JPH10318850A - Temperature detector - Google Patents

Temperature detector

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Publication number
JPH10318850A
JPH10318850A JP9125352A JP12535297A JPH10318850A JP H10318850 A JPH10318850 A JP H10318850A JP 9125352 A JP9125352 A JP 9125352A JP 12535297 A JP12535297 A JP 12535297A JP H10318850 A JPH10318850 A JP H10318850A
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JP
Japan
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temperature detecting
metal
coating film
detecting element
detecting device
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Application number
JP9125352A
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Japanese (ja)
Inventor
Katsunori Matsubara
克憲 松原
Masato Shoji
理人 東海林
Nobuharu Katsuki
暢晴 香月
Takeshi Tanaka
剛 田中
Takashi Tamai
孝 玉井
Hironori Moriwake
博紀 森分
Hideo Torii
秀雄 鳥井
Atsushi Tomosawa
淳 友澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a temperature sensor whose durability with reference to a heat cycle is ensured and whose heat resistance can be maintained by a method wherein a coating film which is made of an inorganic oxide is executed to the circumferential surface of a temperature sensor. SOLUTION: A metal cap 1 is formed to be an NCH1 bottomed cylindrical shape which is prescribed in JIS C 2502, its tip side is closed, and its rear end side is opened. A cylindrical temperature sensor 2 whose surface is covered with a coating film 3 having a film thickness of 1 μm and made of an inorganic oxide is housed at the tip side of the metal cap 1. Two electrodes 4 which are composed of tubular platinum pipes and a cylindrical NTC thermistor 5, in a diameter of 2.35 mm, which is made of Al2 O3 , Cr2 O3 and Fe2 O3 components are constituted at the temperature sensor 2. In addition, the whole part excluding both ends of two metal wires 6 is fixed by an insulator 7 made of Al2 O3 , and its circumference is covered with a metal pipe 8 having a diameter of 3.15 mm and made of SUS 310 S. At this time, the two metal wires 6, the insulator 7 and the metal pipe 8 constitute a two-core pipe 14.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は各所の温度検出を行
うために用いられる温度検出装置に関するもので、特に
1000℃以上の耐熱が要求される自動車の排気ガスの
浄化システム、つまり触媒コンバータ内部の温度検出に
有用なものを提供するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a temperature detecting device used for detecting temperatures in various places, and more particularly to a system for purifying exhaust gas of an automobile which requires a heat resistance of 1000 ° C. or more, that is, a catalytic converter inside a catalytic converter. It provides something useful for temperature detection.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、自動車の排気ガス浄化装置、つま
り触媒コンバータ内部の温度検出に用いられる温度検出
装置は、触媒自身の耐熱温度上昇のため高温で使用され
る頻度が高まり、従来からの1000℃までの耐熱性お
よび900℃と常温間の熱サイクルに対する耐久性に加
え、1000℃以上の耐熱性が望まれている。
2. Description of the Related Art In recent years, an exhaust gas purifying apparatus for an automobile, that is, a temperature detecting apparatus used for detecting the temperature inside a catalytic converter has been used at a high temperature due to an increase in the heat resistant temperature of the catalyst itself. In addition to heat resistance up to 900C and durability against heat cycles between 900C and room temperature, heat resistance of 1000C or more is desired.

