JPH1036973A - 無電解スズメッキ浴、及び当該メッキ浴を用いてスズメッキ皮膜を形成したtabのフィルムキャリア - Google Patents
無電解スズメッキ浴、及び当該メッキ浴を用いてスズメッキ皮膜を形成したtabのフィルムキャリアInfo
- Publication number
- JPH1036973A JPH1036973A JP9486897A JP9486897A JPH1036973A JP H1036973 A JPH1036973 A JP H1036973A JP 9486897 A JP9486897 A JP 9486897A JP 9486897 A JP9486897 A JP 9486897A JP H1036973 A JPH1036973 A JP H1036973A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plating bath
- acid
- electroless
- tin
- tin plating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 106
- 238000007747 plating Methods 0.000 title claims description 149
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 claims abstract description 36
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 30
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 30
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims abstract description 26
- 229910001128 Sn alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 11
- LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M Bisulfite Chemical compound OS([O-])=O LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims abstract description 10
- 239000008139 complexing agent Substances 0.000 claims abstract description 7
- 230000033116 oxidation-reduction process Effects 0.000 claims abstract description 6
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 claims description 13
- -1 acids Chemical class 0.000 claims description 12
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 claims description 8
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 claims description 7
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 150000007933 aliphatic carboxylic acids Chemical class 0.000 claims description 4
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims description 4
- 150000007522 mineralic acids Chemical class 0.000 claims description 4
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 claims description 4
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 claims description 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 abstract description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 10
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 9
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 55
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 44
- 239000011133 lead Substances 0.000 description 30
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 24
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 19
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 16
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 14
- UMGDCJDMYOKAJW-UHFFFAOYSA-N thiourea Chemical compound NC(N)=S UMGDCJDMYOKAJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- AFVFQIVMOAPDHO-UHFFFAOYSA-N Methanesulfonic acid Chemical compound CS(O)(=O)=O AFVFQIVMOAPDHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 12
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 11
- DIZBQMTZXOUFTD-UHFFFAOYSA-N 2-(furan-2-yl)-3h-benzimidazole-5-carboxylic acid Chemical compound N1C2=CC(C(=O)O)=CC=C2N=C1C1=CC=CO1 DIZBQMTZXOUFTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- CCIVGXIOQKPBKL-UHFFFAOYSA-M ethanesulfonate Chemical compound CCS([O-])(=O)=O CCIVGXIOQKPBKL-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 9
- SQGYOTSLMSWVJD-UHFFFAOYSA-N silver(1+) nitrate Chemical compound [Ag+].[O-]N(=O)=O SQGYOTSLMSWVJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N Urea Natural products NC(N)=O XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- JALQQBGHJJURDQ-UHFFFAOYSA-L bis(methylsulfonyloxy)tin Chemical compound [Sn+2].CS([O-])(=O)=O.CS([O-])(=O)=O JALQQBGHJJURDQ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 7
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 7
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 7
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- BERDEBHAJNAUOM-UHFFFAOYSA-N copper(I) oxide Inorganic materials [Cu]O[Cu] BERDEBHAJNAUOM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- KRFJLUBVMFXRPN-UHFFFAOYSA-N cuprous oxide Chemical compound [O-2].[Cu+].[Cu+] KRFJLUBVMFXRPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229940112669 cuprous oxide Drugs 0.000 description 6
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 6
- 229940098779 methanesulfonic acid Drugs 0.000 description 6
- JIAARYAFYJHUJI-UHFFFAOYSA-L zinc dichloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Zn+2] JIAARYAFYJHUJI-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 6
- FEPBITJSIHRMRT-UHFFFAOYSA-N 4-hydroxybenzenesulfonic acid Chemical compound OC1=CC=C(S(O)(=O)=O)C=C1 FEPBITJSIHRMRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 5
- FLVIGYVXZHLUHP-UHFFFAOYSA-N N,N'-diethylthiourea Chemical compound CCNC(=S)NCC FLVIGYVXZHLUHP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 5
- 239000002736 nonionic surfactant Substances 0.000 description 5
- ACVYVLVWPXVTIT-UHFFFAOYSA-N phosphinic acid Chemical compound O[PH2]=O ACVYVLVWPXVTIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- HNDXKIMMSFCCFW-UHFFFAOYSA-M propane-2-sulfonate Chemical compound CC(C)S([O-])(=O)=O HNDXKIMMSFCCFW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 5
- KJCVRFUGPWSIIH-UHFFFAOYSA-N 1-naphthol Chemical compound C1=CC=C2C(O)=CC=CC2=C1 KJCVRFUGPWSIIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- UORVGPXVDQYIDP-UHFFFAOYSA-N borane Chemical compound B UORVGPXVDQYIDP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000001879 copper Chemical class 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N dimethylselenoniopropionate Natural products CCC(O)=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229940046892 lead acetate Drugs 0.000 description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910001961 silver nitrate Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 4
- GOLAKLHPPDDLST-HZJYTTRNSA-N (9z,12z)-octadeca-9,12-dien-1-amine Chemical compound CCCCC\C=C/C\C=C/CCCCCCCCN GOLAKLHPPDDLST-HZJYTTRNSA-N 0.000 description 3
