JPH10320768A

JPH10320768A - マスター情報担体

Info

Publication number: JPH10320768A
Application number: JP9133897A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Riyounai; 博領内; Kiyokazu Toma; 清和東間; Tatsuro Ishida; 達朗石田; Ryuji Sugita; 龍二杉田; Keizo Miyata; 敬三宮田
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1997-05-23
Filing date: 1997-05-23
Publication date: 1998-12-04

Abstract

(57)【要約】【課題】磁気転写による磁気ディスク媒体のプリフォ
ーマット記録に使用されるマスター情報担体であって、
磁気記録媒体との密着性が高く、将来の高密度記録に対
応しやすいものを提供する。【解決手段】基体表面に設けた情報信号に対応する凹
凸形状の少なくとも凸部２の表面が強磁性材料により構
成されるマスター情報担体において、基体７が高分子材
料で構成されている。あるいは金属、合金、セラミック
等の母材の表面に高分子材料の層を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、大容量、高記録密度の
磁気記録再生装置の磁気記録媒体へ情報信号を記録する
ための、情報信号を備えたマスター情報担体に関する。

【０００２】

【従来の技術】小型かつ大容量の磁気記録再生装置を実
現するために、磁気記録媒体の記録密度を高めることが
益々求められている。代表的な磁気記録再生装置である
ハードディスクドライブにあっては、面記録密度が１Ｇ
ｂｉｔ／ｉｎ²（１．５５Ｍｂｉｔ／ｍｍ²）を超える装
置がすでに商品化されており、数年後には面記録密度１
０Ｇｂｉｔ／ｉｎ²（１５．５Ｍｂｉｔ／ｍｍ²）の装置
の実用化が予測されるほど、急激な技術進歩が認められ
る。

【０００３】このような高記録密度化を可能とした技術
的背景として、媒体性能、ヘッド・ディスクインターフ
ェース性能の向上、パーシャルレスポンス等の新規な信
号処理方式の出現があり、これらによる線記録密度の向
上が高記録密度化に大きく寄与してきた。しかしながら
近年では、トラック密度の増加傾向が線記録密度の増加
傾向を大きく上回っている。これには、従来の誘導型磁
気ヘッドに比べて再生出力性能がはるかに優れている磁
気抵抗素子型ヘッドの実用化が寄与している。現在、磁
気抵抗素子型ヘッドを用いることにより、わずか数μｍ
のトラック幅で記録された信号を良好なＳＮ比で再生す
ることができる。ヘッド性能のさらなる向上に伴い、近
い将来にはトラックピッチがサブミクロン領域に達する
ものと予想されている。

【０００４】このような狭トラックをヘッドが正確に走
査し、良好なＳＮ比で信号を再生するためには、ヘッド
のトラッキングサーボ技術が重要な役割を担う。このよ
うなトラッキングサーボ技術に関しては、例えば、日本
応用磁気学会誌、Vol. 20, No. 3, p. 771 (1996)、山
口、「磁気ディスク装置の高精度サーボ技術」に詳細な
内容が開示されている。この文献によれば、現在のハー
ドディスクドライブでは、ディスクの１周、すなわち３
６０度の角度において、一定の角度間隔でトラッキング
用サーボ信号、アドレス情報信号、再生クロック信号等
が記録された領域を設けている。このような情報信号を
予め記録することを、プリフォーマット記録という。磁
気ヘッドは、一定間隔でこれらの信号を再生することに
より、ヘッドの位置を確認し、必要に応じて修正しなが
ら正確にトラック上を走査することができる。

【０００５】上述のトラッキング用サーボ信号、アドレ
ス情報信号、再生クロック信号等はヘッドが正確にトラ
ック上を走査するための基準信号であるので、その記録
に際して、ヘッド位置決め精度が高いことが要求され
る。例えば、日本応用磁気学会第９３回研究会資料、93
-5, p. 35 (1996)、植松他、「メカ・サーボ、ＨＤＩ技
術の現状と展望」に記載された内容によれば、現在のハ
ードディスクドライブでは、ディスクをドライブに組み
込んだ後、専用のサーボ記録装置を用いて磁気ヘッドを
厳密に位置制御しながらプリフォーマット記録を行って
いる。

