JPH10323558A - 紫外線照射ヘッドおよびそれを備えた紫外線照射装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 カバー内のオゾン濃度を均一にすることがで
きる紫外線照射ヘッドを提供する。 【解決手段】 一方向に延びる形状を持ち、対象物の被
照射面に対して平行に配置される紫外線ランプ１８１
と、この紫外線ランプ１８１を覆うとともに上記対象物
に向かって開いた箱状の内カバー１０と、この内カバー
１０の外側を離間して覆う箱状の外カバー２とを備え
る。内カバー１０と外カバー２との間の隙間に、上記一
方向に関して複数の排気流路１８ａ，１８ｂ₁，１８
ｂ₂，…，１８ｆ₁，１８ｆ₂が配列され、上記各排気流
路の排気抵抗が互いに等しく設定されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、大気中で対象物
に対向して紫外線を照射する紫外線照射ヘッドおよびそ
れを備えた紫外線照射装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】最近、紫外線照射によるオゾン発生を利
用した表面洗浄、有機材料のエッチング等の技術が注目
されている。

【０００３】従来の紫外線照射装置としては、図１８に
示すように、平行に並ぶ複数の紫外線ランプ５８１と、
これらの紫外線ランプ５８１を覆う二重のカバー５１
０，５０２とを有する紫外線照射ヘッド５０１を備えた
ものが知られている。この図１８およびそれを右側方か
ら見た図１９（外カバー５０２の手前の部分を切り欠い
て示す）から分かるように、内カバー５１０は、紫外線
ランプ５８１に対して平行に配された矩形の天板５１１
と、この天板５１１の各辺に垂直に連なる矩形の側板５
１２，５１３，５１４および５１５とからなっている。
外カバー５０２は、内カバーの天板５１１，側板５１
２，５１３，５１４および５１５に対して、それぞれ隙
間５１９，５１８ｃ，５１８ｄ，５１８ａ，５１８ｂを
もって対向する矩形の天板５０３，矩形の側板５０４，
５０５，５０６および５０７とからなっている。外カバ
ーの側板５０４，５０５，５０６，５０７の下縁は、対
向する内カバーの側板５１２，５１３，５１４，５１５
の下縁よりも下方に位置している。

【０００４】この紫外線照射ヘッド５０１は、対象物の
被照射面（図示せず）に対して外カバー５０２の下縁が
若干の隙間をもつように配置される。そして、紫外線ラ
ンプ５８１から対象物へ向けて紫外線が照射される。こ
のとき、紫外線照射によって対象物と内カバー５１０と
の間に生じたオゾンは、内カバー５１０と外カバー５０
２との間の隙間５１８ａ，５１８ｂ，５１８ｃ，５１８
ｄ，５１９と、外カバー５０２の天板５０３の中央を貫
通する排気口５０８とを通して排気され、適当なオゾン
分解装置へ導かれる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
紫外線照射ヘッドでは、図１９に示すように、紫外線ラ
ンプ５８１の長手方向両端付近の領域と中央付近の領域
との間で排気経路の長さが異なる。すなわち、紫外線ラ
ンプ５８１の長手方向両端から排気口５０８までの排気
経路Ｐ２，Ｐ３は長く、紫外線ランプ５８１の中央付近
から排気口５０８までの排気経路Ｐ１は短い。このた
め、紫外線ランプ５８１の長手方向両端付近の領域と中
央付近の領域との間で、オゾン濃度が不均一になるとい
う問題がある。この結果、対象物の被照射面における洗
浄やエッチング（以下、単に「洗浄」という。）の程度
がばらつく。

【０００６】そこで、この発明の目的は、カバー内のオ
ゾン濃度を均一にすることができる紫外線照射ヘッドを
提供することにある。また、対象物の被照射面における
洗浄の程度を高レベルに均一化できる紫外線照射装置を
提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に記載の紫外線照射ヘッドは、一方向に延
びる形状を持ち、対象物の被照射面に対して平行に配置
される紫外線ランプと、この紫外線ランプを覆うととも
に上記対象物に向かって開いた箱状の内カバーと、この
内カバーの外側を離間して覆う箱状の外カバーとを備
え、上記紫外線ランプから上記対象物へ向けて紫外線を
照射するとともに、上記紫外線ランプと対象物との間に
生じたオゾンを上記内カバーと外カバーとの間の隙間
と、上記外カバーの天板を貫通する排気口とを通して排
気する紫外線照射ヘッドにおいて、上記内カバーと上記
外カバーとの間の隙間に、上記一方向に関して複数の排
気流路が形成され、上記各排気流路の排気抵抗が互いに
等しく設定されていることを特徴とする。

【０００８】この請求項１の紫外線照射ヘッドでは、紫
外線ランプが延びる一方向（長手方向）に沿って内カバ
ーと外カバーが細長く形成される。紫外線照射によって
対象物と内カバーとの間に生じたオゾンは、上記内カバ
ーと外カバーとの間の隙間に形成された各排気流路と、
外カバーの排気口とを通して排気される。ここで、上記
各排気流路の排気抵抗が互いに等しく設定されているの
で、オゾンは上記一方向に関して均等に排気される。し
たがって、カバー内のオゾン濃度が均一になる。この結
果、対象物の照射面における洗浄の程度を高レベルに均
一にすることができる。

【０００９】なお、請求項１に記載の紫外線照射ヘッド
において、上記複数の排気流路は、上記内カバーの側板
と上記外カバーの側板との間の隙間に形成されているの
が望ましい。

【００１０】このような紫外線照射ヘッドでは、上記内
カバーの側板と上記外カバーの側板との間の隙間を例え
ば上記一方向に関して仕切ることによって、上記各排気
流路の排気抵抗が互いに等しい状態に簡単に設定され
る。

【００１１】さらに、上記内カバーの側板と上記外カバ
ーの側板との間の隙間は、上記複数の排気流路を形成す
るように上記一方向に対して垂直な仕切板によって一定
の間隔で仕切られ、上記内カバーの天板は上記外カバー
の側板まで延びる縁部を有し、この縁部の上記仕切板の
間に対応する箇所にそれぞれ、上記各排気流路の排気抵
抗を互いに等しくする寸法を持つ貫通穴が設けられてい
るのが望ましい。

【００１２】このような紫外線照射ヘッドでは、上記紫
外線ランプの長手方向両端付近の領域で上記縁部の貫通
穴の寸法を大きくする一方、上記紫外線ランプの中央付
近の領域で上記縁部の貫通穴の寸法を小さくすることに
よって、上記各排気流路の排気抵抗が互いに等しい状態
に簡単に設定される。

【００１３】また、請求項１に記載の紫外線照射ヘッド
において、上記複数の排気流路は、上記内カバーの側板
と上記外カバーの側板との間の隙間に形成され、上記内
カバーの側板と上記外カバーの側板との間の隙間は、上
記複数の排気流路を形成するように上記両カバーの側板
に垂直な仕切板によって仕切られ、上記各仕切板は、上
記各排気流路の排気抵抗を互いに等しくするように上記
一方向に対して傾斜されているのが望ましい。

【００１４】このような紫外線照射ヘッドでは、上記各
仕切板を傾斜させて、上記紫外線ランプの長手方向両端
付近の領域で上記各排気流路を上開きにする一方、上記
紫外線ランプの中央付近の領域で上記各排気流路を下開
きにすることによって、上記各排気流路の排気抵抗が互
いに等しい状態に簡単に設定される。

【００１５】また、請求項１に記載の紫外線照射ヘッド
において、上記各排気流路は、上記外カバーの排気口か
ら上記内カバーと外カバーとの間の隙間に挿入された柔
軟性を有するチューブからなり、上記チューブの吸入口
が上記一方向に関して所定の間隔で配置されているのが
望ましい。

