JPH10311314A - Spring piece for fixing between members - Google Patents

Spring piece for fixing between members

Info

Publication number
JPH10311314A
JPH10311314A JP12091697A JP12091697A JPH10311314A JP H10311314 A JPH10311314 A JP H10311314A JP 12091697 A JP12091697 A JP 12091697A JP 12091697 A JP12091697 A JP 12091697A JP H10311314 A JPH10311314 A JP H10311314A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
spring piece
fixing
members
fixing spring
shape
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP12091697A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Koichi Ochiai
耕一 落合
Munenori Takai
宗則 高井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Azbil Corp
Original Assignee
Azbil Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Azbil Corp filed Critical Azbil Corp
Priority to JP12091697A priority Critical patent/JPH10311314A/en
Publication of JPH10311314A publication Critical patent/JPH10311314A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Snaps, Bayonet Connections, Set Pins, And Snap Rings (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 部材を確実に固定でき、また振動、衝撃等に
対して回転したり、ずれたり、抜けたりするおそれがな
い部材間の固定用ばね片を提供する。 【解決手段】 固定用ばね片3は、帯状の板ばね材を折
り曲げ方向が交互に反対方向となるようにジグザグに折
り曲げることによりN字状に形成され、2つの部材1,
2の隙間に圧入される。固定用ばね片3の一端は第1の
部材1の係止部5に係合し、他端3bは第2の部材2の
ばね片係止用の溝6の下端に係合する。
(57) [Problem] To provide a spring piece for fixing between members which can surely fix the members and which is not likely to rotate, shift or slip off due to vibration, impact, or the like. SOLUTION: A fixing spring piece 3 is formed in an N shape by bending a band-shaped leaf spring material in a zigzag manner so that bending directions are alternately opposite to each other.
2 into the gap. One end of the fixing spring piece 3 is engaged with the locking portion 5 of the first member 1, and the other end 3 b is engaged with the lower end of the spring piece locking groove 6 of the second member 2.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、材料自体の弾性を
利用して部材、部品等を他の部材、部品等に固定するた
めの部材間の固定用ばね片に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a spring piece for fixing a member or part to another member or part using the elasticity of the material itself.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、ある部材を他の部材に対して固定
する際に用いられる固定手段の1つとして、JIS規格
B2808のスプリングピンが知られている。このス
プリングピンは、板ばね材によって一部周面が開放する
円筒体に形成されて両端部がテーパ状に小径化されてい
る。このようなスプリングピンは、2つの部材間の隙間
に圧入されることにより縮径され、その弾発力によって
一方の部材を他方の部材に押し付けて固定する。
2. Description of the Related Art Conventionally, a spring pin of JIS B2808 has been known as one of fixing means used for fixing a member to another member. This spring pin is formed in a cylindrical body having a partially open peripheral surface by a leaf spring material, and both ends are tapered and reduced in diameter. Such a spring pin is reduced in diameter by being press-fitted into a gap between two members, and presses and fixes one member against the other member by its elastic force.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
スプリングピンは筒状体に形成され基本的にはピンと部
材との摩擦力によって固定しているので、振動、衝撃等
によって部材間の隙間が変化すると、回転したりずれた
りし易く、最悪の場合は隙間から抜けて脱落するという
問題があった。
However, since the conventional spring pin is formed in a tubular body and is basically fixed by the frictional force between the pin and the member, the gap between the members changes due to vibration, impact, and the like. Then, there is a problem in that it is likely to rotate or shift, and in the worst case, it falls out of the gap.

