JPH10506460A - 細胞学的システムの映像収集の統合性をチェックするための装置 - Google Patents

細胞学的システムの映像収集の統合性をチェックするための装置

Info

Publication number
JPH10506460A
JPH10506460A JP8510908A JP51090895A JPH10506460A JP H10506460 A JPH10506460 A JP H10506460A JP 8510908 A JP8510908 A JP 8510908A JP 51090895 A JP51090895 A JP 51090895A JP H10506460 A JPH10506460 A JP H10506460A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
video
frequency
image
acquisition system
fft
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP8510908A
Other languages
English (en)
Inventor
オーティン,ウィリアム,イー.
フロスト,キース,エル.
ハイエンガ,ジョン,ダブリュ.
Original Assignee
ネオパス,インク.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ネオパス,インク. filed Critical ネオパス,インク.
Publication of JPH10506460A publication Critical patent/JPH10506460A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
    • G06VIMAGE OR VIDEO RECOGNITION OR UNDERSTANDING
    • G06V20/00Scenes; Scene-specific elements
    • G06V20/60Type of objects
    • G06V20/69Microscopic objects, e.g. biological cells or cellular parts

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Medicinal Preparation (AREA)
  • Medicines That Contain Protein Lipid Enzymes And Other Medicines (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)
  • Image Processing (AREA)
  • Image Analysis (AREA)

Abstract

(57)【要約】 ディジタル・プロセッサ(562)によって制御されている映像化装置(502)を含む、自動化細胞学システム(500)の細胞学システムの映像収集の統合性をチェックするための自動化装置。上記自動化装置は、映像化装置(502)およびディジタル・プロセッサ(562)に接続している直線性チェック装置を含む。システム周波数レスポンスは、変調伝達関数によってチェックされるが、その場合、MTFをシステム検出装置の標本化周波数以上に決定することができるように、標本化周波数をピクセル・サイズによって決定することができる。周波数スペクトルの特定の部分のシステムの信号対雑音比も、チェックすることができる。

Description

【発明の詳細な説明】 細胞学的システムの映像収集の統合性をチェックするための装置 本発明は、自動化機械的視覚装置の映像収集システムの性能を評価するための 方法に関する。より詳細には、上記方法は、動作中の自動化細胞学的装置に対す る直線性、周波数レスポンス、信号対雑音比およびピクセル収集の限界を特徴と している。 発明の背景 生物学的標本を自動的に分析する場合には、光学式および電子式映像化システ ムの高度な性能との調和が必要になる。生物学的標本の映像処理分析は、正確性 および再現性によって左右される、種々の分割アルゴリズムおよび形態学上の操 作を使用する。映像化光学系および検出装置のエレクトロニクスおよびディジタ ル・プロセッサからなる映像収集システムの性能は、主として三つの測定項目を 特徴とする。上記測定項目は、変調伝達関数、すなわち、周波数レスポンス、直 線性および信号対雑音比を含む。生物学的分析に使用される映像処理システムは 、人間の感染症および疾病の診断を行うため、または診断を支援するために使用 することができる。それ故、これらの診断は可能な限り最も高い統合性を持つも のでなければならない。従って、処理のための映像を捕捉するのに使用する映像 化システムは、高度な一貫性を持つ正確な性能を必ず発揮するように、操作中頻 繁にチェックしなければならない。本発明は、動作中上記システムの特徴を発揮 するために使用する技術および装置を提供する。 