５に蒸着する金属蒸気量が判るので、被め
っき鋼帯５に対するめっき付着量が求められる。
【０００８】このようにして、被めっき鋼帯５に蒸着す
る金属蒸気３の量が判るため、めっき付着量が高精度で
測定される。また、感度が良好で測定範囲の広い原子吸
光法を採用しているので、薄膜から厚膜までの広範囲に
わたってめっき付着量が測定される。本発明にあって
は、金属蒸気３の一部を蒸発槽１４から取り出している
ため、金属蒸気３の蒸着による蒸気量測定室７内の汚れ
が微量であり、付着量の連続測定が可能となる。また、
溶融金属浴１５の蒸発面が酸化膜等で汚れ、蒸発量が減
少した場合にあっても、蒸発量の減少を応答性良く知る
ことができる。しかも、蒸発槽１４内の圧力に正確に対
応した量で金属蒸気３が蒸気量測定装置７に導かれるた
め、案内ダクト４を経て鋼帯５に供給される金属蒸気３
の量を正確に測定することができる。
る金属蒸気３の量が判るため、めっき付着量が高精度で
測定される。また、感度が良好で測定範囲の広い原子吸
光法を採用しているので、薄膜から厚膜までの広範囲に
わたってめっき付着量が測定される。本発明にあって
は、金属蒸気３の一部を蒸発槽１４から取り出している
ため、金属蒸気３の蒸着による蒸気量測定室７内の汚れ
が微量であり、付着量の連続測定が可能となる。また、
溶融金属浴１５の蒸発面が酸化膜等で汚れ、蒸発量が減
少した場合にあっても、蒸発量の減少を応答性良く知る
ことができる。しかも、蒸発槽１４内の圧力に正確に対
応した量で金属蒸気３が蒸気量測定装置７に導かれるた
め、案内ダクト４を経て鋼帯５に供給される金属蒸気３
の量を正確に測定することができる。
【０００９】
【実施例】Ｚｎめっき及びＭｇめっきに本発明を適用し
た実施例を説明する。図４に示す設備構成の装置を使用
し、真空槽１７内にカーボン製ルツボを蒸発槽１４とし
て配置し、蒸発槽１４の上方空間に被めっき基板１８を
配置した。そして、生成される溶融金属浴１５の直上に
開口端部が位置するように、内径８ｍｍ，長さ１ｍの蒸
気取出し管１６を蒸発槽１４内に挿通した。蒸発槽１４
内でＺｎ又はＭｇを溶解し、溶融金属浴１５から蒸発し
た金属蒸気３を蒸発槽１４の上方に配置されている基板
１８に送り、Ｚｎめっき及びＭｇめっきを施した。Ｚｎ
めっきでは溶融Ｚｎを温度４５０〜５４０℃に、Ｍｇめ
っきでは６６０〜７５０℃に保持した。また、蒸気取出
し管１６を、溶融Ｚｎ又は溶融Ｍｇ浴と等温度に加熱保
持した。
た実施例を説明する。図４に示す設備構成の装置を使用
し、真空槽１７内にカーボン製ルツボを蒸発槽１４とし
て配置し、蒸発槽１４の上方空間に被めっき基板１８を
配置した。そして、生成される溶融金属浴１５の直上に
開口端部が位置するように、内径８ｍｍ，長さ１ｍの蒸
気取出し管１６を蒸発槽１４内に挿通した。蒸発槽１４
内でＺｎ又はＭｇを溶解し、溶融金属浴１５から蒸発し
た金属蒸気３を蒸発槽１４の上方に配置されている基板
１８に送り、Ｚｎめっき及びＭｇめっきを施した。Ｚｎ
めっきでは溶融Ｚｎを温度４５０〜５４０℃に、Ｍｇめ
っきでは６６０〜７５０℃に保持した。また、蒸気取出
し管１６を、溶融Ｚｎ又は溶融Ｍｇ浴と等温度に加熱保
持した。
【００１０】蒸気取出し管１６を介して蒸発槽１４から
蒸気量測定室７に金属蒸気３の一部を導き、原子吸光法
により蒸気量を測定した。そして、測定値からめっき付
着量を求めた。なお、比較のため、めっき付着量を蒸着
時間から算出した。原子吸光法による測定結果を化学分
析による測定結果と比較したところ、Ｚｎめっきでは表
１に示すように両者の間に高い一致性がみられた。この
ことから、原子吸光法で求めたＺｎめっき付着量は、化
学分析で求めたＺｎめっき付着量と同程度の信頼性をも
つ値であることが判る。これに対し、蒸着時間から付着
量を算出した場合、非常に大きな誤差が発生し、信頼度
の高い算出結果が得られなかった。
蒸気量測定室７に金属蒸気３の一部を導き、原子吸光法
により蒸気量を測定した。そして、測定値からめっき付
着量を求めた。なお、比較のため、めっき付着量を蒸着
時間から算出した。原子吸光法による測定結果を化学分
析による測定結果と比較したところ、Ｚｎめっきでは表
１に示すように両者の間に高い一致性がみられた。この
ことから、原子吸光法で求めたＺｎめっき付着量は、化
学分析で求めたＺｎめっき付着量と同程度の信頼性をも
つ値であることが判る。これに対し、蒸着時間から付着
量を算出した場合、非常に大きな誤差が発生し、信頼度
の高い算出結果が得られなかった。
【００１１】
【００１２】Ｍｇめっきの場合でも、原子吸光法で求め
た付着量測定値は、表２に示すように化学分析値に対し
て高い一致性を示しており、高信頼性の値であることが
判る。
た付着量測定値は、表２に示すように化学分析値に対し
て高い一致性を示しており、高信頼性の値であることが
判る。
【００１３】
【００１４】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明において