【０００６】このような専用のサーボ記録装置を用いた
磁気ヘッドによるプリフォーマット記録には、以下のよ
うな課題があった。第１に、磁気ヘッドによる記録は基
本的にヘッドと媒体との相対移動による線記録であるた
め、専用のサーボ記録装置を用いて磁気ヘッドを厳密に
位置制御しながら記録を行う上記の方法では、プリフォ
ーマット記録に多くの時間を要する。さらに、専用のサ
ーボ記録装置がかなり高価である。従って、プリフォー
マット記録に要するコストが高くなる。

【０００７】この課題は、磁気記録装置のトラック密度
が向上するほど深刻になる。ディスク径方向のトラック
数が増加することに加えて、以下の理由によってもプリ
フォーマット記録に要する時間が長くなる。つまり、ト
ラック密度が向上するほどヘッドの位置決めに高精度が
要求されるため、ディスクの１周においてトラッキング
用サーボ信号等の情報信号を記録するサーボ領域を設け
る角度間隔を小さくしなければならない。このため高記
録密度の装置ほどディスクにプリフォーマット記録すべ
き信号量が多くなり、多くの時間を要することになる。

【０００８】また、磁気ディスク媒体は小径化の傾向に
あるものの、依然として３．５インチや５インチの大径
ディスクに対する需要も多い。ディスクの記録面積が大
きいほどプリフォーマット記録すべき信号量が多くな
る。このような大径ディスクのコストパフォーマンスに
関しても、プリフォーマット記録に要する時間が大きく
影響している。

【０００９】従来のプリフォーマット記録における第２
の課題は、ヘッド・媒体間のスペーシング、および、記
録ヘッドの先端ポール形状に起因して記録磁界が広がる
ため、プリフォーマット記録されたトラック端部の磁化
遷移が急峻性に欠けるという点である。

【００１０】磁気ヘッドによる記録は、基本的にヘッド
と媒体との相対移動による動的線記録であるため、ヘッ
ド・媒体間のインターフェース性能の観点から、一定量
のヘッド・媒体間スペーシングを設けざるを得ない。ま
た、現在の磁気ヘッドは通常、記録と再生を別々に担う
２つのエレメントを有する構造上、記録ギャップの後縁
側ポール幅が記録トラック幅に相当し、前縁側ポール幅
は記録トラック幅の数倍以上に大きくなっている。

【００１１】上記の２点は、いずれも、記録トラック端
部における記録磁界の広がりを生じる要因となり、結果
的にプリフォーマット記録されたトラック端部の磁化遷
移が急峻性に欠ける、あるいはトラック端両側に消去領
域を生じるという結果を生ずる。現在のトラッキングサ
ーボ技術では、ヘッドがトラックを外れて走査した際の
再生出力の変化量に基づいてヘッドの位置検出を行って
いる。従って、サーボ領域間に記録されたデータ信号を
再生する際のようにヘッドがトラック上を正確に走査し
たときのＳＮ比に優れることだけではなく、ヘッドがト
ラックを外れて走査したときの再生出力変化量、すなわ
ちオフトラック特性が急峻であることが要求される。従
って、上述のようにプリフォーマット記録されたトラッ
ク端部の磁化遷移が急峻性に欠けると、今後のサブミク
ロントラック記録における正確なトラッキングサーボ技
術の実現が困難になる。

【００１２】上記のような磁気ヘッドによるプリフォー
マット記録における２つの課題を解決する手段に関して
は、既に様々な技術が提案されている。例えば特開昭６
３−１８３６２３号公報には、第１の課題に対する解決
策として、磁気転写技術を用いたトラッキングサーボ信
号等の複写技術が開示されている。この磁気転写技術を
用いれば、プリフォーマット記録の際の生産性が改善さ
れることは事実である。しかしながら、この磁気転写技
術は、フレキシブルディスクのように保磁力が比較的低
く、面記録密度が小さい磁気ディスク媒体には有効であ
るが、今日のハードディスク媒体のように数百メガビッ
トからギガビットオーダーの面記録密度を担う分解能を
備えた高保磁力媒体に対して使用することは不可能であ
る。

