JPH10340929A - 電子部品搭載用配線基板 - Google Patents

電子部品搭載用配線基板

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JPH10340929A
JPH10340929A JP10046382A JP4638298A JPH10340929A JP H10340929 A JPH10340929 A JP H10340929A JP 10046382 A JP10046382 A JP 10046382A JP 4638298 A JP4638298 A JP 4638298A JP H10340929 A JPH10340929 A JP H10340929A
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bump
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electrode pad
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良治 杉浦
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正幸 櫻井
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  • Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電子部品を搭載するための電子部品搭載用配
線基板において、外部へ接続する端子の電極パッドにバ
ンプを形成する平面的な面付実装技術では、多数の球形
状バンプを平面的に電極パッドの所定箇所に正確に位置
決めし、バンプの先端面の高さバラツキをなくすること
は非常に難しく、電気的接続の信頼性の確保が課題であ
った。 【解決手段】 上記、課題を解決するため、本発明では
凹形状の電極パッドの内部に球形状バンプをはめ込み、
治具により、この深さを調節して多数のバンプの配線基
板より突出するバンプ先端面の高さレベルを平坦化し、
電子部品搭載用配線基板と親配線基板とのバンプ接続に
よる実装を確実なものにできる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品を搭載す
るための電子部品搭載用配線基板であって、特にバンプ
を形成する電極パッドを有する電子部品搭載用配線基板
に関する。
【0002】
【従来の技術】図5に基づいて従来の技術を説明する。
従来技術の電子部品搭載用の従来の配線基板31は、こ
の従来の配線基板31の上部表面に半導体回路部品、抵
抗、コンデンサあるいはモジュール部品などの電子部品
40をリフローはんだ付けをして表面面付実装するか、
または電子部品40と電子部品搭載面にある上面外層導
体33のボンディング・ランドにボンディング・ワイヤ
41で接続してワイヤ・ボンディング実装する。この電
子部品搭載面にある上面外層導体33とバンプ形成側の
下面外層導体35とは、貫通孔32のスルーホールめっ
き層34で電気的に導通されている。この下面外層導体
35の所定箇所の2次元の格子上交点に多数の平面的な
電極パッド36が設定配置されている。この電子部品4
0を搭載する従来の配線基板31の外部へ接続するため
の端子である平面的な電極パッド36の表面に突出接点
(以下、バンプと記す)を形成する。代表的なバンプ4
5として、球形状のはんだボール45Aが一般的に使用
されているがその他に、たまご形状、半球形状、長円球
形状などのバンプ45も使用されている。前記バンプ4
5を平面的な電極パッド36に取り付ける場合、電極パ
ッド36に接するバンプ45の先端面が球面形状となっ
ているため位置決めが非常に難しく問題となっている。
【0003】従来は、ICフラットパッケージ等の高密
度電子部品や電子部品を搭載したモジュール配線基板な
どの、いわゆる電子部品40を搭載した従来の配線基板
31の外部への接続端子と親配線基板(マザー・ボー
ド)22の接続用ランド26との接続には、導電性ペー
スト、例えばクリームはんだ28を用いたリフローはん
