JPH10339626A - 異方性導電シートの圧着状態検査方法およびこれを用いた異方性導電シートの圧着装置 - Google Patents

異方性導電シートの圧着状態検査方法およびこれを用いた異方性導電シートの圧着装置

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JPH10339626A
JPH10339626A JP9148964A JP14896497A JPH10339626A JP H10339626 A JPH10339626 A JP H10339626A JP 9148964 A JP9148964 A JP 9148964A JP 14896497 A JP14896497 A JP 14896497A JP H10339626 A JPH10339626 A JP H10339626A
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anisotropic conductive
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Abstract

(57)【要約】 【課題】異方性導電シートの圧着長さや対象物の設定位
置に対する位置ずれなどを正確に検査することができる
異方性導電シートの圧着状態検査方法を提供する。 【解決手段】異方性導電シート20における両端側の各
々の角部20a、20bの対象物19に対する位置座標
を検出する。二つの角部20a、20bが共に検出され
たときに、正確に圧着された異方性導電シート20が存
在するか否かを判別する。検出した二つの角部20a、
20bの位置座標に基づき算出した異方性導電シート2
0の圧着長さを長さ許容値と比較して長さの良否を判別
する。二つの位置座標に基づき算出した対象物19に対
する異方性導電シート20の圧着位置および圧着角度を
各々の許容値と比較して圧着位置の良否を判別する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、異方性導電シート
を所定の長さにカットしたのちに加圧手段により対象物
に圧着することにより、対象物に貼り付けられた異方性
導電シートの圧着状態を検査する方法およびその検査方
法を用いた圧着装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】例えば、液晶パネルの製造工程において
は、ガラスパネルの透明電極上に異方性導電シート(An
isotropic Conductive Film 、以下、ACFという)を
圧着手段により貼り付け、このACF上に電子部品を配
置して熱と圧力を加えることにより、ACFが含有して
いる導電粒子で電子部品の電気的接合を行うACF実装
工法が用いられており、近年、このACF実装工法は、
液晶実装分野だけでなく半導体実装分野などにも応用さ
れている。このACF実装工法におけるACFを対象物
に圧着する圧着装置としては、特開平7-270742号公報に
記載のものが知られており、この圧着装置について以下
に説明する。
【0003】すなわち、ベーステープにACFを担持さ
せてなるテープ状体は、供給リールから繰り出されて巻
取りリールに巻き取られるように圧着装置に装着され、
且つ供給リールと巻取りリールとの間に存在する一部分
が加圧手段である加圧ヘッドの下方において張設されて
いる。このテープ状体は、フィードチャックに把持され
て、対象物に圧着する長さ分だけ引き出されたのちに、
カッターによりACFのみに切り目を入れられ、さら
に、フィードチャックにより加圧ヘッドの下方の所定の
圧着位置に移送されて張設状態に保持される。
【0004】一方、ACFにより電子部品が実装される
対象物、例えば液晶パネルは、保持ステージに吸着保持
されて、XYロボットにより位置認識用のカメラの対向
位置に移送され、所定位置に設けられたマークがカメラ
で認識されることにより液晶パネルの位置が検出され
る。そののちに、液晶パネルは、カメラの認識に基づき
位置補正されながらXYロボットにより移送されて圧着
位置に位置決め静止される。続いて、加圧ヘッドが下降
してテープ状体を液晶パネルの所定箇所に加圧しながら
熱を加えることにより、切れ目を入れられたACFのみ
が液晶パネルに圧着される。ACFが剥離されたあとの
ベーステープは巻取りリールに巻き取られる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ACFは、
張設状態において加圧ヘッドにより熱と圧力とが加えら
れると、延び易い性質があるため、液晶パネルなどの対