【0004】本発明は上記した従来の問題を解決するた
めになされたもので、その目的とするところは、簡単な
構成で部材を確実に固定でき、また振動、衝撃等に対し
て回転したり、ずれたり、抜けたりするおそれがない部
材間の固定用ばね片を提供するものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, and it is an object of the present invention to be able to securely fix members with a simple structure and to be able to rotate with respect to vibration, impact, etc. An object of the present invention is to provide a spring piece for fixing between members which is not likely to shift or come off.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ために本発明に係る部材間の固定用ばね片は、二つの部
材間に介装することにより両部材間を固定するばね片で
あって、帯状の板ばね材を折り曲げ方向が交互に反対方
向となるようにジグザグに折り曲げるとともに、一端が
一方の部材に係合し他端が他方の部材に係合するように
側面視形状がN字形に形成されていることを特徴とす
る。
In order to achieve the above-mentioned object, a spring piece for fixing between members according to the present invention is a spring piece for fixing between two members by being interposed between two members. The belt-shaped leaf spring material is bent in a zigzag manner so that the bending directions are alternately opposite, and the shape in side view is N so that one end engages with one member and the other end engages with the other member. It is characterized by being formed in a character shape.

【0006】固定用ばね片は、板ばね材でジグザグに折
り曲げ形成され、一端が一方の部材に係合し、他端が他
方の部材に係合するので、振動、衝撃等によって回転し
たり移動したりすることがない。また、二つの部材を互
いに反対方向に付勢するので確実に固定する。
The fixing spring piece is bent in a zigzag manner using a leaf spring material, and one end engages with one member and the other end engages with the other member. Nothing to do. In addition, the two members are urged in opposite directions so that they are securely fixed.

【0007】[0007]

【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に示す実施の
形態に基づいて詳細に説明する。図1は本発明に係る固
定用ばね片の使用形態を示す断面図、図2は平面図、図
3は固定用ばね片の斜視図である。これらの図におい
て、1は第1の部材、2は第2の部材、3は第2の部材
2を第1の部材1内に固定する固定用ばね片である。第
1の部材1は有底円筒体に形成されることにより上面に
円筒状の収納凹部4を有し、内壁面4aの上部には前記
固定用ばね片3の上端を係止する3つの係止部5が周方
向に等間隔をおいて形成されている。この係止部5は、
内壁面4aの周方向に形成された円弧状の溝で構成され
ている。係止部5としては3つ設けた例を示したが、そ
の数は任意である。例えば、1つの場合は第2の部材2
を収納凹部4の内壁面に押し付けて固定することがで
き、3つの場合は第1、第2の部材1,2の中心を互い
に一致させることができる利点がある。また、溝の形状
も円弧状に限らず、V字状、U字状、矩形等適宜な形状
とすることができる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail based on an embodiment shown in the drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view showing a usage form of a fixing spring piece according to the present invention, FIG. 2 is a plan view, and FIG. 3 is a perspective view of the fixing spring piece. In these figures, 1 is a first member, 2 is a second member, and 3 is a fixing spring piece for fixing the second member 2 in the first member 1. The first member 1 is formed in a bottomed cylindrical body and has a cylindrical storage recess 4 on the upper surface, and three engagement members for engaging the upper end of the fixing spring piece 3 above the inner wall surface 4a. Stop portions 5 are formed at equal intervals in the circumferential direction. This locking part 5
It is constituted by an arc-shaped groove formed in the circumferential direction of the inner wall surface 4a. Although the example in which three locking portions 5 are provided is shown, the number is arbitrary. For example, in the case of one, the second member 2
Can be pressed against the inner wall surface of the storage recess 4 and the three cases have the advantage that the centers of the first and second members 1 and 2 can be aligned with each other. Further, the shape of the groove is not limited to the arc shape, but may be an appropriate shape such as a V shape, a U shape, and a rectangle.

【0008】前記第2の部材2は、円柱体に形成されて
外周面に前記固定用ばね片3が挿入される3つのばね片
係止用の溝6が周方向に等間隔をおいて形成されてい
る。この溝6は、第2の部材2の軸線方向に形成され、
上端が第2の部材2の上面に開放し、下端が下面付近に
まで延在している。
The second member 2 is formed in a cylindrical body, and has three spring piece locking grooves 6 on its outer peripheral surface into which the fixing spring pieces 3 are inserted, at equal intervals in the circumferential direction. Have been. This groove 6 is formed in the axial direction of the second member 2,
The upper end is open to the upper surface of the second member 2, and the lower end extends to near the lower surface.