だ付けが利用されていたが、近年、ICフラットパッケ
ージ等の高密度化、小型化により接続端子数の増加、接
続端子間いわゆる端子ピッチ間隔が狭くなり、電子部品
40のリード端子径が細く、かつ変形しやすくなって従
来のはんだ付け技術の限界に直面し、はんだ付け不良率
が高くなっていた。
【0004】そこで注目を集めている接続技術として、
電子部品40を搭載した従来の配線基板31の下面に外
部へ接続するための端子として多数の平面的な電極パッ
ド36に、はんだ等により形成された球形状のバンプ、
例えば、はんだボール45Aを2次元に配置しておい
て、このはんだボール45Aのバンプと親配線基板22
の接続用ランド26にクリームはんだ28を塗布した接
続端子群とを突き合わせてから、リフローはんだ付けに
より平面的な面付実装を行なうことが多くなっている。
球形状バンプを2次元に配置する方式はBGA(ball・
grid・array)パッケージ方式と呼び電子部品の高密度
化、小型化および、はんだ付け不良率の低減による品質
の向上が望める。
【0005】通常、ICフラットパッケージ等の高密度
化、小型化された電子部品40を従来の配線基板31に
実装する際、はんだ付け用のフラックス、はんだがスル
ーホールめっきの施こされている貫通孔32を通じて電
子部品40の搭載面に流出したり、また搭載した電子部
品40やボンディング・ワイヤ41をモールド樹脂で被
覆して保護する際にバンプ形成側へのモールド樹脂の流
出を防止するため、貫通孔32に充填物39を充填しな
ければならい。その後、外層導体表面の必要な接続ラン
ドや電極パッド36以外にはソルダーレジスト17を施
すことが一般的である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来のB
GAパッケージ方式の一体化された電子部品搭載用配線
基板では球形状のバンプ45を2次元の格子上交点に平
面的に設定された電極パッド36に取り付ける場合、電
極パッド36に接するバンプ45の先端面が球面形状と
なっているため位置決めが非常に難しくなっている。さ
らに、球形状のバンプ45を従来の配線基板31の所定
箇所に2次元に配置されている平面的な電極パッド36
に正確に位置決めをし、固定する必要があるだけでな
く、バンプ45の先端面の高さのバラツキやバンプを形
成するはんだの量の多少で、親配線基板22の接続用ラ
ンド26へリフローはんだ付けする際に隣接バンプ45
または接続用ランド26とショートしたり、従来の配線
基板31に形成されているバンプ45と接続用ランド2
6のクリームはんだ28との接続不良が生じたり、球形
状のバンプ45を用いた平面的な面付接続による接続技
術は接続信頼性の確保が課題となっている。また、電子
部品40を従来の配線基板31に実装する際、はんだ付
け用のフラックス、はんだが貫通孔32を通じて電子部
品40の搭載面に流出したり、搭載した電子部品40や
ボンディング・ワイヤ41をモールド樹脂で被覆して保
護する際にバンプ45形成側へのモールド樹脂の流出を
防止するため、貫通孔32に充填物39を充填しなけれ
ばならず、生産効率の低下となっている。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明においては、配線基板の外部へ接続する端子にバ
ンプを形成する配線基板に、絶縁性基材と、絶縁性基材
を貫通する穴と、絶縁性基材を貫通する穴の一方の端面
を塞ぐ表面外層導体とからなる非貫通穴である凹形状の
電極パッドを有する電子部品搭載用配線基板とする。上
記の絶縁性基材を貫通する穴の一方の端面を塞ぐ表面外
層導体側には、通常は電子部品を搭載する。また、上記
の電子部品搭載用配線基板は、片面配線基板,両面配線
基板,多層配線基板のいずれでも非貫通穴である凹形状
の電極パッドを形成することにより目的を達成すること
ができる。
【0008】両面配線基板,多層配線基板では、閉孔し
ている非貫通穴内にメッキ法や蒸着法などで導体層を形
成し、電子部品搭載面にある上面外層導体とバンプ形成
側にある下面外層導体とを、非貫通穴内の導体層で電気
的に導通させる非貫通導通穴とする。つまり、電子部品
