JPH10309071A - リニアモータ及びこれを有するステージ装置や露光装置 - Google Patents
リニアモータ及びこれを有するステージ装置や露光装置Info
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- JPH10309071A JPH10309071A JP9195600A JP19560097A JPH10309071A JP H10309071 A JPH10309071 A JP H10309071A JP 9195600 A JP9195600 A JP 9195600A JP 19560097 A JP19560097 A JP 19560097A JP H10309071 A JPH10309071 A JP H10309071A
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- coil
- linear motor
- reinforcing member
- sheets
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Linear Motors (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 冷却ジャケットの変形を小さくし、リニアモ
ータを小型化および高出力化し且つ冷却能力を向上させ
る。 【解決手段】 リニアモータのコイル１を冷却する冷媒
の圧力によりジャケットの肉薄部分４、４′が外方向へ
変形しないよう、ジャケット内部に補強部材８を設け
る。
ータを小型化および高出力化し且つ冷却能力を向上させ
る。 【解決手段】 リニアモータのコイル１を冷却する冷媒
の圧力によりジャケットの肉薄部分４、４′が外方向へ
変形しないよう、ジャケット内部に補強部材８を設け
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、半導体露
光装置や高精度加工機など精密な位置決めを行うための
装置などに好適に使用されるリニアモータに関するもの
である。
光装置や高精度加工機など精密な位置決めを行うための
装置などに好適に使用されるリニアモータに関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】半導体露光装置や高精度加工機などで使
用されるナノメートルオーダーの位置決め装置では、駆
動源であるリニアモータからの発熱が位置決めに悪影響
を及ぼす。発熱による構造体の熱変形あるいは空気温度
の上昇による位置計測のレーザ干渉計の計測誤差などの
要因によって、リニアモータの搭載された装置の位置決
め精度が悪化する。例えば、１℃の温度変化であっても
１００ｍｍの低熱膨張材（熱膨張係数１×１０-6）は１
００ｎｍだけ変形するし、また、光干渉式測長計の光路
における空気温度の変化が１℃以下であっても測定値に
１００ｎｍの誤差が生じ得る。従って、これらの温度変
化の防止策としてリニアモータの冷却、特にリニアモー
タから発生する熱の回収が必要となっている。
用されるナノメートルオーダーの位置決め装置では、駆
動源であるリニアモータからの発熱が位置決めに悪影響
を及ぼす。発熱による構造体の熱変形あるいは空気温度
の上昇による位置計測のレーザ干渉計の計測誤差などの
要因によって、リニアモータの搭載された装置の位置決
め精度が悪化する。例えば、１℃の温度変化であっても
１００ｍｍの低熱膨張材（熱膨張係数１×１０-6）は１
００ｎｍだけ変形するし、また、光干渉式測長計の光路
における空気温度の変化が１℃以下であっても測定値に
１００ｎｍの誤差が生じ得る。従って、これらの温度変
化の防止策としてリニアモータの冷却、特にリニアモー
タから発生する熱の回収が必要となっている。
【０００３】一方、装置の高性能化に伴い、リニアモー
タの高出力化が要求されており、そのためにコイルに流
れる電流を増やすと発熱量も大きく増大する。よってさ
らなる冷却能力の増強が必要とされる。また、コイル温
度の上昇によるコイル抵抗の増加やコイル線の破損を防
ぐためにも、コイルの冷却能力を高めることは重要であ
る。
タの高出力化が要求されており、そのためにコイルに流
れる電流を増やすと発熱量も大きく増大する。よってさ
らなる冷却能力の増強が必要とされる。また、コイル温
度の上昇によるコイル抵抗の増加やコイル線の破損を防
ぐためにも、コイルの冷却能力を高めることは重要であ
る。
【０００４】コイルの冷却手段を備えたリニアモータの
例は、例えば特開平７−３０２１２４号、特開平７−３
０２７４７号、特開平８−１６７５５４号に記載されて
いる。
例は、例えば特開平７−３０２１２４号、特開平７−３
０２７４７号、特開平８−１６７５５４号に記載されて
いる。
【０００５】図１７は冷却手段を備えた従来のリニアモ
ータの構成を示す図である。同図において、コイル１と
その両側のヨーク２に固定された永久磁石３により構成
され、コイル１は肉薄のシート４、４′およびフレーム
５で構成されたジャケット８で覆われている。コイル１
は固定具７によってフレーム５に固定されている。ここ
でジャケット８の内部空間６に冷媒を流すことにより、
コイルからの発生熱を回収している。
ータの構成を示す図である。同図において、コイル１と
その両側のヨーク２に固定された永久磁石３により構成
され、コイル１は肉薄のシート４、４′およびフレーム
５で構成されたジャケット８で覆われている。コイル１
は固定具７によってフレーム５に固定されている。ここ
でジャケット８の内部空間６に冷媒を流すことにより、
コイルからの発生熱を回収している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
例では、冷却能力を上げるために冷媒の流量を増加させ
ると冷媒の圧力上昇によってジャケットの肉薄部分が外
方向へ変形して、永久磁石に接触したりジャケットが破
損する恐れがあるため、これを防ぐためにはジャケット
の肉薄部の強度の確保が必要である。一方で、リニアモ
ータの高出力化のためには、永久磁石の間の距離を小さ
くして磁束密度を上げることが必要となり、このために
肉薄部分をできるだけ薄くしてジャケットを小型化した
いという背反する要求もある。
例では、冷却能力を上げるために冷媒の流量を増加させ
ると冷媒の圧力上昇によってジャケットの肉薄部分が外
方向へ変形して、永久磁石に接触したりジャケットが破
損する恐れがあるため、これを防ぐためにはジャケット
の肉薄部の強度の確保が必要である。一方で、リニアモ
ータの高出力化のためには、永久磁石の間の距離を小さ
くして磁束密度を上げることが必要となり、このために
肉薄部分をできるだけ薄くしてジャケットを小型化した
いという背反する要求もある。
【０００７】本発明は上記課題を解決すべくなされたも
ので、冷媒の圧力を増大させてもあるいはジャケットを
小型化してもジャケットの変形や破損を抑えて、従来以
上に高出力化を果たしたリニアモータを提供することを
目的とする。さらにはこのリニアモータを使用した優れ
たステージ装置や露光装置、デバイス製造方法などを提
供することを目的とする。
ので、冷媒の圧力を増大させてもあるいはジャケットを
小型化してもジャケットの変形や破損を抑えて、従来以
上に高出力化を果たしたリニアモータを提供することを
目的とする。さらにはこのリニアモータを使用した優れ
たステージ装置や露光装置、デバイス製造方法などを提
供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の好ましい形態の一つは、コイルと、該コイルを覆い
