JPH1045872A - Epoxy resin composition - Google Patents
Epoxy resin compositionInfo
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- JPH1045872A JPH1045872A JP23169396A JP23169396A JPH1045872A JP H1045872 A JPH1045872 A JP H1045872A JP 23169396 A JP23169396 A JP 23169396A JP 23169396 A JP23169396 A JP 23169396A JP H1045872 A JPH1045872 A JP H1045872A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は成形性、耐半田性に
優れた半導体封止用エポキシ樹脂組成物に関するもので
ある。The present invention relates to an epoxy resin composition for semiconductor encapsulation having excellent moldability and solder resistance.
【0002】[0002]
【従来の技術】IC、LSI等の半導体素子の封止方法
としてエポキシ樹脂のトランスファー成形による方法が
低コスト、大量生産に適した方法として採用されて久し
く、信頼性の面でもエポキシ樹脂や硬化剤であるフェノ
ール樹脂の改良により向上が図られてきた。しかし、近
年の電子機器の小型化、軽量化、高性能化の市場動向に
おいて、半導体の高集積化も年々進み、又半導体パッケ
ージの表面実装化が促進されるなかで、半導体封止用エ
ポキシ樹脂組成物(以下、樹脂組成物という)への要求
は益々厳しいものとなってきている。このため、従来か
らの樹脂組成物では解決出来ない問題点も出てきてい
る。その最大の問題点は、半導体パッケージの表面実装
の採用により、パッケージが半田浸漬、あるいはリフロ
ー工程で急激に200℃以上の高温にさらされるために
パッケージが割れたり、チップ、リードフレーム、イン
ナーリード上の各種メッキされた接合部分、あるいはL
OC構造のパッケージの場合は、ポリイミドテープ接着
剤等と封止樹脂との各界面で剥離が生じて、信頼性が著
しく低下する現象である。2. Description of the Related Art As a method for encapsulating semiconductor elements such as ICs and LSIs, a method by transfer molding of an epoxy resin has been employed as a method suitable for low cost and mass production for a long time. Improvements have been made by improving the phenol resin. However, in the recent market trend of miniaturization, weight reduction, and high performance of electronic devices, the integration of semiconductors has been increasing year by year, and the surface mounting of semiconductor packages has been promoted. Demands on compositions (hereinafter referred to as resin compositions) are becoming more and more severe. For this reason, a problem which cannot be solved by the conventional resin composition has come out. The biggest problem is the adoption of semiconductor package surface mounting, which causes the package to be exposed to high temperatures of 200 ° C or more during the solder immersion or reflow process, causing the package to crack, causing the chip, lead frame, and inner leads to be damaged. Various plated joints, or L
In the case of a package having an OC structure, peeling occurs at each interface between a polyimide tape adhesive or the like and a sealing resin, and this is a phenomenon in which reliability is significantly reduced.
【0003】更に、近年パッケージの薄型化に伴い、パ
ッケージ中に占める樹脂組成物の厚みが一段と薄くなっ
てきており、64M,256MDRAM用のパッケージ
は1mm厚のTSOPが主流となりつつある。これら薄
型パッケージでは樹脂組成物の成形時のパッケージ充填
性が良好で、金線変形が少なく、チップやリードフレー
ムの変形(チップシフトやダイパッドシフトと呼ぶ)の
ないことが重要であり、そのためには樹脂組成物は、成
形時に流動性に優れるていることが必要である。又成形
後のパッケージ内において気泡の残存(以下、ボイドと
いう)がないことも特に重要となる。半田処理による信
頼性不良を改良するために、樹脂組成物は低溶融粘度の
樹脂を使用し、溶融シリカ粉末の充填量を増加させるこ
とで、成形時の溶融樹脂組成物が低粘度で高流動性を維
持したまま低吸湿化、高強度化、低熱膨張化を達成し耐
半田性を向上させる手法が一般的となりつつある。エポ
キシ樹脂としては、特に常温では固体で、溶融時の粘度
が極端に低下する結晶性のエポキシ樹脂、特に代表的な
例としてはビフェニル型エポキシ樹脂が広く使用され始
めている(特開平5−175364、特開平5−343
570、特開平6−80763各号公報等)。しかしな
がら、従来の結晶性エポキシ樹脂、特にビフェニル型エ
ポキシ樹脂では、成形温度での溶融粘度が低い特徴はあ
ったものの、溶融シリカ粉末を少しでも高充填化しよう
とする技術動向に対しその流動性には限界があった。更
に、その主骨格であるビフェニル構造では2官能という
官能基数の限界もあり、熱時強度、ガラス転移温度等の
硬化物特性が低いという問題点も指摘されている。Further, in recent years, the thickness of the resin composition occupying in the package has been further reduced with the reduction in the thickness of the package, and a TSOP having a thickness of 1 mm is becoming the mainstream for packages for 64M and 256M DRAMs. In these thin packages, it is important that the package filling property of the resin composition during molding is good, there is little deformation of the gold wire, and there is no chip or lead frame deformation (called chip shift or die pad shift). It is necessary that the resin composition has excellent fluidity during molding. It is also particularly important that no bubbles remain (hereinafter referred to as voids) in the package after molding. In order to improve poor reliability due to soldering, the resin composition uses a resin with low melt viscosity and increases the filling amount of fused silica powder so that the molten resin composition during molding has a low viscosity and high flow A method of achieving low moisture absorption, high strength, and low thermal expansion while maintaining solderability and improving solder resistance has become common. As an epoxy resin, a crystalline epoxy resin which is solid at ordinary temperature and extremely lowers in viscosity when melted, particularly a biphenyl type epoxy resin as a typical example, has begun to be widely used (JP-A-5-175364, JP-A-5-343
