JPH10317109A

JPH10317109A - 薄肉永久磁石の製造方法

Info

Publication number: JPH10317109A
Application number: JP9150438A
Authority: JP
Inventors: Hirokazu Kanekiyo; 裕和金清; Satoru Hirozawa; 哲広沢
Original assignee: Sumitomo Special Metals Co Ltd
Current assignee: Proterial Ltd
Priority date: 1997-05-22
Filing date: 1997-05-22
Publication date: 1998-12-02

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】製造困難な、肉厚０．５ｍｍ以下の薄肉永久
磁石の提供。【解決手段】６ａｔ％以下の希土類元素と１５ａｔ％
〜３０ａｔ％のホウ素を含む特定組成の合金溶湯を、３
０ｋＰａ以下の不活性ガス雰囲気中で回転ロールを用い
た溶湯急冷法により、９０％以上アモルファス組織から
なる優れた靭性および弾性変形能を有する平均厚みが１
０μｍ〜１００μｍの急冷合金薄帯を作製した後、この
アモルファス薄帯を任意形状に打ち抜き加工あるいは１
湾曲または１巻き回して保持器具により形状を保持した
後、平均結晶粒径が１０ｎｍ〜５０ｎｍになるように結
晶化熱処理を施すことによって、超小型扁平あるいはリ
ング磁石として最適な、ｉＨｃ≧２ｋＯｅ，Ｂｒ≧８ｋ
Ｇの硬磁気特性を有し、平均厚み１０μｍ〜１００μｍ
の肉厚である所望形状の薄肉永久磁石が得られる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、時計用などに用
いられる超小型ステッピングモータのロータ用永久磁石
や、ペイジャーの振動呼出機構用などの薄肉永久磁石、
磁気スケールなどに最適な薄肉かつ長尺の永久磁石に最
適な薄肉永久磁石の製造方法に係り、６ａｔ％以下の希
土類元素と１５ａｔ％〜３０ａｔ％のホウ素を含む特定
組成の溶湯を、特定の溶湯急冷条件により、高じん性を
有し加工が容易な平均厚み１０μｍ〜１００μｍのアモ
ルファス薄帯を作製し、このアモルファス薄帯を所望形
状に加工した後、結晶化熱処理を施して、ｉＨｃ≧２ｋ
Ｏｅ、Ｂｒ≧８ｋＧの硬磁気特性を有し、平均厚みが１
０μｍ〜１００μｍの所望形状の薄肉永久磁石を得る製
造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】現在、超小型ステッピングモータなど小
型でかつ高性能の永久磁石が要求される用途において
は、希土類焼結磁石を極小物に切断、研削加工するか、
希土類ボンド磁石を超小型に成形するなどして対応して
いるが、切断、研削加工法にて作製された高密度の永久
磁石は高性能ではあるものの、材料の種類を問わず多大
の工数を要してコスト高となる欠点があり、さらに、加
工肉厚は０．２ｍｍ程度が限度であり、それ以下のもの
は製造が困難である。

【０００３】ボンド磁石においては、直径３ｍｍ、肉厚
０．３ｍｍ程度の扁平磁石が時計用の小型ステッピング
モータ用永久磁石として用いられているが、粉末粒径が
５０μｍ〜３００μｍ程度の磁性粉末を樹脂と共に加圧
成形するため、極く薄い例えば１００μｍ程度の肉厚を
有する成形品の製造は困難である。特に、リング磁石で
は肉厚と直角方向にパンチで圧縮する方法では肉厚０．
８ｍｍ程度が限界である。

【０００４】また、圧縮方向に長い寸法のボンド磁石を
成形する場合は、磁性粉末とダイス表面との摩擦抵抗の
ために圧力が均一に伝わらなくなり、薄肉リング磁石の
成形は困難である。最近、押し出し成形法により０．５
ｍｍ厚みの長尺リング磁石の製造が可能となったとの報
告があるが、含まれる樹脂比率の分だけ磁気特性は低下
し、最高でも残留磁束密度Ｂｒは７ｋＧ、最大エネルギ
ー積（ＢＨ）ｍａｘは９．９ＭＧＯｅ程度である。

【０００５】ボンド磁石用磁性粉末としては、従来から
２：１７系Ｓｍ−Ｃｏ合金粉末が用いられているが、最
近ではＨＤＤＲ法により製造されるＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系の
合金粉末もボンド磁石用磁性粉末として用いられつつあ
る。これらは、いずれもボンド磁石用として開発された
磁性粉末であり、これら自体に加工を施し、薄肉磁石と
することはできない。