【0003】以下に従来の温度検出装置について説明す
る。図5は従来の温度検出装置の半分を断面とした正面
図である。図5において、23は二本の金属線であり、
その二本の金属線23の両端を除く全体の周囲に金属管
25を配置し、この金属線23と金属管25の間をAl
23からなる絶縁体24で充填した構成からなる二芯管
26と、この二芯管26の一端の各々に接続された温度
検出素子22と、この温度検出素子22を収納するため
の一端が閉成された有底筒状の金属キャップ21を備え
た構成となっていた。
[0003] A conventional temperature detecting device will be described below. FIG. 5 is a front view showing a half of a conventional temperature detecting device in cross section. In FIG. 5, 23 is two metal wires,
A metal tube 25 is arranged around the whole of the two metal wires 23 except for both ends thereof, and a metal tube 25 is provided between the metal wire 23 and the metal tube 25.
A two- core tube 26 having a configuration filled with an insulator 24 made of 2 O 3, a temperature detecting element 22 connected to each one end of the two-core tube 26, and one end for accommodating the temperature detecting element 22 Was provided with a closed-end cylindrical metal cap 21.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の構成では、1000℃以上の高温下にさらすと温
度検出素子22の存在する金属キャップ21の内部の雰
囲気により温度検出素子22の抵抗値が著しく上昇し、
正確な温度を検出できないという問題を有していた。
However, in the above-mentioned conventional configuration, when the device is exposed to a high temperature of 1000 ° C. or more, the resistance of the temperature detecting element 22 is reduced due to the atmosphere inside the metal cap 21 where the temperature detecting element 22 is present. Rise significantly,
There was a problem that an accurate temperature could not be detected.

【0005】本発明は900℃の熱サイクルに対する耐
久性を確保しつつ、1000℃以上の耐熱性を有する温
度検出装置を提供することを目的とする。
An object of the present invention is to provide a temperature detecting device having heat resistance of 1000 ° C. or more while ensuring durability against a heat cycle of 900 ° C.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の温度検出装置は、二本の金属線の両端を除く
全体の周囲に金属管を配置し、この金属線と金属管の間
に絶縁体を充填して固定化した二芯管と、この二芯管を
構成する金属線の一方の端部に接続された温度検出素子
と、この温度検出素子を収納するように前記二芯管の一
方の端部に装着した有底筒状の金属キャップとを備え、
前記温度検出素子の周囲表面に無機酸化物のコーティン
グ膜を施した構成としたものである。
In order to achieve this object, a temperature detecting device according to the present invention has a metal tube disposed around the whole of two metal wires except for both ends thereof. A two-core tube fixed by filling with an insulator between the two core tubes, a temperature detecting element connected to one end of a metal wire forming the two-core tube, and the two-core tube so as to house the temperature detecting element. A bottomed tubular metal cap attached to one end of the core tube,
The temperature detecting element has a configuration in which a coating film of an inorganic oxide is provided on a peripheral surface.

【0007】この構成によれば、温度検出素子はコーテ
ィング膜が施されているため、金属キャップの内部表面
の酸化による金属キャップの内部の強還元雰囲気に直接
さらされず、抵抗値特性を損なうことはない。従って、
1000℃以上の耐熱性および耐熱サイクル性を有する
温度検出装置を提供することができる。
According to this structure, since the temperature detecting element is coated with the coating film, the temperature detecting element is not directly exposed to the strong reducing atmosphere inside the metal cap due to oxidation of the internal surface of the metal cap, so that the resistance value characteristic is not deteriorated. Absent. Therefore,
A temperature detection device having heat resistance of 1000 ° C. or more and heat cycle resistance can be provided.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】本発明の請求項1に記載の発明
は、二本の金属線の両端を除く全体の周囲に金属管を配
置し、この金属線と金属管の間に絶縁体を充填して固定
化した二芯管と、この二芯管を構成する金属線の一方の
端部に接続された温度検出素子と、この温度検出素子を
覆うコーティング膜と、この温度検出素子とコーティン
グ膜を収納するように前記二芯管の一方の端部に装着し
た有底筒状の金属キャップとを備えた温度検出装置であ
り、前記金属キャップ内部が強還元雰囲気になっても、
コーティング膜が温度検出素子への強還元雰囲気の影響
を防ぐことにより、温度検出素子の抵抗値特性を損なう
ことなく、1000℃以上の耐熱性、耐熱サイクル性を
確保することができる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS According to the first aspect of the present invention, a metal tube is disposed around the whole of two metal wires except for both ends, and an insulator is provided between the metal wires and the metal tube. A filled and fixed two-core tube, a temperature detecting element connected to one end of a metal wire constituting the two-core tube, a coating film covering the temperature detecting element, A bottomed cylindrical metal cap attached to one end of the two-core tube so as to house a membrane, even if the inside of the metal cap is in a strong reducing atmosphere,
By preventing the influence of the strong reducing atmosphere on the temperature detection element by the coating film, heat resistance of 1000 ° C. or more and heat resistance cycle resistance can be secured without impairing the resistance value characteristics of the temperature detection element.

