JPH10340672A - カラー受像管製造用露光装置 - Google Patents
カラー受像管製造用露光装置Info
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- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
光源ランプによって加熱されることによって生ずる熱変
形を防止することを目的とする。 【解決手段】 遮光プレート20は、厚さ1mm〜7mmの
肉厚プレート上面に略四角錘状の凹部からなるスリット
形成部21が設けられ、この四角錘状凹部の光源ランプ
の管軸と直交する稜線をスリット開口22としている。
また、光源ランプ側では、スリット開口が形成されるス
リット形成部21の周縁は枠状となっている。スリット
形成部は、光源ランプの管軸上は管軸に平行な平面25
となっており、上面には凹部が形成されているので、断
面形状ではくさび状となっている。このような形状とす
ることで、V字型のスリットを立体的に形成して、機械
的強度を向上させることにより熱変形を防止している。
Description
面を形成する際に用いられる露光装置に係り、特に、ラ
ンプハウスの改良に関する。
パネルの内面に蛍光面を形成するに際して、フェースパ
ネル内面に形成した感光性樹脂膜を赤、緑、青の蛍光体
ドットパターンに応じて露光する工程がある。通常は、
蛍光体ドット形成部分がホール状となったブラックマト
リックスと称する光吸収層を形成した後、3色の蛍光体
ドットを形成している。このパターニングされたブラッ
クマトリックスや蛍光体ドットを形成する際には以下の
ような露光装置が用いられる。
れる露光装置の概略図である。露光装置本体の底部には
超高圧ロングアーク水銀ランプ4を具備したランプハウ
ス3が設置されている。光源ランプ4より発射された露
光光線は、光の軌道が電子ビームの軌道と同一となるよ
うに補正するための光学レンズ5で屈折され、配光フィ
ルター6を透過し、シャドウマスク7の開孔を介してフ
ェースパネル8の内面に照射され、パネル内面に塗布さ
れた感光性蛍光面被膜をシャドウマスクの開孔パターン
に焼き付ける。なお、配光フィルター6はその表面に所
定パターンで蒸着膜を形成したガラスフィルターであ
り、フェースパネルの内面での光の照度分布を補正する
ものである。
の上部(フェースパネル側)に光透過性窓部としての窓
ガラス11が配置され、内部に直管型のロングアーク水
銀ランプ4が固定配置され、冷却水を循環させることに
よってランプを冷却する構造となっている。さらに、ラ
ンプハウス内部で光源ランプの上方には間隔βをおい
て、V字型スリット15が設けられた遮光プレート18
が配置されており、ランプ長手方向(光源ランプの管軸
方向)とスリットの長手方向とが直交するようになって
いる。そして、この遮光プレート17は、スリット位置
決め孔18に位置決め突起19を嵌合させ、さらにV字
型スリット上部に窓ガラス11を配置した状態でOリン
グ12とロックリング13によって押さえつけられるこ
とによって固定されている。
7には、例えば板厚0.1mm〜0.3mmの薄い鉄材に黒
化処理を施したものを用いており、スリットを有する領
域をV字形状に曲折プレス加工して形成している。この
V字型のスリットの形状は適用するカラー受像管に応じ
て異なり、通常はV字の2つの辺がなす曲げ角度αは8
0°〜180°、スリット長さ(V字の1つの辺の長
さ)Lは3mm〜10mm、スリット幅Wは0.5mm〜2.