【００１６】このような紫外線照射ヘッドでは、上記チ
ューブの長さや太さを互いに異なるものとすることによ
って、上記各排気流路の排気抵抗が互いに等しい状態に
簡単に設定される。

【００１７】また、請求項１に記載の紫外線照射ヘッド
において、上記複数の排気流路は、上記内カバーの天板
と上記外カバーの天板との間の隙間に形成されているの
が望ましい。

【００１８】このような紫外線照射ヘッドでは、上記各
排気流路の排気抵抗が互いに等しい状態に簡単に設定さ
れる。

【００１９】さらに、上記内カバーの天板と上記外カバ
ーの天板との間の隙間に、上記天板と平行に中間板が設
けられ、上記中間板に、上記複数の排気流路を形成する
ように上記一方向に並ぶ複数の貫通穴が形成され、上記
中間板の貫通穴は、上記各排気流路の排気抵抗を互いに
等しくするように互いに異なる寸法に設定されているの
が望ましい。

【００２０】このような紫外線照射ヘッドでは、上記紫
外線ランプの長手方向両端付近の領域で上記中間板の貫
通穴の寸法を大きくする一方、上記紫外線ランプの中央
付近の領域で上記中間板の貫通穴の寸法を小さくするこ
とによって、上記各排気流路の排気抵抗が互いに等しい
状態に簡単に設定される。

【００２１】請求項２に記載の紫外線照射ヘッドは、一
方向に延びる形状を持ち、対象物の被照射面に対して平
行に配置される紫外線ランプと、この紫外線ランプを覆
うとともに上記対象物に向かって開いた箱状の内カバー
と、この内カバーの外側を離間して覆う箱状の外カバー
とを備え、上記紫外線ランプから上記対象物へ向けて紫
外線を照射するとともに、上記紫外線ランプと対象物と
の間に生じたオゾンを上記内カバーと外カバーとの間の
隙間と、上記外カバーの天板を貫通する排気口とを通し
て排気する紫外線照射ヘッドにおいて、上記内カバーの
側板の下縁が、上記一方向に関して排気抵抗を等しくす
るように上記対象物へ向かって凸に湾曲していることを
特徴とする。

【００２２】この請求項２の紫外線照射ヘッドでは、請
求項１と同様に、紫外線ランプが延びる一方向（長手方
向）に沿って内カバーと外カバーが細長く形成される。
紫外線照射によって対象物と内カバーとの間に生じたオ
ゾンは、上記内カバーと外カバーとの間の隙間と、外カ
バーの排気口とを通して排気される。ここで、上記内カ
バーの側板の下縁が対象物へ向かって凸に湾曲して上記
一方向に関して排気抵抗が等しく設定されているので、
オゾンは上記一方向に関して均等に排気される。したが
って、カバー内のオゾン濃度が均一になる。この結果、
対象物の照射面における洗浄の程度を高レベルに均一に
することができる。

【００２３】請求項３に記載の紫外線照射ヘッドは、一
方向に延びる形状を持ち、対象物の被照射面に対して平
行に配置される紫外線ランプと、この紫外線ランプを覆
うとともに上記対象物に向かって開いた箱状の内カバー
と、この内カバーの外側を離間して覆う箱状の外カバー
とを備え、上記紫外線ランプから上記対象物へ向けて紫
外線を照射するとともに、上記紫外線ランプと対象物と
の間に生じたオゾンを上記内カバーと外カバーとの間の
隙間と、上記外カバーの天板を貫通する排気口とを通し
て排気する紫外線照射ヘッドにおいて、上記内カバーの
側板の下縁に、上記一方向に関して排気抵抗を等しくす
るように互いに寸法が異なる複数の切り欠きが形成され
ていることを特徴とする。

【００２４】この請求項３の紫外線照射ヘッドでは、請
求項１と同様に、紫外線ランプが延びる一方向（長手方
向）に沿って内カバーと外カバーが細長く形成される。
紫外線照射によって対象物と内カバーとの間に生じたオ
ゾンは、上記内カバーと外カバーとの間の隙間と、外カ
バーの排気口とを通して排気される。ここで、上記内カ
バーの側板の下縁に、上記一方向に関して排気抵抗を等
しくするように互いに寸法が異なる複数の切り欠きが形
成されているので、オゾンは上記一方向に関して均等に
排気される。したがって、カバー内のオゾン濃度が均一
になる。この結果、対象物の照射面における洗浄の程度
を高レベルに均一にすることができる。

【００２５】請求項４に記載の紫外線照射ヘッドは、一
方向に延びる形状を持ち、対象物の被照射面に対して平
行に配置される紫外線ランプと、この紫外線ランプを覆
うとともに上記対象物に向かって開いた箱状の内カバー
と、この内カバーの外側を離間して覆う箱状の外カバー
とを備え、上記紫外線ランプから上記対象物へ向けて紫
外線を照射するとともに、上記紫外線ランプと対象物と
の間に生じたオゾンを上記内カバーと外カバーとの間の
隙間と、上記外カバーの天板を貫通する排気口とを通し
て排気する紫外線照射ヘッドにおいて、上記外カバーの
排気口は上記一方向に関して複数形成され、上記各排気
口に排気マニホルドの枝管がそれぞれ接続され、上記排
気マニホルドの各枝管を通る排気流路の排気抵抗が互い
に等しく設定されていることを特徴とする。

【００２６】この請求項４の紫外線照射ヘッドでは、請
求項１と同様に、紫外線ランプが延びる一方向（長手方
向）に沿って内カバーと外カバーが細長く形成される。
紫外線照射によって対象物と内カバーとの間に生じたオ
ゾンは、上記内カバーと外カバーとの間の隙間と、外カ
バーの上記一方向に関して複数形成された排気口と、各
排気口にそれぞれ枝管が接続された排気マニホルドとを
通して排気される。なお、上記排気マニホルドの全ての
枝管は一つの排気管に合流する。ここで、上記排気マニ
ホルドの各枝管を通る排気流路の排気抵抗が互いに等し
く設定されているので、オゾンは上記一方向に関して均
等に排気される。したがって、カバー内のオゾン濃度が
均一になる。この結果、対象物の照射面における洗浄の
程度を高レベルに均一にすることができる。

【００２７】また、請求項１乃至４のいずれか一つに記
載の紫外線照射ヘッドにおいて、上記内カバーの天板と
上記紫外線ランプとの間に、空気を供給する給気部が設
けられているのが望ましい。

【００２８】このような紫外線照射ヘッドでは、給気部
によって紫外線ランプの周囲温度が一定範囲に保たれる
ので、紫外線ランプの照度が高レベルに保たれ、かつ、
カバー内のオゾン濃度が均一になる。したがって、紫外
線照射による洗浄の程度が高レベルに均一になる。

【００２９】さらに、上記給気部は上記一方向に延びる
給気管からなり、上記給気管の管壁に、上記一方向に関
して複数の給気流路を形成するように上記一方向に並ぶ
複数の貫通穴が形成されているのが望ましい。

【００３０】このような紫外線照射ヘッドでは、給気管
の複数の貫通穴から上記対象物と紫外線ランプとの間に
空気が供給される。すなわち、空気が上記一方向に関し
て複数の給気流路を通して供給される。したがって、空
気が１カ所から供給される場合に比して、紫外線ランプ
の周囲温度が上記一方向に関して均等に保たれて上記紫
外線ランプの照度が上記一方向に関して均等かつ高レベ
ルに保たれる。しかも、オゾンが上記一方向に関して均
等に生成されてカバー内のオゾン濃度が均一になる。こ
の結果、対象物の照射面における洗浄の程度を高レベル
に均一にすることができる。