【0009】請求項2に記載の発明は、前記コーティン
グ膜が、前記温度検出素子の表面に1μm以上2μm以
下の厚みである温度検出装置であり、コーティング膜が
強還元雰囲気の影響を防ぎ、かつ、素子およびコーティ
ング膜にクラックを発生しない膜厚とすることにより、
温度検出素子の抵抗値特性を損なうことなく、1000
℃以上の耐熱性、耐熱サイクル性を確保することができ
る。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a temperature detecting device wherein the coating film has a thickness of 1 μm or more and 2 μm or less on the surface of the temperature detecting element, wherein the coating film prevents the influence of a strong reducing atmosphere, and , By making the element and the coating film a thickness that does not cause cracks,
Without impairing the resistance value characteristics of the temperature detecting element, 1000
Heat resistance of at least ℃ and heat cycle resistance can be secured.

【0010】請求項3に記載の発明は、前記コーティン
グ膜が、前記温度検出素子の表面にCVD法またはスパ
ッタ法により生成されている温度検出装置であり、コー
ティング膜を均一な組成、膜厚に生成することにより、
強還元雰囲気の影響を防ぎ、温度検出素子の抵抗値特性
を損なうことなく、1000℃以上の耐熱性、耐熱サイ
クル性を確保することができる。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a temperature detecting device in which the coating film is formed on the surface of the temperature detecting element by a CVD method or a sputtering method. By generating
The influence of the strong reducing atmosphere can be prevented, and the heat resistance and heat cycle resistance of 1000 ° C. or more can be secured without impairing the resistance value characteristics of the temperature detecting element.

【0011】請求項4に記載の発明は、前記コーティン
グ膜の材質が、アルミナである温度検出装置であり、高
温で強還元雰囲気に対し安定な材質とすることにより、
温度検出素子の抵抗値特性を損なうことなく、1000
℃以上の耐熱性、耐熱サイクル性を確保することができ
る。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a temperature detecting device in which the material of the coating film is alumina, wherein the material is stable at a high temperature in a strong reducing atmosphere.
Without impairing the resistance value characteristics of the temperature detecting element, 1000
Heat resistance of at least ℃ and heat cycle resistance can be secured.

【0012】請求項5に記載の発明は、温度検出素子が
円柱状または楕円柱状のサーミスタ素子である温度検出
装置であり、コーティング膜が、均一に生成しやすい素
子形状とすることにより、強還元雰囲気の影響を防ぎ、
温度検出素子の抵抗値特性を損なうことなく、1000
℃以上の耐熱性、耐熱サイクル性を確保することができ
る。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a temperature detecting device in which the temperature detecting element is a cylindrical or elliptical cylindrical thermistor element. Prevent the influence of the atmosphere,
Without impairing the resistance value characteristics of the temperature detecting element, 1000
Heat resistance of at least ℃ and heat cycle resistance can be secured.

【0013】以下、本発明の実施の形態について、図面
を参照しながら説明する。図1は本発明の実施の形態に
おける温度検出装置の半分を断面とした正面図を示すも
のであり、図2はその拡大断面図である。また、図3お
よび図4は本実施の形態の温度検出装置に用いたコーテ
ィング膜を施した温度検出素子の上面図と正面断面図を
各々示したものである。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a front view showing a half section of a temperature detecting device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an enlarged sectional view thereof. FIGS. 3 and 4 are a top view and a front sectional view, respectively, of a temperature detecting element provided with a coating film used in the temperature detecting apparatus according to the present embodiment.