【０００６】また、ボンド磁石用磁性粉末としては、溶
湯急冷法にて製造されるＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系の等方性磁性
粉末が多く使用されているが、この材料は溶湯急冷法に
より微細結晶質からなる薄片（フレーク）として得られ
るため、極めて脆く、弾性的に曲げる加工や打ち抜き加
工を施すなどして任意の形状とすることは不可能であ
り、ボンド磁石磁性粉末としての用途に限られる。

【０００７】圧延して薄板に加工可能な永久磁石材料と
してはＦｅ−Ｃｒ−Ｃｏ合金があるが、固有保磁力ｉＨ
ｃがせいぜい０．６ｋＯｅ程度と低いため、肉厚方向に
着磁しても自己減磁界により減磁して薄肉磁石としては
実用にならない。

【０００８】その他にも、肉厚の薄い永久磁石材料を作
製する方法として、スパッタ蒸着法を用いることも提案
されているが、数μｍの膜を作製するだけでも数時間を
要するなど、成膜に多大の時間を要して、製造コストが
嵩み実用的でない。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】時計用超小型永久磁
石、ペイジャーの振動発生用ＤＣモータ等に用いられる
肉厚の小さい扁平磁石、あるいはリング磁石、マイクロ
マシンに用いられる超小型扁平あるいはリング磁石の肉
厚の限界は磁気特性ならびに生産性の高い方法、すなわ
ち焼結磁石からの切り出し・研削加工、あるいは希土類
磁石粉末を使用したボンド磁石のいずれであっても、肉
厚の薄いものは製造困難で、加工に伴う磁気特性の劣
化、磁性粉末の大きさに起因する制約により、肉厚０．
５ｍｍの永久磁石が限界である。

【００１０】また、ボンド磁石の場合は磁気特性の高い
磁性粉末を用いても、磁性粉末の充填率を８０％以上に
することは困難なため、ボンド磁石として高い磁気特性
は期待できず、特に小型のボンド磁石の場合は等方性で
（ＢＨ）ｍａｘは１０ＭＧＯｅ程度が最高である。

【００１１】この発明は、超小型モーター等に必要な薄
肉永久磁石の製造限界の現状に鑑み、溶湯急冷法にて得
られる希土類永久磁石であって、ｉＨｃ≧２ｋＯｅ、Ｂ
ｒ≧８ｋＧの硬磁気特性を有し、平均厚み１０μｍ〜１
００μｍの肉厚である所望形状の薄肉永久磁石が容易に
効率よく製造できる薄肉永久磁石の製造方法を提供を目
的としている。

【００１２】

【課題を解決するための手段】発明者らは、特定の溶湯
急冷条件にて得られた平均厚み１０μｍ〜１００μｍの
アモルファス薄帯が優れた靭性および弾性変形能を有す
ることに注目して、溶湯急冷法にて得たアモルファス薄
帯を所定の長さに切断、あるいは任意形状に打ち抜き加
工等の所望の加工を施した後、結晶化熱処理による磁気
的硬化処理を行うことにより、板状の薄肉永久磁石を製
造でき、またこのアモルファス薄帯を１湾曲または１巻
き回して保持器具により形状を保持した後、熱処理する
ことで任意形状のリング状もしくはアーク状の永久磁石
を製造できることを知見し、この発明を完成した。

【００１３】すなわち、この発明は、組成式をＦｅ_100-x-yＲ_xＢ_y 、（Ｆｅ_1-mＣｏ_m）_100-x-yＲ_xＢ_y 、Ｆｅ_100-x-y-zＲ_xＢ_yＭ_z 、（Ｆｅ_1-mＣｏ_m）_100-x-y-zＲ_xＢ_yＭ_z （但しＲはＰｒ，Ｎｄ，Ｄｙ，Ｔｂの１種又は２種以
上、ＭはＣ，Ａｌ，Ｓｉ，Ｔｉ，Ｖ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｎ
ｉ，Ｃｕ，Ｇａ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ａｇ，Ｈｆ，Ｔ
ａ，Ｗ，Ｐｔ，Ａｕ，Ｐｂの１種又は２種以上）のいず
れかで表し、組成範囲を限定する記号ｘ，ｙ，ｚ，ｍ
が、１≦ｘ≦６ａｔ％、１５≦ｙ≦３０ａｔ％、０．０
１≦ｚ≦７ａｔ％、０．００１≦ｍ≦０．５ａｔ％を満
足する合金溶湯を、３０ｋＰａ以下の不活性ガス雰囲気
中で回転ロールを用いた溶湯急冷法により、９０％以上
アモルファス組織からなり、優れた靭性および弾性変形
能を有する平均厚みが１０μｍ〜１００μｍの急冷合金
薄帯を作製し、このアモルファス薄帯を切断もしくは打
ち抜き加工により所定形状としたり、あるいはこの該薄
帯を保持器具にて所望の形状に１湾曲または１巻き回す
ことにより形状を保持したまま、平均結晶粒径が１０ｎ
ｍ〜５０ｎｍになる結晶化熱処理を施すことによって、
平均厚み１０μｍ〜１００μｍの肉厚を有する所望形状
の薄肉永久磁石の製造方法である。