5mmとなっている。
備する露光装置によると、光源ランプから出た露光光線
はV字型スリットを介してシャドウマスクの開孔を介し
てパネル内面を照射する。その際、この露光光線がV字
型スリットと交差する位置が見かけ上の光源の位置とな
っている。
光源ランプにスリットをV字型に折り曲げてなる遮光プ
レートを配置することで点光源に似せたランプハウスを
用いる露光装置では、光源ランプと遮光プレートのV字
型底部との間の距離と折り曲げ角度とにより、光源ラン
プの投射光の指向性が大きく変化する。
されているものの、光源ランプには高出力の水銀ランプ
が用いられており、輻射熱による遮光プレートの加熱は
避けられない。一方、遮光プレートは薄板の部材からの
折り曲げ加工にて形成しているため、その機械的強度が
弱く、長時間にわたるランプ発光時の発熱により熱膨張
し変形してしまう。この遮光プレートの変形、すなわち
V字型スリットの角度αや高さβのずれにより光源ラン
プとスリットとの位置関係が変化し、シャドウマスクへ
の露光光線の入射角度が変化する。このような状態で蛍
光面の製造を行っても露光される位置が変化しているの
で蛍光面不良を起こしてしまう。さらに、遮光プレート
の配置固定はランプハウス内壁に設けられた位置決め突
起に嵌め込む形であるため、位置ずれを生じやすいもの
である。
れたものであり、本発明は、カラー受像管形成用露光装
置において、ランプハウス内に配置される遮光プレート
が光源ランプによって加熱されることによって生ずる熱
変形を防止することによって、蛍光面品位の良好なカラ
ー受像管を安定生産することができる露光装置を提供す
ることを目的とする。また、本発明は、遮光プレートの
位置決めを確実に行うことができる露光装置を提供する
ことを目的とする。
め、本発明は、光源ランプと、長手方向断面が略V字型
のスリット開口が設けられた遮光プレートと、光透過性
窓部とを有するランプハウスを具備するカラー受像管製
造用露光装置において、前記遮光プレートは、肉厚の板
状部材からの削り出し加工によってスリット開口が形成
されていることを特徴とする。
長手方向断面が略V字型のスリット開口が設けられた遮
光プレートと、光透過性窓部とを有するランプハウスを
具備するカラー受像管製造用露光装置の遮光プレートを
改良したものである。
軸に沿った断面形状がスリット開口の開口縁から前記管
軸方向端部に向かって肉厚となるくさび状であり、前記
光源ランプの管軸に直交する方向でのスリット開口の断
面形状が略V字状であることを特徴する。
レートの前記光透過性窓部側には、略四角錘状の凹部が
設けられており、この凹部の綾線上にスリット開口が設
けられている。
記遮光プレートが固定されるステージを有しており、遮
光プレートはその側面及び底面で前記ステージと接する
ようになっている。
部が形成されるスリット形成部とこのスリット形成部周
縁の枠状部とからなり、前記枠状部は、光源ランプの管
軸方向に沿った第1の枠部と、光源ランプの管軸に直交
する方向に沿い、前記第1の枠部に比べ肉厚な第2の枠
部とからなり、前記第2の枠部には前記光源ランプが係
合する半円状の凹部が設けられていることを特徴とす
る。
厚のプレートにスリットが形成された構造となり、スリ
ット形成部分以外は厚さが厚くなるので、スリットが形
成された薄板を折り曲げ加工されてなる遮光プレートに
比べて機械的強度が高くなる。よって、光源ランプの発
熱によって加熱されても熱変形をきたすことがなくスリ
ットの位置を安定させることができる。なお、ここで肉
厚とは、略V字状のスリットを曲折加工することなく形
成できる程に十分に厚いことをいう。
と側面及び底面で接しているため、位置ずれを起こしに
くい構造となっている。また、本発明では、遮光プレー
トとステージとに光源ランプが係合う凹部を形成するこ
とにより、光源ランプの位置ずれを防いでいる。
て図面を参照しつつ説明する。図1は、本発明によるカ
ラー受像管用露光装置の全体を示す図であり、図2は、
ランプハウス部分を示す図である。
あり、露光装置本体の底部には超高圧ロングアーク水銀
ランプ4を具備したランプハウス3が設置されている。
光源ランプ4より発射された露光光線は、光の軌道が電
子ビーム軌道と同じになるように補正する光学レンズ5
で屈折され、配光フィルター6を透過し、シャドウマス
ク7の開孔を介してパネル8の内面に照射することによ
り、パネル内面に塗布された感光性蛍光面被膜をシャド
ウマスクの開孔パターンに焼き付ける構造となってい
る。なお、配光フィルター6はその表面に所定パターン
で蒸着膜を形成したガラスフィルターで、フェースパネ
ルの内面での光の照度分布を補正するものである。