【0009】前記固定用ばね片3は、適宜な幅と長さを
有する帯状の板ばね材を折り曲げ方向が交互に反対方向
となるようにジグザグに折り曲げることにより形成され
ている。この場合、本実施の形態においては2回折り曲
げることにより側面視N字状に形成された固定用ばね片
3を示したが、図4(a)に示すように4回折り曲げて
N字部分を2つ設けたものであってもよい。また、第
1、第2の部材1,2に対して食い込み易くするために
同図(b)に示すように先端にエッジ部7を設けてもよ
い。
The fixing spring piece 3 is formed by bending a band-shaped leaf spring material having an appropriate width and length in a zigzag manner so that the bending directions are alternately opposite. In this case, in the present embodiment, the fixing spring piece 3 formed into an N-shape in side view by bending twice is shown. However, as shown in FIG. Two may be provided. In addition, an edge 7 may be provided at the tip as shown in FIG. 3B in order to make it easier to bite into the first and second members 1 and 2.

【0010】固定用ばね片3によって第2の部材2を第
1の部材1に固定するには、先ず固定用ばね片3を各溝
6に装着する。このとき、固定用ばね片3の上端3aを
外側に向け、下端3bを内側に向けて装着する。次に、
この状態で第2の部材2を第1の部材1の収納凹部4内
に嵌挿する。この場合、収納凹部4の内壁面4aと溝6
との隙間Dが自然状態における固定用ばね片3の厚みT
より小さく設定されていると、固定用ばね片3は長さ方
向に伸張し厚み方向に圧縮されるため、その弾発力によ
って第2の部材2を保持する。したがって、第2の部材
2は収納凹部4内に固定される。第2の部材2を収納凹
部4内に収納すると、固定用ばね片3は下端3bが溝6
の底部に当接して下方に付勢し、上端3aが係止部5に
係入して上方に付勢するので、第2の部材2を収納凹部
4内に確実に固定し、第2の部材2や固定用ばね片3が
上方に抜けたりすることがない。また、固定用ばね片3
は溝6によって周方向の移動を阻止される。さらに、固
定用ばね片3はジグザグに折り曲げ形成され側面視N字
状であるため、従来の円筒体からなるスプリングピンの
ように回転することがない。また、同一のばね定数と構
造を有する固定用ばね片3を3つ用いると、第1の部材
1と第2の部材2の中心を一致させることができる。
In order to fix the second member 2 to the first member 1 by the fixing spring piece 3, first, the fixing spring piece 3 is mounted in each groove 6. At this time, the fixing spring piece 3 is mounted with the upper end 3a facing outward and the lower end 3b facing inward. next,
In this state, the second member 2 is inserted into the storage recess 4 of the first member 1. In this case, the inner wall surface 4a of the storage recess 4 and the groove 6
The thickness T of the fixing spring piece 3 in the natural state where the gap D is
If it is set smaller, the fixing spring piece 3 extends in the length direction and is compressed in the thickness direction, so that the resilient force holds the second member 2. Therefore, the second member 2 is fixed in the storage recess 4. When the second member 2 is stored in the storage recess 4, the lower end 3 b of the fixing spring piece 3
The upper end 3a engages with the locking portion 5 and urges upward, so that the second member 2 is securely fixed in the storage recess 4 and the second member 2 is pressed downward. The member 2 and the fixing spring piece 3 do not come off upward. Also, the fixing spring piece 3
Is prevented from moving in the circumferential direction by the groove 6. Further, since the fixing spring piece 3 is bent and formed in a zigzag shape and is N-shaped in a side view, it does not rotate like a conventional spring pin formed of a cylindrical body. When three fixing spring pieces 3 having the same spring constant and structure are used, the centers of the first member 1 and the second member 2 can be matched.

