JPH1032181A - 下降整流式洗浄槽 - Google Patents
下降整流式洗浄槽Info
- Publication number
- JPH1032181A JPH1032181A JP18770696A JP18770696A JPH1032181A JP H1032181 A JPH1032181 A JP H1032181A JP 18770696 A JP18770696 A JP 18770696A JP 18770696 A JP18770696 A JP 18770696A JP H1032181 A JPH1032181 A JP H1032181A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bath
- ultrasonic
- tank
- cleaning
- cleaned
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 46
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 13
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 13
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 8
- 238000012856 packing Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 230000003313 weakening effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来技術による超音波発生装置つきの洗浄槽
においては超音波発生装置の故障や洗浄槽の破損が生じ
たとき全体を交換する必要があり、修理費が嵩む。また
外槽から水層を介して間接的に超音波を作用させるもの
は超音波によって発生する気泡が内槽底に付着し、超音
波を散乱するため、被洗浄物に与えられる超音波エネル
ギを著しく減少する。そのため、大出力の超音波発生装
置が必要となる。本発明はこれら従来装置の問題点を解
決することを目的とする。 【解決手段】 本発明によれば、洗浄槽の底部に超音波
発生用振動板を装着可能のフランジ構造を設けた下降整
流式洗浄槽が提供される。
においては超音波発生装置の故障や洗浄槽の破損が生じ
たとき全体を交換する必要があり、修理費が嵩む。また
外槽から水層を介して間接的に超音波を作用させるもの
は超音波によって発生する気泡が内槽底に付着し、超音
波を散乱するため、被洗浄物に与えられる超音波エネル
ギを著しく減少する。そのため、大出力の超音波発生装
置が必要となる。本発明はこれら従来装置の問題点を解
決することを目的とする。 【解決手段】 本発明によれば、洗浄槽の底部に超音波
発生用振動板を装着可能のフランジ構造を設けた下降整
流式洗浄槽が提供される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は洗浄槽に関しており、特
にウェーハなどの洗浄に適する洗浄槽に関する。
にウェーハなどの洗浄に適する洗浄槽に関する。
【０００２】
【従来の技術】ウェーハなどの洗浄に使用る洗浄槽にお
いて洗浄効果を高めるために超音波発生装置を洗浄槽に
取り付けることは従来から提案されているが、従来は洗
浄槽の底部の板に超音波発生装置の振動子を直接に装着
するか、あるいは二重槽として外槽の底面に振動板を装
着して外槽内の水を介して洗浄槽に超音波を作用させる
方法をとっている。
いて洗浄効果を高めるために超音波発生装置を洗浄槽に
取り付けることは従来から提案されているが、従来は洗
浄槽の底部の板に超音波発生装置の振動子を直接に装着
するか、あるいは二重槽として外槽の底面に振動板を装
着して外槽内の水を介して洗浄槽に超音波を作用させる
方法をとっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】洗浄槽の底部の板に振
動子を装着する従来技術では洗浄槽のひび割れや振動子
の故障が生じたとき全体を交換する必要があり、修理費
が嵩む。また外槽から超音波を間接的に作用させる方式
では被洗浄物に与えられる超音波エネルギの減衰が余分
の槽底板を通過するために大きくなり、洗浄力が低下す
る。また洗浄槽底の外側に超音波作用によって発生する
気泡が付着してくるため、超音波が散乱して照射エネル
ギの著しい減衰をおこす。
動子を装着する従来技術では洗浄槽のひび割れや振動子
の故障が生じたとき全体を交換する必要があり、修理費
が嵩む。また外槽から超音波を間接的に作用させる方式
では被洗浄物に与えられる超音波エネルギの減衰が余分
の槽底板を通過するために大きくなり、洗浄力が低下す
る。また洗浄槽底の外側に超音波作用によって発生する
気泡が付着してくるため、超音波が散乱して照射エネル
ギの著しい減衰をおこす。
【０００４】洗浄槽の底部の板に気泡が付着蓄積するこ
との対策として洗浄槽の底部の板を水平ではなく傾斜せ
しめて気泡が離れ易くするとか、水流を吐出させて強制
的に気泡を吹払うなどの手段も提案されているが不十分