- BZOVBIIWPDQIHF-UHFFFAOYSA-N 3-hydroxy-2-methylbenzenesulfonic acid Chemical compound CC1=C(O)C=CC=C1S(O)(=O)=O BZOVBIIWPDQIHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KWIUHFFTVRNATP-UHFFFAOYSA-N Betaine Natural products C[N+](C)(C)CC([O-])=O KWIUHFFTVRNATP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VLCDUOXHFNUCKK-UHFFFAOYSA-N N,N'-Dimethylthiourea Chemical compound CNC(=S)NC VLCDUOXHFNUCKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- FCSHMCFRCYZTRQ-UHFFFAOYSA-N N,N'-diphenylthiourea Chemical compound C=1C=CC=CC=1NC(=S)NC1=CC=CC=C1 FCSHMCFRCYZTRQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KWIUHFFTVRNATP-UHFFFAOYSA-O N,N,N-trimethylglycinium Chemical compound C[N+](C)(C)CC(O)=O KWIUHFFTVRNATP-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 3
- IPCRBOOJBPETMF-UHFFFAOYSA-N N-acetylthiourea Chemical compound CC(=O)NC(N)=S IPCRBOOJBPETMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002280 amphoteric surfactant Substances 0.000 description 3
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 3
- 229960003237 betaine Drugs 0.000 description 3
- 229910000416 bismuth oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 3
- TYIXMATWDRGMPF-UHFFFAOYSA-N dibismuth;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Bi+3].[Bi+3] TYIXMATWDRGMPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- SYELZBGXAIXKHU-UHFFFAOYSA-N dodecyldimethylamine N-oxide Chemical compound CCCCCCCCCCCC[N+](C)(C)[O-] SYELZBGXAIXKHU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZFMTZQIBTTWXKJ-UHFFFAOYSA-K ethanesulfonate indium(3+) Chemical compound [In+3].CCS([O-])(=O)=O.CCS([O-])(=O)=O.CCS([O-])(=O)=O ZFMTZQIBTTWXKJ-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 3
- 150000002471 indium Chemical class 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 229910001380 potassium hypophosphite Inorganic materials 0.000 description 3
- CRGPNLUFHHUKCM-UHFFFAOYSA-M potassium phosphinate Chemical compound [K+].[O-]P=O CRGPNLUFHHUKCM-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 229910001174 tin-lead alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 235000005074 zinc chloride Nutrition 0.000 description 3
- 239000011592 zinc chloride Substances 0.000 description 3
- AZUYLZMQTIKGSC-UHFFFAOYSA-N 1-[6-[4-(5-chloro-6-methyl-1H-indazol-4-yl)-5-methyl-3-(1-methylindazol-5-yl)pyrazol-1-yl]-2-azaspiro[3.3]heptan-2-yl]prop-2-en-1-one Chemical compound ClC=1C(=C2C=NNC2=CC=1C)C=1C(=NN(C=1C)C1CC2(CN(C2)C(C=C)=O)C1)C=1C=C2C=NN(C2=CC=1)C AZUYLZMQTIKGSC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BYLSIPUARIZAHZ-UHFFFAOYSA-N 2,4,6-tris(1-phenylethyl)phenol Chemical compound C=1C(C(C)C=2C=CC=CC=2)=C(O)C(C(C)C=2C=CC=CC=2)=CC=1C(C)C1=CC=CC=C1 BYLSIPUARIZAHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- URDCARMUOSMFFI-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[bis(carboxymethyl)amino]ethyl-(2-hydroxyethyl)amino]acetic acid Chemical compound OCCN(CC(O)=O)CCN(CC(O)=O)CC(O)=O URDCARMUOSMFFI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HSXUNHYXJWDLDK-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxypropane-1-sulfonic acid Chemical compound CC(O)CS(O)(=O)=O HSXUNHYXJWDLDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KDSNLYIMUZNERS-UHFFFAOYSA-N 2-methylpropanamine Chemical compound CC(C)CN KDSNLYIMUZNERS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- TXPKUUXHNFRBPS-UHFFFAOYSA-N 3-(2-carboxyethylamino)propanoic acid Chemical compound OC(=O)CCNCCC(O)=O TXPKUUXHNFRBPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYYXDZDBXNUPOG-UHFFFAOYSA-N 4,5,6,7-tetrahydro-1,3-benzothiazole-2,6-diamine;dihydrochloride Chemical compound Cl.Cl.C1C(N)CCC2=C1SC(N)=N2 RYYXDZDBXNUPOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KWSLGOVYXMQPPX-UHFFFAOYSA-N 5-[3-(trifluoromethyl)phenyl]-2h-tetrazole Chemical compound FC(F)(F)C1=CC=CC(C2=NNN=N2)=C1 KWSLGOVYXMQPPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-N Butyric acid Chemical compound CCCC(O)=O FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MQAAVJSLMCQBIX-UHFFFAOYSA-N C(CCC)C=1C(=C(C2=CC=CC=C2C=1)CCCC)O Chemical compound C(CCC)C=1C(=C(C2=CC=CC=C2C=1)CCCC)O MQAAVJSLMCQBIX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RRGWLHMMDIOLAD-UHFFFAOYSA-N CCCCCCCCCCCCC(CC([O-])=O)([N+]1=CNC=C1)O Chemical compound CCCCCCCCCCCCC(CC([O-])=O)([N+]1=CNC=C1)O RRGWLHMMDIOLAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021589 Copper(I) bromide Inorganic materials 0.000 description 2
- RGHNJXZEOKUKBD-SQOUGZDYSA-N D-gluconic acid Chemical compound OC[C@@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)C(O)=O RGHNJXZEOKUKBD-SQOUGZDYSA-N 0.000 description 2
- KCXVZYZYPLLWCC-UHFFFAOYSA-N EDTA Chemical compound OC(=O)CN(CC(O)=O)CCN(CC(O)=O)CC(O)=O KCXVZYZYPLLWCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PDQAZBWRQCGBEV-UHFFFAOYSA-N Ethylenethiourea Chemical compound S=C1NCCN1 PDQAZBWRQCGBEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N Hydroquinone Chemical compound OC1=CC=C(O)C=C1 QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 2
- QPCDCPDFJACHGM-UHFFFAOYSA-N N,N-bis{2-[bis(carboxymethyl)amino]ethyl}glycine Chemical compound OC(=O)CN(CC(O)=O)CCN(CC(=O)O)CCN(CC(O)=O)CC(O)=O QPCDCPDFJACHGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DKGAVHZHDRPRBM-UHFFFAOYSA-N Tert-Butanol Chemical compound CC(C)(C)O DKGAVHZHDRPRBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021626 Tin(II) chloride Inorganic materials 0.000 description 2
- GCFSKCZBSOKYLJ-UHFFFAOYSA-N [Na].O[PH2]=O Chemical compound [Na].O[PH2]=O GCFSKCZBSOKYLJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- HTKFORQRBXIQHD-UHFFFAOYSA-N allylthiourea Chemical compound NC(=S)NCC=C HTKFORQRBXIQHD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229960001748 allylthiourea Drugs 0.000 description 2
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 2
- 239000003945 anionic surfactant Substances 0.000 description 2
- 150000001462 antimony Chemical class 0.000 description 2
- SZXAQBAUDGBVLT-UHFFFAOYSA-H antimony(3+);2,3-dihydroxybutanedioate Chemical compound [Sb+3].[Sb+3].[O-]C(=O)C(O)C(O)C([O-])=O.[O-]C(=O)C(O)C(O)C([O-])=O.[O-]C(=O)C(O)C(O)C([O-])=O SZXAQBAUDGBVLT-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 2
- 239000010953 base metal Substances 0.000 description 2
- WGQKYBSKWIADBV-UHFFFAOYSA-N benzylamine Chemical compound NCC1=CC=CC=C1 WGQKYBSKWIADBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MNMKEULGSNUTIA-UHFFFAOYSA-K bismuth;methanesulfonate Chemical compound [Bi+3].CS([O-])(=O)=O.CS([O-])(=O)=O.CS([O-])(=O)=O MNMKEULGSNUTIA-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 229910000085 borane Inorganic materials 0.000 description 2
