JPH10318946A - エネルギー分散型ｘ線分析装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】適切な分析結果が短時間で得られるエネルギー
分散型Ｘ線分析装置を提供する。 【解決手段】この発明のＸ線分析装置は、検量線式定量
分析法が指定されると、ピーク間隔求出部１７により試
料中の含有量測定対象の元素と試料中の他の含有元素の
間での最短ピーク間隔が求出されるとともに、時定数選
択部１８により含有量測定対象の元素の注目ピークが分
離できる最低限度の分解能に見合った時定数が選択され
た後、整形回路１０の時定数が時定数設定部１１により
時定数選択部１８で選ばれた時定数に設定される。必要
以上に長い時定数に設定されないので、Ｘ線検出信号の
取り込み率は十分なものとなり、正確な含有量を短時間
で測定することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、励起された試料
から放出される特性Ｘ線を半導体（Ｘ線）検出器で検出
し試料の元素分析をおこなうエネルギー分散型Ｘ線分析
装置に係り、特に分析時間の短縮を図るための技術に関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装
置は、一次Ｘ線の照射によって励起された試料から放出
される特性Ｘ線が半導体Ｘ線検出器により検出された
後、波形整形回路等を経てＸ線検出信号としてマルチチ
ャンネルアナライザに入力されて波高に応じた弁別処理
が行われることによりエネルギースペクトルが得られる
とともに、得られたエネルギースペクトルに基づくデー
タ処理により試料の元素分析がおこなわれる構成となっ
ている。

【０００３】より具体的には、半導体Ｘ線検出器から出
力される信号は、プリアンプ（前置増幅器）で一定程度
増幅された後、さらに比例増幅器で増幅されるのである
が、通常、波形整形回路が比例増幅回路に含まれてい
て、波形整形回路で特性Ｘ線のエネルギー値に応じた波
高を持つ適当な形のパルスに整形されて、マルチチャン
ネルアナライザへＸ線検出信号として送出される。マル
チチャンネルアナライザは、このＸ線検出信号をその波
高に応じて弁別・計算し、波高分布図（エネルギースペ
クトル）を得る。このエネルギースペクトルには、試料
中に含まれる元素から放出される特性Ｘ線のエネルギー
値に対応する位置に各元素固有のピークが現れる。そし
て、ピーク分離などのデータ処理により、これらのピー
クの位置（エネルギー）、強度を求め、それら試料の元
素分析が行われる。通常は含有元素が未知の試料を測定
するので、データ処理を行いやすくするために、なるべ
く高分解能が得られるような測定条件が望ましい。しか
し、実際には次に述べる測定時間の問題を考慮し、実用
的な測定時間で、かつ十分な分解能を与えるような条件
が選ばれる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のＸ線分析装置の場合には、高分解能を得ようとする
と分析時間が長くなるという問題がある。以下にその理
由を説明する。すなわち、高い分解能を得るために、半
導体Ｘ線検出器から出力される信号に重畳するノイズを
低くするには、波形整形回路の時定数をなるべく長くす
る必要がある。しかし、波形整形回路の時定数を長くす
ると、隣接するパルスが干渉し合って見掛け上ひとつの
パルスとなる、いわゆるパイルアップ現象が生じる確率
が高くなる。このように干渉したパルスは、通常、パイ
ルアップ除去回路により計数の対象から除外される。そ
の結果、マルチチャンネルアナライザへのＸ線検出信号
の取り込み率が低下する。

【０００５】一方、Ｘ線分析装置では、Ｘ線の統計変動
による誤差を抑える必要性から、一定数以上のＸ線検出
信号をマルチチャンネルアナライザに取り込まれなけれ
ばならないという事情がある。そのため、上述のように
Ｘ線検出信号の取り込み率が低下した場合、その分、Ｘ
線測定時間を長くして必要個数のＸ線検出信号を取り込
むことになって、分析時間が長くなってしまう。なお、
通常、一次Ｘ線を増加すれば、Ｘ線検出信号も比例して
増加するはずであるが、波形整形回路の時定数が長い場
合にはパイルアップ現象の発生回数が増加して、除去さ
れるパルスの数が増加するので、Ｘ線検出信号の取り込
み量は増加せず、必ずしも分析時間の短縮にはつながら
ない。

