JPH1034097A

JPH1034097A - 洗浄装置

Info

Publication number: JPH1034097A
Application number: JP8215361A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Yamamoto; 健山本; Ryuichi Wada; 龍一和田
Original assignee: Aqua Chemical Co Ltd
Current assignee: Aqua Chemical Co Ltd
Priority date: 1996-07-25
Filing date: 1996-07-25
Publication date: 1998-02-10
Anticipated expiration: 2016-07-25
Also published as: JP3096241B2

Abstract

(57)【要約】【課題】高純度に蒸留再生された溶剤によって超音波
洗浄や蒸気洗浄を実現する高性能の洗浄装置を提供す
る。【解決手段】洗浄槽２及びリザーブタンク３と、真空
ポンプ７と、加熱状態にある洗浄液を内部に含む蒸気発
生槽４と、洗浄槽６の外周部に設けられて洗浄蒸気の供
給を受ける保温タンク１５と、保温タンク１５で液化し
た洗浄液を蓄えるクリーンタンク１６と、クリーンタン
ク１６を経由する洗浄蒸気を凝縮するコンデンサ１７
と、蒸気発生槽４を所定の減圧状態に維持するエゼクタ
ー２０と、洗浄槽２に連通されると共に内部に加熱機構
を備える蒸気発生器２３とを備え、クリーンタンク１６
から供給される洗浄液が、減圧状態にある蒸気発生器２
３に噴射されることにより、洗浄槽２に洗浄蒸気が供給
されるようになっている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品や機械部
品などを洗浄する洗浄装置に関し、特に、高純度に蒸留
再生された炭化水素系溶剤によって超音波洗浄や蒸気洗
浄を実現する高性能の洗浄装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】フロンやトリエタンの全廃を目前に控え
て、理想的な代替洗浄剤の開発が進まない中、汎用性や
価格上の利点から水溶性洗剤や炭化水素系溶剤への切替
えが積極的に推進されており、例えば、特開平５−１２
３６５８号に記載の洗浄装置が提案されている。この装
置は、蒸気発生槽と洗浄槽とを制御弁を介して連通さ
せ、減圧状態にある蒸気発生槽で沸騰させた溶剤を洗浄
槽に導入して蒸気洗浄を行うものである。この装置は、
可燃性溶剤を用いることができるものであり、また、高
沸点溶剤を沸点以下の温度で沸騰させて蒸気洗浄を行
い、その後、凝縮器で液化された溶剤を蒸気発生槽に還
流させている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この装
置では、回収された溶剤をそのまま蒸気洗浄に用いるの
で、蒸気発生能力を高めるべく溶剤を過大に加熱するか
過大に減圧すると、発生蒸気に少なからず不純物を含ん
でしまうという問題点があった。つまり、上記の洗浄装
置では、蒸気発生能力が劣るか、或いは、発生する蒸気
の純度が劣るので、その分だけ余分の洗浄時間を要する
ことになった。また、上記の装置では、超音波洗浄と蒸
気洗浄を同じ洗浄槽で行う場合に、ポンプによって溶剤
を供給しているので給排液に時間を要し、しかも、動力
機器が余分に必要である分だけ安全性などにおいて問題
があった。本発明は、この問題点に着目してなされたも
のであって、高純度に蒸留再生された溶剤によって超音
波洗浄や蒸気洗浄を実現する高性能の洗浄装置を提供す
ることを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、請求項１に係る発明では、開閉弁を介して互いに連
通している洗浄槽及び貯留槽と、前記洗浄槽及び貯留槽
を所定レベルまで減圧可能な第１の減圧機構と、適宜な
加熱状態にある洗浄液を内部に含む蒸気発生槽と、前記
洗浄槽の外周部に設けられ前記蒸気発生槽から洗浄蒸気
の供給を受ける洗浄槽保温部と、前記洗浄液保温部にお
いて液化した洗浄液を蓄えるクリーンタンクと、前記ク
リーンタンクを経由する洗浄蒸気を凝縮する凝縮機構
と、前記凝縮機構に接続されて前記蒸気発生槽を所定の
減圧状態に維持する第２の減圧機構と、前記洗浄槽に連
通されると共に内部に加熱機構を備える蒸気発生器とを
備え、クリーンタンクから供給される洗浄液が、減圧状
態にある前記蒸気発生器に噴射されることにより、前記
洗浄槽に洗浄蒸気が供給されるようになっている。