【0014】図1において、1はJIS C 2502
に規格されるNCH1の有底筒状の金属キャップ1で、
その先端側は閉成され、後端側は開口されている。この
金属キャップ1の先端内部には図2に示すごとく無機酸
化物からなる膜厚1μmのコーティング膜3を表面に施
した円柱状の温度検出素子2が収納されている。ここ
で、本実施の形態では、無機酸化物としてアルミナを用
い、CVD法により生成した。
In FIG. 1, reference numeral 1 denotes JIS C 2502
NCH1 bottomed cylindrical metal cap 1 specified in
Its front end is closed and its rear end is open. As shown in FIG. 2, a cylindrical temperature detecting element 2 having a coating film 3 made of an inorganic oxide and having a thickness of 1 μm on its surface is housed inside the tip of the metal cap 1. Here, in this embodiment, alumina was used as the inorganic oxide, and the inorganic oxide was formed by a CVD method.

【0015】この温度検出素子2には図3、図4に示す
ごとく、二本の管状の白金パイプよりなる電極4とAl
23,Cr23,Fe23成分からなる直径2.35mm
の円柱状のNTCサーミスタ5から構成されている。温
度検出素子2の二本の管状の白金パイプよりなる電極4
の内部にはNi−Crからなる直径0.3mmの金属線6
が貫通して図2に示すごとく電極4の端部で溶接され電
気的に接続されている。
As shown in FIGS. 3 and 4, the temperature detecting element 2 has an electrode 4 composed of two tubular platinum pipes and an Al 4
2.35 mm diameter composed of 2 O 3 , Cr 2 O 3 and Fe 2 O 3 components
, And a cylindrical NTC thermistor 5. Electrode 4 composed of two tubular platinum pipes of temperature detecting element 2
Inside is a 0.3 mm diameter metal wire 6 made of Ni-Cr.
Are welded and electrically connected at the ends of the electrodes 4 as shown in FIG.

【0016】また、この二本の金属線6の両端を除く全
体は図1に示すごとくAl23からなる絶縁体7で固定
され、さらにその周囲をSUS310Sからなる直径
3.15mmの金属管8で覆われている。ここで、二本の
金属線6、絶縁体7、金属管8等は二芯管14を構成し
ている。
As shown in FIG. 1, the whole of the two metal wires 6 except for both ends is fixed by an insulator 7 made of Al 2 O 3 , and furthermore, a metal tube made of SUS310S having a diameter of 3.15 mm is formed. 8 covered. Here, the two metal wires 6, the insulator 7, the metal tube 8 and the like constitute a two-core tube 14.

【0017】次に、前述の金属キャップ1の開口部には
金属管8の端部が約3mm挿入され、その金属キャップ1
の周囲を開口端部より約3mm円周形状にかしめることで
仮固定し、さらに、金属キャップ1の開口端部より1.
5mm程度の位置にレーザー溶接機により円周上にシーム
溶接加工9を施し、前記金属キャップ1の内部の気密性
を確保している。
Next, about 3 mm of the end of the metal tube 8 is inserted into the opening of the above-mentioned metal cap 1, and the metal cap 1 is inserted.
Of the metal cap 1 is temporarily fixed by caulking the periphery of the metal cap into a circular shape of about 3 mm from the opening end.
A seam welding process 9 is performed on the circumference by a laser welding machine at a position of about 5 mm to secure airtightness inside the metal cap 1.