発明の概要 本発明は、ディジタル・プロセッサによって制御される映像化装置を含む、自 動化細胞学システムの自動化生物学システムの映像収集の統合性をチェックする ための自動化装置を提供する。上記自動化装置は、映像化装置およびディジタル プロセッサに接続している直線性をチェックするための装置を含む。映像収集シ ステムの変調伝達関数(MTF)がチェックされるが、この場合、MTFは、映 像収集システムの標本化周波数の1/2以上に設定することができる。周波数ス ペクトルの特定の領域のシステムの信号対雑音比も、チェックすることができる 。 本発明は、動作中の映像化システムの性能の特徴を知るための一連の試験から なる。本明細書に記載する本発明の試験方法は、特に、例えば、パルス・アーク ・ランプ、生物学的顕微鏡の対物レンズおよびCCD映像化装置を持つ自動化機 械的視覚化システムに関する。しかし、本発明のコンセプトは、他の照明源、映 像収集装置、およびレーザ源、反射光学系、チューブ・カメラ、TDIセンサ、 PINダイオードおよび光電子倍増管のような映像捕捉エレクトロニクスをチェ ックするのにも使用することができる。 当業者なら、好適な実施例の説明、請求の範囲および図面を見れば、本発明の 他の目的、特徴および利点を理解できるであろう。図面においては、類似のエレ メントには、類似の番号が使用されている。 図面の簡単な説明 本発明を説明するために、添付の図面を参照しながら好適な実施例を説明する 。 図1Aおよび図1Bは、自動化細胞学システムおよび本発明の方法および装置 により使用されている自動顕微鏡の光学通路への較正および試験用目標物の設置 方法を示す。 図2は、移動可能な載物台上に装着されている較正プレートを持つ、自動化細 胞学システムで使用するタイプの自動顕微鏡の略図である。 図3は、本発明のある段階で使用する較正および試験用目標物、すなわち、プ レートの一例である。 図4は、基準マークの一例である。 図5は、自動化細胞学システムの直線性のプロファイルの一例である。 図6は、直線性を試験するために使用されるシステム装置の一例である。 図7は、横軸を読むための照明センサと、縦軸を読むための映像収集システム の検出装置の直線性の曲線を示す曲線である。 図8は、本発明の一実施例で使用されている変調伝達関数の一例である。 図9A、図9B、図9Cおよび図9Dは、次第に増大する空間周波数のバー・ パターンおよび映像面の上記バー・パターンの輝度プロファイルである。 図10Aは、理論的に完全な矩形波の矩形波の曲線の図である。 図10Bは、完全な矩形波のフーリエ変換である。 図11は、検出装置の標本化周波数より高いMTF決定用のFFTフォールド ・バックの一例である。 好適な実施例の詳細な説明 本発明の好適な実施例の場合には、開示のカメラ・システムは、1992年2 月18日出願のアラン C.ネルソンの「通常の生物医学標本の識別方法」とい う名称の米国特許出願第07/838,064号;1992年2月18日出願の ジェームズ・リー他の「データ処理技術を使用して対象物を識別するための方法 」という名称の米国特許出願第07/838,395号の一部継続出願である1 994年1月10日出願の米国特許出願第08/179,812号;1992年 2月18日出願のリチャード S.ジョンストンらの「データ・シーケンスを迅 速に処理するための方法および装置」という名称の現在は米国特許第5,315 ,700号となっている、米国特許出願第07/838,070号;1992年 2月18日出願のジョン W.ハイエンガ他の「顕微鏡映像信号の動的修正のた めの方法および装置」という名称の米国特許出願第07/838,065号;お よび1992年2月18日出願の第07/838,063号の一部継続出願であ るハイエンガ他の「焦点が合っている顕微鏡映像を迅速に捕捉するための方法お よび装置」という名称の1994年9月7日出願の米国特許出願第08/302 ,355号に開示されている頸管乳首塗沫標本を分析するためのシステムで使用 されている。これら特許および特許出願の全文は、参考文献として本明細書に組 み込まれている。 本発明は、また本発明の譲渡人に譲渡されている、他に別段の指定のない限り 、1994年9月20日出願の下記特許出願に開示されている、生物学的および 細胞学的システムにも関連している。上記特許出願は、すべて参考文献として本 明細書に組み込まれている。 上記特許出願とは、1994年9月8日出願の「細胞学システムの照明の統合性 をチェックするための装置および方法」という名称の米国特許出願第08/30 3,179号;オーチン他の「細胞学システムの自動焦点統合性をチェックする ための装置」という名称の米国特許出願第08/309,130号;1994年 9月19日出願の「自動化細胞学システムの位置の統合性をチェックするための 方法および装置」という名称の米国特許出願第08/308,140号;オーチ ン他の「生物学的標本分析システムの処理の統合性をチェックするための装置」 という名称の米国特許出願第08/309,249号である。 