JPH10329059A5 - - Google Patents
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- JPH10329059A5 JPH10329059A5 JP1997157570A JP15757097A JPH10329059A5 JP H10329059 A5 JPH10329059 A5 JP H10329059A5 JP 1997157570 A JP1997157570 A JP 1997157570A JP 15757097 A JP15757097 A JP 15757097A JP H10329059 A5 JPH10329059 A5 JP H10329059A5
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- JP
- Japan
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- rotation transmission
- fulcrum
- transmission member
- arm
- around
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
【0004】
従来、2アーム方式の搬送用ロボット装置としては、例えば、図10乃至図13に示される装置が提言されている。
すなわち、図10乃至図13において、80は固定の枠体、81は、固定の枠体80に対して適宜の駆動機により軸芯O1のまわりに旋回される水平旋回台、82は水平旋回台81の軸芯O1と平行な第1支点P1のまわりで回転自在に支持された第1のアームで、この第1のアーム82は旋回台81に取付けられた適宜の駆動機により適宜に回転駆動される。
83は第1のアーム82に対して第1支点P1に平行な第2支点Q1のまわりで回転自在に支持された第2のアーム、84は第2のアーム83に対して第2支点Q1に平行な第3支点R1のまわりで回転自在に支持されたハンド部材、85は、第1支点P1を軸芯として旋回台81に固定された第1の回転伝達部材、
86は、第2支点Q1を軸芯として第2のアーム83に固定された第2の回転伝達部材、87は、第2支点Q1を軸芯として第1のアーム82に固定された第3の回転伝達部材、88は、第3支点R1を軸芯としてハンド部材84に固定された第4の回転伝達部材、
89および90は、第1の回転伝達部材85と第2の回転伝達部材86および第3の回転伝達部材87と第4の回転伝達部材88との間に夫々配設された第1および第2の連結具である。なお、第1および第2の支点の間隔Sと、第2および第3の支点の間隔Sとが同一で、かつ第1の回転伝達部材85と第2の回転伝達部材86および第4の回転伝達部材88と第3の回転伝達部材87との半径比が夫々2:1に形成されている。
勿論、第1乃至第4の回転伝達部材85乃至88は、チェーンスプロケットあるいはプーリーが適宜に用いられ、これらに応じて第1および第2の連結具89,90はチェーンあるいは歯付ベルト等が適宜に用いられる。
従来、2アーム方式の搬送用ロボット装置としては、例えば、図10乃至図13に示される装置が提言されている。
すなわち、図10乃至図13において、80は固定の枠体、81は、固定の枠体80に対して適宜の駆動機により軸芯O1のまわりに旋回される水平旋回台、82は水平旋回台81の軸芯O1と平行な第1支点P1のまわりで回転自在に支持された第1のアームで、この第1のアーム82は旋回台81に取付けられた適宜の駆動機により適宜に回転駆動される。
83は第1のアーム82に対して第1支点P1に平行な第2支点Q1のまわりで回転自在に支持された第2のアーム、84は第2のアーム83に対して第2支点Q1に平行な第3支点R1のまわりで回転自在に支持されたハンド部材、85は、第1支点P1を軸芯として旋回台81に固定された第1の回転伝達部材、
86は、第2支点Q1を軸芯として第2のアーム83に固定された第2の回転伝達部材、87は、第2支点Q1を軸芯として第1のアーム82に固定された第3の回転伝達部材、88は、第3支点R1を軸芯としてハンド部材84に固定された第4の回転伝達部材、
89および90は、第1の回転伝達部材85と第2の回転伝達部材86および第3の回転伝達部材87と第4の回転伝達部材88との間に夫々配設された第1および第2の連結具である。なお、第1および第2の支点の間隔Sと、第2および第3の支点の間隔Sとが同一で、かつ第1の回転伝達部材85と第2の回転伝達部材86および第4の回転伝達部材88と第3の回転伝達部材87との半径比が夫々2:1に形成されている。
勿論、第1乃至第4の回転伝達部材85乃至88は、チェーンスプロケットあるいはプーリーが適宜に用いられ、これらに応じて第1および第2の連結具89,90はチェーンあるいは歯付ベルト等が適宜に用いられる。
【0006】
今、第1の回転伝達部材85は固定状態にあり、このときに第2支点Q1がQ11の位置まで角度θだけ反時計方向に移動すれば、第1および第2の回転伝達部材85,86間に配設された第1の連結具89のうち、Y1方向のものは第1の回転伝達部材85に巻きつき、Y2方向のものは第1の回転伝達部材85から巻戻された状態となる。
すなわち、図12において第1の連結具89はa1およびa 2 の方向に移動する。これにより第2の回転伝達部材86は第2支点Q1を中心として時計方向に回動される。
ところで第1の回転伝達部材85と第2の回転伝達部材86とは半径比が2:1であるため、上記のごとく、第1のアーム82が第1支点P1を中心として角度θだけ反時計方向に回動すれば、第2の回転伝達部材86は第2支点Q11を中心として角度2θだけ時計方向に回動される。
この場合、第2の回転伝達部材86は第2のアーム83に固定されているため、第2の回転伝達部材86と第2のアーム83とは第2支点Q1を中心として角度2θだけ時計方向に回動される。
すなわち、第1,第2および第3支点P1,Q1,R1が一直線上に位置する状態で第1のアーム82が第1支点P1を中心として反時計方向に角度θだけ回動されると、仮想的に第3支点はR11の位置に回動されるが、この場合、上記のごとく、第2の回転伝達部材86は第2支点Q11を中心として角度2θだけ時計方向に回動される。
このため、第3支点R11は第2支点Q11を中心として角度2θだけ時計方向に回動されて、R12の位置に回動される。
従って、上記のごとく第1のアーム82が上記のごとく第1支点P1を中心として反時計方向に角度θだけ回動されたときの第3支点R12の位置は、第1および第2のアーム82,83の回動前の第1および第3支点P1,R1を結ぶ直線状に位置している。
