JPH10325414A

JPH10325414A - 直動装置

Info

Publication number: JPH10325414A
Application number: JP23713297A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Saito; 剛斉藤; Toyohisa Yamamoto; 豊寿山本; Takeshi Namimatsu; 健並松
Original assignee: NSK Ltd
Current assignee: NSK Ltd
Priority date: 1997-03-25
Filing date: 1997-09-02
Publication date: 1998-12-08

Abstract

(57)【要約】【課題】半導体製造装置や液晶パネル製造装置、食品
加工装置等の清浄な雰囲気を必要とする環境下等におい
て好適に使用でき、また、真空、高温、腐食性雰囲気環
境下においても使用することができ、装置から発生する
塵埃が少ない直動装置を提供する。【解決手段】一方の移動部材と他方の移動部材とが、
それぞれの案内面に接する転動体を介して相対的に直線
移動する装置において、前記両移動部材または転動体の
少なくとも一つが、その表面に無電解ニッケル被膜を介
してフッ素樹脂被膜が成膜されている、もしくは更に無
電解ニッケル被膜にフッ素樹脂からなる粒子が含浸され
ている直動装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はリニアガイド、ボー
ルスプライン、ボールねじ、クロスローラ軸受等の、一
方の移動部材と他方の移動部材とが、それぞれの案内面
に接する転動体を介して相対的に直線移動する直動装置
に関し、特にクリーンルーム、半導体製造装置、液晶パ
ネル製造装置、食品加工装置等の清浄な雰囲気を必要と
する環境下等において好適に使用でき、また、真空、高
温、腐食性雰囲気環境下でも使用することができる前記
直動装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】リニアガイド、ボールスプライン、ボー
ルねじ、クロスローラ軸受等の直動装置は、様々な分野
で使用されている。しかしながら、これらの直動装置に
おいて潤滑を潤滑油やグリースで行う方式では、装置の
作動時に潤滑油やグリースが外部に飛散したり、更に高
温や真空環境下においては潤滑油やグリースが蒸発して
ガスを放出する等、外部の環境を汚染してしまう。この
ため、クリーンルーム、半導体製造装置、液晶パネル製
造装置、食品加工装置等のように清浄な環境を必要とす
る用途や真空環境下においては、通常の潤滑油やグリー
スを用いて潤滑を行う構造の直動装置を使用することが
できない。

【０００３】そこで、清浄な環境を必要とする用途や真
空環境下においては、保持器に固体潤滑剤等を混合した
自己潤滑性を有する複合材を用いた、あるいは、直動装
置の各構成要素の表面（例えば、移動部材の案内面や転
動体の表面）に予め固体潤滑剤からなる被膜を形成した
固体潤滑直動装置や、蒸気圧が低く、ちょう度が小さい
フッ素系グリースを用いて潤滑する構造の直動装置が使
用されている。自己潤滑性を有する保持器を組み込んだ
直動装置では、装置の作動に伴い保持器と転動体とが摺
動することにより、保持器から移動部材の案内面、並び
に転動体の表面に移着して形成される薄い固体潤滑膜に
より直動装置の潤滑を行う。一方、固体潤滑被膜を施し
た直動装置では、予め直動装置の移動部材の案内面や転
動体の表面に形成された固体潤滑剤からなる被膜が、装
置の作動に伴ってせん断、劈開等をして、母材の直接接
触を防止することにより直動装置の潤滑を行う。この固
体潤滑膜としては、金・銀・鉛のような軟質金属、二硫
化モリブデン、二硫化タングステンのような層状化合
物、黒鉛、あるいはポリテトラフロロエチレン等のフッ
素樹脂が使用されている。しかし、前記軟質金属や層状
化合物は、比較的発塵が多く、高度な清浄環境を必要と
する用途には使用できない。また、固体潤滑剤は使用雰
囲気により潤滑特性が異なり、例えば二硫化モリブデン
は真空中で、また黒鉛は大気中でその真価を発揮するこ
とが知られている。ところが、特に半導体製造装置や液
晶製造装置においては工程間搬送のために大気中と真空
中との往復を繰り返すため、真空・大気中の両方で潤滑
性を発揮する潤滑剤を使用する必要があり、このような
環境下ではフッ素樹脂が潤滑膜として使用されることが
多い。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】近年、半導体素子をは
じめ、各種電子素子においては、高集積化、微細化等が
進んでいる。これに伴い、製造過程中に半導体素子など
の表面に付着する微小なパーティクルが製品の性能、信
頼性、歩留まり等に及ぼす影響が増大している。このた
め、半導体製造装置等のように清浄な環境を必要とする
箇所で使用される直動装置に対しては、装置外部に飛散
する粒子およびガス等が少ないことが要求され、その要
求はますます高まる傾向にある。また、液晶パネルにお
いても、画素数の増加や画質の向上のために、同様の要
求がある。

【０００５】しかしながら、上記固体潤滑直動装置は何
れも、保持器と被膜等との摺動に伴って摺動部から摩耗
粒子等が発生し、脱落することは避けられず、この摩耗
粒子等が装置外部に飛散してしまう。また、フッ素系グ
リースで潤滑する構造の直動装置においても、装置の作
動に伴ってグリースがせん断され、装置外部に飛散して
しまう。更に、半導体製造装置や液晶パネル製造装置に
使用される直動装置は、酸やアルカリ等の腐食性雰囲気
下で使用される場合があり、また食品加工装置は水と接
触する場合が多いため、発生した錆が塵埃となって外部
環境を汚染してしまう。このため、前記の要求に対して
十分に対応できていない状況にある。

【０００６】そこで、本発明は、半導体製造装置や液晶
パネル製造装置、食品加工装置等の清浄な雰囲気を必要
とする環境下等において好適に使用でき、また、真空、
高温、腐食性雰囲気環境下においても使用することがで
き、装置から発生する塵埃が少ない直動装置を提供する
ことを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記の問題を解決するた
めに、本発明の直動装置は、一方の移動部材と他方の移
動部材とが、それぞれの案内面に接する転動体を介して
相対的に直線移動する装置において、前記両移動部材ま
たは転動体の少なくとも一つが、その表面に無電解ニッ
ケル被膜を介してフッ素樹脂被膜が成膜されていること
を特徴とする。

【０００８】同様の問題を解決するために、本発明の直
動装置は、一方の移動部材と他方の移動部材とが、それ
ぞれの案内面に接する転動体を介して相対的に直線移動
する装置において、前記両移動部材または転動体の少な
くとも一つが、その表面に無電解ニッケル被膜を介して
フッ素樹脂からなる被膜が成膜され、かつ、該フッ素樹
脂からなる粒子が前記無電解ニッケル被膜内に含浸され
ていることを特徴とする。

【０００９】更に、上記各直動装置において、前記両移
動部材の案内面または全体、もしくは転動体の表面また
は全体の少なくとも１つがセラミックスからなることを
特徴とする。