【００３１】また、上記内カバーの天板と上記紫外線ラ
ンプとの間の隙間に、上記天板と平行に給気板が設けら
れ、上記給気板に、上記一方向に関して複数の給気流路
を形成するように上記一方向に並ぶ複数の貫通穴が形成
されているのが望ましい。

【００３２】このような紫外線照射ヘッドでは、給気板
の複数の貫通穴から上記対象物と紫外線ランプとの間に
空気が供給される。すなわち、空気が上記一方向に関し
て複数の給気流路を通して供給される。したがって、空
気が１カ所から供給される場合に比して、紫外線ランプ
の周囲温度が上記一方向に関して均等に保たれて上記紫
外線ランプの照度が上記一方向に関して均等かつ高レベ
ルに保たれる。しかも、オゾンが上記一方向に関して均
等に生成されてカバー内のオゾン濃度が均一になる。こ
の結果、対象物の照射面における洗浄の程度を高レベル
に均一にすることができる。

【００３３】さらに、上記給気板の貫通穴は、上記各給
気流路の給気抵抗を互いに等しくするように互いに異な
る寸法に設定されているのが望ましい。

【００３４】このような紫外線照射ヘッドでは、上記紫
外線ランプの長手方向両端付近の領域で上記給気板の貫
通穴の寸法を大きくする一方、上記紫外線ランプの中央
付近の領域で上記給気板の貫通穴の寸法を小さくするこ
とによって、上記各給気流路の給気抵抗が互いに等しい
状態に簡単に設定される。したがって、紫外線ランプの
照度が上記一方向に関してさらに均等かつ高レベルに保
たれ、カバー内のオゾン濃度がさらに均一になる。この
結果、対象物の照射面における洗浄の程度をさらに高レ
ベルに均一にすることができる。

【００３５】請求項５に記載の紫外線照射装置は、一方
向に延びる形状を持ち、対象物の被照射面に対して平行
に配置される紫外線ランプと、この紫外線ランプを覆う
とともに上記対象物に向かって開いた箱状の内カバー
と、この内カバーの外側を離間して覆う箱状の外カバー
とを備え、上記紫外線ランプから上記対象物へ向けて紫
外線を照射するとともに、上記紫外線ランプと対象物と
の間に生じたオゾンを上記内カバーと外カバーとの間の
隙間と、上記外カバーの天板を貫通する排気口とを通し
て排気する紫外線照射ヘッドを備えた紫外線照射装置で
あって、上記紫外線ランプの照度を検出する照度センサ
と、上記紫外線ランプに対する印加電圧を検出する電圧
計と、上記紫外線ランプの管壁温度を検出する温度セン
サと、上記照度センサ、電圧計および温度センサの出力
に基づいて、上記紫外線ランプを冷却するための空気供
給量または水供給量のうちの少なくとも一つおよび上記
排気口を通る排気量を制御する制御手段を備えたことを
特徴とする。

【００３６】この請求項５の紫外線照射装置では、制御
手段が、照度センサ、電圧計および温度センサの出力に
基づいて、紫外線ランプを冷却するための空気供給量ま
たは水供給量のうちの少なくとも一つおよび排気口を通
る排気量を制御するので、紫外線ランプによる照度や対
象物と内カバーとの間のオゾン濃度が精度良く制御され
る。この結果、対象物の照射面における洗浄の程度を高
レベルに均一にすることができる。

【００３７】なお、請求項５に記載の紫外線照射装置に
おいて、上記制御手段は、上記照度センサ、電圧計およ
び温度センサの出力に基づいて、さらに上記紫外線ラン
プを冷却するための水量を制御するのが望ましい。

【００３８】このような紫外線照射装置では、ランプ管
壁の温度及びランプ周囲の雰囲気温度が精度良く制御さ
れる。この結果、ランプの照度が高レベルとなり、対象
物の照射面における洗浄の程度を高くすることができ
る。

【００３９】また、上記制御手段は、上記紫外線ランプ
の管壁温度を時間経過につれて所定のパターンで制御す
るプログラム制御部を有するのが望ましい。

【００４０】このような紫外線照射装置では、プログラ
ム制御部によって紫外線ランプの管壁温度が最適レベル
に設定されるので、高い照度が得られる。この結果、対
象物の照射面における洗浄効果が高まる。

【００４１】請求項６に記載の紫外線照射装置は、一方
向に延びる形状を持ち、対象物の被照射面に対して平行
に配置される紫外線ランプと、この紫外線ランプを覆う
とともに上記対象物に向かって開いた箱状の内カバー
と、この内カバーの外側を離間して覆う箱状の外カバー
とを備え、上記紫外線ランプから上記対象物へ向けて紫
外線を照射するとともに、上記紫外線ランプと対象物と
の間に生じたオゾンを上記内カバーと外カバーとの間の
隙間と、上記外カバーの天板を貫通する排気口とを通し
て排気する紫外線照射ヘッドを備えた紫外線照射装置で
あって、上記紫外線ランプの上記一方向の寸法は上記対
象物の上記一方向の寸法よりも短く設定され、上記紫外
線照射ヘッドを上記対象物の表面に沿って移動させるヘ
ッド移動手段を備えたことを特徴とする。

【００４２】この請求項６の紫外線照射装置では、ヘッ
ド移動手段によって紫外線照射ヘッドを対象物の表面に
沿って移動させる。これにより、上記対象物の表面全域
が紫外線照射を受けて洗浄される。ここで、紫外線ラン
プの上記一方向の寸法は対象物の上記一方向の寸法より
も何分の一かに短く設定される。したがって、紫外線照
射ヘッドが小型化され、紫外線照射ヘッドの取り扱いや
取り付けが容易になる。また、紫外線ランプの上記一方
向の寸法を上記対象物の上記一方向の寸法と略等しくす
る場合に比して、紫外線ランプが安価なもので済む。紫
外線ランプは寿命が尽きる前に定期的に交換する必要が
あることから、紫外線照射装置のランニングコストが低
減される。

【００４３】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を詳
細に説明する。

【００４４】図１は一実施形態の紫外線照射ヘッド１を
斜め上方から見たところを示している。図２はその紫外
線照射ヘッド１の内カバー１０を示し、図３はその紫外
線照射ヘッド１の長手方向（図３における左右方向）の
縦断面を示している。

【００４５】図３から分かるように、この紫外線照射ヘ
ッド１は、対象物の被照射面に対して平行に配置される
円筒状の紫外線ランプ１８１と、この紫外線ランプ１８
１を覆うとともに上記対象物に向かって開いた箱状の内
カバー１０と、この内カバー１０の外側を離間して覆う
箱状の外カバー２とを備えている。１８２は紫外線ラン
プ１８１の照度を検出する照度センサ、１８３はエア冷
却用ノズル、１８４は紫外線ランプ１８１の管壁温度を
検出する温度センサ、１８５は紫外線ランプ１８１を水
冷する水冷用ブロック、１８６は紫外線ランプ１８１の
周囲温度を検出する温度センサをそれぞれ示している。

【００４６】図１および図２から分かるように、内カバ
ー１０と外カバー２は一方向（長手方向）に細長い形状
を有している。外カバー２は、中央に排気口としての排
気筒８を有する矩形の天板３と、この天板３の各辺に垂
直に連なる矩形の側板４，５，６，７とからなってい
る。内カバー１０は、外カバー２の天板３に対して隙間
をもって平行に配された矩形の天板１１と、この天板１
１に垂直に連なり、外カバー２の側板４，５，６，７に
それぞれ隙間をもって平行に配された矩形の側板１２，
１３，１４，１５を有している。なお、外カバー２の側
板４，５，６，７の下縁は、対向する内カバー１０の側
板１２，１３，１４，１５の下縁よりも下方に位置して
いる（後述する各実施形態でも同様。）。