図1Aおよび図1Bについて説明すると、これらの図は、本発明の自動顕微鏡 の照明の統合性をチェックするための装置の一実施例である。本発明の方法およ び装置を、説明の都合上、本明細書では例示としての自動細胞学装置に関連して 説明するが、本発明はそれによって制限されるものでないことを理解されたい。 本発明の特徴および原理は、例えば、連続アーク・ランプ、フィラメント・ラン プ、レーザ源、チューブ・カメラ、PINダイオードおよび光電子倍増管を使用 する尿分析プロセス、半導体プロセスの欠陥、液晶装置および他のタイプの処理 システムをチェックするのに使用することができる。 本発明の装置は、映像化システム502、移動制御システム504、映像処理 システム536、中央処理システム540、およびワークステーション542か らなる。映像化システム502は、照明装置508、映像化光学装置510、C CDカメラ512、照明センサ514および映像捕捉/焦点システム516から なる。映 像捕捉/焦点システム516は、CCDカメラ512にビデオ・タイミング・デ ータを供給し、CCDカメラ512は、映像捕捉/焦点システム516に走査線 からなる映像を供給する。照明センサの輝度は、映像捕捉/焦点システム516 に送られ、そこで照明センサ514は、光学装置510から映像のサンプルを受 光する。本発明のある実施例の場合には、上記光学装置は、さらに自動顕微鏡を 含む。照明装置508は、スライドを照明する。映像捕捉/焦点システム516 は、VMEバス538にデータを供給する。VMEバス538は、映像処理シス テム536にデータを分配する。映像処理システム536は、視野プロセッサ5 68からなる。映像は、映像バス564を通して、映像捕捉/焦点システム51 6から送られる。中央プロセッサ540は、VMEバス538を通して本発明の 動作を制御する。本発明の一実施例の場合には、中央プロセッサ562は、モト ローラ社の68030CPUを使用している。移動コントローラ504は、トレ イ・ハンドラ518、顕微鏡載物台コントローラ520、顕微鏡トレイ・コント ローラ522、および較正スライド524からなる。モータ駆動装置526が、 スライドを光学装置の下に位置させる。バー・コード・リーダ528は、スライ ド524上のバー・コードを読む。触覚センサ530は、スライドが顕微鏡の対 物レンズに下にあるかどうかを判断し、ドアが開いている場合には、ドア・イン ターロック532が動作を禁止する。移動コントローラ534は、中央プロセッ サ540の指示に従って、モータ駆動装置526を制御する。イーサネット(登 録商標)通信システム560が、システムを制御するために、ワークステーショ ン542と通信する。ハード・ディスク544は、ワークステーシ ョン・プロセッサ550により制御される。本発明の一実施例の場合には、ワー クステーション542は、サン・スパーク・クラシック(登録商標)ワークステ ーションを使用している。テープ・ドライブ546は、ワークステーション・プ ロセッサ550およびモデム548、モニタ552、キーボード554およびマ ウス・ポインティング・デバイス556に接続している。プリンタ558は、イ ーサネット(登録商標)ネットワーク・システム560に接続している。 映像収集の統合性をチェックしている間、リアルタイム動作システムを作動し ている中央コンピュータ540は、顕微鏡からの映像を取得し、ディジタル化す るために、自動顕微鏡およびプロセッサを制御する。例えば、コンピュータ制御 の触覚センサを使用して、スライドの四隅を接触させることによって、スライド の平面度をチェックすることができる。コンピュータ540も、顕微鏡の対物レ ンズ、およびコンピュータ540の制御の下で映像を受け取る1−15視野(F OV)プロセッサ568の下に標本を置くために、顕微鏡の載物台を制御する。 図2について説明すると、この図はタレット22を持つ自動顕微鏡3の光学通 路に較正および試験用目標物1を設置する方法である。この較正および試験用目 標物1は、光学通路と交差しているほぼ水平な面X,Yの載物台521上に装着 することができる。載物台521は、X,Y面およびX,Y面に垂直であり、自 動顕微鏡の光学軸に平行なZ軸に沿って移動させることができる。タレット22 は、当業者にとって周知の複数の対物レンズを含むことができる。顕微鏡タレッ ト制御装置522は、周知の方法で、選択した対物レ ンズを、例えば、スライドを見ることができる位置に設置するための信号を供給 する。 システムの直線性、システムの周波数レスポンスおよびシステムの信号対雑音 比のチェックに関連して説明してきた種々のプロセスは、ディジタル・プロセッ サ上で動作するのに適当なソフトウェアで実行することができることを理解され たい。上記ソフトウェアは、例えば、中央プロセッサ540に内蔵することもで きる。 図3について説明すると、この図は較正および試験用目標物の一例である。本 発明が使用しているいくつかのプロセスは、較正および試験用プレートを必要と する。透過顕微鏡の場合には、較正および試験用目標物1は、厚さ約1.45ミ リのガラス片で作ることができる。