【0018】また、前記二芯管14の金属線6の他端の
各々にはリード線10を電気的に接続し電気信号を外部
に取り出せるような構成とし、各々のリード線10は、
二つの貫通孔を有する円柱状のシリコンからなるゴム材
11に貫通させられている。さらに、このゴム材11
は、パイプ状の金属ケース12内に挿入され、この金属
ケース12の一端の外周を内部方向に塑性変形させるこ
とにより内部のゴム材11と密着させ、温度検出装置内
の気密性を確保している。又、前記金属ケース12の他
端は、前記二芯管14の金属管8の外周部に配置され、
レーザー溶接13により固定されて密封されている。
A lead wire 10 is electrically connected to each of the other ends of the metal wires 6 of the two-core tube 14 so that an electric signal can be taken out.
It penetrates through a rubber material 11 made of cylindrical silicon having two through holes. Further, the rubber material 11
Is inserted into a pipe-shaped metal case 12, and the outer periphery of one end of the metal case 12 is plastically deformed inward to adhere to the inner rubber material 11, thereby ensuring airtightness in the temperature detecting device. I have. The other end of the metal case 12 is arranged on the outer peripheral portion of the metal tube 8 of the two-core tube 14,
It is fixed and sealed by laser welding 13.

【0019】次に、上記のように作製した温度検出装置
の1100℃耐久試験を行った結果を(表1)に示す。
(表1)においての性能可否については、その判定抵抗
値変化率を3%とした。
Next, the results of the 1100 ° C. endurance test of the temperature detector manufactured as described above are shown in Table 1.
Regarding the performance in Table 1, the rate of change in the judgment resistance value was 3%.

【0020】[0020]

【表1】 [Table 1]

【0021】(表1)より本実施の形態(膜厚1μm)
とすることにより、温度検出素子2の抵抗値上昇を従来
に比べ半分以下に低減することができた。
According to Table 1, the present embodiment (film thickness 1 μm)
As a result, the rise in the resistance value of the temperature detecting element 2 can be reduced to half or less as compared with the related art.

【0022】ここで、温度検出素子2の表面に施される
コーティング膜3は、1μmとしたが、これは(表1)
の結果から、1μm以上2μm以下の膜厚となることが
好ましい。コーティング膜3の膜厚が1μm未満では、
完全に素子全体を覆っていないため温度検出素子2が還
元雰囲気にさらされると抵抗値が大幅に上昇し、従来例
となんら変化がなかった。一方、膜厚を2μmより大き
くすると、温度検出素子2およびコーティング膜3にク
ラックが発生し、抵抗値変動が著しく大きくなった。従
って、コーティング膜3の膜厚が1μm以上2μm以下
とすることにより1100℃の高温中で使用することが
可能となった。
Here, the coating film 3 applied to the surface of the temperature detecting element 2 was 1 μm, which is shown in Table 1.
From the result, it is preferable that the film thickness is 1 μm or more and 2 μm or less. If the thickness of the coating film 3 is less than 1 μm,
Since the temperature detecting element 2 was not completely covered, the resistance value was significantly increased when the temperature detecting element 2 was exposed to a reducing atmosphere, and there was no change from the conventional example. On the other hand, when the film thickness was larger than 2 μm, cracks occurred in the temperature detecting element 2 and the coating film 3, and the fluctuation of the resistance value became remarkably large. Therefore, by setting the thickness of the coating film 3 to 1 μm or more and 2 μm or less, it becomes possible to use the coating film 3 at a high temperature of 1100 ° C.

【0023】一方、900℃熱サイクル試験において
は、CVD法でのアルミナのコーティング膜3を生成し
ても、従来例と同様に良好であった。
On the other hand, in the 900 ° C. heat cycle test, even if the alumina coating film 3 was formed by the CVD method, it was as good as the conventional example.

【0024】なお、本実施の形態では、CVD法により
アルミナのコーティング膜3を生成したが、スパッタ法
でも同様の効果が得られることを確認した。
In this embodiment, the alumina coating film 3 is formed by the CVD method, but it has been confirmed that the same effect can be obtained by the sputtering method.

【0025】また、温度検出素子2として円柱状のサー
ミスタ素子を用いたが、楕円柱状のサーミスタ素子でも
同様の結果が得られた。
Although a cylindrical thermistor element was used as the temperature detecting element 2, similar results were obtained with an elliptical cylindrical thermistor element.