内部空間に冷媒が供給されるジャケットとを有するリニ
アモータにおいて、該冷媒の圧力に対して該ジャケット
を補強する補強部材をジャケット内部に設けたことを特
徴とするリニアモータである。
明の好ましい形態の一つは、コイルと、該コイルを覆い
内部空間に冷媒が供給されるジャケットとを有するリニ
アモータにおいて、該冷媒の圧力に対して該ジャケット
を補強する補強部材をジャケット内部に設けたことを特
徴とするリニアモータである。
【０００９】本発明のステージ装置は、上記構成のリニ
アモータを駆動機構として有することを特徴とするもの
であり、本発明の露光装置は上記ステージ装置で基板を
搭載して、該基板に露光を行う手段を有することを特徴
とするものである。また本発明のデバイス製造方法は上
記露光装置を用いてデバイスを製造することを特徴とす
るものである。
アモータを駆動機構として有することを特徴とするもの
であり、本発明の露光装置は上記ステージ装置で基板を
搭載して、該基板に露光を行う手段を有することを特徴
とするものである。また本発明のデバイス製造方法は上
記露光装置を用いてデバイスを製造することを特徴とす
るものである。
【００１０】
＜実施例１＞図１は本発明の一実施形態である単相リニ
アモータを表す図である。図２は内部構造を説明する分
解図、図３はリニアモータの斜視図である。
アモータを表す図である。図２は内部構造を説明する分
解図、図３はリニアモータの斜視図である。
【００１１】図１において、１は駆動用の電流が流れる
コイル、２は磁気回路を構成する２つのヨーク、３は各
ヨーク２に固定され異なる磁極同士が互いに対向して配
置された永久磁石である。４、４′はコイル１を挟んで
配されたシート、５は２枚のシート４、４′同士を支持
するフレームであり、該シート４、４′とフレーム５に
よって、コイル１を内包するジャケットを構成してい
る。シート４、４′とフレーム５との接合は接着剤やボ
ルトなどで固定されている。６は該ジャケットの内部空
間であり、７はコイル１をジャケットに固定している固
定具である。８は本実施形態の特徴的部材である補強部
材であり、シート４および４′の両方に接着あるいはボ
ルト固定され両者の間の広がりを防止する耐圧具として
機能する。補強部材８は巻線されたコイル１の空芯部分
に位置している。シート４、４′、フレーム５及び補強
部材８の材質は非磁性体材料、例えば高分子樹脂材料
（ＰＥＥＫ）又はセラミックス材料が好ましい。
コイル、２は磁気回路を構成する２つのヨーク、３は各
ヨーク２に固定され異なる磁極同士が互いに対向して配
置された永久磁石である。４、４′はコイル１を挟んで
配されたシート、５は２枚のシート４、４′同士を支持
するフレームであり、該シート４、４′とフレーム５に
よって、コイル１を内包するジャケットを構成してい
る。シート４、４′とフレーム５との接合は接着剤やボ
ルトなどで固定されている。６は該ジャケットの内部空
間であり、７はコイル１をジャケットに固定している固
定具である。８は本実施形態の特徴的部材である補強部
材であり、シート４および４′の両方に接着あるいはボ
ルト固定され両者の間の広がりを防止する耐圧具として
機能する。補強部材８は巻線されたコイル１の空芯部分
に位置している。シート４、４′、フレーム５及び補強
部材８の材質は非磁性体材料、例えば高分子樹脂材料
（ＰＥＥＫ）又はセラミックス材料が好ましい。
【００１２】図２及び図３において、１０はコイル１の
リード線（２本）、１１はリード線１０をジャケット内
部から外部へ引き出すための小孔である。この小孔１１
から冷媒が漏れ出さないように、リード線を引き出した
後に接着材等で小孔が気密に封止されている。１２、１
３はジャケットに接続された冷媒の供給管及び回収管で
ある。冷媒は供給管１２から供給されてジャケット内を
流れコイルの発生熱を受け取り、回収管１３から排出さ
れて回収される。なおコイル１の導線自体が直接冷媒に
触れないようにコイル表面には表面処理がなされてい
る。冷媒は液体又は気体であって、特に不活性なものが
好ましい。
リード線（２本）、１１はリード線１０をジャケット内
部から外部へ引き出すための小孔である。この小孔１１
から冷媒が漏れ出さないように、リード線を引き出した
後に接着材等で小孔が気密に封止されている。１２、１
３はジャケットに接続された冷媒の供給管及び回収管で
ある。冷媒は供給管１２から供給されてジャケット内を
流れコイルの発生熱を受け取り、回収管１３から排出さ
れて回収される。なおコイル１の導線自体が直接冷媒に
触れないようにコイル表面には表面処理がなされてい
る。冷媒は液体又は気体であって、特に不活性なものが
好ましい。
【００１３】上記構成において、固定磁界を発生してい
る永久磁石３の間の空間に位置するコイル１に電流を流
すとローレンツ力が働き、コイル１と永久磁石３は上下
方向に相対的に運動する。例えば、同図の上側半分にお
いては、磁界は紙面の左から右方向へ、電流が紙面の奥
から手前方向に流れると、電流の大きさに応じた力がコ
イル１には紙面の上方向へ永久磁石３には下方向へ働
き、それぞれが相対的に移動する。このようにコイルに
所定の電流を流すことにより、ヨークおよびコイルがそ
れぞれ固定されている構造物を駆動するものである。な
お、本実施例ではコイル側が固定子、永久磁石が保持さ
れたヨーク側が可動子となったいわゆるムービングマグ
ネット型のリニアモータとなっているが、固定子と可動
子が逆であっても良い。
る永久磁石３の間の空間に位置するコイル１に電流を流
すとローレンツ力が働き、コイル１と永久磁石３は上下
方向に相対的に運動する。例えば、同図の上側半分にお
いては、磁界は紙面の左から右方向へ、電流が紙面の奥
から手前方向に流れると、電流の大きさに応じた力がコ
イル１には紙面の上方向へ永久磁石３には下方向へ働
き、それぞれが相対的に移動する。このようにコイルに
所定の電流を流すことにより、ヨークおよびコイルがそ
れぞれ固定されている構造物を駆動するものである。な
お、本実施例ではコイル側が固定子、永久磁石が保持さ
れたヨーク側が可動子となったいわゆるムービングマグ
ネット型のリニアモータとなっているが、固定子と可動
子が逆であっても良い。
【００１４】ジャケットの内部空間６に温度制御された
冷媒を供給して流すことにより、コイルに通電したとき
に発生する熱を回収し、コイル自体の温度上昇やリニア
モータの搭載されている装置やその雰囲気の温度上昇を
抑えている。この際、補強部材８があるために、冷媒の
圧力でシート４、４′が外側に膨らんで変形するのを抑
えている。
冷媒を供給して流すことにより、コイルに通電したとき
に発生する熱を回収し、コイル自体の温度上昇やリニア
モータの搭載されている装置やその雰囲気の温度上昇を
抑えている。この際、補強部材８があるために、冷媒の
圧力でシート４、４′が外側に膨らんで変形するのを抑
えている。
【００１５】なお、図１ではコイル１は固定具７によっ
てフレーム５に固定しているが、シート４、４′に固定
するようにしてもよい。また、補強部材８はコイル１に
直接固定されてはいないが、補強部材８にコイル１を固
定して固定具７を省略するようにしてもよい。また固定
具７および補強部材８の数は１つに限らず複数に分割し
て設けてもよい。
てフレーム５に固定しているが、シート４、４′に固定
するようにしてもよい。また、補強部材８はコイル１に
直接固定されてはいないが、補強部材８にコイル１を固
定して固定具７を省略するようにしてもよい。また固定
具７および補強部材８の数は１つに限らず複数に分割し
て設けてもよい。