に示すように、その上部(フェースパネル側)に光透過
性窓部としての窓ガラス11が配置され、内部に直管型
のロングアーク水銀ランプ4を固定配置し、冷却水を循
環させてランプを冷却する構造となっている。ランプハ
ウスの内部には、上部に遮光プレート20が取り付けら
れた円筒型ステージ30がはめ込まれている。円筒型ス
テージ30の上部には窓ガラス11が載置され、この状
態でOリング12とロックリング13を用いて窓ガラス
が固定されている。また、ランプハウスと円筒型ステー
ジには、光源ランプを挿入するスペースが設けられてお
り、ランプハウス外部から円筒型ステージ30を貫通す
るように、光源ランプ4が配置され、また、ランプを冷
却する冷却水を循環させるための冷却水導入管14が設
置されている。
プレートを示す図であり、図3は上面、すなわち光透過
性窓部側を見た図であり、図4は断面形状を表わしてい
る。また、図5は、本実施の形態に係る遮光プレートが
設置される円筒型ステージを示す図である。
肉厚(例えば1mm〜7mm)のプレート上面に略四角錘状
の凹部からなるスリット形成部21が設けられ、この四
角錘状凹部の光源ランプの管軸と直交する稜線をスリッ
ト開口22とした形状となっている。また、スリット形
成部21の周縁の周縁部23には後述する円筒型ステー
ジに設けられたネジ穴にネジ止めするための4つの位置
固定用穴24が設けられている。スリット形成部21の
断面は、図4(a)に示すように、管軸方向断面(A−
A断面)を見ると、開口縁から管軸方向端部に向かって
厚さが増大するくさび状となっており、スリット形成領
域の周縁から肉厚の周縁部23がつながっている。ま
た、図4(b)に示すように、管軸と直交する方向の断
面(B−B断面)は、スリット開口部分がV字状とな
り、その端部から肉厚の周縁部23がつながっている。
に、スリット開口が形成されるスリット形成部21の周
縁は枠状となっている。また、スリット形成部のA−A
断面からB−B断面までの間の領域には、上述のスリッ
トを立体的に形成すべく、光源ランプ側から見たときに
凹みとなる部分が適宜の形状にて形成されている。
向に沿った第1の枠部27と、光源ランプの管軸に直交
する方向に沿い、前記第1の枠部に比べ肉厚な第2の枠
部28とを有している。第1の枠部27は光源ランプの
管軸に直交する方向の端部の強度を高めるている。ま
た、第2の枠部28には光源ランプが係合する半円状の
凹部29が設けられている。この半円状凹部28と後述
するステージに設けられた凹部とによって形成される円
筒状の空間に光源ランプが配置されるようになってい
る。なお、第1の枠部27の高さは第2の枠部28の半
円状凹部29を除く部分の高さよりも低くなっている。
これは、第1の枠部がステージとの間に形成する隙間を
利用して冷却水を流すためである。
電削り出し加工によって形成することができる。次に、
遮光プレートが設置される円筒型ステージについて説明
する。円筒型ステージ30は図5に示すように、円筒の
中央部が削り出され、円盤状底部31から対向する2つ
の部分円筒壁32a,32bが延びた形状となってい
る。円盤状底部31の中央部分が開口部となっており、
開口以外の部分には半円状の凹部34がと4つのネジ穴
35が設けられている。そして、対向する壁32a,3
2bの間に設けられた空間部に遮光プレート20を嵌め
込むようになっている。遮光プレート20を嵌め込んだ
状態では、遮光プレートの下面に設けられた凹部とステ
ージに設けられた凹部とで光源ランプを収容するスペー
スを形成している。このように、遮光プレートをステー
ジに嵌め込むようにしているので、遮光プレートの固定
面積が増え、長時間露光時のスリットの位置ずれを防止
することができる。なお、円筒型ステージの突起36
は、ランプハウスに設置する際の位置出し用の突起であ
る。
スにおいても、長時間露光時の光源ランプからの熱輻射
により、遮光プレートも加熱される。しかしながら、こ
の形態の遮光プレートでは、スリット開口形成部分の機
械的強度を上げているため、熱変形を起こすことがな
い。また、遮光プレートが円筒ステージと接する面を大
きくしており、遮光プレート設置の際の位置ずれがな
い。従来はプレートの底面でしか接することがなかった
が、この形態の遮光プレートでは底面及び側面で接する
ことにより位置規制されるため、位置決め精度を高める
ことができる。
光源ランプとの位置関係を一定に保ったままでの露光が
可能となるので、安定した品位のカラー受像管を製造す
ることができる。
り出し加工によって形成したが、立体的にスリット開口
を形成する方法はこれに限られず、種々の方法を適用で
きる。
するステージが取り外し可能な円筒型ステージである