を搭載するための配線基板に外部へ接続する端子にバン
プを形成する配線基板において、絶縁性基材と、絶縁性
基材を貫通する穴と、絶縁性基材を貫通する穴の一方の
端面を塞ぐ表面外層導体と、閉孔している非貫通穴内の
導体層とからなる非貫通導通穴である凹形状の電極パッ
ドを有する電子部品搭載用配線基板とする。電子部品を
搭載するための配線基板で、バンプ形成側にある下面外
層導体に形成されている電極パッドを、配線基板の基板
表面から絶縁性基材側内部に、その表面中央部を凹形状
に陥没して形成し、球面形状のバンプを凹形状の電極パ
ッド内部にはめ込むことにより、正しい電極パッド位置
に容易に位置決めをすることができる。 また、凹形状
の電極パッド部は、電子部品搭載面の表面外層導体とバ
ンプ形成側の表面外層導体とが非貫通穴内の導体層で導
通され、穴の一方の端面を表面外層導体で塞ぐため従来
の貫通スルーホール穴の充填物による穴埋めを省略する
ことが可能となる。
【0009】配線基板の基板表面から絶縁性基材側内部
に、その表面中央部を凹形状に陥没して形成し、球面形
状のバンプを凹形状の電極パッド内部にはめ込み、且つ
配線基板の外部へ接続するための端子となるバンプ形成
側にある下面外層導体に形成される電極パッドとして開
孔している穴端面の一部もしくは全周に接する表面外層
導体を設ける。つまり、電子部品を搭載するための配線
基板に外部へ接続するバンプを形成する配線基板におい
て、絶縁性基材と、絶縁性基材を貫通する穴と、絶縁性
基材を貫通する穴の一方の端面を塞ぐ表面外層導体と、
閉孔している非貫通穴内の導体層と、絶縁性基材を貫通
する穴の他方の開孔している穴端面の一部もしくは全周
に接して設けられた外層導体とからなる凹形状の電極パ
ッドを有する電子部品搭載用配線基板とする。
【0010】多層配線基板では、バンプを形成する側の
表面外層導体と、内層導体との間に形成するブラインド
スルーホール穴を、バンプを形成する非貫通穴である凹
形状の電極パッドとして使用する電子部品搭載用配線基
板とすることもできる。
【0011】さらに凹形状の電極パッドの深さを、この
凹設穴に挿入する球形状バンプの外径よりも小さくして
配線基板のバンプを形成する側の基板表面からバンプの
一部分が突出するようにし、この球面形状のバンプを挿
入し形成する深さを調節することにより2次元に配置さ
れる多数のバンプの突出する先端面の高さレベルを平坦
化でき、親配線基板の接続用ランドとの間隔が一定とな
り、リフローはんだ付け作業およびバンプの面接続によ
る位置決めと品質が安定化する。つまり、バンプを形成
する非貫通穴である凹形状の電極パッドにおいて、非貫
通穴の深さ(S)が上記バンプの外径(D)よりも若干
小さく形成する前記のいずれかに記載の電子部品搭載用
配線基板とする。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図に
基づいて説明する。まず、図1の本発明の電子部品搭載
状態の配線基板断面図において、抵抗、コンデンサ、半
導体回路部品、ICフラットパッケージあるいはモジュ
ール部品などの電子部品40を配線基板10の上面に形
成された電子部品搭載面の表面外層導体3の所定箇所に
ボンディング・ワイヤ41でワイヤ・ボンディング実装
をして接続した状態を示している。この電子部品40の
各電極端子と、配線基板10の所定箇所に形成されてい
る各接続ランドとの接続はワイヤ・ボンディングだけに
限らず導電性ペ−スト8であるクリームはんだによる表
面面付実装や、あるいは溶接実装などでもよい。
【0013】電子部品搭載用の配線基板10はガラスエ
ポキシ基材、フェノール基材、合成樹脂基材、テフロン
含有基材、ポリイミド樹脂基材、BTレジン(ビスマレ
ィミド−トリアジン樹脂)基材、変性BTレジン基材ま
たはセラミック等の絶縁性基材1であり、絶縁性基材1
の所定箇所にバンプを形成する側からレーザー加工を
し、電子部品搭載面の表面外層導体3に達する絶縁性基
材1を貫通する穴7を設ける。次に、めっきを施こし非
貫通穴内の導体層4と、絶縁性基材1の両方の表面の所
定箇所には所定の電子部品搭載面の表面外層導体3と、