【０００５】請求項２に係る洗浄装置では、開閉弁を介
して互いに連通している洗浄槽及び貯留槽と、前記洗浄
槽及び貯留槽を所定レベルまで減圧可能な第１の減圧機
構と、適宜な加熱状態にある洗浄液を内部に含む蒸気発
生槽と、前記洗浄槽の外周部に設けられ前記蒸気発生槽
から洗浄蒸気の供給を受ける洗浄槽保温部と、前記洗浄
液保温部において液化した洗浄液を蓄えるクリーンタン
クと、前記クリーンタンクを経由する洗浄蒸気を凝縮す
る凝縮機構と、前記凝縮機構に接続されて前記蒸気発生
槽を所定の減圧状態に維持する第２の減圧機構と、前記
クリーンタンクの洗浄液を加熱しつつ前記洗浄槽に供給
する強制加熱部とを備え、クリーンタンクから供給され
る洗浄液が、減圧状態にある前記洗浄槽に噴射されるこ
とにより、前記洗浄槽に洗浄蒸気が供給されるようにな
っている。

【０００６】本発明では、蒸気発生槽と洗浄槽保温部と
クリーンタンクとで第１の蒸留再生部を形成することが
できる。そして、蒸気発生槽から発生する蒸気は、蒸気
洗浄に用いられる訳ではないので、洗浄液の種類に応じ
た最適な温度と圧力とで蒸気を発生させることができ、
洗浄槽保温部を経ることにより、純度の高い洗浄液を蒸
留再生することができる。高純度に蒸留再生された洗浄
液は、蒸気発生器か強制加熱部を経て洗浄槽に供給され
るが、洗浄液の純度が高いので、例え過大に加熱したと
しても洗浄蒸気の質を劣化させることはない。また、洗
浄槽は、洗浄槽保温部に供給される洗浄蒸気によって保
温されているので、この点でも蒸気洗浄の効率が高い。
また、本発明では、洗浄槽及び貯留槽を所定レベルまで
減圧可能な第１の減圧機構を備えているので、動力機器
を用いることなく、洗浄液の供給と排出を実現すること
ができる。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下、実施例に基づいて、この発
明を更に詳細に説明する。（Ａ）第１実施例図１は、この発明の一実施例である洗浄装置１Ａを図示
したものである。この洗浄装置１Ａは、密閉シャッター
付きの洗浄槽２と、洗浄液を蓄えるリザーブタンク３
と、洗浄液の蒸留釜として機能する蒸気発生槽４と、真
空対応形のエアバルブＶ１〜Ｖ１４とを中心的に備えて
いる。洗浄槽２とリザーブタンク３は、ともに１Torr以
下の真空度に対応できる液槽であり、洗浄槽２は、必要
に応じて、超音波洗浄、シャワー洗浄、又は蒸気洗浄を
行うようになっている。なお、洗浄液の種類は、特に限
定されないが、可燃性液体である炭化水素溶剤を用いる
ことができる。洗浄槽２は、その内部に超音波発振器５
を備えており、蓋体６によって適宜に密閉されるが、蓋
体６の内側表面には、冷却水を循環させることができる
ようになっている。また、洗浄槽２は、真空弁Ｖ５を通
して真空ポンプ７に接続されており、真空ポンプ７の出
力側は、コールドトラップ８と排気ファン９とを経由し
て大気に連通している。ここで、真空ポンプ７は、洗浄
液の給排液と、蒸気洗浄及び真空乾燥を実現するもので
あり、その排気能力は、毎時１００ｍ³以上であり、到
達圧力が１Torr以下のものである。また、ドライ式の真
空ポンプであり（油回転式や水封式ではない）、洗浄液
の気化ガスやミストの排気もできるようになっている。
なお、洗浄槽２は、大気開放弁Ｖ６を通して大気に開放
され、真空ポンプ７の入力側は、真空度調整弁Ｖ７を通
して大気に開放されている。