【００１０】本発明の直動装置は、転がり摩擦またはす
べり摩擦が生じる移動部材の案内面または転動体のうち
少なくとも一つの表面に、無電解ニッケル被膜を介して
フッ素樹脂からなる被膜を被覆したため、無電解ニッケ
ルの投錨効果によりフッ素樹脂被膜と被覆面との密着性
が向上する。それにより、フッ素樹脂の移動部材の案内
面や転動体等からの脱落や、案内面や転動体等への過度
の移着が防止され、発塵が抑制されるとともに、長期に
わたり優れた潤滑性が維持される。ここで、無電解ニッ
ケル被膜は、無電解ニッケル（Ｎｉ−）被膜、無電解ニ
ッケル−リン（Ｎｉ−Ｐ）被膜、無電解ニッケル−ボロ
ン（Ｎｉ−Ｂ）被膜であり、これらの被膜は公知の成膜
技術を利用して成膜することができる。例えば、無電解
ニッケル（Ｎｉ−）被膜はヒドラジン等を還元剤として
成膜し、無電解ニッケル−リン（Ｎｉ−Ｐ）被膜は次亜
リン酸塩等を還元剤として成膜し、無電解ニッケル−ボ
ロン（Ｎｉ−Ｂ）被膜は水素化ホウ素ナトリウムやアル
ミボラン等を還元剤として成膜する。

【００１１】また、無電解ニッケル被膜には、通常、微
細なクラックや空孔が存在しており、フッ素樹脂被膜の
成膜と同時に、含浸によりフッ素樹脂粒子が前記の微細
なクラックや空孔に入り込み、フッ素樹脂被膜と無電解
ニッケル被膜との密着性がより向上する。更に、フッ素
樹脂被膜が摩耗により消失した後にも、含浸されたフッ
素樹脂粒子が潤滑剤として機能するため、フッ素樹脂被
膜単独の場合と比較して潤滑寿命が延長される。しか
も、無電解ニッケル被膜のクラックや空孔がフッ素樹脂
粒子により閉塞されているため、これらクラックや空孔
を通じて腐食性のガスや水等の侵入が防止されて耐食性
が向上し、錆による発塵を防止することができる。

【００１２】また、移動部材の案内面または全体、もし
くは転動体の表面または全体の少なくとも一つをセラミ
ックスから構成することにより、直動装置の酸やアルカ
リに対する耐食性が一段と向上し、錆による塵埃の発生
が更に防止され、腐食性が強い環境下においても使用す
ることができる。

【００１３】更に、無電解ニッケル被膜を備える場合、
膜自体に防錆作用があり、耐食性が更に向上する。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の直動装置に関して
図面を参照して詳細に説明する。（第１の実施態様：直線案内軸受）先ず、直線案内軸受
に適用した場合を以下に説明する。直線案内軸受の構成
に関しては特に制限されるものではなく、例えば図１に
示す直線案内軸受とすることができる。図示されるよう
に、直線案内軸受１は、一方の移動部材である案内軸２
と、他方の移動部材であるスライダ３との間に、転動体
である複数のボール４を配して構成される。

【００１５】本発明においては、更に、案内軸２および
スライダ３は、軸受鋼やステンレス鋼の全表面にセラミ
ックス被膜２０を成膜して構成することができる。その
際、セラミックス材料としては、窒化チタン、炭窒化チ
タン、窒化クロム等が密着性に優れており、特に、好適
に使用できる。このセラミックス被膜２０の膜厚は、１
〜１０μｍであることが望ましい。成膜方法は、真空蒸
着法やスパッタリング、イオンプレーティング、イオン
ミキシング、ＣＶＤ法等公知の成膜技術を採用すること
ができる。また、特に、腐食性の高い環境下において使
用する場合には、案内軸２およびスライダ３の全体を、
窒化ケイ素、炭化ケイ素、サイアロン、部分安定化ジル
コニア、アルミナ等のセラミックス製とすることもでき
る。また、ボール４は、ステンレス鋼からなり、その全
表面に無電解ニッケル被膜２１を介してフッ素樹脂被膜
２２が被覆されている。

【００１６】無電解ニッケル被膜２１の膜厚は特に限定
しないが、実用上１〜１０μｍ程度であるが、好ましく
は２〜７μｍである。また、無電解ニッケル被膜２１は
後述されるフッ素樹脂被膜２２とボール４との密着性を
向上させるためのものであるから、被膜表面に凹凸が形
成されていることが望ましい。この無電解ニッケル被膜
２１は、例えば、ボール４を有機溶剤洗浄、酸処理、電
解洗浄を施した後、電解ニッケルメッキによりサブミク
ロン程度のニッケル膜を形成し、次いでニッケルメッキ
浴に浸漬して無電解メッキすることにより成膜される。
メッキ条件は、通常の無電解ニッケルメッキと同様の条
件で構わず、例えば、ｐＨ４．５〜５．５に調整され、
液温９０℃程度の酸性硫酸ニッケル浴で還元剤として次
亜リン酸ナトリウムを用いて行われる。

【００１７】また、フッ素樹脂も特に限定はなく、ポリ
テトラフルオロエチレン（以下、ＰＴＦＥと略す）、ポ
リトリフロロエチレン、ポリトリフロロクロロエチレ
ン、ヘキサフロロプロピレン、ポリビニルフロライド、
ポリビニリデンフロライドの単独重合体または共重合体
等の周知のフッ素樹脂が使用可能であるが、中でもＰＴ
ＦＥの単独重合体が好ましく、例えば、テフロン（米国
デュポン社）やポリフロン（ダイキン工業（株））の登
録商標名で販売されているフッ素樹脂を好適に使用でき
る。フッ素樹脂被膜２２は、上記フッ素樹脂からなる粒
子と適当なバインダおよび界面活性剤とを適当な溶剤に
分散した溶液中（水溶液、アルコール等）に浸漬するこ
とにより成膜される。また、フッ素樹脂被膜２２の膜厚
は特に限定されるものではないが、実用上０．１μｍ以
上であることが望ましい。このようにして成膜されたフ
ッ素樹脂被膜２２は、無電解ニッケル被膜２１が介在す
ることにより、ボールを構成するステンレス鋼の表面に
直接成膜される場合と比較して、より強固にボール４に
密着する。

【００１８】ところで、無電解ニッケル被膜２１には、
通常、図２に上記ボール４の表面拡大断面図として示さ
れるように、微細なクラック２３や空孔（図示省略）が
存在する。このようなクラック２３や空孔は、無電解ニ
ッケル被膜２１との付着性を低下させたり、腐食性雰囲
気等が通過してボール４の母材（ステンレス鋼）が腐食
する原因となる。そこで、上記フッ素樹脂被膜２２に加
えて、無電解ニッケル被膜２１のクラック２３や空孔に
フッ素樹脂被膜２２を形成するフッ素樹脂の粒子を含浸
させ、クラック２３や空孔を閉塞することがより好まし
い。