象物の所定位置に所定長さで正確に圧着するのが難し
く、圧着不良が生じ易い。しかも、ACFは、対象物に
確実に圧着させるための熱と圧力の設定条件の最適範囲
が小さいため、対象物によっては貼り付き難いことがあ
る。もしも、ACFが圧着されていない状態で電子部品
の実装が行われると、電子部品が対象物から落下して部
品不良となったり、落下した電子部品に塵埃が付着して
電気的に接続されないなどの二次的な不良を引き起こ
す。そこで、ACFの圧着工程を経た液晶パネルは、そ
の所定位置にACFが圧着されているか否かの有無をセ
ンサにより検査されている。
【0006】しかしながら、上記のセンサによる検査で
は、ACFが所定位置に圧着されているか否かの有無を
単に検出しているだけであり、ACFが正確な設定長さ
にカットされているか否か、或いは対象物の設定位置に
正確に圧着されているか否かの判別はできず、さらに、
ACFの一部がめくれた状態に貼り付けられていても、
これを検知することができない。そのため、対象物の部
品実装すべきスペースが小さい場合、或いは複数の部品
を小さな間隔で実装するような場合には、高い寸法精度
および位置精度でACFを圧着する必要があるが、上記
のようにACFの長さおよび対象物に対する圧着位置な
どを判別できないことから、実装の信頼性が低下する。
また、ACFの送り機構が正常動作していないことなど
に起因して圧着不良が発生していても、これを検知する
手段がないことから、この状態で圧着装置が使用され続
けると、ACFの圧着不良が続出するおそれがあり、圧
着装置を調整して所要の状態に復旧するのに時間がかか
る問題がある。
【0007】また、ACFは粘着性を有しているため、
ACFの圧着装置を長期にわたり稼働する場合には、こ
のACFをカットするカッターやACFを把持して引き
出すフィードチャックなどを必要に応じてクリーニング
する必要があり、従来では、予め設定したACFの圧着
回数ごとにクリーニングを行っている。しかしながら、
上記クリーニングを必要とするタイミングはACFの種
類やACFの圧着長さなどにより種々異なり、圧着回数
のみに基づいてクリーニングのタイミングを設定する
と、正確にカットされていないACFを引き出して対象
物に圧着するといったトラブルが発生する。しかも、A
CFはテープ状の連続体であることから、ACFにおけ
る不完全にカットされた箇所の後方部分も圧着時にベー
ステープから剥離されてしまい、圧着異常が一度発生す
ると、この圧着異常が連続的に発生する可能性が極めて
高い。この場合には、ACFが圧着不良の多くの製品を
次工程に送出する不都合が生じる。
【0008】そこで本発明は、ACFの圧着長さや対象
物の設定位置に対する位置ずれなどを正確に検査するこ
とができるACFの圧着状態検査方法およびこれを用い
た圧着装置を提供することを目的とするものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、所定長さにカットして対象物に圧着され
た帯状の異方性導電シートの圧着状態の検査方法におい
て、前記異方性導電シートにおける両端側の各々の角部
の前記対象物に対する位置座標を検出する角部位置検出
工程と、前記角部位置検出工程において二つの角部が共
に検出されたか否かにより前記異方性導電シートの正確
な圧着の有無を判別する有無判別検査工程と、前記角部
位置検出工程において検出した二つの角部の位置座標に
基づき算出した前記異方性導電シートの圧着長さを長さ
許容値と比較して良否を判別する長さ検査工程と、前記
二つの位置座標に基づき算出した対象物に対する前記異
方性導電シートの圧着位置および圧着角度を各々の許容
値と比較して良否を判別する位置検査工程とを有してい
る。
【0010】この異方性導電シートの圧着状態検査方法
では、異方性導電シートにおける両端側の各々の角部の
対象物に対する位置座標を検出しているので、異方性導
電シートが一端から他端まできれいに圧着されているか
否かを正確に検出することができる。さらに、位置座標
に基づいて圧着されている異方性導電シートの長さを正
確に検出することができるから、異方性導電シートのめ
くれなどの圧着不良の有無を確実に検知できる。しか
も、異方性導電シートが正確な長さできれいに圧着され
ているか否かの検査だけでなく、本来最も重要である対
象物の設定位置に対し許容範囲内のずれで正確に貼られ
ているか否かの位置検査を行うことができる。したがっ
て、対象物の部品実装すべきスペースが小さい場合や複
数の部品を小さな間隔で実装するような場合にも、異方
性導電シートが高い寸法精度および位置精度で圧着され
ているか否かの検査を行うことができ、この検査結果に