【００１４】

【発明の実施の形態】

組成の限定理由希土類元素Ｒは、Ｐｒ，ＮｄまたはＤｙ，Ｔｂの１種ま
たは２種を特定量含有のときのみ、高い磁気特性が得ら
れ、他の希土類、例えばＣｅ，ＬａではｉＨｃが２ｋＯ
ｅ以上の特性が得られず、また、ＴｂおよびＤｙを除く
Ｓｍ以降の中希土類元素、重希土類元素は磁気特性の劣
化を招来するため好ましくない。Ｒは、１ａｔ％未満で
は２ｋＯｅ以上のｉＨｃが得られず、また６ａｔ％を越
えると８ｋＧ以上のＢｒが得られないため、１ａｔ％以
上、６ａｔ％未満の範囲とする。好ましくは、２ａｔ％
〜５．５ａｔ％が良い。

【００１５】Ｂは、１５ａｔ％未満では液体急冷後の金
属組織において、α−Ｆｅの析出が著しく、保磁力の発
現に必須であるＮｄ₂Ｆｅ₁₄Ｂ型結晶構造を有する化合
物の析出が阻害されるため、１ｋＯｅ未満のｉＨｃしか
得られず、また３０ａｔ％を越えると減磁曲線の角形性
が著しく低下し、８ｋＧ以上のＢｒが得られないため、
１５ａｔ％〜３０ａｔ％の範囲とする。好ましくは、Ｂ
は１５ａｔ％〜２０ａｔ％の範囲が良い。

【００１６】Ｆｅは、上述の元素の含有残余を占める。
また、Ｆｅの一部をＣｏで置換することにより金属組織
が微細化され、減磁曲線の角形性が改善、及び、最大エ
ネルギー積（ＢＨ）ｍａｘの向上、並びに耐熱性の向上
が得られるが、Ｆｅに対する置換量が０．１％未満では
かかる効果が得られず、また、５０％を越えると８ｋＧ
以上のＢｒが得られないため、ＣｏのＦｅに対する置換
量は０．１％〜５０％の範囲とする。好ましくは、０．
５％〜１０％が良い。

【００１７】添加元素ＭのＣ，Ａｌ，Ｓｉ，Ｔｉ，Ｖ，
Ｃｒ，Ｍｎ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｇａ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ａ
ｇ，Ｐｔ，Ａｕ，Ｐｂは、単独又は２種以上の複合で微
細結晶永久磁石の微細組織化に寄与し、保磁力を改善す
ると共に、減磁曲線の角形性を改善し、Ｂｒおよび（Ｂ
Ｈ）ｍａｘを増大する効果が得られるが、０．０１ａｔ
％未満ではかかる効果が得られず、７ａｔ％以上では、
Ｂｒ≧８ｋＧの磁気特性を得られないため、０．０１ａ
ｔ％〜７ａｔ％の範囲とする。好ましくは、Ｍは０．０
５％〜５％の範囲が良い。

【００１８】製造条件の限定理由この発明において、上述の特定組成の合金溶湯を３０ｋ
Ｐａ以下の不活性ガス雰囲気中、回転ロールを用いた溶
湯急冷法にて、優れた靭性および弾性変形能を有する平
均厚みが１０μｍ〜１００μｍであるアモルファス薄帯
を作製し、このアモルファス薄帯を任意の形状に加工し
た後、平均結晶粒径が１０ｎｍ〜５０ｎｍになる結晶化
熱処理を施すことによって、ｉＨｃ≧２ｋＯｅ、Ｂｒ≧
８ｋＧの硬磁気特性を有し、平均厚み１０μｍ〜１００
μｍの肉厚である所望形状の薄肉永久磁石とすることが
最も重要である。