- VHRGRCVQAFMJIZ-UHFFFAOYSA-N cadaverine Chemical compound NCCCCCN VHRGRCVQAFMJIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001382 calcium hypophosphite Inorganic materials 0.000 description 2
- 229940064002 calcium hypophosphite Drugs 0.000 description 2
- YCIMNLLNPGFGHC-UHFFFAOYSA-N catechol Chemical compound OC1=CC=CC=C1O YCIMNLLNPGFGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003093 cationic surfactant Substances 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- NHEPKQDGPJQVOO-UHFFFAOYSA-N hex-1-yn-1-amine Chemical compound CCCCC#CN NHEPKQDGPJQVOO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NAQMVNRVTILPCV-UHFFFAOYSA-N hexane-1,6-diamine Chemical compound NCCCCCCN NAQMVNRVTILPCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BRWIZMBXBAOCCF-UHFFFAOYSA-N hydrazinecarbothioamide Chemical compound NNC(N)=S BRWIZMBXBAOCCF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002429 hydrazines Chemical class 0.000 description 2
- NBZBKCUXIYYUSX-UHFFFAOYSA-N iminodiacetic acid Chemical compound OC(=O)CNCC(O)=O NBZBKCUXIYYUSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KLRHPHDUDFIRKB-UHFFFAOYSA-M indium(i) bromide Chemical compound [Br-].[In+] KLRHPHDUDFIRKB-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- SUMDYPCJJOFFON-UHFFFAOYSA-N isethionic acid Chemical compound OCCS(O)(=O)=O SUMDYPCJJOFFON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BMFVGAAISNGQNM-UHFFFAOYSA-N isopentylamine Chemical compound CC(C)CCN BMFVGAAISNGQNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- KVBGVZZKJNLNJU-UHFFFAOYSA-N naphthalene-2-sulfonic acid Chemical compound C1=CC=CC2=CC(S(=O)(=O)O)=CC=C21 KVBGVZZKJNLNJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- UPHWVVKYDQHTCF-UHFFFAOYSA-N octadecylazanium;acetate Chemical compound CC(O)=O.CCCCCCCCCCCCCCCCCCN UPHWVVKYDQHTCF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IOQPZZOEVPZRBK-UHFFFAOYSA-N octan-1-amine Chemical compound CCCCCCCCN IOQPZZOEVPZRBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229960003330 pentetic acid Drugs 0.000 description 2
- VLTRZXGMWDSKGL-UHFFFAOYSA-N perchloric acid Chemical compound OCl(=O)(=O)=O VLTRZXGMWDSKGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- KCXFHTAICRTXLI-UHFFFAOYSA-N propane-1-sulfonic acid Chemical compound CCCS(O)(=O)=O KCXFHTAICRTXLI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000019260 propionic acid Nutrition 0.000 description 2
- KIDHWZJUCRJVML-UHFFFAOYSA-N putrescine Chemical compound NCCCCN KIDHWZJUCRJVML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WQGWDDDVZFFDIG-UHFFFAOYSA-N pyrogallol Chemical compound OC1=CC=CC(O)=C1O WQGWDDDVZFFDIG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N quinbolone Chemical compound O([C@H]1CC[C@H]2[C@H]3[C@@H]([C@]4(C=CC(=O)C=C4CC3)C)CC[C@@]21C)C1=CCCC1 IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 2
- 229910001379 sodium hypophosphite Inorganic materials 0.000 description 2
- BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M sulfonate Chemical compound [O-]S(=O)=O BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- CNALVHVMBXLLIY-IUCAKERBSA-N tert-butyl n-[(3s,5s)-5-methylpiperidin-3-yl]carbamate Chemical compound C[C@@H]1CNC[C@@H](NC(=O)OC(C)(C)C)C1 CNALVHVMBXLLIY-IUCAKERBSA-N 0.000 description 2
- 150000003751 zinc Chemical class 0.000 description 2
- MKRZFOIRSLOYCE-UHFFFAOYSA-L zinc;methanesulfonate Chemical compound [Zn+2].CS([O-])(=O)=O.CS([O-])(=O)=O MKRZFOIRSLOYCE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- NWZSZGALRFJKBT-KNIFDHDWSA-N (2s)-2,6-diaminohexanoic acid;(2s)-2-hydroxybutanedioic acid Chemical compound OC(=O)[C@@H](O)CC(O)=O.NCCCC[C@H](N)C(O)=O NWZSZGALRFJKBT-KNIFDHDWSA-N 0.000 description 1
- JIRHAGAOHOYLNO-UHFFFAOYSA-N (3-cyclopentyloxy-4-methoxyphenyl)methanol Chemical compound COC1=CC=C(CO)C=C1OC1CCCC1 JIRHAGAOHOYLNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RDAFNSMYPSHCBK-QPJJXVBHSA-N (e)-3-phenylprop-2-en-1-amine Chemical compound NC\C=C\C1=CC=CC=C1 RDAFNSMYPSHCBK-QPJJXVBHSA-N 0.000 description 1
- JAEZSIYNWDWMMN-UHFFFAOYSA-N 1,1,3-trimethylthiourea Chemical compound CNC(=S)N(C)C JAEZSIYNWDWMMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KREOCUNMMFZOOS-UHFFFAOYSA-N 1,3-di(propan-2-yl)thiourea Chemical compound CC(C)NC(S)=NC(C)C KREOCUNMMFZOOS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KVGOXGQSTGQXDD-UHFFFAOYSA-N 1-decane-sulfonic-acid Chemical compound CCCCCCCCCCS(O)(=O)=O KVGOXGQSTGQXDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LDMOEFOXLIZJOW-UHFFFAOYSA-N 1-dodecanesulfonic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCS(O)(=O)=O LDMOEFOXLIZJOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FFYRIXSGFSWFAQ-UHFFFAOYSA-N 1-dodecylpyridin-1-ium Chemical class CCCCCCCCCCCC[N+]1=CC=CC=C1 FFYRIXSGFSWFAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KDKIWFRRJZZYRP-UHFFFAOYSA-N 1-hydroxypropane-2-sulfonic acid Chemical compound OCC(C)S(O)(=O)=O KDKIWFRRJZZYRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KAFOVUJOVUDROI-UHFFFAOYSA-N 1-nonoxynonane;sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O.CCCCCCCCCOCCCCCCCCC KAFOVUJOVUDROI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LBLYYCQCTBFVLH-UHFFFAOYSA-N 2-Methylbenzenesulfonic acid Chemical compound CC1=CC=CC=C1S(O)(=O)=O LBLYYCQCTBFVLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WXHLLJAMBQLULT-UHFFFAOYSA-N 2-[[6-[4-(2-hydroxyethyl)piperazin-1-yl]-2-methylpyrimidin-4-yl]amino]-n-(2-methyl-6-sulfanylphenyl)-1,3-thiazole-5-carboxamide;hydrate Chemical compound O.C=1C(N2CCN(CCO)CC2)=NC(C)=NC=1NC(S1)=NC=C1C(=O)NC1=C(C)C=CC=C1S WXHLLJAMBQLULT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FDGBQHCDMSYZRC-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxy-2-oxo-1,3,2$l^{5}-dioxaphosphinan-4-amine Chemical compound NC1CCOP(O)(=O)O1 FDGBQHCDMSYZRC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NSRGOAGKXKNHQX-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxybutane-1-sulfonic acid Chemical compound CCC(O)CS(O)(=O)=O NSRGOAGKXKNHQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZWLIPWXABAEXNY-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxydecane-1-sulfonic acid Chemical compound CCCCCCCCC(O)CS(O)(=O)=O ZWLIPWXABAEXNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VRWFADPPHBJBER-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxydodecane-1-sulfonic acid Chemical compound CCCCCCCCCCC(O)CS(O)(=O)=O