が、遮光プレートと接する面を有するステージ部分をラ
ンプハウス内に形成するようにしてもよい。
装置によれば、遮光プレートの強度を向上させることに
より、長時間露光時の光源ランプの発熱によるV字型ス
リットの変形を防止することができるので、露光パター
ンが変化することなく安定した品位をカラー受像管を製
造することができる。
成を示す概略図である。
り、図2(a)は上面を示し、図2(b)及び(c)は
断面を示す。
を示す図である。
あり、図4(a)はA−A断面、図4(b)はB−B断
面を示す。
ジを示す図である。
を示す概略図である。
図7(a)は上面を示し、図7(b)及び(c)は断面
を示す。
を示す図であり、(a)は上面図、(b)及び(c)は
側面図である。
Claims (6)
- 【請求項1】 光源ランプと、長手方向断面が略V字型
のスリット開口が設けられた遮光プレートと、光透過性
窓部とを有するランプハウスを具備するカラー受像管製
造用露光装置において、 前記遮光プレートは、肉厚の板状部材からの削り出し加
工によってスリット開口が形成されていることを特徴と
するカラー受像管製造用露光装置。 - 【請求項2】 直管型の光源ランプと、長手方向断面が
略V字型のスリット開口が設けられた遮光プレートと、
光透過性窓部とを有するランプハウスを具備するカラー
受像管製造用露光装置において、 前記遮光プレートは、前記光源ランプの管軸に沿った断
面形状がスリット開口の開口縁から前記管軸方向端部に
向かって肉厚となるくさび状であり、前記光源ランプの
管軸に直交する方向でのスリット開口の断面形状が略V
字状であることを特徴するカラー受像管製造用露光装
置。 - 【請求項3】 前記遮光プレートの前記光透過性窓部側
は、綾線上にスリット開口が設けられた略四角錘状の凹
部を有していることを特徴とする請求項2記載のカラー
受像管製造用露光装置。 - 【請求項4】 前記遮光プレートは、スリット開口が形
成されているスリット形成部とこのスリット形成部周縁
の枠状部とからなり、 前記スリット形成部は、前記光源ランプの管軸に沿った
断面形状がスリット開口の開口縁から前記管軸方向端部
に向かって肉厚となるくさび状であり、前記光源ランプ
の管軸に直交する方向でのスリット開口の断面形状が略
V字状である、ことを特徴とする請求項2または3に記
載のカラー受像管製造用露光装置。 - 【請求項5】 直管型の光源ランプと、長手方向断面が
略V字型のスリット開口部が設けられた遮光プレート
と、光透過性窓部とを有するランプハウスを具備するカ
ラー受像管製造用露光装置において、 前記ランプハウスは、前記遮光プレートが固定されるス
テージを有しており、 前記遮光プレートは、前記光源ランプの管軸に沿った断
面形状がスリット開口の開口縁から前記管軸方向端部に
向かって肉厚となるくさび状であり、前記光源ランプの
管軸に直交する方向でのスリット開口の断面形状が略V
字状であり、 前記遮光プレートは側面及び底面で前記ステージと接し
ている、ことを特徴とするカラー受像管製造用露光装
置。 - 【請求項6】 前記遮光プレートは、スリット開口部が
形成されるスリット形成部とこのスリット形成部周縁の
枠状部とからなり、 前記スリット形成部は、前記光源ランプの管軸に沿った
断面形状がスリット開口の開口縁から軸方向端部に向か
って肉厚となるくさび状であり、前記光源ランプの管軸
に直交する方向でのスリット開口の断面形状が略V字状
であり、 前記枠状部は、光源ランプの管軸方向に沿った第1の枠
部と、光源ランプの管軸に直交する方向に沿い、前記第
1の枠部に比べ肉厚な第2の枠部とからなり、前記第2
の枠部には前記光源ランプが係合する半円状の凹部が設
けられていることを特徴とする請求項5記載のカラー受
像管製造用露光装置。
Priority Applications (5)
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|---|---|---|---|
| JP9150541A JPH10340672A (ja) | 1997-06-09 | 1997-06-09 | カラー受像管製造用露光装置 |
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9150541A JPH10340672A (ja) | 1997-06-09 | 1997-06-09 | カラー受像管製造用露光装置 |
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|---|---|
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