【００１３】磁気転写技術においては、転写効率を確保
するために、被転写ディスク保磁力の１．５倍程度の振
幅の交流バイアス磁界を印加する必要がある。マスター
ディスクに記録されたマスター情報は磁化パターンであ
るので、この交流バイアス磁界によってマスター情報が
消磁されないようにするためには、マスターディスクの
保磁力は被転写ディスクの保磁力の３倍程度以上である
ことが要求される。現在の高密度ハードディスク媒体の
保磁力は高面記録密度を担うために１２０〜２００ｋＡ
／ｍもある。さらに将来の１０ギガビットオーダーの面
記録密度を担うためには、この値は２５０〜３５０ｋＡ
／ｍにも達することが予想される。つまりマスターディ
スクには、現状において３６０〜６００ｋＡ／ｍ、将来
的には７５０〜１０５０ｋＡ／ｍの保磁力が要求される
ことになる。

【００１４】マスターディスクにおいてこのような保磁
力を実現することは、磁性材料の選択の面から困難であ
る。さらに、現在の磁気記録技術では、このような高保
磁力を有するマスターディスクにマスター情報を記録す
ることができない。従って、磁気転写技術においては、
マスターディスクにおいて実現可能な保磁力値を考慮す
ると、必然的に被転写ディスクの保磁力に制約を受ける
ことになる。

【００１５】また、例えば特開平７−１５３０６０号公
報には、トラッキング用サーボ信号、アドレス情報信
号、再生クロック信号等に対応する凹凸形状を有するデ
ィスク媒体用基板をスタンパにより形成し、この基板上
に磁性層を形成するプリエンボストディスク技術が開示
されている。この技術は、前述の２つの課題の両方に対
して有効な解決策となる。しかしながら、ディスク表面
の凹凸形状が記録再生時のヘッドの浮上特性（あるいは
接触記録の場合には媒体とのコンタクト状態）に影響を
及ぼし、その結果、ヘッド・媒体インターフェース性能
に問題を生じることが予想される。また、スタンパで製
造される基板は基本的にプラスチック基板であるため、
媒体性能の確保のために必要な磁性層成膜時の基板加熱
ができず、必要な媒体ＳＮ比が確保されないという問題
もある。

【００１６】このように、プリフォーマット記録に関す
る前述の２つの課題に対して、特開昭６３−１８３６２
３号公報または特開平７−１５３０６０号公報に記載さ
れた技術は、媒体ＳＮ比、インターフェース性能等の他
の重要な性能を犠牲にすることとなり、真に有効な解決
策とはならない。

【００１７】このような課題に対して、媒体ＳＮ比、イ
ンターフェース性能等の他の重要な性能を犠牲にするこ
となく、プリフォーマット記録時の生産性を高め、プリ
フォーマット記録されたトラック端部の磁化遷移の急峻
性を向上する記録方法として、下記のような方法が考案
されている。

【００１８】すなわち、特願平８−１９１８８９号の明
細書に記載された記録技術では、基体の表面に情報信号
に対応する凹凸形状が形成され、この凹凸形状の少なく
とも凸部の表面が強磁性材料で形成されているマスター
情報担体の表面を、強磁性薄膜あるいは強磁性粉塗布層
が形成されたシート状もしくはディスク状の磁気記録媒
体の表面に接触させることにより、マスター情報担体表
面の凹凸形状に対応する磁化パターンを磁気記録媒体に
記録する。

【００１９】ところで、前述のように、磁気転写技術を
用いたプリフォーマット記録では、マスターディスクま
たはマスター情報担体の表面と磁気記録媒体の表面とを
全域にわたって密着させる必要がある。これを実現する
方法の一つが特開平７−７８３３７号公報に開示されて
いる。この方法では、マスター媒体とスレーブ媒体（被
転写媒体）とを向かい合わせにして、弾性体を備えた圧
接手段によってマスター媒体とスレーブ媒体とを全面的
に圧接させる。このとき、マスター媒体またはスレーブ
媒体の少なくとも一方がフレキシブル媒体であれば、よ
り確実な磁気転写が実現される。

【００２０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、将来実
用化されるであろう１０ギガビットオーダーの面記録密
度におけるプリフォーマット記録を実現するためには、
マスター情報担体と磁気記録媒体とを密着させる技術は
未だ十分とは言い難い。