VRWFADPPHBJBER-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CZFRHHAIWDBFCI-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxyhexane-1-sulfonic acid Chemical compound CCCCC(O)CS(O)(=O)=O CZFRHHAIWDBFCI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LBLYYCQCTBFVLH-UHFFFAOYSA-M 2-methylbenzenesulfonate Chemical compound CC1=CC=CC=C1S([O-])(=O)=O LBLYYCQCTBFVLH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- JBIJLHTVPXGSAM-UHFFFAOYSA-N 2-naphthylamine Chemical compound C1=CC=CC2=CC(N)=CC=C21 JBIJLHTVPXGSAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZMPRRFPMMJQXPP-UHFFFAOYSA-N 2-sulfobenzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1S(O)(=O)=O ZMPRRFPMMJQXPP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LAMQOQXDLIDPIZ-UHFFFAOYSA-N 3-(4-methoxyphenyl)prop-2-en-1-amine Chemical compound COC1=CC=C(C=CCN)C=C1 LAMQOQXDLIDPIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYKLZUPYJFFNRR-UHFFFAOYSA-N 3-hydroxypiperidin-2-one Chemical compound OC1CCCNC1=O RYKLZUPYJFFNRR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WQPMYSHJKXVTME-UHFFFAOYSA-N 3-hydroxypropane-1-sulfonic acid Chemical compound OCCCS(O)(=O)=O WQPMYSHJKXVTME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SDGNNLQZAPXALR-UHFFFAOYSA-N 3-sulfophthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC(S(O)(=O)=O)=C1C(O)=O SDGNNLQZAPXALR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HYKDWGUFDOYDGV-UHFFFAOYSA-N 4-anilinobenzenesulfonic acid Chemical compound C1=CC(S(=O)(=O)O)=CC=C1NC1=CC=CC=C1 HYKDWGUFDOYDGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YEGPVWSPNYPPIK-UHFFFAOYSA-N 4-hydroxybutane-1-sulfonic acid Chemical compound OCCCCS(O)(=O)=O YEGPVWSPNYPPIK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004203 4-hydroxyphenyl group Chemical group [H]OC1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- HWTDMFJYBAURQR-UHFFFAOYSA-N 80-82-0 Chemical compound OS(=O)(=O)C1=CC=CC=C1[N+]([O-])=O HWTDMFJYBAURQR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O Ammonium Chemical compound [NH4+] QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- 229910015902 Bi 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- HYTPXLSMDIZNRZ-UHFFFAOYSA-N C(CC)O.[Bi] Chemical compound C(CC)O.[Bi] HYTPXLSMDIZNRZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021591 Copper(I) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021595 Copper(I) iodide Inorganic materials 0.000 description 1
- RGHNJXZEOKUKBD-UHFFFAOYSA-N D-gluconic acid Natural products OCC(O)C(O)C(O)C(O)C(O)=O RGHNJXZEOKUKBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N Dextrotartaric acid Chemical compound OC(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C(O)=O FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N 0.000 description 1
- RPNUMPOLZDHAAY-UHFFFAOYSA-N Diethylenetriamine Chemical compound NCCNCCN RPNUMPOLZDHAAY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZGTMUACCHSMWAC-UHFFFAOYSA-L EDTA disodium salt (anhydrous) Chemical compound [Na+].[Na+].OC(=O)CN(CC([O-])=O)CCN(CC(O)=O)CC([O-])=O ZGTMUACCHSMWAC-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N Ethylenediamine Chemical compound NCCN PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021617 Indium monochloride Inorganic materials 0.000 description 1
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- IGFHQQFPSIBGKE-UHFFFAOYSA-N Nonylphenol Natural products CCCCCCCCCC1=CC=C(O)C=C1 IGFHQQFPSIBGKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000004522 Pentaglottis sempervirens Nutrition 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DBMJMQXJHONAFJ-UHFFFAOYSA-M Sodium laurylsulphate Chemical compound [Na+].CCCCCCCCCCCCOS([O-])(=O)=O DBMJMQXJHONAFJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- ULUAUXLGCMPNKK-UHFFFAOYSA-N Sulfobutanedioic acid Chemical compound OC(=O)CC(C(O)=O)S(O)(=O)=O ULUAUXLGCMPNKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N Tartaric acid Natural products [H+].[H+].[O-]C(=O)C(O)C(O)C([O-])=O FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GABLYFANFPCOHO-UHFFFAOYSA-I [Na+].[Na+].[Na+].[Na+].[Na+].NC1CCOP([O-])(=O)O1.NC1CCOP([O-])(=O)O1.NC1CCOP([O-])(=O)O1.NC1CCOP([O-])(=O)O1.NC1CCOP([O-])(=O)O1 Chemical compound [Na+].[Na+].[Na+].[Na+].[Na+].NC1CCOP([O-])(=O)O1.NC1CCOP([O-])(=O)O1.NC1CCOP([O-])(=O)O1.NC1CCOP([O-])(=O)O1.NC1CCOP([O-])(=O)O1 GABLYFANFPCOHO-UHFFFAOYSA-I 0.000 description 1
- 239000012190 activator Substances 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 150000004996 alkyl benzenes Chemical class 0.000 description 1
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005037 alkyl phenyl group Chemical group 0.000 description 1
- 150000008051 alkyl sulfates Chemical class 0.000 description 1
- 238000005275 alloying Methods 0.000 description 1
- GJYJYFHBOBUTBY-UHFFFAOYSA-N alpha-camphorene Chemical compound CC(C)=CCCC(=C)C1CCC(CCC=C(C)C)=CC1 GJYJYFHBOBUTBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 229940077388 benzenesulfonate Drugs 0.000 description 1
- SRSXLGNVWSONIS-UHFFFAOYSA-N benzenesulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)C1=CC=CC=C1 SRSXLGNVWSONIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940092714 benzenesulfonic acid Drugs 0.000 description 1
- VUAQKPWIIMBHEK-UHFFFAOYSA-K bis(methylsulfonyloxy)indiganyl methanesulfonate Chemical compound [In+3].CS([O-])(=O)=O.CS([O-])(=O)=O.CS([O-])(=O)=O VUAQKPWIIMBHEK-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 150000001621 bismuth Chemical class 0.000 description 1
- 229910000380 bismuth sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- WVMHLYQJPRXKLC-UHFFFAOYSA-N borane;n,n-dimethylmethanamine Chemical compound B.CN(C)C WVMHLYQJPRXKLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- YJROYUJAFGZMJA-UHFFFAOYSA-N boron;morpholine Chemical compound [B].C1COCCN1 YJROYUJAFGZMJA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RJTANRZEWTUVMA-UHFFFAOYSA-N boron;n-methylmethanamine Chemical compound [B].CNC RJTANRZEWTUVMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZTQYEZDTWTZXPF-UHFFFAOYSA-N boron;propan-2-amine Chemical compound [B].CC(C)N ZTQYEZDTWTZXPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005282 brightening Methods 0.000 description 1
