JPH10339487A - ファンフィルターユニット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 部品点数が少なくて、構造が簡単で、安価
で、しかも、有効開口面積が大きなファンフィルターユ
ニットを提供すること。 【解決手段】 フッ素樹脂製の筒形のフィルターケーシ
ング２２の一端部２２ｂは、全面が開口している。フィ
ルターエレメント２１の内周面を上記フィルターケーシ
ング２２の一端部２２ｂの内周面に直接に固着して、フ
ィルター枠を省略して、フィルターエレメント２１の回
りを１重構造にしている。フィルターケーシング２２の
他端の内フランジ部２２ａにファンケーシング６を固定
している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体装置など
の製造用のクリーンルーム、ウエットステーションなど
に使用されるファンフィルターユニットに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のファンフィルターユニッ
トとしては、図２に示すものがある。このファンフィル
ターユニットは、内部にフィルター１を収納する共に両
端に内フランジ部２ａ，２ｂを有する筒形状の樹脂製フ
ィルターケーシング２と、ファン３およびモータ５を支
持すると共にファン３をカバーするファンケーシング６
を備えている。そして、上記フィルターケーシング２の
内フランジ部２ｂにファンケーシング６のフランジ部を
重ね合わせてビス９で固定している。一方、上記フィル
ター１は、フッ素樹脂や高分子化合物や不織布からなる
フィルターエレメント１ａと、そのフィルターエレメン
ト１ａの外周が密着して固定されているアルミニウム製
のフィルター枠１ｂとからなる。このフィルター枠１ｂ
をファンケーシング６の内フランジ部２ａとステンレス
製のフィルター押え７で挟んで、それらをボルト８で締
め付けて、フィルター１をフィルターケーシング２に固
定している。

【０００３】そして、ファン３によって送られた空気
は、ファン３とフィルター１との間の整流用チャンバー
１０で整流されて風速のむらが緩和されて、フィルター
１のフィルターエレメント１ａを通過する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
ファンフィルターユニットでは、フィルター１のアルミ
ニウム製のフィルター枠１ｂを、フィルターケーシング
２の内フランジ部２ａ、ステンレス製のフィルター押え
７およびボルト８で固定して、フィルターエレメント１
ａの回りがフィルター枠１ｂとフィルターケーシング２
との２重構造になっているため、部品点数が多くなっ
て、構造が複雑で、高価になるという欠点がある。

【０００５】さらに、上記ファンフィルターユニットで
は、フィルター１にフィルター枠１ｂを設け、フィルタ
ーケーシング２に内フランジ部２ａを設けているため、
フィルターエレメント１ａの有効面積、つまり有効開口
面積が小さくなるという欠点がある。

【０００６】そこで、この発明の目的は、フィルター枠
とフィルターケーシングとの２重構造を回避することに
よって、部品点数が少なくて、構造が簡単で、安価で、
しかも、有効開口面積が大きなファンフィルターユニッ
トを提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１の発明のファンフィルターユニットは、フ
ィルターケーシングと、このフィルターケーシングの一
端に直接取り付られてこのフィルターケーシングの一端
側を完全に塞ぐフィルターエレメントと、上記フィルタ
ーケーシングの他端に取り付けられたファンケーシング
と、このファンケーシングに支持されたファンおよびモ
ータとを備えたことを特徴としている。

【０００８】この請求項１の発明のファンフィルターユ
ニットによれば、フィルターエレメントそのものが直接
フィルターケーシングに取り付けられている。したがっ
て、従来のごときフィルター枠やフィルター押えが不要
となる。

【０００９】したがって、この請求項１の発明によれ
ば、部品点数が少なくて、構造が簡単で、安価なファン
フィルターユニットを得ることができる。

【００１０】請求項２の発明のファンフィルターユニッ
トは、請求項１に記載のファンフィルターユニットにお
いて、上記フィルターケーシングは、一端が全面に開口
している一方、他端に内フランジ部を有する筒形をして
いて、上記フィルターケーシングの一端の内周面に上記
フィルターエレメントの外周面を直接取り付けているこ
とを特徴としている。

【００１１】この請求項２の発明のファンフィルターユ
ニットでは、上記フィルターケーシングは一端が全面に
開口していて、内フランジ部が設けられていない。そし
て、このフィルターケーシングの一端の内周面にフィル
ターエレメントの外周面が直接取り付けられている。

【００１２】したがって、上記フィルターケーシングの
一端の全面にフィルターエレメントを設けたことになる
から、極めて大きな有効開口面積を得ることができる。

【００１３】請求項３の発明のファンフィルターユニッ
トは、請求項１または２に記載のファンフィルターユニ
ットにおいて、上記フィルターケーシングは、樹脂によ
り形成していて、フィルター枠となるフィルターケーシ
ングの部分にフィルターエレメントを編み込んでいるこ
とを特徴としている。

【００１４】この請求項３の発明のファンフィルターユ
ニットでは、フィルターケーシングは樹脂からなってい
るので、耐酸性を有し、ウエットステーションに使用さ
れる。しかも、樹脂製のフィルターケーシングの一部が
フィルター枠の役目をしているから、その一部にフィル
ターエレメントを容易に一体に編み込むことができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、この発明を図示の実施の形
態により詳細に説明する。