である。
との対策として洗浄槽の底部の板を水平ではなく傾斜せ
しめて気泡が離れ易くするとか、水流を吐出させて強制
的に気泡を吹払うなどの手段も提案されているが不十分
である。
【０００５】本発明は上述従来技術における課題を解決
する洗浄槽を提供することを目的とする。
する洗浄槽を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、洗浄槽
の底部に超音波発生用振動板を装着可能のフランジ構造
を設けた、下降整流式洗浄槽が提供される。
の底部に超音波発生用振動板を装着可能のフランジ構造
を設けた、下降整流式洗浄槽が提供される。
【０００７】望ましくは内槽の整流用多孔板より下方の
側壁に洗浄液を排出する排液を設ける。更に望ましくは
２個以上の洗浄液供給ポートを外槽の底部に対称的に設
け、且つ外槽の底部の位置を超音波発生用振動板装着用
フランジより上方にしてフランジのねじ締め作業を妨げ
ない距離だけ間隔をおかれた位置とする。
側壁に洗浄液を排出する排液を設ける。更に望ましくは
２個以上の洗浄液供給ポートを外槽の底部に対称的に設
け、且つ外槽の底部の位置を超音波発生用振動板装着用
フランジより上方にしてフランジのねじ締め作業を妨げ
ない距離だけ間隔をおかれた位置とする。
【０００８】望ましくは内槽の整流用多孔板の孔は孔径
１〜５ｍｍ、開孔率５％以下として全面に分散して配置
する。
１〜５ｍｍ、開孔率５％以下として全面に分散して配置
する。
【０００９】
【作用】洗浄槽の底部に超音波発生用振動板を装着可能
のフランジ構造を設けることによって、超音波振動は洗
浄槽の底部から照射され洗浄槽内部が下降流であるにも
拘わらず洗浄液内に伝播して被洗浄物に充分な超音波作
用を及ぼすことが可能である。
のフランジ構造を設けることによって、超音波振動は洗
浄槽の底部から照射され洗浄槽内部が下降流であるにも
拘わらず洗浄液内に伝播して被洗浄物に充分な超音波作
用を及ぼすことが可能である。
【００１０】超音波発生装置は洗浄槽とは別個の独立し
た部分となっており、洗浄槽の底部のフランジ構造にボ
ルトナットにより締結される。従って超音波発生装置ま
たは洗浄槽に故障が発生した場合、締結を外して故障部
分のみを修理または交換すればよい。
た部分となっており、洗浄槽の底部のフランジ構造にボ
ルトナットにより締結される。従って超音波発生装置ま
たは洗浄槽に故障が発生した場合、締結を外して故障部
分のみを修理または交換すればよい。
【００１１】
【実施例】本発明の実施例を添付図面を参照して説明す
れば、図１は本発明の実施例として示す下降整流式洗浄
槽の概略断面側面図である。
れば、図１は本発明の実施例として示す下降整流式洗浄
槽の概略断面側面図である。
【００１２】図示する下降整流式洗浄槽は、開いた上端
部を有しウェーハ等の被洗浄物を内部に収容し該被洗浄
物の下方に内槽整流用多孔板を有しさらにその下方に排
液ポートを有し下端に超音波発生用振動板を装着可能の
フランジ構造が設けられた内槽と、内槽の上部を囲んで
設けられ下端に洗浄液供給ポートを有し高さの中間位置
に外槽整流用多孔板を有する外槽と、内槽のフランジ構
造にパッキングとボルトナットとを介して連結された石
英振動板とを含み、石英振動板には超音波発生用振動子
が取り付けられ、振動子は図示しない超音波発生装置に
ケーブルを介して連結されケーブルは石英振動板取付け
用ボルトナットによって取付けられたカバーに取付けら
れたコネクタに連結される。
部を有しウェーハ等の被洗浄物を内部に収容し該被洗浄
物の下方に内槽整流用多孔板を有しさらにその下方に排
液ポートを有し下端に超音波発生用振動板を装着可能の
フランジ構造が設けられた内槽と、内槽の上部を囲んで
設けられ下端に洗浄液供給ポートを有し高さの中間位置
に外槽整流用多孔板を有する外槽と、内槽のフランジ構
造にパッキングとボルトナットとを介して連結された石
英振動板とを含み、石英振動板には超音波発生用振動子
が取り付けられ、振動子は図示しない超音波発生装置に
ケーブルを介して連結されケーブルは石英振動板取付け
用ボルトナットによって取付けられたカバーに取付けら
れたコネクタに連結される。
【００１３】内槽の上端は図示するように外槽の上端よ
り下方となるようにし、洗浄液は内槽内を下方に流れ
る。
り下方となるようにし、洗浄液は内槽内を下方に流れ
る。
【００１４】内槽整流用多孔板の孔は孔径１〜５ｍｍ、
開孔率５％以下として全面に分散して配置する。
開孔率５％以下として全面に分散して配置する。
【００１５】超音波振動により振動板面にはキャビテー
ション作用が生じ、材質によって程度の差はあるがエロ
ージョンは避けられない。エロージョンによって生ずる
微小粉は従来のオーバフロー方式の洗滌槽では液の流れ
に乗って上昇し、被洗浄物への粒子付着の原因となる。
本発明によれば、下降整流方式であるから内槽整流用多
孔板の孔の下方への縮流によってこの孔を通過して上昇
することがなく、振動板やパッキング部から微細粒子が
発生しても排液ポートから排出され、被洗浄物が粒子に
よって汚染される心配はない。
ション作用が生じ、材質によって程度の差はあるがエロ
ージョンは避けられない。エロージョンによって生ずる