【0011】図5は本発明に係る固定用ばね片を圧力検
出装置に適用した実施の形態を示す断面図である。この
圧力検出装置11は、SUS316等の金属によって形
成されたパッケージ12の上面中央部に収納凹部13を
設け、この収納凹部13内に基体14を介して圧力セン
サ15とオイルスペーサ16を収納し、シールダイアフ
ラム17によって収納凹部13を液密に封止している。
FIG. 5 is a sectional view showing an embodiment in which the fixing spring piece according to the present invention is applied to a pressure detecting device. The pressure detecting device 11 is provided with a storage recess 13 at the center of the upper surface of a package 12 formed of a metal such as SUS316, and stores the pressure sensor 15 and the oil spacer 16 in the storage recess 13 via a base 14. The storage recess 13 is liquid-tightly sealed by the seal diaphragm 17.

【0012】前記オイルスペーサ16は封入液18の量
を少なくし熱による膨張を極力防ぐために用いられるも
ので、通常アルミナ等のセラミックス、合成樹脂等によ
って製作されて基体14上に載置され、かつ上記した固
定用ばね片3によって径方向に付勢されることにより前
記収納凹部13の内壁面に押し付けられている。このた
め、オイルスペーサ16の外周面には溝19が形成さ
れ、収納凹部13の内壁面には係止部20が形成されて
いる。また、オイルスペーサ16の内部には、前記圧力
センサ15とリードピン25の一端部を収納する収納部
21が形成され、この収納部21内に前記シールダイア
フラム17に加わる被測定圧力P1 を前記圧力センサ1
5に伝達する前記封入液18が封入されている。封入液
18としては、熱膨張係数の小さいシリコンオイル等が
用いられる。そして、オイルスペーサ16の上面には、
前記シールダイアフラム17とオイルスペーサ16との
間に形成された測圧室22と前記収納部21とを連通す
る圧力導入口23が形成されている。なお、測圧室22
と収納部21はパッケージ12とオイルスペーサ16と
の隙間を介して連通しているので、圧力導入口23は必
ずしも必要ではない。
The oil spacer 16 is used to reduce the amount of the sealing liquid 18 and to prevent expansion due to heat as much as possible. The oil spacer 16 is usually made of ceramics such as alumina, a synthetic resin, or the like, and is mounted on the base 14. It is pressed against the inner wall surface of the housing recess 13 by being urged in the radial direction by the fixing spring piece 3 described above. Therefore, a groove 19 is formed on the outer peripheral surface of the oil spacer 16, and a locking portion 20 is formed on the inner wall surface of the storage recess 13. A housing 21 for housing the pressure sensor 15 and one end of the lead pin 25 is formed inside the oil spacer 16, and the measured pressure P1 applied to the seal diaphragm 17 is stored in the housing 21 in the pressure sensor. 1
5 is sealed. As the filling liquid 18, silicone oil or the like having a small coefficient of thermal expansion is used. Then, on the upper surface of the oil spacer 16,
A pressure inlet 23 is formed to communicate the pressure measuring chamber 22 formed between the seal diaphragm 17 and the oil spacer 16 with the housing 21. The pressure measuring chamber 22
And the storage section 21 communicate with each other via a gap between the package 12 and the oil spacer 16, so that the pressure introduction port 23 is not always necessary.

【0013】前記圧力センサ15は、半導体基板の起歪
部表面に不純物の拡散もしくはイオン打ち込み技術によ
りピエゾ抵抗領域として作用するゲージが形成されたセ
ンサチップを備え、このセンサチップが台座24の上面
に陽極接合されている。台座24としては、センサチッ
プを接合するときの熱歪みがセンサチップに伝わると圧
力検出装置11の温度特性を低下させ零点シフトの原因
となるため、センサチップの熱膨張係数に近似した熱膨
張係数を有する材料、例えばパイレックスガラス、セラ
ミックス等を用いている。
The pressure sensor 15 has a sensor chip in which a gauge acting as a piezoresistive region is formed on the surface of a strained portion of a semiconductor substrate by an impurity diffusion or ion implantation technique. Anodically bonded. The base 24 has a thermal expansion coefficient close to the thermal expansion coefficient of the sensor chip, because when thermal distortion when the sensor chip is bonded is transmitted to the sensor chip, the temperature characteristic of the pressure detecting device 11 is reduced and a zero point shift is caused. , Such as Pyrex glass and ceramics.

【0014】前記基体14は、耐食性と溶接性に優れ、
前記台座24と熱膨張係数が略等しい材料、例えばコバ
ールによって形成され、リードピン25が貫通して設け
られている。このリードピン25が貫通する基体14の
挿通孔26は、基体14とリードピン25との電気的絶
縁および封入液18の漏洩を防止するためにシール材2
7によってハーメチックシールされている。このような
基体14は、前記パッケージ12に対して封入液18の
漏洩を防止するために通常プロジェクション溶接によっ
て溶接されている。そのため、基体14の下面外周寄り
には環状の突起29(プロジェクション溶接部)が一体
に突設され、このプロジェクション溶接部29を前記収
納凹部13の内底面に溶接している。プロジェクション
溶接とは、溶接物に突起(プロジェクションまたはエン
ボスともいう)を作ったり、溶接物の加工時に存在する
凸部とかエッジを用い、その部位を被溶接物に圧力を加
えて押し付けながら電流を流すことにより極めて短時間
に溶接する方法で、通常の溶接と比べて圧力を加えなが
ら溶接する点で異なっている。
The base 14 has excellent corrosion resistance and weldability,
The pedestal 24 is formed of a material having a thermal expansion coefficient substantially equal to that of the pedestal 24, for example, Kovar, and a lead pin 25 is provided therethrough. The insertion hole 26 of the base 14 through which the lead pin 25 penetrates is provided with the sealing material 2 to electrically insulate the base 14 from the lead pin 25 and prevent leakage of the liquid 18.
7, hermetically sealed. Such a base 14 is usually welded to the package 12 by projection welding in order to prevent leakage of the liquid 18. Therefore, an annular projection 29 (projection welded portion) is integrally provided near the outer periphery of the lower surface of the base 14, and the projection welded portion 29 is welded to the inner bottom surface of the storage recess 13. Projection welding is a process in which a projection (also referred to as projection or embossing) is formed on a workpiece, or a projection or an edge that is present at the time of processing the workpiece is used. This is a method of welding in an extremely short time, which is different from normal welding in that welding is performed while applying pressure.

【0015】このような構成において、被測定流体をシ
ールダイアフラム17に導くと、その圧力P1 に応じて
シールダイアフラム17が変位し、その変位により測圧
室22内の封入液18が移動して圧力センサ15の起歪
部を変位させ、その歪量が電気信号に変換されて取り出
されることで圧力P1 の検出が行われる。なお、30は
パッケージ12の封入液封入孔31を封止する封止ボー
ル、32は止めねじ、33はシールダイアフラム17の
溶接リング、34は圧力センサ15とリードピン25を
電気的に接続する金線である。
In such a configuration, when the fluid to be measured is guided to the seal diaphragm 17, the seal diaphragm 17 is displaced in accordance with the pressure P1. The strain P of the sensor 15 is displaced, and the amount of strain is converted into an electric signal and taken out, thereby detecting the pressure P1. Reference numeral 30 denotes a sealing ball that seals the liquid filling hole 31 of the package 12, 32 is a set screw, 33 is a welding ring of the seal diaphragm 17, and 34 is a gold wire that electrically connects the pressure sensor 15 and the lead pin 25. It is.

【0016】このような構成からなる圧力検出装置11
においても、固定用ばね片3を用いているので、オイル
スペーサ16をパッケージ12内に確実に固定すること
ができる。
The pressure detecting device 11 having such a configuration
Also, since the fixing spring piece 3 is used, the oil spacer 16 can be securely fixed in the package 12.