【００４７】内カバー１０の天板１１の縁部１１ａ，１
１ｂ，１１ｃ，１１ｄは、対向する外カバー２の側板
４，５，６，７に達するまで延在している。内カバー１
０の長手方向に延びる側板１４，１５と天板１１の長手
方向に延びる縁部１１ｃ，１１ｄに対して垂直に、上記
長手方向に関して一定の間隔で仕切板１６，１６，…が
取り付けられている。この縁部１１ｃ，１１ｄの仕切板
１６の間に対応する箇所にそれぞれ貫通穴１７ａ，１７
ｂ₁，１７ｂ₂，…，１７ｅ₁，１７ｅ₂が設けられてい
る。これにより、図４および図５に示すように、内カバ
ー１０の側板１４，１５と外カバー２の側板６，７との
間の隙間に、上記長手方向に並ぶ複数の排気流路１８
ａ，１８ｂ₁，１８ｂ₂，…，１８ｅ₁，１８ｅ₂が形成さ
れている。また、縁部１１ａ，１１ｂにも、それぞれ複
数の貫通穴１７ｆ₁，…，１７ｆ₂，…が設けられてい
る。これにより、内カバー１０の側板１２，１３と外カ
バー２の側板４，５との間の隙間にも、それぞれ複数の
排気流路１８ｆ₁，…，１８ｆ₂，…が形成されている。
紫外線ランプ１８１の長手方向両端付近の領域で縁部の
貫通穴…，１７ｅ₁，１７ｅ₂，１７ｆ₁，１７ｆ₂の寸法
を段階的に大きくする一方、紫外線ランプ１８１の中央
付近の領域で縁部の貫通穴１７ａ，１７ｂ₁，１７ｂ₂，
…の寸法を段階的に小さくすることによって、各排気流
路１８ａ，１８ｂ₁，１８ｂ₂，…，１８ｅ₁，１８ｅ₂，
１８ｆ₁，１８ｆ₂の排気抵抗が互いに等しい状態に設定
されている。

【００４８】この紫外線照射ヘッド１は、対象物の被照
射面（図示せず）に対して外カバー２の下縁が若干の隙
間をもつように配置される。そして、紫外線ランプ１８
１から対象物へ向けて紫外線が照射される。このとき、
紫外線照射によって対象物と内カバー１０との間に生じ
たオゾンは、内カバー１０の側板と外カバー２の側板と
の間の隙間に形成された各排気流路１８ａ，１８ｂ₁，
１８ｂ₂，…，１８ｅ₁，１８ｅ₂，１８ｆ₁，１８ｆ
₂と、内カバー１０の天板１１と外カバー２の天板３と
の間の隙間１９と、外カバー２の天板中央の排気筒８と
を通して排気され、図示しない適当なオゾン分解装置へ
導かれる。ここで、上述のように各排気流路１８ａ，１
８ｂ₁，１８ｂ₂，…，１８ｅ₁，１８ｅ₂，１８ｆ₁，１
８ｆ₂の排気抵抗が互いに等しく設定されているので、
オゾンは上記長手方向に関して均等に排気される。した
がって、カバー内のオゾン濃度を均一にすることがで
き、対象物の被照射面における洗浄の程度を高レベルに
均一にすることができる。

【００４９】図６(a)，(b)，(c)および(d)は上記紫外線
照射ヘッドの変形例を示している。なお、図１〜図４と
同一の構成要素には同一の符号を付して説明を省略す
る。

【００５０】図６(a)の紫外線照射ヘッドでは、内カバ
ー２０は、矩形の天板２１と、長手方向両端の矩形の側
板２２，２３と、長手方向に延びる一対の側板２５（図
中、奥の側板を省略している）とからなっている。内カ
バー２０の側板２５の下縁２５ａを対象物へ向かって凸
に湾曲させて、長手方向に関して排気抵抗を等しくする
ようにしている。

【００５１】図６(b)の紫外線照射ヘッドでは、内カバ
ー３０は、矩形の天板３１と、長手方向両端の矩形の側
板３２，３３と、長手方向に延びる一対の側板３５（図
中、奥の側板を省略している）とからなっている。内カ
バー３０の側板３５の下縁に、長手方向に関して排気抵
抗を等しくするように複数の切り欠き３５ａ，３５
ｂ₁，３５ｂ₂，…，３５ｄ₁，３５ｄ₂が配列されてい
る。すなわち、長手方向両端付近の領域で切り欠き…，
３５ｄ₁，３５ｄ₂の寸法を段階的に大きくする一方、長
手方向中央付近の領域で切り欠き３５ａ，３５ｂ₁，３
５ｂ₂，…の寸法を段階的に小さくしている。これによ
り、長手方向に関して排気抵抗を等しくするようにして
いる。

【００５２】図６(c)の紫外線照射ヘッドでは、内カバ
ー４０は、矩形の天板４１と、長手方向両端の矩形の側
板４２，４３と、長手方向に延びる一対の矩形の側板４
５（図中、奥の側板を省略している）とを有している。
内カバー４０の側板４５と外カバー２の側板６，７（図
１参照）との間の隙間は、複数の排気流路４７ａ，４７
ｂ₁，４７ｂ₂，…，４７ｆ₁，４７ｆ₂を形成するように
両カバー４０，２の側板４５，６，７に垂直な仕切板４
６，４６，…によって仕切られている。

【００５３】各仕切板４６，４６，…は、各排気流路４
７ａ，４７ｂ₁，４７ｂ₂，…，４７ｆ₁，４７ｆ₂の排気
抵抗を互いに等しくするように長手方向に対して傾斜さ
れている。すなわち、長手方向両端付近の領域で各排気
流路…，４７ｅ₁，４７ｅ₂，４７ｆ₁，４７ｆ₂を段階的
に上開きにする一方、紫外線ランプの中央付近の領域で
各排気流路４７ａ，４７ｂ₁，４７ｂ₂，…を段階的に下
開きにすることにより、各排気流路の排気抵抗を互いに
等しくしている。

【００５４】図６(d)の紫外線照射ヘッドでは、内カバ
ー５０は、矩形の天板５１と、長手方向両端の矩形の側
板５２，５３と、長手方向に延びる一対の矩形の側板５
５（図中、奥の側板を省略している）とを有している。
各排気流路は、外カバー２の排気筒８から内カバー５０
と外カバー２との間の隙間に挿入された柔軟性を有する
チューブ５７ａ，５７ｂ₁，５７ｂ₂，…，５７ｈ₁，５
７ｈ₂からなっている。これらのチューブ５７ａ，５７
ｂ₁，５７ｂ₂，…，５７ｈ₁，５７ｈ₂の吸入口は長手方
向に関して一定間隔で配置されている。これにより、各
排気流路の排気抵抗が互いに等しい状態に設定されてい
る。

【００５５】これら図６(a)〜(d)の紫外線照射ヘッドに
よっても、カバー内のオゾン濃度を均一にすることがで
き、対象物の被照射面における洗浄の程度を高レベルに
均一にすることができる。

【００５６】図７(b)は別の実施形態の紫外線照射ヘッ
ド６１を斜め上方から見たところを示し、同図(a)はそ
の紫外線照射ヘッド６１の長手方向に平行な縦断面を示
している。

【００５７】この紫外線照射ヘッド６１は、一方向（長
手方向）に延びる形状を持ち、対象物の被照射面に対し
て平行に配置される紫外線ランプ１８１Ａ，１８１Ｂ，
１８１Ｃと、この紫外線ランプ１８１Ａ，１８１Ｂ，１
８１Ｃを覆うとともに対象物に向かって開いた箱状の内
カバー７０と、この内カバー７０の外側を離間して覆う
箱状の外カバー６２とを備えている。