基づき圧着装置を調整することにより、信頼性の高い実
装を行うことができる。
【0011】上記発明において、位置検査工程には、異
方性導電シートの長手方向における対象物に対する位置
ずれを長手方向位置ずれ許容値と比較する工程と、前記
異方性導電シートの短手方向における対象物に対する位
置ずれを短手方向位置ずれ許容値と比較する工程と、前
記異方性導電シートの回転方向における対象物に対する
位置ずれを角度位置ずれ許容値と比較する工程とを有し
ていることが好ましい。
【0012】それにより、異方性導電シートの対象物に
対する位置ずれを極めて正確に検査することが可能とな
り、異方性導電シートの圧着異常状態を正確に把握でき
るから、復旧に要する調整時間を短縮することができる
とともに、圧着不良の続出を未然に防止できる。
【0013】一方、本発明の異方性導電シートの圧着装
置は、異方性導電シートを所定の長さ分だけ間欠的に移
送するシート送り手段と、前記異方性導電シートを所定
の長さにカットするカット手段と、カットされた前記異
方性導電シートを圧力と熱を加えて対象物に圧着する加
圧手段と、前記異方性導電シートの両端側の各角部およ
び対象物の検出手段と、前記異方性導電シートを前記加
圧手段および前記検出手段の各々の対向位置に移送する
移送手段と、装置全体を制御する制御部とを備え、前記
制御部には、前記検出手段からの入力信号に基づいて信
号処理することにより、上記発明の異方性導電シートの
圧着状態検査方法における角部位置検出、前記異方性導
電シートの有無判別検査、前記異方性導電シートの長さ
検査および前記異方性導電シートの対象物に対する位置
検査をそれぞれ実行するとともに、前記いずれかの検査
において異常であると判別したときに、装置の駆動を停
止させる機能を備えた構成になっている。
【0014】この異方性導電シートの圧着装置は、異方
性導電シートの圧着不良を正確に検出できるととにも、
検査により何らかの異常を発見した時点で装置の駆動を
停止するので、圧着不良の続出を未然に防止でき、異方
性導電シートが圧着不良の対象物が次工程に送られるの
を防止できる。
【0015】上記発明において、制御部は、前記角部位
置検出の結果に基き、カット手段のクリーニングを行な
う必要があるか否かを判断し、必要があると判断したと
きに、カット手段のクリーニングを行うよう指令する機
能を備えていることが好ましい。
【0016】それにより、異方性導電シートのカットさ
れた角部の形状等からカット手段の汚れや劣化などを自
動的に検出して、そのカット手段に汚れなどが発生する
毎に、このカット手段を最も適したタイミングでクリー
ニングすることができ、連続体である異方性導電シート
の圧着不良が連続的に発生するのを未然に防止できる。
しかも、カット手段は定期的に頻繁に検査する必要がな
くなる。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態について図面を参照しつつ詳細に説明する。図1は本
発明の一実施の形態に係るACFの圧着装置の内部構造
を示す斜視図である。図1において、装置の上方中央部
には、ACFに熱と圧力を加えて対象物にACFを圧着
するための加圧手段である加圧ヘッド1が昇降可能に設
置されており、この加圧ヘッド1の一方側には、テープ
状体2の供給手段である供給リール3が、他方側にはテ
ープ状体2におけるACFが剥離されたあとのベーステ
ープ4を巻き取るための巻取りリール7がそれぞれ配置
されている。
【0018】この実施の形態のテープ状体2は、ベース
テープ4にACFを担持させた2層構造になっており、
周知のテープ送り手段により供給リール3から複数のガ
イドローラ8,9を介して間欠的に移送されて、巻取り
リール7に巻き取られる。このテープ状体2は、加圧ヘ
ッド1の両側に設けられた一対のガイドローラ9間に案
内されて、加圧ヘッド1の下部において張設されてい
る。また、加圧ヘッド1の下部には、テープ状体2を把
持して設定長さ分だけ引き出すテープ送り手段としての
フィードチャック10が設けられている。
【0019】ACFを圧着して電子部品を実装するため
の対象物(図示せず)は、保持ステージ11に吸着保持
されて、X方向およびY方向への移動手段であるXYロ
ボット12により任意の位置に移動される。ここで、対
象物は、ACFを圧着すべき特定箇所を加圧ヘッド1側
に突出させた状態で保持ステージ11に吸着保持され、
XYロボット12により移送されて特定箇所が加圧ヘッ
ド1の下方のボンディングステージ13上に載置され
る。ボンディングステージ13の側部には張設状態のテ
ープ状体2におけるACFをカットするカッター18が
配設されている。