バンプ形成側の表面外層体5とを印刷法や写真法により
形成し、電子部品搭載面の表面外層導体3とバンプ形成
側の表面外層導体5とを非貫通穴内の導体層4で電気的
に導通させる。上記に示すように配線基板10の下部に
あるバンプ形成側の基板表面5Aから絶縁性基材1の内
部に、その箇所の表面中央部がへこんだ非貫通穴となる
凹形状の電極パッド6を陥没して形成し、立体的(3次
元)な球面形状のバンプ45取付用電極パッドとする。
【0014】また、配線基板10の外部へ接続するため
の端子となるバンプ形成側にある表面外層導体5に形成
される凹形状の電極パッド6として配線基板下面にある
開孔している穴端面の一部もしくは全周に接して表面外
層導体を設ける。しかし、高密度のパタ−ン設計をする
場合は、バンプ形成側にある表面外層導体5にはバンプ
形成用のランドを設けず、凹形状の非貫通穴の内壁のみ
に非貫通穴内の導体層4を形成する、いわゆるランドレ
ス形状とすることもできる。つまり、電子部品を搭載す
るための配線基板に外部へ接続する端子にバンプを形成
する配線基板10において絶縁性基材1と、絶縁性基材
を貫通する穴7と、絶縁性基材を貫通する穴7の一方の
端面を塞ぐ電子部品搭載面の表面外層導体3と、閉孔し
ている非貫通穴内の導体層4とからなる非貫通導通穴で
ある凹形状の電極パッド6を有する電子部品搭載用配線
基板とする。また、この配線基板10には貫通孔は設け
ず非貫通穴として、電子部品40を配線基板10に実装
する際、はんだ付け用のフラックス、はんだが貫通孔を
通じて電子部品40の搭載面に流出したり、搭載した電
子部品40やボンディング・ワイヤ41をモールド樹脂
で被覆して保護する際にバンプ45形成側へのモールド
樹脂が流出することを防止する。
【0015】銅張り積層板を用いる場合は、バンプを形
成する側の表面外層導体5を写真法や印刷法でエッチン
グレジスト膜を形成し、次にエッチング処理をして中央
部が所定の穴径となる非導体部を形成する。次に、前記
非導体部をレーザー加工用のマスクとして、バンプ形成
側からレーザー加工をして絶縁性基材1を穿孔し、電子
部品搭載面の表面外層導体3に達する絶縁性基材を貫通
する穴7を設けた後、無電解めっき、電解めっきを施こ
し非貫通穴内の導体層4を形成する。その次に、絶縁性
基材1の表面の所定箇所には所定の電子部品搭載面の表
面外層導体3と、バンプ形成側の表面外層体5とを印刷
法や写真法により形成する。電子部品搭載面の表面外層
導体3とバンプ形成側の表面外層導体5とをこの非貫通
穴内の導体層4で従来の貫通スルーホール穴と同様に両
面の表面外層導体が電気的に接続し導通をはかるように
する。なお、すべての導体回路を形成してから所定のソ
ルダーレジスト17を施す。
【0016】次に、配線基板10に形成されている凹形
状の電極パッド6の内部に、はんだ付用フラックスまた
は導電性ペースト8を塗布あるいは充填し、そこに球形
状のバンプ45をはめ込んだ状態で接着して仮固定をす
る。導電性ペースト8としては、銀ペースト、銅ペース
ト、はんだペースト、カーボンペースト、銀−銅の混合
ペースト、Sn−Ag−Cu系、Sn−Ag−Bi系の
ペーストなどがあるが一般的にはクリームはんだが使用
されている。なお、バンプ45の材質として金、銅、黄
銅、軟銅、はんだ、鋼球に金属めっきをしたもの、樹脂
に金属めっきをしたものなどが用いられる。
【0017】本発明のバンプ45形成用の電極パッド
は、その表面中央部が凹形状に陥没しているため球形状
のバンプ45(はんだボール45A)を、その内部には
め込むことは簡単にでき、また凹形状の電極パッド6は
2次元の格子交点の正しい電極パッド位置に設定されて
いるので容易に位置決めをすることができる。さらに、
凹形状の電極パッド6の非貫通穴の内径は挿入する球形
状のバンプ45の外径Dより若干(0.05〜0.20
mm)大きくし、凹形状の電極パッド6の内径とバンプ
45の外径Dとの間隙を少なくして平面的な位置決め精
度を高くする。
【0018】さらに、この凹形状の電極パッド6の配線
基板10のバンプ形成側の基板表面から凹設穴底面まで
の非貫通穴の深さSは、この凹設穴にはめ込む球形状バ
