JPH1031452A

JPH1031452A - 画像形成装置

Info

Publication number: JPH1031452A
Application number: JP18747596A
Authority: JP
Inventors: Mitsutoshi Kuno; 光俊久野; Hidetoshi Suzuki; 英俊鱸
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1996-07-17
Filing date: 1996-07-17
Publication date: 1998-02-03

Abstract

(57)【要約】【課題】複数の表面伝導型放出素子を複数のデータ配
線と複数の走査配線でマトリックス配線したマルチ電子
ビーム源と、前記マルチ電子ビーム源を駆動する駆動回
路を有する画像形成装置において、簡単な回路で非選択
の素子が点灯することのない画像形成装置を提供する。【解決手段】マルチ電子ビーム源を、互いに形状の違
う第１の電極（４）と第２の電極（３）と、前記第１の
電極（４）と前記第２の電極（３）の間にある電子放出
部とで構成する。または、表面伝導型放出素子を、一方
は他方の上部にある一対の電極などで構成する。そし
て、マルチ電子ビーム源を２種の電圧源で駆動する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電子の照射によっ
て画像を形成する画像形成装置に関し、特に、電子の照
射によって蛍光表示する画像形成装置や、半導体などの
電子線描画用の画像形成装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、電子放出素子として熱陰極素
子と冷陰極素子の２種類が知られている。このうち冷陰
極素子では、たとえば電界放出型素子（以下ＦＥ型と記
す）や、金属／絶縁層／金属型放出素子（以下ＭＩＭ型
と記す）や、表面伝導型放出素子などが知られている。

【０００３】ＦＥ型の例としては、たとえば、Ｗ．Ｐ．
Ｄｙｋｅ＆Ｗ．Ｗ．Ｄｏｌａｎ，”Ｆｉｅｌｄｅｍｉ
ｓｓｉｏｎ”，ＡｄｖａｎｃｅｉｎＥｌｅｃｔｒｏ
ｎＰｈｙｓｉｃｓ，８，８９（１９５６）や、あるい
は、Ｃ．Ａ．Ｓｐｉｎｄｔ，”Ｐｈｙｓｉｃａｌｐｒ
ｏｐｅｒｔｉｅｓｏｆｔｈｉｎ−ｆｉｌｍｆｉｅｌ
ｄｅｍｉｓｓｉｏｎｃａｔｈｏｄｅｓｗｉｔｈ
ｍｏｌｙｂｄｅｎｉｕｍｃｏｎｅｓ”，Ｊ．Ａｐｐ
ｌ．Ｐｈｙｓ．，４７，５２４８（１９７６）などが知
られている。

【０００４】また、ＭＩＭ型の例としては、たとえば、
Ｃ．Ａ．Ｍｅａｄ，”Ｏｐｅｒａｔｉｏｎｏｆｔｕ
ｎｎｅｌ−ｅｍｉｓｓｉｏｎＤｅｖｉｃｅｓ，Ｊ．Ａ
ｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．，３２，６４６（１９６１）などが
知られている。

【０００５】また、表面伝導型放出素子としては、たと
えば、Ｍ．Ｉ．Ｅｌｉｎｓｏｎ，ＲａｄｉｏＥｎｇ．Ｅ
ｌｅｃｔｒｏｎＰｈｙｓ．，１０，１２９０，（１９
５６）や、後述する他の例が知られている。

【０００６】表面伝導型放出素子は、基板上に形成され
た小面積の薄膜に、膜面に平行に電流を流すことにより
電子放出が生ずる現象を利用するものである。この表面
伝導型放出素子としては、前記エリンソン等によるＳｎ
Ｏ₂ 薄膜を用いたものの他に、Ａｕ薄膜によるもの
〔Ｇ．Ｄｉｔｔｍｅｒ：”ＴｈｉｎＳｏｌｉｄＦｉ
ｌｍｓ”，９，３１７（１９７２）〕や、Ｉｎ₂ Ｏ₃ ／
ＳｎＯ₂ 薄膜によるもの〔Ｍ．Ｈａｒｔｗｅｌｌａｎ
ｄＣ．Ｇ．Ｆｏｎｓｔａｄ：”ＩＥＥＥＴｒａｎ
ｓ．ＥＤＣｏｎｆ．”，５１９（１９７５）〕や、カ
ーボン薄膜によるもの〔荒木久他：真空、第２６巻、
第１号、２２（１９８３）〕等が報告されている。

【０００７】これらの表面伝導型放出素子の素子構成の
典型的な例として、図２３に前述のＭ．Ｈａｒｔｗｅｌ
ｌらによる素子の平面図を示す。同図において、３０
０１は基板で、３００４はスパッタで形成された金属酸
化物よりなる導電性薄膜である。導電性薄膜３００４は
図示のようにＨ字形の平面形状に形成されている。該導
電性薄膜３００４に後述の通電フォーミングと呼ばれる
通電処理を施すことにより、電子放出部３００５が形成
される。図中の間隔Ｌは、０．５〜１（ｍｍ），ｗは、
０．１（ｍｍ）で設定されている。尚、図示の便宜か
ら、電子放出部３００５は通電性薄膜３００４の中央に
矩形の形状て示したが、これは模式的なものであり、実
際の電子放出部の位置や形状を忠実に表現しているわけ
ではない。

【０００８】Ｍ．Ｈａｒｔｗｅｌｌらによる素子をはじ
めとして上述の表面伝導型放出素子においては、電子放
出を行う前に導電性薄膜３００４に通電フォーミングと
呼ばれる通電処理を施すことにより電子放出部３００５
を形成するのが一般的であった。すなわち、通電フォー
ミングとは、前記導電性薄膜３００４の両端に一定の直
流電圧、もしくは、例えば１Ｖ／分程度の非常にゆっく
りとしたレートで昇圧する直流電圧を印加して通電し、
導電性薄膜３００４を局所的に破壊もしくは変形もしく
は変質せしめ、電気的に高抵抗な状態の電子放出部３０
０５を形成することである。尚、局所的に破壊もしくは
変形もしくは変質した導電性薄膜３００４の一部には、
亀裂が発生する。前記通電フォーミング後に導電性薄膜
３００４に適宜の電圧を印加した場合には、前記亀裂付
近において電子放出が行われる。

【０００９】上述の表面伝導型放出素子は、構造が単純
で製造も容易であることから、大面積にわたり多数の素
子を形成できる利点がある。そこで、たとえば本出願人
による特開昭６４−３１３３２号公報において開示され
るように、多数の素子を配列して駆動するための方法が
研究されている。

【００１０】また、表面伝導型放出素子の応用について
は、たとえば、画像表示装置、画像記録装置などの画像
形成装置や、荷電ビーム源、等が研究されている。

【００１１】特に、画像表示装置への応用としては、た
とえば本出願人による米国特許５，０６６，８８３号明
細書や特開平２−２５７５５１号公報において開示され
ているように、表面伝導型放出素子と電子ビームの照射
により発光する蛍光体とを組み合わせて用いた画像表示
装置が研究されている。表面伝導型放出素子と蛍光体と
を組み合わせて用いた画像表示装置は、従来の他の方式
の画像表示装置よりも優れた特性が期待されている。た
とえば、近年普及してきた液晶表示装置と比較しても、
自発光型であるためバックライトを必要としない点や、
視野角が広い点が優れていると言える。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】発明者らは、上記従来
記述に記載したものをはじめとして、さまざまな材料、
製法、構造の表面伝導型放出素子を試みてきた。さら
に、多数の表面伝導型放出素子を配列したマルチ電子ビ
ーム源、ならびにこのマルチ電子ビーム源を応用した画
像表示装置について研究を行ってきた。

【００１３】発明者らは、たとえば図２４に示す電気的
な配線方法によるマルチ電子ビーム源を試みてきた。す
なわち、表面伝導型放出素子を２次元的に多数個配列
し、これらの素子を図示のようにマトリクス状に配線し
たマルチ電子ビーム源である。

【００１４】図中、４００１は表面伝導型放出素子を模
式的に示したもの、４００２は走査配線となる行方向配
線、４００３はデータ配線となる列方向配線である。行
方向配線４００２および列方向配線４００３は、実際に
は有限の電気抵抗を有するものであるが、図においては
配線抵抗４００４および４００５として示されている。
上述のような配線方法を、単純マトリクス配線と呼ぶ。

【００１５】なお、図示の便宜上、６×６のマトリクス
で示しているが、マトルクスの規模はむろんこれに限っ
たわけではなく、たとえば画像表示装置用のマルチ電子
ビーム源の場合には、所望の画像表示を行うのに足りる
だけの素子を配列し配線するものである。

【００１６】表面伝導型放出素子を単純マトリクスを配
線したマルチ電子ビーム源においては、所望の電子ビー
ムを出力させるため、行方向配線４００２および列方向
配線４００３に適宜の電気信号を印加する。たとえば、
マトリクスの中の任意の１行の表面伝導型放出素子を駆
動するには、選択する行の行方向配線４００２には選択
電圧Ｖｓを印加し、同時に非選択の行の行方向配線４０
０２には非選択電圧Ｖｎｓを印加する。これと同期して
列方向配線４００３に電子ビームを出力するための駆動
電圧Ｖｅを印加する。この方法によれば、配線抵抗４０
０４および４００５による電圧降下を無視すれば、選択
する行の表面伝導型放出素子には、Ｖｅ−Ｖｓの電圧が
印加され、また非選択行の表面伝導型放出素子にはＶｅ
−Ｖｎｓの電圧が印加される。Ｖｅ，Ｖｓ，Ｖｎｓを適
宜の大きさの電圧にすれば選択する行の表面伝導型放出
素子だけから所望の強度の電子ビームが出力されるはず
であり、また列方向配線の各々に異なる駆動電圧Ｖｅを
印加すれば、選択する行の素子の各々から異なる強度の
電子ビームが出力されるはずである。また、表面伝導型
放出素子の応答速度は高速であるため、駆動電圧Ｖｅを
印加する時間の長さを変えれば、電子ビームが出力され
る時間の長さも変えることができるはずである。したが
って、表面伝導型放出素子を単純マトリクスを配線した
マルチ電子ビーム源はいろいろな応用可能性があり、た
とえば画像情報に応じた電気信号を適宜印加すれば、画
像表面装置用の電子源として好適に用いることかでき
る。