【００５８】内カバー７０は、矩形の天板７１と、長手
方向両端の矩形の側板７２，７３と、長手方向に延びる
一対の矩形の側板（図示せず）とからなっている。

【００５９】外カバー６２は、長手方向に並ぶ複数（こ
の例では４つ）の排気口６９ａ，６９Ｂ，６９Ｃ，６９
Ｄを有する矩形の天板６３と、長手方向両端の矩形の側
板６４，６５と、長手方向に延びる一対の矩形の側板６
６，６７とからなっている。天板６３の各排気口６９
Ａ，６９Ｂ，６９Ｃ，６９Ｄに、排気マニホルド６８の
枝管６８Ａ，６８Ｂ，６８Ｃ，６８Ｄがそれぞれ接続さ
れている。この排気マニホルド６８は、対応する排気口
６９Ａ，６９Ｂ，６９Ｃ，６９Ｄと等しい直径を持つ枝
管６８Ａ，６８Ｂ，６８Ｃ，６８Ｄと、これらを合流さ
せるための連結管６８Ｅと、連結管６８Ｅの中央に接続
された一つの排気管６８Ｆとからなっている。長手方向
両端付近の排気口６９Ａ，６９Ｄの直径は大きくされる
一方、長手方向中央付近の排気口６９Ｂ，６９Ｃの直径
は小さくされている。これにより、排気マニホルド６８
の各枝管６８Ａ，６８Ｂ，６８Ｃ，６８Ｄを通る排気流
路の排気抵抗が互いに等しく設定されている。

【００６０】この紫外線照射ヘッド６１では、紫外線照
射によって対象物と内カバー７０との間に生じたオゾン
は、内カバー７０と外カバー６２との間の隙間７８，７
９と、外カバー６２の排気口６９Ａ，６９Ｂ，６９Ｃ，
６９Ｄと、排気マニホルド６８の枝管６８Ａ，６８Ｂ，
６８Ｃ，６８Ｄ、連結管６８Ｅおよび排気管６８Ｆとを
通して排気される。ここで、上述のように排気マニホル
ド６８の各枝管６８Ａ，６８Ｂ，６８Ｃ，６８Ｄを通る
排気流路の排気抵抗が互いに等しく設定されているの
で、オゾンは長手方向に関して均等に排気される。した
がって、カバー内のオゾン濃度を均一にすることがで
き、対象物の被照射面における洗浄の程度を高レベルに
均一にすることができる。

【００６１】図８はさらに別の実施形態の紫外線照射ヘ
ッド８１の長手方向に平行な縦断面を示している。

【００６２】この紫外線照射ヘッド８１は、一方向（長
手方向）に延びる形状を持ち、対象物の被照射面に対し
て平行に配置される紫外線ランプ１８１Ａ，１８１Ｂ，
１８１Ｃと、この紫外線ランプ１８１Ａ，１８１Ｂ，１
８１Ｃを覆うとともに対象物に向かって開いた箱状の内
カバー９０と、この内カバー９０の外側を離間して覆う
箱状の外カバー８２とを備えている。

【００６３】内カバー９０は、矩形の天板９１と、長手
方向両端の矩形の側板９２，９３と、長手方向に延びる
一対の矩形の側板（図示せず）とからなっている。

【００６４】外カバー８２は、中央に排気口としての排
気筒８８を有する矩形の天板８３と、長手方向両端の矩
形の側板８４，８５と、長手方向に延びる一対の矩形の
側板（図示せず）とを有している。内カバー９０の天板
９１と外カバー８２の天板８３との間の隙間に、両天板
９１，８３と平行に矩形の中間板９７が設けられいる。
この中間板９７には、複数の排気流路を形成するように
長手方向に並ぶ複数の貫通穴９７ａ，９７ｂ₁，９７
ｂ₂，…，９７ｅ₁，９７ｅ₂が形成されている。そし
て、この中間板９７の貫通穴９７ａ，９７ｂ₁，９７
ｂ₂，…，９７ｅ₁，９７ｅ₂の直径は、各排気流路の排
気抵抗を互いに等しくするように互いに異なる寸法に設
定されている。すなわち、長手方向両端付近の貫通穴
…，９７ｅ₁，９７ｅ₂の直径は段階的に大きくされる一
方、長手方向中央付近の貫通穴９７ａ，９７ｂ₁，９７
ｂ₂，…の直径は段階的に小さくされている。これによ
り、中間板９７の各貫通穴９７ａ，９７ｂ₁，９７ｂ₂，
…，９７ｅ₁，９７ｅ₂を通る排気流路の排気抵抗が互い
に等しく設定されている。

【００６５】この紫外線照射ヘッド８１では、紫外線照
射によって対象物と内カバー９０との間に生じたオゾン
は、内カバー９０の側板と外カバー８２の側板との間の
隙間９８と、内カバー９０の天板９１と中間板９７との
間の隙間９９と、中間板９７の各貫通穴９７ａ，９７ｂ
₁，９７ｂ₂，…，９７ｅ₁，９７ｅ₂と、中間板９７と外
カバー８２の天板８３との間の隙間１００と、外カバー
８２の天板中央の排気筒８８とを通して排気され、図示
しない適当なオゾン分解装置へ導かれる。ここで、上述
のように中間板９７の各貫通穴９７ａ，９７ｂ₁，９７
ｂ₂，…，９７ｅ₁，９７ｅ₂を通る排気流路の排気抵抗
が互いに等しく設定されているので、オゾンは長手方向
に関して均等に排気される。したがって、カバー内のオ
ゾン濃度を均一にすることができ、対象物の被照射面に
おける洗浄の程度を高レベルに均一にすることができ
る。

【００６６】このように、内カバー９０の天板９１と外
カバー８２の天板８３との間の隙間に、長手方向に関し
て複数の排気流路を配列し、各排気流路の排気抵抗を互
いに等しく設定しても良いのである。

【００６７】図９は上述の各実施形態の紫外線照射ヘッ
ド１，６１，８１に採用可能な給気部としての給気管１
９８を示している。この給気管１９８の管壁には、長手
方向に関して複数の給気流路を形成するように長手方向
に並ぶ複数の貫通穴１９８ａ，１９８ａ，…が形成され
ている。この給気管１９８は、内カバーの天板と紫外線
ランプとの間に、各貫通穴１９８ａを下方へ向けて配置
される。

【００６８】紫外線照射時には、給気管１９８の端部に
供給されたエア（空気）が各貫通穴１９８ａを通して対
象物と紫外線ランプとの間に供給される。すなわち、エ
アが長手方向に関して複数の給気流路を通して供給され
る。したがって、紫外線ランプの周囲温度およびカバー
内のオゾン濃度を精度良く制御することができる。ま
た、エアが１カ所から供給される場合に比して、紫外線
ランプの周囲温度が長手方向に関して均等に保たれ、紫
外線ランプの照度を長手方向に関して均等かつ高レベル
に保つことができる。しかも、オゾンが長手方向に関し
て均等に生成され、カバー内のオゾン濃度を均一にする
ことができる。したがって、紫外線照射による洗浄効果
を高めるとともに洗浄の程度を高レベルに均一にするこ
とができる。

【００６９】なお、上述の給気管１９８に代えて、内カ
バーの天板と紫外線ランプとの間の隙間に、これらと平
行に図１０に示すような矩形の給気板１９９を設けても
良い。この給気板１９９には、全面に一定間隔で並ぶ貫
通穴１９９ａ，１９９ａ，…が形成されている。紫外線
照射時には、給気板１９９の上方の給気部から供給され
たエアが各貫通穴１９９ａを通して対象物と紫外線ラン
プとの間に供給される。したがって、上の場合と同様
に、紫外線照射による洗浄効果を高めるとともに洗浄の
程度を高レベルに均一にすることができる。