【００２１】プリフォーマットされる磁気記録媒体がハ
ードディスクの場合、ハードディスク基板は金属、ガラ
ス、シリコンまたは炭素といった高強度の剛体であるの
で、その避け難い変形に追従すべきマスター情報担体の
基板材料は、例えば高分子材料のようなある程度変形可
能な材料であることが望ましい。

【００２２】ハードディスク基板に比べて柔軟性のある
高分子材料をマスター情報担体の基板（または基体）と
して用いるに際しては、将来の１０ギガビットオーダー
の面記録密度に対応した諸特性の確保、およびハンドリ
ングの大幅な改善が必要である。具体的には、温度およ
び湿度変動による膨張収縮の問題、マスター情報担体の
作製プロセスにおける熱安定性、寸法安定性、物理的安
定性、および化学的安定性の問題、さらには加工性の問
題、磁気転写に際して静電気による塵埃付着の問題等を
解決する必要がある。

【００２３】

【課題を解決する手段】本発明は以上の課題に鑑み、将
来実用化されるであろう１０ギガビットオーダーの面記
録密度に対応したプリフォーマット記録を実現可能にす
るマスター情報担体を提供するものであり、以下の特徴
を有する。

【００２４】第１の特徴は、基体の表面に情報信号に対
応する凹凸形状が形成され、前記凹凸形状の少なくとも
凸部表面に磁性薄膜が形成されたマスター情報担体にお
いて、前記基体が高分子材料からなる点にある。これに
より、マスター情報担体がハードディスク基板等の磁気
記録媒体の避け難い変形に追従できる。その結果、マス
ター情報担体と磁気記録媒体との全面にわたる良好な接
触状態が実現され、一括面記録を良好に行うことができ
る。

【００２５】好ましくは、前記基体が、種類の異なる高
分子材料を積層した多層構造を有することにより、単一
材料では実現できない熱安定性、寸法安定性、物理的安
定性、化学的安定性、さらには加工性を確保することが
可能となる。

【００２６】第２の特徴は、基体の表面に情報信号に対
応する凹凸形状が形成され、前記凹凸形状の少なくとも
凸部表面に磁性薄膜が形成されたマスター情報担体にお
いて、前記基体が、金属、合金およびセラミックス材料
のうちのいずれかからなる母材と前記母材の表面に形成
された高分子材料からなる表面層とを備えている点にあ
る。これにより、マスター情報担体のマクロ的な形状安
定性が向上し、マスター情報担体のハンドリング性が向
上する。

【００２７】好ましくは、前記基体が、前記母材の表面
に高分子材料からなるフィルムを貼り合わせた構造を有
する。このような構造にすることで、マスター情報担体
を容易かつ安価に製作することができる。

【００２８】あるいは、前記基体が、前記母材の表面に
モノマーまたはポリマー前駆体を塗布または流延させた
後重合された高分子材料からなる表面層を有する。この
ような構造にすることで、表面精度の高いマスター情報
担体を容易に製作することができる。

【００２９】あるいは、前記基体が、前記母材の表面に
真空蒸着によって形成した高分子材料からなる表面層を
有する。このような構造にすることで、表面精度のより
高いマスター情報担体を製作することができる。

【００３０】さらに、前記母材の表面に形成された表面
層が、種類の異なる高分子材料を積層した多層構造を有
することが好ましい。これにより、単一材料では実現で
きない熱安定性、寸法安定性、物理的安定性、化学的安
定性、さらには加工性を確保することが可能となる。ま
た、マスター情報担体のマクロ的な形状安定性が向上
し、マスター情報担体のハンドリング性が向上する。

【００３１】また、第１または第２の特徴において、前
記基体または基体表面を構成する高分子材料が、帯電し
ない程度の電気抵抗率を有することが好ましい。これに
より、マスター情報担体への塵埃の付着が抑制されるの
で、良好な面記録が可能となる。

【００３２】同様に、第１または第２の特徴において、
前記基体または基体表面を構成する高分子材料中に導電
性物質を主成分とする微粒子が配合分散されていること
が好ましい。このような構造にすることで、塵埃の付着
が抑制されるマスター情報担体を容易かつ安価に製作す
ることができる。この導電物質は、炭素を主成分とする
ことが特に好ましい。