- QDHFHIQKOVNCNC-UHFFFAOYSA-N butane-1-sulfonic acid Chemical compound CCCCS(O)(=O)=O QDHFHIQKOVNCNC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BRXCDHOLJPJLLT-UHFFFAOYSA-N butane-2-sulfonic acid Chemical compound CCC(C)S(O)(=O)=O BRXCDHOLJPJLLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 1
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 239000002738 chelating agent Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000015165 citric acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 1
- OXBLHERUFWYNTN-UHFFFAOYSA-M copper(I) chloride Chemical compound [Cu]Cl OXBLHERUFWYNTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- VKUSBGMTLPOBET-UHFFFAOYSA-L copper;4-hydroxybenzenesulfonate Chemical compound [Cu+2].OC1=CC=C(S([O-])(=O)=O)C=C1.OC1=CC=C(S([O-])(=O)=O)C=C1 VKUSBGMTLPOBET-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- BEQZMQXCOWIHRY-UHFFFAOYSA-H dibismuth;trisulfate Chemical compound [Bi+3].[Bi+3].[O-]S([O-])(=O)=O.[O-]S([O-])(=O)=O.[O-]S([O-])(=O)=O BEQZMQXCOWIHRY-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
- OLRJHUPPOKRSNJ-UHFFFAOYSA-L disodium 1-nonoxynonane sulfate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]S([O-])(=O)=O.CCCCCCCCCOCCCCCCCCC OLRJHUPPOKRSNJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- DPEYVZPMZDHWIG-UHFFFAOYSA-L disodium;nonoxybenzene;sulfate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]S([O-])(=O)=O.CCCCCCCCCOC1=CC=CC=C1 DPEYVZPMZDHWIG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- LQZZUXJYWNFBMV-UHFFFAOYSA-N dodecan-1-ol Chemical compound CCCCCCCCCCCCO LQZZUXJYWNFBMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VICYBMUVWHJEFT-UHFFFAOYSA-N dodecyltrimethylammonium ion Chemical class CCCCCCCCCCCC[N+](C)(C)C VICYBMUVWHJEFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000000174 gluconic acid Substances 0.000 description 1
- 235000012208 gluconic acid Nutrition 0.000 description 1
- 150000004820 halides Chemical class 0.000 description 1
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 1
- 230000036541 health Effects 0.000 description 1
- FYAQQULBLMNGAH-UHFFFAOYSA-N hexane-1-sulfonic acid Chemical compound CCCCCCS(O)(=O)=O FYAQQULBLMNGAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IKDUDTNKRLTJSI-UHFFFAOYSA-N hydrazine monohydrate Substances O.NN IKDUDTNKRLTJSI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 1
- RXPAJWPEYBDXOG-UHFFFAOYSA-N hydron;methyl 4-methoxypyridine-2-carboxylate;chloride Chemical compound Cl.COC(=O)C1=CC(OC)=CC=N1 RXPAJWPEYBDXOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- APHGZSBLRQFRCA-UHFFFAOYSA-M indium(1+);chloride Chemical compound [In]Cl APHGZSBLRQFRCA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910000337 indium(III) sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- XGCKLPDYTQRDTR-UHFFFAOYSA-H indium(iii) sulfate Chemical compound [In+3].[In+3].[O-]S([O-])(=O)=O.[O-]S([O-])(=O)=O.[O-]S([O-])(=O)=O XGCKLPDYTQRDTR-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- LLABTCPIBSAMGS-UHFFFAOYSA-L lead(2+);methanesulfonate Chemical compound [Pb+2].CS([O-])(=O)=O.CS([O-])(=O)=O LLABTCPIBSAMGS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- RTWNYYOXLSILQN-UHFFFAOYSA-N methanediamine Chemical compound NCN RTWNYYOXLSILQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- LSHROXHEILXKHM-UHFFFAOYSA-N n'-[2-[2-[2-(2-aminoethylamino)ethylamino]ethylamino]ethyl]ethane-1,2-diamine Chemical compound NCCNCCNCCNCCNCCN LSHROXHEILXKHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AQGNVWRYTKPRMR-UHFFFAOYSA-N n'-[2-[2-[2-[2-(2-aminoethylamino)ethylamino]ethylamino]ethylamino]ethyl]ethane-1,2-diamine Chemical compound NCCNCCNCCNCCNCCNCCN AQGNVWRYTKPRMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YWFWDNVOPHGWMX-UHFFFAOYSA-N n,n-dimethyldodecan-1-amine Chemical compound CCCCCCCCCCCCN(C)C YWFWDNVOPHGWMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PSZYNBSKGUBXEH-UHFFFAOYSA-N naphthalene-1-sulfonic acid Chemical compound C1=CC=C2C(S(=O)(=O)O)=CC=CC2=C1 PSZYNBSKGUBXEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MGFYIUFZLHCRTH-UHFFFAOYSA-N nitrilotriacetic acid Chemical compound OC(=O)CN(CC(O)=O)CC(O)=O MGFYIUFZLHCRTH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SNQQPOLDUKLAAF-UHFFFAOYSA-N nonylphenol Chemical compound CCCCCCCCCC1=CC=CC=C1O SNQQPOLDUKLAAF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000005985 organic acids Nutrition 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- RJQRCOMHVBLQIH-UHFFFAOYSA-M pentane-1-sulfonate Chemical compound CCCCCS([O-])(=O)=O RJQRCOMHVBLQIH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229940044652 phenolsulfonate Drugs 0.000 description 1
- HKOOXMFOFWEVGF-UHFFFAOYSA-N phenylhydrazine Chemical compound NNC1=CC=CC=C1 HKOOXMFOFWEVGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940067157 phenylhydrazine Drugs 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- HNDXKIMMSFCCFW-UHFFFAOYSA-N propane-2-sulphonic acid Chemical compound CC(C)S(O)(=O)=O HNDXKIMMSFCCFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940079877 pyrogallol Drugs 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- ADZWSOLPGZMUMY-UHFFFAOYSA-M silver bromide Chemical compound [Ag]Br ADZWSOLPGZMUMY-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229940071575 silver citrate Drugs 0.000 description 1
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
- 239000012279 sodium borohydride Substances 0.000 description 1
- 229910000033 sodium borohydride Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000019333 sodium laurylsulphate Nutrition 0.000 description 1
- RCIVOBGSMSSVTR-UHFFFAOYSA-L stannous sulfate Chemical compound [SnH2+2].[O-]S([O-])(=O)=O RCIVOBGSMSSVTR-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 125000000542 sulfonic acid group Chemical group 0.000 description 1
- 150000003460 sulfonic acids Chemical class 0.000 description 1
- 235000002906 tartaric acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000011975 tartaric acid Substances 0.000 description 1
- FAGUFWYHJQFNRV-UHFFFAOYSA-N tetraethylenepentamine Chemical compound NCCNCCNCCNCCN FAGUFWYHJQFNRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003396 thiol group Chemical group [H]S* 0.000 description 1
- 150000003585 thioureas Chemical class 0.000 description 1
