JPH10505408A - 超音波スペクトロスコピー法材料検査法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 超音波スペクトロスコピー法のための装置及び方法であって、材料の検査を迅速に、全検査周波数において均衡した応答と充分な振幅で評価できる。周波数を掃引された信号が発生され、検査部位（１０）に音響結合した送信用変換器（１１）に送られる。受信用変換器（１２）は、信号を検知し、この信号はリアルタイムに又は後信号処理においてデジタル化される。生成された周波数を掃引された信号は、受信用及び送信用変換器間を直接音響結合して得たデータによって等化することができる。得られたデータは、振幅及び／又は位相情報について周波数の関数として解析されてフィルター特性の分析、応答の同定、材料特性の特定及びその他の用途に使用することができる。

Description

【発明の詳細な説明】 超音波スペクトロスコピー法材料検査法及び装置 本発明は、超音波スペクトロスコピー法材料検査法に関する。特に、検査材料に 音響結合される掃引された音響波を発生し、検査材料によって惹起されるその音 響波の周波数変化を測定するための装置を開示する。 周波数を掃引された超音波により材料診断を行う技術としては、米国特許第５０ ６２２９６号に記載されたものがある。この技術は、検査対象物に音響結合され る信号、例えば周波数を掃引した信号のような多周波数信号の発生に依存してい る。検査材料に音響結合された受信用変換器は、材料中を伝わる音響波又は超音 波を検出し、それに比例する電気信号を発生する。このような型のシステムは、 材料中に検出された音響エネルギーを解析する。 上述の米国特許第５０６２２９６号においては、掃引された周波数信号を音響変 換器に入れ、音響変換器は検査部位に順次音響結合される。検査物体に音響結合 された音響検出器は、検査物体からの信号を生成し、それを２乗検波器に入力す る。２乗検波器は、その信号の周波数成分の振幅関数を表す信号を生成する。こ れらの信号レベルの位相情報は取り除かれ、解析には使用されない。２乗検波器 からの出力信号は、デジタル化され解析されて、信号の周波数スペクトル中に共 鳴応答ピークを位置づける。 上述の特許技術においては、短い周波数間隔を定め、そのそれぞれの間隔の間に おいて周波数を掃引された音響信号を発生し、その信号を検査物体に音響結合す る。検査物体からの音響結合された信号強度は、それぞれの間隔にわたって解析 されて、共鳴応答ピークを位置づける。これらの多数の掃引間隔における共鳴応 答ピークの密度分布は、検査対象物をそれぞれ特徴づけ区別するために用いられ る。 周波数を掃引された音響波を発生するこの掃引法は、時間を基準に制御されるデ ータ収集法が必要となる。この掃引法においては、ある特定の周波数に対する振 幅（又は減衰）の割当は、時間に対して入力音響信号と検出音響信号とを相互に 関連づけることを必要とする。積分器は、入力音響信号を周波数掃引する間にお いて検出された音響応答を積分する。この過程においては、掃引が、検査中の材 料によって誘起された遅延が検出された音響信号と入射された音響信号との間の 相互関連付けを干渉しないような速度で行われるか、又は、材料による遅延の結 果を解消するように、出力が時間に対して校正されることが要求される。この掃 引法による測定の精度は、本質的にこの掃引速度によって制限されている。 関連技術においては、米国特許第４９４９３１３号における装置は、超音波チャ ープパルスを発生する。レーダー技術分野において公知の信号処理方法によれば 、超音波信号は、その持続時間中にわたってその信号を時間符号化するために、 周波数が時間の関数として変化される。既知の表面から反射された超音波チャー プはデジタル化され、次いでパルス圧縮過程において比較として用いられ、対象 物からの反射波又は伝播波の空間的解析が行われる。