ンプ45の外径Dより若干小さくして配線基板10のバ
ンプ形成側の基板表面から、バンプ45の先端面が若干
(0.20〜0.40mm)突出するように、バンプ4
5の大きさを選定するか、または所定の非貫通穴の深さ
Sとなるように凹設穴を加工したり、配線基板10の板
厚を選択して決めることもできる。
【0019】すなわち、図2に基づいて本発明による球
形状のバンプ45を凹設する状態を説明する。配線基板
10の凹形状の電極パッド6の内部に導電性ペースト8
を塗布してから球形状バンプ45として例えば、球形状
のはんだボール45Aをはめ込み仮固定をした後、表面
がテフロン、セラミック、ガラスなどの非金属被膜で形
成されている平坦な治具47に球形状のはんだボール4
5Aの先端面が均一なレベルとなるように設定してリフ
ローはんだ付け等の熱処理によって、2次元に配置され
る多数の球形状のはんだボール45Aの突出する先端面
の高さが均一なレベルとなる。また、配線基板10のバ
ンプ形成側の基板表面5Aからバンプの先端面までの高
さHを均一にするため治具47には台座48を設け、配
線基板10の所定箇所を保持して熱処理を行なう。
【0020】なお、多層配線基板の凹設穴の一例として
図3に基づいて説明する。配線基板10に形成する凹形
状の電極パッド6の形状として、配線基板10の板厚が
厚い場合や多層配線基板である場合は配線基板10のバ
ンプ形成側の基板表面5Aから凹設穴底面までの非貫通
穴の深さSは、この凹形状の電極パッド6にはめ込むバ
ンプ45の大きさで決定される。従って電子部品搭載面
の表面外層導体3とバンプ形成側の表面外層導体5とは
必ずしも電気的に導通しているとは限らず、凹形状の電
極パッド6の絶縁性基材1内部や凹設穴の反対面に絶縁
樹脂や基材が存在することになる。多層配線基板では、
内層導体2のなかでもバンプ形成側の表面外層導体5
と、バンプ形成側に最も近い内層導体2Aとの間に形成
されるブラインドスルーホール穴9を凹形状の電極パッ
ド6として利用することもできる。17はソルダーレジ
ストを示す。
【0021】また、配線基板10に形成される非貫通穴
の凹形状の電極パッド6の形状としては、非貫通穴の上
端縁と凹設穴の壁面とのなす断面角度が鈍角となる90
゜〜110゜で形成することにより球形状のバンプ45
を、凹形状の電極パッド6の一つである台形状の非貫通
穴内部に安定してはめ込むことは簡単にでき、台形状の
電極パッドの内径とバンプ45の外径Dとの間隙が少な
くなり位置決め精度を高くすることができる。
【0022】さらに、絶縁性基材1の薄い片面配線基板
について図4に基づいて説明する。すなわち、絶縁性基
材1の板厚が0.10〜0.60mmと薄い片面配線基
板ではバンプ45を形成する側の表面外層導体5を省略
し、絶縁性基材1と、絶縁性基材を貫通する穴7と、こ
の絶縁性基材を貫通する穴の一方の端面を塞ぐ表面外層
導体つまり、電子部品搭載面の表面外層導体3と、から
なる非貫通穴である凹形状の電極パッド6を有する電子
部品搭載用配線基板とする。電子部品を搭載するための
配線基板にバンプを形成する場合は、上記の絶縁性基材
を貫通する穴7の一方の端面を塞ぐ表面外層導体側に
は、通常は電子部品40を搭載し、本発明では、この絶
縁性基材を貫通する穴7の内壁には導体層を形成せず、
球形状バンプ45は電子部品搭載面の表面外層導体3の
反対面の非貫通穴内の導体層に、はんだ付用フラックス
または導電性ペースト8を塗布あるいは充填し、そこに
球形状のバンプ45をはめ込んだ状態で接着して仮固定
をする。また、上記の電子部品搭載用配線基板は、片面
配線基板の他にフレキシブル配線基板でも非貫通穴であ
る凹形状の電極パッド6を形成することにより目的を達
成することができる。
【0023】
【実施例】本発明における実施例として、配線基板10
は板厚0.2mmのBTレジン基材とし、BGAの端子
ピッチ1.0mmで2次元のマトリクス状に配列できる
凹形状の電極パッド6を短パルスCO2ガスレーザーで
穿孔し、銅めっきを施こし非貫通導通穴とした。バンプ
45として、球形状のはんだボール45Aの外径φ0.
50mmを使用し、凹形状の電極パッド6の内径は0.