【００１７】このとき駆動を行うのに、従来は少なくと
も３種の電圧信号を使用している。たとえば、表面伝導
型放出素子の電子放出のしきい値（Ｖｔｈ）が８（Ｖ）
くらいの場合、変調信号はオン時に１４（Ｖ）、オフ時
に７（Ｖ）、走査信号は走査行は０（Ｖ）、非走査行に
は７（Ｖ）という具合に、１４、７、０、の３種の電圧
を使用している。

【００１８】しかし、３種の電圧を用いて駆動するに
は、３種の電圧源やレベルシフト回路を必要とするため
駆動回路が複雑になるという問題があった。

【００１９】これは、非選択素子部においては、列方向
側に印加されている電位よりも低く尚かつ、選択されて
いる行配線側の電位よりも高いことが必要とされ、その
絶対値の電圧値は素子のＶｔｈ値よりも低いことが駆動
の条件となるからである。このため、システム全体の製
造コストも増加してしまう問題も発生する。

【００２０】そこで、以上の問題を解決し、簡単な回路
で非選択の素子が点灯することのない画像形成装置を提
供することを本発明の目的とする。

【００２１】

【課題を解決するための手段】以上に挙げた問題を解決
するために、本発明者が鋭意努力した結果、以下の発明
を得た。すなわち、本発明の第１の画像形成装置は、複
数の表面伝導型放出素子を複数のデータ配線と複数の走
査配線でマトリックス配線したマルチ電子ビーム源と、
前記マルチ電子ビーム源を駆動する駆動回路を有する画
像形成装置において、前記表面伝導型放出素子は、互い
に形状の違う第１の電極と第２の電極と、前記第１の電
極と前記第２の電極の間にある電子放出部とを備え、前
記第１の電極は前記走査配線に接続され、前記第２の電
極は前記データ配線に接続され、前記駆動回路は、前記
走査配線に非走査電圧としてＶ２を、走査電圧としてＶ
１（≠Ｖ２）を出力し、前記データ配線に電圧Ｖ３（Ｖ
１≦Ｖ３≦Ｖ２またはＶ２≦Ｖ３≦Ｖ１）の輝度信号を
出力することを特徴とする。このとき、前記第１の電極
の一方は、前記電子放出部からの放出電子を遮り、前記
第２の電極は放出電子を通過させる構造であるといい。
また、前記駆動回路が、前記データ配線に輝度信号をパ
ルス幅で出力するパルス幅変調駆動をするときは、前記
Ｖ３＝Ｖ１であるといい。また、前記駆動回路は、前記
テータ配線にＶ１≦Ｖ３≦Ｖ２またはＶ２≦Ｖ３≦Ｖ１
を満たす電圧Ｖ３のパルス高で輝度信号を出力すること
もできる。さらに、前記マルチ電子ビーム源の上部に、
電子の照射によって励起発光する蛍光板を有するのか望
ましい。また、Ｖ₁は１４（Ｖ），Ｖ₂は０（Ｖ）、ある
いはＶ₁は０（Ｖ），Ｖ₂は１４（Ｖ）であるのが望まし
い。

【００２２】

【発明の実施の形態】前述した課題を解決するために、
本発明ではマトリックス状に配置された表面伝導型放出
素子において行方向配線側に対応する素子電極と、列方
向配線側に対応する素子電極の構成を非対称に構成する
ことで、素子電極に印加する電圧の種類を低減し、駆動
回路及びそのシステムの簡略化を計ることを目的として
いる。本発明の目的を達成する為に用いられた素子構成
について、その作用を具体的に図１を用いて説明する。
図１は本発明の基本的な電子源の素子構成を示した断面
図であり、１は青板ガラスからなる基板、３，４はＮｉ
等を材料とする表面電極であり、２μｍの距離を隔てて
対向して設けられている。２は例えばＰｄ等の電子放出
材料からなる超微粒子膜であり、その膜の一部に電子放
出部である亀裂等の間隙部を有する。

【００２３】基板１上行設けられた素子電極３，４及び
超微粒子膜２により本発明の表面伝導放出素子か形成さ
れており、素子電極の構成が非対称な形状となってい
る。具体的には、行方向配線側に相当する素子電極４
は、列方向配線側に相当する素子電極３に対して、電極
の幅、及び上面高さを異なったものとしており、素子電
極３の幅：ｗ１＝１０μｍ、上面高さ：ｔ１＝１０００
オングストロームで素子電極４では幅：Ｗ２＝１００μ
ｍ、上面高さ：ｔ２＝１μｍとしている。

【００２４】更に、７はフェイスプレートであるガラス
板で、その内面には蛍光体６及びメタルバック５が設け
られている。メタルバック５には例えば、１０ＫＶ近く
のＨＶ（高圧電源）が印加されており、蛍光体６は例え
ば、１μＡ程度の電子線が放射され放出電流Ｉｅか流れ
れば、表示素子として充分な輝度の可視光を得ることが
可能である。又、１０は、素子電極３，４の両端に＋Ｖ
ｆを印加するためのスイッチであり、Ｓ_１とＳ_２は連動
動作をする。通常スイッチは、ノーマル状態（ＮＯＲ）
では、Ｓ_１により素子電極３には＋Ｖｆが印加され、Ｓ
_２により素子電極４には０Ｖ（ＧＮＤ）となっている。
スイッチＯＮ状態（ＯＮ）では、Ｓ_１とＳ_２は片側に連
動動作され、Ｓ_１は０Ｖ状態でＳ_２は、＋Ｖｆがつなが
る。

【００２５】従って、ＮＯＲ状態では、素子電極３，４
に流れる素子電流Ｉｆは＋Ｉｆに示した実線の矢印の方
向となり、スイッチがＯＮ状態の時には破線で示した矢
印の−Ｉｆなる素子電流が流れることになる。電流計８
は、この素子電流の流れる方向を示すもので、電流計９
は素子電流Ｉｆが流れたことにより放出電流Ｉｅの値を
モニタするためのものである。

【００２６】更に、素子電流の流れる方向によって亀裂
部から放出する電子線の向きが異なる。素子電流＋Ｉｆ
の時には、微粒子膜上から実線で示された電子が放出
し、対向するフェイスプレートのメタルバック部に到達
し蛍光体を励起させるに対して、素子電流−Ｉｆの時に
は破線で示された電子の軌跡となり、素子電極４の側壁
に吸引されてしまうため、メタルバック５までに電子が
到達しがたい特性となる。

【００２７】上記の素子特性を図２に示す。図２におい
ては、横軸Ｖｆとし縦軸を放出電流Ｉｅを示した。本発
明での表面伝導型放出素子の特性では、素子電極に印加
する電圧のかけ方によってＩｅの特性が大きく異なるこ
とが顕著となっている。すなわち、素子電極４にＶｆを
印加した場合には、超微粒子膜３から放出される電子線
のほとんどが素子電極４に吸引されてしまうことから、
実際に放出電流Ｉｅとして−１６Ｖ以上印加する必要が
ある。一方、素子電極３にＶｆを印加した時には放出電
流Ｉｅが流れる出すＶｔｈは約１０Ｖ程度であった。

【００２８】本発明では使用される表面伝導型放出素子
においては、例えばＶｆに１４Ｖの振幅電圧を逆方向に
印加（この場合には素子電極４）しても、電子線が放射
されないため、表示画素に悪影響を及ぼす発光がないこ
とが確認されている。

【００２９】また、本発明を、図１７の断面図で示すよ
うな垂直型の表面伝導型放出素子に適用することができ
る。垂直型の表面伝導型放出素子の詳細については後述
する。本発明は、上述したような蛍光表示の画像形成装
置以外にも、半導体の電子線描画をするような画像形成
装置にも適用できる。

【００３０】

【実施例】

（実施例１）次に、本発明の実施例１について詳細に説
明する。図３は、本発明の実施例１での画像表示用ディ
スプレイのシステムを示した図である。２１は画像表示
する表示パネルであり、本発明の表面伝導型放出素子が
Ｍ×Ｎ個で複数に単純マトリックス配線されている。以
下、２１の表示パネルと呼ぶ。パネル２１は、画像表示
用として使用され、例えは、通常のＴＶ画像を表示する
場合やコンピューター端末、モニター等にも使用可能で
ある。本実施例では、ＮＴＳＣ信号から映像を表示して
おり、マトリックス配線での線数は、通常のＴＶ画像の
本数に対応してもよく、高精細な表示を行うとすればマ
トリックスの配線を増やすことで可能となる。列方向配
線側は、まず、ＮＴＳＣ信号からくる複合された画像信
号をデコードするデコード回路１１が設けられている。