【００１９】この含浸は、フッ素樹脂粒子、界面活性剤
およびバインダを溶媒に分散させた溶液中（水溶液、ア
ルコール等）にボール４を浸漬することで実現される。
浸漬時間は、約１０〜２０分の範囲である。ここで、バ
インダおよび溶媒は、上述したフッ素樹脂被膜２２の成
膜時に使用されるものと同一である。フッ素樹脂粒子の
粒径は、無電解ニッケル被膜２１のクラック２３や空孔
の大きさを考慮して選択される。例えば、上述した本発
明で好ましいとされる無電解ニッケル被膜２１の場合に
は、クラック２３の大きさは幅２〜３μｍ、深さ２〜３
μｍ程度であり、これらのデータからフッ素樹脂粒子の
好ましい粒径は、０．１〜１μｍの範囲である。また、
フッ素樹脂粒子分散溶液の浸漬時の液温は３０〜８０℃
が好ましく、ボール４の浸漬時間は１０〜２０分である
ことが好ましい。上記条件により、フッ素樹脂粒子の含
浸と同時にフッ素樹脂被膜２２が成膜される。尚、含浸
の有無はＸＰＳによる深さ方向分析、具体的には、アル
ゴンイオンエッチングにより表面を物理的に削り取りな
がらＸＰＳ分析を行うことにより判定される。

【００２０】含浸処理を施すことで、フッ素樹脂粒子が
無電解ニッケル被膜２１のクラック２３や空孔に入り込
み、フッ素樹脂被膜２２と無電解ニッケル被膜２１との
密着性がより向上する。更に、フッ素樹脂被膜２２が摩
耗により消失した後でも、フッ素樹脂粒子が新たな潤滑
剤の供給源となり、フッ素樹脂被膜２２単独の場合と比
較して潤滑寿命が延長される。しかも、無電解ニッケル
被膜２１のクラック２３や空孔がフッ素樹脂の粒子によ
り閉塞されているため、腐食性雰囲気等がクラック２３
や空孔を通過してボール４の母材（ステンレス鋼）が腐
食することを抑制することができる。このように、含浸
処理することにより、潤滑性に加えて、防食性も向上す
るため、直線案内軸受１を構成する案内軸２、スライダ
３、ボール４は、上述したフッ素樹脂被膜２２単独の直
線案内軸受と異なり、必ずしも前記各軸受構成部材全て
がセラミックス製（その表面または全体）である必要は
なく、少なくとも一つがセラミックス製であれば優れた
耐久性が得られる。このことは、材料コスト的に有利で
ある。

【００２１】更に、浸漬後、必要に応じて、２００〜３
００℃の温度において２〜５時間の熱処理を行うことに
より、無電解ニッケル被膜２１の硬さが増加して、耐摩
耗性を向上させたり、含浸により、表面に吸着または結
合したフッ素樹脂粒子の密着性を向上させたりすること
ができる。

【００２２】なお、上記直線案内軸受１は、従来の直線
案内軸受と同様に、スライダ３の両端部にシールやジャ
バラを設置することもできる。

【００２３】図３は、直線案内軸受における他の実施態
様を示す一部破断した斜視図である。この直線案内軸受
１は、ボールを、セラミックスからなるボール４１と、
表面に無電解ニッケル被膜２１を介してフッ素樹脂被膜
２２が成膜されている、あるいは、更に該フッ素樹脂か
らなる粒子が前記無電解ニッケル被膜２１内に含浸され
ているボール４２とを交互に配置して構成している。セ
ラミックスとしては、窒化ケイ素、炭化ケイ素、サイア
ロン、部分安定化ジルコニア、アルミナ等を使用するこ
とができる。これにより、無電解ニッケル被膜２１を介
してフッ素樹脂被膜２２、あるいは、更に該フッ素樹脂
からなる粒子が前記無電解ニッケル被膜２１内に含浸さ
れている被膜を表面に被覆することにより得られる前記
効果に加え、互いにすべり接触、あるいは、転がり接触
する箇所の材料を各々異種材料で構成することができ、
同種の材料で構成した場合よりも凝着摩耗が低減される
ため、これに起因する摩耗、焼き付きおよび発塵を防止
することができる。

【００２４】図４は、直線案内軸受における更に他の実
施態様を示す一部破断した斜視図である。この直線案内
軸受１は、ボール４を、ポリイミドあるいはフッ素樹脂
系の高分子材料で形成されるボール４３と、表面に無電
解ニッケル被膜２１を介してフッ素樹脂被膜２２が成膜
されている、あるいは、更に該フッ素樹脂からなる粒子
が前記無電解ニッケル被膜２１内に含浸されているボー
ル４４とを、交互に配置して構成している。これによ
り、無電解ニッケル被膜２１を介してフッ素樹脂被膜２
２、あるいは、更に該フッ素樹脂からなる粒子が前記無
電解ニッケル被膜２１内に含浸されている被膜表面に被
覆することにより得られる前記効果に加え、ボール４３
の表面に形成されたフッ素樹脂被膜２２やフッ素樹脂粒
子が消失した後も、ポリイミドあるいはフッ素樹脂系の
高分子材料からなるボール４３が潤滑剤の供給源とな
り、更に、潤滑寿命を延長することができる。

【００２５】上記図１，図３および図４は、外面に軸方
向のボール転動溝を有して延長された案内軸２と、前記
案内軸２に遊嵌されると共に前記ボール転動溝に対向す
るボール転動溝を内面に有するスライダ３と、前記両方
の転動溝に転動自在に嵌合し前記案内軸２とスライダ３
の相対直線運動時に転動移動する多数のボール４とを備
えた、通常リニアガイドと呼ばれるタイプの直線案内軸
受である。直線案内軸受はその他にも図５および図６に
示されるタイプのものがあり、これらにも上記と同様の
被膜を形成することができる。即ち、図５は、ボール４
がスライダ３に形成された循環溝を循環する、通常、リ
ニアボールベアリングと呼ばれる直線案内軸受を示すも
のである。この直線案内軸受において、ボール４に上記
と同様に無電解ニッケル被膜を介してフッ素樹脂被膜を
成膜したり、あるいは更にフッ素樹脂からなる粒子を無
電解ニッケル被膜内に含浸させることができる。また、
図６は、円形断面の軌道部材の外周面に転動体の転動溝
が複数本直線状に形成された、いわゆるスプライン軸を
備える直線案内軸受を示すものである。この直線案内軸
受は、転動溝に対して、転動体は軌道部材に自転のみ可
能に保持器などを介して保持され、循環しないタイプで
ある。この直線案内軸受においても、ボール４に上記と
同様に無電解ニッケル被膜を介してフッ素樹脂被膜を成
膜したり、あるいは更にフッ素樹脂からなる粒子を無電
解ニッケル被膜内に含浸させることができる。