【００３３】また、第１または第２の特徴において、前
記高分子材料からなる基体表面にさらに導電性薄膜が形
成され、前記導電性薄膜上に情報信号に対応する凹凸形
状が形成され、前記凹凸形状の少なくとも凸部表面に磁
性薄膜が形成されていることが好ましい。このような構
造にすることで、より確実な帯電防止が可能となり、塵
埃の付着がさらに抑制される。

【００３４】

【発明の実施の形態】まず、本発明のマスター情報担体
を用いたプリフォーマット記録について簡単に説明す
る。図１（ａ）に示すように、一方向に磁化されたマス
ター情報担体の表面凸部の強磁性材料より発生する記録
磁界によって、マスター情報担体の凹凸形状に対応した
磁化パターンが磁気記録媒体に記録される。つまり、マ
スター情報担体１の表面に、トラッキング用サーボ信
号、アドレス情報信号、再生クロック信号等に対応する
凹凸形状を形成し、凸部の強磁性材料を矢印４で示すよ
うに磁化する。これにより、磁気記録媒体３が矢印５で
示すように磁化される。これに対応した残留磁化が図１
（ｂ）に矢印６で示すように残ることにより、磁気記録
媒体３がプリフォーマット記録される。

【００３５】本発明によるマスター情報担体の凹凸形状
の例を断面図で図２に示す。高分子材料からなる基体７
上にマスター情報パターンに対応した凸部２および凹部
９が形成されている。凸部２の表面は強磁性材料８で構
成されている。凹部９の底面は、図２の場合は強磁性材
料８で構成されているが、図３に示すように高分子材料
からなる基体７の表面であってもよいし、図４に示すよ
うに基体７の内部に窪んでいてもよい。

【００３６】凸部２の表面を構成する強磁性材料８の凸
部分の厚さは、ビット長、磁気記録媒体の飽和磁化、ま
たは磁性層の膜厚によって異なるが、たとえば、ビット
長約１μｍ、磁気記録媒体の飽和磁化約５００ｅｍｕ／
ｃｃ、膜厚約２０ｎｍの場合は、５０ｎｍ〜５００ｎｍ
程度あればよい。強磁性材料８の材料は特に限定され
ず、磁気記録媒体に記録するための磁化を発生できる物
であればよい。

【００３７】また、強磁性材料８の形成方法は特に制限
されず、通常の蒸着法、メッキ法、スパッタリング法等
が使用できる。また、凹凸形状の形成方法についても特
に制限はなく、感光性レジスト剤を用いたリソグラフィ
技術を用い、さらに、リフトオフ法、イオンミリング
法、化学エッチング法等を用いることができる。

【００３８】マスター情報担体の凹凸形状を形成する方
法の一例として、リフトオフ法を用いる場合について説
明する。高分子基体上に感光性レジスト剤をスピンコー
ターにて厚さ約１．５μｍ塗布する。これをマスター情
報パターンに対応したマスクを用いて露光し現像して、
高分子基体上にレジストパターンを形成する。レジスト
パターンを形成した高分子基体上にＣｏ膜を約２００ｎ
ｍ形成する。Ｃｏ膜の作製条件は、たとえばスパッタリ
ング法を用いて、スパッタガス圧（Ａｒ）約５ｍＴｏｒ
ｒ、成膜速度約５０ｎｍ／ｍｉｎである。

【００３９】Ｃｏ膜を形成した後、これをアセトン等の
有機溶剤中で超音波洗浄すると、レジストと、その上に
形成されていたＣｏ膜が除去される。この結果、図３に
示すように、高分子基体７上に、レジスト剤の無かった
部分に形成されたＣｏだけが残り、この残ったＣｏがマ
スター情報担体の凸部２となる。凹部９の底面は高分子
基体７の表面と一致しており、強磁性材料８からなる凸
部２が、高分子材料からなる基体７の表面に形成された
形となる。

【００４０】基体を高分子材料とすることで、剛体基板
に形成された磁性層を有するハードディスク媒体へのプ
リフォーマットが可能となる。これは、ハードディスク
基板に比べて柔軟性に富んだ高分子基体が、ハードデス
ク基板の避け難い変形に追従するからである。