【００３１】デコード回路１１は、入力される画像の階
調信号をＡ／Ｄ変換し、デジタル的に重みずけられた値
のＤＡＴＡとしてシリアル／パラレル変換回路１３に入
力している。又、列方向及び、行方向配線を駆動する為
のタイミング信号ＴＳＹＮＣも出力している。ＴＳＹＮ
Ｃは、列方向に対応する水平同期（ＨＳＹＮＣ）と行方
向に対応する垂直同期（ＶＳＹＮＣ）を含み、それらは
タイミング制御回路１２によって各制御信号を出力され
てるいる。画像信号は、カラーの場合にはデコード回路
内でＲＧＢの３色にそれぞれ分離され上記に述べたよう
に、それぞれデシタル化される。尚、本実施例では、シ
ステムの構成を分かり易くする為に簡略化されたブロッ
ク図で示している。１７は、パネルの行方向配線側を駆
動する走査信号側ドライバーで、本実施例では線順次に
よる表示方向を行っている。タイミング制御回路１２に
より垂直信号ＶＳＹＮＣが走査信号側ドライバー１７に
入力され、走査側の行配線を順次選択する為の制御信号
が走査信号切替回路１８に入力される。走査側信号切替
回路１８は、制御信号によって、内部のスイッチを逐次
動作しそれにより行配線側は時分割駆動される。デジタ
ル信号としてシリ／パラ変換回路１３に入力された画像
データは、タイミング回路１２からのＴＳＰ信号を受け
てデータをパラレルデータに変換する。そして次に、変
換されたデータは、一時的にラインメモリ１４に蓄積さ
れる。この蓄積タイミングもタイミング制御回路１７か
らのＴＭＲＹ信号によって行われる。

【００３２】そして、実際にパネルに印加される画像信
号は、ＰＷＭ（パルス幅変調信号）として位相変調回路
１５によって出力される。ラインメモリ１４から出力さ
れたデータは、それぞれ変調信号データとして重みずけ
されており、それらをパルス幅の変調分として変換する
ような変調回路が設けられている。この変調回路は例え
ば、各映像信号に対応したＡ／Ｄデータを時間的な成分
に変換することで出力され、パネルの列方向配線側に用
意されたトランジスタ（ＦＥＴでも可）Ｇ１からＧＮの
ベース信号として与えられる。従って、パネルの列方向
配線には、トランジスタのＯＮ時間に＋Ｖｆになる電圧
が印加されることとなり、そのＯＮ時間の値が実際の輝
度信号となる変調信号に対応していることとなる。これ
らの、変調回路へのタイミングも、本発明ではタイミン
グ制御回路１２からＴＭＯＤ信号として出力されてい
る。

【００３３】又、本発明の表面伝導型放出素子で作成さ
れたパネルでは、素子に印加された信号で発生する電子
ビームを、実際に画素に表示するために発光手段である
アノード電圧ＨＶが設けられている。この手段により、
映像信号に対応した電子ビームをパネル２１の上面に設
けられた蛍光体上のメタルバックにあてることで発光が
可能となっている。

【００３４】次に本発明が提供する表示装置の駆動方法
を説明するタイミングチャートを図４を用いて説明す
る。図４ではＭ×Ｎのパネル１の素子の模式図が描かれ
ており、行方向配線側をＳ_１からＳ_Ｍまで、列方向配線
側をＭ_１からＭ_Ｎまでとしている。本実施例の駆動方法
を行えば、まず行方向配線側では前記に述べたように先
順次駆動による方式がとられていることから、１画面を
走査する期間の間に各行方向配線を走査する時間が行方
向配線数によって規定される。その場合、走査配線に印
加される１ライン走査時間をｔ_１としている。ｔ_１はＮ
ＴＳＣ方式に準じた走査時間１６ｍｓｅｃで駆動する
時、行方向配線数を例えば２４０本とすると、１６ｍｓ
ｅｃ／２４０本＝６６μｓｅｃとなる。この走査信号
は、前述した走査信号ドライバーＶＳＹＮＣに同期し
て出力されるものである。

【００３５】一方、列方向側には、列方向配線Ｍ_１から
Ｍ_Ｎまで画像信号に準じたパルス幅変調信号が印加され
る。変調信号は、上記の走査信号に同期し各選択された
ラインをアクセスする６６μＳＥＣ間に所定のラインを
表示する為の信号が、位相変調信号回路１５を通して出
力される。以上の各配線に印加されるタイミングを図５
に示す。図５では、走査線側Ｓ_１からＳ_Ｍに対応した変
調信号をＭ_１からＭ_Ｎのあるラインに着目して表した図
である。

【００３６】変調信号は、走査信号に同期しＳ_１の時に
はＤ_１，Ｓ_２の時にはＤ_２という様に画像信号を出力し
ている。その印加電圧の波形は＋Ｖｆなる電圧の矩形波
信号であり、非走査時には、＋Ｖｆを印加し、走査時に
は０ｖなる電圧が印加されることになる。従って、選択
された例えばＳ_１の行方向ラインのある任意の画素に
は、Ｄ_１なる変調信号が印加され、その時の素子間には
＋Ｖｆなる電圧がかかり、列方向配線側から行方向配線
側に素子電流Ｉｆか流れることとなる。

【００３７】次に、Ｓ_２には、Ｄ_２なる変調信号がかか
ることになるわけであるが、走査信号パルスに対して、
Ｄ_２、Ｄ_３の様にパルス幅が短いような変調信号が印加
された時、素子にはＭ_ｔ１，Ｍ_ｔ２の期間の間、選択さ
れた素子には０ｖが印加されることになり、放出電流Ｉ
ｆは発生しないことになる。

【００３８】ところが、Ｓ_２以外の走査ラインの行方向
配線には、非選択状態となるわけで、この非選択素子に
は、行方向に＋Ｖｆなる電圧が常時印加されていること
から選択された素子とは逆の電圧がかかることとなり素
子電流−Ｉｆが流れることになる。通常このような非選
択素子に逆方向の電流が流れたりすると、逆方向電流−
Ｉｆによって発生する電子によって、対向側に印加され
ている高圧により電子が加速され対向側プレートの蛍光
体を発光させてしまうことになり、非選択時にも点灯さ
せるような誤動作を招くこととなる。

【００３９】本発明の特徴としては、この様に非選択時
に流れる逆方向電流によって発生する電子に対しても、
素子構造を非対称に構成することによって、加速される
電子を素子電極の側壁に吸収もしくは衝突させること
で、対向側プレートへの加速電子を抑え蛍光体への点灯
を防いでいる。又、本実施例では＋Ｖｆなる電圧を約１
４Ｖとすることで、選択されている素子からの放出電子
に対する電流Ｉｅは、充分であることが図２より得られ
ている。

【００４０】以上、本発明の実施例１では、表面伝導型
素子の構成を非対称にすることで、マトリックス状に配
置した素子を駆動し、画像表示しようとした際、非選択
時に発生する逆方向の素子電流−Ｉｆに対しても放出電
子を抑えることが可能であることから、素子に印加する
駆動電圧を行方向及び列方向とも、＋Ｖｆと０ｖの２電
圧値を使用することのみで表示を行うことができる。

【００４１】（表示パネルの構成と製造法）次に、本発
明を適用した画像表示装置の表示パネルの構成と製造法
について、具体的な例を示して説明する。図１１は、実
施例に用いた表示パネルの斜視図であり、内部構造を示
すためにパネルの１部を切り欠いて示している。図中、
１００５はリアプレート、１００６は側壁、１００７は
フェースプレートであり、１００５〜１００７により表
示パネルの内部を真空に維持するための気密容器を形成
している。気密容器を組み立てるにあたっては、各部材
の接合部に十分な強度と気密性を保持させるため封着す
る必要があるが、たとえばフリットガラスを接合部に塗
布し、大気中あるいは窒素雰囲気中で、摂氏４００〜５
００度で１０分以上焼成することにより封着を達成し
た。気密容器内部を真空に排気する方法については後述
する。

【００４２】リアプレート１００５には、基板１００１
か固定されているが、該基板上には冷陰極素子１００２
がＮ×Ｍ個形成されている。（Ｎ，Ｍは２以上の正の整
数であり、目的とする表示画素数に応じて適宜設定され
る。たとえば、高品位テレビジョンの表示を目的とした
表示装置においては、Ｎ＝３０００，Ｍ＝１０００以上
の数を設定することが望ましい。本実施例においては、
Ｎ＝３０７２，Ｍ＝１０２４とした）。前記Ｎ×Ｍ個の
冷陰極素子は、Ｍ本の行方向配線１００３とＮ本の列方
向配線１００４により単純マトリクス配線されている。
前記、１００１〜１００４によって構成される部分をマ
ルチ電子ビーム源と呼ぶ。なお、マルチ電子ビーム源の
製造方法や構造については、後で詳しく述べる。

【００４３】本実施例においては、気密容器のリアプレ
ート１００５にマルチ電子ビーム源の基板１００１を固
定する構成としたが、マルチ電子ビーム源の基板１００
１が十分な強度を有するものである場合には、気密容器
のリアプレートとしてマルチ電子ビーム源の基板１００
１自体を用いてもよい。

【００４４】また、フェースプレート１００７の下面に
は、蛍光膜１００８が形成されている。本実施例はカラ
ー表示装置であるため、蛍光膜１００８の部分にはＣＲ
Ｔの分野で用いられる赤、緑、青、の３原色の蛍光体が
塗り分けられている。各色の蛍光体は、たとえば図１２
の（ａ）に示すようにストライプ状に塗り分けられ、蛍
光体のストライプの間には黒色の導電体１０１０が設け
てある。黒色の導電体１０１０を設ける目的は、電子ビ
ームの照射位置に多少のずれがあっても表示色にずれが
生じないようにする事や、外光の反射を防止して表示コ
ントラストの低下を防ぐ事、電子ビームによる蛍光膜の
チャージアップを防止する事などである。黒色の導電体
１０１０には、黒鉛を主成分として用いたが、上記の目
的に適するものであればこれ以外の材料を用いても良
い。