較正および試験用目標物は、水平および垂直 バー目標物36のような周期的な縞模様を含む、指定の透明部分34および/ま たは映像プリミティブからなることが好ましい。基準マークのような他のタイプ の映像プリミティブも使用することができる。図4は、基準マークの一例である 。このような較正および試験用目標プレートは、基板、カバー・ガラスおよび標 本媒体により導入される光学通路の違いによる効果をシミュレートするために、 大部分の透過顕微鏡に使用することができる。本発明のいくつかの実施例の場合 には、較正および試験用目標物は、載物台上に容易に設置し、そこから容易に除 去するために従来のカンチレバー上に設置することが好ましい。 〈システムの直線性の試験〉 図5について説明すると、この図は、自動化細胞学システムの直線性のプロフ ァイルである。このプロファイルは、一般的な単位で エネルギーを表している水平軸、およびミリボルト単位で電圧出力を示している 縦軸に対して描かれている。レスポンスの直線性は、光レベルの入力に対するシ ステムからの電圧の変化である。飽和特性曲線50に留意されたい。約70単位 の入力エネルギーに対応する600ミリボルト以下の領域においては、このプロ ファイルは、システムが入力エネルギーの変化にかなり直線的に応答しているこ とを示している。600ミリボルト以上の電圧の場合には、システムは、各追加 エネルギー入力に対して、もっと少ない電圧出力を生成するように見える。入力 が110エネルギー単位を超えると、システムは飽和し、エネルギー入力に対応 する変化に対して、電圧の変化を生じない。 多くの構成部分が、検出装置およびその後に接続しているエレクトロニクス、 光学的構成部分、漂遊光遮断部材およびその他のエレメントを含む、自動化細胞 学分析システムのような映像捕捉システムの直線性に影響を与える。大部分のシ ステムは、直線領域で動作するように設計される。しかし、システムが直線領域 から非直線領域に少し入り込んだところで動作することができる場合には、少し ダイナミック・レンジを広げることができる。多くの設計の場合にこのようなこ とがよく起こる。このようなタイプのシステムの場合には、いろいろな時間の間 およびいろいろな温度にわたって、同じ特性の直線性の曲線上で動作することが 極めて重要である。それ故、システムの直線性を試験することは非常に望ましい ことである。 図6に、システムの直線性を試験するための装置の一例を示す。直線性試験装 置60は、照明源508、カメラ512、標本平面62、第一レンズ63、第二 レンズ64、ビーム・スプリッタ74、 光検出機構76、中性濃度くさび66、第三レンズ72、および第四レンズ70 からなる。第一レンズ63は、自動顕微鏡の対物レンズを含むことができる。こ の場合、上記対物レンズとしては、所定の倍率のものが選択され、較正および試 験用プレート1の公称透明部分34上に設置される。高倍率および低倍率の両方 を持つ対物レンズを使用して、直線性の試験を行うことが望ましい。 二つの対物レンズを持つ自動顕微鏡を使用している本発明の一実施例の場合は 、20倍および4倍の倍率について試験を行う。中性濃度くさび66は、必要な 照明レベルが得られる位置に設置されている。映像化装置を使用して一つの映像 を入手し、選択した照明レベルでのカメラ・レスポンスの特性を知るために、平 均ピクセル輝度の計算を行う。中性濃度くさび66は、他の照明レベルに設置す る。一つの映像を再び入手し、第二の選択した照明レベルでのカメラ・レスポン スの特性を知るために、第二の平均ピクセル輝度の計算を行う。このシステムの 直線性プロファイルの特性を知るために、本発明の一実施例において、このプロ セスを六つの異なる領域で反復して行う。 図6に示す実施例は、円形で直線的に変化させることができる中性濃度くさび 66を回転することによって、照明レベルを設定することができる二重ビーム・ システムを使用している。選択した照明レベルを設定するためのフィードバック は、主光学通路110から枝分かれした光が、標本平面62で標本を照明する前 に、上記光を受光するセンサ76によって行われる。図7は、本質的には、横軸 を読む照明センサおよび縦軸を読むカメラの曲線である直線性の曲線である。表 2は、図7にチューブ状の形で示したデータである。 このセンサは、その直線性を確認するために前もって較正されている。それ故、 この直線性の曲線は、基本的には、システムの直線性の曲線である。直線性試験 の限界は動的であり、下記の式によって決定することができる。カメラ・レスポ ンスの限界は、照明またはセンサ・レスポンス・レベルの関数として計算するこ とができる。センサ・レスポンス・レベルは、100%の照明で測定したセンサ ・レスポンスの百分率で表したある照明レベルで測定したセンサ・レスポンスで ある。 カメラ・レスポンスの限界の計算式を下記に示す。 限界=(センサ・レスポンス・レベル) x 勾配 + 修正差 この式により、表1の情報を使用してカメラ・レスポンスの限界を決定するこ とができる。 