【００４１】この高分子材料基体には、高い寸法精度が
要求される。しかも、この高い寸法精度が、マスター情
報パターン形成段階、プリフォーマット記録段階および
保存段階で実現されなくてはならない。このような性能
を有する高分子材料は、現在のところ単独材料では存在
しない。たとえば、ポリイミド系、ポリアミド系樹脂は
高い熱安定性や化学的安定性を有する材料であるが、水
分を吸収して膨張する性質を持っている。また、ポリエ
チレンテレフタレート系樹脂は、吸水膨張は小さいが、
熱安定性に問題がある。また、ポリプロピレン系、テフ
ロン系樹脂は膜の付着力を確保しにくい等の問題があ
る。

【００４２】そこで、種類の異なる高分子材料を積層し
た多層構造で基体を構成することにより、それぞれの材
料の特性を活かして互いの欠点を補完することができ、
上記課題を克服して基体に要望される性能を実現するこ
とができる。

【００４３】次に、本発明のマスター情報担体の凹凸形
状を形成する方法の別の例を図５（ａ）〜（ｃ）に示
す。まず、図５（ａ）に示すように、ガラス母材１０上
に、ポリイミド溶液（トレニース：東レ製）をシクロヘ
キサノールで所定の濃度に調整したものをスピンコータ
ーで回転塗布する。この際、キュア後の厚みが１μｍと
なるように塗布厚を調整する。

【００４４】さらに、これを高温でキュアしてポリイミ
ド層１１を形成した後、図５（ｂ）に示すように、表面
にスパッタによりＣｏ膜１２を約２００ｎｍ形成する。
Ｃｏ膜の作製条件は、スパッタガス圧（Ａｒ）約５ｍＴ
ｏｒｒ、成膜速度約５０ｎｍ／ｍｉｎである。

【００４５】その後、さらに表面にフォトレジスト１３
をスピンコーターで１μｍ回転塗布し、マスター情報パ
ターンに対応したマスクを用いて露光し現像する。さら
に、図５（ｃ）に示すように、レジストが無い部分のＣ
ｏをイオンミリング装置で除去した後、残ったフォトレ
ジストを除去してマスター情報担体とする。

【００４６】別の方法として、図６に示すように、基体
７そのものに凹凸を形成し、その上に強磁性材料の層８
を形成してもよい。個々の高分子材料の欠点を克服する
ために、複数の高分子材料を積層して高分子基体として
もよい。

【００４７】さらに、金属、合金またはセラミック材料
を用いた母材の表面に高分子材料を設けて基体を構成す
ることにより、高分子材料の熱安定性を改善する効果も
期待できる。この場合、母材自体が磁気記録媒体の変形
に十分に追従することは困難であるが、基体表面の高分
子材料が磁気記録媒体の変形や表面の微妙なうねりに十
分追従すれば、マスター情報担体の各凸部の磁性薄膜が
確実に磁気記録媒体の表面の微妙なうねりに追従し、シ
ャープな磁気転写が可能になる。

【００４８】母材の表面への高分子材料層の形成法とし
て、（１）高分子フィルムの貼り合わせ、（２）母材の
表面へのモノマーやポリマー前駆体の塗布または流延、
さらにその後の重合、（３）母材表面への高分子材料の
真空蒸着による形成、等の方法を用いることができる。
この高分子材料層の形成に際しても、個々の高分子材料
の弾性、耐薬品性等の特性を補完するべく、複数の高分
子材料を積層して用いることができる。

【００４９】また、転写プロセスは、マスター情報担体
と磁気記録媒体との密着性が重要な要素となるので、塵
埃を極力取り除いた環境下で行うことが望ましい。静電
気による塵埃の吸着を防ぐ観点から、母材表面に形成す
る高分子膜に炭素を主成分とする導電材料を含ませ、帯
電しにくくすることが望ましい。あるいは、母材の表面
に形成した高分子膜の表面に、高分子の弾性を阻害しな
い程度の厚みを有する金属膜を形成してもよい。金属、
合金またはセラミック材料を用いた母材の表面に高分子
フィルムを貼り付ける場合、高分子フィルムと母材との
間に磁性薄膜を形成してもよい。