【００２６】以上の説明において、転動体であるボール
にのみ、無電解ニッケル被膜を介してフッ素樹脂被膜を
形成したり、あるいは更にフッ素樹脂からなる粒子を無
電解ニッケル被膜内に含浸させた構成を示したが、移動
部材である案内軸やスライダにも同様の被膜を形成する
構成とすることもできる。

【００２７】（第２の実施態様：クロスローラ軸受）次
に、クロスローラ軸受に適用した場合を説明する。クロ
スローラ軸受の構成に関しては特に制限されるものでは
なく、例えば図７に示すクロスローラ軸受とすることが
できる。図示されるように、クロスローラ軸受１０は、
一方の移動部材である内輪１１と、他方の移動部材であ
る外輪１２との間に、保持器１３に案内保持された、転
動体である複数のローラ１４を配して構成される。

【００２８】ローラ１４は、軸受鋼やステンレス鋼から
なり、その全表面に無電解ニッケル被膜２１を介してフ
ッ素樹脂被膜２２が被覆されている。無電解ニッケル被
膜２１の膜厚は特に限定しないが、実用上１〜１０μｍ
程度であるが、好ましくは２〜７μｍが良い。また、無
電解ニッケル被膜２１は後述されるフッ素樹脂被膜２２
とローラ１４との密着性を向上させるためのものである
から、被膜表面に凹凸が形成されていることが望まし
い。この無電解ニッケル被膜２１は、上記した直線案内
軸受と同様の方法により成膜できる。フッ素樹脂も特に
限定はなく、上記した直線案内軸受と同様の樹脂を使用
することができる。また、その成膜方法も上記した直線
案内軸受と同様である。このフッ素樹脂被膜２２の膜厚
は、実用上０．１μｍ以上であることが好ましい。

【００２９】尚、腐食雰囲気下で使用する場合には、内
輪１１および外輪１２は、軸受鋼やステンレス鋼の全表
面にセラミックス被膜を成膜して構成することができ
る。その際、セラミックス材料としては、窒化チタン、
炭窒化チタン、窒化クロム等が密着性に優れており、特
に、好適に使用できる。このセラミックス被膜の膜厚
は、１〜１０μｍで有ることが望ましい。成膜方法は、
真空蒸着法やスパッタリング、イオンプレーティング、
イオンミキシング、ＣＶＤ法等公知の成膜技術を採用す
ることができる。また、特に、腐食性の高い環境下にお
いて使用する場合には、内輪１１および外輪１２の全体
を、窒化ケイ素、炭化ケイ素、サイアロン、部分安定化
ジルコニア、アルミナ等のセラミックス製とすることも
できる。また、保持器１３は、ステンレス鋼からなり、
その全表面に無電解ニッケル被膜２１を介してフッ素樹
脂被膜２２を被覆してもよい。

【００３０】直線案内軸受において図２を参照して説明
したように、無電解ニッケル被膜２１には微細なクラッ
ク２３や空孔が存在する。そこで、フッ素樹脂被膜２２
に加えて、無電解ニッケル被膜２１のクラック２３や空
孔にフッ素樹脂被膜２２を形成するフッ素樹脂の粒子を
含浸させ、クラック２３や空孔を閉塞することがより好
ましい。この含浸は、直線案内軸受の場合と同様に行う
ことができる。含浸処理を施すことにより、フッ素樹脂
被膜２２と無電解ニッケル被膜２１との密着性がより向
上したり、フッ素樹脂粒子が新たな潤滑剤の供給源とな
って潤滑寿命が延長されたり、ローラ１４の母材の腐食
を抑制することができる。また、含浸処理することによ
り、クロスローラ軸受１０を構成する内輪１１および外
輪１２は、フッ素樹脂被膜２２単独のクロスローラ軸受
と異なり、必ずしも前記各軸受構成部材全てがセラミッ
クス製（その表面または全体）である必要はなく、少な
くとも一つがセラミックス製であれば優れた耐久性が得
られる。このことは材料コスト的に有利である。

【００３１】更に、浸漬後、必要に応じて、２００〜３
００℃の温度において２〜５時間の熱処理を行うことに
より、無電解ニッケル被膜２１の硬さが増加して、耐摩
耗性を向上させたり、含浸により、表面に吸着または結
合したフッ素樹脂粒子の密着性を向上させたりすること
ができる。

【００３２】尚、図７では、保持器１３によりローラ１
４を案内保持した形式のクロスローラ軸受であるが、保
持器の無い、総ローラ形式のクロスローラ軸受でもよ
い。

【００３３】図８は、クロスローラ軸受の他の実施態様
を示す斜視図である。このクロスローラ軸受１０は、ロ
ーラを、セラミックスからなるローラ５１と、表面に無
電解ニッケル被膜２１を介してフッ素樹脂被膜２２が成
膜されている、あるいは、更に該フッ素樹脂からなる粒
子が前記無電解ニッケル被膜２１内に含浸されているロ
ーラ５２とを交互に配置して構成している。セラミック
スとしては、窒化ケイ素、炭化ケイ素、サイアロン、部
分安定化ジルコニア、アルミナ等を使用することができ
る。これにより、無電解ニッケル被膜２１を介してフッ
素樹脂被膜２２、あるいは、更に該フッ素樹脂からなる
粒子が前記無電解ニッケル被膜２１内に含浸されている
被膜を表面に被覆することにより得られる前記効果に加
え、互いにすべり接触、あるいは、転がり接触する箇所
の材料を各々異種材料で構成することができ、同種の材
料で構成した場合よりも凝着摩耗が低減されるため、こ
れに起因する摩耗、焼き付きおよび発塵を防止すること
ができる。

【００３４】図９は、クロスローラ軸受の更に他の実施
態様を示す斜視図である。このクロスローラ軸受１０
は、ローラを、ポリイミドあるいはフッ素樹脂系の高分
子材料で形成されるローラ５３と、表面に無電解ニッケ
ル被膜２１を介してフッ素樹脂被膜２２が成膜されてい
る、あるいは、更に該フッ素樹脂からなる粒子が前記無
電解ニッケル被膜２１内に含浸されているローラ５４と
を、交互に配置して構成している。これにより、無電解
ニッケル被膜２１を介してフッ素樹脂被膜２２、あるい
は、更に該フッ素樹脂からなる粒子が前記無電解ニッケ
ル被膜２１内に含浸されている被膜表面に被覆すること
により得られる前記効果に加え、ローラ５４の表面に形
成されたフッ素樹脂被膜２２やフッ素樹脂粒子が消失し
た後も、ポリイミドあるいはフッ素樹脂系の高分子材料
からなるローラ５３が潤滑剤の供給源となり、更に、潤
滑寿命を延長することができる。

【００３５】図１０は、クロスローラ軸受の更に他の実
施態様を示す斜視図である。このクロスローラ軸受１０
は、内輪１１および外輪１２のＶ形転走溝以外の互いに
対向する表面に、外輪１２の作動方向と平行になるよう
に溝１５を形成している。このように、内輪１１および
外輪１２におけるＶ形転走溝以外の互いに対向する表面
に溝１５を有することにより、内輪１１と外輪１２と保
持器１３とローラ１４との間の空間を通過する際に、塵
埃がこの溝により捕獲され、保持されるため、発塵を効
果的に防止することができる。尚、溝１５の加工法は、
特に限定はなく、切削、研削等の機械加工やエッチング
等の化学的加工等の公知の加工技術を採用することがで
きる。また、図１０では内輪１１と外輪１２のＶ形転走
溝以外の互いに対向する表面の両方に溝１５が形成され
ているが、どちらか一方の表面だけでもよい。更に、溝
の形成方向は、図１０では外輪１２の作動方向と平行に
なるようにしているが、図１１に示されるように外輪１
２の作動方向とある角度を有するようにしてもよいし、
図１２に示されるように外輪１２の作動方向に対して互
いに異なる角度を有するようにしてもよい。

【００３６】図１３は、クロスローラ軸受の更に他の実
施態様を示す斜視図である。このクロスローラ軸受１０
は、保持器１３における内輪１１および外輪１２と互い
に対向する表面に、外輪１２の作動方向と平行になるよ
うに溝１５を形成している。このように、保持器１３に
おける内輪１１および外輪１２と互いに対向する表面に
溝１５を有することにより、内輪１１と外輪１２と保持
器１３とローラ１４との間の空間を通過する際に、塵埃
がこの溝により捕獲され、保持されるため、発塵を効果
的に防止することができる。尚、前記溝１５の形成方法
は、図１３では外輪１２の作動方向と平行になるように
しているが、図１１に示されるように外輪１２の作動方
向とある角度を有するようにしてもよいし、図１２に示
されるように外輪１２の作動方向に対して互いに異なる
角度を有するようにしてもよい。

【００３７】図１０〜図１３に示したクロスローラ軸受
１０においても、ローラ１４には無電解ニッケル被膜２
１を介してフッ素樹脂被膜２２が成膜され、あるいは更
にフッ素樹脂からなる粒子が無電解ニッケル被膜２１に
含浸されている。

【００３８】以上の説明において、転動体であるローラ
にのみ、無電解ニッケル被膜を介してフッ素樹脂被膜を
形成したり、あるいは更にフッ素樹脂からなる粒子を無
電解ニッケル被膜内に含浸させた構成を示したが、移動
部材である内輪や外輪にも同様の被膜を形成する構成と
することもできる。

【００３９】（第３の実施態様：ボールねじ）次に、ボ
ールねじに適用した場合を説明する。但し、ボールねじ
に関してその構造上の制限は無く、例えば図１４に示さ
れるボールねじの構造を採ることができる。図示される
ように、ボールねじ６０は、一方の移動部材であり、か
つその案内面となる外周面にらせん状のねじ溝６１が形
成されたねじ軸６２と、他方の移動部材であり、かつそ
の案内面となる内周面６３に前記ねじ溝６１に対向する
らせん状のねじ溝６４が形成されたナット６５と、対向
する両ねじ溝間に転動自在に介装された転動体である多
数のボール６６と、それらのボール６６を循環させるチ
ューブ式循環路７０とを備えている。

【００４０】尚、ねじ軸６２、ナット６５およびボール
６６の少なくとも１つは、その表面もしくは全部がセラ
ミック製であることが、耐食性の面で好ましい。その
際、セラミックス材料としては、窒化チタン、炭窒化チ
タン、窒化クロム等が密着性に優れており、特に、好適
に使用できる。セラミックス被膜の場合、その膜厚は１
〜１０μｍで有ることが望ましい。成膜方法は、真空蒸
着法やスパッタリング、イオンプレーティング、イオン
ミキシング、ＣＶＤ法等公知の成膜技術を採用すること
ができる。また、特に、腐食性の高い環境下において使
用する場合には、これらの部材全体を、窒化ケイ素、炭
化ケイ素、サイアロン、部分安定化ジルコニア、アルミ
ナ等のセラミックス製とすることもできる。

【００４１】また、チューブ式循環路７０は外形略コ字
状のチューブからなり、その両端部７１をそれぞれナッ
ト６５を両ねじ溝６１，６４の接線方向に貫通するチュ
ーブ取付け孔７２からナット６５内のボール転動空間に
差し込み、止め金７３でナット６５の外面に固定されて
いる。らせん状のボール転動空間を転動するボール６６
は、ねじ溝６１，６４を複数回回って移動してから、チ
ューブ式循環路７０の一方の端部７１ですくい上げられ
てチューブ式循環路７０の中を通り、他方の端部（図示
せず）からナット６５内のボール転動空間に戻る循環を
繰り返すようになっている。

【００４２】本発明において、このボールねじ６０は、
ねじ軸６２、ナット６５、ボール６６の少なくとも一つ
が、その表面に順に無電解ニッケルからなる被膜及びフ
ッ素樹脂からなる被膜が形成されていることを特徴とす
る。図１５はその膜構成を示す断面図であるが、図示さ
れるように、ねじ軸６２及びナット６５の表面に無電解
ニッケル被膜８０が成膜され、その上にフッ素樹脂被膜
８１成膜されている。フッ素樹脂は特に限定はなく、上
記した直線案内軸受やクロスローラ軸受に使用されるフ
ッ素樹脂と同様である。また、成膜方法も、直線案内軸
受やクロスローラ軸受の場合に従うことができる。尚、
フッ素樹脂被膜５は０．１μｍより薄い場合、潤滑寿命
に問題が生じる。

【００４３】また、ボール６６の表面にも同様の膜が成
膜されていてもよい。但し、ボール６６を窒化珪素、炭
化珪素、部分安定化ジルコニア、アルミナ等のセラミッ
クス製とすることにより、無電解ニッケル被膜８０及び
フッ素樹脂被膜８１を成膜しなくとも必要な耐焼付性が
得られる。また、セラミック製球は鋼球に比べて耐食性
に優れるという利点も有する。

【００４４】更に、チューブ式循環路７０を鋼製とし、
その内壁面にも同様の被膜が成膜されていてもよく、ま
たチューブ式循環路７０をフッ素樹脂製としてもよい。

【００４５】上記の無電解ニッケル被膜８０は、無電解
メッキにより形成される。この無電解メッキにより、そ
の表面に微細なクラックや空孔（図２参照）が自然形成
され、フッ素樹脂被膜８１との密着性が高まる。また、
無電解ニッケル被膜８０は１μｍより薄い場合、フッ素
樹脂被膜８１との密着性やこの無電解ニッケル−燐被膜
８０自身が備える防錆性が不十分となる。

【００４６】尚、無電解ニッケル被膜８０及びフッ素樹
脂被膜８１ともに、その膜厚の上限はボール６６とのク
リアランスを考慮して適宜設定されるが、一般的なボー
ルねじでは無電解ニッケル被膜８０の膜厚は１〜１０μ
ｍ程度、好ましくは２〜７μｍ程度であり、フッ素樹脂
被膜８１の膜厚は０．１μｍ以上である。

【００４７】無電解ニッケル被膜８０には上記したよう
にクラックや空孔が存在する。この無電解ニッケル被膜
８０は膜自体に防錆作用を有するものの、クラックや空
孔を通じて腐食性雰囲気等が通過してねじ軸６２やナッ
ト６５、ボール６６の母材（ステンレス鋼）を腐食させ
ることもある。そこで、フッ素樹脂被膜８１に加えて、
無電解ニッケル被膜８０のクラックや空孔にフッ素樹脂
被膜８１を形成するフッ素樹脂の粒子を含浸させ、クラ
ックや空孔を閉塞することがより好ましい。この含浸
は、上記した直線案内軸受やクロスローラ軸受の場合と
同様に行うことができる。

【００４８】上記したボールねじ６０において、図１６
に示されるように、更に、ボール６６間にスペーサボー
ル９０を介在させることも好ましい形態である。このス
ペーサボール９０は、ボール６６よりもサイズが若干小
さく設定されている。また、スペーサボール９０はフッ
素樹脂製あるいはポリイミド樹脂製であることが好まし
く、また表面に順に無電解ニッケル被膜及びフッ素樹脂
被膜を成膜した鋼球も好適に使用できる。このスペーサ
ボール９０を使用することにより、隣接するボール６６
同士が互いの回転を妨げられることがなく、特にスペー
サボール９０をフッ素樹脂製やポリイミド樹脂製、ある
いは無電解ニッケル被膜及びフッ素樹脂被膜を成膜した
鋼球とする構成では、これらスペーサボール９０からの
潤滑剤（フッ素樹脂やポリイミド樹脂）の転移が期待で
きるため、長寿命化が期待できる。

【００４９】

【実施例】以下に、本発明を実施例によって更に具体的
に説明するが、勿論本発明の範囲は、これらによって限
定されるものではない。（実施例１〜７並びに比較例１〜３）〔直線案内軸受の作製〕図１に示される構造の直線案内
軸受１を、案内軸２、スライダ３、ボール４を各々表１
に示す材料として作製した。ここで、無電解ニッケル被
膜２１は１０μｍの膜厚で被膜した。実施例１および２
では、ＰＴＦＥ被膜２２は、ＰＴＦＥ粒子を分散した溶
液に浸積し、その後３００℃で３時間熱処理することに
より１μｍの膜厚で形成した。一方、実施例３〜７にお
いては、ＰＴＦＥ被膜２２は、平均粒径０．４μｍのＰ
ＴＦＥ粒子をバインダとともに分散した液温４０℃の溶
液に２０分間浸積し、その後３００℃で３時間熱処理し
て膜厚１μｍのＰＴＦＥ被膜を成膜すると共にＰＴＦＥ
粒子を含浸して形成した。実施例５〜７では、ボール４
を各々窒化ケイ素（Ｓｉ₃Ｎ₄)、部分安定化ジルコニア
（ＰＳＺ）、ＰＴＦＥからなるボール４１および、表面
に無電解ニッケル被膜２１を介してＰＴＦＥ被膜２２が
成膜され、かつ、ＰＴＦＥ粒子を含浸したボール４２を
交互に配置した（図３参照）。但し、実施例７におい
て、ＰＴＦＥからなるボール４２の直径は僅かに小さく
した。また、比較例１では、ボール４にＰＴＦＥ焼成膜
を被膜し、比較例２および３では、ボール４に銀被膜を
施した。

【００５０】

【表１】

【００５１】〔発塵試験〕発塵試験は、図１７に示す装
置を用いて行った。試験直線案内軸受１００は、モータ
１１０により、磁性流体シール付き回転導入機１１１、
シャフト１１２および金属製帯１１３を介して、往復運
動される。往復運動に伴い、前記試験直線案内軸受１０
０から発生した塵埃は、レーザー光散乱式のパーティク
ルカウンタ１１４に送られ、発塵粒子の個数が計測され
る。尚、この発塵試験装置は、クラス１００レベルのク
リーンベンチ内に設置されている。この発塵試験装置を
用いて、各直線案内軸受から外部に飛散する粒子数を計
測した。尚、試験条件は、次の通りである。・雰囲気：大気、常温・試験直線案内軸受：型番ＬＵ０９（案内軸幅；９ｍ
ｍ、案内軸長さ；７０ｍｍ、スライダ幅；２０ｍｍ、ス
ライダ長さ；２７ｍｍ）・予圧：１９．６Ｎ・平均速度：１０ｍｍ／ｓｅｃ・ストローク：１０ｍｍ

【００５２】試験結果を表１に併記する。表１におい
て、各軸受からの発塵量は、比較例１の発塵量を１００
とし、相対値で表す。本発明に係る実施例の直線案内軸
受は、無電解ニッケル被膜を介さないＰＴＦＥ焼成膜や
銀被膜を成膜した比較例の直線案内軸受と比較して、発
塵量が極めて少ないことがわかる。

【００５３】〔耐食性試験〕各試験軸受の耐食性の評価
を、図１８に示す試験装置を用いて行った。耐食性評価
試験は、０．５Ｎ塩酸水溶液２００が注入された密封容
器２０１中に、試験軸受１００を収容し、上部が開放さ
れたビーカー２０２を収納して恒温槽２０３により温度
５５℃で１００時間保持した後、目視により外観を観察
した。評価結果を表１に併記する。本発明に係る実施例
の直線案内軸受は、無電解ニッケル被膜を介さないＰＴ
ＦＥ焼成膜や銀被膜を処理した比較例の直線案内軸受と
比較して、耐食性に優れることがわかる。但し、実施例
３では、案内軸２およびスライダ３には、セラミックス
被膜が形成されていないので、案内軸とスライダの表面
に錆が発生しているのが認められ、軸受全体としては耐
食性に若干劣ることが判明した。

【００５４】（実施例８〜１５並びに比較例４〜６）〔クロスローラ軸受の作製〕図７に示される構造のクロ
スローラ軸受１０を、内輪１１、外輪１２、ローラ１４
を各々表２に示す材料として作製した。ここで、無電解
ニッケル被膜２１は１０μｍの膜厚で被膜した。実施例
８および９では、ＰＴＦＥ被膜２２は、ＰＴＦＥ粒子を
分散した溶液に浸積し、その後３００℃で３時間熱処理
することにより１μｍの膜厚で形成した。一方、実施例
１１〜１５では、ＰＴＦＥ被膜２２は、平均粒径０．４
μｍのＰＴＦＥ粒子をバインダとともに分散した液温４
０℃の溶液に２０分間浸積し、その後３００℃で３時間
熱処理して膜厚１μｍのＰＴＦＥ被膜を成膜すると共に
ＰＴＦＥ粒子を含浸して形成した。また、実施例１２で
は、内輪１１および外輪１２のＶ形転走溝以外の互いに
対向する表面に、外輪１２の作動方向と平行になるよう
に複数の溝を切削加工で形成した。実施例１３〜１５で
は、ローラを各々窒化ケイ素（Ｓｉ₃Ｎ₄)、部分安定化
ジルコニア（ＰＳＺ）、ＰＴＦＥからなるローラ５１お
よび、表面に無電解ニッケル被膜２１を介してＰＴＦＥ
被膜２２が成膜され、かつ、ＰＴＦＥ粒子を含浸したロ
ーラ５２を交互に配置した（図８参照）。但し、実施例
１４において、ＰＴＦＥからなるローラ５２の直径は僅
かに小さくした。また、比較例４では、ローラ１４にＰ
ＴＦＥ焼成膜を被膜し、比較例５および６では、ローラ
１４に銀被膜を施した。

【００５５】

【表２】

【００５６】〔発塵試験〕発塵試験は、図１９に示す装
置を用いて行った。試験クロスローラ軸受１０１および
１０２は各々の外輪にテーブル１３０が固定され、モー
タ１３１により磁性流体シール付き回転導入機１３２、
シャフト１３３、金属製帯１３４およびテーブル１３０
を介して往復運動される。往復運動に伴い、前記試験ク
ロスローラ軸受１０１および１０２から発生した塵埃
は、レーザー光散乱式のパーティクルカウンタ１３５に
送られ、発塵粒子の個数が計測される。この発塵試験装
置は、クラス１００レベルのクリーンベンチ内に設置さ
れている。この発塵試験装置を用いて、各クロスローラ
軸受から外部に飛散する粒子数を計測した。尚、試験条
件は、次の通りである。・雰囲気：大気、常温・試験軸受：型番ＣＲＧ０４（幅；２４ｍｍ、
高さ：１２ｍｍ、長さ；５０ｍｍ）・荷重：１９．６Ｎ・平均速度：１０ｍｍ／ｓｅｃ・ストローク：２５ｍｍ

【００５７】試験結果を表２に併記する。表２におい
て、各軸受からの発塵量は、比較例４の発塵量を１００
とし、相対値で表す。本発明に係る実施例の固体潤滑ク
ロスローラ軸受は、無電解ニッケル被膜を介さないＰＴ
ＦＥ焼成膜や銀被膜を成膜した比較例のクロスローラ軸
受と比較して、発塵量が極めて少ないことがわかる。

【００５８】〔耐食性試験〕各試験軸受の耐食性の評価
を、図２０に示す試験装置を用いて行った。耐食性評価
試験は、０．５Ｎ塩酸水溶液２００が注入された密封容
器２０１中に、試験軸受１０１（１０２）を収容し、上
部が開放されたビーカー２０２を収納して恒温槽２０３
により温度５５℃で１００時間保持した後、目視により
外観を観察した。評価結果を表２に併記する。本発明に
係る実施例のクロスローラ軸受は、無電解ニッケル被膜
を介さないＰＴＦＥ焼成膜や銀被膜を処理した比較例の
クロスローラ軸受と比較して、耐食性に優れることがわ
かる。但し、実施例１０では、内輪１１および外輪１２
には、セラミックス被膜が形成されていないので、内輪
と外輪の表面に錆が発生しているのが認められ、軸受全
体としては耐食性に若干劣ることが判明した。

【００５９】（実施例１６〜２０並びに比較例７〜８）〔ボールねじの作製〕図１４に示すボールねじ６０を、
ねじ軸６２、ナット６５、ボール６６、チューブ（循環
路）７０の各部品に表３に示す如くそれぞれの被膜処理
を施した。表中、無電解ニッケル被膜とＰＴＦＥ被膜と
を施したものを「○」で示し、その他の被膜に関しては
その材質を記した。膜厚は、実施例の無電解ニッケル被
膜は１０μｍ、ＰＴＦＥ被膜は０．３μｍであり、比較
例の銀被膜は０．５μｍであり、ＰＴＦＥ被膜は２〜３
μｍである。ボール６６に関しては実施例１６にのみ無
電解ニッケル被膜とＰＴＦＥ被膜とを成膜し、その他の
実施例では何の被膜も成膜せず、また実施例１７、１８
及び２０ではセラミック製ボールを使用した。比較例７
及び比較例８では、銀またはＰＴＦＥの単一膜を成膜し
たボールを使用した。スペーサボール９０（図１６参
照）は、実施例１８、１９及び２０ではフッ素樹脂製の
ものを使用し、更に実施例２０において無電解ニッケル
被膜とＰＴＦＥ被膜とを成膜したものを使用した。そし
て、各試験ボールねじの真空中での発塵量並びに軸受寿
命を測定した。

【００６０】

【表３】

【００６１】〔発塵試験〕真空中での発塵量の測定に
は、図２１に示される試験装置を使用した。ボールねじ
の発塵評価は、垂直方向に設置されたねじ軸６２の回転
によりナット６５が上下に往復する時の発塵量を、ボー
ルねじ下部に設置した光散乱式の真空ダストセンサー１
４０により測定した。この時のボールねじの回転は、磁
性流体シールユニット１４１を介して大気中にあるＡＣ
サーボモータ１４２により行った。また、荷重はナット
６５に固定した錘１４４により付与した。測定は、真空
に維持された真空チャンバ１４３内で行った。尚、試験
条件は、以下の通りである。・試験ボールねじ：軸径１５ｍｍ、リード１０ｍｍ、
ストローク３００ｍｍ・負荷荷重：２９．４Ｎ・回転速度：３００ｒｐｍ・真空度：１×１０^-3Ｐａ以下

【００６２】〔軸受寿命試験〕真空中での寿命の測定に
は、図２２に示される試験装置を使用した。ボールねじ
の寿命評価は、コイルばねによってねじ軸６２の軸線方
向に荷重をかけた２個のナット６５を往復させ、トルク
が急上昇するまでのねじ軸６２の総回転数（正逆回転の
合計）で評価した。ボールねじのトルクは、ひずみゲー
ジ１５０を貼り付けた板バネ１５１によって試験の間中
連続して測定した。回転の導入は、磁性流体シールユニ
ット１５２を介して、ＡＣサーボモータ１５３により行
った。測定は、真空に維持された真空チャンバ１５４内
で行った。試験条件は、以下の通りである。・試験ボールねじ：軸径１２ｍｍ、リード４ｍｍ、ス
トローク１６０ｍｍ・負荷荷重：２９．４Ｎ・回転速度：６００ｒｐｍ・真空度：１×１０^-3Ｐａ以下