【0020】検出手段としてのカメラ14は、対象物が
ボンディングステージ13上に正確に位置決めされたか
否かを認識する。この実施の形態では、従来装置におい
て既存のカメラ14が対象物に圧着された帯状のACF
の対角線上の二つの角部を認識する検出手段に兼用され
ている。
【0021】コンソールパネルなどからなる制御部17
は、所要の動作を行わせるための入力操作に基づき上述
の各機構の動作を制御するとともに、データの編集を行
って出力する。なお、この実施の形態では、対象物にお
ける少なくとも特定箇所が透明である場合を例示してあ
り、したがって、カメラ14は下方から特定箇所上のA
CFを透視して認識するようになっている。
【0022】図2は、部品実装すべき対象物である液晶
パネル19を示し、その液晶表示部19aを囲む表示枠
19bの所定箇所にACF20が圧着されている。ここ
で、2点鎖線で図示したACF21は、設定された正確
な位置に正確な長さのものが圧着された場合を仮定した
基準のものを仮想して示してある。液晶パネル19に
は、ACF20を圧着すべき箇所の両側の所定位置にそ
れぞれ位置検出用マーク22,23が付されている。こ
の実施の形態では、圧着されたACF20の対角線上の
二つの角部をカメラ14で撮像して画像認識したのち
に、その二つの角部の位置座標に基づいてACF20の
長さおよび圧着位置を制御部17で演算して算出するよ
うになっている。
【0023】そこで、圧着されたACF20の対角線上
の二つの角部20a,20b間の長さをL、仮定の基準
ACF21の対角線上の二つの角部21a,21b間の
長さをLr、左側の位置検出用マーク22を基点とした
ときのACF20の二つの角部20a,20bの位置座
標をそれぞれ(X1,1 ),(X2,2 )、左側の位置
検出用マーク22を基点としたときの基準ACF21の
二つの角部21a,21bの位置座標をそれぞれ(Xr
1,Yr1 ),(Xr2,Yr2 )、左側の位置検出用マー
ク22からACF20のセンター位置SまでのX方向お
よびY方向の距離をそれぞれX0,0 、左側の位置検出
用マーク22から基準ACF20のセンター位置Srま
でのX方向およびY方向の距離をXr,Yr、ACF2
0における基準ACF21に対する回転方向のずれをD
v、ACF20と基準ACF21の各々のセンター位置
S,SrのX方向およびY方向のそれぞれのずれをD
x,Dy(図示せず)とする。また、図示していない
が、ACF20と基準ACF21の長さのずれをDIと
する。
【0024】つぎに、上記ACFの圧着装置の全体の動
作を、制御部17による制御処理を示した図3のフロー
チャートに基づき説明する。ここでは、図2に例示した
液晶パネル19を部品実装の対象物として説明する。先
ず、保持ステージ11がXYロボット12によりパネル
受取位置に向け移動されて、パネル受取位置に停止した
保持ステージ11上に液晶パネル19が吸着保持される
(ステップS1)。この液晶パネル19の保持ステージ
11への受渡しは、図示しないロボットまたは作業員の
手作業により行われる。つぎに、XYロボット12によ
り保持ステージ11がカメラ14に向け移動されて、液
晶パネル19の二つの位置検出用マーク22,23がカ
メラ14で撮像され、この画像信号を取り込んだ制御部
17が画像認識処理により液晶パネル19の位置を検出
する(ステップS2)。この場合、液晶パネル19をそ
の右側のマーク23がカメラ14の真上で対向するよう
位置決めして、このマーク23を画像認識したのちに、
液晶パネル19をその左側のマーク22がカメラ14の
真上で対向するよう位置決めして、このマーク22を画
像認識する。
【0025】続いて、保持ステージ11がXYロボット
12によりボンディングステージ13に向け移動され
て、液晶パネル19の実装すべき箇所がボンディングス
テージ13上の所定の圧着位置に位置決めされる(ステ
ップS3)。この液晶パネル19の位置決めは、制御部
17が二つのマーク22,23の認識により検出した液
晶パネル19の位置に基づき補正しながらXYロボット
12を制御することにより行われる。この液晶パネル1
9の位置決めと並行して、テープ状体2がフィードチャ
ック10に把持されて所定の長さ分だけ引き出されたの
ちに、カッター18によりACF20のみの所定の長さ
位置に切れ目が入れられ、この切れ目を入れられたAC
F20はフィードチャック10により再び引き出されて
加圧ヘッド1の真下の圧着位置に移送される(ステップ
S4)。
【0026】そののちに、加圧ヘッド1が下降してテー
プ状体2を液晶パネル19に圧力を加えて押し付けると
ともに、熱を加えてACF20を液晶パネル19に圧着
する(ステップS5)。ACF20の圧着が終了したな
らば、保持ステージ11がXYロボット12により移動
されて液晶パネル19が再びカメラ14の上方位置に移
送され、この液晶パネル19に圧着されたACF20の
対角線上の二つの角部20a,20bがカメラ14によ
り撮像されて、その画像信号が制御部17に入力され
る。制御部17は、画像認識処理により二つの角部20
a,20bの位置座標(X1,1 ),(X2,2 )を検
出する(ステップS6)。ここで、カメラ14は、液晶
パネル19における予め設定された範囲のみを撮像し、
制御部17は、二つの角部20a,20bの画像信号が
共に入力されたか否かにより、ACF20が予め設定さ
れた範囲内に圧着されているか否かの判別を行う(ステ
ップS7)。
【0027】制御部17は、いずれか一方の角部20a
または20bを画像認識できなかった場合に、ACF2
0が正しく貼られていないと判断して、カッター28の
クリーニングを行うよう制御する(ステップS15)。
これは、ACF20がカッター18の汚れなどにより正
確にカットされなかった場合に尖った形状の角部20
a,20bが得られないことから、ACF20の角部2
0a,20bを画像認識できなくなるからである。この
ようにACF20のカットされた角部20a,20bの
形状からカッター18の汚れなどを自動的に検出するの
で、カッター18に汚れなどが発生する毎に、このカッ
ター18を最も適したタイミングでクリーニングするこ
とができ、カッター18を定期的に頻繁に検査する必要
がなくなる。
【0028】また、制御部17は、カッター18のクリ
ーニングを指令するとともに、コンソールパネルに検査
異常を表示し(ステップS16)たのちに、装置の駆動
をエラー停止させる(ステップS17)。それにより、
連続体であるACF20の圧着不良が連続的に発生する
のを未然に防止することができ、ACF20の圧着が不
良の液晶パネル19が次工程に送られるのを防止できる
とともに、ACF20の圧着不良をこれが発生した時点
で異常表示により確認することができ、圧着装置を復旧
するための調整時間を短縮することができる。
【0029】ステップS7におけるACF20の有無検
査において、二つの角部20a,20bを共に画像認識
できた場合には、圧着したACF20と基準ACF21
との長さのずれDIを算出する(ステップS8)。すな
わち、制御部17は、先に検出した二つの角部20a,
20bの位置座標(X1,1 ),(X2,2 )に基づき
角部20a,20b間の長さLを算出する。この長さL
は、(1)式を演算することにより算出される。さら
に、制御部17は、(2)式を演算することにより、理
論値である基準AFC21の二つの角部21a,21b
間の長さLrを算出し、この算出した2種の長さL,L
rに基づき(3)式を演算することにより、圧着したA
CF20と基準ACF21との長さのずれDIを算出す
る。
【0030】
【数1】
【0031】
【数2】
【0032】
【数3】
【0033】制御部17は、長さのずれDIを算出した
ならば、このずれDIと予め設定されている長さ許容値
KIとを比較して、ACF20が所定の長さで正しく貼
られているか否かを判別する(ステップS9)。すなわ
ち、制御部17は、ずれDIが長さ許容値KIよりも小
さい場合に正常と判断し、大きい場合に長さが異常であ
ると判断して検査異常を表示し(ステップS16)、装
置の駆動をエラー停止させる(ステップS17)。この
ように、ACF20の二つの角部20a,20bを検出
して長さ検査を行うことにより、ACF20が一端から
他端まできれいに貼られいるか否かを正確に検査するこ
とができ、ACF20の長さを正確に求めることができ
る。また、ACF20の長さ検査を行うことにより、A
CF20の圧着時のめくれが存在しないか否かを検査す
ることもできる。
【0034】長さ検査が正常であれば、制御部17は、
ACF20の液晶パネル19に対する各種の位置ずれD
x,Dy,Dvを算出する(ステップS10)。ACF
20の基準ACF21に対するX方向の位置ずれDxは
(4)式を演算することにより算出し、Y方向の位置ず
れDyは(5)式を演算することにより算出し、ACF
20の基準ACF21に対する回転方向の位置ずれDv
は(6)式を演算することにより算出する。
【0035】
【数4】
【0036】
【数5】
【0037】
【数6】
【0038】つぎに、制御部17は、算出したX方向の
位置ずれDxと予め設定されているACF長手方向許容
値Kxとを比較して、ACF20がX方向に許容値以内
の小さな位置ずれで圧着されているか否かを判別する
(ステップS11)。すなわち、制御部17は、X方向
の位置ずれDxがACF長手方向許容値Kxよりも小さ
い場合に正常と判断し、大きい場合にX方向の圧着位置
が異常であると判断して検査異常を表示し(ステップS
16)、装置の駆動をエラー停止させる(ステップS1
7)。
【0039】さらに、制御部17は、算出したY方向の
位置ずれDyと予め設定されているACF長手方向許容
値Kyとを比較して、ACF20がY方向に許容値以内
の小さな位置ずれで圧着されているか否かを判別する
(ステップS12)。すなわち、制御部17は、Y方向
の位置ずれDyがACF短手方向許容値Kyよりも小さ
い場合に正常と判断し、大きい場合にY方向の圧着位置
が異常であると判断して検査異常を表示し(ステップS
16)、装置の駆動をエラー停止させる(ステップS1
7)。
【0040】続いて、制御部17は、算出した回転方向
の位置ずれDvと予め設定されているACF回転方向許
容値Kvとを比較して、ACF20が回転方向に許容値
Kv以内の小さな位置ずれで圧着されているか否かを判
別する(ステップS13)。
【0041】すなわち、制御部17は、回転方向の位置
ずれDvがACF回転方向許容値Kvよりも小さい場合
に正常と判断し、大きい場合に回転方向の圧着位置が異
常であると判断して検査異常を表示し(ステップS1
6)、装置の駆動をエラー停止させる(ステップS1
7)。
【0042】以上のACF20の各種の位置ずれDx,
Dy,Dvは、液晶パネル19の位置検出用マーク22
を基点としたACF20の二つの角部20a,20bの
位置座標(X1,1 ),(X2,2 )に基づき算出して
いるから、ACF20が正確な長さできれいに圧着され
ているか否かの検査だけでなく、本来最も重要である液
晶パネル19の設定位置に対し正確に貼られているか否
かの位置検査を行うことができる。
【0043】上述の種々の検査の結果が全て正常である
ならば、予め設定した枚数のACF20の圧着が終了し
たか否かを判別して(ステップS14)、終了でない場
合には、ステップS3にリターンして、液晶パネル19
の次の圧着箇所を圧着位置に移動させて上述の処理をA
CF20の圧着枚数だけ繰り返す。全てのACF20の
圧着が完了したならば、生産完了した液晶パネル19を
搬出位置に移動させて、次工程に送出する(ステップS
18)。
【0044】なお、図3におけるステップS7、S9,
S11〜S13に示した5種類の検査工程は、これを全
て行う必要がなく、必要に応じて適当に選択して組み合
わせてもよい。また、ACF20を検出するための二つ
の角部20a,20bは検査の使用目的に応じて任意で
あるが、上記実施の形態のように、対角線上の二つを選
択するのが好ましい。さらに、図3のステップS3〜ス
テップS6の処理をACF20の圧着枚数だけ繰り返し
て全てのACF20の圧着を先ず終了させて、その圧着
時毎に検出したACFF20の二つの角部20a,20
bの位置座標(X1,1 ),(X2,2 )を記憶させて
おき、ステップS7〜ステップS13の検査工程を圧着
したACF20の枚数だけ繰り返すようにしてもよい。
【0045】この実施の形態では、ACF20の位置決
め精度を向上するために設けられた既存のカメラ14
を、ACF20の圧着状態の検査用に兼用して構成され
ているとともに、従来においてACF20の有無を検出
するために設けられていた図1に2点鎖線で示すセンサ
ー5が不要となり、構成を簡略化してコストを低減でき
る。
【0046】
【発明の効果】以上のように本発明の異方性導電シート
の圧着状態検査方法によれば、異方性導電シートにおけ
る両端側の各々の角部の対象物に対する位置座標を検出
するので、異方性導電シートが一端から他端まで確実に
圧着されているか否かを正確に検出することができ、圧
着されている異方性導電シートの長さを正確に検出する
ことができる。また、異方性導電シートの正確に検出し
た長さの検査を行うことにより、異方性導電シートのめ
くれなどの圧着不良の有無を確実に検知できる。
【0047】しかも、本来最も重要である対象物の設定
位置に対し異方性導電シートが許容範囲内のずれで正確
に貼られているか否かの位置検査を行うことができる。
したがって、対象物の部品実装すべきスペースが小さい
場合や複数の部品を小さな間隔で実装するような場合に
も、異方性導電シートが高い寸法精度および位置精度で
圧着されているか否かの検査を行うことができ、この検
査結果に基づき圧着装置を調整することにより、信頼性
の高い実装を行うことができる。
【0048】また、本発明の異方性導電シートの圧着装
置によれば、異方性導電シートの圧着不良を正確に検出
できるとともに、検査により何らかの異常を発見した時
点で装置の駆動を停止するので、圧着不良の続出を未然