55〜0.65mmとした。また、この凹形状の電極パ
ッド6の内部に、はんだボール45Aを仮固定する接着
剤として、はんだ付用フラックスを使用する場合には電
極パッド6の内径は0.55〜0.60mmが良く、ク
リームはんだを使用する場合には0.60〜0.65m
mが良好であった。
【0024】上記の凹形状の電極パッド6のバンプ形成
側の基板表面5Aから凹設穴底面までの非貫通穴の深さ
Sは約0.38mmとなり、バンプ45(はんだボール
45A)の外径Dのφ0.50mmより0.12mm小
さくしたが、この数値が0.10mm未満ではバンプ45
が凹設穴の内部に埋没してバンプ45の先端面の露出高
さが不足し、0.30mmを越えるとバンプ45の外径
Dの半分以上が露出して凹形状の電極パッド6の内部に
仮固定する2次元の位置決め精度が悪くなる。従って、
配線基板10のバンプ形成側の基板表面から凹設穴底面
までの非貫通穴の深さSはバンプの外径Dより0.10
〜0.30mm小さくし、配線基板10のバンプ形成側
の基板表面からバンプの先端面までの高さHが0.20
〜0.40mm突出するようにバンプを形成することが
良好である。
【0025】
【発明の効果】以上、図5で説明したように、従来の電
子部品40を搭載した従来の配線基板31の下面外層導
体35に形成されている電極パッド36は平面的で多数
の球形状バンプ45を正確に位置決めをし、さらに球形
状バンプのバンプ形成側の基板表面5Aから先端面の高
さまでのバラツキをなくして固定することは非常に難し
いが、本発明の図1〜図4で説明したように、従来の平
面的な電極パッドを配線基板10の表面から絶縁性基材
1側内部に、その表面中央部を凹形状に陥没して非貫通
穴である凹形状の電極パッド6を形成し、凹形状の電極
パッド6内部に球形状バンプ45を簡単にはめ込むこと
により、正しい電極パッド位置に容易に位置決めをする
ことができる。
【0026】また、本発明では凹形状の電極パッド6内
部に球形状バンプ45を挿入形成する深さを治具47に
より調節することにより、多数の球形状バンプ45の突
出する先端面の高さレベルを平坦化でき、親配線基板2
2の接続用ランド26との間隔が一定となり、電子部品
搭載用配線基板と親配線基板22とのバンプ接続による
実装を簡単な構成によって確実に行い高い信頼性を確保
することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を説明する電子部品搭載状態の配線基板
断面図。
【図2】本発明による球形状のバンプを凹設する状態を
示した断面図。
【図3】本発明の多層配線基板凹設穴の例を示す配線基
板断面図。
【図4】本発明の片面配線基板の電子部品搭載用配線基
板断面図。
【図5】従来の電子部品搭載用の配線基板断面図。
【符号の説明】
1…絶縁性基材 2…内層導体 3…電子部品搭
載面の表面外層導体 4…非貫通穴内の導体層 5…バンプ形成側
の表面外層導体 5A…バンプ形成側の基板表面 6…凹形状の電極
パッド 7…絶縁性基材を貫通する穴 8…導電性ペース
ト 9…ブラインドスルーホール穴 10…配線基板 1
7…ソルダーレジスト 22…親配線基板(マザーボード) 26…接続用ラン
ド 28…クリームはんだ 31…従来の配線基板 3
2…貫通孔 33…上面外層導体 34…スルーホールめっき層 35…下面外層導体 36…電極パッド 39…充填物 40…電子部品 41…ボン
ディング・ワイヤ 45…バンプ 45A…はんだボール 47…治具
48…台座 D…バンプの外径 S…非貫通
穴の深さ H…バンプ形成側の基板表面からバンプの先端面までの
高さ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI H05K 3/46 H01L 23/12 L

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 配線基板の外部へ接続する端子にバンプ
    を形成する配線基板において、絶縁性基材と、絶縁性基
    材を貫通する穴と、絶縁性基材を貫通する穴の一方の端
    面を塞ぐ表面外層導体と、からなる凹形状の電極パッド
    を有することを特徴とする電子部品搭載用配線基板。
  2. 【請求項2】 配線基板の外部へ接続する端子にバンプ
    を形成する配線基板において、絶縁性基材と、絶縁性基
    材を貫通する穴と、絶縁性基材を貫通する穴の一方の端
    面を塞ぐ表面外層導体と、閉孔している非貫通穴内の導
    体層と、からなる凹形状の電極パッドを有することを特
    徴とする電子部品搭載用配線基板。
  3. 【請求項3】 配線基板の外部へ接続する端子にバンプ
    を形成する配線基板において、絶縁性基材と、絶縁性基
    材を貫通する穴と、絶縁性基材を貫通する穴の一方の端
    面を塞ぐ表面外層導体と、閉孔している非貫通穴内の導
    体層と、絶縁性基材を貫通する穴の他方の開孔している
    穴端面の一部もしくは全周に接して設けられた外層導体
    と、からなる凹形状の電極パッドを有することを特徴と
    する電子部品搭載用配線基板。
  4. 【請求項4】 配線基板の外部へ接続する端子にバンプ
    を形成する多層配線基板において、バンプを形成する側
    の表面外層導体と、内層導体との間に形成するブライン
    ドスルーホール穴を、バンプを形成する凹形状の電極パ
    ッドとして使用することを特徴とする電子部品搭載用配
    線基板。
  5. 【請求項5】 前記凹形状の電極パッドにおいて、非貫
    通穴の深さ(S)が上記バンプの外径(D)よりも若干
    小さく形成されていることを特徴とする請求項1から請
    求項4のいずれかに記載の電子部品搭載用配線基板。
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