【0017】[0017]

【発明の効果】以上説明したように本発明に係る部材間
の固定用ばね片においては、帯状の板ばね材によってジ
グザグに折り曲げ形成されているので、従来の円筒状に
形成されたスプリングピンに比べて製作が容易であり、
また2つの部材間に圧入されたとき振動、衝撃等によっ
て回転したり、移動したりすることがなく確実に固定で
きる。
As described above, in the spring piece for fixing between members according to the present invention, since it is bent and formed in a zigzag manner by a band-shaped leaf spring material, the conventional spring pin formed in a cylindrical shape is used. It is easier to manufacture than
Further, when press-fitted between the two members, they can be securely fixed without rotating or moving due to vibration, impact or the like.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明に係る固定用ばね片の使用形態を示す
断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a usage form of a fixing spring piece according to the present invention.

【図2】 平面図である。FIG. 2 is a plan view.

【図3】 固定用ばね片の斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of a fixing spring piece.

【図4】 (a)、(b)は固定用ばね片の他の実施の
形態を示す斜視図である。
FIGS. 4A and 4B are perspective views showing another embodiment of a fixing spring piece.

【図5】 本発明を圧力検出装置に適用した例を示す断
面図である。
FIG. 5 is a sectional view showing an example in which the present invention is applied to a pressure detecting device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…第1の部材、2…第2の部材、3…固定用ばね片、
4…収納凹部、5…係止部、6…ばね片係入用の溝、7
…エッジ部。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... 1st member, 2 ... 2nd member, 3 ... Fixing spring piece,
4 ... storage recess, 5 ... locking part, 6 ... groove for engaging spring piece, 7
... edge part.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 二つの部材間に介装することにより両部
材間を固定するばね片であって、帯状の板ばね材を折り
曲げ方向が交互に反対方向となるようにジグザグに折り
曲げるとともに、一端が一方の部材に係合し他端が他方
の部材に係合するように側面視形状がN字形に形成され
ていることを特徴とする部材間の固定用ばね片。
1. A spring piece for fixing a member between two members by interposing the member between two members, wherein a band-shaped leaf spring material is bent in a zigzag manner so that bending directions are alternately opposite to each other, and one end thereof is provided. A spring piece for fixing between members, wherein a side view shape is formed into an N-shape such that a member engages with one member and the other end engages with the other member.
JP12091697A 1997-05-12 1997-05-12 Spring piece for fixing between members Pending JPH10311314A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12091697A JPH10311314A (en) 1997-05-12 1997-05-12 Spring piece for fixing between members

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12091697A JPH10311314A (en) 1997-05-12 1997-05-12 Spring piece for fixing between members

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH10311314A true JPH10311314A (en) 1998-11-24

Family

ID=14798172

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12091697A Pending JPH10311314A (en) 1997-05-12 1997-05-12 Spring piece for fixing between members

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH10311314A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5998379B2 (en) Sensor device package and method
KR100401576B1 (en) Pressure detector mounting structure
CN100434889C (en) Sealed Pressure Sensing Device
US5874679A (en) Pressure sensor package and method of making the same
EP0800070A1 (en) Pressure sensor package and method of making the same
US6591686B1 (en) Oil filled pressure transducer
JP2005055313A (en) Semiconductor pressure sensor device
JPH10311314A (en) Spring piece for fixing between members
JP3603772B2 (en) Pressure sensor
JP3158354B2 (en) Pressure detector
JP3158355B2 (en) Pressure detector
JPH1123397A (en) Pressure detector
JP3158353B2 (en) Pressure detector
JPH1137874A (en) Pressure detector
JPH11153500A (en) Pressure detector
JP3404563B2 (en) Pressure sensor
JPH1151795A (en) Semiconductor pressure sensor and manufacturing method thereof
JP3991787B2 (en) Pressure sensor
JPH09257743A (en) Sensor plug
JP2004309334A (en) Pressure sensor device
JP2003294564A (en) Manufacturing method of pressure sensor
JP3991808B2 (en) Pressure sensor
JP2001004472A (en) Pressure detector
JPH0459573B2 (en)
JP3333703B2 (en) Pressure sensor and method of manufacturing pressure sensor