【００５０】

【発明の効果】本発明によるマスター情報担体を用いる
ことによって、磁気記録媒体、特に固定ハードディスク
媒体、リムーバブルハードディスク媒体、大容量フレキ
シブル媒体等のディスク状媒体に、短時間に効率良く、
しかも安定して、トラッキング用サーボ信号、アドレス
情報信号、再生クロック信号等のプリフォーマット記録
を行うことができる。すなわち本発明によれば、磁気記
録再生装置の分野における将来のギガビットオーダー以
上の面記録密度を担う磁気記録媒体へのプリフォーマッ
ト記録において、マスター情報担体と磁気記録媒体との
密着性を向上させ、効率よく、安定に、高密度のプリフ
ォーマット記録を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】マスター情報担体による磁気記録媒体への磁気
転写原理を示す模式図

【図２】本発明によるマスター情報担体の凹凸形状の一
例を示す断面図

【図３】マスター情報担体の凹凸形状の別の例を示す断
面図

【図４】マスター情報担体の凹凸形状の別の例を示す断
面図

【図５】マスター情報担体の表面の凹凸形状を形成する
プロセスの例を示す断面図

【図６】高分子基体の凹凸形状の上に強磁性材料を形成
したマスター情報担体の例を示す断面図

【符号の説明】

１マスター情報担体２凸部３磁気記録媒体４凸部強磁性材料の磁化方向５記録磁界６磁気記録媒体の残留磁化方向７高分子基体８強磁性材料９凹部１０ガラス母材１１ポリイミド膜１２Ｃｏ層１３フォトレジスト

フロントページの続き (72)発明者杉田龍二茨城県日立市鮎川町６−９Ｂ202 (72)発明者宮田敬三大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基体の表面に情報信号に対応する凹凸形
状が形成され、前記凹凸形状の少なくとも凸部表面に磁
性薄膜が形成されたマスター情報担体であって、前記基
体が高分子材料からなることを特徴とするマスター情報
担体。
【請求項２】前記基体が、種類の異なる高分子材料を
積層した多層構造を有することを特徴とする請求項１記
載のマスター情報担体。
【請求項３】基体の表面に情報信号に対応する凹凸形
状が形成され、前記凹凸形状の少なくとも凸部表面に磁
性薄膜が形成されたマスター情報担体であって、前記基
体が、金属、合金およびセラミックス材料のうちのいず
れかからなる母材と前記母材の表面に形成された高分子
材料からなる表面層とを備えていることを特徴とするマ
スター情報担体。
【請求項４】前記基体が、前記母材の表面に高分子材
料からなるフィルムを貼り合わせた構造を有することを
特徴とする請求項３記載のマスター情報担体。
【請求項５】前記基体が、前記母材の表面にモノマー
またはポリマー前駆体を塗布または流延させた後重合さ
れた高分子材料からなる表面層を有することを特徴とす
る請求項３記載のマスター情報担体。
【請求項６】前記基体が、前記母材の表面に真空蒸着
によって形成した高分子材料からなる表面層を有するこ
とを特徴とする請求項３記載のマスター情報担体。
【請求項７】前記母材の表面に形成された表面層が、
種類の異なる高分子材料を積層した多層構造を有するこ
とを特徴とする請求項３記載のマスター情報担体。
【請求項８】前記基体または基体表面を構成する高分
子材料が、帯電しない程度の電気抵抗率を有することを
特徴とする請求項１または３記載のマスター情報担体。
【請求項９】前記基体または基体表面を構成する高分
子材料中に導電性物質を主成分とする微粒子が配合分散
されていることを特徴とする請求項１または３記載のマ
スター情報担体。
【請求項１０】前記導電性物質が炭素を主成分とする
ことを特徴とする請求項９記載のマスター情報担体。
【請求項１１】前記高分子材料からなる基体表面にさ
らに導電性薄膜が形成され、前記導電性薄膜上に情報信
号に対応する凹凸形状が形成され、前記凹凸形状の少な
くとも凸部表面に磁性薄膜が形成されていることを特徴
とする請求項１または３記載のマスター情報担体。