〈変調伝達関数試験〉 変調伝達関数(MTF)試験は、システムの周波数レスポンスを特徴としてい る。変調伝達関数は、周知のものであり、通常映像面のコントラスト対対物面の 正弦波入力の空間ライン周波数曲線からなる。例えば、1966年マグロー・ヒ ル社発行のスミス著の「近代光学エンジニアリング」の308−323ページを 参照されたい。図8はMTFの一例である。対象物のライン周波数が増大するに つれ、すなわち、対象物が小さくなり、互いにもっと近接するにつれ、映像のコ ントラストを供給する光学システムの能力は増大する。図9A、図9B、図9C および図9Dは、次第に増大する空間周波数のバー・パターンを示す。これらの 図は、また映像面の上記バー・ パターンの輝度プロファイル80、82、84および86を示す。ライン周波数 が増大するにつれて、映像面のコントラストが低下する。所定のカットオフ周波 数を超えると、コントラストはゼロになる。(すなわち、映像には変調が存在し なくなる。) 変調は下記式によって表される。 変調=(最大−最小)/(最大+最小) 但し、最大および最小は、映像面の最大輝度値と最小輝度値である。 MTF曲線を描くには、通常二つの方法が使用される。第一の方法の場合には 、一組の個々のバー・パターンについて一連のコントラストの測定が行なわれる 。上記コントラストは、各バー・パターンについて測定され、擬似MTF曲線が 次第に作成される。この第一の方法は、実際にはMTF曲線を描かない。何故な ら、本当のMTF試験は正弦波入力を持っているからである。正弦波目標物は生 成するのが非常に難しく、周波数がちょっと高くなると通常生成することができ ない。それ故、矩形波を生成するバー・パターンが通常使用される。このような 方法で生成した波形は、本当のMTFではないが、通常この方法が使用される。 第一の方法のもう一つの問題は、矩形波パターンであっても、250 lp/m m(すなわち、2ミクロンのライン幅)以上の非常に高い周波数の場合にはバー ・パターンを生成するのが難しいということである。この問題は、多くの光学シ ステムは、2000lp/mm付近にカットオフ周波数を持っているということ を示している。それ故、ミリメートル当たり250までのペアのラインのMTF 曲線の下部の擬似(矩形波)MTF試験を行うにはこの方法しかない。 MTFを試験するのに使用するもう一つの方法は、対象物面の非常に細いスリ ットまたは小さな点を映像化する方法を使用している。上記スリットまたは点が システムの光学的解像度と比較して小さい場合には、その結果得られる映像面の 光の分布は、それぞれ線拡散関数および点拡散関数と呼ばれる。(入力関数とし て)正弦波対象物を持つ一定の光学システムの点拡散関数または線拡散関数のコ ンボルーションは、試験中のシステムに対するそのシステムの(コントラストお よび位相シフトを含む)映像を作る。それ故、MTF曲線は、上記方法で線拡散 関数を決定し、それをあるシステムのMTF関数を決定するために、変化する周 波数の一連の入力正弦波でコンボルーションすることによって作ることができる 。この方法は、MTF試験システムの低い開口率の単一のレンズに対してよく使 用される。この方法により正確な結果を得るためには、二つの条件を満たさなけ ればならない。第一の条件は、試験サンプル(例えば、スリットまたは点)は、 そのシステムの光学的解像度と比較して小さいものでなければならないというこ とである。第二の条件は、そのシステムのピクセル・サイズまたはサンプル・サ イズに関連する倍率が、結果として点拡散関数の正確な量化を行うものでなけれ ばならないということである。これら二つの制限を一致させることは多くの場合 困難である。下記の例は上記事実を示す。開口率が0.75、検出装置のピクセ ル・サイズが10ミクロンである、倍率が20倍の光学システムについて考えて みよう。このシステムの場合には、対象物面の回折により制限を受ける光学的解 像度は、(下記式によって決定されるように)0.4ミクロンである。従って、 全エアリーの円盤(登録商標)直径は僅か0.8ミクロンである。 δ半径=0.61λ/NA 但し、λは0.500ミクロンである。 同様に、対象物面のピクセル・サイズは、(ピクセル・サイズ/倍率)、すな わち、10ミクロン/20=0.5ミクロン・ピクセルである。この場合は、こ の方法に関する二つの問題が生じる。第一の問題は、サブミクロンの幅を持つス リットを製造することが難しいことである。第二の問題は、エアリーの円盤(登 録商標)直径が0.8ミクロンの線拡散関数または点拡散関数を標本化するには 、0.5ミクロンのピクセル・サイズでは不適当であることである。サンプルの 数がこの関数を再び作るには十分でない。 上記の両方の方法は、多くの光学システムのMTFの特徴を表すには不適当で ある。本明細書に開示した方法は、これらの欠点の影響を軽減する。 本発明の方法は、一定の光学的軸の正確なMTFを決定するのに、一つの低い 周波数バー・パターンを使用する。上記周波数は低く、上記バー・パターンは矩 形波である。それ故、容易に目標物を製造することができる。