は、蒸発槽の内部と蒸気量測定室とを蒸気取出し管で接
続し、蒸発槽で発生した金属蒸気の一部を蒸気量測定室
に導入している。金属蒸気を蒸発槽からサンプリングし
ているので、雰囲気ガスや内部機器による蒸気流の乱れ
を排除し、蒸発槽内の蒸気圧に正確に対応する量の金属
蒸気が蒸気量測定装置に導かれ、めっき付着量が高精度
で且つ応答性良く測定される。このようにして得られた
測定値に基づきめっき付着量を制御すると、目標目付け
量の蒸着めっき鋼板が安定して製造される。
は、蒸発槽の内部と蒸気量測定室とを蒸気取出し管で接
続し、蒸発槽で発生した金属蒸気の一部を蒸気量測定室
に導入している。金属蒸気を蒸発槽からサンプリングし
ているので、雰囲気ガスや内部機器による蒸気流の乱れ
を排除し、蒸発槽内の蒸気圧に正確に対応する量の金属
蒸気が蒸気量測定装置に導かれ、めっき付着量が高精度
で且つ応答性良く測定される。このようにして得られた
測定値に基づきめっき付着量を制御すると、目標目付け
量の蒸着めっき鋼板が安定して製造される。
【図１】 本発明者等が先に提案した原子吸光法による
めっき付着量の測定を説明する図
めっき付着量の測定を説明する図
【図２】 同法で採用した蒸気量測定室の内部
【図３】 本発明に従って蒸気取出し管で連絡した蒸発
槽と蒸気量測定室
槽と蒸気量測定室
【図４】 実施例で使用した蒸着めっきの設備構成
１：蒸発源 ２：蒸発金属 ３：金属蒸気 ４：
案内ダクト ５：被めっき鋼帯 ６，１６：蒸気
取出し管 ７：蒸気量測定室 ８：真空ポンプ
９：測定光 １０：光源 １１：検出器 １２：
付着量演算装置 １３：シャッタ １４：蒸発槽 １５：溶融金属浴
１７：真空槽 １８：基板（被めっき材料）
案内ダクト ５：被めっき鋼帯 ６，１６：蒸気
取出し管 ７：蒸気量測定室 ８：真空ポンプ
９：測定光 １０：光源 １１：検出器 １２：
付着量演算装置 １３：シャッタ １４：蒸発槽 １５：溶融金属浴
１７：真空槽 １８：基板（被めっき材料）
Claims (2)
- 【請求項１】 蒸発槽に収容されている溶融金属浴の直
上に一端が開口している蒸気取出し管を経由して金属蒸
気の一部を蒸発槽から蒸気量測定室に導き、蒸気量測定
室において金属蒸気を測定光で照射し、得られた吸光度
から溶融金属浴直上における金属蒸気の圧力を演算し、
演算結果からめっき付着量を算出することを特徴とする
蒸着めっき用付着量測定方法。 - 【請求項２】 蒸発槽に収容されている溶融金属浴の直
上に一端が開口し、蒸気量測定室に他端が開口した蒸気
取出し管と、蒸気取出し管から送り込まれた金属蒸気に
測定光を出射する光源と、金属蒸気を照射した後の測定
光が入射される検出器と、金属蒸気による測定光の吸光
度が入力される付着量演算装置とを備えている蒸着めっ
き用付着量演算装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11112097A JPH10306366A (ja) | 1997-04-28 | 1997-04-28 | 蒸着めっき用付着量測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11112097A JPH10306366A (ja) | 1997-04-28 | 1997-04-28 | 蒸着めっき用付着量測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10306366A true JPH10306366A (ja) | 1998-11-17 |
Family
ID=14552946
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11112097A Withdrawn JPH10306366A (ja) | 1997-04-28 | 1997-04-28 | 蒸着めっき用付着量測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10306366A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013024769A1 (ja) * | 2011-08-12 | 2013-02-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置及び成膜方法 |
-
1997
- 1997-04-28 JP JP11112097A patent/JPH10306366A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013024769A1 (ja) * | 2011-08-12 | 2013-02-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置及び成膜方法 |
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