570, JP-A-6-80763, etc.). However, conventional crystalline epoxy resins, especially biphenyl type epoxy resins, had the characteristic of low melt viscosity at the molding temperature, but their flowability was limited by the technical trend to increase the amount of fused silica powder even slightly. Had limitations. Furthermore, the biphenyl structure, which is the main skeleton, has a limit of the number of functional groups of two, and it is pointed out that the cured product characteristics such as the strength at heat and the glass transition temperature are low.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、薄型パッケ
ージでの充填性が良好で金線変形、チップシフトやダイ
パッドシフトの少ない、即ち、成形時に高流動性の特徴
を有し、しかも成形後のパッケージにボイド発生がな
く、更に耐半田性をはじめとする硬化物特性の良好な半
導体封止材料の開発を目的としてなされたものである。DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention has a good filling property in a thin package and has a small amount of gold wire deformation, a chip shift and a die pad shift, that is, has a feature of high fluidity at the time of molding, and furthermore, has a The purpose of the present invention is to develop a semiconductor encapsulant which is free from voids in the package and has good cured product characteristics including solder resistance.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】即ち、本発明は、(A)
一般式(1)で示されるエポキシ樹脂を総エポキシ樹脂
中に30重量%以上含むエポキシ樹脂、(B)150℃
における溶融粘度が5ポイズ以下のフェノール樹脂硬化
剤、特に好ましくは一般式(3)で示されるフェノール
樹脂硬化剤、(C)一般式(2)で示されるポリシロキ
サン化合物、(D)硬化促進剤、(E)溶融シリカ粉末
からなる樹脂組成物である。That is, the present invention provides (A)
An epoxy resin containing 30% by weight or more of the epoxy resin represented by the general formula (1) in the total epoxy resin, (B) 150 ° C.
A phenol resin curing agent having a melt viscosity of 5 poise or less, particularly preferably a phenol resin curing agent represented by the general formula (3), (C) a polysiloxane compound represented by the general formula (2), and (D) a curing accelerator. , (E) a resin composition comprising a fused silica powder.
【0006】[0006]
【化4】 Embedded image
【0007】[0007]
【化5】 Embedded image
【0008】[0008]
【化6】 (m≧0、n≧0、かつm+n≧0)Embedded image (M ≧ 0, n ≧ 0, and m + n ≧ 0)
【0009】以下に本発明を詳細に説明する。本発明に
用いられる一般式(1)のエポキシ樹脂は、通常スチル
ベン構造型エポキシ樹脂と呼ばれ、既に多くの研究が以
前よりなされ、報文も数多く発表されている。この構造
は剛直な平面ないし棒状構造を有していることで、分子
同士が配向しやすいため液晶や液晶性高分子の代表的構
造である。この構造のエポキシ樹脂を用いた樹脂組成物
は、硬化後、エポキシ樹脂の剛直な分子骨格及びその分
子同士の配向性に由来する熱時高強度、低吸湿率性を有
し、このため、耐半田性に優れる特徴がある。更に、せ
ん断応力によって分子が配向しやすいことから、低圧ト
ランスファー成形においても樹脂組成物の流動性が高
く、薄型パッケージへの充填性に優れる。Hereinafter, the present invention will be described in detail. The epoxy resin of the general formula (1) used in the present invention is usually called a stilbene structure type epoxy resin, and many studies have already been made and many reports have been published. This structure is a typical structure of a liquid crystal or a liquid crystalline polymer because the molecules have a rigid plane or rod-like structure and molecules are easily aligned. After curing, the resin composition using the epoxy resin having this structure has high strength at heat and low moisture absorption derived from the rigid molecular skeleton of the epoxy resin and the orientation of the molecules. It has the feature of excellent solderability. Further, since the molecules are easily oriented by the shear stress, the fluidity of the resin composition is high even in low-pressure transfer molding, and the filling property in a thin package is excellent.
【0010】一般式(1)で示されるエポキシ樹脂の具
体例としては、以下のものが挙げられるが、これらに限
るものでない。Specific examples of the epoxy resin represented by the general formula (1) include, but are not limited to, the following.
【化7】 本発明のエポキシ樹脂と併用可能なエポキシ樹脂とは、
エポキシ基を有するモノマー、オリゴマー、ポリマー全
般を指し、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、
オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ナフタレ
ン型エポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹
脂、ジシクロペンタジエン変性フェノール類のエポキシ
化樹脂等が挙げられるが、特に耐半田性に優れる樹脂組
成物を得るためには、ビフェノールジグリシジルエーテ
ル、テトラメチルビフェノールジグリシジルエーテル、
ハイドロキノンジグリシジルエーテル、テトラメチルビ
スフェノールFジグリシジルエーテル等に代表される室
温で結晶性を示すエポキシ樹脂が好適である。又、これ
らのエポキシ樹脂は、単独もしくは混合して用いても差
し支えない。本発明のエポキシ樹脂の使用割合は、総エ
ポキシ樹脂中の30重量%以上が望ましい。30重量%
未満では、この結晶性エポキシの特徴である成形時の高
流動性という特徴が発現しない。Embedded image The epoxy resin that can be used in combination with the epoxy resin of the present invention,
Monomers, oligomers, and polymers generally having an epoxy group, for example, bisphenol A type epoxy resin,
Orthocresol novolak type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, triphenolmethane type epoxy resin, epoxidized resin of dicyclopentadiene modified phenols and the like, in particular, in order to obtain a resin composition having excellent solder resistance, Biphenol diglycidyl ether, tetramethyl biphenol diglycidyl ether,
Epoxy resins that exhibit crystallinity at room temperature, such as hydroquinone diglycidyl ether and tetramethylbisphenol F diglycidyl ether, are preferred. These epoxy resins may be used alone or as a mixture. The use ratio of the epoxy resin of the present invention is desirably 30% by weight or more based on the total epoxy resin. 30% by weight
If it is less than 30, the characteristic of high flowability at the time of molding, which is a characteristic of this crystalline epoxy, is not exhibited.
【0011】本発明で用いられるフェノール樹脂硬化剤
は、150℃での溶融粘度が5ポイズ以下であることを
特徴とする。150℃での溶融粘度が5ポイズを越える
と、得られる樹脂組成物の溶融粘度が上昇するために成
形時の流動性が低下し、金型内の成形品の未充填や金線
変形、リードフレーム変形(いわゆるパッドシフト)が
発生する。フェノール樹脂の150℃での溶融粘度の測
定方法としては、ICIコーンプレート粘度計が簡便で
あり、かつ一般的である。フェノール樹脂硬化剤として
は、エポキシ樹脂と硬化反応を行い架橋構造を形成する
ことができるフェノール性水酸基を有するモノマー、オ
リゴマー、ポリマー全般を指し、具体的には、フェノー
ルノボラック樹脂、キシリレン変性フェノール樹脂、テ
ルペン変性フェノール樹脂、ジシクロペンタジエン変性
フェノール樹脂、ビスフェノールA、トリフェノールメ
タン等が例示されるが、これらに限定されるものではな
い。これらのフェノール樹脂硬化剤も単独もしくは併用
で用いることが可能である。又、各種フェノール樹脂硬
化剤を併用した場合の150℃で5ポイズ以下という溶
融粘度は、それぞれ単独のフェノール樹脂の溶融粘度の
数値を示すものでなく、使用した全てのフェノール樹脂
の溶融混合物の溶融粘度を指す。The phenolic resin curing agent used in the present invention is characterized by having a melt viscosity at 150 ° C. of 5 poise or less. When the melt viscosity at 150 ° C. exceeds 5 poise, the melt viscosity of the obtained resin composition increases, so that the fluidity during molding decreases, and the molded product in the mold is not filled, the wire is deformed, and the lead is not formed. Frame deformation (so-called pad shift) occurs. As a method for measuring the melt viscosity of a phenol resin at 150 ° C., an ICI cone-plate viscometer is simple and general. The phenolic resin curing agent refers to any monomer, oligomer, or polymer having a phenolic hydroxyl group capable of forming a crosslinked structure by performing a curing reaction with an epoxy resin, and specifically, a phenol novolak resin, a xylylene-modified phenol resin, Examples include terpene-modified phenolic resins, dicyclopentadiene-modified phenolic resins, bisphenol A, triphenolmethane, and the like, but are not limited thereto. These phenolic resin curing agents can be used alone or in combination. Also, the melt viscosity of 5 poise or less at 150 ° C. when various phenolic resin curing agents are used in combination does not indicate the numerical value of the melt viscosity of each phenolic resin alone, and the melt viscosity of all the used phenolic resin melt mixtures is not shown. Refers to viscosity.
【0012】しかし、樹脂組成物の耐半田性の観点から
特に効果のあるフェノール樹脂硬化剤としては、一般式
(2)で示されるキシリレン変性フェノール樹脂が好適
である。このフェノール樹脂は、通常はフェノールとp
−キシリレングリコールジメチルエーテル、或いはm−
キシリレングリコールジメチルエーテルとの重縮合反応
により合成される。この構造は低吸湿性、熱時の低弾性
率化、リードフレーム、チップ等の基材との高密着性を
有するため、吸湿した水分が半田処理により気化した際
に発生する応力を低減し、パッケージクラック発生の防
止効果が大きい。更に、一般式(2)の構造中のp−キ
シリレン骨格に対するm−キシリレン骨格の割合が増加
するにつれ、樹脂組成物の熱時強度が向上する特徴があ
り、より耐半田性に優れる傾向にある。However, a xylylene-modified phenol resin represented by the general formula (2) is preferable as a phenol resin curing agent that is particularly effective from the viewpoint of the solder resistance of the resin composition. This phenolic resin is usually phenol and p
-Xylylene glycol dimethyl ether or m-
It is synthesized by a polycondensation reaction with xylylene glycol dimethyl ether. This structure has low hygroscopicity, low modulus of elasticity when heated, and high adhesion to base materials such as lead frames and chips, reducing the stress generated when the absorbed moisture is vaporized by soldering. The effect of preventing package cracks is great. Furthermore, as the ratio of the m-xylylene skeleton to the p-xylylene skeleton in the structure of the general formula (2) increases, the resin composition has a feature that the strength at the time of heat is improved, and the resin composition tends to have more excellent solder resistance. .
【0013】本発明で用いられるポリシロキサンは、一
般式(1)で示されるエポキシ樹脂との組み合わせで、
特に優れた効果を有する成分である。前述したように一
般式(1)で示されるエポキシ樹脂は、その配向性の高
さに由来する高流動性及び硬化後の熱時高強度、低吸水
性に特徴がある。しかし、その配向性の高さに起因し
て、他の成分と加熱混練された樹脂組成物中においても
容易に部分的に結晶化し、不均一化する傾向が強い。こ
の部分的結晶化は加熱混練後の冷却工程及び低温での保
存状態で起こっており、単に結晶の融点以上の温度で他
の成分と加熱混練するだけでは防止することができな
い。この結晶化した部分は成形温度で容易に融解し、不
均一な液状エポキシドメインを形成する。このため、急
激な体積変化によるボイドの発生、あるいは成形時に未
反応エポキシ樹脂成分がバリとなり易いなど、成形性低
下を引き起こす。これらを防止する手段としては、エポ
キシ樹脂が溶融した状態でエポキシ樹脂中に一部相溶
し、かつ一部は非相溶性の界面活性作用を有するポリシ
ロキサンを添加することが効果的である。このポリシロ
キサン成分は、エポキシ樹脂とエポキシ樹脂以外の樹脂
成分や無機質充填材との親和性を向上させると共に、エ
ポキシ樹脂の結晶化を阻害する効果を有すものと考えら
れる。The polysiloxane used in the present invention is used in combination with an epoxy resin represented by the general formula (1):
It is a component having particularly excellent effects. As described above, the epoxy resin represented by the general formula (1) is characterized by high fluidity due to its high degree of orientation, high strength upon curing after curing, and low water absorption. However, due to the high degree of orientation, even in a resin composition heat-kneaded with other components, there is a strong tendency to easily partially crystallize and become non-uniform. This partial crystallization occurs in a cooling step after heat kneading and in a state of storage at a low temperature, and cannot be prevented only by heat kneading with other components at a temperature higher than the melting point of the crystal. This crystallized portion easily melts at the molding temperature, forming a non-uniform liquid epoxy domain. For this reason, voids are generated due to a sudden change in volume, or unreacted epoxy resin components tend to form burrs during molding, which causes deterioration in moldability. As a means for preventing these, it is effective to add a polysiloxane which is partially compatible with the epoxy resin in a molten state and partially incompatible with a surfactant. This polysiloxane component is considered to have an effect of improving the affinity between the epoxy resin and a resin component other than the epoxy resin or an inorganic filler, and inhibiting crystallization of the epoxy resin.
【0014】ポリシロキサン化合物中の主骨格であるS
i−O−Si結合は、エポキシ樹脂との相溶性がない
が、式(2)中のポリエーテル結合あるいはポリカプロ
ラクトン結合及び/又は有機官能基は、エポキシ樹脂と
の相溶性がある。式(3)のポリシロキサンの重合度
(l+m+n)は、5〜500が好ましく、5未満では
エポキシ樹脂との相溶性がよすぎるため、界面活性効果
が得られず、無機質充填材との親和性が向上しないう
え、耐熱性の低下を起こし、又500を越えると相溶性
に劣るため成形時にブリードして、金型汚れの原因とな
る。又ポリシロキサン中の有機官能基単位の数(l)は
30以下が好ましく、これを越えると樹脂組成物の成形
時の流動性が低下する。有機官能基としては、グリシジ
ル基、シクロヘキセンオキサイド基、カルボキシル基、
アミノ基が挙げられる。ポリシロキサン中のポリエーテ
ル結合又はポリカプロラクトン結合単位の数(m)は1
00以下が好ましく、これを越えると耐湿性低下の原因
となる。(l+m)は1以上が必要であり、又上記理由
から130以下が好ましい。更に、ポリエーテルの繰り
返し単位及びポリカプロラクトンの繰り返し単位は30
0以下が好ましい。300を越えると粘度上昇が著し
く、成形性を低下させると共に、耐湿性も低下する。S which is the main skeleton in the polysiloxane compound
The i-O-Si bond is not compatible with the epoxy resin, but the polyether bond or polycaprolactone bond and / or the organic functional group in the formula (2) is compatible with the epoxy resin. The polymerization degree (l + m + n) of the polysiloxane of the formula (3) is preferably from 5 to 500, and if it is less than 5, the compatibility with the epoxy resin is too good, so that no surface active effect can be obtained and the affinity with the inorganic filler is high. Is not improved, the heat resistance is lowered, and if it exceeds 500, the compatibility is inferior, so that it bleeds at the time of molding and causes mold contamination. Also, the number (l) of the organic functional group units in the polysiloxane is preferably 30 or less, and if it exceeds this, the fluidity during molding of the resin composition is reduced. Organic functional groups include glycidyl group, cyclohexene oxide group, carboxyl group,
An amino group is mentioned. The number (m) of polyether bond or polycaprolactone bond units in the polysiloxane is 1
It is preferably at most 00, and if it exceeds this, the moisture resistance may be reduced. (L + m) needs to be 1 or more, and is preferably 130 or less for the above reason. Furthermore, the repeating unit of polyether and the repeating unit of polycaprolactone have 30 units.
0 or less is preferable. If it exceeds 300, the viscosity rises remarkably, lowering the moldability and also lowering the moisture resistance.
【0015】本発明で用いられる硬化促進剤としては、
前記エポキシ樹脂とフェノール樹脂硬化剤との架橋反応
の触媒となりうるものを指し、具体的には1,8−ジア
ザビシクロ(5,4,0)ウンデセン−7等のアミジン
系化合物、トリフェニルホスフィン、テトラフェニルホ
スフォニウム・テトラフェニルボレート塩等の有機リン
系化合物、2−メチルイミダゾール等のイミダゾール化
合物等が例示できるがこれらに限定されるものではな
い。これらの硬化促進剤は単独であっても混合して用い
ても差し支えない。The curing accelerator used in the present invention includes:
It refers to a catalyst that can act as a catalyst for a crosslinking reaction between the epoxy resin and the phenol resin curing agent, and specifically includes an amidine-based compound such as 1,8-diazabicyclo (5,4,0) undecene-7, triphenylphosphine, or tetraphenylphosphine. Examples thereof include organic phosphorus compounds such as phenylphosphonium / tetraphenylborate salts and imidazole compounds such as 2-methylimidazole, but are not limited thereto. These curing accelerators may be used alone or as a mixture.
【0016】本発明で用いられる溶融シリカ粉末は、破
砕状、球状のいずれでも使用可能であるが、溶融シリカ
粉末の含有量を高め、かつ樹脂組成物の溶融粘度の上昇
を抑えるためには、球状シリカを主に用いる方が好まし
い。更に球状シリカの配合量を高めるためには、球状シ
リカの粒度分布をより広くとるよう調整することが望ま
しい。溶融シリカ粉末の配合量は、成形性と耐半田性と
のバランスから総樹脂組成物中に76〜94重量%含有
することが望ましい。溶融シリカの配合量が、76重量
%未満であると耐半田性が不十分であり、94重量%を
越えると低粘度の樹脂を用いても樹脂組成物の成形時の
流動性が低下して、金型内の成形品の未充填や金線変
形、チップシフト、ダイパッドシフトが発生する。本発
明の樹脂組成物は、(A)〜(E)までの必須成分以外
にも必要に応じて臭素化エポキシ樹脂、三酸化アンチモ
ン等の難燃剤、カップリング剤、カーボンブラックに代
表される着色剤、天然ワックス及び合成ワックス等の離
型剤等が適宜配合可能である。樹脂組成物とするには各
成分を混合後、加熱ニーダや熱ロールにより加熱混練
し、続いて冷却、粉砕することで目的とする樹脂組成物
が得られる。The fused silica powder used in the present invention can be used in any of a crushed form and a spherical form. However, in order to increase the content of the fused silica powder and to suppress an increase in the melt viscosity of the resin composition, It is preferable to use mainly spherical silica. In order to further increase the content of the spherical silica, it is desirable to adjust the particle size distribution of the spherical silica to be wider. The amount of the fused silica powder is desirably 76 to 94% by weight in the total resin composition in view of the balance between moldability and solder resistance. If the amount of the fused silica is less than 76% by weight, the solder resistance is insufficient. If the amount exceeds 94% by weight, the flowability of the resin composition during molding is reduced even when a low-viscosity resin is used. Unfilled molded products in the mold, deformation of the gold wire, chip shift, and die pad shift occur. In addition to the essential components (A) to (E), the resin composition of the present invention may be colored as typified by a brominated epoxy resin, a flame retardant such as antimony trioxide, a coupling agent, and carbon black, if necessary. Agents, release agents such as natural waxes and synthetic waxes, and the like can be appropriately compounded. In order to obtain a resin composition, the components are mixed, heated and kneaded with a heating kneader or a hot roll, and then cooled and pulverized to obtain a desired resin composition.
【0017】以下、本発明を実施例で具体的に説明す
る。 実施例1 前記式(5)で示されるエポキシ樹脂(融点124℃) 3.8重量部Hereinafter, the present invention will be described specifically with reference to Examples. Example 1 3.8 parts by weight of an epoxy resin represented by the above formula (5) (melting point: 124 ° C.)
【0018】 式(7−1)で示されるキシリレン変性フェノール樹脂(但し、mは1以上の 混合品であり、m≧6成分の存在は32%である)(150℃の溶融粘度2.8 ポイズ、水酸基当量170) 4.2重量部A xylylene-modified phenol resin represented by the formula (7-1) (where m is a mixture of at least 1 and m ≧ 6 components are 32%) (melt viscosity at 150 ° C. 2.8) Poise, hydroxyl equivalent 170) 4.2 parts by weight
【化8】 Embedded image
【0019】 式(8)で示されるポリシロキサン 0.5重量部0.5 parts by weight of a polysiloxane represented by the formula (8)
【化9】 Embedded image
【0020】 トリフェニルホスフィン 0.2重量部 球状溶融シリカ 88.0重量部 γーグリシドキシプロピルトリメトキシシラン 0.5重量部 三酸化アンチモン 1 重量部 臭素化ビスフェノールA型エポキシ樹脂 1 重量部 カルナバワックス 0.5重量部 カーボンブラック 0.3重量部 上記の全成分をミキサーにより混合した後、表面温度が
90℃と45℃の2本ロールを用いて30回混練し、得
られた混練物シートを冷却後粉砕して、樹脂組成物とし
た。得られた樹脂組成物の特性を以下の方法で評価をし
た。評価結果を表1に示す。Triphenylphosphine 0.2 parts by weight Spherical fused silica 88.0 parts by weight γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane 0.5 parts by weight Antimony trioxide 1 part by weight Brominated bisphenol A type epoxy resin 1 part by weight Carnauba Wax 0.5 part by weight Carbon black 0.3 part by weight After mixing all of the above components with a mixer, kneading was performed 30 times using two rolls having a surface temperature of 90 ° C. and 45 ° C. to obtain a kneaded material sheet. Was cooled and pulverized to obtain a resin composition. The properties of the obtained resin composition were evaluated by the following methods. Table 1 shows the evaluation results.
【0021】評価方法 スパイラルフロー:EMMI−1−66に準じたスパイ
ラルフロー測定用の金型を用いて、金型温175℃、注
入圧力70kg/cm2、硬化時間2分で測定した。 耐半田性:100ピンTQFPパッケージ(パッケージ
サイズは,14×14mm、厚み1.4mm,シリコン
チップはサイズ8.0×8.0mm、リードフレームは
鉄/ニッケル合金(42アロイ)、チップとインナーリ
ードとの間には5μm長の金線をボンディングしてい
る)を175℃の金型温度、75kg/cm2の射出圧
力で2分間トランスファー成形を行い、175℃で8時
間で、後硬化した。成形品パッケージを85℃、相対湿
度85%の環境下で168時間放置し、その後240℃
の半田槽に10秒間浸漬した。顕微鏡でパッケージを観
察し、外部クラック数をクラック発生パッケージ数 /
全パッケージ数の%表示で表した。 ボイド:耐半田性評価で成形した100ピンTQFPパ
ッケージ中に存在するボイドの数を超音波探傷装置を用
いて観察した。1パッケージ中のボイドの数を表した。 金線変形量:耐半田性評価で成形した100ピンTQF
Pパッケージを軟X線透視装置で観察し、金線の変形率
を流れ量/金線長で%表示した。 熱時強度:240℃での曲げ強さをJIS−K6911
の試験条件により測定した。 吸湿率:50mmφ、2mm厚の成形円盤を85℃,相
対湿度85%の環境下に168時間放置後 の重量増加
率により吸湿率を算出した。Evaluation method Spiral flow: Measurement was performed using a mold for measuring spiral flow according to EMMI-1-66, at a mold temperature of 175 ° C., an injection pressure of 70 kg / cm 2 , and a curing time of 2 minutes. Solder resistance: 100-pin TQFP package (package size: 14 x 14 mm, thickness: 1.4 mm, silicon chip size: 8.0 x 8.0 mm, lead frame: iron / nickel alloy (42 alloy), chip and inner lead A gold wire having a length of 5 μm was bonded between them), and transfer molding was performed at a mold temperature of 175 ° C. and an injection pressure of 75 kg / cm 2 for 2 minutes, and post-cured at 175 ° C. for 8 hours. The molded product package is left for 168 hours in an environment of 85 ° C. and 85% relative humidity, and then 240 ° C.
For 10 seconds. Observe the package with a microscope and determine the number of external cracks
Expressed in% of the total number of packages. Voids: The number of voids present in a 100-pin TQFP package formed by solder resistance evaluation was observed using an ultrasonic flaw detector. The number of voids in one package is shown. Gold wire deformation: 100-pin TQF molded by soldering resistance evaluation
The P package was observed with a soft X-ray fluoroscope, and the deformation rate of the gold wire was expressed as% by flow amount / gold wire length. Heat strength: Flexural strength at 240 ° C. is determined according to JIS-K6911.
The test conditions were as follows. Moisture absorption: The moisture absorption was calculated from the rate of weight increase after leaving a molded disk of 50 mmφ and 2 mm thickness in an environment of 85 ° C. and 85% relative humidity for 168 hours.
【0022】実施例2〜4、比較例1〜4 実施例1の配合に替えて、表1に示す割合で各成分を配
合し、実施例1と同様に混合、混練して樹脂組成物を得
た。実施例1と同様に評価を行った。評価結果を表1に
示す。なお、表1に示すエポキシ樹脂(4)は、前述の
式(4)と同一のものであり、融点は146℃である。
フェノール樹脂(7−2)、(9)及びポリシロキサン
(10)、(11)、(12)、(13)の構造を下記
に示す。Examples 2 to 4 and Comparative Examples 1 to 4 In place of the composition of Example 1, each component was blended in the ratio shown in Table 1, and mixed and kneaded in the same manner as in Example 1 to obtain a resin composition. Obtained. Evaluation was performed in the same manner as in Example 1. Table 1 shows the evaluation results. The epoxy resin (4) shown in Table 1 is the same as the above-described formula (4), and has a melting point of 146 ° C.
The structures of the phenolic resins (7-2) and (9) and the polysiloxanes (10), (11), (12) and (13) are shown below.
【0023】[0023]
【化10】 (但し、mは1以上の混合品であり、m≧6成分の存在
割合は60%である。150℃での溶融粘度7.8ポイ
ズ、水酸基当量168)Embedded image (However, m is a mixture of 1 or more, and the proportion of m ≧ 6 components is 60%. Melt viscosity at 150 ° C. 7.8 poise, hydroxyl equivalent 168)
【0024】[0024]
【化11】 (但し、重量比でm/n=3/1、m+nは1以上混合
品であり、m+n≧6成分の存在割合は40%である。
150℃の溶融粘度3.3ポイズ、水酸基当量170)Embedded image (However, m / n = 3/1 by weight ratio, m + n is a mixture of 1 or more, and the proportion of m + n ≧ 6 components is 40%.)
Melt viscosity at 150 ° C 3.3 poise, hydroxyl equivalent 170)
【0025】[0025]
【化12】 Embedded image
【0026】[0026]
【表1】 [Table 1]
【0027】[0027]
【発明の効果】本発明の樹脂組成物は、薄型パッケージ
においても充填性に優れ、かつボイドが皆無の成形品を
得ることができる。更に、本発明の樹脂組成物で封止さ
れた半導体パッケージは、熱時強度、低吸湿性に優れる
ために耐半田性に優れている。The resin composition of the present invention can provide a molded article having excellent filling properties even in a thin package and having no voids. Furthermore, the semiconductor package sealed with the resin composition of the present invention has excellent heat resistance and low moisture absorption, and thus has excellent solder resistance.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 23/31 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Agency reference number FI Technical display location H01L 23/31
Claims (2)
樹脂を総エポキシ樹脂中に30重量%以上含むエポキシ
樹脂、(B)150℃における溶融粘度が5ポイズ以下
のフェノール樹脂硬化剤、(C)一般式(2)で示され
るポリシロキサン化合物、(D)硬化促進剤、(E)溶
融シリカ粉末からなることを特徴とする半導体封止用エ
ポキシ樹脂組成物。 【化1】 【化2】 (A) an epoxy resin containing 30% by weight or more of the epoxy resin represented by the general formula (1) in the total epoxy resin, (B) a phenol resin curing agent having a melt viscosity at 150 ° C. of 5 poise or less, An epoxy resin composition for semiconductor encapsulation comprising (C) a polysiloxane compound represented by the general formula (2), (D) a curing accelerator, and (E) fused silica powder. Embedded image Embedded image
下のフェノール樹脂硬化剤が、一般式(3)で示される
フェノール樹脂硬化剤である請求項1記載の半導体封止
用エポキシ樹脂組成物。 【化3】 (m≧0、n≧0、かつm+n≧0)2. The epoxy resin composition for semiconductor encapsulation according to claim 1, wherein the phenol resin curing agent having a melt viscosity at 150 ° C. of 5 poise or less is a phenol resin curing agent represented by the general formula (3). Embedded image (M ≧ 0, n ≧ 0, and m + n ≧ 0)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23169396A JPH1045872A (en) | 1996-05-31 | 1996-09-02 | Epoxy resin composition |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8-139101 | 1996-05-31 | ||
| JP13910196 | 1996-05-31 | ||
| JP23169396A JPH1045872A (en) | 1996-05-31 | 1996-09-02 | Epoxy resin composition |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1045872A true JPH1045872A (en) | 1998-02-17 |
Family
ID=26472006
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23169396A Withdrawn JPH1045872A (en) | 1996-05-31 | 1996-09-02 | Epoxy resin composition |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1045872A (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008127455A (en) * | 2006-11-20 | 2008-06-05 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | Epoxy resin composition, sealing epoxy resin composition, and electronic component device |
| JP2010144016A (en) * | 2008-12-17 | 2010-07-01 | Nitto Denko Corp | Epoxy resin composition for sealing optical semiconductor element, and optical semiconductor device using the same |
| JP2011506750A (en) * | 2007-12-18 | 2011-03-03 | ダウ グローバル テクノロジーズ インコーポレイティド | Thermosetting compositions containing silicone polyethers, their manufacture and use |
| JP2011512441A (en) * | 2008-02-15 | 2011-04-21 | ダウ グローバル テクノロジーズ リミティド ライアビリティ カンパニー | Thermosetting composition comprising silicone polyether, its manufacture and use |
| WO2014061812A1 (en) | 2012-10-19 | 2014-04-24 | 三菱瓦斯化学株式会社 | Resin composition, prepreg, laminate, and printed wiring board |
-
1996
- 1996-09-02 JP JP23169396A patent/JPH1045872A/en not_active Withdrawn
Cited By (7)
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| WO2014061812A1 (en) | 2012-10-19 | 2014-04-24 | 三菱瓦斯化学株式会社 | Resin composition, prepreg, laminate, and printed wiring board |
| KR20150072425A (en) | 2012-10-19 | 2015-06-29 | 미츠비시 가스 가가쿠 가부시키가이샤 | Resin composition, prepreg, laminate, and printed wiring board |
| US9902851B2 (en) | 2012-10-19 | 2018-02-27 | Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. | Resin composition, prepreg, laminate, and printed wiring board |
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