また、本発明の方 法を使用すれば、光学システムのカットオフ周波数に関するMTFを決定するこ とができ、そのMTFは検出装置のピクセル・サイズに比較的左右されない。 フーリエ理論は、空間周期λを持つxの周期関数は、その波長がλのサブ整数 倍(すなわち、λ、λ/2、λ/3...)である高調波関数を合計することに よって合成できるといっている。この方法を、光学システムのMTFを決定する 場合に使用するのは得策である。その場合、矩形波が、波長が元の矩形波の周波 数λの奇数高調波(λ/3、λ/5、λ/7...)の正弦波の合計であると考 えられる場合には、矩形波またはバー目標物を使用することができる。図10A は、矩形波のグラフを示す。図10Aに示す完全な矩形波のフーリエ変換を図1 0Bに示す。DC成分または0周波数点の強度が、入力矩形波の明るい部分の輝 度の半分であることに留意されたい。上記DC成分はAo/2に等しい。この場 合、Aoはピークピーク輝度、すなわち、入力矩形波の振幅の2倍である。同様 に、基本周波数、すなわち、第一の高調波の強度は、4Ao/πである。下記の フーリエ級数展開に対する式によれば、追加の各高調波の強度は、基本周波数の 強度の1/Nである。例えば、第五高調波の影響は、基本周波数の影響の1/5 である。矩形波に対するフーリエ級数展開は、下記式によって表される。 f(x)=Ao/2 + 4Ao/π(sin kx +1/3 sin 3 kx + 1/5 sin 5kx + ...) 真の光学システムのMTFを測定することができる。バー目標物のような周期 的縞模様の映像プリミティブを持つ較正および試験用目標物は、映像収集システ ムの目標物の焦点面に置くことができる。この映像プリミティブの映像は、映像 収集システムの検出装置によって得ることができる。個々の高速フーリエ交換( FFT)技術を使用して、入手した映像のフーリエ変換を決定することができる 。FFTの信号スペクトル・ピークの強度および周波数は量化することができる 。バー目標物の場合と同様に、各信号ピークは、バー目標物の矩形波映像からな る成分正弦波の一つを表していることに留意されたい。入手した映像のFFTか らの各信号スペクトル・ピークは、基準量によって拡大したバー目標物を表す、 縮尺した振幅の矩形波のフーリエ変換からの等価信号スペクトル・ピークによっ て 分割することができる。矩形波の振幅は、自動化細胞学システムのバー目標物の 完全な映像によって作られる振幅にマッチするように縮尺される。倍率の基準量 は、映像収集システムから期待されるものと等しい。図10Bは、そのような矩 形波のフーリエ変換である。入手した映像のFFTと代表的矩形波のフーリエ変 換との間の信号ピークは、光学的および電子的映像化システムによる変調損失で ある。この開示を読んだ当業者なら、FFTを計算する前に、ウィンドウ関数を 映像に有利に適用できることを理解できるだろう。回折、収差、製造時の許容誤 差または信号処理による変調による損失を受けない完全な光学システムは、映像 面に矩形波パターンを完全に再現するはずである。この場合、FFTは図10B に示すグラフと同じグラフを描く。主として回折効果のために、完全な光学シス テムを作ることは不可能であることにも留意されたい。各構成高調波周波数の強 度比のグラフは、システムのMTFの真のグラフである。それ故、対象物面で入 力波形として、比較的低い周波数の矩形波を使用すると、カットオフ周波数に対 する多数の周波数の変調を量子化することができる。 本発明の方法の真の利点の一つは、映像収集システムの検出装置の古典的なナ イキスト標本化速度を遙かに超える、映像収集システムのMTF決定機能である 。この場合、高次の高調波を表す信号ピークはFFTにあるが、それらのピーク はフォールド・バック・ピークまたは偽のピークであるように思われる。これら のピークは元の高調波上に戻る標本化周波数からフォールド・バックする。それ 故、フォールド・バック周波数が低次の高調波の間に出現することができるよう に、映像収集システムの標本化周波数と一緒に基本 周波数を選択することができる。映像収集システムのディジタル・プロセッサの 標本化速度が、カメラの標本化速度と同期しているか、等しい場合には、標本化 周波数をカメラ・ピクセル・サイズによって決定するのが好ましい。この方法を 使用すれば、MTFを検出装置の半分の(ナイキスト)標本化周波数よりかなり 高い周波数に設定することができる。 図11は、検出装置の標本化周波数より高いMTF決定のためのFFTフォー ルド・バックの一例である。この例の場合には、検出装置の標本化周波数は、基 本周波数の9.5倍の周波数に等しかったことに留意されたい。それ故、高次の 高調波は、すなわち、11次高調波、13次高調波等は、(失われた)偶数の高 調波にフォールド・バックした。これらの高調波の強度は図10Bに示す高調波 の強度に等しいことに留意されたい。 上記技術は、実際の映像化システムのMTFの測定に使用された。その結果を 表3および4に示す。これらのグラフは、各方向の視野の三つの位置でのMTF を示すことに留意されたい。