【０００６】この発明は、上記問題点に鑑み、適切な分
析結果を短時間で得ることのできるエネルギー分散型Ｘ
線分析装置を提供することを課題とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を達成するた
め、請求項１の発明に係るエネルギー分散型Ｘ線分析装
置は、励起された試料から放出されるＸ線を検出する半
導体Ｘ線検出器と、半導体Ｘ線検出器から出力される信
号をパルス波に整形する波形整形回路と、この波形整形
回路を経て入力されるＸ線検出信号のエネルギースペク
トル（パルス波高頻度分布図）を得るマルチチャンネル
アナライザを備えているとともに、マルチチャンネルア
ナライザで得られたエネルギースペクトルに基づくデー
タ処理により試料の元素分析をおこなうデータ処理手段
を備えているエネルギー分散型Ｘ線分析装置において、
元素分析の分析手法を指定する分析手法指定手段を備え
ているとともに、分析手法指定手段により指定された分
析手法に応じて波形整形回路の時定数を設定する時定数
設定手段を備えている。

【０００８】また、請求項２の発明は、請求項１に記載
のエネルギー分散型Ｘ線分析装置において、分析手法指
定手段は分析手法として少なくとも検量線法の指定がお
こなえるよう構成され、時定数設定手段は検量線法が指
定された場合にさらに複数の時定数の中から選択された
時定数が設定できるよう構成されているとともに、前記
検量線法が適用される全元素のそれぞれについてエネル
ギースペクトルでの各ピークの位置（エネルギー値）を
示すピーク位置データと、前記複数の時定数のそれぞれ
についてエネルギー値と分離可能な最小ピーク間隔の対
応関係を示す最小ピーク間隔データとを保持しているデ
ータ保持手段と、ピーク位置データに基づき試料中の含
有量測定対象の元素（目的元素）のピークと試料中の他
の含有元素のピークとの間隔のうち最も短い最短ピーク
間隔を求出するピーク間隔求出手段と、ピーク間隔求出
手段により求出された最短ピーク間隔と最小ピーク間隔
データを照らし合わせて必要なピーク分離が可能となる
時定数のうち最も短い時定数を波形整形回路の設定時定
数として選択する時定数選択手段を備えている。

【０００９】〔作用〕この発明のエネルギー分散型Ｘ線
分析装置（以下、適宜「Ｘ線分析装置」と略記）により
試料の元素分析をおこなう際の作用について説明する。
請求項１のＸ線分析装置による元素分析の場合、先ず分
析手法指定手段で元素分析の分析手法が指定されると、
時定数設定手段により指定された分析手法に応じて波形
整形回路の時定数が自動的に設定される。次に、一次Ｘ
線あるいは電子ビームなどの照射により励起された試料
から放出されるＸ線が半導体Ｘ線検出器で検出された
後、波形整形回路も経てＸ線検出信号としてマルチチャ
ンネルアナライザへ次々入力される。マルチチャンネル
アナライザではＸ線検出信号が波高に応じて弁別処理さ
れ、エネルギースペクトルが得られる。そして、エネル
ギースペクトルが得られると、データ処理手段が、指定
された分析手法に従って、エネルギースペクトルに出現
したピークのエネルギー値から元素を特定（定性分析）
したり、ピークの面積を求出し、それに基づいて元素の
含有量を求出（定量分析）したりして元素分析が進めら
れる。

【００１０】請求項１のＸ線分析装置の時定数設定手段
により設定される波形整形回路の時定数は、事実上、指
定された分析手法を適切に実行するのに最低限必要な分
解能に見合った極力短い時定数に自動的に設定され、波
形整形回路の時定数が必要以上に長く設定されることは
ないので、マルチチャンネルアナライザにおけるＸ線検
出信号の取り込み率が必要以上に低下してしまうような
ことはなくなる。