【００１６】図１において、図２の従来例の構成部と同
一構成部は同一参照番号を付して詳しい説明は省略す
る。

【００１７】図１に示すように、このファンフィルター
ユニットでは、フィルター２１は、例えば耐酸性のフッ
素樹脂からなるフィルターエレメント２１そのものであ
って、従来の如きフィルター枠を備えていない。フィル
ターケーシング２２は、フッ素樹脂からなる円筒または
角筒形状をしていて、図１において上端に内フランジ２
２ａを有する一方、下端は全面が開口している。この内
フランジ２２ａにファンケーシング６のフランジ部を重
ねてビス９で固定している。ファンケーシング６にはフ
ァン３およびモータ５を取り付けている。

【００１８】一方、上記フィルターケーシング２２の全
面が開口している下端部２２ｂの内周面には、上記フィ
ルターエレメント２１の外周面を直接に固着している。
したがって、このフィルターエレメント２１の回りは、
フィルターケーシング２２の下端部２２ｂのみの１重構
造になっている。

【００１９】上記構成のファンフィルターユニットにお
いては、ファン３の回転により、空気は図１において上
方から吸い込まれて、整流用チャンバー３０を通って整
流されて、フィルターエレメント２１を通過する。この
フィルターエレメント２１で空気中のごみなどの異物が
除去される。

【００２０】上記実施の形態のファンフィルターユニッ
トでは、フィルターケーシング２２の下端部２２ｂの内
周面に直接にフィルターエレメント２２の外周面を固着
している。したがって、このファンフィルターユニット
は、従来の如きフィルター枠やフィルター押えを使用し
ていないので、部品点数が少なくて、構造が簡単で安価
なものである。

【００２１】さらに、このファンフィルターユニットで
は、フィルターケーシング２２の下端部２２ｂには、内
フランジ部がなくて、全面が開口し、かつ、この下端部
２２ｂの内周面にフィルターエレメント２１の外周面を
直接固着しているから、極めて大きな有効開口面積を得
ることができる。

【００２２】また、上記フィルターケーシング２２およ
びフィルターエレメント２１は耐酸性を有するフッ素樹
脂からなるから、このファンフィルターユニットはウエ
ットステーションに使用するのに最適である。また、フ
ッ素樹脂製のフィルターケーシング２２の下端部２２ｂ
はフィルター枠の役目をするから、フッ素樹脂製のフィ
ルターエレメント２１をフィルターケーシング２２の下
部２２ｂに容易に一体に編み込むことができる。

【００２３】なお、上記フィルターケーシング２２とフ
ィルターエレメント２１とを、樹脂や高分子化合物など
の材料を使用して、一体成形してもよい。この場合、さ
らに、コストダウンを図ることができる。

【００２４】上記実施の形態では、フィルターケーシン
グ２２の上端に、ファンケーシング６を取り付けるため
の内フランジ部２２ａを設けたが、この内フランジ部は
削除してもよく、また、この内フランジ部に代えて外フ
ランジ部を設けてもよい。

【００２５】

【発明の効果】以上より明らかなように、請求項１の発
明によれば、フィルターエレメントそのものを直接にフ
ィルターケーシングに取り付けて、１重構造にしている
ので、部品点数が少なくて、構造が簡単で、安価なファ
ンフィルターユニットを提供することができる。

【００２６】請求項２の発明によれば、筒形のフィルタ
ーケーシングは一端が全面に開口していて、内フランジ
部を設けていなく、その一端の内周面にフィルターエレ
メントの外周面を直接取り付けているので、上記フィル
ターケーシングの一端の全面にフィルターエレメントを
設けたことになり、極めて大きな有効開口面積を得るこ
とができる。

【００２７】請求項３の発明によれば、フィルターケー
シングを樹脂により形成し、このフィルターケーシング
のフィルター枠となる部分にフィルターエレメントを編
み込んでいるので、耐酸性を得ることができ、ウエット
ステーションに使用でき、しかも、フィルター枠の役目
をしている部分にフィルターエレメントを容易に一体に
編み込むことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の実施の一形態のファンフィルター
ユニットの断面図である。

【図２】 従来のファンフィルターユニットの断面図で
ある。

【符号の説明】

３…ファン、 ５…モータ、 ６…ファンケーシング、
２１…フィルターエレメント、 ２２…フィルターケ
ーシング。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】フィルターケーシングと、 このフィルターケーシングの一端に直接取り付られてこ
   のフィルターケーシングの一端側を完全に塞ぐフィルタ
   ーエレメントと、 上記フィルターケーシングの他端に取り付けられたファ
   ンケーシングと、このファンケーシングに支持されたフ
   ァンおよびモータとを備えたことを特徴とするファンフ
   ィルターユニット。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のファンフィルターユニ
   ットにおいて、上記フィルターケーシングは、一端が全
   面に開口している一方、他端に内フランジ部を有する筒
   形をしていて、上記フィルターケーシングの一端の内周
   面に上記フィルターエレメントの外周面を直接取り付け
   ていることを特徴とするファンフィルターユニット。
3. 【請求項３】 請求項１または２に記載のファンフィル
   ターユニットにおいて、上記フィルターケーシングは、
   樹脂により形成していて、フィルター枠となるフィルタ
   ーケーシングの部分にフィルターエレメントを編み込ん
   でいることを特徴とするファンフィルターユニット。