【００６３】上記の真空中での発塵試験結果および寿命
試験結果を表３に示す。なお、発塵試験結果は、比較例
７を１００とした相対発塵量で示した。表３から明らか
なように、本発明に係る各実施例のボールねじは、比較
例のボールねじに比べて発塵量及びトルク寿命ともに優
れていることが判る。具体的には、従来の代表的な固体
潤滑膜である銀を成膜した比較例７のボールねじは発塵
量が実施例の１０倍であり、またＰＴＦＥ被膜のみを成
膜した比較例８のボールねじは発塵量が実施例の１００
０倍であり、しかもトルク寿命も１桁短い。特に比較例
８のボールねじは、無電解ニッケル被膜が無いためにね
じ軸等の成膜部品とＰＴＦＥ被膜との密着性が低く、Ｐ
ＴＦＥ被膜が早期に成膜部品から剥離する結果、発塵量
及びトルク寿命ともに劣るものと考えられる。これに対
して実施例のボールねじは、無電解ニッケル被膜の存在
によりＰＴＦＥ被膜と成膜部材との密着性が高まり、発
塵量が少なく、トルク寿命の長寿命化が実現できる。ま
た、スペーサボールを用いることにより、トルク寿命が
延びることが確認された。

【００６４】

【発明の効果】本発明の直動装置は、以上に述べた通
り、転がり摩擦またはすべり摩擦が生じる移動部材の案
内面または転動体のうち少なくとも一つの表面に、無電
解ニッケル被膜を介してフッ素樹脂からなる被膜を被覆
したため、無電解ニッケル被膜の投錨効果によりフッ素
樹脂被膜と被覆面との密着性が向上する。それにより、
フッ素樹脂の移動部材の案内面や転動体等からの脱落
や、案内面や転動体等への過度の移着が防止され、発塵
が抑制されるとともに、長期にわたり優れた潤滑性が維
持される。また、無電解ニッケル被膜には、通常、微細
なクラックや空孔が存在しており、フッ素樹脂被膜の成
膜と同時に、含浸によりフッ素樹脂粒子が前記の微細な
クラックや空孔に入り込み、フッ素樹脂被膜と無電解ニ
ッケル被膜との密着性がより向上する。更に、フッ素樹
脂被膜が摩耗により消失した後にも、含浸されたフッ素
樹脂粒子が潤滑剤として機能するため、フッ素樹脂被膜
単独の場合と比較して潤滑寿命が延長される。しかも、
無電解ニッケル被膜のクラックや空孔がフッ素樹脂粒子
により閉塞されているため、これらクラックや空孔を通
じて腐食性のガスや水等の侵入が防止されて耐食性が向
上し、錆による発塵を防止することができる。また、移
動部材の案内面または全体、もしくは転動体の表面また
は全体の少なくとも一つをセラミックスから構成するこ
とにより、直動装置の酸やアルカリに対する耐食性が一
段と向上し、錆による塵埃の発生が更に防止され、腐食
性が強い環境下においても使用することができる。尚、
無電解ニッケル−燐被膜を備える場合、膜自体に防錆作
用があり、耐食性が更に向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の直動装置の一種である直線案内軸受の
一例を示す一部破断した斜視図である。

【図２】図１に示した直線案内軸受のボールの拡大断面
図である。

【図３】本発明の直動装置の一種である直線案内軸受の
他の例を示す一部破断した斜視図である。

【図４】本発明の直動装置の一種である直線案内軸受の
更に他の例を示す一部破断した斜視図である。

【図５】本発明の直動装置の一種である直線案内軸受の
更に他の例を示す一部破断した斜視図である。

【図６】本発明の直動装置の一種である直線案内軸受の
更に他の例を示す一部破断した斜視図である。

【図７】本発明の直動装置の一種であるクロスローラ軸
受の一例を示す一部破断した斜視図である。

【図８】本発明の直動装置の一種であるクロスローラ軸
受の他の例を示す一部破断した斜視図である。

【図９】本発明の直動装置の一種であるクロスローラ軸
受の更に他の例を示す一部破断した斜視図である。

【図１０】本発明の直動装置の一種であるクロスローラ
軸受の更に他の例を示す一部破断した斜視図である。

【図１１】本発明の直動装置の一種であるクロスローラ
軸受の更に他の例を示す一部破断した斜視図である。

【図１２】本発明の直動装置の一種であるクロスローラ
軸受の更に他の例を示す一部破断した斜視図である。

【図１３】本発明の直動装置の一種であるクロスローラ
軸受の更に他の例を示す一部破断した斜視図である。

【図１４】本発明の直動装置の一種であるボールねじの
一例を示す一部断面図である。

【図１５】図１４に示すボールねじの一部断面図であ
る。

【図１６】本発明の直動装置の一種であるボールねじの
他の例を示す部分断面図である。

【図１７】実施例１〜７において発塵試験に使用した装
置の概略構成図である。

【図１８】実施例１〜７において腐食性試験に使用した
装置の概略構成図である。

【図１９】実施例８〜１５において発塵試験に使用した
装置の概略構成図である。

【図２０】実施例８〜１５において腐食性試験に使用し
た装置の概略構成図である。

【図２１】実施例１６〜２０において発塵試験に使用し
た装置の概略構成図である。

【図２２】実施例１６〜２０において軸受寿命試験に使
用した装置の概略構成図である。

【符号の説明】

１直線案内軸受２案内軸３スライダ４ボール１０クロスローラ軸受１１内輪１２外輪１３保持器１４ローラ１５溝２１無電解ニッケル被膜２２フッ素樹脂被膜６０ボールねじ装置６１ねじ溝６２ねじ軸６４ねじ溝６５ナット６６ボール８０無電解ニッケル被膜８１ＰＴＦＥ被膜９０スペーサボール

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】一方の移動部材と他方の移動部材とが、
それぞれの案内面に接する転動体を介して相対的に直線
移動する装置において、前記両移動部材または転動体の
少なくとも一つが、その表面に無電解ニッケル被膜を介
してフッ素樹脂被膜が成膜されていることを特徴とする
直動装置。
【請求項２】一方の移動部材と他方の移動部材とが、
それぞれの案内面に接する転動体を介して相対的に直線
移動する装置において、前記両移動部材または転動体の
少なくとも一つが、その表面に無電解ニッケル被膜を介
してフッ素樹脂からなる被膜が成膜され、かつ、該フッ
素樹脂からなる粒子が前記無電解ニッケル被膜内に含浸
されていることを特徴とする直動装置。
【請求項３】前記両移動部材の案内面または全体、も
しくは転動体の表面または全体の少なくとも１つがセラ
ミックスからなることを特徴とする請求項１または２に
記載の直動装置。