【００１１】また、請求項２のＸ線分析装置では、分析
手法指定手段により検量線法が指定された場合、〔必要
に応じて定量分析対象である今回試料（未知試料）の含
有元素の指定も行われ〕、ピーク間隔求出手段により、
今回試料の含有元素の中の含有量測定対象の元素におけ
る（含有量測定用の）注目ピークと、試料中の他の元素
のピークとの間隔のうち最も短い最短ピーク間隔が求出
される。次に、時定数選択手段により、最短ピーク間隔
と、検量線法用として用意されている複数の時定数のそ
れぞれについてエネルギー値と分離可能な最小ピーク間
隔の対応関係を示す最小ピーク間隔データが照らし合わ
され、必要なピーク分離が可能となる時定数のうち最も
短い時定数が波形整形回路の設定時定数として選択され
る。そして、波形整形回路の時定数が時定数設定手段に
より直ちに選択された時定数に設定された後、検量線法
の通常の手順に従って標準試料および未知試料のエネル
ギースペクトルが得られる。そしてデータ処理手段によ
り、標準試料の測定結果から検量線が作成され、この検
量線を用いて未知試料中の定量測定対象の元素の含有量
が求められる。

【００１２】請求項２のＸ線分析装置による検量線法の
場合、波形整形回路の時定数は、今回試料を構成する限
られた元素同士の間の最短ピーク間隔に見合った最小限
必要な長さの時定数に自動的に設定され、必要以上に長
い時定数が設定されることはなく、マルチチャンネルア
ナライザにおけるＸ線検出信号の取り込み率は十分に確
保される。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施例を図面
を参照しながら説明する。図１は実施例に係る蛍光Ｘ線
分析装置の全体構成を示すブロック図、図２は実施例装
置における波形整形回路および時定数設定部の構成を示
す部分ブロック図である。実施例の蛍光Ｘ線分析装置
は、図１に示すように、一次Ｘ線による試料ＳＭの励起
と試料ＳＭから放出される特性Ｘ線の検出をおこなう測
定本体部ＳＡと、測定本体部ＳＡから送出される信号を
処理するとともに測定本体部ＳＡ等に対する必要な制御
をおこなう制御処理部ＳＢとからなる。以下、各部の構
成を具体的に説明する。

【００１４】測定本体部ＳＡは、測定対象の試料ＳＭが
導入される試料室１を備えており、試料ＳＭがセットさ
れるステージ（試料台）２が試料室１の内に設けられて
いるとともに、試料ＳＭに一次Ｘ線を照射するＸ線管３
と一次Ｘ線で励起された試料ＳＭから放出される特性Ｘ
線を検出する半導体Ｘ線検出器４およびＸ線検出器４の
出力を一定程度まで増幅するプリアンプ（前置増幅器）
５が試料室１の近傍に設置されている。Ｘ線管３の照射
動作は、通常、制御処理部ＳＢ側からコントロールされ
る。また、半導体Ｘ線検出器４としては、Ｌｉ補償型の
Ｓｉ（Ｌｉ）Ｘ線検出器などが用いられる。そして、Ｘ
線検出器４はプリアンプ５と共に魔法瓶式容器（デュワ
ー）６に入っている液体窒素で常に冷却されて極低温状
態に維持されている。

【００１５】制御処理部ＳＢには、プリアンプ５から送
られてくる信号を整形・増幅する比例増幅器７と、比例
増幅器７のアナログ出力信号をディジタル化し、その波
高値をマルチチャンネルアナライザ（ＭＣＡ）９へ送出
するＡＤ変換器８と、ＡＤ変換器８から次々に送出され
る波高情報をその大きさに応じて弁別処理しエネルギー
スペクトル（パルス波高頻度分布図）を得るＭＣＡ９と
が直列に続くかたちで設けられている。そして、実施例
の蛍光Ｘ線分析装置の場合、比例増幅器７に適当なパル
ス波形に整形する波形整形回路１０と波形整形回路１０
の時定数を設定する時定数設定部１１が配設されてい
る。

【００１６】また、波形整形回路１０の時定数を設定す
る時定数設定部１１は、図２に示すように、ｎ個の帰還
インピーダンスＺ１〜Ｚｎと１個の切替えスイッチ１１
ａからなり、切替えスイッチ１１ａによりｎ個の帰還イ
ンピーダンスＺ１〜Ｚｎの中のひとつが波形整形回路１
０と並列に接続されることで波形整形回路１０の時定数
が時定数τ１〜τｎのうちのひとつに設定されるよう構
成されている。時定数τ１〜τｎの中のいずれの時定数
を選択して設定するかは、指定される分析手法や分析対
象の元素の種類などに応じて選択されるが、詳しくは後
述する。なお、時定数τ１は最長時間であり、順に時間
が短くなって時定数τｎが最短時間である。