今、第1の回転伝達部材85は固定状態にあり、このときに第2支点Q1がQ11の位置まで角度θだけ反時計方向に移動すれば、第1および第2の回転伝達部材85,86間に配設された第1の連結具89のうち、Y1方向のものは第1の回転伝達部材85に巻きつき、Y2方向のものは第1の回転伝達部材85から巻戻された状態となる。
すなわち、図12において第1の連結具89はa1およびa 2 の方向に移動する。これにより第2の回転伝達部材86は第2支点Q1を中心として時計方向に回動される。
ところで第1の回転伝達部材85と第2の回転伝達部材86とは半径比が2:1であるため、上記のごとく、第1のアーム82が第1支点P1を中心として角度θだけ反時計方向に回動すれば、第2の回転伝達部材86は第2支点Q11を中心として角度2θだけ時計方向に回動される。
この場合、第2の回転伝達部材86は第2のアーム83に固定されているため、第2の回転伝達部材86と第2のアーム83とは第2支点Q1を中心として角度2θだけ時計方向に回動される。
すなわち、第1,第2および第3支点P1,Q1,R1が一直線上に位置する状態で第1のアーム82が第1支点P1を中心として反時計方向に角度θだけ回動されると、仮想的に第3支点はR11の位置に回動されるが、この場合、上記のごとく、第2の回転伝達部材86は第2支点Q11を中心として角度2θだけ時計方向に回動される。
このため、第3支点R11は第2支点Q11を中心として角度2θだけ時計方向に回動されて、R12の位置に回動される。
従って、上記のごとく第1のアーム82が上記のごとく第1支点P1を中心として反時計方向に角度θだけ回動されたときの第3支点R12の位置は、第1および第2のアーム82,83の回動前の第1および第3支点P1,R1を結ぶ直線状に位置している。
【0012】
さらに、第1および第2のアーム機構91,92のハンド部材84A,84Bを夫々直線移動させるための回転駆動機は、水平旋回台81に搭載されて、水平旋回台81と共に旋回されるが、この回転用駆動機には固定の枠体80側から給電用のケーブルが配線されるため、このケーブルの断線防止として旋回角度、すなわち旋回回数が制限されていた。
このため、初期設置状態に対して、水平旋回台81の旋回中心O1に対する時計廻りおよび反時計廻りの旋回角度が許容値、例えば夫々540度以内となるように制限するための電気的監視装置が必要であり、装置が高価となる割りには、装置としての使い勝手が悪かった。
さらに、第1および第2のアーム機構91,92のハンド部材84A,84Bを夫々直線移動させるための回転駆動機は、水平旋回台81に搭載されて、水平旋回台81と共に旋回されるが、この回転用駆動機には固定の枠体80側から給電用のケーブルが配線されるため、このケーブルの断線防止として旋回角度、すなわち旋回回数が制限されていた。
このため、初期設置状態に対して、水平旋回台81の旋回中心O1に対する時計廻りおよび反時計廻りの旋回角度が許容値、例えば夫々540度以内となるように制限するための電気的監視装置が必要であり、装置が高価となる割りには、装置としての使い勝手が悪かった。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9157570A JPH10329059A (ja) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | 2アーム方式の搬送用ロボット装置 |
| US09/030,112 US6099238A (en) | 1997-05-30 | 1998-02-25 | Two-armed transfer robot |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9157570A JPH10329059A (ja) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | 2アーム方式の搬送用ロボット装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10329059A JPH10329059A (ja) | 1998-12-15 |
| JPH10329059A5 true JPH10329059A5 (ja) | 2005-03-17 |
Family
ID=15652584
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9157570A Pending JPH10329059A (ja) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | 2アーム方式の搬送用ロボット装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6099238A (ja) |
| JP (1) | JPH10329059A (ja) |
Families Citing this family (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20040005211A1 (en) * | 1996-02-28 | 2004-01-08 | Lowrance Robert B. | Multiple independent robot assembly and apparatus and control system for processing and transferring semiconductor wafers |
| KR980008470A (ko) * | 1996-07-15 | 1998-04-30 | 조셉 제이. 스위니 | 이중 평면 로봇 |
| JPH10329069A (ja) * | 1997-03-31 | 1998-12-15 | Daihen Corp | 搬送システムの制御方法 |
| JP4178534B2 (ja) * | 1997-12-24 | 2008-11-12 | 株式会社安川電機 | 基板搬送用ロボット |
| US6267549B1 (en) * | 1998-06-02 | 2001-07-31 | Applied Materials, Inc. | Dual independent robot blades with minimal offset |