微小粉は従来のオーバフロー方式の洗滌槽では液の流れ
に乗って上昇し、被洗浄物への粒子付着の原因となる。
本発明によれば、下降整流方式であるから内槽整流用多
孔板の孔の下方への縮流によってこの孔を通過して上昇
することがなく、振動板やパッキング部から微細粒子が
発生しても排液ポートから排出され、被洗浄物が粒子に
よって汚染される心配はない。
【００１６】整流板は超音波の伝播を弱める作用を持つ
が、整流板材質内の超音波伝播波長の１／２の整数倍の
厚さの場合は整流板が効率よく振動するため超音波の透
過効率が向上する。例えば石英板の場合は１０００ｋＨ
ｚの超音波を効率よく透過させるためには厚さを３ｍｍ
とすればよい。
が、整流板材質内の超音波伝播波長の１／２の整数倍の
厚さの場合は整流板が効率よく振動するため超音波の透
過効率が向上する。例えば石英板の場合は１０００ｋＨ
ｚの超音波を効率よく透過させるためには厚さを３ｍｍ
とすればよい。
【００１７】洗浄槽内を下から上に超音波を照射した場
合、液面での反射波との干渉によって定常波が形成され
る。その結果として、超音波強度の強弱が層状に形成さ
れ洗浄むらの原因となるので揺動が必要となる。しか
し、波長の短いメガソニック波（７５０〜１０００ｋＨ
ｚ）を使用すると超音波直進流が生じ、液面は絶えずゆ
らいだ状態となり、定常波は固定せず洗滌むらは起ら
ず、従って揺動は必要でなくなる。
合、液面での反射波との干渉によって定常波が形成され
る。その結果として、超音波強度の強弱が層状に形成さ
れ洗浄むらの原因となるので揺動が必要となる。しか
し、波長の短いメガソニック波（７５０〜１０００ｋＨ
ｚ）を使用すると超音波直進流が生じ、液面は絶えずゆ
らいだ状態となり、定常波は固定せず洗滌むらは起ら
ず、従って揺動は必要でなくなる。
【００１８】メガソニック波を洗滌槽の側面から照射す
る方式も考えられるが、対向する槽壁が固定されている
ので明確な定常波が形成される。従って強制的に揺動運
動を与える必要がある。
る方式も考えられるが、対向する槽壁が固定されている
ので明確な定常波が形成される。従って強制的に揺動運
動を与える必要がある。
【００１９】下方から上方に向けて超音波を照射すると
超音波の伝播方向に流れが生ずる。洗滌槽の内部の下降
整流に逆方向の流れが加わるので、超音波照射時には下
降整流が乱される。従って洗滌槽内の汚れ物質の排出が
多少損なわれる。この対策としては超音波照射の終了後
に数分間下降整流状態で通水を超音波照射を止めた状態
で行うようにすればよい。超音波作用で被洗浄物表面か
ら離された汚れ物質は下降整流によって効率よく短時間
で槽外に排出される。
超音波の伝播方向に流れが生ずる。洗滌槽の内部の下降
整流に逆方向の流れが加わるので、超音波照射時には下
降整流が乱される。従って洗滌槽内の汚れ物質の排出が
多少損なわれる。この対策としては超音波照射の終了後
に数分間下降整流状態で通水を超音波照射を止めた状態
で行うようにすればよい。超音波作用で被洗浄物表面か
ら離された汚れ物質は下降整流によって効率よく短時間
で槽外に排出される。
【００２０】
【発明の効果】本発明によれば、洗浄槽の底部に超音波
発生用振動板を装着可能のフランジ構造を設けることに
よって、超音波振動は洗浄槽の底部から照射され洗浄槽
内部が下降流であるにも拘わらず洗浄液内に伝播して被
洗浄物に充分な超音波作用を及ぼすことが可能である。
発生用振動板を装着可能のフランジ構造を設けることに
よって、超音波振動は洗浄槽の底部から照射され洗浄槽
内部が下降流であるにも拘わらず洗浄液内に伝播して被
洗浄物に充分な超音波作用を及ぼすことが可能である。
【００２１】超音波発生装置は洗浄槽とは別個の独立し
た部分となっており、洗浄槽の底部のフランジ構造にボ
ルトナットにより締結される。従って超音波発生装置ま
たは洗浄槽に故障が発生した場合、締結を外して故障部
分のみを修理または交換すればよい。
た部分となっており、洗浄槽の底部のフランジ構造にボ
ルトナットにより締結される。従って超音波発生装置ま
たは洗浄槽に故障が発生した場合、締結を外して故障部
分のみを修理または交換すればよい。
【図１】図１は本発明の実施例として示す下降整流式洗
浄槽の概略断面側面図。
浄槽の概略断面側面図。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成８年７月２５日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
Claims (4)
- 【請求項１】洗浄槽の底部に超音波発生用振動板を装着
可能のフランジ構造を設けたことを特徴とする下降整流
式洗浄槽。 - 【請求項２】内槽の整流用多孔板より下方の側壁に洗浄
液を排出する排液ポートを設けたことを特徴とする請求
項１に記載の下降整流式洗浄槽。 - 【請求項３】２個以上の洗浄液供給ポートが外槽の底部
に対称的に設けられ、且つ外槽の底部の位置を超音波発
生用振動板装着用フランジより上方にしてフランジのね
じ締め作業を妨げない距離だけ間隔をおかれた位置とし
たことを特徴とする請求項１に記載の下降整流式洗浄
槽。 - 【請求項４】内槽の整流用多孔板の孔は孔径１〜５ｍ
