JPH10330125A5 - 基板ブレイク装置、基板ブレイク方法、基板分断装置および基板分断システム - Google Patents

Claims (25)

1. 基板の一方または他方の面にスクライブラインが刻まれた基板をセットするテーブル上の少なくとも１条の凸ラインを含むテーブルマットと、
   基板の上方から基板を押圧するブレイクバーと、
   基板に衝撃的な押圧力が加わらないように前記ブレイクバーを所定の速度で下降させる駆動手段と、
   を具備し、
   前記スクライブラインに沿って基板をブレイクすることを特徴とする基板ブレイク装置。
2. 前記テーブルマットは少なくとも２条の凸ラインを含み、その２条の凸ライン間の中央に１条のスクライブラインを裏側にして位置させる請求項１に記載の基板ブレイク装置。
3. 前記少なくとも２条の凸ラインの外側に、前記凸ラインの変形を防止する幅広の凸部を具備する請求項２に記載の基板ブレイク装置。
4. 前記１条の凸ラインの中央に１条のスクライブラインを表側にして位置させ、前記ブレイクバーが前記１条のスクライブラインの両側を押圧する形状である請求項１に記載の基板ブレイク装置。
5. 前記凸ライン及び前記凸部には、基板との接触面積を少なくし、基板に発生する静電気を抑制する微細な凹凸を有する請求項２乃至４のいずれか一つに記載の基板ブレイク装置。
6. スクライブラインに沿って基板がブレイクされるとき、前記ブレイクバーに加えられるブレイク圧が所定値に達した場合、前記駆動手段による前記ブレイクバーの下降を停止させるための荷重センサをさらに具備する請求項１に記載の基板ブレイク装置。
7. スクライブラインに沿って基板がブレイクされるとき、前記ブレイクバー降下量から基板の撓み量を求め、その撓み量が所定値に達した場合、前記駆動手段による前記ブレイクバーの下降を停止させるためのブレイクバーの下降量を検出する検出手段をさらに具備する請求項１または６のいずれか一つに記載の基板ブレイク装置。
8. 前記テーブルマットが感光性樹脂であって、前記テーブルマットをマスクした後、感光され、感光後、現像させることにより前記凸ラインおよび前記凸部が形成される請求項２乃至４のいずれか一つに記載の基板ブレイク装置。
9. スクライブラインが刻まれた基板の一方または他方の面を裏側にして、テーブル上の少なくとも１条の凸ラインを含むテーブルマットに基板をセットし、基板の上方から基板を押圧するブレイクバーを基板に衝撃的な押圧が加わらないように、前記ブレイクバーの下降速度を制御し、前記スクライブラインに沿って基板をブレイクすることを特徴とするブレイク方法。
10. 前記テーブルマットは少なくとも２条の凸ラインを含み、その２条の凸ライン間の中央に基板に刻まれた１条のスクライブラインを裏側にして位置させ、前記１条のスクライブラインを境として、逆Ｖ字型に撓ませて基板をブレイクする請求項９に記載の基板ブレイク方法。
11. 前記少なくとも２条の凸ラインの外側に、前記凸ラインの変形を防止する幅広の凸部を設け、スクライブラインに沿って基板をブレイクするとき、基板が斜めに割れることを防止する請求項１０に記載の基板ブレイク方法。
12. 前記１条の凸ラインの中央に基板に刻まれた１条のスクライブラインを表側にして位置させ、前記ブレイクバーが前記１条のスクライブラインの両側を押圧する形状である請求項９に記載の基板ブレイク方法。
13. 前記凸ライン及び前記凸部には、基板との接触面積を少なくし、基板に発生する静電気を抑制する微細な凹凸を有する請求項１０乃至１２のいずれか一つに記載の基板ブレイク方法。
14. スクライブラインに沿って基板がブレイクされるとき、荷重センサ により前記ブレイクバーに加えられるブレイク圧を検出し、前記ブレイク圧が所定値に達した場合、前記ブレイクバーの下降を停止させる請求項９に記載の基板ブレイク方法。