【００１７】プリアンプ５から比例増幅器７に送り込ま
れた信号は、波形整形回路１０の整形機能も加わって、
特性Ｘ線のエネルギー値（ピーク位置）に比例した波高
を持つ適当な形のパルスに増幅・整形されて出力され
る。このとき入力信号に重畳していたノイズが除去され
る。ＡＤ変換器８は比例増幅器７から送り込まれて来た
パルス信号を波高に応じた大きさのディジタル信号（例
えば１０ビットのディジタル信号）に変換しＸ線検出信
号としてＭＣＡ９へ送出する。ＭＣＡ９では、ＡＤ変換
器８のビット数（異なる大きさのディジタル信号の数）
に対応してチャンネル数（例えば１０ビットのディジタ
ル信号の場合は１０２４チャンネル）が予め準備されて
いて、次々と送り込まれてくるＸ線検出信号は（ディジ
タル信号の）大きさに応じて各チャンネル毎に弁別され
るとともに、各チャンネルへ入ってくる単位時間当たり
のＸ線検出信号の数（頻度）が計数される。

【００１８】そして、チャンネル位置（すなわち、エネ
ルギー値）を横軸とし、各チャンネルでの計数結果を縦
軸として対応付けされたエネルギースペクトルが得られ
ることになる。例えば、図３に示すように、５つのピー
クＰＫ１〜ＰＫ５が各エネルギー値（ピーク位置）Ｅ１
〜Ｅ５に出ているエネクギースペクトルが得られること
になる。もちろん、各エネルギー値Ｅ１〜Ｅ５は元素の
特性Ｘ線のエネルギー値と対応している。

【００１９】さらに、制御処理部ＳＢはＭＣＡ９で得ら
れたエネルギースペクトルに基づくデータ処理により試
料の元素分析をおこなうデータ処理部１２や、分析の際
の分析手法の指定や元素の指定をおこなうための操作部
（分析手法指定手段）１３、エネルギースペクトルや元
素分析結果を表示する表示器３０、装置全体の動作をコ
ントロールするための制御プログラムを記憶する制御プ
ログラム記憶部１４などを備えている。また、データ処
理部１２には制御プログラムに従って必要な指令信号の
送出や必要な演算などを実行する中央処理部（ＣＰＵ）
１５が設けられている。

【００２０】実施例装置の操作部１３により指定できる
分析手法としては、例えば、検量線法や、いわゆるＦＰ
法と通称されるファンダメンタル・パラメータ式定量分
析法（ＦＰ式定量分析法）などが挙げられる。前者の検
量線法は、従来から知られているとおり、未知試料（例
えば含有量未知のステンレス試料）とほぼ同一組成で元
素含有量がそれぞれ若干異なる標準試料（例えば含有量
既知のステンレス試料）が複数個ある時に、未知試料の
特定の元素（目的元素）の含有量を測るような場合に有
効である。具体的には、例えば、各標準試料についての
エネルギースペクトルを得て、データ処理部１２で目的
元素の注目ピーク（通常は各元素のＫαピークまたはＬ
αピーク）のピーク面積と含有量との関係を測定し検量
線を得るとともに、未知試料についてのエネルギースペ
クトルを得て、データ処理部１２で目的元素の注目ピー
クのピーク面積を求めて検量線に当てはめることによ
り、未知試料における目的元素の含有量を求めることに
なる。

【００２１】後者のＦＰ式定量分析法は、従来から知ら
れているとおり、標準試料に当たるものは無く、未知試
料（例えば含有量未知の鉱物試料）だけがあり、各元素
それぞれの含有量を測るような場合に有効である。具体
的には、未知試料のエネルギースペクトルを、事実上、
全元素の注目ピークが全てデータ処理により分離できる
ようにして得た後、各注目ピークの強度をデータ処理に
より求め、その強度からＦＰ法によって試料中の各元素
それぞれの含有量を求めることになる。

【００２２】また、実施例装置の場合、データ処理部１
２には指定可能な各種分析手法の実行に必要なデータを
予め記憶保持しておくためのデータ保持部１６や、ピー
ク間隔求出部１７および時定数選択部１８が設けられて
いる。さらにデータ保持部１６は、ピーク位置データメ
モリ１９、ピーク波形データメモリ２０、最小ピーク間
隔データメモリ２１および定量分析関連データメモリ２
２を具備する。