【０００８】洗浄槽２とリザーブタンク３とは、洗浄液
導入管１０と洗浄液排出管１１で接続されており、それ
ぞれには、洗浄液導入弁Ｖ９と洗浄液排出弁Ｖ４が設け
られている。また、リザーブタンク３には、濾過フィル
ターＦと循環ポンプ１２と循環停止弁Ｖ１１とによって
循環路が形成されており、内部の洗浄液を循環させるこ
とによって濾過している。なお、リザーブタンク２に
は、大気開放弁Ｖ１０が設けられており、また、真空ポ
ンプ７の入力側とリザーブタンク２とは、真空弁Ｖ８を
通して接続されている。蒸気発生槽４には、オイルヒー
タ１３ａとポンプＰとによる加熱部１３が設けられてお
り、洗浄液の沸点と内部圧力とに対応した所定温度で加
熱することにより、洗浄液の蒸気を常に発生させてい
る。そして、蒸発によって減少する洗浄液は、液面調整
タンク１４から補給されるようになっている。蒸気発生
槽４から発生した蒸気は、洗浄槽２の外周部に設けられ
た保温タンク１５を通過するとき、洗浄槽２を加熱して
一部が液化されるが、洗浄液及びその蒸気は、保温弁Ｖ
２を通してクリーンタンク１６に導入される。ここで、
蒸気発生槽４では、急激な加熱を行わないので、クリー
ンタンク１６には純度の高い洗浄液が回収される。クリ
ーンタンク１６の上部は、コンデンサ１７と接続されて
おり、コンデンサ１７の出力側は、セパレートタンク１
８や循環ポンプ１９などで構成されたエゼクター２０に
接続されている。その為、クリーンタンク１６から吸引
された洗浄液の蒸気は、コンデンサ１７で液化された
後、エゼクター２０によって吸引されてセパレートタン
ク１８に導入される。一方、セパレートタンク１８は、
クッションタンク２１に接続されており、クッションタ
ンク２１は、再生液流入弁Ｖ１２と循環ポンプ１２と供
給液停止弁Ｖ１３とを介して、液面調整タンク１４に接
続されている。尚、クッションタンク２１は、コールド
トラップ８とも接続されておりコールドトラップ８で液
化された洗浄液を回収するようになっている。

【０００９】このように、この洗浄装置１Ａでは、蒸気
発生槽４→保温タンク１５→クリーンタンク１６→コン
デンサ１７→エゼクター２０→クッションタンク２１→
リザーブタンク３→液面調整タンク１４からなる蒸留再
生ラインが形成されている。なお、洗浄液の種類に応じ
て異なるが、蒸気発生槽４は、エゼクター２０によって
５００〜６５０ｍｍＨｇ程度の減圧状態になっており、
洗浄液の沸点を低下させた状態で、効率のよい蒸留再生
が行われている。一方、クリーンタンク１６と洗浄槽２
の間には、蒸気発生ラインが形成されている。すなわ
ち、クリーンタンク１６の下部は、シャワーポンプ２２
と蒸気発生弁Ｖ１とを介して蒸気発生器２３に接続され
ており、蒸気発生器２３には、オイルヒータ２４ａとポ
ンプＰなどによる強制加熱部２４が設けられている。こ
の蒸気発生器２３は、その出力部が洗浄槽２に連通する
と共に、液溜部が液循環弁Ｖ１４を介してクリーンタン
ク１６に接続されている。そして、蒸気発生弁Ｖ１が開
放されると、蒸気発生器２３の入力部に設けられたスプ
レーノズルから洗浄液が噴射されるので、真空環境下で
急速加熱されることによって洗浄液の蒸気が発生する。
このとき、蒸気発生器２３に導入される洗浄液は、その
純度が高いので、急速加熱しても発生蒸気の純度が損な
われることはない。なお、蒸気発生弁Ｖ１に合わせて液
循環弁Ｖ１４も開放されており、気化しなかった洗浄液
はクリーンタンク１６に回収される。同様に、蒸気発生
弁Ｖ１に合わせて蒸気排出弁Ｖ３も開放されるので、洗
浄槽２に供給された蒸気や洗浄槽２で液化した洗浄液
は、エゼクター２０の機能によってコンデンサ１７に吸
入される。