15. スクライブラインに沿って基板がブレイクされるとき、ブレイクバーの下降量を検出する検出手段によって前記ブレイクバー降下量から基板の撓み量を求め、その撓み量が所定値に達した場合、前記ブレイクバーの下降を停止させる請求項９または１４のいずれか一つに記載の基板ブレイク方法。
16. 前記テーブルマットが感光性樹脂であって、テーブルマットをマスクした後、感光され、感光された後、現像させることにより前記凸ラインおよび前記凸部が形成される請求項１０乃至１２のいずれか一つに記載の基板ブレイク方法。
17. 基板にスクライブラインを刻むスクライブ機能と、
    前記スクライブ機能により、スクライブラインが刻まれる基板の一方または他方の面を裏側にして基板をセットするテーブル上の少なくとも１条のラインを含むテーブルマットと、
    基板の上から基板を押圧するブレイクバーと、
    基板に衝撃的な押圧力が加わらないように、前記ブレイクバーを所定の速度で下降させる駆動手段と、
    を具備し、
    前記スクライブラインに沿って基板をブレイクすることを特徴とする基板分断装置。
18. 前記１条の凸ラインの中央に基板の一方の面に刻まれた１条のスクライブラインを表側にして位置させ、前記ブレイクバーが前記１条のスクライブラインの両側を押圧する形状である請求項１７に記載の基板分断装置。
19. 前記凸ラインは、基板との接触面積を少なくし、基板に発生する静電気を制御する微細な凹凸を有する請求項１８に記載の基板分断装置。
20. スクライブラインに沿って基板をブレイクするとき、前記ブレイクバーに加えられるブレイク圧が所定値に達した場合、前記駆動手段による前記ブレイクバーの下降を停止させるための荷重センサを更に具備する請求項１７に記載の基板分断装置。
21. スクライブラインに沿って基板をブレイクさせるとき、前記ブレイクバー降下量から基板の撓み量を求め、その撓み量が所定量に達した場合、前記駆動手段による前記ブレイクバーの下降を停止させるためのブレイクバーの下降量を検出する検出手段をさらに具備する請求項１７または２０のいずれか一つに記載の基板分断装置。
22. 前記テーブルマットが感光性樹脂であって前記テーブルマットをマスクした後、感光され、感光された後、現像させることにより前記凸ラインおよび前記凸部が形成される請求項１８または１９のいずれかに記載の基板分断装置。
23. 基板が第１の基板と第２の基板を接合させた接合基板であって、
    前記第１の基板を分断する請求項１７乃至２２に記載のいずれか一つの第１の基板分断装置と、
    前記第１の基板分断装置で前記第１の基板が分断された接合基板を反転させる反転搬送機と、
    前記第２の基板を分断する請求項１７乃至２２に記載のいずれか一つの第２の基板分断装置と、
    を具備し、
    前記接合基板を分断することを特徴とする基板分断システム。
24. 残された耳部を切除するブレイクマシンをさらに具備する請求項２３に記載の基板分断システム。
25. 基板が第１の基板と第２の基板を接合させた接合基板であって、
    前記第１の基板にスクライブラインを刻む第１の基板スクライブ装置と、
    前記第１の基板に刻まれたスクライブラインに沿ってブレイクする請求項１乃至３及び４乃至８に記載のいずれか一つの第１の基板ブレイク装置と、
    前記第２の基板にスクライブラインを刻む第２の基板スクライブ装置と、
    前記第２の基板に刻まれたスクライブラインに沿ってブレイクする請求項１及び４乃至８に記載のいずれか一つの第２の基板ブレイク装置と、
    前記第１の基板スクライブ装置で第１の基板にスクライブラインが刻まれた接合基板を反転させ第１の基板ブレイク装置へ搬送する反転搬送機と、
    前記第１の基板ブレイク装置で前記第１の基板がブレイクされた接合基板を第２の基板スクライブ装置へ搬送する搬送機と、
    前記第２の基板スクライブ装置で第２の基板にスクライブラインが刻まれた接合基板を反転させ第２の基板ブレイク装置へ搬送する反転搬送機と、
    を具備し、
    前記接合基板を分断することを特徴とする基板分断システム。