【００４５】また、３原色の蛍光体の塗り分け方は前記
図１２（ａ）に示したストライプ状の配列に限られるも
のではなく、たとえば図１２（ｂ）に示すようなデルタ
状配列や、それ以外の配列であってもよい。なお、モノ
クロームの表示パネルを作成する場合には、単色の蛍光
体材料を蛍光膜１００８に用いればよく、また黒色導電
材料は必ずしも用いなくともよい。

【００４６】また、蛍光膜１００８のリアプレート側の
面には、ＣＲＴの分野では公知のメタルバック１００９
を設けてある。メタルバック１００９を設けた目的は、
蛍光膜１００８が発する光の一部を鏡面反射して光利用
率を向上させる事や、負イオンの衝突から蛍光膜１００
８を保護する事や、電子ビーム加速電圧を印加するため
の電極として作用させる事や、蛍光膜１００８を励起し
た電子の導電路として作用させる事などである。メタル
バック１００９は、蛍光膜１００８をフェースプレート
基板１００７上に形成した後、蛍光膜表面を平滑化処理
し、その上にＡ１を真空蒸着する方法により形成した。
なお、蛍光膜１００８に低電圧用の蛍光体材料を用いた
場合には、メタルバック１００９は用いない。

【００４７】また、本実施例では用いなかったが、加速
電圧の印加用や蛍光膜の導電性向上を目的として、フェ
ースプレート基板１００７と蛍光膜１００８との間に、
たとえばＩＴＯを材料とする透明電極を設けてもよい。

【００４８】また、Ｄ_X1〜Ｄ_xmおよびＤ_y1〜Ｄ_ynおよび
Ｈｖは、当該表示パネルと不図示の電気回路とを電気的
に接続するために設けた気密構造の電気接続用端子であ
る。Ｄ_x1〜Ｄ_xmはマルチ電子ビーム源の行方向配線１０
０３と、Ｄ_y1〜Ｄ_ynはマルチ電子ビーム源の列方向配線
１００４と、Ｈｖはフェースプレートのメタルバック１
００９と電気的に接続している。

【００４９】また、気密容器内部を真空に排気するに
は、気密容器を組み立てた後、不図示の排気管と真空ポ
ンプとを接続し、気密容器内を１０のマイナス７乗（Ｔ
ｏｒｒ）程度の真空度まで排気する。その後、排気管を
封止するが、気密容器内の真空度を維持するために、封
止の直前あるいは封止後に気密容器内の所定の位置にゲ
ッター膜（不図示）を形成する。ゲッター膜とは、たと
えばＢａを主成分とするゲッター材料をヒーターもしく
は高周波加熱により加熱し蒸着して形成した膜であり、
該ゲッター膜の吸着作用により気密容器内は１×１０マ
イナス５乗ないしは１×１０マイナス７乗（Ｔｏｒｒ）
の真空度に維持される。

【００５０】以上、本発明実施例の表示パネルの基本構
成と製法を説明した。

【００５１】次に、前記実施例の表示パネルに用いたマ
ルチ電子ビーム源の製造方法について説明する。本発明
の画像形成装置に用いるマルチ電子ビーム源は、冷陰極
素子を単純マトリスク配線した電子源であれば、冷陰極
素子の材料や形状あるいは製法に制限はない。したがっ
て、たとえば表面伝導型放出素子やＦＥ型、あるいはＭ
ＩＭ型などの冷陰極素子を用いることができる。

【００５２】ただし、表示画面が大きくてしかも安価な
表示装置が求められる状況のもとでは、これらの冷陰極
素子の中でも、表面伝導型放出素子が特に好ましい。す
なわち、ＦＥ型ではエミッタコーンとゲート電極の相対
位置や形状が電子放出特性を大きく左右するため、極め
て高精度の製造技術を必要とするが、これは大面積化や
製造コストの低減を達成するには不利な要因となる。ま
た、ＭＩＭ型では、絶縁層と上電極の膜厚を薄くしてし
かも均一にする必要があるが、これも大面積化や製造コ
ストの低減を達成するには不利な要因となる。その点、
表面伝導型放出素子は、比較的製造方法が単純なため、
大面積化や製造コストの低減が容易である。また、発明
者らは、表面伝導型放出素子の中でも、電子放出部もし
くはその周辺部を微粒子膜から形成したものがとりわけ
電子放出特性に優れ、しかも製造が容易に行えることを
見いだしている。したがって、高輝度で大画面の画像表
示装置のマルチ電子ビーム源に用いるには、最も好適で
あると言える。そこで、上記実施例の表示パネルにおい
ては、電子放出部もしくはその周辺部を微粒子膜から形
成した表面伝導型放出素子を用いた。そこで、まず好適
な表面伝導型放出素子について基本的な構成と製法およ
び特性を説明し、その後で多数の素子を単純マトリクス
配線したマルチ電子ビーム源の構造について述べる。

【００５３】（表面伝導型放出素子の好適な素子構成と
製法）電子放出部もしくはその周辺部を微粒子膜から形
成する表面伝導型放出素子の構成には、平面型と垂直型
の２種類があげられる。

【００５４】（平面型の表面伝導型放出素子）まず最初
に、平面型の表面伝導型放出素子の素子構成と製法につ
いて説明する。

【００５５】図１３に示すのは、平面型の表面伝導型放
出素子の構成を説明するための平面図（ａ）および断面
図（ｂ）である。図中、１１０１は基板、１１０２と１
１０３は素子電極、１１０４は導電性薄膜、１１０５は
通電フォーミング処理により形成した電子放出部、１１
１３は通電活性化処理により形成した薄膜である。

【００５６】基板１１０１としては、たとえば、石英ガ
ラスや青板ガラスをはじめとする各種ガラス基板や、ア
ルミナをはじめとする各種セラミクス基板、あるいは上
述の各種基板上にたとえばＳｉＯ₂ を材料とする絶縁層
を積層した基板、などを用いることができる。

【００５７】また、基板１１０１上に基板面と平行に対
向して設けられた素子電極１１０２と１１０３は、導電
性を有する材料によって形成されている。たとえば、Ｎ
ｉ，Ｃｒ，Ａｕ，Ｍｏ，Ｗ，Ｐｔ，Ｔｉ，Ｃｕ，Ｐｄ，
Ａｇ等をはじめとする金属、あるいはこれらの金属の合
金、あるいはＩｎ₂ Ｏ₃ −ＳｎＯ₂ をはじめとする金属
酸化物、ポリシリコンなどの半導体、などの中から適宜
材料を選択して用いればよい。電極を形成するには、た
とえば真空蒸着などの製膜技術とフォトリソグラフィ
ー、エッチンクなどのパターニング技術を組み合わせて
用いれば容易に形成できるが、それ以外の方法（たとえ
ば印刷技術）を用いて形成してもさしつかえない。

【００５８】素子電極１１０２と１１０３の形状は、当
該電子放出素子の応用目的に合わせて適宜設計される。
一般的には、電極間隔Ｌは通常は数百オングストローム
から数百マイクロメーターの範囲から適当な数値を選ん
で設計されるが、なかでも表示装置に応用するために好
ましいのは数マイクロメーターより数十マイクロメータ
ーの範囲である。また、素子電極の厚さｄについては、
１１０２通常は数百オングストロームから数マイクロメ
ーターの範囲から適当な数値が選ばれ、１１０３は１１
０２の数倍から十倍程度の厚さで形成される。

【００５９】また、導電性薄膜１１０４の部分には、微
粒子膜を用いる。ここで述べた微粒子膜とは、構成要素
として多数の微粒子を含んだ膜（島状の集合体も含む）
のことをさす。微粒子膜を微視的に調べれば、通常は、
個々の微粒子が離間して配置された構造か、あるいは微
粒子が互いに隣接した構造か、あるいは微粒子が互いに
重なり合った構造が観測される。

【００６０】微粒子膜に用いた微粒子の粒径は、数オン
グストロームから数千オングストロームの範囲に含まれ
るものであるが、なかでも好ましいのは１０オングスト
ロームから２００オングストロームの範囲のものであ
る。また、微粒子膜の膜厚は、以下に述べるような諸条
件を考慮して適宜設定される。すなわち、素子電極１１
０２あるいは１１０３と電気的に良好に接続するのに必
要な条件、後述する通電フォーミングを良好に行うのに
必要な条件、微粒子膜自身の電気抵抗を後述する適宜の
値にするために必要な条件、などである。具体的には、
数オングストロームから数千オングストロームの範囲の
なかで設定するが、なかでも好ましいのは１０オングス
トロームから５００オングストロームの間である。