ｍ、開孔率５％以下として全面に分散して配置したこと
を特徴とする請求項１に記載の下降整流式洗浄槽。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18770696A JPH1032181A (ja) | 1996-07-17 | 1996-07-17 | 下降整流式洗浄槽 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18770696A JPH1032181A (ja) | 1996-07-17 | 1996-07-17 | 下降整流式洗浄槽 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1032181A true JPH1032181A (ja) | 1998-02-03 |
Family
ID=16210749
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18770696A Pending JPH1032181A (ja) | 1996-07-17 | 1996-07-17 | 下降整流式洗浄槽 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1032181A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100489020B1 (ko) * | 2002-06-28 | 2005-05-17 | 주식회사 울쏘하이텍 | 수조에 체결되는 초음파진동장치 |
-
1996
- 1996-07-17 JP JP18770696A patent/JPH1032181A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100489020B1 (ko) * | 2002-06-28 | 2005-05-17 | 주식회사 울쏘하이텍 | 수조에 체결되는 초음파진동장치 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6644327B1 (en) | Ultrasonic cleaner and wet treatment nozzle comprising the same | |
| FI99089C (fi) | Ultraäänilaite | |
| JPH0855827A (ja) | ウェーハカセットおよびこれを使用した洗浄装置 | |
| WO2005006936A1 (en) | Three-dimentional ultrasonic generating washing device | |
| JP4623706B2 (ja) | 超音波洗浄処理装置 | |
| JPH049670A (ja) | 分析装置 | |
| US20030106566A1 (en) | Method and apparatus for cleaning substrates | |
| JP5266277B2 (ja) | 浴槽ミスト洗浄装置を用いた洗浄方法 | |
| CN209792148U (zh) | 一种中药用超声波清洗器 | |
| KR100242942B1 (ko) | 다중 발진 초음파 세정장치 | |
| JP2008223151A (ja) | 製紙用スクリーン装置 | |
| JP6788811B2 (ja) | 排水装置 | |
| CN210386738U (zh) | 一种化工生产用除沫器清洗装置 | |
| CN222427646U (zh) | 一种带有冲洗功能的pvdf超滤膜装置 | |
| KR100489020B1 (ko) | 수조에 체결되는 초음파진동장치 | |
| JP2020116500A (ja) | 超音波洗浄方法及び超音波洗浄装置 | |
| JPH0344836B2 (ja) | ||
| JP2004154771A (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| JP2020176477A (ja) | 排水装置 | |
| JPH0871516A (ja) | 超音波洗浄装置における騒音防止装置 | |
| JP5199536B2 (ja) | 浴槽ミスト洗浄装置 | |
| KR100551413B1 (ko) | 양면 메가소닉 세정장치 | |
| KR200180913Y1 (ko) | 불판 세척장치 | |
| JP2006198525A (ja) | 基板洗浄装置 | |
| JP2003205890A (ja) | 超音波海生生物付着防止装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20050607 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050621 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20051025 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |