JPH10340668A

JPH10340668A - 表示パネルの隔壁形成装置

Info

Publication number: JPH10340668A
Application number: JP14675497A
Authority: JP
Inventors: Hironobu Kono; 浩信河野; Osamu Toyoda; 治豊田; Akira Tokai; 章渡海; Keiichi Betsui; 圭一別井; Akira Nakazawa; 明中澤
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1997-06-04
Filing date: 1997-06-04
Publication date: 1998-12-22

Abstract

(57)【要約】【課題】表示パネルの隔壁形成装置に関し、隔壁の雌
型に隔壁材を充填してこれを基板に転写することで隔壁
形成プロセスの簡略化を図る。【解決手段】表面に隔壁形状に対応する溝が形成され
た母型を有するローラ部と、ローラ部の母型の溝に隔壁
材を供給する材料供給部とを設け、ローラ部の回転によ
り、母型の溝に供給された隔壁材を表示パネル用の基板
に転写し、それによって基板上に隔壁を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、表示パネルの隔
壁（リブ）形成装置に関し、さらに詳しくは、マトリク
ス表示方式のプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）の
隔壁の形成に好適に用いられる表示パネルの隔壁形成装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】隔壁を有する表示パネルとして、ＰＤＰ
を例に挙げて従来の隔壁形成方法について説明する。Ｐ
ＤＰは、一対のガラス基板を微少間隔で配置し、周辺を
封止することによって内部に放電空間を形成した自己発
光型の表示パネルである。

【０００３】このようなＰＤＰでは、通常、放電空間は
隔壁によって仕切られており、例えばマトリクス表示方
式の代表的なものとして、３電極面放電形式のＡＣ型Ｐ
ＤＰでは、２１インチサイズのもので、画面の表示領域
に、高さ１００〜２００μｍ、幅３０〜５０μｍ程度の
隔壁が、２００μｍ程度の間隔で平行に設けられてい
る。隔壁の材料としては、通常、低融点ガラスが用いら
れる。

【０００４】このような隔壁の形成方法として、従来で
は、スクリーン印刷法やサンドブラスト法、あるいはア
ディティブ法（フォト・埋め込み法）などが用いられて
いた。

【０００５】スクリーン印刷法は、基板上に隔壁材を所
定のパターンで繰り返し印刷するものである。サンドブ
ラスト法は、平面状に形成した隔壁材を切削することに
より隔壁状に形成するものである。アディティブ法は、
基板にフィルム状のレジストをラミネートし、露光・現
像によりレジストに隔壁用の溝を造り、その溝に隔壁材
を埋め込んで乾燥させた後、レジストを除去するもので
ある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従来では、上記のよう
な各種の隔壁形成方法が存在する。しかしながら、スク
リーン印刷法では、ＰＤＰの面積が大きくなるほどスク
リーンの位置合わせが難しく、また、スクリーンが歪む
ため、隔壁パターンに歪みが生ずるという問題がある。
サンドブラスト法では、切削媒体を吹き付けて隔壁材を
削り取るため、材料に無駄が多く、装置が大がかりとな
るという問題がある。また、アディティブ法は、処理工
程が多く、フィルム状のレジストが高価であり、溝に隔
壁材を埋め込む場合の泡噛み等で隔壁形状が不安定とな
り、レジスト除去時に隔壁が剥がれる等の問題がある。

【０００７】このように、従来の隔壁形成方法には、い
ずれの方法においてもそれなりの問題があり、このた
め、より簡単かつ低コストのプロセスで隔壁を形成する
ことが望まれていた。

【０００８】この発明は、このような事情を考慮してな
されたもので、隔壁の雌型に隔壁材を充填してこれを基
板に転写することにより基板上に隔壁を形成し、これに
より隔壁形成プロセスの簡略化を図るようにした表示パ
ネルの隔壁形成装置を提供するものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この発明は、表面に隔壁
形状に対応する溝が形成された母型を有し、かつ回転す
る転写部と、転写部の母型の溝に隔壁材を供給する材料
供給部とを備え、転写部の回転により、母型の溝に供給
された隔壁材を表示パネル用の基板に転写し、それによ
って基板上に隔壁を形成することを特徴とする表示パネ
ルの隔壁形成装置である。

【００１０】この発明によれば、転写部の母型の溝に隔
壁材を供給し、その供給された隔壁材を表示パネル用の
基板に転写することにより基板上に隔壁を形成するの
で、簡単かつ低コストのプロセスで、連続的に隔壁を形
成することができる。

【００１１】

【発明の実施の形態】この発明において、転写部は、円
筒体の円周面の全体又は一部を転写面としこの転写面に
母型を取り付けることが可能なものであればどのような
形態のものであってもよい。

【００１２】例えば、円筒体の円周面の全体に母型を巻
き付け、円筒体を転がすことによって基板に隔壁材をエ
ンドレスで転写できるように構成したものであってもよ
いし、円筒体の円周面の一部からなる円弧体の周面に母
型を取り付け、円弧体を転位させることによって基板に
隔壁材を転写できるように構成したものであってもよ
い。円筒体を転がして基板に隔壁材をエンドレスで転写
できるようにした場合には、転写した隔壁材をカットす
るカッティング部を設けることが望ましい。

【００１３】材料供給部は、隔壁材に圧力を加えること
によって、転写部の母型の溝に隔壁材を供給する（詰め
込む）ことが可能なものであればよく、この加圧には、
従来公知の各種の加圧装置を適用することができる。

【００１４】材料供給部から供給される隔壁材として
は、ガラス粉末と、ガラス粉末をバインドしかつ隔壁材
に柔軟性を持たせるための樹脂結合剤と、ハンドリング
を容易にするための有機溶媒とを混合したガラスペース
トを用いることが望ましい。

【００１５】上記ガラス粉末の材料としては、酸化珪
素、酸化鉛、酸化亜鉛、酸化ホウ素、酸化カルシウム等
の酸化物を挙げることができる。このガラス粉末は粒径
を１μｍ程度にして用いることが望ましい。

【００１６】上記樹脂結合剤としては、常温で軟質なポ
リ塩化ビニル、ポリビニルブチラール、ポリビニルアル
コールなどのビニル系樹脂、またはこれらのビニル系樹
脂にさらに柔軟性を与えるフタル酸ジブチル等の可塑剤
を加えたものや、ポリエチレン、ポリメチルメタクリレ
ート等の硬質樹脂にフタル酸ジブチル、グリセリン等の
可塑剤を加えて軟質化したものを用いることができる。

【００１７】このようなガラスペーストに柔軟性を与え
るための可塑剤は、ニトロセルロース、ポリメチルメタ
クリレート等の比較的硬い樹脂を軟質化して隔壁材とし
て用いることを可能にする。

【００１８】上記有機溶媒は、自然乾燥（常温乾燥）で
揮発する低沸点（高蒸気圧）溶媒と、常温では揮発せず
６０℃〜１６０℃の高温で揮発する高沸点（低蒸気圧）
溶媒との２種類の溶媒を用いることが望ましい。

【００１９】低沸点溶媒は、隔壁材をペースト状にして
容器に収容しやすくし、隔壁材の供給をスムーズに行わ
せるためのものであり、隔壁材が転写された後、自然乾
燥で速やかに揮発して消失するものを用いることが望ま
しい。この低融点溶媒としては、例えばアセトン、メチ
ルエチルケトンなどのケトン類、エチルアルコールなど
のアルコール類を用いることができる。

【００２０】高沸点溶媒は、液状で隔壁材に柔軟性と流
動性を与え、母型の溝に隔壁材を塗込みやすくするため
のものであり、隔壁材を焼成した時に消失するものを用
いることが望ましい。この高沸点溶媒としては、例えば
ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、
テレピネオールなどを用いることができる。

【００２１】この発明の隔壁形成装置においては、母型
の溝に隔壁材を均一に塗込むヘラ部を設けるようにした
ほうがよい。また、母型の溝に供給された隔壁材から泡
を抜く脱泡部を備えることが好ましい。

【００２２】また、この発明の隔壁形成装置において
は、クリーン部を設けて、隔壁材が基板に転写された
後、母型の溝に残留した隔壁材を取り除くようにするこ
とが望ましい。

【００２３】そして、転写された隔壁の形が崩れるのを
防止するために、基板に転写された隔壁材を乾燥させて
硬化させる乾燥部をさらに設けた構成とすることが好ま
しい。また、母型を加熱する加熱部を設けて、母型の溝
に隔壁材がスムーズに供給されるようにすることが望ま
しい。

【００２４】［実施例１］以下、図面に示す実施の形態
に基づいてこの発明を詳述する。なお、これによってこ
の発明が限定されるものではない。まず、本発明の隔壁
形成装置によって隔壁が形成されるＡＣ型３電極面放電
形式のＰＤＰの構成を図１に示す。

【００２５】ＡＣ型３電極面放電形式のＰＤＰでは、背
面側のガラス基板２１にソーダライムガラスを使用し、
その上に複数のアドレス電極Ａを平行に形成し、アドレ
ス電極Ａを誘電体層で覆っている（誘電体層は図示して
いない）。

【００２６】アドレス電極間には隔壁２３を設け、隔壁
２３と隔壁２３との間の溝には、その側面と底面にカラ
ー表示のための赤用（Ｒ）と緑用（Ｇ）と青用（Ｂ）の
蛍光体層２４Ｒ，２４Ｇ，２４Ｂを順次形成している。

【００２７】前面側のガラス基板２５には、アドレス電
極Ａに対して直交する方向に、表示の１ライン毎に一対
のサステイン電極Ｘ，Ｙを形成し、ガラス基板２５の全
体を誘電体層２６で覆い、誘電体層２６の表面にはＭｇ
Ｏからなる保護膜２７を蒸着している。

【００２８】背面側のガラス基板２１と前面側のガラス
基板２５は、張り合わせて周辺をシールし、内部にＸ
ｅ，Ｎｅ等のガスを混入している。表示の１画素（ピク
セル）はライン方向に並ぶ３つのサブピクセルで構成す
る。

【００２９】図２は本発明の表示パネルの隔壁形成装置
の実施例１の全体を示す斜視図である。この図に示すよ
うに、本発明の表示パネルの隔壁形成装置はローラ式の
隔壁形成装置となっている。

【００３０】この図において、Ｓは基板、１はローラ式
の隔壁形成装置、２は隔壁形成装置１を図中矢印Ａで示
す上下方向に移動させる支持部、３は隔壁材（「リブ
材」ともいう）を基板Ｓに転写する転写部としてのロー
ラ部、４は隔壁材をローラ部３に供給する材料供給部、
５はローラ部３に隔壁材を塗込む塗込み用ヘラ部、６は
隔壁材から泡を抜く脱泡部、７は転写後のローラ部３を
掃除するクリーン部、８は基板Ｓに転写された隔壁材を
乾燥させる乾燥部、９はローラ部３の内部に組み込まれ
た加熱部としてのヒータ部、１０は転写した隔壁材をカ
ットするカッティング部、１１は転写によって基板Ｓ上
に形成された隔壁である。

【００３１】基板Ｓは、前述したように、図１で示した
ソーダライムガラスからなる背面側のガラス基板上に複
数のアドレス電極が平行に形成されて誘電体層で覆われ
たものあり、これらのアドレス電極間に、本ローラ式隔
壁形成装置１によって隔壁を形成する。

【００３２】隔壁材は、ガラス粉末、樹脂結合剤、高沸
点溶媒、低沸点溶媒を混ぜ合わせたガラスペーストであ
り、ガラス粉末としては低融点ガラス粉末を、樹脂結合
剤としてはポリビニルブチラールを、低沸点溶媒として
はメチルエチルケトンを、高沸点溶媒としてはテレピネ
オールを、それぞれ採用している。このような状態の隔
壁材を通常はリブペーストという。

【００３３】隔壁材の重量成分は、材料供給部４からの
供給時点では、低融点ガラス粉末５０重量部、ポリビニ
ルブチラール１重量部、メチルエチルケトン５０重量
部、テレピネオール１２重量部である。

【００３４】図３はローラ式隔壁形成装置１の各部の機
能を示す機能説明図、図４はローラ部３の正面図であ
る。これらの図に基づいて本ローラ式隔壁形成装置の各
部の機能を説明する。

【００３５】ローラ部３は、円筒体の円周面にシリコン
系のゴム状シートからなる母型を取り付けたものであ
り、この母型には隔壁の雌型が溝状に形成されている。

【００３６】そして、隔壁形成装置１を上から押さえ付
けながら矢印Ｃの方向に移動させることによってローラ
部３を矢印Ｄの方向に回転させ、これにより母型の溝に
充填された隔壁材を基板Ｓに転写し、基板Ｓ上に隔壁１
１を形成する。後述するように、ローラ部３は、母型に
種々の隔壁形状の雌型の溝を掘ることで、様々な形状の
隔壁を製作することができる。

【００３７】材料供給部４は、矢印Ｅの方向に加圧する
ことによって隔壁材を母型の溝に送り出す動作を行うも
のであり、母型の形状と条件に合わせて材料供給の制御
を行う。材料供給部４の供給口はローラ部３の長さに応
じて横に広がっている。

【００３８】塗込み用ヘラ部５は、材料供給部４で供給
された隔壁材を母型の溝に均一に塗込むためのものであ
る。

【００３９】脱泡部６は、母型の溝に塗込まれた隔壁材
の表面上に真空状態を作り、その真空を利用して隔壁材
内の泡噛みを取り除くものである。この脱泡部６は、第
１，第２，第３脱泡部６ａ，６ｂ，６ｃとして３段階に
設けられており、それぞれ矢印Ｆで示す方向に泡を引い
てゆくようになっている。

【００４０】クリーン部７は、吹き出し口７ａと吸入口
７ｂから構成され、隔壁材が転写された後、母型の溝に
残留した隔壁材の排除と装置内の清掃をエアーブローと
バキュームエアーを使用して行うものである。すなわ
ち、母型の溝に残った隔壁材を矢印Ｇで示す方向のエア
ーで吹き飛ばして取り除き、取り除いた隔壁材を矢印Ｈ
で示す方向のエアーの吸引で吸い取ることにより、母型
の溝と装置内のクリーニングを行い、隔壁の均一化を図
るものである。

【００４１】乾燥部８は、転写された隔壁材を乾燥させ
て隔壁の形状維持を行うものである。すなわち、この乾
燥部８には、赤外線ヒータ等の加熱装置と加熱した空気
を矢印Ｉで示す方向に送る送風装置が内装されており、
この加熱装置で転写後の隔壁材を加熱して隔壁材の表面
を硬化させ、これによってペーストダレなどを防ぎ隔壁
の形状維持を行う。隔壁材の材質によっては、紫外線に
より隔壁材を硬化させて隔壁の形状維持を行う場合もあ
る。

【００４２】ヒータ部９は、ローラ部３の母型を一定の
温度に温め、これにより隔壁材の流動性を高め、脱泡の
援助を行うものである。すなわち、このヒータ部９は、
ニクロム線などの加熱装置で構成されており、この加熱
装置で母型を温めることによって、隔壁材の流動性を高
めて隔壁材を母型の溝に入れやすくするとともに、隔壁
材の脱泡を行う。また、転写時には隔壁材が母型の溝か
ら離型しやすくする。ヒータ部９は、隔壁材の転写の際
に最良の状態で隔壁材が基板Ｓに接着されるように温度
制御を行う。

【００４３】カッティング部１０は、隔壁の転写の際に
隔壁形成範囲の制御を行い、適当なところで隔壁をカッ
トするものである。すなわち、基板Ｓの大きさに応じて
矢印Ｊで示す方向に動作させることにより隔壁をカット
することができる。

【００４４】本ローラ式隔壁形成装置の全体の動作は、
まず、ヒータ部９で母型を一定の温度に温めておき、材
料供給部４から母型の溝に隔壁材を供給しながら、隔壁
形成装置１を図２の矢印Ｂの方向に押さえて矢印Ｃの方
向に移動させることにより、ローラ部３を図３の矢印Ｄ
の方向に回転させる。

【００４５】このような動作とともに、塗込み用ヘラ部
５で隔壁材を母型の溝に均一に塗込み、脱泡部６で隔壁
材内の脱泡を行って、基板Ｓに隔壁材を転写してゆく。
転写後は、クリーン部７で母型の溝に残留した隔壁材の
排除と装置内の清掃を行い、乾燥部８で隔壁材を乾燥さ
せて隔壁の形状維持を行う。

【００４６】そして、基板Ｓに隔壁材を転写した後は、
カッティング部１０により適当な所で隔壁をカットす
る。このようにして基板Ｓに隔壁１１を形成した後、乾
燥室に入れて乾燥させ、焼成工程にて焼成することによ
り隔壁を製作する。

【００４７】図５〜図８は種々の隔壁形状の溝を掘った
母型の例を示す説明図であり、このような母型を用いる
ことにより、様々な形状の隔壁を製作することができ
る。

【００４８】図５（ａ）はほぼ正方形の隔壁を形成する
ための母型であり、このような母型を用いることによ
り、図５（ｂ）に示すような隔壁を形成することができ
る。

【００４９】図６（ａ）は正方形状の格子あるいは多角
形（六角形等）状の格子の形をした隔壁を形成するため
の母型であり、このような母型を用いることにより、図
６（ｂ）に示すような隔壁を形成することができる。

【００５０】図７は菱形状の格子の形をした隔壁を形成
するための母型であり、図８は円形状の格子の形をした
隔壁を形成するための母型である。

【００５１】このように、本ローラ式隔壁形成装置にお
いては、ローラ部３の母型にシリコン系のゴム状シート
を使用するので、母型の加工が容易であり、このため、
各種の形状の隔壁を自由に形成することができる。

【００５２】また、ローラ部３を用いるので、隔壁の形
成が簡単であり、均一な隔壁を形成することができる。
さらに、母型を加熱するためのヒータ部９を設けたの
で、隔壁材を温めて、隔壁材の流動性を高めることがで
きるとともに、脱泡を行うことができ、これにより隔壁
材の緻密化を図ることができる。

【００５３】そして、脱泡部６を設け、上記ヒータ部９
での脱泡に加えて、さらに脱泡部６で隔壁材の脱泡を行
うので、より一層隔壁材の緻密化を図ることができ、転
写後の隔壁の形状変化を抑えることができる。また、乾
燥部８を設けたので、転写後の隔壁形状のペーストダレ
を無くして、安定した隔壁の形状を維持することができ
る。

【００５４】さらに、クリーン部７を設け、このクリー
ン部７で母型に残った隔壁材をエアーブローによって除
去し、その除去した隔壁材を吸引エアーで吸引するの
で、隔壁形状の均一化を図ることができる。

【００５５】したがって、本ローラ式隔壁形成装置によ
れば、隔壁形成プロセスの簡略化と安定化を図ることが
でき、これにより一定の形状の隔壁を簡単に形成するこ
とができる。

【００５６】［実施例２］図９は本発明の表示パネルの
隔壁形成装置の実施例２の構成を示す構成説明図であ
る。この図に示すように、本発明の表示パネルの隔壁形
成装置は円弧式の隔壁形成装置となっている。

【００５７】この図において、３０は円弧式の隔壁形成
装置、３１は回転の中心となる回転支持部、３２は回転
支持部３１によって矢印Ｋの方向に回転する支持板、３
３は支持板３２に支持された転写板、３４は転写板を支
持する支柱、３５は転写板３３が支柱３４によって支持
されるように付勢するバネ、３６は転写板３３内に設け
られた空洞内を矢印Ｌで示す方向に移動する転写機構、
３７は転写機構３６がスライドするスライド部、３８は
転写板３３に取り付けられた平板、３９は平板３８に取
り付けられた円弧板、４０は円弧板３９の周面に取り付
けられた隔壁の母型、４１は母型４０の下部に設けられ
母型４１を加熱するヒータ部、４２は母型の溝に隔壁材
を供給する材料供給部である。

【００５８】母型４０は、実施例１と同様のシリコン系
のゴム状シートからなり、この母型には隔壁の雌型が溝
状に形成されている。

【００５９】材料供給部４２は実施例１と同様のもので
あり、この材料供給部４２には、実施例１と同様の塗込
み用ヘラ部と脱泡部が内装されている。材料供給部４２
は、矢印Ｍで示す方向に移動可能であり、母型４０に当
接し、図中Ｎで示す方向に移動して母型４０の溝に隔壁
材を供給しながら、塗込み用ヘラ部によって隔壁材を母
型４０の溝に塗込み、脱泡部にて脱泡を行う。

【００６０】図１０は本円弧式隔壁形成装置３０の転写
原理を示す説明図である。この図に示すように、台Ｔの
上に実施例１と同様の基板Ｓが載せられており、この基
板Ｓに本円弧式隔壁形成装置３０によって隔壁材を転写
する。

【００６１】隔壁材の転写時には、回転支持部３１を中
心にして支持板３２を矢印Ｋの方向へ反転させた後、基
板Ｓに母型４０を矢印Ｐで示す方向に押しつけて矢印Ｑ
で示す方向に離してゆき、母型４０を転位させることに
より、隔壁材を基板Ｓに転写する。

【００６２】図１１は転写機構を示す説明図であり、こ
の図に示すように、転写機構３６はシリンダによって矢
印Ｒで示す方向に伸縮するようになっており、転写機構
３６をスライド部３７に沿ってスライドさせながらシリ
ンダ圧力の違いをつくることにより、リンクの原理で転
写を行うことができる。

【００６３】図１２は本円弧式隔壁形成装置３０の転写
後の状態を示す説明図である。この図において、４３は
実施例１と同様のクリーン部である。この図に示すよう
に、転写後は、回転支持部３１を中心にして支持板３２
を矢印Ｕの方向へ反転させて元の位置に戻し、クリーン
部４３を母型にセットする。そして、クリーン部４３
を、矢印Ｖの方向に移動させながら、実施例１と同様
に、母型の溝に残った隔壁材を矢印Ｗで示す方向のエア
ーで吹き飛ばして取り除き、取り除いた隔壁材を矢印Ｘ
で示す方向のエアーの吸引で吸い取り、これにより母型
のクリーニングを行う。

【００６４】図１３は本円弧式隔壁形成装置３０の隔壁
乾燥時の状態を示す説明図である。この図において、４
４は実施例１と同様の乾燥部である。隔壁の転写後は、
上述したクリーン部４３でクリーニングを行うのである
が、これと同時に、乾燥部４４を基板Ｓ上に転写された
隔壁１１の上にセットして隔壁１１を乾燥させる。そし
て、図１４に示すような隔壁１１を得る。

【００６５】本円弧式隔壁形成装置の全体の動作は、ま
ず、ヒータ部４１で母型を一定の温度に温めておき、材
料供給部４２で母型の溝に隔壁材を供給しながら、塗込
み用ヘラ部で隔壁材を母型の溝に均一に塗込み、脱泡部
で隔壁材内の脱泡を行う。

【００６６】そして、回転支持部３１を中心にして支持
板３２を矢印Ｋの方向へ反転させ、母型４０を転位させ
ることにより隔壁材を基板Ｓに転写する。

【００６７】転写後は、回転支持部３１を中心にして支
持板３２を矢印Ｕの方向へ反転させて元の位置に戻し、
クリーン部４３で母型の溝に残った隔壁材を除去する。
そして、このクリーン動作を行いながら、乾燥部４４で
隔壁１１を乾燥させる。

【００６８】この実施例においても、先の実施例１と同
様に、種々の隔壁形状の雌型の溝を掘った母型４０を円
弧板３９に取り付けることにより、様々な形状の隔壁を
製作することができる。

【００６９】このようにして、転写部の母型の溝に隔壁
材を供給し、その供給された隔壁材を表示パネル用の基
板に転写して基板上に隔壁を形成するので、簡単かつ低
コストのプロセスで、連続的に隔壁を形成することがで
きる。

【００７０】なお、実施例１のローラ式隔壁形成装置、
あるいは実施例２の円弧式隔壁形成装置のいずれにおい
ても、例えば真空室や真空に近い減圧室のような真空環
境あるいは減圧環境中に隔壁形成装置を配置し、その環
境内で隔壁を形成するようにしてもよい。

【００７１】このような環境内で隔壁の形成を行えば、
隔壁材の供給の際に生ずる母型と隔壁材との間の泡噛み
や、隔壁材の転写の際に生ずる基板と隔壁材との間の泡
噛みや塵の付着等を防止することができる。このように
真空環境内に隔壁形成装置を配置した場合には、真空に
よって脱泡が行われるので、脱泡部を取り外して使用す
ることができる。

【００７２】また、材料供給部と塗込み用ヘラ部だけを
遮蔽物で覆って内部を真空域あるいは減圧域とし、これ
により、隔壁材の供給の際に生ずる母型と隔壁材との間
の泡噛みを防止するとともに、材料供給部と塗込み用ヘ
ラ部を経由して遮蔽物外に出た隔壁材を外気圧で母型へ
押し込んでやるようにしてもよい。この場合において
も、脱泡部を取り外して使用することができる。

【００７３】

【発明の効果】この発明によれば、転写部の母型の溝に
隔壁材を供給し、その供給された隔壁材を表示パネル用
の基板に転写して基板上に隔壁を形成するので、従来よ
りも簡単に隔壁を形成することができ、これにより隔壁
形成コストの低減と、隔壁形成工程の短縮化を図ること
ができる。また、隔壁の形成に際して、形状ムラがなく
安定した隔壁が成形できる。さらに、母型により隔壁を
形成するので、隔壁の形状変更が容易であり、隔壁形成
プロセスの変化に対しても迅速な対応が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の隔壁形成方法によって隔壁が形成され
るＡＣ型３電極面放電形式のＰＤＰの構成を示す説明図
である。

【図２】本発明の表示パネルの隔壁形成装置の実施例１
の全体を示す斜視図である。

【図３】本発明によるローラ式隔壁形成装置の各部の機
能を示す機能説明図である。

【図４】本発明によるローラ式隔壁形成装置のローラ部
の正面図である。

【図５】ほぼ正方形の隔壁を形成するための母型とこの
母型を用いて形成された隔壁を示す説明図である。

【図６】正方形状の格子の形をした隔壁を形成するため
の母型とこの母型を用いて形成された隔壁を示す説明図
である。

【図７】菱形状の格子の形をした隔壁を形成するための
母型を示す説明図である。

【図８】円形状の格子の形をした隔壁を形成するための
母型を示す説明図である。

【図９】本発明の表示パネルの隔壁形成装置の実施例２
の構成を示す構成説明図である。

【図１０】本発明による円弧式隔壁形成装置の転写原理
を示す説明図である。

【図１１】本発明による円弧式隔壁形成装置の転写機構
を示す説明図である。

【図１２】本発明による円弧式隔壁形成装置の転写後の
状態を示す説明図である。

【図１３】本発明による円弧式隔壁形成装置の隔壁乾燥
時の状態を示す説明図である。

【図１４】本発明による円弧式隔壁形成装置によって形
成されたの隔壁を示す説明図である。

【符号の説明】

１ローラ式の隔壁形成装置２支持部３ローラ部４，４２材料供給部５塗込み用ヘラ部６脱泡部７，４３クリーン部８，４４乾燥部９，４１ヒータ部１０カッティング部１１隔壁２１背面側のガラス基板２１２３隔壁２４Ｒ，２４Ｇ，２４Ｂ蛍光体層２５前面側のガラス基板２６誘電体層２７保護膜３０円弧式の隔壁形成装置３１回転支持部３２支持板３３転写板３４支柱３５バネ３６転写機構３７スライド部３８平板３９円弧板４０隔壁の母型Ａアドレス電極Ｓ基板Ｘ，Ｙサステイン電極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者渡海章神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番１号富士通株式会社内 (72)発明者別井圭一神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番１号富士通株式会社内 (72)発明者中澤明神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番１号富士通株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】表面に隔壁形状に対応する溝が形成され
た母型を有し、かつ回転する転写部と、転写部の母型の
溝に隔壁材を供給する材料供給部とを備え、転写部の回
転により、母型の溝に供給された隔壁材を表示パネル用
の基板に転写し、それによって基板上に隔壁を形成する
ことを特徴とする表示パネルの隔壁形成装置。
【請求項２】母型の溝に隔壁材を均一に塗込むヘラ部
をさらに備えてなる請求項１記載の表示パネルの隔壁形
成装置。
【請求項３】母型の溝に供給された隔壁材から泡を抜
く脱泡部をさらに備えてなる請求項１記載の表示パネル
の隔壁形成装置。
【請求項４】隔壁材が基板に転写された後、母型の溝
に残留した隔壁材を取り除くクリーン部をさらに備えて
なる請求項１記載の表示パネルの隔壁形成装置。
【請求項５】基板に転写された隔壁材を乾燥させて硬
化させる乾燥部をさらに備えてなる請求項１記載の表示
パネルの隔壁形成装置。
【請求項６】母型の溝に隔壁材をスムーズに供給する
とともに隔壁材の脱泡を行うために母型を加熱する加熱
部をさらに備えてなる請求項１記載の表示パネルの隔壁
形成装置。