この技術においては、現実 の使用周波数又はそれに対応する振幅は全く使用されてはいない。 その他の広帯域超音波技術は，幅の狭いパルスを使用し、フーリエの理論に従っ て、広い周波数スペクトルを生成している。このようなシステムは、「Spectrum Analysis: A New Tool for Quality Control」、G.バネラ（G.Banella）、F.モン ティ（F.Monti）、NTB インタナショナル、１９７６年８月、Vol.９、No．４に 記載されている。しかしながら、パルス幅が狭くなれば、非常に振幅の小さい多 周波数信号成分が生成するので、その検出はシステムのノイズによって制限され る。 発明の概要 本発明は、超音波スペクトロスコピー法材料検査法のためのシステムを提供する ことを目的とする。 本発明はまた、周波数を掃引された音響信号に対する材料の周波数応答に基づい て、検査材料についての指標を形成することを目的する。 本発明は、更に、入射された音響信号と同期化したり相関化したりする必要なし に検出音響信号を解析することにある。 これらの、及び、その他の本発明の目的は、周波数を掃引された音響波を検査材 料に音響結合する装置及び方法により達成される。掃引された音響信号は、掃引 された波を規定する複数の振幅値から発生される。上記振幅値は、検査材料に音 響結合される送信用及び受信用変換器の周波数応答を等化するように補正される ことが好ましい。または、等化された周波数応答を実現するために、掃引速度が 補正されてもよい。上記振幅値は、連続的に及び系列的に回路に供給され、その 振幅値から周波数を掃引されたアナログ信号が生成する。上記アナログ信号は、 送信用変換器に送られて掃引された音響波を発生する。 本発明の好ましい態様においては、受信用変換器が検査材料に音響結合される。 上記受信用変換器からの信号は処理されて、デジタル信号の高速フーリエ変換を 得る。上記高速フーリエ変換は、検査部位の同定のために使用されるか、又は、 その部位の品質を評価するために使用される。 好ましい態様においては、生成された上記周波数を掃引された信号は、定在正弦 波を規定する一連の角度の系列からデジタル信号として発生する。得られる波の 周波数範囲は、角度の変化速度、特定正弦波サイクル中の点の数及び上記一連の 角度の系列の正弦からアナログ信号を形成するデジタル−アナログコンバーター の出力速度に依存する。こ れらの値は、「等化」されて上記変換器の周波数の非線型性を補正する。上記一 連の系列の値のうちの一つの読み出し値は、周波数を掃引された所望の波形を発 生する。検出された周波数応答信号は、時間領域データを周波数領域データにコ ンバートする任意の公知の変換によって処理することができる。 図面の説明 図１は、検査部位の音響学的特質を測定するために好ましい装置の実施の形態を 示す。 図２は、図１における検査部位に入射される広帯域音響入力信号の振幅VS．時間 の関係を示す。 図３は、平坦な周波数応答を示すテストシステムの高速フーリエ変換（ＦＦＴ） を示す。 図４は、広帯域音響入力信号が直接に受信用変換器と音響結合された場合の高速 フーリエ変換であって、送信用及び受信用変換器の応答を等化する必要性を示す ものである。 図５は、０．５ＭＨｚと２．２５ＭＨｚの間の帯域幅を有する複数のデータポイ ントから、掃引された音響信号がデジタル化されて生成することを示す。 図６は、図１における装置によって検査部位を検査するための過程を示すフロー チャートである。 図７は、図６中の初期音響波発生２１を実行するための過程を示す。 図８は、図１の送信用及び受信用変換器の応答を等化するために、周 波数を掃引された音響波を正規化する段階を示す。 図９は、図６の波形把握段階を構成するいくつかの段階を示す。 図１０ａは、本発明の好ましい実施の形態において、空隙欠損の存在しない材料 部位における広帯域スペクトルパターンを示す。 図１０ｂは、空隙欠損を有する検査材料の断面図を示す。 