【００７０】図１１はさらに別の実施形態の紫外線照射
ヘッド１０１の長手方向に平行な縦断面を示し、図１２
はその紫外線照射ヘッド１０１を斜め上方から見たとこ
ろを示している。

【００７１】この紫外線照射ヘッド１０１は、一方向
（長手方向）に延びる形状を持ち、対象物の被照射面に
対して平行に配置される紫外線ランプ１８１Ａ，１８１
Ｂ，１８１Ｃと、この紫外線ランプ１８１Ａ，１８１
Ｂ，１８１Ｃを覆うとともに対象物に向かって開いた箱
状の内カバー１１０と、この内カバー１１０の外側を離
間して覆う箱状の外カバー１０２とを備えている。

【００７２】外カバー１０２は、中央に排気口としての
排気筒１０８を有する矩形の天板１０３と、長手方向両
端の矩形の側板１０４，１０５と、長手方向に延びる一
対の矩形の側板１０６，１０７とからなっている。

【００７３】内カバー１１０は、矩形の天板１１１と、
長手方向両端の矩形の側板１１２，１１３と、長手方向
に延びる一対の矩形の側板１１５（図１２中に、手前の
側板のみ示す）を有している。

【００７４】内カバー１１０の天板１１１の縁部は、図
１中のものと同様に、対向する外カバー１０２の側板１
０４，１０５，１０６，１０７に達するまで延在してお
り、そこには図１のものと同様の貫通穴１１７ａ，１１
７ｂ₁，１１７ｂ₂，…，１１７ｅ₁，１１７ｅ₂，１１７
ｆ₁，１１７ｆ₂が設けられている。１１６は仕切板であ
る。これにより、内カバー１１０の側板１１２，１１
３，…，１１５と外カバー１０２の側板１０４，１０
５，１０６，１０７との間の隙間に、互いに等しい排気
抵抗を持つ複数の排気流路が形成されている。

【００７５】また、内カバー１１０の天板１１１と紫外
線ランプ１８１Ａ，１８１Ｂ，１８１Ｃとの間の隙間
に、これらと平行に矩形の給気板１２１が設けられてい
る。この給気板１２１には、長手方向に関して複数の給
気流路を形成するように長手方向に並ぶ複数の貫通穴１
２１ａ₁，１２１ａ₂，１２１ｂ₁，１２１ｂ₂，…，１２
１ｅ₁，１２１ｅ₂が形成されている。そして、この給気
板１２１の貫通穴１２１ａ₁，１２１ａ₂，１２１ｂ₁，
１２１ｂ₂，…，１２１ｅ₁，１２１ｅ₂は、各給気流路
の給気抵抗を互いに等しくするように互いに異なる寸法
に設定されている。すなわち、長手方向両端付近の貫通
穴…，１２１ｅ₁，１２１ｅ₂の直径は段階的に大きくさ
れる一方、長手方向中央付近の貫通穴１２１ａ₁，１２
１ａ₂，…の直径は段階的に小さくされている。これに
より、給気板１２１の各貫通穴１２１ａ₁，１２１ａ₂，
１２１ｂ₁，１２１ｂ₂，…，１２１ｅ₁，１２１ｅ₂を通
る排気流路の排気抵抗が互いに等しく設定されている。

【００７６】紫外線照射時には、給気板１２１の上方の
給気部１３０から供給されたエアが各貫通穴１２１
ａ₁，１２１ａ₂，１２１ｂ₁，１２１ｂ₂，…，１２１ｅ
₁，１２１ｅ₂を通して対象物と紫外線ランプ１８１Ａ，
１８１Ｂ，１８１Ｃとの間に供給される。この結果、紫
外線ランプ１８１Ａ，１８１Ｂ，１８１Ｃの周囲温度を
長手方向に関して均等に一定範囲内に保ち、紫外線ラン
プ１８１Ａ，１８１Ｂ，１８１Ｃの照度を長手方向に関
して均等かつ高レベルにすることができる。したがっ
て、紫外線照射による洗浄効果を高めるとともに洗浄の
程度を高レベルに均一にすることができる。しかも、紫
外線照射によって対象物と内カバー１１０との間に生じ
たオゾンは、内カバー１１０の側板１１２，１１３，
…，１１５と外カバー１０２の側板１０４，１０５，１
０６，１０７との間の隙間に形成された互いに等しい排
気抵抗を持つ各排気流路…，１１８ｆ₁，１１８ｆ₂と、
内カバー１１０の天板１１１と外カバー１０２の天板１
０３との間の隙間１１９と、外カバー１０２の天板中央
の排気筒１０８とを通して排気され、図示しない適当な
オゾン分解装置へ導かれる。したがって、オゾンを長手
方向に関して均等に排気でき、カバー内のオゾン濃度を
均一にすることができる。この結果、対象物の被照射面
における洗浄の程度をさらに高レベルに均一にすること
ができる。

【００７７】図１３はさらに別の実施形態の紫外線照射
ヘッド１３１の長手方向に平行な縦断面を示し、図１４
はその紫外線照射ヘッド１３１の長手方向に垂直な縦断
面を示している。この紫外線照射ヘッド１３１は、図１
〜図５に示した紫外線照射ヘッド１に対して、図８中の
中間板９７と同様の中間板１５７と、図１１および図１
２中の給気板１２１と同様の給気板１５１との両方を適
用したものである。

【００７８】紫外線照射時には、給気板１５１の上方の
給気部１６０から供給されたエアが各貫通穴１５１
ａ₁，１５１ａ₂，１５１ｂ₁，１５１ｂ₂，…，１５１ｅ
₁，１５１ｅ₂を通して対象物と紫外線ランプ１８１Ａ，
１８１Ｂ，１８１Ｃとの間に供給される。この結果、紫
外線ランプ１８１Ａ，１８１Ｂ，１８１Ｃの周囲温度を
長手方向に関して均等に一定範囲内に保ち、紫外線ラン
プ１８１Ａ，１８１Ｂ，１８１Ｃの照度を長手方向に関
して均等かつ高レベルにすることができる。したがっ
て、紫外線照射による洗浄効果を高めるとともに洗浄の
程度を高レベルに均一にすることができる。しかも、紫
外線照射によって対象物と内カバー１４０との間に生じ
たオゾンは、内カバー１４０の側板１４２，１４３，…
と外カバー１３２の側板１３４，１３５，１３６，１３
７との間の隙間に形成された互いに等しい排気抵抗を持
つ各排気流路１３８ａ，…，１３８ｆ₁，１３８ｆ₂と、
内カバー１４０の天板１４１と中間板１５７との間の隙
間１５６と、中間板１５７の各貫通穴１５７ａ₁，１５
７ａ₂，…，１５７ｄ₁，１５７ｄ₂と、中間板１５７と
外カバー１３２の天板１３３との間の隙間１５８と、外
カバー１３２の天板中央の排気筒１３８とを通して排気
され、図示しない適当なオゾン分解装置へ導かれる。し
たがって、オゾンを長手方向に関して均等に排気でき、
カバー内のオゾン濃度を均一にすることができる。この
結果、対象物の被照射面における洗浄の程度を高レベル
に均一にすることができる。

