JPH1040587A

JPH1040587A - 光記録媒体用アニーリング装置および光記録媒体の製造方法

Info

Publication number: JPH1040587A
Application number: JP21526096A
Authority: JP
Inventors: Fumiaki Kishi; 文昭貴志; Yuji Watanabe; 雄二渡辺; Toshiharu Nakanishi; 俊晴中西
Original assignee: Toray Industries Inc
Current assignee: Toray Industries Inc
Priority date: 1996-07-25
Filing date: 1996-07-25
Publication date: 1998-02-13

Abstract

(57)【要約】【課題】複数の基板を同時にアニーリングする場合に
あっても、各基板を均一に加熱できるようにし、全基板
に対して所望のアニーリング効果を付与する。【解決手段】樹脂製基板に情報記録部層を形成してな
る光記録媒体の製造に用いられるアニーリング装置にお
いて、基板８の両側に恒温板２を配したことを特徴とす
る光記録媒体用アニーリング装置、および該アニーリン
グ装置を用いた光記録媒体の製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光記録媒体の製造
に用いられるアニーリング装置および光記録媒体の製造
方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】光記録媒体は、合成樹脂製基板に光学的
に記録再生可能な情報記録部を設け、文書やデータのフ
ァイル用のディスクとして用いられている。これらはデ
ィスクを高速で回転させながら１μｍ程度に絞り込んだ
レーザ光を照射し、焦点調整および位置検出を行いなが
ら１μｍ程度の記録ピットを読み出したり記録したりし
ている。このため、光記録媒体ではわずかな基板の反り
や変形、傷および異物の付着などが信号エラーにつなが
る。このため光記録媒体では、極力厚さむらや変形の少
ない基板上に情報記録部を設けている。また、情報記録
部に傷がついたり異物が付着するのを防ぎ、かつ情報記
録部が腐食するのを防ぐため、情報記録部上に保護層を
設け、さらに複数の、たとえば一対の基板の情報記録部
を内側にして貼り合わせることも行われている。

【０００３】上述の如く、光記録媒体の基板において
は、僅かな反りや変形でも極力防止されなければならな
いが、基板は一般に合成樹脂製（たとえば、ポリカーボ
ネート樹脂等）であるため、基板の射出成形工程、ある
いは貼り合わせ工程等において生じた内部応力が残留し
易い。このため、たとえば基板成形工程、あるいは貼り
合わせ工程の後工程としてアニーリングを行い、残留内
部応力を除去することが通常行われている。

【０００４】このアニーリングでは、たとえば加熱炉中
に基板を導入し、基板を一旦適当な温度に加熱すること
により残留内部応力を除去するようにしている。そして
通常、アニーリングにおいては、生産効率の面から複数
の基板を同時に加熱炉中に導き、同時に加熱してアニー
リングを行う。ところが、複数の基板を同時に炉中で加
熱するので、とくに基板間空間等を均一に加熱すること
が難しくなる。したがって、各基板が均一に加熱されな
くなり、残留内部応力の除去等を適切に行うことが困難
になるおそれがある。

【０００５】本発明の課題は、このような問題点に着目
し、複数の基板を同時にアニーリングする場合にあって
も、各基板を均一に加熱できるようにし、全基板に対し
て所望のアニーリング効果を発現させることにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の光記録媒体用アニーリング装置は、樹脂製
基板に情報記録層部を形成してなる光記録媒体の製造に
用いられるアニーリング装置において、前記基板両側に
恒温板を配したことを特徴とするものからなる。

【０００７】また、本発明に係る光記録媒体用アニーリ
ング装置は、樹脂製基板に情報記録層部を形成してなる
光記録媒体の製造に用いられるアニーリング装置におい
て、前記基板を垂直に保持する懸架手段を備えたことを
特徴とするものからなる。

【０００８】さらに、本発明に係る光記録媒体用アニー
リング装置は、樹脂製基板に情報記録層部を形成してな
る光記録媒体の製造に用いられるアニーリング装置にお
いて、前記基板両側に恒温板を配し、かつ、前記基板を
垂直に保持する懸架手段を備えたことを特徴とするもの
からなる。

【０００９】上記恒温板と基板面とは実質的に平行な位
置関係に配設されることが望ましく、この場合の両者の
間隔は１〜５０ｍｍに設定されることが望ましい。

【００１０】上記恒温板は、固定配置にして、たとえば
炉中に基板の搬送方向に延設してもよく、また、基板の
懸架手段を備えた移動可能な構成にして、基板とともに
炉中を搬送するように構成することもできる。

【００１１】上記のようなアニーリング装置を用いて、
本発明に係る光記録媒体の製造が行われる。すなわち、
本発明に係る光記録媒体の製造方法は、樹脂製基板に情
報記録層部を形成してなる光記録媒体の製造方法におい
て、前記基板両側に恒温板を配したアニーリング装置で
アニーリングを行うことを特徴とする方法からなる。

【００１２】また、本発明に係る光記録媒体の製造方法
は、樹脂製基板に情報記録層部を形成してなる光記録媒
体の製造方法において、前記基板が垂直になるように懸
架してアニーリングを行うことを特徴とする方法からな
る。

【００１３】本発明に係る光記録媒体用アニーリング装
置においては、実質的に各基板の両側に恒温板が配され
るので、各基板は、両面側から均一に加熱されることに
なり、アニーリング中の基板近傍の温度が安定化すると
ともに、各基板間残留内部応力等が均一に除去される。
また、基板は、恒温板からの空気伝熱のみならず恒温板
からの輻射熱によっても効率よく、しかも両面から加熱
されるので、アニーリング時間の短縮も可能になる。

【００１４】また、恒温板と基板面とを実質的に平行な
位置関係になるように配設すれば、上記温度の均一化お
よび加熱効率を一層高めることができる。

【００１５】恒温板と基板面との間隔は１〜５０ｍｍに
設定することが望ましい。１ｍｍ未満では、恒温板と基
板面とが接触するおそれがある。一方５０ｍｍを超える
と、上述のような恒温板の配設効果を十分に期待できな
くなるおそれがあるとともに、多数の基板を同時にアニ
ーリングする場合スペース的に不利になる。

【００１６】また、恒温板を、炉中に基板の搬送方向に
延設すれば、基板が炉内を移動中、実質的に常時恒温板
を各基板に対向させることが可能になり、上記均一加熱
によるアニーリング効果を一層高めることができる。

【００１７】また、恒温板に基板の懸架手段を兼備させ
て基板とともに炉中を搬送可能に構成すれば、アニーリ
ング中、各基板と各恒温板との位置関係を一定に保つこ
とができ、均一加熱のための望ましい条件を、基板の炉
内搬送中常時維持することが可能となる。

【００１８】また、基板が垂直になるように懸架してア
ニーリングを行うことにより、アニーリング中に基板が
自重により変形するのを防ぐことができる。また、基板
近傍において上下方向の空気の流れが妨げられないこと
により、基板近傍の温度が安定化する。さらに、特別な
空気攪拌手段を有しないアニーリング装置においても、
自然対流により空気の循環が起こり、基板を均一に加熱
できるという効果もある。

【００１９】また、本発明において、光記録媒体の構
成、とくに基板自身の構成としては、とくに限定されな
いが、たとえば、基板上に誘電体層１、記録層、誘電体
層２、および反射冷却層を設け、さらにその上に有機樹
脂保護層および接着剤層を積層する構成を示すことがで
きる。このように構成されたものを一対作成し、接着剤
層が内側になるように対向させて貼り合わせることによ
り、貼り合わせ型光記録媒体を得ることもできる。ここ
では、記録消去可能な相変化型光記録媒体を例に構成を
説明する。

【００２０】本発明に使用される基板としては、基板側
から記録再生を行うためにはレーザ光が透過する材料を
用いることが好ましく、例えばポリメチルメタアクリレ
ート樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリオレフィン樹
脂、エポキシ樹脂などの有機高分子樹脂やガラスなどを
用いることができる。貼り合わされる複数枚の基板は、
少なくとも１枚が情報記録部を有する円盤状の基板とさ
れる。

【００２１】誘電体層は、基板や記録層が記録による熱
によって変形したり記録消去再生特性が劣化したりする
のを防止したり、記録層の耐湿熱性や耐酸化性をもたせ
る役割を果たす。このような誘電体層としてはＺｎＳ、
ＳｉＯ₂、Ｔａ₂Ｏ₅、ＩＴＯ、ＺｒＣ、ＴｉＣ、Ｍｇ
Ｆ₂などの無機膜やそれらの混合膜が使用できる。とく
にＺｎＳとＳｉＯ₂およびＺｎＳとＭｇＦ₂の混合膜は
耐湿熱性に優れており、さらに記録消去再生時の記録層
の劣化を抑制するので好ましい。

【００２２】記録層としては、Ｇｅ−Ｓｂ−Ｔｅ系薄
膜、Ｍ−Ｇｅ−Ｓｂ−Ｔｅ系薄膜、ＭはＰｄ、Ｃｕ、Ａ
ｇ、Ｔｌ、Ｃｏなどの金属元素、Ｉｎ−Ｓｂ−Ｔｅ系薄
膜等が挙げられる。特にＧｅ−Ｓｂ−Ｔｅ系薄膜、Ｐｄ
−Ｇｅ−Ｓｂ−Ｔｅ系薄膜、Ｐｄ−Ｇｅ−Ｓｂ−Ｔｅ−
Ｎｂ系薄膜が記録消去再生を繰り返しても劣化が起こり
難く、さらに熱安定性が優れているので好ましい。ま
た、これらの組成は次式で表される範囲にあることが熱
安定性と繰り返し安定性に優れている点からより好まし
い。Ｍ_z（Ｓｂ_xＴｅ_(1-x)）_1-y-z（Ｇｅ_0.5Ｔｅ_0.5）
_y ０．３５≦ｘ≦０．５０．２０≦ｙ≦０．５０ ≦ｚ≦０．０５ここでＭはパラジウム、ニオブ、白金、銀、金、コバル
トから選ばれる少なくとも一種の金属を表す。また、
ｘ、ｙ、ｚおよび数字は各元素の原子の数（各元素のモ
ル数）を表す。とくにパラジウム、ニオブについては少
なくとも一種を含むことが好ましい。この場合ｚは０．
０００５以上であることが必要である。

【００２３】反射冷却層としては金属または金属酸化
物、金属窒化物、金属炭化物などと金属の混合物、例え
ばＺｒ、Ｃｒ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｓｉ、Ａｌ、Ａｕなどの金
属やこれらの合金、これらとＺｒ酸化物、Ｓｉ酸化物、
Ｓｉ窒化物、Ａｌ酸化物などを混合したものを使用でき
る。特にＡｌ、Ａｕ、Ｔａやそれらの合金などは膜の形
成が容易であり好ましい。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下に、本発明に係る光記録媒体
用アニーリング装置について、図面を参照しながら説明
する。図１は、本発明の一実施態様に係る光記録媒体用
アニーリング装置を示している。図１において、１はア
ニーリング用の加熱炉を示している。炉１の両端はシャ
ッタ４、５により開放、閉塞可能になっている。また、
炉１内には、複数の恒温板２が基板８の搬送方向に延設
されている。恒温板２には、熱伝導の良い単なる金属板
を使用してもよく、たとえば遠赤外線ヒータ等の加熱手
段（図示略）が内蔵された熱板としてもよい。この恒温
板２は、炉１による加熱、あるいは上記のような内蔵ヒ
ータによる加熱により、均一にかつ所定の温度に維持さ
れるようになっている。そして、各恒温板２の間には、
基板搬送通路３が形成されている。

【００２５】６は、搬送手段としてのコンベアを示して
いる。また、コンベア６には、基板懸架手段としてのデ
ィスクハンガー７が設けられている。各ディスクハンガ
ー７は、基板８を複数一列に懸架できるようになってい
る。具体的には、ディスクハンガー７に設けられたフッ
ク７ａが基板８の孔８ａに係合するようになっている。
そして、コンベア６の周回運動に伴い、ディスクハンガ
ー７に懸架された基板８が基板搬送路３内を図１の矢印
方向に搬送されるようになっている。

【００２６】また、基板搬送路３内において基板８の両
面は、恒温板２に実質的に平行な状態で搬送されるよう
になっている。なお、この際、恒温板２と基板８の間隔
は１〜５０ｍｍの範囲になるよう設定されている。

【００２７】本実施態様に係る光記録媒体用アニーリン
グ装置においては、コンベア６の周回運動に伴って、デ
ィスクハンガー７に懸架された基板８は、基板搬送路３
内を図１の矢印方向に向かって搬送され、炉１内におい
て所定の温度まで加熱される。そして、炉１外に搬送さ
れた後に冷却されるようになっている。つまり、基板８
を一旦加熱することにより残留内部応力が除去されるよ
うになっている。

【００２８】また、炉１内には恒温板２が基板搬送方向
に延設されている。通路３内の基板８の両側に恒温板２
が配されているので、各基板８は両面側から均一に加熱
されることになり、アニーリング中の各基板８の残留内
部応力を均一に除去できる。また、基板８は、恒温板２
からの空気伝熱のみならず恒温板２からの輻射熱によっ
て加熱される。したがって、基板８は所望アニーリング
温度まで迅速に加熱され、アニーリング時間の短縮も可
能になる。

【００２９】また、基板搬送路３内において、基板８の
両面は、恒温板２と実質的に平行な位置関係に保たれて
いるので、上記均一加熱によるアニーリング効果を一層
高めることができる。また、恒温板２を上記の如く延設
すれば、通路３を効率的に確保することができるので、
より多数の基板８を同時にアニーリングすることができ
る。さらに、基板８が垂直になるように懸架してアニー
リングすることにより、基板８が自重により変形するの
を防止できるとともに、基板８を均一に加熱できるとい
う効果もある。

【００３０】図２は本発明の別の実施態様に係る光記録
媒体用アニーリング装置を示している。本実施態様にお
いては、恒温板１０は懸架手段１１を備えている。ま
た、基板８の一面は、懸架手段１１により恒温板１０に
実質的に平行になるように懸架されている。また、恒温
板１０は図２の矢印で示す基板搬送方向に沿って、複数
個配列されている。したがって、基板８の他面は、後続
の恒温板１０に対向することになり、実質的に基板８の
両側に恒温板１０が配設されていることになる。

【００３１】また、各恒温板１０は、搬送手段とてのコ
ンベア１２の周回運動に伴って基板搬送方向に沿って移
動可能になっている。

【００３２】本実施態様に係るアニーリング装置におい
ては、基板８と恒温板１０との位置関係を任意にかつ容
易に変更できるので、基板８と恒温板１０との間隔を、
基板８の均一加熱に最適な間隔に設定できる。また、そ
の最適な間隔を炉１内搬送中に常時維持することが可能
になる。したがって、基板８の厚さ等が変更になって
も、容易に対応でき、かつ、各基板８の残留内部応力を
均一に除去できる。さらに、基板８が垂直になるように
懸架してアニーリングすることにより、基板８が自重に
より変形するのを防止できるとともに、基板８を均一に
加熱できるという効果もある。

【００３３】なお、基板８のアニーリング工程は、成形
工程の後、あるいは貼り合わせ型光記録媒体ならば貼合
せの後等に行うことができる。

【００３４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の光記録媒
体用アニーリング装置および光記録媒体の製造方法によ
るときは、複数の基板を同時にアニーリングする場合で
あっても、各基板を均一に加熱できるので、全基板に対
して所望のアニーリング効果を付与することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施態様に係る光記録媒体用アニー
リング装置の概略構成図である。

【図２】本発明の別の実施態様に係る光記録媒体用アニ
ーリング装置の概略構成図である。

【符号の説明】

１炉２恒温板３基板搬送路４、５シャッタ６コンベア７ディスクハンガー７ａフック８基板８ａ孔１０恒温板１１懸架手段１２コンベア

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】樹脂製基板に情報記録層部を形成してな
る光記録媒体の製造に用いられるアニーリング装置にお
いて、前記基板両側に恒温板を配したことを特徴とする
光記録媒体用アニーリング装置。
【請求項２】樹脂製基板に情報記録層部を形成してな
る光記録媒体の製造に用いられるアニーリング装置にお
いて、前記基板を垂直に保持する懸架手段を備えたこと
を特徴とする光記録媒体用アニーリング装置。
【請求項３】樹脂製基板に情報記録層部を形成してな
る光記録媒体の製造に用いられるアニーリング装置にお
いて、前記基板両側に恒温板を配し、かつ、前記基板を
垂直に保持する懸架手段を備えたことを特徴とする光記
録媒体用アニーリング装置。
【請求項４】前記恒温板が基板面と実質的に平行に、
かつ、基板から１〜５０ｍｍの間隔をあけて配されてい
る、請求項１または３の光記録媒体用アニーリング装
置。
【請求項５】前記恒温板が、炉中に前記基板の搬送方
向に延設されている、請求項１、３、４のいずれかに記
載の光記録媒体用アニーリング装置。
【請求項６】前記恒温板が、前記基板の懸架手段を備
えており、基板とともに炉中を搬送可能に構成されてい
る、請求項１、３、４、５のいずれかに記載の光記録媒
体用アニーリング装置。
【請求項７】樹脂製基板に情報記録層部を形成してな
る光記録媒体の製造方法において、前記基板両側に恒温
板を配したアニーリング装置でアニーリングを行うこと
を特徴とする、光記録媒体の製造方法。
【請求項８】樹脂製基板に情報記録層部を形成してな
る光記録媒体の製造方法において、前記基板が垂直にな
るように懸架してアニーリングを行うことを特徴とす
る、光記録媒体の製造方法。