| US6450755B1 (en) | 1998-07-10 | 2002-09-17 | Equipe Technologies | Dual arm substrate handling robot with a batch loader |
| US6582175B2 (en) * | 2000-04-14 | 2003-06-24 | Applied Materials, Inc. | Robot for handling semiconductor wafers |
| JP2002166376A (ja) * | 2000-11-30 | 2002-06-11 | Hirata Corp | 基板搬送用ロボット |
| US7244088B2 (en) * | 2002-12-13 | 2007-07-17 | RECIF Société Anonyme | FOUP door transfer system |
| JP4336831B2 (ja) * | 2004-11-24 | 2009-09-30 | 東芝機械株式会社 | 産業用ロボット |
| TWM316146U (en) * | 2006-09-26 | 2007-08-01 | United Ceramic Technology Co | Robot manipulator |
| DE102007014130A1 (de) * | 2007-03-23 | 2008-09-25 | Festo Ag & Co. Kg | Handhabungsgerät |
| US8225509B2 (en) * | 2008-01-11 | 2012-07-24 | Kaydon Corporation | Method for making a pivot arm assembly for semiconductor wafer handling robots |
| KR20120023701A (ko) * | 2009-06-15 | 2012-03-13 | 가부시키가이샤 아루박 | 기판 반송 장치 |
| JP5563271B2 (ja) * | 2009-10-19 | 2014-07-30 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送ロボット |
| US8953298B2 (en) | 2011-11-30 | 2015-02-10 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Electrostatic chuck robotic system |
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| WO2024015562A1 (en) * | 2022-07-14 | 2024-01-18 | Boston Atomics, Inc. | In-vessel maintenance robot and method of operation |
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Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0825151B2 (ja) * | 1988-09-16 | 1996-03-13 | 東京応化工業株式会社 | ハンドリングユニット |
| JP2808826B2 (ja) * | 1990-05-25 | 1998-10-08 | 松下電器産業株式会社 | 基板の移し換え装置 |
| JP2831820B2 (ja) * | 1990-07-30 | 1998-12-02 | 株式会社プラズマシステム | 基板搬送装置 |
| KR0162102B1 (ko) * | 1991-05-29 | 1999-02-01 | 이노우에 아키라 | 반도체 제조장치 |
| JP3030667B2 (ja) * | 1991-07-29 | 2000-04-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送装置 |
| JPH06132380A (ja) * | 1992-09-04 | 1994-05-13 | Fujitsu Ltd | 搬送装置 |
| JP2761438B2 (ja) * | 1993-04-16 | 1998-06-04 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 搬送装置 |
| JP3181455B2 (ja) * | 1993-11-20 | 2001-07-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送アーム装置及びこれを用いた処理室集合装置 |
| DE4499167T1 (de) * | 1993-11-22 | 1996-11-14 | Sony Corp | Transportvorrichtung mit Vielfachgelenk-Arm |
| JP3264076B2 (ja) * | 1994-01-31 | 2002-03-11 | 松下電器産業株式会社 | 真空処理装置 |
| JPH0871965A (ja) * | 1994-08-31 | 1996-03-19 | Sony Corp | 移載装置 |
| US5765444A (en) * | 1995-07-10 | 1998-06-16 | Kensington Laboratories, Inc. | Dual end effector, multiple link robot arm system with corner reacharound and extended reach capabilities |
| US5647724A (en) * | 1995-10-27 | 1997-07-15 | Brooks Automation Inc. | Substrate transport apparatus with dual substrate holders |
-
1997
- 1997-05-30 JP JP9157570A patent/JPH10329059A/ja active Pending
-
1998
- 1998-02-25 US US09/030,112 patent/US6099238A/en not_active Expired - Lifetime
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