【００２３】ピーク位置データメモリ１９には、検量線
法が適用される可能性のある全元素のそれぞれについて
エネルギースペクトルでの各ピークの位置（エネルギー
値）を示すピーク位置データが格納されている。具体的
には、図４に示すように、元素名，元素番号，エネルギ
ー値，特性Ｘ線名が格納されている。ピーク波形データ
メモリ２０には、同一元素の特性Ｘ線のピーク比率（例
えば、Ｆｅ元素のＫαのピークとＦｅ元素のＫβのピー
クの比率）などがピーク波形データとして格納されてい
る。最小ピーク間隔データメモリ２１には、波形整形回
路１０で設定される各時定数τ１〜τｎのそれぞれにつ
いてエネルギー値と分離可能な最小ピーク間隔の対応関
係を示す最小ピーク間隔データが格納されてきる。定量
分析関連データメモリ２２には検量線法用の標準試料の
測定データや検量線データなどが格納されている。

【００２４】各データのうち最小ピーク間隔データは、
検量線法の場合に用いられるデータであるが、また本発
明に特徴的なデータであるので、より具体的に説明す
る。すなわち、図５に示すように、各時定数τ１〜τｎ
をパラメータとして、エネルギー値（ピーク位置）を横
軸とし、分離可能な最小ピーク間隔を縦軸とした対応関
係が、テーブル形式または数式のかたちで最小ピーク間
隔データメモリ２１に格納されている。

【００２５】次に、ピーク間隔求出部１７および時定数
選択部１８について説明する。検量線法の場合には、含
有量測定対象の元素の注目ピークが試料中の他の含有元
素のピークから分離できればよい。試料に含まれない元
素は考慮する必要がない。この検量線法の場合、未知試
料と言えども、含有元素の種類だけは全て分かっている
ので、ピーク間隔求出部１７は、含有量測定対象の元素
の注目ピークと試料中の他の含有元素のピークとの間隔
をピーク位置データを参照して求出するとともに、その
中の最も短い最短ピーク間隔を選びだす。以下、注目ピ
ークはエネルギー値Ｅｉ，最短ピーク間隔ｄｉとして説
明する。

【００２６】ピーク間隔求出部１７により最短ピーク間
隔ｄｉが求出されると、今度は時定数選択部１８によっ
て、図５に示すように、最短ピーク間隔ｄｉと最小ピー
ク間隔データの照合が行われて、エネルギー値Ｅｉでの
最小ピーク間隔が、最短ピーク間隔ｄｉ以下となる時定
数の中で最も短い時定数τｉが選択される。時定数選択
部１８による選択結果は、直ちに時定数設定部１１に送
られるとともに、時定数設定部１１では切替えスイッチ
１１ａが帰還インピーダンスＺｉを波形整形回路１０に
並列接続し、波形整形回路１０を時定数τｉに設定す
る。なお、これらピーク間隔求出部１７や時定数選択部
１８は制御プログラムやマイクロコンピュータなどで構
成されているものである。

【００２７】また、分析手法としてＦＰ式定量分析法が
指定された場合、時定数設定部１１により、予め定めら
れた時定数（例えば、比較的長い時定数τ₂ ）が自動的
に設定される構成になっている。ＦＰ式定量分析法の場
合、Ｘ線信号の取り込み率をある程度犠牲にしても、高
い分解能（すなわち、データ処理（ピーク分離）を行う
に十分な分解能）が求められるので、通常、長い時定数
が設定される。

【００２８】次に、以上の構成の蛍光Ｘ線分析装置によ
り元素分析を実行する時の装置動作を、波形整形回路の
時定数設定の流れを示すフローチャートを参照しながら
説明する。先ずオペレータによって次の操作が行われ
る。操作部１３から分析手法（本実施例では、検量線法
かＦＰ式定量分析法のいずれか一方）が指定される。Ｆ
Ｐ式定量分析法が指定されると、できるだけ分解能を高
めるために、予め定められた比較的長い時定数が設定さ
れる。続いて、含有量測定対象の未知の試料ＭＳを試料
室１のステージ２の上にセットして、未知試料ＭＳの定
性・定量分析を行う。