図１１は、図１０ｂに示す材料について、空隙欠損部位のスペクトル応答を示す 。 図１２ａは、近接する複数の仕上げ面の反射表面をもつ鋼板から、図１２ｂによ り得られた周波数応答を示す。 図１２ｂは、図１２ａの周波数応答を生み出す送信用及び受信用音響変換器の配 置を示す。 図１３ａは、仕上げ面とそれに近接する錆びた反射面を有する鋼板から得られた 周波数応答を示す。 図１３ｂは、図１３ａの周波数応答を生み出す送信用及び受信用音響変換器１１ 及び１２の配置を示す。 好ましい実施の形態 図１を参照しつつ、説明する。検査部位１０には二つの変換器１１及び１２が音 響的に結合されている。上記変換器１１は、送信用変換器であって、音響波を発 生してそれを検査部位１０に音響結合する。変換器１２は、受信用変換器であっ て、上記検査部位１０内部の音響エネルギーを検出する。 超音波スペクトロスコピー法においては、上記検査部位１０の周波数応答は、当 該部位を表す固有のパターンであり且つその部位の品質を示すものとなる。デジ タルオシロスコープ１９によって、受信用変換器１２で発生した信号を、周波数 ／時間領域処理段階のどの段階においても監視することが可能となる。 変換器１１によって検査部位１０に音響結合された音響信号は、周波数を掃引さ れた信号からなる。上記周波数を掃引された信号は、周波数を掃引された信号の 各周期を定義づける離散的振幅値の系列を発生するコンピュータ１４でつくられ る。上記系列は、各点毎に連続的かつ順番に読み取られる。読み取られた振幅値 列は、入力信号として、好ましくは内部デジタル化速度が２０〜４０ＭＨｚであ るデジタル−アナログコンバータに供給される。 発生するアナログ信号は、増幅器１７によって増幅されてから音響変換器１１に 入る。 図６から明らかなように、掃引された波は、オシロスコープ１９の一つのチャン ネルに送られる。検査の間、広帯域変換器１２からの受信波形のみならず掃引さ れた入力波形も表示される。 送信用変換器１１は、検査部位１０に音響結合される。音響波は、上記検査部位 １０から受信用変換器１２に音響結合される。当該検査部位からの受信信号はオ シロスコープ１９に表示され且つ蓄積される。 図２には入力音響信号が示されている。信号は、一般に、±１．０ボルトの振幅 であって、周波数スペクトルの０．５ＭＨｚから２．２５ＭＨｚにわたっている 。一回の掃引は約０．８ミリ秒で完了する。 図３に示した応答図は、均等ゲインを有するシステムの高速フーリエ変換（ＦＦ Ｔ）を示す。変換器１１及び１２は、しかしながら、それぞれの周波数応答を持 っており、図１に示すように配置された場合、図４に示すＦＦＴを形成する。従 って、検査を開始する前に、上記変換器１１及び１２は、点線で示されるように 結合されて、図４のＦＦＴ応答が図３に示す応答に近づくように等化関数をつく る。 周波数を掃引された信号を図５により詳細に示す。図６、７及び８について以下 に説明するように、周波数を掃引され信号は、コンピュータ１４の制御のもとに デジタル的に合成される。このコンピュータ１４としては、４８６−６６型パー ソナルコンピュータ又は同等機を使用することができる。 上記等化の過程においても、また、検査部位からの実際の信号データの記録の過 程においても、オシロスコープ１９は、受信用変換器１９から受け取ったそれぞ れの信号を保存する。コンピュータ１４中で走るソフトウエアの制御のもとで、 この保存されたデータは、コミュニケーションインターフェイス１５によって把 握される。このコミュニケーションインターフェイス１５は、ＩＥＥＥ４８８イ ンターフェイスであっもよく、又は、ＧＰＩＢ(一般用途インターフェイスバス( general purpose interface bus))として知られているものであってもよい。そ して、その後、後段信号処理のためにコンピュータ１４に送られる。上記後段信 号処理は、図３及び４に示されるような高速フーリエ変換を含んでいてもよい。 上述のとおり、本発明の好ましい実施の形態を実行するための装置を一般的に説 明した。次に、検査部位１０を特徴づけるパターンを形成するために利用される 過程を示す全体のブロック図である図６について説明する。 最初のブロック２１は、周波数を掃引された初期音響波の発生段階である。図７ において更に詳細に説明されるように、この段階は、掃引された波を規定し、好 ましくは１２０００の振幅値からなるデータ系列を形成する。この段階の処理に おいては、波は等化されていない。 掃引された波を表現するビットパターンは、ＣＯＭＰＵＧＥＮ８４０等のソフト ウエアを使用して、コンピュータ１４内のデジタル−アナログカード１５のスタ ティクＲＡＭに保存される。上記ソフトウエアは、コンピュータプログラマーに 入手可能である。プログラム１４からのコマンドによって、上記ビットパターン は、デジタル−アナログコンバータ１５によって周期的にアナログ信号に変換さ れる。上記コマンドは、バックグランドモードで動いているプログラム中のテン プレートバッファタスクによって発生する。生じたアナログ信号は、オシロスコ ープのチャンネル２に表示される。 周波数を掃引された信号もまた線型広帯域増幅器１７に送られる。上記増幅器は 、送信用変換器１１に結合されている。検査シークエンスのこの部分においては 、送信用変換器１１と受信用変換器１２とは図１に破線で示される回路で音響結 合され、二つの変換器１１及び１２、増幅器１７並びに接続ケーブルを含むテス ト用セットアップの周波数応答を測定する。多くの応用において、システムの非 線型性に対する主たる寄与は、変換器の周波数応答から由来する。オシロスコー プ１９のチャンネル１で受け取られた信号は、その後、解析にかけられる。図４ で既に説明したように、この信号は、変換器１１及び１２から等化された応答を 得ることができるために必要な、周波数を掃引された信号が正規化されるべき程 度を示す。 ＩＥＥＥ４８８コミュニケーションモジュール１４は、過程１４において、保存 されたチャンネル１の信号を把握、回収し、これを後の使用のために、ＡＳＹＳ Ｔフログラムを使用してＡＳＹＳＴフォーマッ トデータファイルに収める。高速フーリエ変換解析は、コンピュータ１４によっ て、上記ＡＳＹＳＴファイルの内容に対して実行することができる。図８の記載 から明らかとなるように、周波数を掃引された正規化された信号は、過程２５で 発生し、それに続く測定間隔の間に検査部位１０に送られる。 上記周波数を掃引された正規化された信号は、過程２１で形成された系列を修飾 されたものからなり、上記系列を修飾したビットパターンは、過程２６において 、上記デジタル−アナログカード１５のスタティックＲＡＭ中に蓄えられる。上 記周波数を掃引された正規化された信号は、次いで、線型広帯域増幅器１７を介 して送信用変換器１１に送られる。上記送信用変換器１１は、生じた音響信号を 検査部位１０に音響結合する。上記検査部位１０は、今度は、音響信号を受信用 変換器１２に音響結合する。この入力信号は、表示用にオシロスコープ１９にお いても受け取られる。 オシロスコープ１９は、この信号を、デジタル化された信号値の系列として復元 する。上記系列は、コンピュータ１４中のＩＥＥＥ４８８コミュニケーションイ ンターフェイスによって回収され、コンピュータ１４によって後段処理に付され る。 回収された波形の上記後段処理は、波形の高速フーリエ変換解析を含んでいても よい。高速フーリエ変換解析の結果は、コンピュータディスプレイ１６上に表示 される。 周波数を掃引された信号の発生過程は、図７により詳細に示される。図７は、掃 引された波形を構成するデータポイント系列をコンピュータ１４により発生する ことを詳細に示す。 開始過程３１は、使用者が、掃引された波形の始点周波数と終点周波 数との選択、コンピュータ中のＤ／Ａカードにおけるデジタル−アナログ変換速 度を表すデジタル化速度、及び、掃引された信号の最大振幅を選定することを要 求する。一度使用者がこれらのパラメーターを選択し設定したならば、過程２２ で０．０から１の値をもつサイズＮの直線ランプが形成される。図２及び図５の 掃引された波形については、上記サイズＮは、約１２０００点である。上記ラン プの０．０から１の値は、過程３２において系列に入る。 過程３２において形成されたデータによって示される直線ランプから、下記式 で示される関数が、掃引周波数の始点周波数から終点周波数（Ｆスタート及びＦ ストップ）に基づいてシミュレートされる。始点周波数から終点周波数に至るラ ンプ系列の長さは、最終系列のデータポイント数を決定する。過程３３から過程 ３５までは、以下に示される式を実行する。過程３３においては、始点及び終点 は、下記によって示される。 図３及び図５の例においては、これらの数は、それぞれ０．０２５及び０．１１ ２５である。周期当たりの始点及び終点の差は、周期当たり、始点によって相殺 され、始点と終点の周期の間、掃引を発生する。 結果は、過程３４において実行時積分として積分され、過程３５において２π倍 し、π移動してから正弦を求める。得られた信号の振幅は、過程３６により、最 大振幅が過程３１で設定された値に合うように、又は、±２ボルトを加えること なくデフォルト値に補正される。 シミュレートされた正弦波は、次に過程３７において発生されてＡＳＣＩＩファ イルに記録される。上述した掃引された線型波は、図８によって正規化過程を完 了させることが可能である。 過程４１においては、開始過程３１と同様に、使用者に、掃引された波形の始点 と終点、デジタル−アナログカード１５におけるデジタル−アナログ計算速度を 示すデジタル化速度及び掃引された信号の最大振幅を設定することを要求する。 掃引された波は、図１の破線で示される回路によって互いに音響結合された変換 器１１及び１２に送られる。 変換器１１及び１２の組み合わせに送られた掃引された波の応答は、図６の過程 ２４で受け取られて、過程４２においてコンピュータ１４のＡＳＹＳＴデータフ ァイルから回収される。高速フーリエ変換は、過程４３において上記応答に対し て行われる。得られるフーリエ系列は、過程４４において、始点周波数で開始し 終点周波数で終了する副次系列を含むように打ち切りされる。上記打ち切りされ た系列は、新たな系列を生み出すように、系列の各点においてその系列の平均値 で除されて約１．０に正規化される。 得られた結果は、過程４６において、選択された次数をもつ最小二乗曲線に近似 される。好ましい態様においては、４次の多項式曲線が選択され、多項式の係数 が決定される。過程４７においては、決定された多項式から、Ｎサイズの系列が 近似曲線の係数を用いて成形され、この系列は系列ＭＵＬＴとして保存される。 ここに、Ｎは、掃引された波についての全ての点の数を表す。 変換器１１及び１２における応答を等化するために補正データが準備されたので 、過程３３から過程３５は、図７の規定に従って初期波を改変する。 過程４８は、過程４７で得られた系列を初期波発生データによって増加させて、 修正された周波数を掃引されたシグナルを導く。振幅値は過程３６において修正 され、得られた修正後の周波数を掃引された信号は、図７のオリジナルの当初デ ータを書き換えることにより、ＡＳＣＩＩファイルに書き込まれる。 図６の過程２６、２７及び２８は、このようにして実行されて検査材料１０に対 応する特徴的パターンを導く。 図９は、過程２４及び２８において、材料解析のために如何にして波形把握が行 われるのかを示している。図９を参照すると、使用者にメニュー選択が与えられ て新たな波形把握か、又は、コンピュータ１４のＡＳＹＳＴデータファイルに前 もって保存されていた波形を再発生させるかを選択させる。 検査操作の最初は、把握モードが使用者によって選択され、過程６２において、 記録長さとデータ始点及び終点がＧＰＩＢコミュニケーションインターフェイス １５を介してオシロスコープに送られる。オシロスコープから波形のみならず各 データポイントについてオフセット、倍率要素、時間増分が、過程６３及び６４ においてＧＰＩＢインターフェイスを介して得られる。 得られた波形はコンピュータ１４のＡＳＹＳＴデータファイルに保存される。検 査部位１０から得られた掃引された応答は、過程６８において後処理にかけられ 、記録された掃引された波形を高速フーリエ変 換にかける。以上の経過をとる代わりに、データを検査操作が完了するまで保存 しておいて、その後、後処理過程６８にかけてもよい。この後者の経過において は、過程６１において使用者は、再生モードを選択し、この場合は過程６６にお いてＡＳＹＳＴデータファイルを開く。ＡＳＹＳＴデータファイル６６の内容は 、その後、後処理過程６８にかけられる。 復元されたデータは、周波数を掃引された音響波に対する完全な応答を表し、位 相情報及び振幅情報の双方が保存されている。上記応答は、周波数を掃引された 音響波の一回の発生について得られ、掃引される周波数範囲にわたる全周波数応 答を表す。このシステムは、記録された信号スペクトル成分の振幅と位相の両方 から材料の評価をすることを可能とする。 上述の操作手順によって、周波数スペクトルの特徴的パターンが得られる。図１ ０ａ及び１１は、空隙欠損を有する材料から得られたスペクトルを表す。この材 料は、図１０ｂに示されており、各特徴的パターンを得たときの変換器１１及び １２を配置した位置も同時に示した。図１０ａに示される特徴的パターンは、欠 陥が存在しないことを示しており、一方、図１１に示される特徴的パターンは、 空隙欠損を有する部位の特徴的パターンを表す。 図１２ａ及び図１３ａは、０．５インチ鋼板上への２．０〜７．０ＭＨｚの範囲 での超音波スキャンを表す。この両方の場合において、変換器をあてる表面は、 仕上げ面とした。図１２ｂにおいて、裏面は、やはり仕上げ面であって図１２ａ のＦＦＴに示されるように、全周波数入力範囲にわたってほぼ均一に行われてお り、全周波数が均等に裏面で反射されていることを示している。図１３ｂにおい ては、裏面は錆ており、反射波のＦＦＴは図に示されているとおりである。この ことから導かれる結論は、高周波数成分が錆によって分散されたか又は 吸収されたということである。従って、表からは見えない隠れた表面の状態を検 知することができる。図１２ａ及び図１３ａにおいて、ＦＦＴは共鳴ピークが卓 越していることに注目すべきであり、減衰は実際これらのピークの高さから知る ことができる。これらのピークは、強め合う干渉によるものであり、優れた音響 伝播特性を有する薄板について期待されたものであり、理論的に予想することが できるものである。 図１０、１１、１２ａ及び１３ａの各特徴的パターンから明らかなように、検査 したサンプルには様々の特徴が存在する。 上述の操作手順は、短時間ですみ、入力と出力との相関も要求されることがない 。また、すでに説明したように、検査部材からの回収信号中に含まれる雑音によ る制限があった従来の狭帯域法の欠点を解消するものである。 以上により、本発明の実施の一態様に基づいて説明することにより、検査部材の 超音波探傷検査を実施するための装置及び方法を開示した。当業者は、以下に掲 げるクレームに記載されているその他の実施の態様を知ることができるであろう 。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．検査材料に、周波数を掃引された音響波を音響結合するための送信用変換器 ； 前記送信用変換器に周波数を掃引された信号を供給するための掃引発振器であっ て： 掃引される周波数範囲を定めるために信号の複数の振幅値を特定する手段：及び 前記振幅値を制御された速度において生成し、一連の振幅値を系列的に生成する 手段からなる掃引発振器； 前記材料から音響波を受信し、それに対応する電気的応答信号を生成するために 音響結合された受信用変換器；並びに 上記周波数を掃引された音響波に対する応答を表す上記電気的応答信号を保存す るためのデジタル処理デバイス からなる検査材料の超音波スペクトロスコピー法検査を実施するための装置。 ２．周波数を掃引された波が、前記受信用及び送信用変換器の応答を等化する振 幅値によって規定されるものである請求の範囲第１記載の超音波探傷を実施する ための装置。 ３．周波数を掃引された波が、前記受信用及び送信用変換器の応答を等化する非 線型に変化する掃引速度によって規定されるものである請求の範囲第１記載の超 音波探傷を実施するための装置。 ４．デジタル処理デバイスが、前記周波数を掃引された音響波に対する応答の高 速フーリエ変換を形成するものである請求の範囲第１記載の装置。 ５．周波数を掃引された波が、コンピュータに接続されたデジタル− アナログコンバータにより形成され、前記デジタル−アナログコンバータは： 一連の線型に増加する積分された角度系列；及び 前記積分された複数の系列の正弦をとることにより一連の振幅レベルの系列を発 生する 各段階を実行するようにプログラムされている請求の範囲第１記載の装置。 ６．検査材料に、周波数を掃引された音響波を音響結合するための送信用変換器 ； 前記送信用変換器に周波数を掃引された信号を供給するための掃引発振器であっ て、前記掃引発振器は： 掃引された波を規定する複数の振幅値を特定するデータファイルを有するコンピ ュータ：及び 前記複数の振幅値を保存し、前記値から掃引されたアナログ信号を形成するデジ タル−アナログコンバータからなる掃引発振器； 前記材料から音響波を受信し、それに対して電気的応答信号を生成するために音 響結合された受信用変換器；並びに 前記デジタル−アナログコンバータに接続され、かつ、前記周波数を掃引された 音響波を発生するために前記送信用変換器に信号を供給するため、前記送信用変 換器に接続された増幅器 からなる検査材料の超音波探傷検査を実施するための装置。 ７．請求の範囲第６記載の超音波探傷検査を実施するための装置であって、更に 、前記材料からの音響波に音響結合するための受信用変換器：及び 前記音響波を表す電気信号を保存するためのデジタル処理デバイスを有する請求 の範囲第６記載の超音波探傷検査を実施するための装置。 ８．請求の範囲第７記載の超音波探傷検査を実施するための装置であ って、前記正規化された掃引された波が、前記送信用及び受信用変換器の応答を 等化する振幅値によって規定される請求の範囲第７記載の超音波探傷検査を実施 するための装置。 ９．デジタル処理デバイスが、検出された音響波の高速フーリエ変換を形成する ものである請求の範囲第７記載の装置。 １０．コンピュータが、一連の角度の系列からデータファイルを形成し、前記デ ジタル−アナログコンバータに、線型速度において前記角度の正弦値を供給し、 そして前記系列を積分することによって前記角度の前記正弦値の掃引を形成する ものである請求の範囲第６記載の装置。 １１．検査材料の超音波探傷検査方法であって： 送信用変換器と受信用変換器との間で音響波を音響結合する段階； 前記送信用及び受信用変換器の周波数応答を測定する段階； 前記送信用及び受信用変換器の周波数応答に従って等化され、周波数を掃引され た信号のデータファイルを形成する段階； 前記周波数を掃引された信号のデータファイルからアナログ信号を発生する段階 ； 前記送信用変換器が前記検査材料に音響結合された場合に、前記掃引信号によっ て前記送信用変換器を励起する段階； 前記受信用変換器によって前記検査材料内部の音響波を検出する段階；及び 前記検出された検査材料からの掃引された音響波を解析する段階からなる検査材 料の超音波探傷検査方法。 １２．解析する段階が、前記検出した掃引された信号の高速フーリエ変換を計算 する段階である請求の範囲第１１記載の方法。 １３．周波数を掃引された信号のデータベースファイルが： 一連の増加する角度の系列を形成する過程； その系列の各角度の正弦をとる過程；及び その系列の各角度の正弦をデジタル−アナログコンバータに入力する過程によっ て形成される請求の範囲第１２記載の方法。