JPH104185A - 固体撮像装置および封止樹脂の選定方法 - Google Patents
固体撮像装置および封止樹脂の選定方法Info
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- JPH104185A JPH104185A JP8155360A JP15536096A JPH104185A JP H104185 A JPH104185 A JP H104185A JP 8155360 A JP8155360 A JP 8155360A JP 15536096 A JP15536096 A JP 15536096A JP H104185 A JPH104185 A JP H104185A
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Abstract
侵入の確実な防止。 【解決手段】撮像面3と透明保護板4との接着端縁2a
を被覆する封止樹脂9aを、固体撮像装置が晒される含
水環境の温度、湿度及び固体撮像装置の含水環境滞留時
間を変数としたフィックの拡散法則から求められるこの
封止樹脂9aの水拡散距離Lより、樹脂露出面と接着端
縁2aとにわたる樹脂幅Hが広いものとして、防水性を
確実にした。
Description
る固体撮像装置、および固体撮像装置等に用いられる封
止樹脂の選定方法に関するものである。
術することが行われつつある。このような点型手術に
は、固体撮像装置を内蔵した内視鏡が広く使用されてい
る。
固体撮像装置40の構成を説明する。この固体撮像装置
40は、撮像面41が透明保護板(ガラス板)42によ
って覆われた固体撮像素子43と、回路モジュール44
と、セラミックベース板45とを順次ステンレスの収納
枠46内に収納して構成されている。固体撮像素子43
と回路モジュール44とは、TABリード47、セラミ
ックべース板45の配線パターン(図示省略)、および
電極ピン52を介して接続されている。なお、図中符号
48はTABリード47に設けられたバンプであり、4
9はTABリード47を挟持した状態で透明保護板42
と固体撮像素子43とを接着するアクリル樹脂からなる
接着樹脂であり、50は透明保護板42および固体撮像
素子43と収納筒46との間に充填されたエポキシ樹脂
からなる封止樹脂であり、51は収納筒46の回路モジ
ュール側端面を封止する封止板である。
いられる機材には滅菌処理を施すことが必要不可欠であ
り、内視鏡の滅菌処理には、蒸気滅菌法(以下、オート
クレーブと呼ぶ)が、最も一般的で、且つ確実な方法と
して採用されている。内視鏡では、通常、約140℃の
飽和水蒸気中に20分程度晒すことでオートクレーブを
行っている。
固体撮像装置40では、オートクレーブに十分対応した
防水性能を有しておらず、オートクレーブによって蒸気
環境中に晒した場合、封止樹脂50に水が浸透して撮像
面41と透明保護板42との間に水分(水蒸気等)が浸
入することがあった。水分の侵入は、接続箇所に対する
水滴の付着や接着樹脂49の変質を引き起こして接続不
良の原因となったり、撮像画面上にシミを発生させて画
像不良の原因となるので都合の悪いものであった。
止樹脂50に用いる樹脂として、オートクレーブの条件
に対応して十分なる防水性能を発揮できるものを選定す
ればよいのであるが、種々ある樹脂材料から、封止樹脂
50に適した樹脂材料を選定する方法がなく、その選定
方法の確立が望まれていた。
画像の乱れの原因となる水分の侵入を確実に防止するこ
とを課題としている。
に本発明は、撮像面が透明保護板で覆われた固体撮像素
子と、撮像面と透明保護板との接着端縁を被覆して接着
端縁に水分が侵入することを防止する封止樹脂とを備え
た固体撮像装置において、次の構成を有している。
記封止樹脂は、固体撮像装置が晒される含水環境の温
度、湿度及び固体撮像装置の含水環境滞留時間を変数と
したフィックの拡散法則から求められるこの封止樹脂の
水拡散距離より、樹脂露出面と前記接着端縁とにわたる
樹脂幅が広いものであるとして、接続不良、撮像画像の
乱れの原因となる水蒸気の侵入を防止した。
撮像面が透明保護板で覆われた固体撮像素子と、撮像面
と透明保護板との接着端縁を被覆して接着端縁に水分が
侵入することを防止する封止樹脂とを備えた固体撮像装
置であって、前記封止樹脂は、固体撮像装置が晒される
含水環境の温度、湿度及び固体撮像装置の含水環境滞留
時間を変数としたフィックの拡散法則から求められるこ
の封止樹脂の水拡散距離より、樹脂露出面と前記接着端
縁とにわたる樹脂幅が広いものであるとしており、これ
により次の作用を有する。すなわち、樹脂露出面から封
止樹脂内に多少の水分は浸透するが、樹脂露出面と接着
端縁とにわたる樹脂幅が封止樹脂の水拡散距離より広い
ため、固体撮像装置が含水環境に滞留する時間を超過し
ても水分は封止樹脂の内側の表面、すなわち、撮像面と
透明保護板との接着端縁まで達することはない。
1に係る発明において、収納筒を更に備えるとともに、
前記固体撮像素子を、前記透明保護板を筒端に露出させ
た状態でこの収納筒に収納しており、かつ、前記封止樹
脂は前記収納筒の内面と前記接着端縁との間に充填され
ており、これにより次の作用を有する。すなわち、収納
筒の筒端に露出している封止樹脂の露出面から封止樹脂
内に多少の水分は浸透するが、樹脂露出面と接着端縁と
にわたる樹脂幅が封止樹脂の水拡散距離より広いため、
固体撮像装置が含水環境に滞留する時間を超過しても水
分は封止樹脂の内側の表面である接着端縁まで達するこ
とはない。
1または2に係る発明において、前記接着端縁には、そ
の周面にわたってシランカップリング処理層ないしチタ
ンカップリング処理層が形成されており、これにより次
の作用を有する。すなわち、接着端縁と封止樹脂とがシ
ランカップリング処理層ないしチタンカップリング処理
層によって強固に接着されることになり、接着端縁と封
止樹脂との隙間から水分が浸透することがなくなる。
2に係る発明において、前記接着端縁および前記収納筒
の内面には、その周面にわたってシランカップリング処
理層ないしチタンカップリング処理層が形成されてお
り、これにより次の作用を有する。すなわち、接着端縁
と封止樹脂および収納筒内面と封止樹脂とがシランカッ
プリング処理層ないしチタンカップリング処理層によっ
て強固に密着されることになり、接着端縁と封止樹脂と
の隙間や、収納筒内面と封止樹脂との隙間から水分が浸
透することがなくなる。
2に係る固体撮像装置において、固体撮像素子を駆動す
る駆動回路部品を実装して前記収納筒に収納される回路
モジュールと、この回路モジュールを収納筒内に封入す
る充填樹脂とを更に備えており、かつ、前記充填樹脂の
熱膨張係数をαとし、前記回路モジュールの熱膨張係数
をβとすると、充填樹脂は、β×10≧α≧β×0.1
の値を満足する樹脂材料から構成されており、これによ
り次の作用を有する。すなわち、充填樹脂が熱膨張する
具合と回路モジュールが熱膨張する具合との間で隔たり
がほとんどなくなり、充填樹脂と回路モジュールとの熱
膨張具合の隔たりに起因する樹脂剥がれが発生しなくな
る。
材の一端に設けられた開放面とこの水密部材の内部に設
けられた水密箇所との間に充填されて前記開放面から前
記水密箇所に水分が侵入することを防止する封止樹脂の
選定方法であって、封止樹脂として、この水密部材が晒
される含水環境の温度、湿度及び水密部材の含水環境滞
留時間を変数としたフィックの拡散法則から求められる
水拡散距離が、前記開放面と前記水密箇所との間の離間
間隔より短い樹脂を選定しており、これにより、次の作
用を有する。すなわち、このようにして選定された封止
樹脂を用いると、封止樹脂の水拡散距離が開放面と水密
箇所とにわたる封止樹脂の幅より短いため、水密部材が
含水環境に滞留する時間を超過しても水分は封止樹脂の
内側の表面、すなわち、水密箇所まで達することはな
い。
面を参照しながら説明する。図1は本発明の一実施の形
態の固体撮像装置1の断面図である。
と、固体撮像素子2の撮像面3を若干の隙間3aを空け
て密封するガラス製の透明保護板4と、固体撮像素子2
を駆動する回路モジュール5と、セラミックベース板6
と、セラミックベース板6から突出するリード端子7
と、ステンレスの収納筒8と、封止樹脂9とを備えてい
る。回路モジュール5の間には電極ピン13が介装され
ており、固体撮像素子2と回路モジュール5とは、TA
Bリード10、セラミックべース板6の配線パターン
(図示省略)、および電極ピン13を介して接続されて
いる。また、回路モジュール5とリード端子7とは、電
極ピン13およびセラミックベース板6の配線パターン
(図示省略)を介して接続されている。
セラミックベース板6は順次積層配置されたうえで、リ
ード端子7を収納筒8から突出させて収納筒8に収納さ
れている。
なく収納筒8の隙間に充填されている。封止樹脂9は、
封止樹脂領域9aと充填樹脂領域9bとを有している。
封止樹脂領域9aは、封止樹脂9のうち、収納筒8内面
と透明保護板4との間に封入された領域を指しており、
この封止樹脂領域9aによって、外部から固体撮像素子
2と透明保護板4との接着端縁2aを介して隙間3a内
に水分が侵入するのを防止している。充填樹脂領域9b
は、封止樹脂領域9a以外の封止樹脂9の領域を指して
おり、この充填樹脂領域9bによって回路モジュール5
やセラミックベース板6は収納筒8内に封入されてい
る。封止樹脂9は、金属フィラの添加等により防水性能
を高めたエポキシ樹脂から構成されている。
0に固体撮像素子2との接続用に設けられたバンプであ
り、12は、アクリル樹脂からなりTABリード7と透
明保護板4とを接着する樹脂層であり、14は、透明保
護板4、固体撮像素子2、回路モジュール5,セラミッ
クべース板6、およびTABリード10からなる固体撮
像素子ユニットである。
って説明する。
プ法等によりAu等によりTABリード10に形成した
バンプ11と固体撮像素子2の電極パッド(図示省略)
とをシングルポイントボンディング法等により接続す
る。そして、図2(b)に示すように、TABリード1
0と固体撮像素子2を接続した部分にアクリル樹脂から
なる樹脂層12を塗布したうえで撮像面3上に透明保護
板4を載置し、樹脂層12によって透明保護板4を固体
撮像素子2に接着する。
回路モジュール5とセラミックベース板6とを積層配置
し、さらには、回路モジュール5どうしおよび回路モジ
ュール5とセラミックべース板6の配線パターン(図示
省略)とを、介装した電極ピン13によって接続する。
そして、図2(c)に示すように、回路モジュール5上
に、TABリード10を接続した固体撮像素子2とを配
置し、はんだによる熱圧着法等により、TABリード1
0をセラミックベース板6にOLB(アウターリードボ
ンディング)し、これにより、固体撮像素子ユニット1
4を形成する。
た固体撮像素子ユニット14を収納する収納筒8を用意
し、固体撮像素子14と収納筒8とにシランカップリン
グ処理を施して、その表面にシランカップリング処理層
15を形成する。シランカップリング処理は、固体撮像
素子ユニット14の表面および収納筒8の表面にシラン
系カップリング剤を塗布したのち、150℃で約100
分焼成し、図4のモデルに示めされるような層15を形
成することをいう。なお、シランカップリング処理層1
5は極薄い層であるので、図4にのみ図示し、その他の
図では図示を省略している。また、シランカップリング
処理層15に代えて、チタン系カップリング剤を用いた
チタンカップリング処理を施してなるチタンカップリン
グ処理層を形成してもよい。
のち、固体撮像素子ユニット14を収納筒8内に挿入配
置する。そして、収納筒8と固体撮像素子ユニット14
との間の隙間に封止樹脂9となる材料樹脂(例えば、金
属フィラを混入したエポキシ樹脂)を充分気泡を脱気し
た状態で隙間無く充填する。そして、充填した材料樹脂
に対して、例えば、(130℃,30分)→(160
℃,3時間)の熱処理を加えることで熱硬化させて封止
樹脂9を形成する。このとき、収納筒8や固体撮像素子
ユニット14の表面は、シランカップリング処理層15
が形成されているので、封止樹脂9は、収納筒8に対し
ても、また、固体撮像素子ユニット14に対して強固に
接着されることになる。そのため、収納筒8と封止樹脂
9との間や、固体撮像素子ユニット14と封止樹脂9と
の間に、水分の侵入を許容する隙間は形成されない。こ
のようにして、固体撮像装置1が作製される。
水性が要求される箇所は固体撮像素子2と透明保護板6
との接着端縁2aであり、接着端縁2aの防水性は封止
樹脂領域9aの封止樹脂充填量によって左右される。以
下、このことを説明する。
保護板側表面1aと、セラミックべース板側表面1bと
から水分が侵入するが、これら表面のうち、接着端縁2
aにより近接する表面、つまり、セラミックべース板側
表面1aから侵入してくる水分が、接着端縁2aの防水
を維持するうえで問題となる。
aとの間には、封止樹脂9の封止樹脂領域9aが介在し
ており、この封止樹脂領域9aによってセラミックべー
ス板表面1aから侵入する水分を遮断している。したが
って、140℃の飽和水蒸気環境で1回当たり20分行
うオートクレーブを所定回数(例えば3000回)行う
というオートクレーブの使用条件のもとでも、水分が封
止樹脂領域9aを拡散透過しなければ、接着端縁2aの
防水性は維持できる。
上記オートクレーブ条件での水の拡散距離Lを算出す
る。そして、セラミックべース板側表面1aから接着端
縁2aにわたる封止樹脂領域9aの樹脂幅(図1中,H
で表示)が、算出した上記拡散距離Lより長くなるよう
に封止樹脂領域9aの大きさを設定する。
た、フィック型拡散を示すエポキシ樹脂の一種の実験結
果の一例を示したものであって、横軸は時間t(ここで
は、√t)を示しており、縦軸は、平板上に薄く延ばし
た材料樹脂(エポキシ樹脂)に所望の条件(上記したオ
ートクレーブ条件)で水が吸脱着させたときにおける材
料樹脂(エポキシ樹脂)の重量変化率を示している。
ック型拡散を示す材料樹脂(エポキシ樹脂)における水
の拡散係数Dは次に示すの実験式に従う傾きθから一
般に求めることができる。
れている場合は樹脂の厚みの1/2が相当する) M(∞):材料樹脂の飽和重量 M(t):傾きθを持った部分の時間tにおける材料樹
脂の重量 この式を基にして、log{1−M(t)/M(∞)}に対す
る時間tのプロットを作製し、作製したプロットが直線
状となる領域(図5においてJで表示)の傾きθから材
料樹脂(エポキシ樹脂)の拡散係数Dを求めることがで
きる。図5の実験結果からは、上記オートクレーブ条件
での材料樹脂(エポキシ樹脂)における水の拡散係数D
は10.5(μm2/min)と算出できる。
料樹脂(エポキシ樹脂)を、上記したオートクレーブ条
件の元にt秒間晒した際の、材料樹脂(エポキシ樹脂)
における水粒子の平均拡散距離Lは次の式で表され
る。
て、材料樹脂(エポキシ樹脂)に水が拡散する距離(平
均拡散距離の平均値)Lは約1.6μmと計算できる。
m)より封止樹脂領域9aの幅Hが長くなるように封止
樹脂領域9aの大きさを設定すれば、この材料樹脂(エ
ポキシ樹脂)で構成された封止樹脂領域9aでは、接着
端縁2aから隙間3a内に水分が侵入することはなくな
る。この固体撮像装置1では、撮像素子2上に透明保護
板4を載置して、透明保護板4を露出させている構造
上、封止樹脂領域9aの幅Hは透明保護板4の厚みと同
等となっている。したがって、透明保護板4として、5
00μm程度の厚みを有するガラス板を用いる固体撮像
装置1において、拡散係数D=10.5μm2の材料樹
脂(エポキシ樹脂)からなる封止樹脂領域9aを形成す
れば、オートクレーブ処理を重ねて行っても、隙間3a
内に水分が侵入することはない。
9の材料樹脂として、エポキシ樹脂を例に説明したが、
本発明は、封止樹脂として他のシリコン樹脂等のフィッ
ク型拡散を示す樹脂を用いた場合であっても同様に適用
することができる。
樹脂と被接着物(固体撮像素子ユニット14や収納筒
8)との熱膨張率の差による剥がれを防止する必要があ
る。
なるのは透明保護板4)と封止樹脂9との間で樹脂剥が
れが発生した場合には、剥がれた場所から水が浸透して
隙間3aに侵入してしまう、 ・収納筒8と封止樹脂9との間で樹脂剥がれが発生する
場合には、収納筒8内面と接着端縁2aとのわたる封止
樹脂領域9aの厚み(図1でKで表示)も、上述の方法
で算出した平均拡散距離Lより大きくする必要があり、
封止樹脂領域9aの大きさの設計が複雑化する、といっ
た不都合が生じる。
収納筒8の内面や固体撮像素子ユニット14にシランカ
ップリング処理層15を形成することで、収納筒8や固
体撮像素子ユニット14の樹脂接着力を高めており、懸
念している樹脂剥がれは発生しない。
脂9との間で樹脂剥がれが発生しないようにするために
は、固体撮像素子ユニット14と封止樹脂9との間の熱
膨張係数の差が重要となる。この固体撮像装置1では、
封止樹脂9と固体撮像素子ユニット14との間で熱膨張
係数の差が1桁以下(封止樹脂9の熱膨張係数をαとし
て、固体撮像素子ユニット14の熱膨張係数をβとする
と、β×10≧α≧β×0.1の値を満足する)である
樹脂材料を封止樹脂9として用いている。そのため、固
体撮像素子ユニット14と封止樹脂9との間で樹脂剥が
れが発生することはない。
る樹脂材料の選定方法として規定した実施の形態につい
て、上述した固体撮像装置1を参照して説明する。すな
わち、幅Hの封止樹脂領域9aを有する固体撮像装置1
において、上述したオートクレーブの使用条件をクリア
して、隙間3aに水分が侵入しないようにするために
は、封止樹脂領域9aに充填する樹脂材料を次のように
選定すればよい。すなわち、上述した式や図5を元に
してオートクレーブ条件での各樹脂材料の拡散係数Dを
算出し、算出した拡散係数Dを上記式に代入すること
で拡散距離Lを算出する。そして、算出した拡散距離L
と、固体撮像装置1の封止樹脂領域9aの幅Hとを比較
し、L<Hとなる樹脂材料は封止樹脂領域9aに充填す
る樹脂材料に適しているとして選定する一方、L≧Hと
なる樹脂材料は封止樹脂領域9aに充填する樹脂材料に
適していないとして除外する。このようして、樹脂材料
を選定すれば、オートクレーブに起因する接続不良や画
像不良を未然に防止することができる。
な効果を奏する。
拡散距離より広いため、固体撮像装置が含水環境に滞留
する時間を超過しても水分は封止樹脂の内側の表面、す
なわち、撮像面と透明保護板との接着端縁まで達するこ
とはなくなる。そのため、オートクレーブ処理を行って
も、固体撮像素子の撮像面と透明保護板との間に水分が
浸入するがなくなり、水分の侵入に起因する接続不良、
撮像画像乱れを防止することができる。
隙間が形成されることがなくなり、さらに防水性能を高
めることができる。
る具合との間で隔たりがほとんど余りなくなり、充填樹
脂と回路モジュールとの熱膨張具合の隔たりに起因する
樹脂剥がれが発生しなくなり、さらに防水性能を高める
ことができる。
選定することができるようになり、水密箇所に水が侵入
することによる不都合を未然に防止することができる。
構造を示す断面図である。
工程をそれぞれ示す図である。
を示す図である。
を示す図である。
る。
素子 2a 接着端縁 3 撮像面 4 透明保護板 5 回路モジ
ュール 8 収納筒 9 封止樹脂 9a 封止樹脂領域 9b 充填樹脂
領域 14 固体撮像素子ユニット 15 シラン
カップリング処理層
Claims (6)
- 【請求項1】 撮像面が透明保護板で覆われた固体撮像
素子と、撮像面と透明保護板との接着端縁を被覆して接
着端縁に水分が侵入することを防止する封止樹脂とを備
えた固体撮像装置であって、 前記封止樹脂は、固体撮像装置が晒される含水環境の温
度、湿度及び固体撮像装置の含水環境滞留時間を変数と
したフィックの拡散法則から求められるこの封止樹脂の
水拡散距離より、樹脂露出面と前記接着端縁とにわたる
樹脂幅が広いものであることを特徴とする固体撮像装
置。 - 【請求項2】 請求項1記載の固体撮像装置であって、
収納筒を更に備えるとともに、前記固体撮像素子を、前
記透明保護板を筒端に露出させた状態でこの収納筒に収
納しており、 かつ、前記封止樹脂は、前記収納筒の内面と前記接着端
縁との間に充填されていることを特徴とする固体撮像装
置。 - 【請求項3】 請求項1または2記載の固体撮像装置で
あって、前記接着端縁には、その周面にわたってシラン
カップリング処理層ないしチタンカップリング処理層が
形成されていることを特徴とする固体撮像装置。 - 【請求項4】 請求項2記載の固体撮像装置であって、
前記接着端縁および前記収納筒の内面には、その周面に
わたってシランカップリング処理層ないしチタンカップ
リング処理層が形成されていることを特徴とする固体撮
像装置。 - 【請求項5】 請求項2記載の固体撮像装置であって、
固体撮像素子を駆動する駆動回路部品を実装して前記収
納筒に収納される回路モジュールと、この回路モジュー
ルを収納筒内に封入する充填樹脂とを更に備えており、 かつ、前記充填樹脂の熱膨張係数をαとし、前記回路モ
ジュールの熱膨張係数をβとすると、充填樹脂は、β×
10≧α≧β×0.1の値を満足する樹脂材料から構成
されていることを特徴とする固体撮像装置。 - 【請求項6】 水密部材の一端に設けられた開放面とこ
の水密部材の内部に設けられた水密箇所との間に充填さ
れて前記開放面から前記水密箇所に水分が侵入すること
を防止する封止樹脂の選定方法であって、 封止樹脂として、この水密部材が晒される含水環境の温
度、湿度及び水密部材の含水環境滞留時間を変数とした
フィックの拡散法則から求められる水拡散距離が前記開
放面と前記水密箇所との間の離間間隔より短い樹脂を選
定することを特徴とする封止樹脂の選定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15536096A JP3689180B2 (ja) | 1996-06-17 | 1996-06-17 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15536096A JP3689180B2 (ja) | 1996-06-17 | 1996-06-17 | 固体撮像装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH104185A true JPH104185A (ja) | 1998-01-06 |
| JP3689180B2 JP3689180B2 (ja) | 2005-08-31 |
Family
ID=15604216
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15536096A Expired - Fee Related JP3689180B2 (ja) | 1996-06-17 | 1996-06-17 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3689180B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008034505A (ja) * | 2006-07-27 | 2008-02-14 | Olympus Corp | 固体撮像装置 |
| US8018526B2 (en) | 2006-10-25 | 2011-09-13 | Panasonic Corporation | Optical device module, fabrication method thereof, optical device unit and fabrication method thereof |
| JP2017204494A (ja) * | 2016-05-09 | 2017-11-16 | オリンパス株式会社 | 医療機器用電子基板 |
| JP6980159B1 (ja) * | 2021-02-08 | 2021-12-15 | 三菱電機株式会社 | 表示装置および表示装置に接続される制御装置 |
-
1996
- 1996-06-17 JP JP15536096A patent/JP3689180B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008034505A (ja) * | 2006-07-27 | 2008-02-14 | Olympus Corp | 固体撮像装置 |
| US8018526B2 (en) | 2006-10-25 | 2011-09-13 | Panasonic Corporation | Optical device module, fabrication method thereof, optical device unit and fabrication method thereof |
| JP2017204494A (ja) * | 2016-05-09 | 2017-11-16 | オリンパス株式会社 | 医療機器用電子基板 |
| JP6980159B1 (ja) * | 2021-02-08 | 2021-12-15 | 三菱電機株式会社 | 表示装置および表示装置に接続される制御装置 |
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