- 229910000375 tin(II) sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021655 trace metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- QUTYHQJYVDNJJA-UHFFFAOYSA-K trisilver;2-hydroxypropane-1,2,3-tricarboxylate Chemical compound [Ag+].[Ag+].[Ag+].[O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O QUTYHQJYVDNJJA-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- NWONKYPBYAMBJT-UHFFFAOYSA-L zinc sulfate Chemical compound [Zn+2].[O-]S([O-])(=O)=O NWONKYPBYAMBJT-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910000368 zinc sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229960001763 zinc sulfate Drugs 0.000 description 1
- ZNVKGUVDRSSWHV-UHFFFAOYSA-L zinc;4-hydroxybenzenesulfonate Chemical compound [Zn+2].OC1=CC=C(S([O-])(=O)=O)C=C1.OC1=CC=C(S([O-])(=O)=O)C=C1 ZNVKGUVDRSSWHV-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
Landscapes
- Chemically Coating (AREA)
Abstract
に、得られたメッキ皮膜のボンディング性が良好である
無電解スズメッキ浴を開発する。 【解決手段】 (A)第一スズの可溶性塩、(B)有機スル
ホン酸などの酸、(C)錯化剤よりなるメッキ浴に、標準
酸化還元電位が−0.8〜+0.8ボルトの範囲内にある
金属の可溶性塩を実質的にスズ合金メッキ皮膜を形成し
ない範囲内で微量配合した無電解スズメッキ浴である。
上記特定の金属可溶性塩を所定の微量範囲内に限定して
配合するため、迅速なスズメッキ皮膜の増膜効果と良好
なボンディング性を有効に両立できる。このため、低温
度で無電解スズメッキを施すことができ、生産性が向上
するうえ、TAB方式などにも有効に対応できる。
Description
の上にスズメッキ皮膜を施すための無電解スズメッキ
浴、並びにこのメッキ浴を用いてスズメッキ皮膜を施し
たTABのフィルムキャリアに関し、メッキ皮膜の析出
速度が速いうえ、当該皮膜のボンディング性が良好であ
るため、TAB方式などの高密度実装品にも充分に対応
できるものを提供する。
−鉛合金メッキは、半田付け性及びボンディング性が良
いなどの理由から、電子部品や半導体装置用パッケージ
(特に、TAB方式)などに広く使用されている。しかし
ながら、上記スズ−鉛合金メッキは半田付け性の点では
優れている反面、ボンディング性ではスズメッキに一歩
譲るうえ、最近、鉛の健康・環境への影響が懸念され、
鉛を含むスズ−鉛合金メッキを規制しようとする動きも
あることから、スズメッキの価値が改めて高まってい
る。
しては、特開昭63−230883号公報に、スズ塩、
有機スルホン酸、及びチオ尿素を基本組成とし、これに
各種の界面活性剤や光沢剤などを添加したメッキ浴が開
示されている。上記公報では、当該スズメッキ浴を使用
すると、有機スルホン酸の使用で銅又は銅合金の母材へ
のアタックが穏やかであるとともに、界面活性剤や光沢
剤などの添加でピンホールがなく、均一で平滑な、且つ
密着性に優れたスズメッキ皮膜が得られることが記載さ
れている。
化、複雑化、多ピン化が急速に進み、無電解スズメッキ
に要求される性能は益々高くなっている。例えば、TA
B方式などの電子部品、或はSMT対応のファインピッ
チプリント配線基板などでは(特に、前者では)、作業性
の向上及びコストダウンが年々厳しく求められるため、
より低温下で短時間に無電解メッキを行うとともに、得
られる皮膜もボンディング性が良好で、緻密性や密着性
などが良いことが要求される。
キ浴では、第一にスズの析出速度が遅く、作業性の見地
から浴温を80℃の高温に設定する必要があるため、ス
ズの酸化を進行させ、浴寿命も短く、経済的に不利であ
った。また、得られたメッキ皮膜は充分な接合強度がな
く、フィレットの形成も均一でないなど、ボンディング
性の面でも実用性に耐えるレベルではない。このため、
上記TAB方式などの高密度実装品には充分に対応でき
ず、これらを利用した製品の信頼性や生産の歩留りにも
悪影響を与えるうえ、前処理における制約も多い。
が良好であり、且つ、得られたメッキ皮膜のボンディン
グ性にも優れ、主に、TAB方式などにも充分に対応で
きる無電解スズメッキ浴を開発することを技術的課題と
する。
属イオンを少量添加した無電解スズメッキ浴がどのよう
な電析挙動を示すかを鋭意研究した結果、驚くべきこと
に標準酸化還元電位がある特定の範囲内にある金属、例
えば、ビスマス、インジウム、亜鉛、銀、鉛、銅などの
金属イオンを実質上スズとの合金メッキ皮膜を形成しな
い範囲内で浴中に存在させた場合には、スズの析出速度
が増速されるという顕著な現象が認められる一方で、
(前記スズ合金メッキ皮膜を形成しない範囲内ではあっ
ても)ある微量範囲を越えて特定金属イオンが存在する
と、得られるスズメッキ皮膜のボンディング性が低下傾
向を示すことを同時に見い出した。そこで、この上限を
越えない所定の微量範囲内に特定金属イオンの配合率を
抑制すると、迅速なスズメッキ皮膜の増膜能力と良好な
ボンディング性を有効に両立できることを突き止め、本
発明を完成した。
塩、(B)アルカンスルホン酸、アルカノールスルホン
酸、芳香族スルホン酸、脂肪族カルボン酸などの有機
酸、或は、塩酸、硫酸、ホウフッ化水素酸などの無機酸
から選ばれた少なくとも一種の酸、(C)錯化剤よりなる
無電解スズメッキ浴において、標準酸化還元電位が−
0.8〜+0.8ボルトの範囲内にある金属の可溶性塩を
実質的にスズ合金メッキ皮膜を形成しない範囲内で微量
配合することを特徴とする無電解スズメッキ浴である。
浴に加えて、さらに界面活性剤を含有することを特徴と
する無電解スズメッキ浴である。
メッキ浴に加えて、さらに還元剤を含有することを特徴
とする無電解スズメッキ浴である。
の無電解スズメッキ浴にTAB用フィルムキャリアを浸
漬して、フィルムキャリアのリードに無電解スズメッキ
皮膜を形成したTABのフィルムキャリアである。
酸と、錯化剤を基本組成とするメッキ浴に、標準酸化還
元電位の所定範囲内にある金属の可溶性塩を実質的にス
ズ合金メッキ皮膜を形成しない特定の割合で微量配合し
た点に特徴があり、本発明2はこの浴に界面活性剤を、
本発明3は還元剤を各々追加混合したものである。但
し、実質的にスズ合金メッキ皮膜を形成しない範囲と
は、本発明の無電解スズメッキ浴を用いて形成したメッ
キ皮膜を蛍光X線膜厚計で分析しても、スズ以外の金属
が検出されない範囲を意味する。
は、これらを電極に使用したときの半電池の起電力であ
る標準酸化還元電位で表現した場合に、−0.8〜+0.
8ボルトの範囲内にある金属をいい、具体的には、Z
n、Cr、Fe、Cd、Co、Ni、Pb、Sb、B
i、In、Cu、Hg、Agなどであり、好ましくは、
Bi、In、Zn、Pb、Sb、Ag、Cuである。上
記金属は可溶性塩の形態でメッキ浴に配合され、各種金
属イオン(Bi3+、In3+、Zn2+、Pb2+、Sb3+、
Ag+、Cu+、Cu2+など)を生成するが、この可溶性
金属塩の具体例は下記の通りである。
bO、Ag2O、Cu2O、CuO (2)ハロゲン化物:BiCl3、InCl3、PbCl2、
BiI3、InI3、ZnCl2、ZnBr2、ZnI2、
PbI2、BiBr3、InBr3、PbBr2、AgC
l、AgBr、CuCl、CuBr、CuI (3)無機酸及び有機酸との塩、その他:硝酸ビスマス、
硫酸ビスマス、酢酸鉛、硫酸インジウム、硫酸亜鉛、メ
タンスルホン酸インジウム、エタンスルホン酸インジウ
ム、メタンスルホン酸鉛、エタンスルホン酸鉛、2−プ
ロパンスルホン酸鉛、フェノールスルホン酸鉛、メタン
スルホン酸ビスマス、2−プロパノールスルホン酸ビス
マス、p−フェノールスルホン酸ビスマス、メタンスル
ホン酸亜鉛、p−フェノールスルホン酸亜鉛、酒石酸ア
ンチモン、硝酸銀、メタンスルホン酸銀、クエン酸銀、
p−フェノールスルホン酸第二銅、Cu3P、CuSC
N、CuBr(S(CH3)2)
用でき、当該金属の可溶性塩に換算した添加量は、一般
に5g/l以下(実際には0.0001〜5g/l)、好ましくは3
g/l以下(実際には0.0001〜3g/l)、より好ましくは
0.001〜1g/lである。この金属可溶性塩の浴組
成が5g/l以下であれば、前述したように、得られる
メッキ皮膜の組成は実質的にスズ合金メッキ皮膜を形成
しない範囲となり、逆に、5g/lを越えるとメッキ皮
膜はスズ合金の組成となるため、ボンディング性が低下
傾向を示すという問題が出て来る。尚、当該微量配合金
属の可溶性塩は独立成分としてメッキ浴に添加すること
を基本とするが、メッキ浴の他の構成成分、即ち、酸、
錯化剤、還元剤、或は後述する各種添加剤などが当該金
属化合物より調製される場合には、これらで兼用するこ
とを排除するものではない。
較的穏やかなアルカンスルホン酸、アルカノールスルホ
ン酸、芳香族スルホン酸等の有機スルホン酸、或は、脂
肪族カルボン酸などの有機酸が好ましいが、塩酸、ホウ
フッ化水素酸、硫酸、ケイフッ化水素酸、過塩素酸など
の無機酸を選択することもできる。上記の酸は単用又は
併用され、酸の添加量は一般に0.1〜200g/lで
ある。上記アルカンスルホン酸としては、化学式CnH
2n+1SO3H(例えば、n=1〜5、好ましくは1〜3)で示
されるものが使用でき、具体的には、メタンスルホン
酸、エタンスルホン酸、1―プロパンスルホン酸、2―
プロパンスルホン酸、1―ブタンスルホン酸、2―ブタ
ンスルホン酸、ペンタンスルホン酸などの外、ヘキサン
スルホン酸、デカンスルホン酸、ドデカンスルホン酸な
どが挙げられる。
学式CmH2m+1-CH(OH)-CpH2p+1-SO3H(例えば、
m=0〜2、p=1〜3)で示されるものが使用でき、具体
的には、2―ヒドロキシエタン―1―スルホン酸、2―
ヒドロキシプロパン―1―スルホン酸、2―ヒドロキシ
ブタン―1―スルホン酸、2―ヒドロキシペンタン―1
―スルホン酸などの外、1―ヒドロキシプロパン―2―
スルホン酸、3―ヒドロキシプロパン―1―スルホン
酸、4―ヒドロキシブタン―1―スルホン酸、2―ヒド
ロキシヘキサン―1―スルホン酸、2―ヒドロキシデカ
ン―1―スルホン酸、2―ヒドロキシドデカン―1―ス
ルホン酸などが挙げられる。
ゼンスルホン酸やナフタレンスルホン酸(例えば、2―ナ
フタレンスルホン酸)であって、その水素原子の一部を
水酸基、ハロゲン基、アルキル基、カルボキシル基、メ
ルカプト基、アミノ基、スルホン酸基などで置換したも
のも使用できる。当該置換型のスルホン酸としては、例
えば、トルエンスルホン酸、キシレンスルホン酸、p―
フェノールスルホン酸、クレゾールスルホン酸、スルホ
サリチル酸、ニトロベンゼンスルホン酸、スルホ安息香
酸、スルホフタル酸、ジフェニルアミン―4―スルホン
酸などが挙げられる。
炭素数1〜6のカルボン酸が使用できる。具体的には、
酢酸、プロピオン酸、酪酸、クエン酸、酒石酸、グルコ
ン酸、スルホコハク酸などが挙げられる。
塩類を使用でき、好ましくは前記の酸との塩類であり、
また前記の酸に金属又は金属酸化物を溶解して得られる
錯塩(水溶性)も使用できる。当該金属塩としての換算添
加量は、一般に0.1〜200g/lである。
例えば、TAB方式上の回路パターンを形成する銅、銅
合金を始め、鉄、ニッケル、鉄−42%ニッケル合金、
亜鉛、アルミニウムなどをいう。
属に配位して錯イオンを形成するものであり、下記の
(1)〜(3)のキレート剤などを単用又は併用するのが好ま
しい。 (1)チオ尿素及びその誘導体 チオ尿素の誘導体としては、1,3―ジメチルチオ尿
素、トリメチルチオ尿素、ジエチルチオ尿素(例えば、
1,3―ジエチル―2―チオ尿素)、N,N′―ジイソプ
ロピルチオ尿素、アリルチオ尿素、アセチルチオ尿素、
エチレンチオ尿素、1,3―ジフェニルチオ尿素、二酸
化チオ尿素、チオセミカルバジドなどが挙げられる。 (2)エチレンジアミン四酢酸(EDTA)、エチレンジア
ミン四酢酸二ナトリウム塩(EDTA・2Na)、ヒドロ
キシエチルエチレンジアミン三酢酸(HEDTA)、ジエ
チレントリアミン五酢酸(DTPA)、トリエチレンテト
ラミン六酢酸(TTHA)、エチレンジアミンテトラプロ
ピオン酸、エチレンジアミンテトラメチレンリン酸、ジ
エチレントリアミンペンタメチレンリン酸など。 (3)ニトリロ三酢酸(NTA)、イミノジ酢酸(IDA)、
イミノジプロピオン酸(IDP)、アミノトリメチレンリ
ン酸、アミノトリメチレンリン酸五ナトリウム塩、ベン
ジルアミン、2―ナフチルアミン、イソブチルアミン、
イソアミルアミン、メチレンジアミン、エチレンジアミ
ン、テトラメチレンジアミン、ペンタメチレンジアミ
ン、ヘキサメチレンジアミン、ジエチレントリアミン、
テトラエチレンペンタミン、ペンタエチレンヘキサミ
ン、ヘキサエチレンヘプタミン、シンナミルアミン、p
―メトキシシンナミルアミンなど。上記錯化剤の添加量
は、一般に5〜300g/lである。
その析出速度の調整用などに添加され、次亜リン酸化合
物、アミンボラン類、水素化ホウ素化合物、ヒドラジン
誘導体などを単用又は併用するのが好ましい。当該次亜
リン酸化合物としては、次亜リン酸、そのアンモニウ
ム、リチウム、ナトリウム、カリウム、カルシウム等の
塩が挙げられる。当該アミンボラン類としては、ジメチ
ルアミンボラン、トリメチルアミンボラン、イソプロピ
ルアミンボラン、モルホリンボランなどが挙げられる。
当該水素化ホウ素化合物としては水素化ホウ素ナトリウ
ムなどが挙げられる。当該ヒドラジン誘導体としては、
ヒドラジン水和物、フェニルヒドラジンなどが挙げられ
る。上記還元剤の添加量は一般に5〜200g/lであ
る。
活性剤、両性界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニ
オン系界面活性剤を単用又は併用することができ、中で
もノニオン系、或は両性界面活性剤が好ましい。上記界
面活性剤の添加量は一般に0.01〜50g/l、好ま