ライン周波数が50 lp/mmである垂直バー・ パターンが、水平MTFを測定するのに使用された。同様に、水平バー・パター ンが、垂直MTFを測定するのに使用された。光学システムは、20倍の倍率の 顕微鏡の対物レンズ、0.75NAの収集アパーチャおよび0.45NAの照明 アパーチャからなるものであった。カメラ・ピクセル・サイズは、映像面におい て11ミクロン、対物面において0.55ミクロン(11ミクロン/20倍)で あった。このデータは、対物面のMTFに対するものである。上記試験は、水平 および垂直50 lp/mmの矩形波目標物で顕微鏡のスライドをシミュレーシ ョン するためのガラス目標物を、光学通路に挿入することによって、自動化細胞学映 像化および分析システムの動作を行っている間に行われた。 この技術のもう一つの利点は、MTFデータから入手することができる診断情 報である。例えば、MTF曲線から高い周波数部分が消失している場合は、反射 鏡等の表面の状態が不良であるか、または焦点が正確に結んでいないことを示し ている。このような欠陥があると、光学的波頭の収差を起こす恐れがあり、その ような収差が起こると、低い空間周波数の対象物のコントラストにはそれほどの 悪影響はないが、高い空間周波数の対象物の映像の鮮明さまたはコントラストが 低下する。反対に、映像化光学系の表面上の指紋および塵による散乱光または周 囲の光の漏洩があると、背景の光のレベルを増大する傾向がある。このように背 景の光のレベルが増大すると、低い周波数の対象物の映像面のコントラストが顕 著な影響を受ける。背景の光の増大により、高い周波数の対象物および低い周波 数の対象物両方のコントラストがともに低下する。しかし、低い周波数の対象物 のコントラストの低下の絶対値のほうが、高い周波数の対象物のコントラストの 低下の絶対値より大きい。それ故、映像収集システムの性能に関する貴重な診断 情報を測定するために、試験中の自動化細胞学システムのMTF曲線の種々の部 分を、既知で一般に承認されているMTF曲線の対応する部分と比較することが できる。当業者なら、上記試験と完全なMTF曲線との別の比較により、本発明 の範囲から逸脱しないで、他の診断情報を作ることができることを理解できるだ ろう。 この技術のもう一つの利点は、映像収集システムの倍率を決定す ることができることである。この場合、目標映像のFFTからの好適な高次のス ペクトル・ピークの周波数を、基準量だけ拡大した目標物を表す縮尺振幅を持つ 矩形波のフーリエ変換からの予想周波数と比較することができる。上記矩形波の 振幅は、自動化細胞学システムでバー目標物の完全な映像によって作られる振幅 に一致するように調整される。例えば、映像収集システムにより、20倍の予想 倍率で生成したバー目標物の映像のFFTは、ミリメートル当たり、95の組の ラインの周波数のところにスペクトル・ピークを作る。正確に20倍の倍率を持 つ完全な映像化システムは、ミリメートル当たり、100組のラインのところに スペクトル・ピークを作る。それ故、試験システムの実際の倍率は、下記の式に より知ることができる。 実際の倍率=(完全な周波数/周波数映像収集システム)x 完全な倍率 この場合、試験システムの実際の倍率は21倍である。当業者なら、本発明の 範囲から逸脱しないでこの測定法を改良するために、多数のスペクトル・ピーク に使用することができることを理解できるだろう。 〈信号/雑音試験〉 上記の変調伝達関数を決定するための本発明の方法について開示したすべての コンセプトは、本発明の信号/雑音試験でも使用することができる。しかし、信 号/雑音試験の場合には、すべての信号ピークは加算される。さらに、FFTの 非信号ビンからなるビンの残りも加算される。信号対雑音比は、これらの合計の 比である。それにより、問題の特定周波数領域の信号対雑音比ばかりでなく、全 スペクトルの信号対雑音比を知ることができる。上記の信号/雑音試験のステッ プを、表5に示す信号対雑音比のデータを測定するのに使用した。表5の結果を 、スペクトルの各部分により分類する。最初の三分の一の部分は、大体DCから 260 lp/mmの間の周波数スペクトル部分である。二番目の三分の一の部 分は、大体261 lp/mmから572 lp/mmの間のスペクトル部分で ある。三番目の三分の一の部分は、573 lp/mm以上のスペクトル部分で ある。すべての信号/雑音は全スペクトルを含む。 特許法に適合するように、また当業者に上記の新規な原理を適用 し、上記の特殊な構成部分を組立また使用するのに必要な情報を提供するために 、本発明をかなり詳細に説明してきた。しかし、本発明は特定の異なる装置によ っても実行することができること、また装置の詳細および操作手順の両方を、本 発明の範囲から逸脱しないで種々に変更できることを理解されたい。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 フロスト,キース,エル. アメリカ合衆国.98155 ワシントン,シ アトル,トウェンティシックスス アヴェ ニュー ノースイースト 15310 (72)発明者 ハイエンガ,ジョン,ダブリュ. アメリカ合衆国.98031 ワシントン,ケ ント,ナインティフォース プレイス サ ウス 21648

