JPH1039128A - Color filter - Google Patents

Color filter

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JPH1039128A
JPH1039128A JP19082296A JP19082296A JPH1039128A JP H1039128 A JPH1039128 A JP H1039128A JP 19082296 A JP19082296 A JP 19082296A JP 19082296 A JP19082296 A JP 19082296A JP H1039128 A JPH1039128 A JP H1039128A
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JP
Japan
Prior art keywords
color filter
transparent conductive
conductive film
black matrix
less
Prior art date
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Pending
Application number
JP19082296A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Akio Haneda
昭夫 羽田
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Toppan Inc
Original Assignee
Toppan Printing Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】液晶表示装置用カラーフィルタにおいて、透明
導電膜の低抵抗化を図り、またチルトリバースを解消す
るため透明導電膜表面を平滑化する。 【解決手段】ブラックマトリクスとカラーフィルタ画素
とのオーバーラップ量を3μm以下に形成してブラック
マトリクスと透明導電膜との接触面積を広くし、かつ、
透明導電膜の成膜後、その上層に厚さ0.5μm以下の
オーバーコート層を形成して表面を平滑化する。
(57) Abstract: In a color filter for a liquid crystal display device, the surface of the transparent conductive film is smoothed in order to reduce the resistance of the transparent conductive film and to eliminate tilde reverse. An overlapping amount between a black matrix and a color filter pixel is formed to be 3 μm or less to increase a contact area between the black matrix and a transparent conductive film, and
After forming the transparent conductive film, an overcoat layer having a thickness of 0.5 μm or less is formed thereon to smooth the surface.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置のカ
ラー表示のために内蔵されるカラーフィルタに関する。
[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a color filter built in for a color display of a liquid crystal display device.

【0002】[0002]

【従来の技術】液晶表示装置(LCD)において、カラ
ーフィルタ形成基板側の透明電極(対向電極)の低抵抗
化は、表示品位を向上する上で重要であり、そのために
対向電極の形成時の条件を検討するなど様々な試みがな
されている。ところで、現状においては、図2に示すよ
うなカラーフィルタ3の画素端部の形状の乱れや急峻な
突起6(いわゆる、ツノ)の影響により、LCD内に封
入されている液晶の配向乱れ(チルトリバース)に起因
する残像現象が発生し、表示品位を低下させる場合があ
る。そこでチルトリバースの影響を防止するために、図
3に示すように、カラーフィルタ3と(クロム膜を用い
た)ブラックマトリクス2とのオーバーラップ(重ね合
わせ)量を大きく取ってカラーフィルタ3の画素端部を
なだらかにしたり、カラーフィルタ3層の形成後その上
にオーバーコート4層を形成して表面を平坦化したりす
ることが行われている。
2. Description of the Related Art In a liquid crystal display (LCD), it is important to reduce the resistance of a transparent electrode (opposite electrode) on a color filter forming substrate side in order to improve display quality. Various attempts have been made, such as examining conditions. By the way, under the present circumstances, the disorder of the alignment of the liquid crystal sealed in the LCD (tilt) due to the disorder of the shape of the pixel end of the color filter 3 and the influence of the steep protrusion 6 (so-called horn) as shown in FIG. (Reverse), an afterimage phenomenon may occur, and display quality may be degraded. Therefore, in order to prevent the influence of the tilt reverse, as shown in FIG. 3, a large amount of overlap (superposition) between the color filter 3 and the black matrix 2 (using a chromium film) is taken so that the pixels of the color filter 3 It has been practiced to smooth the edges or to form a four-layer overcoat on the three layers of the color filter after the formation of the three layers to flatten the surface.

【0003】しかしながら、上記のようなカラーフィル
タ形成基板表面の平坦化の工夫を施した場合、対向電極
の透明導電膜(現状では通常酸化インジウムスズ(IT
O)膜が用いられている)は、クロムのブラックマトリ
クスとの接触が少なくなる、またはなくなることにより
抵抗値が高くなってしまう。
However, when the surface of the color filter forming substrate is flattened as described above, the transparent conductive film of the counter electrode (currently, usually indium tin oxide (IT)
O) film is used, the contact value of chromium with the black matrix decreases or disappears, so that the resistance value increases.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のよう
な問題点を解消して透明導電膜の低抵抗化を図り、また
チルトリバースを解消するため透明導電膜表面を平滑化
することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems and to reduce the resistance of the transparent conductive film, and to smooth the surface of the transparent conductive film in order to eliminate tilde reverse. Aim.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明は、クロム膜を用
いたブラックマトリクスと、任意の材質のカラーフィル
タと、透明導電膜とを備えた液晶表示装置用カラーフィ
ルタにおいて、ブラックマトリクスとカラーフィルタ画
素とのオーバーラップ量を3μm以下に形成してブラッ
クマトリクスと透明導電膜との接触面積を広くし、か
つ、透明導電膜の上に厚さ0.5μm以下のオーバーコ
ート層を形成して表面を平滑化したことを特徴とするカ
ラーフィルタである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to a color filter for a liquid crystal display device comprising a black matrix using a chromium film, a color filter of any material, and a transparent conductive film. The contact area between the black matrix and the transparent conductive film is increased by forming the amount of overlap with the pixel to 3 μm or less, and the surface is formed by forming an overcoat layer having a thickness of 0.5 μm or less on the transparent conductive film. Is a color filter characterized by smoothing.

【0006】[0006]

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を、図面を用
いて以下に説明する。まず図1に示すように、ガラス基
板1上に金属クロムの単層薄膜または金属クロムと酸化
クロムの積層薄膜が形成された膜付き基板をフォトリソ
グラフィーによりパターニングし、ブラックマトリクス
2のパターンを形成する。すなわち、例えばヘキストジ
ャパン株式会社製ポジ型レジスト、「AZ−TFP61
0F」を回転塗布し、一括露光機(アライナー)により
ブラックマトリクス用のマスクパターンを一括露光し、
専用の現像液で現像する。次いでレジストが溶解して露
出した金属クロム膜を硝酸第二セリウムアンモニウム液
にて溶解除去し、レジスト膜を35℃の5%NaOH水
溶液にて剥膜する。これによりガラス基板1上にブラッ
クマトリクス2が形成された。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. First, as shown in FIG. 1, a substrate with a film in which a single-layer thin film of chromium metal or a laminated thin film of chromium metal and chromium oxide is formed on a glass substrate 1 is patterned by photolithography to form a pattern of a black matrix 2. . That is, for example, a positive resist manufactured by Hoechst Japan KK, “AZ-TFP61
0F "is spin-coated, and a mask pattern for a black matrix is collectively exposed by a collective exposure machine (aligner).
Develop with a special developer. Next, the metal chromium film exposed by dissolving the resist is dissolved and removed with a ceric ammonium nitrate solution, and the resist film is stripped with a 5% aqueous NaOH solution at 35 ° C. Thereby, the black matrix 2 was formed on the glass substrate 1.

【0007】次いで例えばフジハント社製顔料分散フォ
トレジスト、商品名「CR−2000」「CG−200
0」「CB−2000」を用いて、フォトリソグラフィ
ーによりカラーフィルター3層のR(赤)、G(緑)、
B(青)の各色をパターニングする。顔料分散フォトレ
ジストの塗布条件は1000rpm、10秒間、膜厚は
1.2μm程度、プレベーク温度は70℃、20分、マ
スク露光量は120mJ/cm2、現像は上記レジスト
の専用現像液を用い、ポストベークは230℃、60分
の条件である。
Next, for example, a pigment dispersion photoresist manufactured by Fuji Hunt Co., Ltd., trade names "CR-2000", "CG-200"
0 "and" CB-2000 ", R (red), G (green),
Each color of B (blue) is patterned. The coating conditions of the pigment-dispersed photoresist were 1000 rpm, 10 seconds, the film thickness was about 1.2 μm, the pre-bake temperature was 70 ° C., 20 minutes, the mask exposure amount was 120 mJ / cm 2 , and the development was performed using a special developer for the resist. Post baking is performed at 230 ° C. for 60 minutes.

【0008】ここで、このカラーフィルタ3のパターニ
ング領域に関しては、ブラックマトリクス2とカラーフ
ィルタ3とのオーバーラップ部分のオーバーラップ幅
を、3μm以下とする。この理由は、ブラックマトリク
スと、この後に形成する透明導電膜との接触面積を広く
取るためである。なお、通常ブラックマトリクス2の幅
は20〜40μmが普通である。また、カラーフィルタ
3の画素端部形状は、この後に形成する透明導電膜に断
線が生じないよう、なだらかなテーパー形状にする。次
いで、ITOなどの透明導電膜5層をスパッタリングな
どにより形成する。
Here, regarding the patterning region of the color filter 3, the overlap width of the overlap portion between the black matrix 2 and the color filter 3 is set to 3 μm or less. The reason for this is to increase the contact area between the black matrix and the transparent conductive film formed thereafter. The width of the black matrix 2 is usually 20 to 40 μm. The pixel end of the color filter 3 has a gentle taper shape so that a transparent conductive film to be formed thereafter will not be disconnected. Next, five layers of a transparent conductive film such as ITO are formed by sputtering or the like.

【0009】この後、その上層にオーバーコート層を形
成して、表面を平滑化する。このオーバーコート層は、
薄さにより液晶に印加する電圧の降下が問題とならない
程度の0.5μm以下の厚さとし、望ましくは誘電率ε
が高く(ε≧3)、かつレベリング性の良好な材料を用
いる。例えば、日本化薬(株)製、商品名「ROC−2
09」のアクリル−エポキシ系オーバーコート剤をスピ
ンコート法などにより塗布し、100℃、10分の条件
でプリベークを行い、次いで電極端子部を露出させるた
めに電極端子部をマスキングするパターンマスクを介し
て200mJ/cm2の紫外線照射により電極端子部以
外を硬化させ、未硬化部を溶解除去してから200℃、
60分のポストベークを行う。また、上記のオーバーコ
ートをフレキソ印刷により直接パターン形成してもよい
し、または電極端子部に接着防止層をフレキソ印刷でパ
ターン塗布後、オーバーコート層をスピンコートしてか
ら接着防止層を溶解剥離除去することによりオーバーコ
ート層をパターン化するリフトオフ法によってもよい。
Thereafter, an overcoat layer is formed thereon to smooth the surface. This overcoat layer
The thickness should be 0.5 μm or less so that the voltage applied to the liquid crystal does not cause a problem due to the thinness.
Is high (ε ≧ 3) and a material having good leveling property is used. For example, the product name “ROC-2” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.
09 "acrylic-epoxy overcoating agent is applied by a spin coating method or the like, prebaked at 100 ° C. for 10 minutes, and then through a pattern mask for masking the electrode terminal portions to expose the electrode terminal portions. 200 mJ / cm 2 by irradiating ultraviolet rays to cure the parts other than the electrode terminals and dissolve and remove the uncured parts.
Perform a 60 minute post bake. Alternatively, the above-mentioned overcoat may be directly patterned by flexographic printing, or an anti-adhesion layer may be applied to the electrode terminal portion by flexographic printing, and then the overcoat layer is spin-coated and then the anti-adhesion layer is dissolved and peeled off. A lift-off method of patterning the overcoat layer by removing it may be used.

【0010】[0010]

【発明の効果】本発明のカラーフィルタを用いれば、カ
ラーフィルタ形成側電極のシート抵抗値は、15Ω/□
以下の低抵抗値が得られる。また、表面がオーバーコー
ト層により平滑化されていることから、液晶のチルトリ
バースによる表示不良が解消される。
When the color filter of the present invention is used, the sheet resistance of the electrode on the color filter forming side is 15 Ω / □.
The following low resistance values are obtained. In addition, since the surface is smoothed by the overcoat layer, display defects due to liquid crystal tilt reverse are eliminated.

【0011】[0011]

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のカラーフィルタの一例を示す説明図で
ある。
FIG. 1 is an explanatory diagram illustrating an example of a color filter of the present invention.

【図2】従来のカラーフィルタの一例を示す説明図であ
る。
FIG. 2 is an explanatory diagram illustrating an example of a conventional color filter.

【図3】従来のカラーフィルタの一例を示す説明図であ
る。
FIG. 3 is an explanatory diagram illustrating an example of a conventional color filter.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板 2 ブラックマトリクス 3 カラーフィルタ 4 オーバーコート 5 透明導電膜 6 突起 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 2 Black matrix 3 Color filter 4 Overcoat 5 Transparent conductive film 6 Projection

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】クロム膜を用いたブラックマトリクスと、
任意の材質のカラーフィルタと、透明導電膜とを備えた
液晶表示装置用カラーフィルタにおいて、ブラックマト
リクスとカラーフィルタ画素とのオーバーラップ量を3
μm以下に形成してブラックマトリクスと透明導電膜と
の接触面積を広くし、かつ、透明導電膜の上に厚さ0.
5μm以下のオーバーコート層を形成して表面を平滑化
したことを特徴とするカラーフィルタ。
1. A black matrix using a chromium film,
In a color filter for a liquid crystal display device provided with a color filter of an arbitrary material and a transparent conductive film, the amount of overlap between the black matrix and the color filter pixel is 3
μm or less to increase the contact area between the black matrix and the transparent conductive film, and to have a thickness of 0.1 μm on the transparent conductive film.
A color filter characterized by forming an overcoat layer of 5 μm or less and smoothing the surface.
JP19082296A 1996-07-19 1996-07-19 Color filter Pending JPH1039128A (en)

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