しくは1〜20g/lである。
ルフェノールポリアルコキシレート、α−ナフトールポ
リアルコキシレート、ジブチル−β−ナフトールポリア
ルコキシレート、スチレン化フェノールポリアルコキシ
レート等のエーテル型ノニオン系界面活性剤、或は、オ
クチルアミンポリアルコキシレート、ヘキシニルアミン
ポリアルコキシレート、リノレイルアミンポリアルコキ
シレート等のアミン型ノニオン系界面活性剤などが挙げ
られる。
シル−1−カルボキシメチル−1−ヒドロキシエチルイ
ミダゾリウムベタイン、N−ステアリル−N,N−ジメ
チル−N−カルボキシメチルベタイン、ラウリルジメチ
ルアミンオキシドなどが挙げられる。
形で表してラウリルトリメチルアンモニウム塩、ラウリ
ルジメチルアンモニウムベタイン、ラウリルピリジニウ
ム塩、オレイルイミダゾリウム塩、ステアリルアミンア
セテートなどが挙げられる。
リル硫酸ナトリウム等のアルキル硫酸塩、ポリオキシエ
チレン(EO12)ノニルエーテル硫酸ナトリウム等のポ
リオキシエチレンアルキルエーテル硫酸塩、ポリオキシ
エチレンアルキルフェニルエーテル硫酸塩、アルキルベ
ンゼンスルホン酸塩などが挙げられる。
〜90℃であるが、析出速度を増す見地からは50〜7
0℃が好ましい。尚、当該メッキ浴には上述の組成物以
外に、例えば、下記の〜に示すような周知の添加剤
を必要に応じて混合できる。 ヒドロキノン、カテコール、ピロガロールなどの酸化
防止剤 その外、pH調整剤、光沢剤、半光沢剤など
ビスマス、インジウム、亜鉛、鉛、アンチモン、銀、銅
などの特定金属の可溶性塩を微量の割合でメッキ浴に配
合するため、この微量金属のイオンが浴中でいわば触媒
的に作用して、スズの析出速度を増速させる。また、得
られたスズメッキ皮膜の結晶粒子形状はボンディングに
適したものになって接合強度を増すうえ、均一なフィレ
ットを形成するため、メッキ皮膜のボンディング性を向
上できる。尚、この無電解メッキでは、基本的に、上記
金属イオンのメッキ浴への微量配合率がそのまま、析出
するメッキ皮膜中の微量存在比になるわけではなく(上
述のように、特定金属イオンはあくまで触媒的に作用す
る)、メッキ皮膜の成分はあくまで実質的にスズのみで
ある。
メッキ浴に上記金属の可溶性塩を含まない場合は、各比
較例1a〜10aに示すように、当然ながらスズの析出
速度は遅く、また、接合強度やフィレット形成能も低
い。一方、メッキ浴に上記金属の可溶性塩を特定の微量
範囲を超えて(あくまで、実質上スズ合金に至らない範囲
で)過剰に配合すると、各比較例1b〜10bに示すよ
うに、スズの析出速度は速まる傾向にあるが、接合強度
やフィレット形成能は低下する。これに対して、本発明
のスズメッキ浴(実施例1〜18参照)では、特定金属の
可溶性塩を特定範囲で微量配合するため、スズの析出速
度が増速する増膜効果と、メッキ皮膜の良好なボンディ
ング性(接合強度やフィレット形成能などの総合能力)を
両立できるのである。このため、本発明のスズ浴を用い
て無電解メッキを施すと、メッキ処理を80℃より低い
温度で実施でき、また、生産性も著しく向上するととも
に、本発明4に示すように、本発明のスズメッキ浴はT
AB方式などの高密度実装品にも充分に対応でき、引い
ては、TABを利用した製品(液晶など)の信頼性、並び
に生産の歩留りを良好に向上できる。
性剤を追加混合すると、メッキ皮膜の結晶粒子外観、平
滑性、密着性、緻密性などをさらに促進できる。
を追加混合すると、前述したように、スズの析出速度を
さらに増速し、増膜効果を一層促進できる。
明するとともに、各実施例の無電解浴でメッキした場合
のスズの析出速度、得られたスズメッキ皮膜の析出強度
並びにフィレット形成の良否などの試験例を併記する。
尚、本発明は下記の実施例に拘束されるものではなく、
本発明の技術的思想の範囲内で多くの改変をなし得るこ
とは勿論である。
キ浴を建浴した;亜鉛塩の微量配合例。 硫酸第一スズ(Sn2+として) 30g/l p−フェノールスルホン酸 100g/l 塩酸 20g/l チオ尿素 150g/l 次亜リン酸ナトリウム 80g/l 塩化亜鉛(Zn2+として) 0.05g/l α−ナフトールポリエトキシレート(EO15) 8g/l
基本組成としながら、塩化亜鉛を省略したものを比較例
1aとして(従って、各成分の添加条件は省略成分(或は、
増量成分)を除いて全く同じ;以下の各比較例も同様)、
無電解スズメッキ浴を建浴した。
基本組成とし、塩化亜鉛の配合割合を(あくまで、スズと
の合金に至らない範囲内で)6.0g/lに増量したもの
を比較例1bとして、無電解スズメッキ浴を建浴した。
キ浴を建浴した;銀塩の微量配合例。 p−フェノールスルホン酸第一スズ(Sn2+として) 10g/l ホウフッ酸 50g/l p−フェノールスルホン酸 50g/l 二酸化チオ尿素 100g/l 次亜リン酸アンモニウム 60g/l 硝酸銀(Ag+として) 0.008g/l スチレン化フェノールポリエトキシレート(EO18) 15g/l
基本組成とし、硝酸銀を省略したものを比較例2aとし
て、無電解スズメッキ浴を建浴した。
基本組成とし、硝酸銀の配合割合を6.0g/lに増量
したものを比較例2bとして、無電解スズメッキ浴を建
浴した。
キ浴を建浴した;インジウム塩の微量配合例。 2−プロパンスルホン酸第一スズ(Sn2+として) 20g/l 2−プロパンスルホン酸 140g/l ジフェニルチオ尿素 120g/l 次亜リン酸カリウム 80g/l エタンスルホン酸インジウム(In3+として) 0.05g/l ポリオキシエチレン(EO12)ノニルフェニルエーテル −硫酸ナトリウム 5g/l
基本組成とし、インジウム塩を省略したものを比較例3
aとして、無電解スズメッキ浴を建浴した。
基本組成とし、インジウム塩の配合割合を6.0g/l
に増量したものを比較例3bとして、無電解スズメッキ
浴を建浴した。
キ浴を建浴した;アンチモン塩の微量配合例。 2−プロパンスルホン酸第一スズ(Sn2+として) 30g/l p−フェノールスルホン酸 120g/l 2−ナフタレンスルホン酸 20g/l ジメチルチオ尿素 130g/l 次亜リン酸カルシウム 50g/l 酒石酸アンチモン(Sb3+として) 0.005g/l リノレイルアミンポリエトキシレート(EO12) −ポリプロポキシレート(PO3) 7g/l
基本組成とし、アンチモン塩を省略したものを比較例4
aとして、無電解スズメッキ浴を建浴した。
基本組成とし、アンチモン塩の配合割合を6.0g/l
に増量したものを比較例4bとして、無電解スズメッキ
浴を建浴した。
キ浴を建浴した;鉛塩の微量配合例。 エタンスルホン酸第一スズ(Sn2+として) 30g/l エタンスルホン酸 150g/l ジメチルチオ尿素 100g/l 次亜リン酸 30g/l 酢酸鉛(Pb2+として) 0.6g/l N−ステアリル−N,N−ジメチル −N−カルボキシメチルベタイン 8g/l
基本組成とし、酢酸鉛を省略したものを比較例5aとし
て、無電解スズメッキ浴を建浴した。
基本組成とし、酢酸鉛の配合割合を6.0g/lに増量
したものを比較例5bとして、無電解スズメッキ浴を建
浴した。
キ浴を建浴した;ビスマス塩の微量配合例。 メタンスルホン酸第一スズ(Sn2+として) 20g/l メタンスルホン酸 100g/l アセチルチオ尿素 150g/l 次亜リン酸 20g/l 酸化ビスマス(Bi3+として) 0.001g/l ラウリルジメチルアミンオキシド 4g/l
基本組成とし、酸化ビスマスを省略したものを比較例6
aとして、無電解スズメッキ浴を建浴した。
基本組成とし、酸化ビスマスの配合割合を6.0g/l
に増量したものを比較例6bとして、無電解スズメッキ
浴を建浴した。
キ浴を建浴した;第二銅塩の微量配合例。 トルエンスルホン酸第一スズ(Sn2+として) 30g/l プロピオン酸 180g/l チオセミカルバジド 90g/l 次亜リン酸カルシウム 50g/l p−フェノールスルホン酸銅(Cu2+として) 0.075g/l ステアリルアミンアセテート 8g/l
基本組成とし、銅塩を省略したものを比較例7aとし
て、無電解スズメッキ浴を建浴した。
基本組成とし、銅塩の配合割合を6.0g/lに増量し
たものを比較例7bとして、無電解スズメッキ浴を建浴
した。
キ浴を建浴した;亜鉛塩の微量配合例。 メタンスルホン酸第一スズ(Sn2+として) 30g/l クレゾールスルホン酸 120g/l チオ尿素 150g/l 次亜リン酸ナトリウム 80g/l メタンスルホン酸亜鉛(Zn2+として) 3.00g/l ラウリルアルコールポリエトキシレート(EO15) 7g/l
基本組成とし、亜鉛塩を省略したものを比較例8aとし
て、無電解スズメッキ浴を建浴した。
基本組成とし、亜鉛塩の配合割合を6.0g/lに増量
したものを比較例8bとして、無電解スズメッキ浴を建
浴した。
キ浴を建浴した;第一銅塩の微量配合例。 メタンスルホン酸第一スズ(Sn2+として) 0.25モル/l メタンスルホン酸 0.8モル/l p−フェノールスルホン酸 0.1モル/l チオ尿素 1.4モル/l 次亜リン酸ナトリウム 0.5モル/l 酸化第一銅(Cu+として) 0.0025モル/l 2−ウンデシル−1−カルボキシメチル −1−ヒドロキシエチルイミダゾリウムベタイン 5g/l
基本組成とし、銅塩を省略したものを比較例9aとし
て、無電解スズメッキ浴を建浴した。
基本組成とし、銅塩の配合割合を6.0g/lに増量し
たものを比較例9bとして、無電解スズメッキ浴を建浴
した。
ッキ浴を建浴した;鉛塩の微量配合例。 2−ヒドロキシエタンスルホン酸 −第一スズ(Sn2+として) 50g/l エタンスルホン酸 140g/l ジエチルチオ尿素 130g/l エタンスルホン酸鉛(Pb2+として) 0.05g/l ヘキシニルアミンポリエトキシレート(EO10) 6g/l
浴を基本組成とし、鉛塩を省略したものを比較例10a
として、無電解スズメッキ浴を建浴した。
浴を基本組成とし、鉛塩の配合割合を6.0g/lに増
量したものを比較例10bとして、無電解スズメッキ浴
を建浴した。
ッキ浴を建浴した;ビスマス塩の微量配合例。 2−ヒドロキシプロパン −1−スルホン酸第一スズ(Sn2+として) 35g/l 2−ヒドロキシプロパン−1−スルホン酸 110g/l アセチルチオ尿素 175g/l p-フェノールスルホン酸ビスマス(Bi3+として) 0.5g/l 1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)エタン −ポリエトキシレート(EO10) 10g/l
ッキ浴を建浴した;第一銅塩の微量配合例。 メタンスルホン酸第一スズ(Sn2+として) 0.25モル/l メタンスルホン酸 0.4モル/l p−フェノールスルホン酸 0.4モル/l アリルチオ尿素 1.2モル/l 酸化第一銅(Cu+として) 0.0005モル/l オクチルアミンポリエトキシレート(EO8) 10g/l
ッキ浴を建浴した;第一銅塩の微量配合例。 メタンスルホン酸第一スズ(Sn2+として) 0.20モル/l エタンスルホン酸 0.7モル/l p−フェノールスルホン酸 0.2モル/l ジエチルチオ尿素 1.6モル/l 酸化第一銅(Cu+として) 0.0025モル/l ラウリルジメチルアミンオキシド 4g/l
ッキ浴を建浴した;インジウム塩の微量配合例。 p−フェノールスルホン酸第一スズ(Sn2+として) 30g/l クレゾールスルホン酸 95g/l ジフェニルチオ尿素 155g/l 次亜リン酸カリウム 70g/l エタンスルホン酸インジウム(In3+として) 0.15g/l
ッキ浴を建浴した;第一銅塩の微量配合例。 メタンスルホン酸第一スズ(Sn2+として) 0.25モル/l エタンスルホン酸 0.8モル/l p−フェノールスルホン酸 0.1モル/l ジエチルチオ尿素 1.4モル/l 酸化第一銅(Cu+として) 0.0025モル/l 次亜リン酸カリウム 0.5モル/l リノレイルアミンポリエトキシレート(EO12) −ポリプロポキシレート(PO3) 7g/l
ッキ浴を建浴した;第一銅塩の微量配合例。 2-プロパンスルホン酸第一スズ(Sn2+として)0.18モル/l p−フェノールスルホン酸 0.6モル/l 硫酸 0.1モル/l チオ尿素 1.5モル/l 次亜リン酸 1.0モル/l 酸化第一銅(Cu+として) 0.002モル/l ジブチル−β−ナフトールポリエトキシレート(EO15) 8g/l
ッキ浴を建浴した;第一銅塩の微量配合例。 メタンスルホン酸第一スズ(Sn2+として) 0.25モル/l メタンスルホン酸 0.8モル/l p−フェノールスルホン酸 0.1モル/l チオ尿素 1.4モル/l 次亜リン酸ナトリウム 0.5モル/l 酸化第一銅(Cu+として) 0.0025モル/l ポリオキシエチレン(EO12)ノニルエーテル −硫酸ナトリウム 5g/l
ッキ浴を建浴した;鉛塩とビスマス塩を併用する微量配
合例。 エタンスルホン酸第一スズ(Sn2+として) 30g/l メタンスルホン酸 150g/l エチレンチオ尿素 180g/l 次亜リン酸 10g/l 2−プロパンスルホン酸鉛(Pb2+として) 0.04g/l メタンスルホン酸ビスマス(Bi3+として) 0.035g/l t−ブタノールポリエトキシレート(EO10) 12g/l
成したTABのフィルムキャリアの試験片を上記実施例
1〜18、比較例1a・b〜10a・bの各スズメッキ浴
に浸漬して、60℃、10分の処理条件下で当該TAB
のインナリード上に無電解メッキを施した。そして、こ
の無電解メッキ時のスズの析出速度を10分後のスズの
膜厚で測定するとともに、得られたスズメッキ皮膜の光
沢や緻密性などのメッキ外観を目視により調べた。
す。但し、析出速度及びメッキ外観の各評価基準は下記
の通りである。 (1)析出速度の評価基準 ○:膜厚が1.0μm以上 △:膜厚が0.6〜1.0μm ×:膜厚が0.6μm未満 (2)メッキ外観の評価基準 ○:無光沢、均一で良好な外観と緻密な結晶粒子外観を
呈した ×:黒色或は灰色の不均一な外観で、粗い結晶粒子外観
を呈した
のフィルムキャリアを所定の銅板上にボンディングし、
フィレットの形成状態及び接合強度を調べた。
験例》ボンディングマシーン(アビオニクス社製TCW
−115A)を使用し、0.5μmの金メッキを施した銅
板に各TABのインナリードを、荷重50g/単位イン
ナリード、温度450℃、時間5秒の条件下でボンディ
ングした。そして、ボンディング後のインナリード周辺
のフィレットの形成状態を拡大鏡で俯瞰的に観察した。