【００７９】図１５は図１〜図５に示した紫外線照射ヘ
ッド１を備えた紫外線照射装置２０１の全体構成を示し
ている。

【００８０】この紫外線照射装置２０１内の紫外線ラン
プ１８１には、安定器２０８によって安定化された電圧
を供給する電圧供給ライン２１５が接続されている。ま
た、エア冷却用ノズル１８３にはエア流量調整レギュレ
ータ２１０が介挿されたエア供給配管２１２が接続さ
れ、水冷用ブロック１８５には水量調節バルブ２０９が
介挿された冷却水配管２１１が接続されている。また、
排気筒８は排気ダクトを介して排気ブロワ２１３に接続
されている。この紫外線照射装置２０１は、紫外線照射
ヘッド１内の温度センサ１８４によって紫外線ランプ１
８１の管壁温度を監視する温度モニタ装置２０３Ａと、
温度センサ１８６によって紫外線ランプ１８１の周囲温
度を監視する温度モニタ装置２０３Ｂと、照度センサ１
８２によって紫外線照度を監視する照度モニタ装置２０
４と、冷却水配管２１１に設けられた水量調節バルブ２
０９の開度を調節する水量調節装置２０５と、エア供給
配管２１２に設けられたエア流量調整レギュレータ２１
０を調節するエア量調節装置２０６と、紫外線ランプ１
８１に対する印加電圧を監視する電圧計２０７と、この
紫外線照射装置全体の動作を制御する制御手段としての
総合コントローラ２０２を備えている。

【００８１】動作時には、紫外線ランプ１８１によって
図示しない対象物の被照射面に紫外線が照射され、対象
物と内カバー１０との間に生じたオゾンは内カバー１０
と外カバー２との間の隙間、排気筒８、排気ダクトを介
して排気ブロワ２１３によって排気される。このとき、
紫外線ランプ１８１の管壁温度は、主として水量調節装
置２０５が調節する冷却水量によって制御される。紫外
線ランプ１０１の周囲温度は、主としてエア量調節装置
２０６が調節するエア供給量によって制御される。ま
た、排気筒８を通る排気量は、主として総合コントロー
ラ２０１が排気ブロワ２０８の回転数を調節することに
よって制御される。これらの動作は総合コントローラ２
０２によって制御される。

【００８２】このように、この紫外線照射装置２０１で
は、総合コントローラ２０２が、照度センサ１８２、電
圧計２０７および温度センサ１８４，１８６の出力に基
づいて、紫外線ランプ１８１を冷却するための冷却水
量、エア冷却用ノズル１８３によるエア供給量、排気口
を通る排気量をそれぞれ制御するので、紫外線ランプ１
８１による照度および対象物と内カバー１０との間のオ
ゾン濃度を精度良く制御することができる。したがっ
て、紫外線照射による洗浄効果を高めるとともに洗浄の
程度を高レベルに均一にすることができる。

【００８３】なお当然ながら、紫外線照射ヘッド１内
に、長手方向にエアを均一に供給する給気部を設けて、
紫外線ランプ１８１の周囲温度およびカバー内のオゾン
濃度を長手方向に関して均一にするようにしても良い。

【００８４】図１６は別の実施形態の紫外線照射装置３
０１を示している。

【００８５】この紫外線照射装置３０１は、水平軸（図
示せず）の周りに回転される対象物３０３の軸方向両側
に設けられた一対の支柱３０４，３０５と、この支柱３
０４，３０５に水平に架け渡された案内ロッド３０９
と、この案内ロッド３０９に水平方向Ｘに摺動自在に取
り付けられた搬送ヘッド３１０と、紫外線照射ヘッド１
Ａを搬送ヘッド３１０に取り付ける連結棒３１２，３１
３と、支柱３０４，３０５の上部に取り付けられたスプ
ロケット３０６，３０７を巻回して搬送ヘッド３１０に
接続されたチェーン３０８を備えている。これらの部材
は、紫外線照射ヘッド１Ａを対象物３０３の外周面に対
向させた状態で水平方向Ｘに移動させるヘッド移動手段
を構成している。また、紫外線照射ヘッド１Ａは、図示
しない駆動手段によって、この連結棒３１２，３１３に
沿って、対象物３０３の外周面（表面）に対して垂直方
向に移動されるようになっている。

【００８６】この紫外線照射装置３０１では、紫外線照
射時は、駆動手段によって紫外線照射ヘッド１Ａを連結
棒３１２，３１３に沿って対象物３０３の外周面に接近
させる。そして、対象物３０３を水平軸の周りに回転さ
せながら、図示しない駆動手段によってスプロケット３
０６，３０７を回転させて搬送ヘッド３１０を水平方向
Ｘに移動させて、紫外線照射ヘッド１Ａを対象物３０３
の外周面に沿って水平方向Ｘに移動させる。これによ
り、対象物３０３の外周面の全域を紫外線照射によって
洗浄することができる。紫外線照射によって対象物３０
３と内カバー１０との間に生じたオゾンは、対象物３０
３の外周面と外カバー２の側板との間の隙間からヘッド
周囲へ漏れることなく、内カバー１０と外カバー２との
間の隙間と、外カバー２の排気筒８とを通して排気され
る。

【００８７】ここで、紫外線ランプ１８１の長手方向の
寸法は対象物３０３の軸方向寸法の１／３に短く設定さ
れているので、紫外線照射ヘッド１Ａを小型化すること
ができる。これにより、紫外線照射ヘッドの長手方向の
寸法を対象物の軸方向寸法と略等しく設定する場合（図
１７参照）に比して、紫外線照射ヘッド１Ａの取り扱い
や取り付けを容易にすることができる。また、紫外線ラ
ンプ１８１の長手方向の寸法が短く設定されているの
で、紫外線ランプ１８１を安価なもので済ませることが
でき、または紫外線ランプ１８１の本数を減らすことが
できる。したがって、設置時のイニシャルコストを低減
することができる。また、紫外線ランプ１８１は寿命が
尽きる前に定期的に交換する必要があることから、紫外
線照射装置のランニングコストを低減することができ
る。

【００８８】保守点検時は、駆動手段によって、紫外線
照射ヘッド１Ａを連結棒３１２，３１３に沿って、対象
物３０３の外周面から垂直方向に離間させる。これによ
り、紫外線ランプ１８１の交換等の保守点検作業を容易
に行うことができる。

【００８９】なお、図１７は、図７(a)，(b)に示した紫
外線照射ヘッド６１を備えた紫外線照射装置４０１を示
している。紫外線照射ヘッド６１の長手方向の寸法は、
水平軸（図示せず）の周りに回転される対象物４０３の
軸方向寸法と略等しく設定されている。

【００９０】この紫外線照射装置４０１は、ヘッド移動
手段として、対象物４０３の軸方向両側に設けられた一
対の支柱４０４，４０５と、この支柱４０４，４０５の
上部から突出し、屈曲して下方に延びる案内ロッド４０
６，４０７を備えている。紫外線照射ヘッド６１は、図
示しない駆動手段によって、この案内ロッド４０６，４
０７に沿って、対象物４０３の外周面に対して垂直方向
に移動されるようになっている。

【００９１】この紫外線照射装置４０１では、紫外線照
射時は、駆動手段によって紫外線照射ヘッド６１を案内
ロッド４０６，４０７に沿って対象物４０３の外周面に
接近させる。これにより、紫外線照射によって対象物４
０３と内カバー７０との間に生じたオゾンは、対象物４
０３の外周面と外カバー６２の側板との間の隙間からヘ
ッド周囲へ漏れることなく、内カバー７０と外カバー６
２との間の隙間と、外カバー６２に取り付けられた排気
マニホルド６８とを通して排気される。一方、保守点検
時は、駆動手段によって紫外線照射ヘッド６１を案内ロ
ッド４０６，４０７に沿って対象物４０３の外周面から
垂直方向に離間させる。したがって、図１６に示した紫
外線照射装置３０１と同様に、紫外線ランプ１８１Ａ，
１８１Ｂ，１８１Ｃの交換等の保守点検作業を容易に行
うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の一実施形態の紫外線照射ヘッドを
斜め上方から見たところを示す図である。

【図２】 上記紫外線照射ヘッドの内カバーを斜め上方
から見たところを示す図である。

【図３】 上記紫外線照射ヘッドの長手方向に沿った縦
断面図である。

【図４】 上記紫外線照射ヘッドの排気動作路を説明す
る図である。

【図５】 上記紫外線照射ヘッドの排気動作路を説明す
る図である。

【図６】 上記紫外線照射ヘッドの変形例を示す図であ
る。

【図７】 (a)はこの発明の別の実施形態の紫外線照射
ヘッドの長手方向に沿った縦断面図、(b)はその紫外線
照射ヘッドを斜め上方から見たところを示す図である。

【図８】 この発明のさらに別の実施形態の紫外線照射
ヘッドの長手方向に沿った縦断面図である。

【図９】 この発明の紫外線照射ヘッドに好適な給気管
を示す図である。

【図１０】 この発明の紫外線照射ヘッドに好適な給気
板を示す図である。

【図１１】 この発明のさらに別の実施形態の紫外線照
射ヘッドの長手方向に沿った縦断面図である。

【図１２】 図１１の紫外線照射ヘッドを斜め上方から
見たところを示す図である。

【図１３】 この発明のさらに別の実施形態の紫外線照
射ヘッドの長手方向に沿った縦断面図である。

【図１４】 図１３の紫外線照射ヘッドの長手方向に垂
直な縦断面図である。

【図１５】 この発明の一実施形態の紫外線照射装置の
構成を示す図である。

【図１６】 この発明の別の実施形態の紫外線照射装置
の構成を示す図である。

【図１７】 この発明のさらに別の実施形態の紫外線照
射装置の構成を示す図である。

【図１８】 従来の紫外線照射ヘッドの長手方向に垂直
な縦断面を示す図である。

【図１９】 上記従来の紫外線照射ヘッドの長手方向に
沿った縦断面を示す図である。

【符号の説明】

１，１Ａ，６１，８１，１０１，１３１ 紫外線照射ヘ
ッド ２，６２，８２，１０２，１３２ 外カバー １０，２０，３０，４０，５０，７０，９０，１１０，
１４０ 内カバー ２０１，３０１，４０１ 紫外線照射装置

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一方向に延びる形状を持ち、対象物の被
   照射面に対して平行に配置される紫外線ランプと、この
   紫外線ランプを覆うとともに上記対象物に向かって開い
   た箱状の内カバーと、この内カバーの外側を離間して覆
   う箱状の外カバーとを備え、上記紫外線ランプから上記
   対象物へ向けて紫外線を照射するとともに、上記紫外線
   ランプと対象物との間に生じたオゾンを上記内カバーと
   外カバーとの間の隙間と、上記外カバーの天板を貫通す
   る排気口とを通して排気する紫外線照射ヘッドにおい
   て、 上記内カバーと上記外カバーとの間の隙間に、上記一方
   向に関して複数の排気流路が形成され、上記各排気流路
   の排気抵抗が互いに等しく設定されていることを特徴と
   する紫外線照射ヘッド。
2. 【請求項２】 一方向に延びる形状を持ち、対象物の被
   照射面に対して平行に配置される紫外線ランプと、この
   紫外線ランプを覆うとともに上記対象物に向かって開い
   た箱状の内カバーと、この内カバーの外側を離間して覆
   う箱状の外カバーとを備え、上記紫外線ランプから上記
   対象物へ向けて紫外線を照射するとともに、上記紫外線
   ランプと対象物との間に生じたオゾンを上記内カバーと
   外カバーとの間の隙間と、上記外カバーの天板を貫通す
   る排気口とを通して排気する紫外線照射ヘッドにおい
   て、 上記内カバーの側板の下縁が、上記一方向に関して排気
   抵抗を等しくするように上記対象物へ向かって凸に湾曲
   していることを特徴とする紫外線照射ヘッド。
3. 【請求項３】 一方向に延びる形状を持ち、対象物の被
   照射面に対して平行に配置される紫外線ランプと、この
   紫外線ランプを覆うとともに上記対象物に向かって開い
   た箱状の内カバーと、この内カバーの外側を離間して覆
   う箱状の外カバーとを備え、上記紫外線ランプから上記
   対象物へ向けて紫外線を照射するとともに、上記紫外線
   ランプと対象物との間に生じたオゾンを上記内カバーと
   外カバーとの間の隙間と、上記外カバーの天板を貫通す
   る排気口とを通して排気する紫外線照射ヘッドにおい
   て、 上記内カバーの側板の下縁に、上記一方向に関して排気
   抵抗を等しくするように互いに寸法が異なる複数の切り
   欠きが形成されていることを特徴とする紫外線照射ヘッ
   ド。
4. 【請求項４】 一方向に延びる形状を持ち、対象物の被
   照射面に対して平行に配置される紫外線ランプと、この
   紫外線ランプを覆うとともに上記対象物に向かって開い
   た箱状の内カバーと、この内カバーの外側を離間して覆
   う箱状の外カバーとを備え、上記紫外線ランプから上記
   対象物へ向けて紫外線を照射するとともに、上記紫外線
   ランプと対象物との間に生じたオゾンを上記内カバーと
   外カバーとの間の隙間と、上記外カバーの天板を貫通す
   る排気口とを通して排気する紫外線照射ヘッドにおい
   て、 上記外カバーの排気口は上記一方向に関して複数形成さ
   れ、 上記各排気口に排気マニホルドの枝管がそれぞれ接続さ
   れ、 上記排気マニホルドの各枝管を通る排気流路の排気抵抗
   が互いに等しく設定されていることを特徴とする紫外線
   照射ヘッド。
5. 【請求項５】 一方向に延びる形状を持ち、対象物の被
   照射面に対して平行に配置される紫外線ランプと、この
   紫外線ランプを覆うとともに上記対象物に向かって開い
   た箱状の内カバーと、この内カバーの外側を離間して覆
   う箱状の外カバーとを備え、上記紫外線ランプから上記
   対象物へ向けて紫外線を照射するとともに、上記紫外線
   ランプと対象物との間に生じたオゾンを上記内カバーと
   外カバーとの間の隙間と、上記外カバーの天板を貫通す
   る排気口とを通して排気する紫外線照射ヘッドを備えた
   紫外線照射装置であって、 上記紫外線ランプの照度を検出する照度センサと、 上記紫外線ランプに対する印加電圧を検出する電圧計
   と、 上記紫外線ランプの管壁温度を検出する温度センサと、 上記照度センサ、電圧計および温度センサの出力に基づ
   いて、上記紫外線ランプを冷却するための空気供給量ま
   たは水供給量のうちの少なくとも一つおよび上記排気口
   を通る排気量を制御する制御手段を備えたことを特徴と
   する紫外線照射装置。
6. 【請求項６】 一方向に延びる形状を持ち、対象物の被
   照射面に対して平行に配置される紫外線ランプと、この
   紫外線ランプを覆うとともに上記対象物に向かって開い
   た箱状の内カバーと、この内カバーの外側を離間して覆
   う箱状の外カバーとを備え、上記紫外線ランプから上記
   対象物へ向けて紫外線を照射するとともに、上記紫外線
   ランプと対象物との間に生じたオゾンを上記内カバーと
   外カバーとの間の隙間と、上記外カバーの天板を貫通す
   る排気口とを通して排気する紫外線照射ヘッドを備えた
   紫外線照射装置であって、 上記紫外線ランプの上記一方向の寸法は上記対象物の上
   記一方向の寸法よりも短く設定され、 上記紫外線照射ヘッドを上記対象物の表面に沿って移動
   させるヘッド移動手段を備えたことを特徴とする紫外線
   照射装置。