【００６１】また、微粒子膜を形成するのに用いられう
る材料としては、たとえば、Ｐｄ，Ｐｔ，Ｒｕ，Ａｇ，
Ａｕ，Ｔｉ，Ｉｎ，Ｃｕ，Ｃｒ，Ｆｅ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｔ
ａ，Ｗ，Ｐｂ，などをはじめとする金属や、ＰｄＯ，Ｓ
ｎＯ₂ ，Ｉｎ₂ Ｏ₃ ，ＰｂＯ，Ｓｂ₂ Ｏ₃ ，などをはじ
めとする酸化物や、ＨｆＢ₂ ，ＺｒＢ₂ ，ＬａＢ₆ ，Ｃ
ｅＢ₆ ，ＹＢ₄ ，ＧｄＢ₄ ，などをはじめとする硼化物
や、ＴｉＣ，ＺｒＣ，ＨｆＣ，ＴａＣ，ＳｉＣ，ＷＣ，
などをはじめとする炭化物や、ＴｉＮ，ＺｒＮ，Ｈｆ
Ｎ，などをはじめとする窒化物や、Ｓｉ，Ｇｅなどをは
じめとする半導体や、カーボン、などがあげられ、これ
らの中から適宜選択される。

【００６２】以上述べたように、導電性薄膜１１０４を
微粒子膜で形成したが、そのシート抵抗値については、
１０の３乗から１０の７乗（オーム／ｓｑ）の範囲に含
まれるよう設定した。

【００６３】なお、導電性薄膜１１０４と素子電極１１
０２および１１０３とは、電気的に良好に接続されるの
が望ましいため、互いの一部が重なりあうような構造を
とっている。その重なり方は、図１３の例においては、
下から、基板、素子電極、導電性薄膜の順序で積層した
が、場合によっては下から基板、導電性薄膜、素子電
極、の順序で積層してもさしつかえない。

【００６４】また、電子放出部１１０５は、導電性薄膜
１１０４の一部に形成された亀裂状の部分であり、電気
的には周囲の導電性薄膜よりも高抵抗な性質を有してい
る。亀裂は、導電性薄膜１１０４に対して、後述する通
電フォーミングの処理を行うことにより形成する。亀裂
内には、数オングストロームから数百オングストローム
の粒経の微粒子を配置する場合がある。なお、実際の電
子放出部の位置や形状を精密かつ正確に図示するのは困
難なため、図１０３においては模式的に示した。

【００６５】また、薄膜１１１３は、炭素もしくは炭素
化合物よりなる薄膜で、電子放出部１１０５およびその
近傍を被覆している。薄膜１１１３は、通電フォーミン
グ処理後に、後述する通電活性化の処理を行うことによ
り形成する。

【００６６】薄膜１１１３は、単結晶グラファイト、多
結晶グラファイト、非晶質カーボンの、いずれかか、も
しくはその混合物であり、膜厚は５００（オングストロ
ーム）以下とするが、３００（オングストローム）以下
とするのがさらに好ましい。

【００６７】なお、実際の薄膜１１１３の位置や形状を
精密に図示するのは困難なため、図１３においては模式
的に示した。また、平面図（ａ）においては、薄膜１１
１３の一部を除去した素子を図示した。

【００６８】以上、好ましい素子の基本構成を述べた
が、実施例においては以下のような素子を用いた。

【００６９】すなわち、基板１１０１には青板ガラスを
用い、素子電極１１０２と１１０３にはＮｉ薄膜を用い
た。素子電極の厚さｄは１０００（オングストロー
ム）、電極間隔Ｌは２（マイクロメーター）とした。

【００７０】微粒子膜の主要材料としてＰｄもしくはＰ
ｄＯを用い、微粒子膜の厚さは約１００（オングストロ
ーム）、幅Ｗは１００（マイクロメーター）とした。

【００７１】次に、好適な平面型の表面伝導型放出素子
の製造方法について説明する。

【００７２】図１４の（ａ）〜（ｄ）は、表面伝導型放
出素子の製造工程を説明するための断面図で、各部材の
表記は前記図１０３と同一である。

【００７３】１）図１４（ａ）に示すように基板１１０
１上に素子電極１１０２、１１０３を形成する。形成す
るにあたってはあらかじめ基板１１０１を洗浄、純水、
有機溶剤をもちいて十分に洗浄後、まず最初に素子電極
の材料を１１０２に相当する膜厚の分だけ堆積させる。
（堆積させる方法としてはたとえば、蒸着法やスパッタ
法などの真空成膜技術を用いればよい）次に、素子電極
１１０３以外の電極上に絶縁層を堆積させる。堆積させ
る方法としては、たとえばスパッタ法などが用いられ
る。そして、素子電極１１０３部分の上の絶縁層を除去
するためにフォトリソグラフィーエッチング技術を用い
てパターニングし素子電極１１０３の部分をむきだしに
する。

【００７４】その後、素子電極の材料を前記と同様な方
法を用いて再度堆積される。２回目に堆積される素子電
極は、素子電極１１０３の上と絶縁層でおおわれたとこ
ろに堆積されることで素子電極１１０３は素子電極１１
０２に対して膜厚の異なる非対称な電極構成を作製する
ことができる。２回目に堆積される膜厚は、素子電極１
１０２の膜厚に対して数倍〜十倍になる様に制御され
る。素子電極１１０２、１１０３が所望の膜厚に堆積で
きた後、先ほど蒸着した絶縁層をエッチングによって除
去し、表面を素子電極のみとする。その後、電極材料を
フォトリソグラフィーエッチング技術によってパターン
ニングし（ａ）に示した非対称な素子電極（１１０２、
１１０３）を形成する。

【００７５】２）次に、同図（ｂ）に示すように、導電
性薄膜１１０４を形成する。

【００７６】形成するにあたっては、まず前記（ａ）の
基板に有機金属溶液を塗布して乾燥し、加熱焼成処理し
て微粒子膜を成膜した後、フォトリソグラフィー・エッ
チングにより所定の形状にパターンニングする。ここ
で、有機金属溶液とは、導電性薄膜に用いる微粒子の材
料を主要元素とする有機金属化合物の溶液である。（具
体的には、本実施例では主要元素としてＰｄを用いた。
また、実施例では塗布方法として、ディッピング法を用
いたが、それ以外のたとえばスピンナー法やスプレー法
を用いてもよい）。

【００７７】また、微粒子膜で作られる導電性薄膜の成
膜方法としては、本実施例で用いた有機金属溶液の塗布
による方法以外の、たとえば真空蒸着法やスパッタ法、
あるいは化学的気相堆積法などを用いる場合もある。

【００７８】３）次に、同図（ｃ）に示すように、フォ
ーミング用電源１１１０から素子電極１１０２と１１０
３の間に適宜の電圧を印加し、通電フォーミング処理を
行って、電子放出部１１０５を形成する。

【００７９】通電フォーミング処理とは、微粒子膜で作
られた導電性薄膜１１０４に通電を行って、その一部を
適宜に破壊、変形、もしくは変質せしめ、電子放出を行
うのに好適な構造に変化させる処理のことである。微粒
子膜で作られた導電性薄膜のうち電子放出を行うのに好
適な構造を変化した部分（すなわち電子放出部１１０
５）においては、薄膜に適当な亀裂が形成されている。
なお、電子放出部１１０５が形成される前と比較する
と、形成された後は素子電極１１０２と１１０３の間で
計測される電気抵抗は大幅に増加する。

【００８０】通電方法をより詳しく説明するために、図
１５に、フォーミング用電源１１１０から印加する適宜
の電圧波形の一例を示す。微粒子膜で作られた導電性薄
膜をフォーミングする場合には、パルス状の電圧が好ま
しく、本実施例の場合には同図に示したようにパルス幅
Ｔ１の三角波パルスをパルス間隔Ｔ２で連続的に印加し
た。その際には、三角波パルスの波高値Ｖｐｆを、順次
昇圧した。また、電子放出部１１０５の形成状況をモニ
ターするためのモニターパルスＰｍを適宜の間隔で三角
波パルスの間に挿入し、その際に流れる電流を電流計１
１１１で計測した。

【００８１】実施例においては、たとえば１０のマイナ
ス５乗（ｔｏｒｒ）程度の真空雰囲気下において、たと
えばパルス幅Ｔ１を１（ミリ秒）、パルス間隔Ｔ２を１
０（ミリ秒）とし、波高値Ｖｐｆを１パルスごとに０．
１（Ｖ）ずつ昇圧した。そして、三角波を５パルス印加
するたびに１回の割りで、モニターパルスＰｍを挿入し
た。フォーミング処理に悪影響を及ぼすことがないよう
に、モニターパルスの電圧Ｖｐｍは０．１（Ｖ）に設定
した。そして、素子電極１１０２と１１０３の間の電気
抵抗が１×１０の６乗（オーム）になった段階、すなわ
ちモニターパルス印加時に電流計１１１１で計測される
電流が１×１０のマイナス７乗（Ａ）以下になった段階
で、フォーミング処理にかかわる通電を終了した。

【００８２】なお、上記の方法は、本実施例の表面伝導
型放出素子に関する好ましい方法であり、たとえば微粒
子膜の材料や膜厚、あるいは素子電極間隔Ｌなど表面伝
導型放出素子の設計を変更した場合には、それに応じて
通電の条件を適宜変更するのが望ましい。

【００８３】４）次に、図１４の（ｄ）に示すように、
活性化用電源１１１２から素子電極１１０２と１１０３
の間に適宜の電圧を印加し、通電活性処理を行って、電
子放出特性の改善を行う。

【００８４】通電活性処理とは、前記通電フォーミング
処理により形成された電子放出部１１０５に適宜の条件
で通電を行って、その近傍に炭素もしくは炭素化合物を
堆積せしめる処理のことである。（図においては、炭素
もしくは炭素化合物よりなる堆積物を部材１１１３とし
て模式的に示した）。なお、通電活性化処理を行うこと
により、行う前と比較して、同じ印加電圧における放出
電流を典型的には１００倍以上に増加させることができ
る。

【００８５】具体的には、１０のマイナス４乗ないし１
０のマイナス５乗（ｔｏｒｒ）の範囲内の真空雰囲気中
で、電圧パルスを定期的に印加することにより、真空雰
囲気中に存在する有機化合物を起源とする炭素もしくは
炭素化合物を堆積させる。堆積物１１１３は、単結晶グ
ラファイト、多結晶グラファイト、非晶質カーボン、の
いずれかか、もしくはその混合物であり、膜厚５００
（オングストローム）以下、より好ましくは３００（オ
ングストローム）以下である。

【００８６】通電方法をより詳しく説明するために、図
１６の（ａ）に、活性化用電源１１１２から印加する適
宜の電圧波形の一例を示す。本実施例においては、一定
電圧の矩形波を定期的に印加して通電活性処理を行った
が、具体的には，矩形波の電圧Ｖａｃは１４（Ｖ），パ
ルス幅Ｔ３は１（ミリ秒），パルス間隔Ｔ４は１０（ミ
リ秒）とした。なお、上述の通電条件は、本実施例の表
面伝導型放出素子に関する好ましい条件であり、表面伝
導型放出素子の設計を変更した場合には、それに応じて
条件を適宜変更するのが望ましい。

【００８７】図１４の（ｄ）に示す１１１４は該表面伝
導型放出素子から放出される放出電流Ｉｅを捕捉するた
めのアノード電極で、直流高電圧電源１１１５および電
流計１１１６が接続されている。（なお、基板１１０１
を、表示パネルの中に組み込んでから活性化処理を行う
場合には、表示パネルの蛍光面をアノード電極１１１４
として用いる）。

【００８８】活性化用電源１１１２から電圧を印加する
間、電流計１１１６で放出電流Ｉｅを計測して通電活性
化処理の進行状況をモニターし、活性化用電源１１１２
の動作を制御する。電流計１１１６で計測された放出電
流Ｉｅの一例を図１６（ｂ）に示すが、活性化電源１１
１２からパルス電圧を印加しはじめると、時間の経過と
ともに放出電流Ｉｅは増加するが、やがて飽和してほと
んど増加しなくなる。このように、放出電流Ｉｅがほぼ
飽和した時点で活性化用電源１１１２からの電圧印加を
停止し、通電活性化処理を終了する。

【００８９】なお、上述の通電条件は、本実施例の表面
伝導型放出素子に関する好ましい条件であり、表面伝導
型放出素子の設計を変更した場合には、それに応じて条
件を適宜変更するのが望ましい。

【００９０】以下のようにして、図１４（ｅ）に示す平
面型の表面伝導型放出素子を製造した。

【００９１】（垂直型の表面伝導型放出素子）次に、電
子放出部もしくはその周辺を微粒子膜から形成した表面
伝導型放出素子のもうひとつの代表的な構成、すなわち
垂直型の表面伝導型放出素子の構成について説明する。

【００９２】図１７は、垂直型の基本構成を説明するた
めの模式的な断面図であり、図中の１２０１は基板、１
２０２と１２０３は素子電極、１２０６は段差形成部
材、１２０４は微粒子膜を用いた導電性薄膜、１２０５
は通電フォーミング処理により形成した電子放出部、１
２１３は通電活性化処理により形成した薄膜、である。

【００９３】垂直型が先に説明した平面型と異なる点
は、素子電極のうちの片方（１２０２）が段差形成部材
１２０６上に設けられており、導電性薄膜１２０４が段
差形成部材１２０６の側面を被覆している点である。し
たがって、前記図１０２の平面型における素子電極間隔
Ｌは、垂直型においては段差形成部材１２０６の段差高
Ｌｓとして設定される。なお、基板１２０１、素子電極
１２０２および１２０３、微粒子膜を用いた導電性薄膜
１２０４、については、前記平面型の説明中に列挙した
材料を同様に用いることが可能である。また、段差形成
部材１２０６には、たとえばＳｉＯ₂のような電気的に
絶縁性の材料を用いる。

【００９４】次に、垂直型の表面伝導型放出素子の製法
について説明する。図１８（ａ）〜（ｅ）は、製造工程
を説明するための断面図で、各部材の表記は前記図１７
と同一である。

【００９５】１）まず、図１８（ａ）に示すように、基
板１２０１上に素子電極１２０３を形成する。

【００９６】２）次に、同図（ｂ）に示すように、段差
形成部材を形成するための絶縁層を積層する。絶縁層
は、たとえばＳｉＯ₂をスパッタ法で積層すればよい
が、たとえば真空蒸着法や印刷法などの他の成膜方法を
用いてもよい。

【００９７】３）次に、同図（ｃ）に示すように、絶縁
層の上に素子電極１２０２を形成する。

【００９８】４）次に、同図（ｄ）に示すように、絶縁
層の一部を、たとえばエッチング法を用いて除去し、素
子電極１２０３を露出させる。

【００９９】５）次に、同図（ｅ）に示すように、微粒
子膜を用いた導電性薄膜１２０４を形成する。形成する
には、前記平面型の場合と同じく、たとえば塗布法など
の成膜技術を用いればよい。

【０１００】６）次に、前記平面型の場合と同じく、通
電フォーミング処理を行い、電子放出部を形成する。
（図１４（ｃ）を用いて説明した平面型の通電フォーミ
ング処理と同様の処理を行えばよい）。

【０１０１】７）次に、前記平面型の場合と同じく、通
電活性化処理を行い、電子放出部近傍に炭素もしくは炭
素化合物を堆積させる。（図１４（ｄ）を用いて説明し
た平面型の通電活性化処理と同様の処理を行えばよ
い）。

【０１０２】以上のようにして、図１８（ｆ）に示す垂
直型の表面伝導型放出素子を製造した。

【０１０３】（表示装置に用いた表面伝導型放出素子の
特性）以上、平面型と垂直型の表面伝導型放出素子につ
いて素子構成と製法を説明したが、次に表示装置に用い
た素子の特性について述べる。

【０１０４】図１９に、表示装置に用いた素子の、（放
出電流Ｉｅ）対（素子印加電圧Ｖｆ）特性、および（素
子電流Ｉｆ）対（素子印加電圧Ｖｆ）特性の典型的な例
を示す。なお、放出電流Ｉｅは素子電流Ｉｆに比べて著
しく小さく、同一尺度で図示するのが困難であるうえ、
これらの特性は素子の大きさや形状等の設計パラメータ
を変更することにより変化するものであるため、２本の
グラフは各々任意単位で図示した。

【０１０５】表示装置に用いた素子は、放出電流Ｉｅに
関して以下に述べる３つの特性を有している。

【０１０６】第一に、ある電圧（これを閾値電圧Ｖｔｈ
と呼ぶ）以上の大きさの電圧を素子に印加すると急激に
放出電流Ｉｅが増加するが、一方、閾値電圧Ｖｔｈ未満
の電圧では放出電流Ｉｅはほとんど検出されない。

【０１０７】すなわち、放出電流Ｉｅに関して、明確な
閾値電圧Ｖｔｈを持った非線形素子である。

【０１０８】第二に、放出電流Ｉｅは素子に印加する電
圧Ｖｆに依存して変化するため、電圧Ｖｆで放出電流Ｉ
ｅの大きさを制御できる。

【０１０９】第三に、素子に印加する電圧Ｖｆに対して
素子から放出される電流Ｉｅの応答速度が速いため、電
圧Ｖｆを印加する時間の長さによって素子から放出され
る電子の電荷量を制御できる。

【０１１０】以上のような特性を有するため、表面伝導
型放出素子を表示装置に好適に用いることができた。た
とえば多数の素子を表示画面の画素に対応して設けた表
示装置において、第一の特性を利用すれば、表示画面を
順次走査し表示を行うことが可能である。すなわち、駆
動中の素子には所望の発光輝度に応じて閾値電圧Ｖｔｈ
以上の電圧を適宜印加し、非選択状態の素子には閾値電
圧Ｖｔｈ未満の電圧を印加する。駆動する素子を順次切
り替えてゆくことにより、表示画面を順次走査して表示
を行うことが可能である。

【０１１１】また、第二の特性かまたは第三の特性を利
用することにより、発光輝度を制御することができるた
め、諧調表示を行うことが可能である。

【０１１２】（多数素子を単純マトリクス配線したマル
チ電子ビーム源の構造）次に、上述の表面伝導型放出素
子を基板上に配列して単純マトリクス配線したマルチ電
子ビーム源の構造について述べる。

【０１１３】図２０に示すのは、前記図１１表示パネル
に用いたマルチ電子ビーム源の平面図である。基板上に
は、前記図１３で示したものと同様な表面伝導型放出素
子が配列され、これらの素子は行方向配線電極１００３
と列方向配線電極１００４により単純マトリクス状に配
線されている。行方向配線電極１００３と列方向配線電
極１００４の交差する部分には、電極間に絶縁層（不図
示）が形成されており、電気的な絶縁が保たれている。

【０１１４】図２０のＡ−Ａ′に沿った断面を、図２１
に示す。

【０１１５】なお、このような構造のマルチ電子源は、
あらかじめ基板上に行方向配線電極１００３、列方向配
線電極１００４、電極間絶縁層（不図示）、および表面
伝導型放出素子の素子電極と導電性薄膜を形成した後、
行方向配線電極１００３および列方向配線電極１００４
を介して各素子に給電して通電フォーミング処理と通電
活性化処理を行うことにより製造した。

【０１１６】（実施例２）実施例２を図６に示す。実施
例２は実施例１で示した表示回路構成の走査側の部分に
ついて変更したもので、画像信号をデコードする回路１
１，タイミング制御回路１２，及び列方向側に備えられ
た回路系は全て同じであるため実施例２では説明を省略
する。実施例１では、走査側ドライバー１７からの制御
信号で、走査信号切換え回路１８内に設けられた内部の
スイッチを順次切換えていくことで順次走査を実現して
いた。

【０１１７】実施例２においては、走査信号側シフトレ
ジスター１９を用いてタイミング制御回路１７からのＶ
ＳＹＮＣ信号を受けて、順次行方向配線をドライブする
ためのトランジスター２０Ｔｒ１からＴｒｎを駆動して
いく。走査側シフトレジスター１９の出力は、トランジ
スター２０のベース側（ＦＥＴの場合にはゲート）に入
力されており、行方向配線にはトランジスター２０のコ
レクター出力が＋Ｖｆを電源にし、抵抗を介在してつな
がっている。そのため、通常非選択時の時には＋Ｖｆが
印加され、順次走査によって走査側シフトレジスター１
９によって選択された時には、トランジスターのＯＮに
よって行方向配線側は０ｖの電圧値が印加されることに
なる。実際にパネルを駆動する場合には実施例１と同様
な駆動タイミングでおこなえばよい。

【０１１８】実際には、トランジスターは飽和領域で駆
動しているため、若干のＶｃｅが（コレクターエミッタ
ー間電圧）があるが、本実施例ではほとんど問題になら
なかった。以上より、実施例２においてもパネルの駆動
においては、２値の電圧値だけを用いることでパネルの
表示を行うことができた。

【０１１９】（実施例３）実施例３は、パルス高変調で
画像形成装置を駆動する例である。図７は、実施例３の
画像形成装置のブロック図である。２５はパルス高変調
回路であり、ラインメモリ１４が出力する信号
（Ｉ_１′，Ｉ_２′，Ｉ_３′，…，Ｉ_Ｎ′）に基づき、Ｖ
ｆ／２〜Ｖｆの大きさのパルス高信号を出力する。他の
構成は実施例１と同様である。図８は、パルス高変調回
路２５の内部の回路を表す。図中のＡｄｄｅｒとバイポ
ーラトランジスタによって、Ｖｆ／２〜Ｖｆの大きさの
パルス高信号（Ｍ_１，Ｍ_２，Ｍ_３，…，Ｍ_Ｎ）を表示パ
ネル２１に出力する。このとき、ＧＮＤとＶｆの２種の
電圧源のみを使っている。ここで、Ａｄｄｅｒは別にな
くてもいい。

【０１２０】図９は、表示パネル２１と走査信号
（Ｓ_１，Ｓ_２，…，Ｓ_Ｍ）のタイムチャートと各列の変
調信号（Ｍ_１，Ｍ_２，…，Ｍ_Ｎ）を表す。図１０は、走
査信号（Ｓ_１，Ｓ_２，…，Ｓ_Ｍ）のタイムチャートと着
目したある列方向配線のタイムチャートである。走査す
る行によって、変調信号が変わっていくのがわかる。

【０１２１】（実施例４）図２２は，前記説明の表面伝
導型放出素子を電子ビーム源として用いたディスプレイ
パネルに，たとえばテレビジョン放送をはじめとする種
々の画像情報源より提供される画像情報を表示できるよ
うに構成した多機能表示装置の一例を示すための図であ
る。

【０１２２】図中２１００はディスプレイパネル、２１
０１はディスプレイパネルの駆動回路、２１０２はディ
スプレイコントローラ、２１０３はマルチプレクサ、２
１０４はデコーダ、２１０５は入出力インターフェース
回路、２１０６はＣＰＵ、２１０７は画像生成回路、２
１０８および２１０９および２１１０は画像メモリーイ
ンターフェース回路、２１１１は画像入力インターフェ
ース回路、２１１２および２１１３はＴＶ信号受信回
路、２１１４は入力部である。

【０１２３】（なお、本表示装置は、たとえばテレビジ
ョン信号のように映像情報と音声情報の両方を含む信号
を受信する場合には，当然映像の表示と同時に音声を再
生するものであるが、本発明の特徴と直接関係しない音
声情報の受信，分離，再生，処理，記憶などに関する回
路やスピーカーなどについては説明を省略する）。

【０１２４】以下，画像信号の流れに沿って各部の機能
を説明してゆく。

【０１２５】まず、ＴＶ信号受信回路２１１３は、たと
えば電波や空間光通信などのような無線伝送系を用いて
伝送されるＴＶ画像信号を受信する為の回路である。受
信するＴＶ信号の方式は特に限られるものではなく、た
とえば、ＮＴＳＣ方式，ＰＡＬ方式，ＳＥＣＡＭ方式な
どの諸方式でもよい。また、これらよりさらに多数の走
査線よりなるＴＶ信号（たとえばＭＵＳＥ方式をはじめ
とするいわゆる高品位ＴＶ）は、大面積化や大画素数化
に適した前記ディスプレイパネルの利点を生かすのに好
適な信号源である。ＴＶ信号受信回路２１１３で受信さ
れたＴＶ信号は、デコーダ２１０４に出力される。

【０１２６】また、ＴＶ信号受信回路２１１２は、たと
えば同軸ケーブルや光ファイバーなどのような有線伝送
系を用いて伝送されるＴＶ画像信号を受信するための回
路である。前記ＴＶ信号受信回路２１１３と同様に、受
信するＴＶ信号の方式は特に限られるものではなく、ま
た本回路で受信されたＴＶ信号もデコーダ２１０４に出
力される。

【０１２７】また、画像入力インターフェース回路２１
１１は、たとえばＴＶカメラや画像読み取りスキャナー
などの画像入力装置から供給される画像信号を取り込む
ための回路で、取り込まれた画像信号はデコーダ２１０
４に出力される。

【０１２８】また、画像メモリーインターフェース回路
２１１０は、ビデオテープレコーダー（以下ＶＴＲと略
す）に記憶されている画像信号を取り込むための回路
で、取り込まれた画像信号はデコーダ２１０４に出力さ
れる。

【０１２９】また、画像メモリーインターフェース回路
２１０９は、ビデオディスクに記憶されている画像信号
を取り込むための回路で、取り込まれた画像信号はデコ
ーダ２１０４に出力される。

【０１３０】また、画像メモリーインターフェース回路
２１０８は、いわゆる静止画ディスクのように、静止画
像データを記憶している装置から画像信号を取り込むた
めの回路で、取り込まれた静止画像データはデコーダ２
１０４に出力される。

【０１３１】また、入出力インターフェース回路２１０
５は、本表示装置と、外部のコンピュータもしくはコン
ピュータネットワークもしくはプリンターなどの出力装
置とを接続するための回路である。画像データや文字・
図形情報の入出力を行うのはもちろんのこと、場合によ
っては本表示装置の備えるＣＰＵ２１０６と外部との間
で制御信号や数値データの入出力などを行うことも可能
である。

【０１３２】また、画像生成回路２１０７は、前記入出
力インターフェース回路２１０５を介して外部から入力
される画像データや文字・図形情報や、あるいはＣＰＵ
２１０６より出力される画像データや文字・図形情報に
もとずき表示用画像データを生成するための回路であ
る。本回路の内部には、たとえば画像データや文字・図
形情報を蓄積するための書き換え可能メモリーや、文字
コードに対応する画像パターンが記憶されている読み出
し専用メモリーや、画像処理を行うためのプロセッサー
などをはじめとして画像の生成に必要な回路が組み込ま
れている。

【０１３３】本回路により生成された表示用画像データ
は、デコーダ２１０４に出力されるが、場合によっては
前記入出力インターフェース回路２１０５を介して外部
のコンピュータネットワークやプリンターに出力するこ
とも可能である。

【０１３４】また、ＣＰＵ２１０６は、主として本表示
装置の動作制御や、表示画像の生成や選択や編集に関わ
る作業を行う。

【０１３５】たとえば、マルチプレクサ２１０３に制御
信号を出力し、ディスプレイパネルに表示する画像信号
を適宜選択したり組み合わせたりする。また、その際に
は表示する画像信号に応じてディスプレイパネルコント
ローラ２１０２に対して制御信号を発生し、画面表示周
波数や走査方法（たとえばインターレースかノンインタ
ーレースか）や一画面の走査線の数など表示装置の動作
を適宜制御する。

【０１３６】また、前記画像生成回路２１０７に対して
画像データや文字・図形情報を直接出力したり、あるい
は前記入出力インターフェース回路２１０５を介して外
部のコンピュータやメモリーをアクセスして画像データ
や文字・図形情報を入力する。

【０１３７】なお、ＣＰＵ２１０６は、むろんこれ以外
の目的の作業にも関わるものであって良い。たとえば，
パーソナルコンピュータやワードプロセッサなどのよう
に，情報を生成したり処理する機能を直接関わっても良
い。

【０１３８】あるいは、前述したように入出力インター
フェース回路２１０５を介して外部のコンピュータネッ
トワークと接続し、たとえば数値計算などの作業を外部
機器と協同して行っても良い。

【０１３９】また、入力部２１１４は、前記ＣＰＵ２１
０６に使用者が命令やプログラム、あるいはデータなど
を入力するためのものであり、たとえばキーボードやマ
ウスのほか、ジョイスティック，バーコードリーダー，
音声認識装置など多様な入力機器を用いることが可能で
ある。

【０１４０】また、デコーダ２１０４は、前記２１０７
ないし２１１３より入力される種々の画像信号を３原色
信号、または輝度信号とＩ信号，Ｑ信号に逆変換するた
めの回路である。なお、同図中に点線で示すように、デ
コーダ２１０４は内部に画像メモリーを備えるのが望ま
しい。これは、たとえばＭＵＳＥ方式をはじめとして、
逆変換するに際して画像メモリーを必要とするようなテ
レビ信号を扱うためである。また、画像メモリーを備え
る事により、静止画の表示が容易になる。あるいは前記
画像生成回路２１０７およびＣＰＵ２１０６を協同とし
て画像の間引き，補間，拡大，縮小，合成をはじめとす
る画像処理や編集が容易に行えるようになるという利点
が生まれるからである。

【０１４１】また、マルチプレクサ２１０３は、前記Ｃ
ＰＵ２１０６より入力される制御信号にもとずき表示画
像を適宜選択するものである。すなわち、マルチプレク
サ２１０３はデコーダ２１０４から入力される逆変換さ
れた画像信号のうちから所望の画像信号を選択して駆動
回路２１０１に出力する。その場合には、一画面表示時
間内で画像信号を切り替えて選択することにより、いわ
ゆる多画面テレビのように、一画面を複数の領域に分け
て領域によって異なる画像を表示することも可能であ
る。

【０１４２】また、ディスプレイパネルコントローラ２
１０２は、前記ＣＰＵ２１０６より入力される制御信号
にもとずき駆動回路２１０１の動作を制御するための回
路である。

【０１４３】まず、ディスプレイパネルの基本的な動作
に関わるものとして、たとえばディスプレイパネルの駆
動用電源（図示せず）の動作シーケンスを制御するため
の信号を駆動回路２１０１に対して出力する。

【０１４４】また、ディスプレイパネルの駆動方法に関
わるものとして、たとえば画面表示周波数や走査方法
（たとえばインターレースかノンインターレースか）を
制御するための信号を駆動回路２１０１に対して出力す
る。

【０１４５】また、場合によっては表示画像の輝度やコ
ントラストや色調やシャープネスといった画質の調整に
関わる制御信号を駆動回路２１０１に対して出力する場
合もある。

【０１４６】また、駆動回路２１０１は、ディスプレイ
パネル２１００に印加する駆動信号を発生するための回
路であり、前記マルチプレクサ２１０３から入力される
画像信号と、前記ディスプレイパネルコントローラ２１
０２より入力される制御信号にもとずいて動作するもの
である。

【０１４７】以上、各部の機能を説明したが、図２２に
例示した構成により、本表示装置においては多様な画像
情報源より入力される画像情報をディスプレイパネル２
１００に表示する事が可能である。

【０１４８】すなわち、テレビジョン放送をはじめとす
る各種の画像信号はデコーダ２１０４において逆変換さ
れた後、マルチプレクサ２１０３において適宜選択さ
れ、駆動回路２１０１に入力される。一方、ディスプレ
イコントローラ２１０２は、表示する画像信号に応じて
駆動回路２１０１の動作を制御するための制御信号を発
生する。駆動回路２１０１は、上記画像信号と制御信号
に基づいてディスプレイパネル２１００に駆動回路を印
加する。

【０１４９】これにより、ディスプレイパネル２１００
において画像が表示される。これらの一連の動作は、Ｃ
ＰＵ２１０６により統括的に制御される。

【０１５０】また、本表示装置においては、前記デコー
ダ２１０４に内蔵する画像メモリや、画像生成回路２１
０７およびＣＰＵ２１０６が関与することにより、単に
複数の画像情報の中から選択したものを表示するだけで
なく、表示する画像情報に対して，例えば拡大，縮小，
回転，移動，エッジ強調，間引き，補間，色変換，画像
の縦横比変換などをはじめとする画像処理や、合成，消
去，接続，入れ換え，はめ込みなどをはじめとする画像
編集を行う事も可能である。また、本実施例の説明では
特に触れなかったが、上記画像処理や画像編集と同様
に、音声情報に関しても処理や編集を行うための専用回
路を設けても良い。

【０１５１】したがって、本表示装置は、テレビジョン
放送の表示機器，テレビ会議の端末機器，静止画像およ
び動画像を扱う画像編集機器，コンピュータの端末機
器，ワードプロセッサをはじめとする事務用端末機器，
ゲーム機などの機能を一台で兼ね備えることが可能で、
産業用あるいは民生用として極めて応用範囲が広い。

【０１５２】なお、上記図２２は、表面伝導型放出素子
を電子ビーム源とするディスプレイパネルを用いた表示
装置の構成の一例を示したにすぎず、これのみに限定さ
れるものでない事は言うまでもない。たとえば、図２０
０の構成要素のうち使用目的上必要のない機能に関わる
回路は省いても差し支えない。またこれとは逆に、使用
目的によってはさらに構成要素を追加しても良い。たと
えば、本表示装置をテレビ電話機として応用する場合に
は，テレビカメラ，音声マイク，照明機，モデムを含む
送受信回路などを構成要素に追加するのが好適である。

【０１５３】本表示装置においては、とりわけ表面伝導
型放出素子を電子ビーム源とするディスプレイパネルが
容易に薄形化できるため、表示装置全体の奥行きを小さ
くすることが可能である。それに加えて、表面伝導型放
出素子を電子ビーム源とするディスプレイパネルは大画
面化が容易で輝度が高く視野角特性にも優れるため、本
表示装置は臨場感にあふれ迫力に富んだ画像を視認性良
く表示する事が可能である。

【０１５４】

【発明の効果】以上の様に、本発明によれば非対称に構
成された表面伝導性放出素子をマトリックスに配列し画
像表示を行えば、選択された素子と非選択の素子とで印
加する電圧の極性のみを変えることで所望の画像表示を
行うことができた。従って、以上の方式をとることによ
り、印加する電圧の種類を２種類で済むことから表示装
置の回路系に対しても構成上の簡略化が実現でき、シス
テム全体へのコストダウンにもつながることができた。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の電子放出素子の断面図。

【図２】本発明の電子放出素子の電気特性図。

【図３】実施例１の画像形成装置のブロック図。

【図４】実施例１の駆動のタイミングチャートと表示パ
ネル。

【図５】実施例１の駆動のタイミングチャート。

【図６】実施例２の画像形成装置のブロック図。

【図７】実施例３の画像表示装置のブロック図。

【図８】実施例３のパルス高変調回路の詳細図。

【図９】実施例３の駆動のタイミングチャートと表示パ
ネル。

【図１０】実施例３の駆動のタイミングチャート。

【図１１】表示パネルの斜視図。

【図１２】フェースプレートの蛍光体配列図。

【図１３】平面型の表面伝導性放出素子の平面図（ａ）
と断面図（ｂ）。

【図１４】平面型の表面伝導性放出素子の作製工程を表
す図。

【図１５】フォーミング電圧を表すタイムチャート。

【図１６】活性化電圧と放出電流のタイムチャート。

【図１７】垂直型の表面伝導型放出素子の断面図。

【図１８】垂直型の表面伝導型放出素子の作製行程を表
す図。

【図１９】表面伝導型放出素子の電圧−電流特性を表す
グラフ。

【図２０】マルチ電子ビーム基板の平面図。

【図２１】マルチ電子ビーム基板の一部断面図。

【図２２】マルチプレックスディスプレイのブロック
図。

【図２３】Ｍ．Ｈａｒｔｗｅｌｌｅｔａｌ．が開示
している従来の表面伝導型放出素子の平面図。

【図２４】単純マトリックス配線の模式図。

【符号の説明】

１，１１０１基板２超微粒子膜３，４，１１０２，１１０３素子電極５メタルバック６蛍光体７フェイスプレート

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の表面伝導型放出素子を複数のデー
タ配線と複数の走査配線でマトリックス配線したマルチ
電子ビーム源と、前記マルチ電子ビーム源を駆動する駆
動回路を有する画像形成装置において、前記表面伝導型放出素子は、互いに形状の違う第１の電
極と第２の電極と、前記第１の電極と前記第２の電極の
間にある電子放出部とを備え、前記第１の電極は前記走査配線に接続され、前記第２の
電極は前記データ配線に接続され、前記駆動回路は、前記走査配線に非走査電圧としてＶ２
を、走査電圧としてＶ１（≠Ｖ２）を出力し、前記デー
タ配線に電圧Ｖ３（Ｖ１≦Ｖ３≦Ｖ２またはＶ２≦Ｖ３
≦Ｖ１）の輝度信号を出力することを特徴とする画像形
成装置。
【請求項２】前記第１の電極は前記電子放出部からの
放出電子を遮り、前記第２の電極は放出電子を通過させ
る構造である請求項１に記載の画像形成装置。
【請求項３】前記駆動回路は、前記データ配線に非走
査電圧Ｖ２と等しい電圧Ｖ３のパルス幅で輝度信号を出
力する請求項１または２に記載の画像形成装置。
【請求項４】前記駆動回路は、前記データ配線にＶ１
≦Ｖ３≦Ｖ２を満たす電圧Ｖ３のパルス高で輝度信号を
出力する請求項１〜３のいずれか１項に記載の画像形成
装置。
【請求項５】前記駆動回路は、前記データ配線にＶ２
≦Ｖ３≦Ｖ１を満たす電圧Ｖ３のパルス高で輝度信号を
出力する請求項１〜３のいずれか１項に記載の画像形成
装置。
【請求項６】前記マルチ電子ビーム源の上部に、電子
の照射によって励起発光する蛍光板を有する請求項１〜
５のいずれか１項に記載の画像形成装置。