【0026】[0026]

【発明の効果】以上のように本発明によれば、温度検出
素子の周囲表面に無機酸化物のコーティング膜を施すこ
とにより、1000℃以上の耐熱性および900℃の耐
熱サイクル性を有する優れた温度検出装置を実現できる
ものである。
As described above, according to the present invention, by providing an inorganic oxide coating film on the peripheral surface of the temperature detecting element, an excellent heat resistance of 1000 ° C. or more and a heat cycle resistance of 900 ° C. are obtained. A temperature detecting device can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施の形態における温度検出装置の半
分を断面とした正面図
FIG. 1 is a front view showing a half of a temperature detecting device according to an embodiment of the present invention in cross section.

【図2】その拡大断面図FIG. 2 is an enlarged sectional view thereof.

【図3】本発明の実施の形態の温度検出装置に用いたコ
ーティング膜を施した温度検出素子の上面図
FIG. 3 is a top view of a temperature detecting element provided with a coating film used in the temperature detecting device according to the embodiment of the present invention.

【図4】その正面断面図FIG. 4 is a front sectional view thereof.

【図5】従来の温度検出装置の半分を断面とした正面図FIG. 5 is a front view showing a half of a conventional temperature detecting device in cross section.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 金属キャップ 2 温度検出素子 3 コーティング膜 6 金属線 8 金属管 14 二芯管 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Metal cap 2 Temperature detection element 3 Coating film 6 Metal wire 8 Metal tube 14 Two-core tube

フロントページの続き (72)発明者 田中 剛 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 玉井 孝 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 森分 博紀 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 鳥井 秀雄 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 友澤 淳 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内Continued on the front page (72) Inventor Tsuyoshi Tanaka 1006 Kadoma Kadoma, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (72) Inventor Takashi Tamai 1006 Odaka Kadoma Kadoma City, Osaka Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (72) Invention Person Hiroki Moribun 1006 Kazuma Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture Inside Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (72) Inventor Hideo Torii 1006 Kadoma Odoma, Kadoma City, Osaka Prefecture Inside Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. 1006 Oaza Kadoma Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 二本の金属線の両端を除く全体の周囲に
金属管を配置し、この金属線と金属管の間に絶縁体を充
填して固定化した二芯管と、この二芯管を構成する金属
線の一方の端部に接続された温度検出素子と、この温度
検出素子を収納するように前記二芯管の一方の端部に装
着した有底筒状の金属キャップとを備え、前記温度検出
素子の周囲表面に無機酸化物のコーティング膜を施した
温度検出装置。
1. A two-core tube in which a metal tube is disposed around the whole of two metal wires except for both ends, an insulator is filled between the metal wire and the metal tube and fixed, and the two-core tube is fixed. A temperature detecting element connected to one end of a metal wire constituting the tube, and a bottomed cylindrical metal cap attached to one end of the two-core tube so as to house the temperature detecting element. A temperature detecting device comprising a coating film made of an inorganic oxide on a peripheral surface of the temperature detecting element.
【請求項2】 コーティング膜は、1μm以上2μm以
下の厚みである請求項1に記載の温度検出装置。
2. The temperature detecting device according to claim 1, wherein the coating film has a thickness of 1 μm or more and 2 μm or less.
【請求項3】 コーティング膜は、CVD法またはスパ
ッタ法により生成されている請求項1に記載の温度検出
装置。
3. The temperature detecting device according to claim 1, wherein the coating film is generated by a CVD method or a sputtering method.
【請求項4】 コーティング膜の材質は、アルミナであ
る請求項1に記載の温度検出装置。
4. The temperature detecting device according to claim 1, wherein the material of the coating film is alumina.
【請求項5】 温度検出素子は、円柱状または楕円柱状
のサーミスタ素子である請求項1に記載の温度検出装
置。
5. The temperature detecting device according to claim 1, wherein the temperature detecting element is a cylindrical or elliptic cylindrical thermistor element.
JP9125352A 1997-05-15 1997-05-15 Temperature detector Pending JPH10318850A (en)

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JP9125352A JPH10318850A (en) 1997-05-15 1997-05-15 Temperature detector

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JP (1) JPH10318850A (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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