に防止でき、異方性導電シートが圧着不良の対象物が次
工程に送られるのを確実に防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態に係る異方性導電シート
の圧着装置の内部構造を示す斜視図。
【図2】異方性導電シートを圧着した対象物を示す平面
図。
【図3】本発明の一実施の形態に係る異方性導電シート
の圧着状態検査方法の信号処理を示すフローチャート。
【符号の説明】
1 加圧ヘッド(加圧手段) 10 フィードチャック(シート移送手段) 12 XYロボット(移送手段) 14 カメラ(検出手段) 17 制御部 18 カッター(カット手段) 19 液晶パネル(対象物) 20 異方性導電シート 20a,20b 異方性導電シートの角部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊田 雅之 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 所定長さにカットして対象物に圧着され
    た帯状の異方性導電シートの圧着状態の検査方法であっ
    て、 前記異方性導電シートにおける両端側の各々の角部の前
    記対象物に対する位置座標を検出する角部位置検出工程
    と、 前記角部位置検出工程において二つの角部が共に検出さ
    れたか否かにより前記異方性導電シートの正確な圧着の
    有無を判別する有無判別検査工程と、 前記角部位置検出工程において検出した二つの角部の位
    置座標に基づき算出した前記異方性導電シートの圧着長
    さを長さ許容値と比較して良否を判別する長さ検査工程
    と、 前記二つの位置座標に基づき算出した対象物に対する前
    記異方性導電シートの圧着位置および圧着角度を各々の
    許容値と比較して良否を判別する位置検査工程とを有す
    る異方性導電シートの圧着状態検査方法。
  2. 【請求項2】 位置検査工程は、異方性導電シートの長
    手方向における対象物に対する位置ずれを長手方向位置
    ずれ許容値と比較する工程と、前記異方性導電シートの
    短手方向における対象物に対する位置ずれを短手方向位
    置ずれ許容値と比較する工程と、前記異方性導電シート
    の回転方向における対象物に対する位置ずれを角度位置
    ずれ許容値と比較する工程とを有している請求項1に記
    載の異方性導電シートの圧着状態検査方法。
  3. 【請求項3】 異方性導電シートを所定の長さ分だけ間
    欠的に移送するシート送り手段と、 前記異方性導電シートを所定の長さにカットするカット
    手段と、 カットされた前記異方性導電シートを圧力と熱を加えて
    対象物に圧着する加圧手段と、 前記異方性導電シートの両端側の各角部および対象物の
    検出手段と、 前記異方性導電シートを前記加圧手段および前記検出手
    段の各々の対向位置に移送する移送手段と、 装置全体を制御する制御部とを備え、 前記制御部は、前記検出手段からの入力信号に基づいて
    信号処理することにより、請求項1に記載の異方性導電
    シートの圧着状態検査方法における角部位置検出、前記
    異方性導電シートの有無判別検査、前記異方性導電シー
    トの長さ検査および前記異方性導電シートの対象物に対
    する位置検査をそれぞれ実行するとともに、前記いずれ
    かの検査において異常であると判別したときに、装置の
    駆動を停止させる機能を備えている異方性導電シートの
    圧着装置。
  4. 【請求項4】 制御部は、前記角部位置検出の結果に基
    き、カット手段のクリーニングを行なう必要があるか否
    かを判断し、必要があると判断したときに、カット手段
    のクリーニングを行うよう指令する機能を備えている請
    求項3に記載の異方性導電シートの圧着装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007294826A (ja) * 2006-03-30 2007-11-08 Shibaura Mechatronics Corp 部品の熱圧着装置及び熱圧着方法
JP2008233061A (ja) * 2007-03-22 2008-10-02 Au Optronics Corp 導電フィルムの検査方法
JP2018084553A (ja) * 2016-11-25 2018-05-31 花王株式会社 温熱マスクの加工検査方法

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