【００１６】以上の本実施例によれば、冷媒の圧力を上
げるあるいはジャケットのシートを薄くしてもジャケッ
トの変形や破損が抑えられるので、冷媒の流量を上げ冷
却効率を向上させることができると共にジャケットの小
型化が図れ、ひいてはリニアモータの推力を向上させる
ことができる。
げるあるいはジャケットのシートを薄くしてもジャケッ
トの変形や破損が抑えられるので、冷媒の流量を上げ冷
却効率を向上させることができると共にジャケットの小
型化が図れ、ひいてはリニアモータの推力を向上させる
ことができる。
【００１７】＜実施例２＞図４は本発明のリニアモータ
の別の実施形態のジャケット部分の構成を表した図であ
り、ジャケットの外側の可動子（ヨークや永久磁石）の
配置は先の図１と同一である。
の別の実施形態のジャケット部分の構成を表した図であ
り、ジャケットの外側の可動子（ヨークや永久磁石）の
配置は先の図１と同一である。
【００１８】先の実施例では別部材のフレームとシート
によってジャケットを構成したが、本実施例では、２つ
のジャケットカバー１４、１４′それぞれがフレーム部
とシート部が一体になったものを使用して、これらジャ
ケットカバー同士を接合している。ジャケット内部でコ
イル１の空芯部に設けた補強部材８は、ジャケットカバ
ー１４、１４′のそれぞれの肉薄部分に接着剤もしくは
ボルトを使用して固定している。コイル１は固定具７を
介して補強部材８の周囲に固定されている。
によってジャケットを構成したが、本実施例では、２つ
のジャケットカバー１４、１４′それぞれがフレーム部
とシート部が一体になったものを使用して、これらジャ
ケットカバー同士を接合している。ジャケット内部でコ
イル１の空芯部に設けた補強部材８は、ジャケットカバ
ー１４、１４′のそれぞれの肉薄部分に接着剤もしくは
ボルトを使用して固定している。コイル１は固定具７を
介して補強部材８の周囲に固定されている。
【００１９】この構成によれば、ジャケットの部品点数
が減り組立が容易になるほかに、結合箇所がジャケット
カバー１４、１４′同士の間だけなので、結合部から冷
媒が漏れ出す可能性が小さいという利点がある。
が減り組立が容易になるほかに、結合箇所がジャケット
カバー１４、１４′同士の間だけなので、結合部から冷
媒が漏れ出す可能性が小さいという利点がある。
【００２０】＜実施例３＞図５は本発明の別の実施形態
のジャケット部分の構成を表した図であり、ジャケット
の外側の可動子（ヨークや永久磁石）の配置は先の図１
と同一である。
のジャケット部分の構成を表した図であり、ジャケット
の外側の可動子（ヨークや永久磁石）の配置は先の図１
と同一である。
【００２１】本実施例では、補強部材８はコイル１の空
芯部は貫通せず、２つの補強部材がコイル側面とジャケ
ットカバー１４、１４′の肉薄部との間をそれぞれ固定
したことを特徴としている。なお補強部材８をジャケッ
トカバー１４、１４′と一体化して同一部材としてもよ
い。また、補強部材８によってコイル１とジャケットカ
バー１４、１４′を固定しているので固定具７を省略す
ることもできる。
芯部は貫通せず、２つの補強部材がコイル側面とジャケ
ットカバー１４、１４′の肉薄部との間をそれぞれ固定
したことを特徴としている。なお補強部材８をジャケッ
トカバー１４、１４′と一体化して同一部材としてもよ
い。また、補強部材８によってコイル１とジャケットカ
バー１４、１４′を固定しているので固定具７を省略す
ることもできる。
【００２２】この構成によれば、補強部材がコイルの空
芯部分に存在しないのでコイルの形状や位置にかかわら
ず補強部材を設置できるという利点がある。
芯部分に存在しないのでコイルの形状や位置にかかわら
ず補強部材を設置できるという利点がある。
【００２３】＜実施例４＞図６は本発明の別の実施形態
のジャケット部分の構成を示した図であり、ジャケット
の外側の可動子（ヨークや永久磁石）の配置は先の図１
と同一である。
のジャケット部分の構成を示した図であり、ジャケット
の外側の可動子（ヨークや永久磁石）の配置は先の図１
と同一である。
【００２４】本実施例はジャケットのジャケットカバー
自体に補強部材を設けたことを特徴とする。１４、１
４′はコイル１のジャケットを構成し、コイル形状のリ
ング状に彫り込まれたジャケットカバーである。ジャケ
ットカバー１４、１４′はコイル１の空芯部分でも互い
に結合されている。該空芯部分での結合は接着剤やボル
トを使用して行い、冷媒圧力でジャケットカバーの肉薄
部が外側に広がろうとするのを抑えている。つまりジャ
ケットカバー１４、１４′内面の対向する突起部が、ジ
ャケットを補強して変形を防止する補強部材となってい
る。コイル１は固定具７を介して補強部材の周囲に固定
されている。
自体に補強部材を設けたことを特徴とする。１４、１
４′はコイル１のジャケットを構成し、コイル形状のリ
ング状に彫り込まれたジャケットカバーである。ジャケ
ットカバー１４、１４′はコイル１の空芯部分でも互い
に結合されている。該空芯部分での結合は接着剤やボル
トを使用して行い、冷媒圧力でジャケットカバーの肉薄
部が外側に広がろうとするのを抑えている。つまりジャ
ケットカバー１４、１４′内面の対向する突起部が、ジ
ャケットを補強して変形を防止する補強部材となってい
る。コイル１は固定具７を介して補強部材の周囲に固定
されている。
【００２５】この構成によれば、ジャケットの部品点数
がさらに減るため信頼性がより向上する。特に肉薄部の
シートに比べてコイル空芯部での結合部分の肉厚がある
ため、ここを接合するボルトおよびネジ部のスペースを
確保しやすくボルト締結の設計が容易である。
がさらに減るため信頼性がより向上する。特に肉薄部の
シートに比べてコイル空芯部での結合部分の肉厚がある
ため、ここを接合するボルトおよびネジ部のスペースを
確保しやすくボルト締結の設計が容易である。
【００２６】＜実施例５＞図７は本発明の別の実施形態
のジャケット部分の構成を表した図であり、ジャケット
の外側の可動子（ヨークや永久磁石）の配置は先の図１
と同一である。
のジャケット部分の構成を表した図であり、ジャケット
の外側の可動子（ヨークや永久磁石）の配置は先の図１
と同一である。
【００２７】本実施例は先の図６の構成の固定具７まで
もジャケットカバー１４と一体化し同一部材としたもの
である。コイル１はジャケットカバー１４に形成された
型に嵌められて固定され、ジャケットカバー１４、１
４′同士が接着剤やボルト等で結合される。コイル１の
空芯部分でも互いに接着剤やボルト等で結合されて補強
部材が形成される。
もジャケットカバー１４と一体化し同一部材としたもの
である。コイル１はジャケットカバー１４に形成された
型に嵌められて固定され、ジャケットカバー１４、１
４′同士が接着剤やボルト等で結合される。コイル１の
空芯部分でも互いに接着剤やボルト等で結合されて補強
部材が形成される。
【００２８】この構成によれば、部品点数が最小限で済
むため高い信頼性が得られると共に、ジャケットカバー
の加工でコイルの位置決めができるので組立が非常に容
易である。
むため高い信頼性が得られると共に、ジャケットカバー
の加工でコイルの位置決めができるので組立が非常に容
易である。
【００２９】＜実施例６＞図８は本発明の別の実施形態
である多相リニアモータにおけるジャケット部分の内部
構造を説明する図である。
である多相リニアモータにおけるジャケット部分の内部
構造を説明する図である。
【００３０】図８において、１ａ〜１ｃは駆動用の電流
が流れるコイル、４、４′は各コイルを挟んで配された
シート、５は２枚のシート４、４′同士を支持するフレ