また、ボンディング後のインナリードの一端を、上記銅
板に対して直角方向に破断するまで引っ張り、その破断
モードを調べることでリードのピーリング強度(剥離強
度)の簡易試験を行った。
果を、図1の右から二欄目は破断モードの結果を各々示
す。但し、フィレットの形成状態及びピーリング試験の
各評価基準は下記の通りである。 (1)フィレットの形成状態の評価基準 ○:リードの全周に亘り均一な形状で連続的に形成 △:フィレットは形成されているが、不連続であった ×:フィレットは形成されなかった (2)ピーリング試験の評価基準 ○:リード自体が破断 ×:リードと金メッキの界面で破断
無電解メッキ浴からのスズの析出速度(増膜効果)につい
ては、実施例1〜18は全て○の評価であり、ビスマ
ス、インジウムなどの所定金属の可溶性塩を配合しない
比較例1a〜10aは全て×の評価であった。また、所
定金属塩を6.0g/lで配合した比較例1b〜10b
はほとんどが△〜○の評価であって、比較例1a〜10
aに比べて増膜効果が認められた。一方、フィレット形
成については、実施例1〜18は全て○の評価であった
のに対して、比較例1a〜10aは全て×の評価、比較
例1b〜10bは全て×〜△の評価であった。ピーリン
グ試験については、実施例1〜18は全て○の評価であ
ったのに対し、比較例1a・b〜10a・bは全て×の評
価であり、実施例と比較例の差異が最も明確に現れた。
さらに、メッキ外観については、実施例1〜18は全て
○の評価であったのに対し、比較例1a〜10aは×の
1例を除いて他は○の評価、比較例1b〜10bは○の
2例を除いて他は×の評価であった。
1の最右欄に示すように、実施例1〜18はスズの析出
速度が速いうえ、フィレットを均一に形成でき、皮膜の
結晶粒子がボンディングに適した粒子形状になって、得
られるメッキ皮膜の接合強度も大きかった。即ち、各実
施例は、ビスマス、インジウムなどの所定の金属の可溶
性塩を特定の微量範囲で無電解メッキ浴に配合するた
め、スズの増膜効果とメッキ皮膜のボンディング性を共
に良好に両立でき、総合評価は全て○であった。従っ
て、低温下で無電解メッキが実施でき、メッキ処理の生
産性が向上し、TAB方式などの高密度実装品にも充分
に対応できる。また、各実施例で得られるメッキ皮膜は
外観も良好であった。
a〜10aは、比較的メッキ外観は良いが、スズの析出
速度が遅いうえ、フィレットの形成状態とメッキ皮膜の
接合強度などのボンディング性に劣り、総合評価は全て
×であった。また、上記所定金属を(実質上、スズとの合
金に至らない範囲内ではあるが)本発明の微量範囲を超
えて配合すると、比較例1b〜10bに見るように、ス
ズの析出速度は無添加の場合に比べて速くなるが、フィ
レット形成とメッキ皮膜の接合強度で劣る。即ち、スズ
の増膜効果とメッキ皮膜のボンディング性を共に両立さ
せることができず、総合評価は全て×であった。従っ
て、無電解スズメッキ浴にスズ合金に至らない範囲内で
金属の可溶性塩を少量配合する場合には、その金属の種
類を特定のものに限定するとともに、その特定金属の塩
を所定の微量範囲内に抑えて配合すると、スズの増膜効
果とメッキ皮膜のボンディング性を良好に両立できるの
であり、上記試験結果はこのことを強く示している。
る。 ○:全ての評価項目が○のメッキ浴 △:評価項目のうちの一つが△又は×であるメッキ浴 ×:評価項目のうちの二つ以上が×であるメッキ浴
a・bにおけるスズの析出膜厚、フィレットの形成状
態、ピーリング試験、メッキ外観、及び総合評価の結果
を示す図表である。
Claims (4)
- 【請求項1】 (A)第一スズの可溶性塩、 (B)アルカンスルホン酸、アルカノールスルホン酸、芳
香族スルホン酸、脂肪族カルボン酸などの有機酸、或
は、塩酸、硫酸、ホウフッ化水素酸などの無機酸から選
ばれた少なくとも一種の酸、 (C)錯化剤よりなる無電解スズメッキ浴において、 標準酸化還元電位が−0.8〜+0.8ボルトの範囲内に
ある金属の可溶性塩を実質的にスズ合金メッキ皮膜を形
成しない範囲内で微量配合することを特徴とする無電解
スズメッキ浴。 - 【請求項2】 請求項1に記載の無電解メッキ浴に加え
て、さらに界面活性剤を含有することを特徴とする無電
解スズメッキ浴。 - 【請求項3】 請求項1又は2に記載の無電解メッキ浴
に加えて、さらに還元剤を含有することを特徴とする無
電解スズメッキ浴。 - 【請求項4】 請求項1〜3のいずれか1項に記載の無
電解スズメッキ浴にTAB用フィルムキャリアを浸漬し
て、フィルムキャリアのリードに無電解スズメッキ皮膜
を形成したTABのフィルムキャリア。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09486897A JP3837622B2 (ja) | 1996-05-22 | 1997-03-28 | 無電解スズメッキ浴、及び当該メッキ浴を用いてスズメッキ皮膜を形成したtabのフィルムキャリア |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08151577 | 1996-05-22 | ||
| JP8-151577 | 1996-05-22 | ||
| JP09486897A JP3837622B2 (ja) | 1996-05-22 | 1997-03-28 | 無電解スズメッキ浴、及び当該メッキ浴を用いてスズメッキ皮膜を形成したtabのフィルムキャリア |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1036973A true JPH1036973A (ja) | 1998-02-10 |
| JP3837622B2 JP3837622B2 (ja) | 2006-10-25 |
Family
ID=26436104
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09486897A Expired - Fee Related JP3837622B2 (ja) | 1996-05-22 | 1997-03-28 | 無電解スズメッキ浴、及び当該メッキ浴を用いてスズメッキ皮膜を形成したtabのフィルムキャリア |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3837622B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7029761B2 (en) | 2003-04-30 | 2006-04-18 | Mec Company Ltd. | Bonding layer for bonding resin on copper surface |
| US7156904B2 (en) | 2003-04-30 | 2007-01-02 | Mec Company Ltd. | Bonding layer forming solution, method of producing copper-to-resin bonding layer using the solution, and layered product obtained thereby |
| JP2009209425A (ja) * | 2008-03-05 | 2009-09-17 | C Uyemura & Co Ltd | 無電解錫めっき浴及び無電解錫めっき方法 |
| KR100973007B1 (ko) * | 2008-01-29 | 2010-07-30 | 삼성전기주식회사 | 금속제품의 무전해 주석 환원 도금용 도금액 및 이를이용한 금속제품의 무전해 주석 환원 도금방법 |
-
1997
- 1997-03-28 JP JP09486897A patent/JP3837622B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7029761B2 (en) | 2003-04-30 | 2006-04-18 | Mec Company Ltd. | Bonding layer for bonding resin on copper surface |
| US7156904B2 (en) | 2003-04-30 | 2007-01-02 | Mec Company Ltd. | Bonding layer forming solution, method of producing copper-to-resin bonding layer using the solution, and layered product obtained thereby |
| KR100973007B1 (ko) * | 2008-01-29 | 2010-07-30 | 삼성전기주식회사 | 금속제품의 무전해 주석 환원 도금용 도금액 및 이를이용한 금속제품의 무전해 주석 환원 도금방법 |
| JP2009209425A (ja) * | 2008-03-05 | 2009-09-17 | C Uyemura & Co Ltd | 無電解錫めっき浴及び無電解錫めっき方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3837622B2 (ja) | 2006-10-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI301516B (en) | Tin of tin alloy plating bath,tin salt solution and acid or complexing agent solution for preparing or controlling and making up the plating bath,and electrical and electric components prepared by the use of the plating bath | |
| JP5150016B2 (ja) | スズ又はスズ合金メッキ浴、及び当該メッキ浴を用いたバレルメッキ方法 | |
| US20080173550A1 (en) | Method for forming a displacement tin alloy plated film, displacement tin alloy plating bath and method for maintaining a plating performance | |
| JPH1121673A (ja) | 鉛フリーの無電解スズ合金メッキ浴及びメッキ方法、並びに当該無電解メッキ浴で鉛を含まないスズ合金皮膜を形成した電子部品 | |
| JP7015975B2 (ja) | 錫又は錫合金めっき液 | |
| JP6631349B2 (ja) | アンモニウム塩を用いためっき液 | |
| JP4157975B2 (ja) | 無電解スズ及びスズ合金メッキ浴、当該無電解メッキ方法、並びに当該無電解メッキ浴でスズ又はスズ合金皮膜を形成したtabのフィルムキャリア | |
| JP2017179515A (ja) | めっき液 | |
| EP3276045B1 (en) | Plating solution using phosphonium salt | |
| JP3837622B2 (ja) | 無電解スズメッキ浴、及び当該メッキ浴を用いてスズメッキ皮膜を形成したtabのフィルムキャリア | |
| US10329680B2 (en) | Plating solution using sulfonium salt | |
| JP5216372B2 (ja) | 無電解錫めっき浴及び無電解錫めっき方法 | |
| WO2016152983A1 (ja) | ホスホニウム塩を用いためっき液 | |
| JP2018123402A (ja) | アンモニウム塩を用いためっき液 | |
| JPH0971870A (ja) | Tab用無電解スズ又はスズ―鉛合金メッキ浴、及びtabのフィルムキャリヤの無電解スズ又はスズ―鉛合金メッキ方法 | |
| WO2018180192A1 (ja) | めっき液 | |
| JPH09316651A (ja) | 無電解スズ―鉛合金メッキ浴、その調製方法、及び当該メッキ浴でスズ−鉛合金皮膜を形成したtabのフィルムキャリア |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20040304 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20040304 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20050401 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20060314 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060428 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060711 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Effective date: 20060718 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 |
|
| R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 4 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100811 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 6 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120811 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 7 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130811 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |