JPH1048047A - インターフェログラムの測定方法 - Google Patents
インターフェログラムの測定方法Info
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- JPH1048047A JPH1048047A JP21796896A JP21796896A JPH1048047A JP H1048047 A JPH1048047 A JP H1048047A JP 21796896 A JP21796896 A JP 21796896A JP 21796896 A JP21796896 A JP 21796896A JP H1048047 A JPH1048047 A JP H1048047A
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 18
- 238000005033 Fourier transform infrared spectroscopy Methods 0.000 description 8
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- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 単位時間当たりに測定できるデータ数を増や
し、測定効率を向上させることができるインターフェロ
グラムの測定方法を提供すること。 【解決手段】 光源３からの光Ｌを干渉計７を介してセ
ル８に照射するようにしたフーリエ変換分光法におい
て、分析部１から出力されるインターフェログラムＩＦ
を、干渉計７における可動ミラー６の往動時および復動
時の両方においてサンプリングするようにした。
し、測定効率を向上させることができるインターフェロ
グラムの測定方法を提供すること。 【解決手段】 光源３からの光Ｌを干渉計７を介してセ
ル８に照射するようにしたフーリエ変換分光法におい
て、分析部１から出力されるインターフェログラムＩＦ
を、干渉計７における可動ミラー６の往動時および復動
時の両方においてサンプリングするようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、フーリエ変換分
光法において用いられるインターフェログラムの測定方
法に関する。
光法において用いられるインターフェログラムの測定方
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】フーリエ変換分光法を用いた計測装置の
一つに、フーリエ変換赤外分光計（ＦＴＩＲ）がある。
このＦＴＩＲは、例えば図３に示すように構成されてい
る。すなわち、この図において、１は分析部、２はこの
分析部１の出力であるインターフェログラムを処理する
データ処理部である。分析部１は、赤外光源３と、ビー
ムスプリッタ４、固定ミラー５、図外の駆動機構によっ
て例えばＸ−Ｙ方向に平行移動してスキャンする可動ミ
ラー６からなる干渉計７と、測定試料などを収容し、干
渉計７を介して赤外光源３からの赤外光Ｌが照射される
セル８と、半導体検出器９とから構成されている。
一つに、フーリエ変換赤外分光計（ＦＴＩＲ）がある。
このＦＴＩＲは、例えば図３に示すように構成されてい
る。すなわち、この図において、１は分析部、２はこの
分析部１の出力であるインターフェログラムを処理する
データ処理部である。分析部１は、赤外光源３と、ビー
ムスプリッタ４、固定ミラー５、図外の駆動機構によっ
て例えばＸ−Ｙ方向に平行移動してスキャンする可動ミ
ラー６からなる干渉計７と、測定試料などを収容し、干
渉計７を介して赤外光源３からの赤外光Ｌが照射される
セル８と、半導体検出器９とから構成されている。
【０００３】前記データ処理部２は、例えばコンピュー
タよりなり、インターフェログラムを加算平均し、その
加算平均出力を高速フーリエ変換（Ｆａｓｔ Ｆｏｕｒ
ｉｅｒ Ｔｒａｎｓｆｏｒｍ、以下、単にＦＦＴとい
う）し、吸収スペクトルを得るように構成されている。
タよりなり、インターフェログラムを加算平均し、その
加算平均出力を高速フーリエ変換（Ｆａｓｔ Ｆｏｕｒ
ｉｅｒ Ｔｒａｎｓｆｏｒｍ、以下、単にＦＦＴとい
う）し、吸収スペクトルを得るように構成されている。
【０００４】そして、図４は、従来のＦＴＩＲにおける
信号処理系の構成を概略的に示すもので、この図におい
て、１０は分析部１（図３参照）の検出器９から出力さ
れるインターフェログラムＩＦを適宜増幅するプリアン
プ、１１はＡ／Ｄ変換器、１２は制御や演算などを行う
ＣＰＵである。また、１３は干渉計７（図３参照）の駆
動回路、１４は表示装置やメモリ装置を備えたパーソナ
ルコンピュータ（以下、単にパソコンという）である。
信号処理系の構成を概略的に示すもので、この図におい
て、１０は分析部１（図３参照）の検出器９から出力さ
れるインターフェログラムＩＦを適宜増幅するプリアン
プ、１１はＡ／Ｄ変換器、１２は制御や演算などを行う
ＣＰＵである。また、１３は干渉計７（図３参照）の駆
動回路、１４は表示装置やメモリ装置を備えたパーソナ
ルコンピュータ（以下、単にパソコンという）である。
【０００５】上記構成のＦＴＩＲにおいては、次のよう
にして分析することができる。すなわち、セル８に比較
試料または測定試料をそれぞれ収容して、赤外光源３か
らの赤外光Ｌをセル８に照射し、比較試料および測定試
料のインターフェログラムＩＦを測定する。これらのイ
ンターフェログラムＩＦをデータ処理部２において、そ
れぞれＦＦＴしてパワースペクトルを得た後、比較試料
のパワースペクトルに対する測定試料のパワースペクト
ルの比を求め、透過率スペクトルあるいは吸光度スペク
トルを得て、定性分析または定量分析を行う。
にして分析することができる。すなわち、セル８に比較
試料または測定試料をそれぞれ収容して、赤外光源３か
らの赤外光Ｌをセル８に照射し、比較試料および測定試
料のインターフェログラムＩＦを測定する。これらのイ
ンターフェログラムＩＦをデータ処理部２において、そ
れぞれＦＦＴしてパワースペクトルを得た後、比較試料
のパワースペクトルに対する測定試料のパワースペクト
ルの比を求め、透過率スペクトルあるいは吸光度スペク
トルを得て、定性分析または定量分析を行う。
【０００６】ところで、インターフェログラムＩＦのサ
ンプリングに際しては、干渉計７における可動ミラー６
を、ビームスプリッタ４と可動ミラー６との間の光路長
（以下、単に光路長という）が減少する方向（図３にお
いて矢印Ｘで示す方向）と光路長が増加する方向（図３
において矢印Ｙで示す方向）とに往復動させるようにし
てスキャンするが、従来においては、データサンプリン
グを、図５に示すように、前記可動ミラー６の１回の往
復動作のうち、往動または復動のいずれか一方のみにお
いて行い、サンプリングを行ってないときは、ＣＰＵ１
２はデータ演算を行ったり、パソコンなど外部の装置１
４にデータ転送を行うようにしていた。
ンプリングに際しては、干渉計７における可動ミラー６
を、ビームスプリッタ４と可動ミラー６との間の光路長
（以下、単に光路長という）が減少する方向（図３にお
いて矢印Ｘで示す方向）と光路長が増加する方向（図３
において矢印Ｙで示す方向）とに往復動させるようにし
てスキャンするが、従来においては、データサンプリン
グを、図５に示すように、前記可動ミラー６の１回の往
復動作のうち、往動または復動のいずれか一方のみにお
いて行い、サンプリングを行ってないときは、ＣＰＵ１
２はデータ演算を行ったり、パソコンなど外部の装置１
４にデータ転送を行うようにしていた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
サンプリング方法では、可動ミラー６を高速でスキャン
のスタートポイントに戻しても、次のスキャンに入れな
い場合があり、１回のスキャンと次のスキャンとの間で
のデータ測定の時間が少なく、単位時間当たりに測定で
きるデータ量が少なくなり、測定効率が必ずしもよくな
く、これに伴い、一定測定時間当たりのＳ／Ｎにおいて
改善すべき余地があった。
サンプリング方法では、可動ミラー６を高速でスキャン
のスタートポイントに戻しても、次のスキャンに入れな
い場合があり、１回のスキャンと次のスキャンとの間で
のデータ測定の時間が少なく、単位時間当たりに測定で
きるデータ量が少なくなり、測定効率が必ずしもよくな
く、これに伴い、一定測定時間当たりのＳ／Ｎにおいて
改善すべき余地があった。
【０００８】この発明は、上述の事柄に留意してなされ
たもので、その目的は、単位時間当たりに測定できるデ
ータ数を増やし、測定効率を向上させることができるイ
ンターフェログラムの測定方法を提供することである。
たもので、その目的は、単位時間当たりに測定できるデ
ータ数を増やし、測定効率を向上させることができるイ
ンターフェログラムの測定方法を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明では、光源からの光を干渉計を介してセル
に照射するようにしたフーリエ変換分光法において、分
析部から出力されるインターフェログラムを、干渉計に
おける可動ミラーの往動時および復動時の両方において
サンプリングするようにしている。
め、この発明では、光源からの光を干渉計を介してセル
に照射するようにしたフーリエ変換分光法において、分
析部から出力されるインターフェログラムを、干渉計に
おける可動ミラーの往動時および復動時の両方において
サンプリングするようにしている。
【００１０】上記インターフェログラムの測定方法によ
れば、単位時間当たりに測定できるデータ量が増大し、
測定効率が向上するとともに、一定測定時間当たりのＳ
／Ｎが向上する。
れば、単位時間当たりに測定できるデータ量が増大し、
測定効率が向上するとともに、一定測定時間当たりのＳ
／Ｎが向上する。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、この発明の好ましい実施例
を、図を参照しながら説明する。以下の説明において、
図３および図４に示した符号と同一のものは同一物また
は相当物を示す。
を、図を参照しながら説明する。以下の説明において、
図３および図４に示した符号と同一のものは同一物また
は相当物を示す。
【００１２】図１および図２は、この発明の一実施例を
示す。まず、図１は、この発明のインターフェログラム
の測定方法を実施するための構成を概略的に示すもの
で、例えばＦＴＩＲにおける信号処理系の構成の一例を
示す。この図において、１５〜１７はＡ／Ｄ変換器１１
の出力側に互いに直列な状態で設けられる第１〜第３Ｃ
ＰＵである。１８は干渉計７の駆動回路、１９は外部装
置としての例えばパソコンで、適宜の表示装置やメモリ
装置を備えている。
示す。まず、図１は、この発明のインターフェログラム
の測定方法を実施するための構成を概略的に示すもの
で、例えばＦＴＩＲにおける信号処理系の構成の一例を
示す。この図において、１５〜１７はＡ／Ｄ変換器１１
の出力側に互いに直列な状態で設けられる第１〜第３Ｃ
ＰＵである。１８は干渉計７の駆動回路、１９は外部装
置としての例えばパソコンで、適宜の表示装置やメモリ
装置を備えている。
【００１３】より詳しくは、前記第１ＣＰＵ１５は、Ａ
／Ｄ変換器１１においてディジタル信号に変換されたデ
ータを取り込み、これを第２ＣＰＵ１６に高速転送する
とともに、干渉計７の駆動回路１８を制御する。そし
て、第２ＣＰＵ１６は、第１ＣＰＵ１５から高速転送さ
れたデータを加算平均し、その加算平均出力をＦＦＴ
し、吸収スペクトルを求めて、これのデータ信号を第３
ＣＰＵ１７に出力する。また、第３ＣＰＵ１７は、第２
ＣＰＵ１６からのスペクトルデータをパソコン１９に出
力する。さらに、パソコン１９は、第３ＣＰＵ１７から
送られてきたデータに基づいてスペクトルを画面に表示
したり、スペクトルデータをメモリ内に格納する。
／Ｄ変換器１１においてディジタル信号に変換されたデ
ータを取り込み、これを第２ＣＰＵ１６に高速転送する
とともに、干渉計７の駆動回路１８を制御する。そし
て、第２ＣＰＵ１６は、第１ＣＰＵ１５から高速転送さ
れたデータを加算平均し、その加算平均出力をＦＦＴ
し、吸収スペクトルを求めて、これのデータ信号を第３
ＣＰＵ１７に出力する。また、第３ＣＰＵ１７は、第２
ＣＰＵ１６からのスペクトルデータをパソコン１９に出
力する。さらに、パソコン１９は、第３ＣＰＵ１７から
送られてきたデータに基づいてスペクトルを画面に表示
したり、スペクトルデータをメモリ内に格納する。
【００１４】次に、この発明のインターフェログラムの
測定方法について、図２および図３をも参照しながら説
明する。セル８に比較試料または測定試料をそれぞれ収
容して、赤外光源３からの赤外光Ｌをセル８に照射し、
比較試料および測定試料のインターフェログラムＩＦを
測定する。このインターフェログラムＩＦの測定は、干
渉計７における可動ミラー６を、図３において矢印Ｘ，
Ｙ方向に往復移動させることによって行われる。このと
きのインターフェログラムＩＦは、検出器９において電
気信号に変換され、プリアンプ１０で適宜増幅された
後、Ａ／Ｄ変換器１１でディジタル信号に変換される。
測定方法について、図２および図３をも参照しながら説
明する。セル８に比較試料または測定試料をそれぞれ収
容して、赤外光源３からの赤外光Ｌをセル８に照射し、
比較試料および測定試料のインターフェログラムＩＦを
測定する。このインターフェログラムＩＦの測定は、干
渉計７における可動ミラー６を、図３において矢印Ｘ，
Ｙ方向に往復移動させることによって行われる。このと
きのインターフェログラムＩＦは、検出器９において電
気信号に変換され、プリアンプ１０で適宜増幅された
後、Ａ／Ｄ変換器１１でディジタル信号に変換される。
【００１５】そして、図２おいて符号ｔ1 〜ｔ2 で示す
期間、可動ミラー６が図３において矢印Ｘ方向に動く例
えば往動時に、第１ＣＰＵ１５が前記ディジタル信号に
変換されたインターフェログラムＩＦをサンプリング
し、これをそのメモリ内にデータとして格納する。
期間、可動ミラー６が図３において矢印Ｘ方向に動く例
えば往動時に、第１ＣＰＵ１５が前記ディジタル信号に
変換されたインターフェログラムＩＦをサンプリング
し、これをそのメモリ内にデータとして格納する。
【００１６】次いで、図２おいて符号ｔ3 〜ｔ4 で示す
期間、可動ミラー６が図３において矢印Ｙ方向に動く復
動時に、第１ＣＰＵ１５がディジタル信号に変換された
インターフェログラムＩＦをサンプリングする。そし
て、この期間ｔ3 〜ｔ4 においては、第１ＣＰＵ１５の
メモリに取り込まれたデータは、第２ＣＰＵ１６に高速
転送される。そして、第２ＣＰＵ１６では、高速転送さ
れたデータを加算平均し、その加算平均出力をＦＦＴ
し、吸収スペクトルのデータを得る。
期間、可動ミラー６が図３において矢印Ｙ方向に動く復
動時に、第１ＣＰＵ１５がディジタル信号に変換された
インターフェログラムＩＦをサンプリングする。そし
て、この期間ｔ3 〜ｔ4 においては、第１ＣＰＵ１５の
メモリに取り込まれたデータは、第２ＣＰＵ１６に高速
転送される。そして、第２ＣＰＵ１６では、高速転送さ
れたデータを加算平均し、その加算平均出力をＦＦＴ
し、吸収スペクトルのデータを得る。
【００１７】前記処理されたデータは、第３ＣＰＵ１７
に入力され、これを経てパソコン１９に送られ、パソコ
ン１９に付設されている表示装置の画面に吸収スペクト
ルとして表示されたり、メモリ装置に格納される。
に入力され、これを経てパソコン１９に送られ、パソコ
ン１９に付設されている表示装置の画面に吸収スペクト
ルとして表示されたり、メモリ装置に格納される。
【００１８】以下、上述の処理を繰り返し連続的に行
う。つまり、可動ミラー６の往動時および復動時のいず
れにおいても、データサンプリングを行うのである。こ
のようにすることによって、単位時間当たりに測定でき
るデータ数を増やすことができ、測定効率がほぼ２倍に
なり、したがって、少ない測定時間で高Ｓ／Ｎが得られ
る。
う。つまり、可動ミラー６の往動時および復動時のいず
れにおいても、データサンプリングを行うのである。こ
のようにすることによって、単位時間当たりに測定でき
るデータ数を増やすことができ、測定効率がほぼ２倍に
なり、したがって、少ない測定時間で高Ｓ／Ｎが得られ
る。
【００１９】上記実施例においては、３つのＣＰＵ１５
〜１７を設けているが、これに限られるものではなく、
ＣＰＵの能力によっては、これを２つ用いてもよく、ま
た、４以上のＣＰＵを用いてもよく、さらには、非常に
高速な処理が可能なＣＰＵであれば、これを１つだけ用
いるようにしてもよい。
〜１７を設けているが、これに限られるものではなく、
ＣＰＵの能力によっては、これを２つ用いてもよく、ま
た、４以上のＣＰＵを用いてもよく、さらには、非常に
高速な処理が可能なＣＰＵであれば、これを１つだけ用
いるようにしてもよい。
【００２０】また、この発明は、上述したＦＴＩＲにお
けるインターフェログラムの処理に限られるものではな
く、広くフーリエ変換分光法において用いられるインタ
ーフェログラムの処理に適用できることはいうまでもな
い。
けるインターフェログラムの処理に限られるものではな
く、広くフーリエ変換分光法において用いられるインタ
ーフェログラムの処理に適用できることはいうまでもな
い。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、単位時間当たりに測定できるデータ量が増大し、測
定効率が向上するので、少ない測定時間で高Ｓ／Ｎが得
られ、精度の高い測定を行えるようになった。
ば、単位時間当たりに測定できるデータ量が増大し、測
定効率が向上するので、少ない測定時間で高Ｓ／Ｎが得
られ、精度の高い測定を行えるようになった。
【図１】この発明のインターフェログラムの測定方法を
実施するための構成を概略的に示す図である。
実施するための構成を概略的に示す図である。
【図２】前記測定方法の動作説明図である。
【図３】一般的なＦＴＩＲの構成を概略的に示す図であ
る。
る。
【図４】従来のインターフェログラムの処理方法を実施
するための構成を概略的に示す図である。
するための構成を概略的に示す図である。
【図５】前記従来方法を説明するための図である。
１…分析部、３…光源、６…可動ミラー、７…干渉計、
８…セル、Ｌ…光、ＩＦ…インターフェログラム。
８…セル、Ｌ…光、ＩＦ…インターフェログラム。
Claims (1)
- 【請求項１】 光源からの光を干渉計を介してセルに照
射するようにしたフーリエ変換分光法において、分析部
から出力されるインターフェログラムを、干渉計におけ
る可動ミラーの往動時および復動時の両方においてサン
プリングするようにしたことを特徴とするインターフェ
ログラムの測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21796896A JPH1048047A (ja) | 1996-07-30 | 1996-07-30 | インターフェログラムの測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21796896A JPH1048047A (ja) | 1996-07-30 | 1996-07-30 | インターフェログラムの測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1048047A true JPH1048047A (ja) | 1998-02-20 |
Family
ID=16712562
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21796896A Pending JPH1048047A (ja) | 1996-07-30 | 1996-07-30 | インターフェログラムの測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1048047A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000074825A (ja) * | 1998-08-28 | 2000-03-14 | Perkin Elmer Ltd | スペクトロメ―タの動作方法およびスペクトロメ―タ |
| JP2004150979A (ja) * | 2002-10-31 | 2004-05-27 | Yokogawa Electric Corp | フーリエ変換型赤外線分光計 |
| CN109186767A (zh) * | 2018-09-25 | 2019-01-11 | 天津大学 | 一种软件触发的傅里叶变换光谱仪中干涉图采样方法 |
| US10663347B2 (en) | 2017-10-25 | 2020-05-26 | Yokogawa Electric Corporation | Optical measurement apparatus and recording medium |
-
1996
- 1996-07-30 JP JP21796896A patent/JPH1048047A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000074825A (ja) * | 1998-08-28 | 2000-03-14 | Perkin Elmer Ltd | スペクトロメ―タの動作方法およびスペクトロメ―タ |
| JP2004150979A (ja) * | 2002-10-31 | 2004-05-27 | Yokogawa Electric Corp | フーリエ変換型赤外線分光計 |
| US10663347B2 (en) | 2017-10-25 | 2020-05-26 | Yokogawa Electric Corporation | Optical measurement apparatus and recording medium |
| CN109186767A (zh) * | 2018-09-25 | 2019-01-11 | 天津大学 | 一种软件触发的傅里叶变换光谱仪中干涉图采样方法 |
| CN109186767B (zh) * | 2018-09-25 | 2021-06-01 | 天津大学 | 一种软件触发的傅里叶变换光谱仪中干涉图采样方法 |
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