ームであり、該シート４、４′とフレーム５によって、
コイル１ａ〜１ｃを内包するジャケット４２を構成して
いる。シート４、４′とフレーム５との接合は接着剤や
ボルトなどで固定されている。７はコイル１ａ〜ｃを固
定している固定具である。８ａ〜８ｃおよび８ａ′、８
ｂ′は本実施形態の特徴的部材である補強部材であり、
シート４および４′の両方に接着あるいはボルト固定さ
れ両者の間の広がりを防止する耐圧具として機能する。
補強部材８ａ〜ｃは巻線されたコイル１の空芯部分に、
補強部材８ａ′、８ｂ′は配列されたコイルとコイルの
間に位置している。シート４、４′、フレーム５及び補
強部材８の材質は非磁性体材料、例えば高分子樹脂材料
（ＰＥＥＫ）又はセラミックス材料が好ましい。ジャケ
ット内部から外部へ引き出されるコイル１ａ〜ｃのリー
ド線（各２本）は図示されていない。また、冷媒は図示
されていない供給管から供給されてジャケット内を流れ
コイルの発生熱を受け取り、図示されていない回収管か
ら排出されて回収される。なおコイル１の導線自体が直
接冷媒に触れないようにコイル表面には表面処理がなさ
れている。冷媒は液体又は気体であって、特に不活性な
ものが好ましい。
が流れるコイル、４、４′は各コイルを挟んで配された
シート、５は２枚のシート４、４′同士を支持するフレ
ームであり、該シート４、４′とフレーム５によって、
コイル１ａ〜１ｃを内包するジャケット４２を構成して
いる。シート４、４′とフレーム５との接合は接着剤や
ボルトなどで固定されている。７はコイル１ａ〜ｃを固
定している固定具である。８ａ〜８ｃおよび８ａ′、８
ｂ′は本実施形態の特徴的部材である補強部材であり、
シート４および４′の両方に接着あるいはボルト固定さ
れ両者の間の広がりを防止する耐圧具として機能する。
補強部材８ａ〜ｃは巻線されたコイル１の空芯部分に、
補強部材８ａ′、８ｂ′は配列されたコイルとコイルの
間に位置している。シート４、４′、フレーム５及び補
強部材８の材質は非磁性体材料、例えば高分子樹脂材料
（ＰＥＥＫ）又はセラミックス材料が好ましい。ジャケ
ット内部から外部へ引き出されるコイル１ａ〜ｃのリー
ド線（各２本）は図示されていない。また、冷媒は図示
されていない供給管から供給されてジャケット内を流れ
コイルの発生熱を受け取り、図示されていない回収管か
ら排出されて回収される。なおコイル１の導線自体が直
接冷媒に触れないようにコイル表面には表面処理がなさ
れている。冷媒は液体又は気体であって、特に不活性な
ものが好ましい。
【００３１】図９は多相リニアモータ全体の構成を表す
斜視図である。同図において、１は複数のコイル列、４
２はジャケット、４３はジャケットを固定する固定部
材、２、２′は磁気回路を構成するヨーク、３はヨーク
２、２′に固定され異なる磁極同士が互いに対向して配
置された永久磁石である。２３はヨークを固定する固定
部材である。
斜視図である。同図において、１は複数のコイル列、４
２はジャケット、４３はジャケットを固定する固定部
材、２、２′は磁気回路を構成するヨーク、３はヨーク
２、２′に固定され異なる磁極同士が互いに対向して配
置された永久磁石である。２３はヨークを固定する固定
部材である。
【００３２】上記構成において、固定磁界を発生してい
る永久磁石３の間の空間に位置するコイル１に所定の電
流を流すとローレンツ力が働き、コイル１を含むジャケ
ット４２と永久磁石３が相対的に運動する。また、複数
のコイルが駆動方向に配列されているため、コイル個数
に応じてリニアモータのストロークを変えることができ
る。本実施例ではコイル側が固定子、永久磁石が保持さ
れたヨーク側が可動子となったいわゆるムービングマグ
ネット型のリニアモータとなっているが、固定子と可動
子が逆であっても良い。
る永久磁石３の間の空間に位置するコイル１に所定の電
流を流すとローレンツ力が働き、コイル１を含むジャケ
ット４２と永久磁石３が相対的に運動する。また、複数
のコイルが駆動方向に配列されているため、コイル個数
に応じてリニアモータのストロークを変えることができ
る。本実施例ではコイル側が固定子、永久磁石が保持さ
れたヨーク側が可動子となったいわゆるムービングマグ
ネット型のリニアモータとなっているが、固定子と可動
子が逆であっても良い。
【００３３】ジャケットの内部空間に温度制御された冷
媒を供給して流すことにより、コイルに通電したときに
発生する熱を回収し、コイル自体の温度上昇やリニアモ
ータの搭載されている装置やその雰囲気の温度上昇を抑
えている。この際、補強部材８ａ〜８ｃおよび８ａ′、
８ｂ′があるために、冷媒の圧力でシート４、４′が外
側に膨らんで変形するのを抑えている。
媒を供給して流すことにより、コイルに通電したときに
発生する熱を回収し、コイル自体の温度上昇やリニアモ
ータの搭載されている装置やその雰囲気の温度上昇を抑
えている。この際、補強部材８ａ〜８ｃおよび８ａ′、
８ｂ′があるために、冷媒の圧力でシート４、４′が外
側に膨らんで変形するのを抑えている。
【００３４】なお、図８ではコイル１は固定具７によっ
て補強部材８ａ〜８ｃに固定しているが、シート４、
４′もしくは補強部材８ａ′、８ｂ′に固定するように
してもよい。また、補強部材８ａ〜８ｃはコイル１ａ〜
１ｃに直接固定されてはいないが、補強部材８ａ〜８ｃ
にコイル１ａ〜１ｃを固定して固定具７を省略するよう
にしてもよい。また固定具７、補強部材８ａ〜８ｃおよ
び８ａ′、８ｂ′の数は１つに限らず複数に分割して設
けてもよい。
て補強部材８ａ〜８ｃに固定しているが、シート４、
４′もしくは補強部材８ａ′、８ｂ′に固定するように
してもよい。また、補強部材８ａ〜８ｃはコイル１ａ〜
１ｃに直接固定されてはいないが、補強部材８ａ〜８ｃ
にコイル１ａ〜１ｃを固定して固定具７を省略するよう
にしてもよい。また固定具７、補強部材８ａ〜８ｃおよ
び８ａ′、８ｂ′の数は１つに限らず複数に分割して設
けてもよい。
【００３５】以上の本実施例によれば、冷媒の圧力を上
げるあるいはジャケットのシートを薄くしてもジャケッ
トの変形や破損が抑えられるので、冷媒の流量を上げ冷
却効率を向上させることができると共にジャケットの小
型化が図れ、ひいてはリニアモータの推力を向上させる
ことができる。
げるあるいはジャケットのシートを薄くしてもジャケッ
トの変形や破損が抑えられるので、冷媒の流量を上げ冷
却効率を向上させることができると共にジャケットの小
型化が図れ、ひいてはリニアモータの推力を向上させる
ことができる。
【００３６】＜実施例７＞図１０は本発明のリニアモー
タの別の実施形態のジャケット部分の構成を表した図で
あり、ジャケットの外側の可動子（ヨークや永久磁石）
の配置は先の図９と同一である。
タの別の実施形態のジャケット部分の構成を表した図で
あり、ジャケットの外側の可動子（ヨークや永久磁石）
の配置は先の図９と同一である。
【００３７】先の実施例では別部材であったフレームと
シート、固定具および補強部材の一部もしくは全部を一
体化するもので、本実施例では、２つのジャケットカバ
ー１４、１４′がコイルを固定し覆い、これらジャケッ
トカバー同士を接合している。ジャケットカバーはコイ
ル形状に彫り込まれ、コイル１ａ〜１ｃはそれぞれの空
芯部でジャケットカバー１４′に固定されている。ジャ
ケットカバー１４、１４′はコイル１の空芯部分および
コイルとコイルの間でも互いに結合されている。該空芯
部分および該コイル間部分での結合は接着剤やボルトを
使用して行い、冷媒圧力でジャケットカバーの肉薄部が
外側に広がろうとするのを抑えている。つまりジャケッ
トカバー１４、１４′内面の対向する突起部がジャケッ
トを補強して変形を防止する補強部材となっている。
シート、固定具および補強部材の一部もしくは全部を一
体化するもので、本実施例では、２つのジャケットカバ
ー１４、１４′がコイルを固定し覆い、これらジャケッ
トカバー同士を接合している。ジャケットカバーはコイ
ル形状に彫り込まれ、コイル１ａ〜１ｃはそれぞれの空
芯部でジャケットカバー１４′に固定されている。ジャ
ケットカバー１４、１４′はコイル１の空芯部分および
コイルとコイルの間でも互いに結合されている。該空芯
部分および該コイル間部分での結合は接着剤やボルトを
使用して行い、冷媒圧力でジャケットカバーの肉薄部が
外側に広がろうとするのを抑えている。つまりジャケッ
トカバー１４、１４′内面の対向する突起部がジャケッ
トを補強して変形を防止する補強部材となっている。
【００３８】この構成によれば、ジャケットの部品点数
が減り組立が容易になるほかに、結合箇所がジャケット
カバー１４、１４′同士の間だけなので、結合部から冷
媒が漏れ出す可能性が小さいという利点がある。特に肉
薄部のシートに比べてコイル空芯部での結合部分の肉厚
があるため、ここを接合するボルトおよびネジ部のスペ
ースを確保しやすくボルト締結の設計が容易である。
が減り組立が容易になるほかに、結合箇所がジャケット
カバー１４、１４′同士の間だけなので、結合部から冷
媒が漏れ出す可能性が小さいという利点がある。特に肉
薄部のシートに比べてコイル空芯部での結合部分の肉厚
があるため、ここを接合するボルトおよびネジ部のスペ
ースを確保しやすくボルト締結の設計が容易である。
【００３９】＜実施例８＞図１１は本発明の別の実施形
態のジャケット部分の構成を表した図であり、ジャケッ
トの外側の可動子（ヨークや永久磁石）の配置は先の図
９と同一である。
態のジャケット部分の構成を表した図であり、ジャケッ
トの外側の可動子（ヨークや永久磁石）の配置は先の図
９と同一である。
【００４０】本実施例では、シート４、４′とフレーム
５が冷却ジャケットを構成し、積層されたコイル１ａ〜
１ｃを補強部材８ａ〜ｄによって、またコイル１ｄ〜１
ｆを補強部材８ｅ〜８ｈよってそれぞれシート４および
４′に接着剤などで固定したことを特徴としている。シ
ート４、４′はコイル１の部分でコイル１および補強部
材８を介して結合されているので、コイル１および補強
部材８が耐圧具として機能する。なおシート４、４′と
補強部材８は一体化してもよく、またシート４、４′と
フレーム５と一体化して同一部材としてもよい。コイル
の空芯部やコイル間に補強部材を設けることなく、冷媒
圧力でシートが外側に広がろうとするのを抑えている。
５が冷却ジャケットを構成し、積層されたコイル１ａ〜
１ｃを補強部材８ａ〜ｄによって、またコイル１ｄ〜１
ｆを補強部材８ｅ〜８ｈよってそれぞれシート４および
４′に接着剤などで固定したことを特徴としている。シ
ート４、４′はコイル１の部分でコイル１および補強部
材８を介して結合されているので、コイル１および補強
部材８が耐圧具として機能する。なおシート４、４′と
補強部材８は一体化してもよく、またシート４、４′と
フレーム５と一体化して同一部材としてもよい。コイル
の空芯部やコイル間に補強部材を設けることなく、冷媒
圧力でシートが外側に広がろうとするのを抑えている。
【００４１】この構成によれば、補強部材がコイルの空
芯部分などに存在しないのでコイルの形状や位置にかか
わらず補強部材を設置できるという利点がある。特にコ
イルをずらして積層させて配列する場合に好適である。
芯部分などに存在しないのでコイルの形状や位置にかか
わらず補強部材を設置できるという利点がある。特にコ
イルをずらして積層させて配列する場合に好適である。
【００４２】＜実施例９＞図１２は本発明のリニアモー
タの別の実施形態のジャケット部分の構成を表した図で
あり、ジャケットの外側の可動子（ヨークや永久磁石）
の配置は先の図９と同一である。
タの別の実施形態のジャケット部分の構成を表した図で
あり、ジャケットの外側の可動子（ヨークや永久磁石）
の配置は先の図９と同一である。
【００４３】先の実施例では補強部材がコイルの空芯部
分などに存在しない構成であったが、本実施例ではずら
して積層したコイルの空芯部などにコイル本体を避ける
ように補強部材を設置し、シート４と４′とを補強部材
８ａ〜ｅが直接結合している。同図ではコイル列は補強
部材に固定されている。なおシート４、４′とフレーム
５と一体化して同一部材としてもよい。また同図では補
強部材とコイルは接着もしくは一体成形などにより直接
結合されているが、固定具などを介して結合してもよ
い。補強部材が冷媒圧力でシートが外側に広がろうとす
るのを抑えている。
分などに存在しない構成であったが、本実施例ではずら
して積層したコイルの空芯部などにコイル本体を避ける
ように補強部材を設置し、シート４と４′とを補強部材
８ａ〜ｅが直接結合している。同図ではコイル列は補強
部材に固定されている。なおシート４、４′とフレーム
５と一体化して同一部材としてもよい。また同図では補
強部材とコイルは接着もしくは一体成形などにより直接
結合されているが、固定具などを介して結合してもよ
い。補強部材が冷媒圧力でシートが外側に広がろうとす
るのを抑えている。
【００４４】以上の本実施例によれば、冷媒の圧力を上
げるあるいはジャケットのシートを薄くしてもジャケッ
トの変形や破損が抑えられるので、冷媒の流量を上げ冷
却効率を向上させることができると共にジャケットの小
型化が図れ、ひいてはリニアモータの推力を向上させる
ことができる。
げるあるいはジャケットのシートを薄くしてもジャケッ
トの変形や破損が抑えられるので、冷媒の流量を上げ冷
却効率を向上させることができると共にジャケットの小
型化が図れ、ひいてはリニアモータの推力を向上させる
ことができる。
【００４５】＜実施例１０＞図１３は本発明のリニアモ
ータの別の実施形態のジャケット部分の構成を表した図
であり、ジャケットの外側の可動子（ヨークや永久磁
石）の配置は先の図９と同一である。
ータの別の実施形態のジャケット部分の構成を表した図
であり、ジャケットの外側の可動子（ヨークや永久磁
石）の配置は先の図９と同一である。
【００４６】先の実施例では別部材であったフレームと
シート、固定具および補強部材の一部もしくは全部を一
体化するもので、本実施例では、２つのジャケットカバ
ー１４、１４′がコイルを固定し覆い、これらジャケッ
トカバー同士を接合している。ジャケットカバーはコイ
ル形状に彫り込まれ、コイル１ａ、１ｄ、１ｇはそれぞ
れの空芯部でジャケットカバー１４に固定され、コイル
１ｃ、１ｆはそれぞれの空芯部でジャケットカバー１
４′に固定され、コイル１ｂ、１ｅはそれぞれの空芯部
でジャケットカバー１４、１４′の両方に固定されてい
る。ジャケットカバー１４、１４′はコイル１ｂ、１ｅ
などを介して互いに結合され、冷媒圧力でジャケットカ
バーの肉薄部が外側に広がろうとするのを抑えている。
つまりジャケットカバー１４、１４′内面の突起部が、
ジャケットを補強して変形を防止する補強部材となって
いる。
シート、固定具および補強部材の一部もしくは全部を一
体化するもので、本実施例では、２つのジャケットカバ
ー１４、１４′がコイルを固定し覆い、これらジャケッ
トカバー同士を接合している。ジャケットカバーはコイ
ル形状に彫り込まれ、コイル１ａ、１ｄ、１ｇはそれぞ
れの空芯部でジャケットカバー１４に固定され、コイル
１ｃ、１ｆはそれぞれの空芯部でジャケットカバー１
４′に固定され、コイル１ｂ、１ｅはそれぞれの空芯部
でジャケットカバー１４、１４′の両方に固定されてい
る。ジャケットカバー１４、１４′はコイル１ｂ、１ｅ
などを介して互いに結合され、冷媒圧力でジャケットカ
バーの肉薄部が外側に広がろうとするのを抑えている。
つまりジャケットカバー１４、１４′内面の突起部が、
ジャケットを補強して変形を防止する補強部材となって
いる。
【００４７】この構成によれば、ジャケットの部品点数
が減り組立が容易になるほかに、結合箇所がジャケット
カバー１４、１４′同士の間だけなので、結合部から冷
媒が漏れ出す可能性が小さいという利点がある。また、
ジャケットがコイル形状に彫り込まれているので組立時
にコイルの位置決めが容易である。
が減り組立が容易になるほかに、結合箇所がジャケット
カバー１４、１４′同士の間だけなので、結合部から冷
媒が漏れ出す可能性が小さいという利点がある。また、
ジャケットがコイル形状に彫り込まれているので組立時
にコイルの位置決めが容易である。
【００４８】＜実施例１１＞図１４は上記説明したいず
れかのリニアモータを用いたウエハステージを有する露
光装置の実施形態を示す。同図において、２１はあおり
機構を有するウエハステージであり、上面に半導体ウエ
ハ２３を搭載している。ウエハステージ２１の上方に
は、光源や照明光学系を有する照明系２７、ウエハに転
写すべきパターンを備えたレチクル２８、該レチクル２
８のパターンを所定の倍率で縮小投影する縮小投影光学
系２９が設けられている。
れかのリニアモータを用いたウエハステージを有する露
光装置の実施形態を示す。同図において、２１はあおり
機構を有するウエハステージであり、上面に半導体ウエ
ハ２３を搭載している。ウエハステージ２１の上方に
は、光源や照明光学系を有する照明系２７、ウエハに転
写すべきパターンを備えたレチクル２８、該レチクル２
８のパターンを所定の倍率で縮小投影する縮小投影光学
系２９が設けられている。
【００４９】ウエハステージの構成について説明する。
２４はあおりステージを水平方向のみ規制するガイドで
あり、例えば静圧軸受を用いることによって、Ｚ方向、
傾斜方向およびＺ軸回転方向の運動を許容している。２
６はベースである。２５は上記説明したいずれかの実施
例の構成を備えたリニアモータであり、３個のリニアモ
ータ（残りの１個は図示せず）の駆動によって、ステー
ジ２１の重力方向であるＺ方向の位置あるいは傾きをベ
ース２６に対して調節することができる。また、ステー
ジ２１のＺ方向の位置および傾きを計測することによ
り、ステージのＺ方向の位置および傾きを制御できる。
２４はあおりステージを水平方向のみ規制するガイドで
あり、例えば静圧軸受を用いることによって、Ｚ方向、
傾斜方向およびＺ軸回転方向の運動を許容している。２
６はベースである。２５は上記説明したいずれかの実施
例の構成を備えたリニアモータであり、３個のリニアモ
ータ（残りの１個は図示せず）の駆動によって、ステー
ジ２１の重力方向であるＺ方向の位置あるいは傾きをベ
ース２６に対して調節することができる。また、ステー
ジ２１のＺ方向の位置および傾きを計測することによ
り、ステージのＺ方向の位置および傾きを制御できる。
【００５０】本実施例によれば、リニアモータの冷却効
率が上がりコイルから発生する熱を回収しているので、
リニアモータからの発熱がウエハステージに伝わって温
度上昇させたり、雰囲気温度を上昇させることがないた
め、ウエハステージの位置決め精度を飛躍的に向上させ
ることができ、ひいては従来以上に高精度な露光転写が
可能となる。
率が上がりコイルから発生する熱を回収しているので、
リニアモータからの発熱がウエハステージに伝わって温
度上昇させたり、雰囲気温度を上昇させることがないた
め、ウエハステージの位置決め精度を飛躍的に向上させ
ることができ、ひいては従来以上に高精度な露光転写が
可能となる。
【００５１】＜実施例１２＞図１５は上記露光装置を使
用した半導体デバイス（ICやLSI等の半導体チップ、あ
るいは液晶パネルやCCD等）の生産フローを示す。ステ
ップ１（回路設計）では半導体デバイスの回路設計を行
う。ステップ２（マスク製作）では設計した回路パター
ンを形成したマスクを製作する。ステップ３（ウエハ製
造）ではシリコン等の材料を用いてウエハを製造する。
ステップ４（ウエハプロセス）は前工程と呼ばれ、上記
用意したマスクとウエハを用いて、リソグラフィ技術に
よってウエハ上に実際の回路を形成する。ステップ５
（組み立て）は後工程と呼ばれ、ステップ４によって作
製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程であ
り、アッセンブリ工程（ダイシング、ボンディング）、
パッケージング工程（チップ封入）等の工程を含む。ス
テップ６（検査）ではステップ５で作製された半導体デ
バイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行
う。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、これ
が出荷（ステップ７）される。
用した半導体デバイス（ICやLSI等の半導体チップ、あ
るいは液晶パネルやCCD等）の生産フローを示す。ステ
ップ１（回路設計）では半導体デバイスの回路設計を行
う。ステップ２（マスク製作）では設計した回路パター
ンを形成したマスクを製作する。ステップ３（ウエハ製
造）ではシリコン等の材料を用いてウエハを製造する。
ステップ４（ウエハプロセス）は前工程と呼ばれ、上記
用意したマスクとウエハを用いて、リソグラフィ技術に
よってウエハ上に実際の回路を形成する。ステップ５
（組み立て）は後工程と呼ばれ、ステップ４によって作
製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程であ
り、アッセンブリ工程（ダイシング、ボンディング）、
パッケージング工程（チップ封入）等の工程を含む。ス
テップ６（検査）ではステップ５で作製された半導体デ
バイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行
う。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、これ
が出荷（ステップ７）される。
【００５２】図１６は上記ウエハプロセスの詳細なフロ
ーを示す。ステップ１１（酸化）ではウエハの表面を酸
化させる。ステップ１２（CVD）ではウエハ表面に絶縁
膜を形成する。ステップ１３（電極形成）ではウエハに
電極を蒸着によって形成する。ステップ１４（イオン打
込み）ではウエハにイオンを打ち込む。ステップ１５
（レジスト処理）ではウエハに感光剤を塗布する。ステ
ップ１６（露光）では上記説明した露光によってマスク
の回路パターンをウエハに焼付露光する。ステップ１７
（現像）では露光したウエハを現像する。ステップ１８
（エッチング）では現像したレジスト像以外の部分を削
り取る。ステップ１９（レジスト剥離）ではエッチング
が済んで不要となったレジストを取り除く。これらのス
テップを繰り返し行うことによって、ウエハ上に多重に
回路パターンが形成される。
ーを示す。ステップ１１（酸化）ではウエハの表面を酸
化させる。ステップ１２（CVD）ではウエハ表面に絶縁
膜を形成する。ステップ１３（電極形成）ではウエハに
電極を蒸着によって形成する。ステップ１４（イオン打
込み）ではウエハにイオンを打ち込む。ステップ１５
（レジスト処理）ではウエハに感光剤を塗布する。ステ
ップ１６（露光）では上記説明した露光によってマスク
の回路パターンをウエハに焼付露光する。ステップ１７
（現像）では露光したウエハを現像する。ステップ１８
（エッチング）では現像したレジスト像以外の部分を削
り取る。ステップ１９（レジスト剥離）ではエッチング
が済んで不要となったレジストを取り除く。これらのス
テップを繰り返し行うことによって、ウエハ上に多重に
回路パターンが形成される。
【００５３】
【発明の効果】本発明によれば、冷媒の圧力を上げるも
しくはジャケットの肉薄部分を薄くしも、ジャケットの
変形や破損を抑えられるので、冷媒の流量を上げ冷却効
率を向上させることができると共に、ジャケットの小型
化によりリニアモータの推力を向上させることができ
る。
しくはジャケットの肉薄部分を薄くしも、ジャケットの
変形や破損を抑えられるので、冷媒の流量を上げ冷却効
率を向上させることができると共に、ジャケットの小型
化によりリニアモータの推力を向上させることができ
る。
【図１】リニアモータを説明する上面図
【図２】リニアモータのジャケット構成を示す分解図
【図３】リニアモータの外観を表す斜視図
【図４】別の形態のリニアモータのジャケットを表す図
【図５】別の形態のリニアモータのジャケットを表す図
【図６】別の形態のリニアモータのジャケットを表す図
【図７】別の形態のリニアモータのジャケットを表す図
【図８】別の形態のリニアモータのジャケットを表す図
【図９】別の形態のリニアモータの構成を示す図
【図１０】別の形態のリニアモータのジャケットを表す
図
図
【図１１】別の形態のリニアモータのジャケットを表す
図
図
【図１２】別の形態のリニアモータのジャケットを表す
図
図
【図１３】別の形態のリニアモータのジャケットを表す
図
図
【図１４】ステージを有する露光装置の構成図
【図１５】半導体デバイスの製造フローを示す図
【図１６】ウエハプロセスの詳細なフローを示す図
【図１７】従来例のリニアモータを説明する図
１ コイル ２ ヨーク ３ 永久磁石 ４、４′ シート ５ フレーム ７ 固定具 ８ 補強部材 １４、１４′ ジャケットカバー
Claims (11)
- 【請求項１】 コイルと、該コイルを覆い内部空間に冷
媒が供給されるジャケットとを有するリニアモータにお
いて、該冷媒の圧力に対して該ジャケットを補強する補
強部材をジャケット内部に設けたことを特徴とするリニ
アモータ。 - 【請求項２】 前記ジャケットを挟んで磁石が取り付け
られたヨークが設けられていることを特徴とする請求項
１記載のリニアモータ。 - 【請求項３】 前記ジャケットはフレームと該フレーム
を挟んで２枚のシートを接合したものである請求項１記
載のリニアモータ。 - 【請求項４】 前記ジャケットは２つのジャケットカバ
ーを接合したものである請求項１記載のリニアモータ。 - 【請求項５】 前記ジャケット及び補強部材は非磁性体
材料からなることを特徴とする請求項１記載のリニアモ
ータ。 - 【請求項６】 前記補強部材は前記コイルの空芯部に位
置することを特徴とする請求項１記載のリニアモータ。 - 【請求項７】 前記補強部材はジャケットの一部として
構成された突起部であることを特徴とする請求項１記載
のリニアモータ。 - 【請求項８】 ジャケットの構成部材がコイルを固定す
ることを特徴とする請求項１記載のリニアモータ。 - 【請求項９】 請求項１〜８のいずれか記載のリニアモ
ータを駆動機構として有することを特徴とするステージ
装置。 - 【請求項１０】 請求項９記載のステージ装置で基板を
搭載して、該基板に露光を行う手段を有することを特徴
とする露光装置。 - 【請求項１１】 請求項１０記載の露光装置を用いてデ
バイスを製造することを特徴とするデバイス製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19560097A JP3278380B2 (ja) | 1997-03-06 | 1997-07-22 | リニアモータ |
| US08/951,107 US6084319A (en) | 1996-10-16 | 1997-10-15 | Linear motor, and stage device and exposure apparatus provided with the same |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5172697 | 1997-03-06 | ||
| JP9-51726 | 1997-03-06 | ||
| JP19560097A JP3278380B2 (ja) | 1997-03-06 | 1997-07-22 | リニアモータ |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001400042A Division JP3592292B2 (ja) | 1997-03-06 | 2001-12-28 | リニアモータを有するステージ装置、露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10309071A true JPH10309071A (ja) | 1998-11-17 |
| JP3278380B2 JP3278380B2 (ja) | 2002-04-30 |
Family
ID=26392286
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19560097A Expired - Fee Related JP3278380B2 (ja) | 1996-10-16 | 1997-07-22 | リニアモータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3278380B2 (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030025419A (ko) * | 2001-09-20 | 2003-03-29 | 주식회사 져스텍 | 리니어모터 |
| US6639333B1 (en) | 1999-07-19 | 2003-10-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Linear motor stage system for use in exposure apparatus |
| US6791670B2 (en) | 2000-12-26 | 2004-09-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Exposure apparatus, device manufacturing method, semiconductor manufacturing factory, and exposure apparatus maintenance method |
| US6806594B2 (en) | 2002-02-20 | 2004-10-19 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Coil unit for linear motor |
| US6836031B2 (en) * | 2000-12-08 | 2004-12-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Linear motor and exposure apparatus using the same |