【００１０】以上、図１に示す洗浄装置１Ａについて、
主として機器構成を説明したので、次に、洗浄装置１Ａ
の洗浄動作について説明する。〔超音波洗浄〕洗浄槽２に被洗浄物を投入して蓋体６を
密閉したら、最初に、真空弁Ｖ５のみを開放し、真空ポ
ンプ７を駆動させて、洗浄槽２の気圧を６０ｍｍＨｇ
（−７００ｍｍＨｇ）程度まで減圧させる。次に、真空
弁Ｖ５を閉じた後、洗浄液導入弁Ｖ９と大気開放弁Ｖ１
０とを開放する。すると、洗浄槽２が減圧状態であるこ
とから、リザーブタンク３の洗浄液は、１分間に２００
リットル程度、洗浄液導入管１０を通って洗浄槽２に供
給される。この時、スプレーノズルを通して洗浄槽２の
壁面全体に洗浄液を膜状に供給するか、或いは、スプレ
ーノズルからの洗浄液を霧状、フラット状、又は円錐状
に形成して真空下にさらすことにより、洗浄液の溶存気
体（酸素）を脱気させる。なお、この脱気処理により、
６〜７ppm の溶存酸素が１〜２ppm 程度まで減少し、音
圧測定によると音圧が８mVから１８mVまで上昇すること
が実験的に確認されている。

【００１１】その後、洗浄液導入弁Ｖ９と大気開放弁Ｖ
１０を閉じて、超音波発振器５を動作させて洗浄槽２内
の被洗浄物を超音波洗浄する。前述したように、この洗
浄液からは、キャビテーションを阻害する溶存酸素が除
去されているので、強力な洗浄力を発揮する。なお、こ
の超音波洗浄の動作中、真空弁Ｖ８を開放させて、真空
ポンプ７によってリザーブタンク３の気圧を６０ｍｍＨ
ｇ（−７００ｍｍＨｇ）程度まで減圧させる。超音波洗
浄が完了すると、洗浄槽２の大気開放弁Ｖ６と、洗浄液
排出管１１の洗浄液排出弁Ｖ４とを共に開放して、洗浄
槽２の洗浄液をリザーブタンク３に回収する。このよう
に、本発明の洗浄装置１Ａでは、リザーブタンク３と洗
浄槽２の気圧差を利用して、洗浄液の供給や排出を行っ
ているので、ポンプなどの動力機器を用いる場合より安
全であり、しかも迅速に給排液の動作を終えることがで
きる。

【００１２】〔蒸気洗浄（シャワー洗浄）〕蒸気洗浄を
行う場合は、続いて、真空弁Ｖ５のみを開放し、真空ポ
ンプ７によって洗浄槽２を６０ｍｍＨｇ程度まで減圧し
た後、真空弁Ｖ５を閉じる。なお、蒸気発生器２３と洗
浄槽２とは連通されているので、この状態では、蒸気発
生器２３も、洗浄槽２と同様の減圧状態にある。次に、
蒸気発生弁Ｖ１、蒸気排出弁Ｖ３、及び循環弁Ｖ１４を
開放すると、シャワーポンプ２２によって蒸気発生器２
３に供給された洗浄液シャワーは、減圧状態で急速加熱
されて一気に気化されて洗浄槽２に供給される。この
時、洗浄槽２の壁面は、保温タンク１５に流通する蒸留
再生用の蒸気により保温されているので、蒸気発生器２
３から供給される蒸気は、洗浄槽２の壁面で液化するこ
となく、有効に被洗浄物を蒸気洗浄する。洗浄槽２に噴
出された洗浄液の蒸気は、被洗浄物を蒸気洗浄しつつ一
部は液化し、蒸気と共に蒸気排出弁２３を通ってコンデ
ンサ１７に伝えられる。そして、洗浄液の蒸気は、コン
デンサ１７で液化され、エゼクタ２０のセパレートタン
ク１８に吸入される。

【００１３】本発明における蒸気洗浄では、蒸留再生さ
れたクリーンタンク１６の洗浄液を、蒸気発生器２３に
おいて再度気化させ、これが被洗浄物に触れることによ
って液化している。従って、非常に高純度の蒸気洗浄を
実現することができ、洗浄時間を短縮化することができ
る。このようにして、蒸気洗浄が完了すれば、蒸気発生
弁Ｖ１と循環弁Ｖ１４を閉じて、蒸気排出弁Ｖ３のみ開
放状態にして蒸気を排出する。なお、この蒸気洗浄の動
作中、保温弁Ｖ２は開放状態であるので、蒸留再生の動
作は持続されており中断することはない。以上、蒸気洗
浄について説明したが、蒸気発生器２３から蒸気を噴出
させた状態で、洗浄槽２の蓋体６の内面に冷却水を循環
させるようにすれば、導入された蒸気が液化して被洗浄
物に降り注がれるのでシャワー洗浄を行うことができ
る。このシャワー洗浄の場合には、二段再生（保温タン
ク１５での再生と蓋体６での再生）された洗浄液を用い
ることになるので、きわめて高純度の洗浄液によるシャ
ワー洗浄を実現することができる。また、シャワー洗浄
と蒸気洗浄とは、蓋体６の内面に冷却水を循環させるか
否かで切替えできるので、所定時間だけシャワー洗浄を
行い、その後、円滑に蒸気洗浄に移行させることができ
る。

【００１４】〔真空乾燥〕続いて、蒸気排出弁Ｖ３を閉
じ、真空弁Ｖ５のみを開放して真空ポンプ７によって洗
浄槽２を減圧する。すると、被洗浄物表面に付着してい
る洗浄液は、急速に気化され被洗浄物が乾燥することに
なる。なお、洗浄槽２から吸引される洗浄液の蒸気やミ
ストは、コールドトラップ８において液化され、クッシ
ョンタンク２１に無駄なく回収される。この真空乾燥を
行う場合、被洗浄物に付着した溶剤は沸騰乾燥するが、
反面、蒸気潜熱によって被洗浄物の表面温度を急激に低
下させることにもなる。そこで、被洗浄物の表面温度を
あまり低下させることがないよう、真空度調整弁Ｖ７を
適宜に開閉制御して、被洗浄物の材質、形状、寸法など
を考慮した最適な真空乾燥を実現している。

【００１５】（Ｂ）第２実施例図２は、この発明の別の実施例である洗浄装置１Ｂを図
示したものである。この洗浄装置１Ｂは、クリーンタン
ク１６と洗浄槽２の間の蒸気発生ラインに特徴があり、
それ以外は、図１の洗浄装置１Ａの構成と同様である。
すなわち、クリーンタンク１６と洗浄槽２の間には、ク
リーンタンク１６の洗浄液を洗浄槽２に供給するシャワ
ーポンプ２２と、洗浄液を１００〜１５０℃程度まで加
熱する加熱ヒータ２４Ｂと、洗浄動作時に開放される蒸
気発生弁Ｖ１とが設けられている。超音波洗浄や真空乾
燥の動作については、図２の洗浄装置１Ｂは、図１の洗
浄装置１Ａの動作と同じであるので、シャワー洗浄と蒸
気洗浄の動作について説明する。

【００１６】〔蒸気洗浄（シャワー洗浄）〕真空弁Ｖ５
のみを開放し、真空ポンプ７によって洗浄槽２を６０ｍ
ｍＨｇ程度まで減圧した後、真空弁Ｖ５を閉じる。な
お、この洗浄装置１Ｂでは、蒸気発生弁Ｖ１が、洗浄槽
２に近接して設けられているので、洗浄槽２のみが減圧
状態となる。この状態で、蒸気発生弁Ｖ１を開放する
と、シャワーポンプ２２によってクリーンタンク１６か
ら吸入された洗浄液は、加温ヒータ２４Ｂを通過する過
程で急激に加熱されて１００〜１５０℃程度となり、こ
の状態のままスプレーノズルから洗浄槽２に供給され
る。この時、洗浄槽２は、減圧状態にあるので、霧状、
粒子状、又は膜状に噴出された洗浄液は、一気に蒸気と
なり、その一部が被洗浄物に接触することによって液化
される。なお、洗浄槽２の壁面は、保温タンク１５に流
通する蒸留再生用の蒸気により保温されているので、有
効に被洗浄物を蒸気洗浄するのは洗浄装置１Ａの場合と
同じである。被洗浄物を蒸気洗浄しつつ液化した洗浄液
は、洗浄液の蒸気と共に蒸気排出弁３を通ってコンデン
サ１７に伝えられ、洗浄液の蒸気はコンデンサ１７で液
化されて、エゼクタ２０のセパレートタンク１８に吸入
される。以上、蒸気洗浄について説明したが、蒸気洗浄
に先立ってシャワー洗浄を行うのであれば、加温ヒータ
２４Ｂを動作させない状態で、蒸気発生弁Ｖ１を開放さ
せてシャワーポンプ２２を動作させれば良い。すると、
スプレーノズルからの洗浄液が被洗浄物に降り注がれシ
ャワー洗浄を行うことができる。