【００１９】すなわち、合金溶湯の急冷雰囲気が３０ｋ
Ｐａを越える場合は、回転ロールと合金溶湯の間に巻き
込まれる雰囲気ガスの影響が顕著になるため、実質９０
％以上アモルファスからなる均一組織とならないため、
優れた靱性および弾性変形能が得られず、任意の形状に
急冷合金薄帯の加工ができず、好ましくない。雰囲気ガ
スは、合金溶湯の酸化防止のため、不活性ガス雰囲気と
する。好ましくは、Ａｒ雰囲気中が良い。

【００２０】合金溶湯の溶湯急冷に用いる回転ロールの
材質は、熱伝導度の点からアルミニウム合金、純銅およ
び銅合金、鉄、真鍮、タングステン、青銅を採用できる
が、機械的強度および経済性の点から、ＣｕもしくはＦ
ｅ（但しＣｕ、Ｆｅを含む合金でもよい）が好ましく、
上記以外の材質では熱伝導が悪いため、充分合金溶湯を
冷却できず、実質９０％以上アモルファスからなる均一
組織を得られないため好ましくない。

【００２１】回転ロールを用いた溶湯急冷法としては、
単ロール急冷法及び双ロール急冷法が挙げられるが、優
れた靭性および弾性変形能を有する平均厚みが１０μｍ
〜１００μｍのアモルファス薄帯を作製できれば、いず
れの急冷方法を採用しても良い。例えば、回転ロールに
中心線粗さＲａ≦０．８μｍ、最大高さＲｍａｘ≦３．
２μｍ、１０点の平均細さＲｚ≦３．２μｍの表面粗度
を有するＣｕ製ロールを用いた単ロール急冷法を採用し
た場合、ロール周速度が１０ｍ／ｓ未満では、破損せず
に曲げることのできる臨界半径が１０ｍｍ以下である優
れた靭性および弾性変形能を有する平均厚み１０μｍ〜
１００μｍのアモルファス薄帯が得られないため、ロー
ル周速度は１０ｍ／ｓ〜６０ｍ／ｓ、さらに好ましくは
１５ｍ／ｓ〜５０ｍ／ｓである。

【００２２】所望形状の薄肉磁石は、湾曲又はリング形
状にするには、上述の溶湯急冷条件により得られた優れ
た靱性および弾性変形能を有する平均厚みが１０μｍ〜
１００μｍのアモルファス薄帯を、任意の長さに切断し
た後、保持器具にて所望の形状に１湾曲または１回巻
き、詳述すると保持器具の所要の内周面に沿って又は湾
曲隙間内に挿入、あるいは所望形状の治具外周又は内周
面に１回巻きすることにより形状を保持した状態で、平
均結晶粒径が１０ｎｍ〜５０ｎｍになるよう結晶化熱処
理を施すことによって得られ、結晶化後は保持器具を外
しても所望形状を維持する平均厚み１０μｍ〜１００μ
ｍの肉厚を有する薄肉永久磁石が得られる。この方法に
よって、例えば、マイクロマシンに用いられる超小型リ
ング磁石が得られる。

【００２３】また、薄帯に打ち抜き加工を施し薄肉小物
永久磁石を得るには、結晶化熱処理後の薄帯では靭性お
よび弾性変形能が失われ、パンチ等を用いた機械的打ち
抜き加工では、薄帯が破断し任意形状に打ち抜けないた
め、優れた靭性および弾性変形能を有すアモルファス薄
帯を任意形状に打ち抜き加工した後、結晶化熱処理を行
う。ただし、超音波加工などの機械的打ち抜き加工以外
の方法であれば、結晶化後熱処理を加えた後でも破断等
の問題なく加工を行えるため、修正加工を行うことがで
きる。この方法によって、例えば、時計用超小型永久磁
石、ペイジャーの振動発生用ＤＣモータ等に用いられる
肉厚の小さい扁平磁石が得られる。

【００２４】前述のアモルファス薄帯は、ｉＨｃ≧２ｋ
Ｏｅ、Ｂｒ≧８ｋＧの硬磁気特性を発現し得るように、
平均結晶粒径が１０ｎｍ〜５０ｎｍの微細結晶金属組織
となるように結晶化熱処理を行なう必要があるが、熱処
理温度が５５０℃未満では保磁力の発現に必須なＮｄ₂
Ｆｅ₁₄Ｂが析出せず１ｋＯｅ未満のｉＨｃしか得られな
い、また７５０℃を越えると粒成長が著しく、平均結晶
粒径が５０ｎｍ以上となるためｉＨｃ、Ｂｒおよび減滋
曲線の角形性が劣化し、上述の磁気特性が得られないた
め、熱処理温度は５５０℃〜７５０℃が好ましい。ただ
し、５５０℃〜７５０℃の熱処理にて得られる微細結晶
組織において、平均結晶粒径は細かいほど好ましいが、
１０ｎｍ未満ではｉＨｃの低下を引き起こすため、下限
を１０ｎｍとする。

【００２５】熱処理において、雰囲気は酸化を防ぐため
Ａｒガス、Ｎ₂ガスなどの不活性ガス雰囲気中もしくは
１．３３Ｐａ以下の真空中が好ましい。磁気特性は熱処
理時間には依存しないが、６時間を越えるような場合、
若干時間の経過とともにＢｒが低下する傾向があるた
め、好ましくは６時間未満が良い。

【００２６】

【実施例】

実施例１表１のＮｏ．１〜２０の組成となるように、純度９９．
５％以上のＦｅ、Ｃｏ、Ｃ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃ
ｒ、Ｍｎ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｇａ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ａ
ｇ、Ｐｔ、Ａｕ、Ｐｂ、Ｂ、Ｎｄ、Ｐｒ、Ｄｙ、Ｔｂの
金属を用い、総量が３０ｇとなるように秤量し、底部に
０．３ｍｍ×８ｍｍのスリットを有する石英るつぼ内に
投入し、表１の急冷雰囲気圧に保持したＡｒ雰囲気中で
高周波加熱により溶解し、溶解温度を１３００℃にした
後、湯面をＡｒガスにより加圧して室温にて、表１に示
す急冷雰囲気圧およびロール周速度にて回転するＣｕ製
ロールの外周面に０．７ｍｍの高さから溶湯を連続して
鋳込み幅８ｍｍ、平均厚み１０μｍ〜１００μｍの連続
した急冷合金薄帯を作製した。表２に急冷合金薄帯の平
均厚みを示す。なお、得られた急冷合金薄帯は、粉末Ｘ
ＲＤ回折の結果、いずれもアモルファスであることを確
認した。

【００２７】この連続した急冷合金薄帯を５ｍｍ×５ｍ
ｍのパンチにて打ち抜き加工を施した後、Ａｒ流気中、
表１に示す熱処理温度で１０分間保持し、その後、室温
まで冷却した薄肉小物永久磁石を作製した。磁石の磁気
特性は５ｍｍ×５ｍｍの面に対して平行方向に６０ｋＯ
ｅのパルス磁界で着磁した後、ＶＳＭにて評価した。表
３に磁石特性を示す。Ｎｏ．３〜Ｎｏ．２０において、
Ｃｏ、Ｃ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｎｉ、
Ｃｕ、Ｇａ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ａｇ、Ｐｔ、Ａｕ、Ｐ
ｂは各構成相のＦｅの一部を置換する。図１にＮｏ．２
の結晶化熱処理前後の粉末ＸＲＤ回折パターンを示す。

【００２８】実施例２表１のＮｏ．２、Ｎｏ．６、Ｎｏ．８、Ｎｏ．９につい
ては、外径１５ｍｍのステンレス製のボビンに急冷合金
薄帯を１巻き付け固定した後、Ａｒ流気中、表１の熱処
理温度で６０分間保持し、その後、室温まで冷却してボ
ビンから合金を外し、内径１５ｍｍ、高さ８ｍｍの薄肉
リング磁石を作製した。磁気特性はリング磁石の高さ方
向に６０ｋＯｅのパルス着磁磁界で着磁した後、ＢＨト
レーサーにて閉磁路で評価した。評価結果を表４に示
す。

【００２９】

【表１】

【００３０】

【表２】

【００３１】

【表３】

【００３２】

【表４】

【００３３】

【発明の効果】この発明は、６ａｔ％以下の希土類元素
と１５ａｔ％〜３０ａｔ％のホウ素を含む特定組成の合
金溶湯を、特定の溶湯急冷条件によりアモルファス薄帯
とし、このアモルファス薄帯に加工を加えて所定形状と
なした後、平均結晶粒径が１０ｎｍ〜５０ｎｍになるよ
うに結晶化熱処理を施すことによって、時計用超小型永
久磁石、ペイジャーの振動発生用ＤＣモータ等に用いら
れる肉厚の小さい扁平磁石、あるいはリング磁石、マイ
クロマシンに用いられる超小型扁平あるいはリング磁石
として最適な、ｉＨｃ≧２ｋＯｅ，Ｂｒ≧８ｋＧの硬磁
気特性を有し、平均厚み１０μｎ〜１００μｍの肉厚で
ある所望形状の薄肉永久磁石を容易にかつ効率よく製造
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】急冷合金薄帯の結晶化熱処理前後の粉末Ｘ線回
折パターンを示すグラフである。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】組成式をＦｅ_100-x-yＲ_xＢ_y （但しＲ
はＰｒ，Ｎｄ，Ｄｙ，Ｔｂの１種又は２種以上）と表
し、組成範囲を限定する記号ｘ，ｙが下記値を満足する
合金溶湯を、３０ｋＰａ以下の不活性ガス雰囲気中で回
転ロールを用いた溶湯急冷法により、９０％以上アモル
ファス組成からなる平均厚みが１０μｍ〜１００μｍの
急冷合金薄帯を作製後、これを加工して所要形状となし
た後、平均結晶粒径が１０μｍ〜５０μｍになるよう結
晶化熱処理を施して平均厚み１０μｍ〜１００μｍの前
記所要形状の永久磁石を得る薄肉永久磁石の製造方法。１≦ｘ≦６ａｔ％１５≦ｙ≦３０ａｔ％
【請求項２】請求項１において、組成式を（Ｆｅ_1-m
Ｃｏ_m）_100-x-yＲ_xＢ_y （但しＲはＰｒ，Ｎｄ，Ｄｙ，
Ｔｂの１種又は２種以上）と表し、組成範囲を限定する
記号ｘ，ｙ，ｍが下記値を満足する合金溶湯である薄肉
永久磁石の製造方法。１≦ｘ≦６ａｔ％１５≦ｙ≦３０ａｔ％０．００１≦ｍ≦０．５ａｔ％
【請求項３】請求項１において、組成式をＦｅ
_100-x-y-zＲ_xＢ_yＭ_z （但しＲはＰｒ，Ｎｄ，Ｄｙ，Ｔ
ｂの１種又は２種以上、ＭはＣ，Ａｌ，Ｓｉ，Ｔｉ，
Ｖ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｇａ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍ
ｏ，Ａｇ，Ｈｆ，Ｔａ，Ｗ，Ｐｔ，Ａｕ，Ｐｂの１種又
は２種以上）と表し、組成範囲を限定する記号ｘ，ｙ，
ｚが下記値を満足する合金溶湯である薄肉永久磁石の製
造方法。１≦ｘ≦６ａｔ％１５≦ｙ≦３０ａｔ％０．０１≦ｚ≦７ａｔ％
【請求項４】請求項１において、組成式を（Ｆｅ_1-m
Ｃｏ_m）_100-x-y-zＲ_xＢ_yＭ_z （但しＲはＰｒ，Ｎｄ，
Ｄｙ，Ｔｂの１種又は２種以上、ＭはＣ，Ａｌ，Ｓｉ，
Ｔｉ，Ｖ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｇａ，Ｚｒ，Ｎ
ｂ，Ｍｏ，Ａｇ，Ｈｆ，Ｔａ，Ｗ，Ｐｔ，Ａｕ，Ｐｂの
１種又は２種以上）と表し、組成範囲を限定する記号
ｘ，ｙ，ｚ，ｍが下記値を満足する合金溶湯である薄肉
永久磁石の製造方法。１≦ｘ≦６ａｔ％１５≦ｙ≦３０ａｔ％０．０１≦ｚ≦７ａｔ％０．００１≦ｍ≦０．５ａｔ％
【請求項５】請求項１、請求項２、請求項３または請
求項４において、急冷合金薄帯の加工法は、保持器具に
より所望形状へ湾曲加工または１回巻き加工する方法で
ある薄肉永久磁石の製造方法。
【請求項６】請求項１、請求項２、請求項３または請
求項４において、急冷合金薄帯の加工法は、薄帯を切断
後に打抜き加工する方法である薄肉永久磁石の製造方
法。