| US6847132B2 (en) | 2001-07-10 | 2005-01-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Electromagnetic actuator having an armature coil surrounded by heat-conducting anisotropy material and exposure apparatus |
| US7038759B2 (en) | 2001-07-09 | 2006-05-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Exposure apparatus |
| EP1536288A3 (en) * | 2003-11-28 | 2006-06-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Coil support unit, motor and exposure apparatus using the same, and device manufacturing method |
| JP2012143143A (ja) * | 2011-01-04 | 2012-07-26 | Asml Holding Nv | 真空環境用のリニアモータシステムおよびその設計方法 |
| JP2023040769A (ja) * | 2021-09-10 | 2023-03-23 | 株式会社プロテリアル | コイル組立部材及びボイスコイルモータ |
| KR102865183B1 (ko) * | 2024-04-05 | 2025-09-26 | 이노로보틱스 주식회사 | 다이 본딩 스테이지 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006287014A (ja) | 2005-04-01 | 2006-10-19 | Canon Inc | 位置決め装置およびリニアモータ |
| JP2015023768A (ja) | 2013-07-23 | 2015-02-02 | キヤノン株式会社 | ステージ装置、リソグラフィ装置及び物品の製造方法 |
-
1997
- 1997-07-22 JP JP19560097A patent/JP3278380B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6639333B1 (en) | 1999-07-19 | 2003-10-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Linear motor stage system for use in exposure apparatus |
| US6836031B2 (en) * | 2000-12-08 | 2004-12-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Linear motor and exposure apparatus using the same |
| US6791670B2 (en) | 2000-12-26 | 2004-09-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Exposure apparatus, device manufacturing method, semiconductor manufacturing factory, and exposure apparatus maintenance method |
| US7391496B2 (en) | 2001-07-09 | 2008-06-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Exposure apparatus |
| US7038759B2 (en) | 2001-07-09 | 2006-05-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Exposure apparatus |
| US7057703B2 (en) | 2001-07-09 | 2006-06-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Exposure apparatus |
| EP2017675A1 (en) | 2001-07-09 | 2009-01-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Exposure apparatus |
| US6847132B2 (en) | 2001-07-10 | 2005-01-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Electromagnetic actuator having an armature coil surrounded by heat-conducting anisotropy material and exposure apparatus |
| KR20030025419A (ko) * | 2001-09-20 | 2003-03-29 | 주식회사 져스텍 | 리니어모터 |
| US6806594B2 (en) | 2002-02-20 | 2004-10-19 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Coil unit for linear motor |
| EP1536288A3 (en) * | 2003-11-28 | 2006-06-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Coil support unit, motor and exposure apparatus using the same, and device manufacturing method |
| US7329972B2 (en) | 2003-11-28 | 2008-02-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Coil support unit, motor and exposure apparatus using the same, and device manufacturing method |
| US7768156B2 (en) | 2003-11-28 | 2010-08-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Coil support unit, motor and exposure apparatus using the same, and device manufacturing method |
| JP2012143143A (ja) * | 2011-01-04 | 2012-07-26 | Asml Holding Nv | 真空環境用のリニアモータシステムおよびその設計方法 |
| JP2023040769A (ja) * | 2021-09-10 | 2023-03-23 | 株式会社プロテリアル | コイル組立部材及びボイスコイルモータ |
| KR102865183B1 (ko) * | 2024-04-05 | 2025-09-26 | 이노로보틱스 주식회사 | 다이 본딩 스테이지 |
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