【００２９】一方、検量線法が指令された場合は、操作
部１３から試料ＭＳの含有元素の種類が全て入力され
る。今、試料ＭＳ中の含有量測定対象の元素Ａ，試料Ｍ
Ｓ中の他の含有元素Ｂ，Ｃであったとする。そして、分
析動作開始（スタート）の指示が、やはり操作部１３か
ら指示される。

【００３０】最初、ピーク間隔求出部１７により、ピー
ク位置データメモリ１９から元素Ａ〜Ｃの各ピーク位置
データが引き出され、エネルギー値Ｅｉにある元素Ａの
Ｋαピーク（注目ピーク）と元素Ｂ，Ｃの各ピークとの
間隔がそれぞれ求出されてから、その中の最も短い最短
ピーク間隔ｄｉが選び出される。

【００３１】最短ピーク間隔ｄｉの選出に続いて、時定
数選択部１８により、図５に示すように、最短ピーク間
隔ｄｉと最小ピーク間隔データの照合により、エネルギ
ー値Ｅｉでの最小ピーク間隔が最短ピーク間隔ｄｉ以下
となる時定数の中で最も短い時定数τｉが選択された
後、選択結果は時定数設定部１１に送られる。ここで、
エネルギー値Ｅｉでの最小ピーク間隔が最短ピーク間隔
ｄｉ以下となる時定数の中で最も短い時定数τｉを選択
する理由は、必要な分解能を与える時定数の中で、最も
短いものがパイルアップを起こす確率が小さく、取り込
み率を大きくすることができるからである。時定数の選
択結果を受けた時定数設定部１１では切替えスイッチ１
１ａにより帰還インピーダンスＺｉが波形整形回路１０
と並列接続され、波形整形回路１０の時定数が時定数τ
ｉに設定される。そして、検量線作成のために、含有量
既知の複数の標準試料ＳＭを試料室１のステージ２の上
に順にセットし、それぞれについて測定を行う。

【００３２】すなわち、Ｘ線管３から励起用の一次Ｘ線
が試料ＳＭに照射されるのに伴って、励起された試料Ｓ
Ｍから放出される特性Ｘ線がＸ線検出器４で検出される
とともに、ＭＣＡ９でエネルギースペクトルが得られ
る。このように各標準試料それぞれのエネルギースペク
トルが得られると、中央処理部１５により元素ＡのＫα
ピークの面積が求出される。そして、含有量−強度の関
係式（検量線データ）が作成され、データメモリ２２に
格納される。この時、例えば元素ＡのＫαピークと元素
Ａの（例えば）Ｋβピークとが分離されていない場合
は、１つのピークとして処理することができる。すなわ
ち、検量線作成時と未知試料の測定時とで、同一のエネ
ルギー領域をそのピーク領域とすればよく、必ずしも分
離されている必要はない。したがって、最短ピーク間隔
ｄｉを選び出す場合、元素ＡのＫαピーク以外の元素Ａ
の他のピークは考慮しなくてもよい。

【００３３】検量線の作成後、未知試料の測定を行い、
得られた元素ＡのＫαピークの面積が、中央処理部１５
で定量分析関連データメモリ２２に格納されている検量
線データと照らし合わされて、元素Ａの含有量が確定
し、表示器３０に分析結果が表示されると、元素分析は
終了する。

【００３４】このように、実施例装置による検量線式定
量分析の場合、波形整形回路の時定数は、試料ＳＭを構
成する限られた元素同士の間の最短ピーク間隔ｄｉに見
合った最小限必要な長さの時定数に自動的に設定され、
必要以上に長い時定数が設定されることはないので、元
素分析を短時間で終えることができる。

【００３５】この発明は上記実施の形態に限られること
はなく、下記のように変形実施することができる。 （１）実施例のＸ線分析装置は、一次Ｘ線で試料を励起
するＸ線励起型のＸ線分析装置であったが、電子ビーム
（電子流）で試料を励起する電子励起型のＸ線分析装置
が変形例として挙げられる。変形例の電子励起型Ｘ線分
析装置の場合、ＦＰ式定量分析法に相当する分析手法
は、ＺＡＦ式定量分析法と呼ばれるものになる。

【００３６】（２）実施例装置では、最短ピーク間隔ｄ
ｉを選び出す場合、元素ＡのＫαピーク以外の元素Ａの
他のピークは考慮しなくてもよい構成であったが、他の
ピークに加え元素ＡのＫαピーク以外の元素Ａのピーク
も考慮する構成のものも、変形例として挙げられる。

【００３７】（３）実施例装置では、波形整形回路の時
定数を離散的に設定するように構成したが、波形整形回
路の時定数を連続的に設定できる構成のものが、変形例
として挙げられる。

【００３８】

【発明の効果】請求項１の発明のエネルギー分散型Ｘ線
分析装置によれば、Ｘ線検出器から得られる信号の波形
を整える波形整形回路の時定数が、事実上、指定された
分析手法を適切に実行するのに最低限必要な分解能に見
合った極力短い時定数に自動的に設定され、波形整形回
路の時定数が必要以上に長くなることが回避される構成
となっているので、マルチチャンネルアナライザにおけ
るＸ線検出信号の取り込み率が必要以上に低下してしま
うことはなくなり、適切な分析結果を短時間で得ること
ができるようになる。

【００３９】また、請求項２のエネルギー分散型Ｘ線分
析装置によれば、整形回路の時定数は、試料を構成する
限られた元素同士の間の最短ピーク間隔に見合った最小
限必要な長さの時定数に自動的に設定され、必要以上に
長い時定数が設定されることはなくなるので、Ｘ線検出
信号の取り込み率が十分に確保される結果、試料中の含
有量測定対象の元素の正確な含有量を短時間で測定する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例の蛍光Ｘ線分析装置の全体構成を示すブ
ロック図である。

【図２】実施例装置での波形整形回路と時定数設定部を
示す部分ブロック図である。

【図３】実施例装置で得るエネルギースペクトル例を示
すグラフである。

【図４】実施例装置に保持されるピーク位置データ例の
内容を示す模式図である。

【図５】実施例装置に保持される最小ピーク間隔データ
説明用のグラフである。

【図６】実施例装置での整形回路の時定数設定の流れを
示すフローチャートである。

【符号の説明】

４…半導体Ｘ線検出器 ９…マルチチャンネルアナライザ １０…波形整形回路 １１…時定数設定部 １３…操作部 １６…データ保持部 １９…ピーク位置データメモリ ２１…最小ピーク間隔データメモリ ｄｉ…最短ピーク間隔 τ１〜τｎ…時定数 ＳＭ…試料

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 励起された試料から放出されるＸ線を検
   出する半導体Ｘ線検出器と、半導体Ｘ線検出器から出力
   される信号をパルス波に整形する波形整形回路と、この
   波形整形回路を経て入力されるＸ線検出信号のエネルギ
   ースペクトル（パルス波高頻度分布図）を得るマルチチ
   ャンネルアナライザを備えているとともに、マルチチャ
   ンネルアナライザで得られたエネルギースペクトルに基
   づくデータ処理により試料の元素分析をおこなうデータ
   処理手段を備えているエネルギー分散型Ｘ線分析装置に
   おいて、元素分析の分析手法を指定する分析手法指定手
   段を備えているとともに、分析手法指定手段により指定
   された分析手法に応じて波形整形回路の時定数を設定す
   る時定数設定手段を備えていることを特徴とするエネル
   ギー分散型Ｘ線分析装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のエネルギー分散型Ｘ線
   分析装置において、分析手法指定手段は分析手法として
   少なくとも検量線法の指定が行えるよう構成され、時定
   数設定手段は検量線法が指定された場合にさらに複数の
   時定数の中から選択された時定数が設定できるよう構成
   されているとともに、前記検量線法が適用される全元素
   のそれぞれについてエネルギースペクトルでの各ピーク
   の位置（エネルギー値）を示すピーク位置データと、前
   記複数の時定数のそれぞれについてエネルギー値と分離
   可能な最小ピーク間隔の対応関係を示す最小ピーク間隔
   データとを保持しているデータ保持手段と、ピーク位置
   データに基づき試料中の含有量測定対象の元素（目的元
   素）のピークと試料中の他の含有元素のピークとの間隔
   のうち最も短い最短ピーク間隔を求出するピーク間隔求
   出手段と、ピーク間隔求出手段により求出された最短ピ
   ーク間隔と最小ピーク間隔データを照らし合わせて必要
   なピーク分離が可能となる時定数のうち最も短い時定数
   を波形整形回路の設定時定数として選択する時定数選択
   手段を備えているエネルギー分散型Ｘ線分析装置。