【００１７】

【発明の効果】以上、説明したように、本発明では、蒸
気発生槽から発生する蒸気は、蒸気洗浄に用いられる訳
ではないので、洗浄液の種類に応じた最適な温度と圧力
とで蒸気を発生させることができ、洗浄槽保温部を経る
ことにより、純度の高い洗浄液を蒸留再生することがで
きる。高純度に蒸留再生された洗浄液は、蒸気発生器か
強制加熱部を経て洗浄槽に供給されるが、洗浄液の純度
が高いので、例え、過大に加熱したとしても洗浄蒸気の
質を劣化させることはない。また、洗浄槽は、洗浄槽保
温部に供給される洗浄蒸気によって保温されているの
で、この点でも蒸気洗浄の効率が高い。また、本発明で
は、洗浄槽及び貯留槽を所定レベルまで減圧可能な第１
の減圧機構を備えているので、動力機器を用いることな
く、洗浄液の供給と排出を実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例である洗浄装置を図示したも
のである。

【図２】本発明の別の実施例である洗浄装置を図示した
ものである。

【符号の説明】

Ｖ４，Ｖ９開閉弁２洗浄槽３リザーブタンク（貯留槽）４蒸気発生槽７真空ポンプ（第１の減圧機構）１５保温タンク（洗浄槽保温部）１６クリーンタンク１７コンデンサ（凝縮機構）２０エゼクター（第２の減圧機構）２３蒸気発生器２４強制加熱部（加熱機構）２４Ｂ加温ヒータ（強制加熱部）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】開閉弁を介して互いに連通している洗浄
槽及び貯留槽と、前記洗浄槽及び貯留槽を所定レベルま
で減圧可能な第１の減圧機構と、適宜な加熱状態にある
洗浄液を内部に含む蒸気発生槽と、前記洗浄槽の外周部
に設けられ前記蒸気発生槽から洗浄蒸気の供給を受ける
洗浄槽保温部と、前記洗浄液保温部において液化した洗
浄液を蓄えるクリーンタンクと、前記クリーンタンクを
経由する洗浄蒸気を凝縮する凝縮機構と、前記凝縮機構
に接続されて前記蒸気発生槽を所定の減圧状態に維持す
る第２の減圧機構と、前記洗浄槽に連通されると共に内
部に加熱機構を備える蒸気発生器とを備え、クリーンタンクから供給される洗浄液が、減圧状態にあ
る前記蒸気発生器に噴射されることにより、前記洗浄槽
に洗浄蒸気が供給されるようになっていることを特徴と
する洗浄装置。
【請求項２】開閉弁を介して互いに連通している洗浄
槽及び貯留槽と、前記洗浄槽及び貯留槽を所定レベルま
で減圧可能な第１の減圧機構と、適宜な加熱状態にある
洗浄液を内部に含む蒸気発生槽と、前記洗浄槽の外周部
に設けられ前記蒸気発生槽から洗浄蒸気の供給を受ける
洗浄槽保温部と、前記洗浄液保温部において液化した洗
浄液を蓄えるクリーンタンクと、前記クリーンタンクを
経由する洗浄蒸気を凝縮する凝縮機構と、前記凝縮機構
に接続されて前記蒸気発生槽を所定の減圧状態に維持す
る第２の減圧機構と、前記クリーンタンクの洗浄液を加
熱しつつ前記洗浄槽に供給する強制加熱部とを備え、クリーンタンクから供給される洗浄液が、減圧状態にあ
る前記洗浄槽に噴射されることにより、前記洗浄槽に洗
浄蒸気が供給されるようになっていることを特徴とする
洗浄装置。
【請求項３】前記第１の減圧機構は、浸漬洗浄や超音
波洗浄に先立って前記洗浄槽を所定レベルまで減圧し、
一方、洗浄動作中は前記貯留槽を所定レベルまで減圧し
て、前記洗浄槽と貯留槽の気圧差によって洗浄液の供給
と排出を行っていることを特徴とする請求項１又は請求
項２に記載の洗浄装置。
【請求項４】前記洗浄槽には、貯留槽から供給される
洗浄液の流入口にシャワー手段が設けられていて、所定
の減圧状態において脱気しつつ洗浄液の流入を実現して
いることを特徴とする請求項３に記載の洗浄装置。
【請求項５】前記洗浄槽には、強制冷却手段が設けら
れていて、洗浄蒸気が供給されているとき、これを強制
的に液化させてシャワー洗浄を実現していることを特徴
とする請求項１に記載の洗浄装置。