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1.ディジタル・プロセッサ(540)によって制御されている細胞学システム (500)で、映像収集の統合性をチェックするための自動化装置であって、 a)映像収集システムの直線性をチェックするために、ディジタル・プロセッ サ(540)に接続している手段(562)と、 b)映像収集システムの変調伝達関数をチェックするために、ディジタル・プ ロセッサ(540)に接続している手段(562)と、 c)映像収集システムの信号(502)/雑音比をチェックするために、ディ ジタル・プロセッサ(540)に接続している手段(562)とを含む、自動化 装置。 2.細胞学システムで、映像収集システムの直線性を試験するための自動化装置 であって、 a)光学通路(110)に設置されている較正および試験用目標物(524) と、 b)較正および試験用目標物(524)を照明(508)するために、光学通 路(110)に沿って設置されている手段と、 c)較正および試験用目標プレート(524)のところで、照明レベル(51 0)を調整するための手段と、 d)較正および試験用目標物(524)の少なくとも一つの映像(512)を 入手するための、光学通路(110)の手段と、 e)照明手段(508)からの光の一部を受光する場所に設置されている関連 照明(514)を感知するための手段と、 f)較正および試験用目標物(524)の映像を受け取る第一の入力と、感知 手段(508)からの出力を受け取るための第二の入力を持つ比較(516)す るための手段とを含む、自動化装置。 3.ディジタル・プロセッサ(540)によって制御されている細胞学システム で、変調伝達関数をチェックするための自動化装置であって、 a)周期的縞模様(図9A、図9B、図9Cおよび図9D)からなる映像プリ ミティブ(36)の映像(502)を入手するための手段と、 b)FFTの結果(図10B)がスペクトル・ピークを含んでいる場合に、入 手する映像の高速フーリエ変換(FFT)の結果(図10B)を判断するための ディジタル・プロセッサ(540)の手段と、 c)スペクトル・ピークの強度および周波数を測定するために、FFTの結果 (562)を処理するためのディジタル処理装置(540)の手段と、 d)各FFT結果(図10B)のスペクトル・ピークを、映像プリミティブ( 36)の基準フーリエ変換からの等価スペクトル・ピークの強度で割るための手 段とを含む、自動化装置。 4.ディジタル・プロセッサ(540)によって制御されている細胞学システム で、信号対雑音比をチェックするための自動化装置であって、 a)周期的縞模様(図9A、図9B、図9Cおよび図9D)からなる映像プリ ミティブ(36)の映像(502)を入手するた めの手段と、 b)FFTの結果(図10B)がスペクトル・ピークを含んでいる場合に、入 手した映像のフーリエ変換(FFT)の結果(図10B)を判断するためのディ ジタル・プロセッサ(540)の手段と、 c)スペクトル・ピークの強度および周波数を測定するために、FFTの結果 (562)を処理するためのディジタル処理装置(540)の手段と、 d)スペクトル・ピークに含まれている第一の電力を測定するために、処理用 手段(562)に接続し、少なくとも一つのスペクトル・ピークを取り巻いてい る所定の周波数範囲の少なくとも一つのスペクトル・ピークに含まれていない第 二の電力(562)を測定する手段に接続している手段と、 e)第一および第二の電力(562)を比較するための手段とを含む、自動化 装置。 5.ディジタル・プロセッサ(540)によって制御されている自動細胞学シス テムで、映像収集システムの統合性をチェックするための自動化方法であって、 a)映像収集システム(502)の変調伝達関数(図5)をチェックするステ ップと、 b)映像収集システム(502)の変調伝達関数(図8)をチェックするステ ップと、 c)映像収集システム(502)の信号対雑音比(図8)をチェックするステ ップとを含む、自動化方法。 6.ディジタル・プロセッサ(540)によって制御されている自 動細胞学システムで、映像収集システムの直線性(図5)をチェックするための 自動化方法であって、 a)光学通路(110)に較正および試験用目標物(524)を設置するステ ップと、 b)較正および試験用目標物(524)のところの照明(508)レベルを調 整するステップと、 c)較正および試験用目標物(524)の少なくとも一つの映像を入手するス テップと、 d)関連照明レベル1を個別に感知(514)するステップと、 e)少なくとも入手した一つの映像の一領域の照明測定値2(512)を計算 するステップと、 f)レスポンス測定値(516)を入手するために、計算した照明測定値2( 512)を、関連照明レベル1(514)と比較するステップと、 g)複数のレスポンス測定値を入手するために、少なくとも一回、ステップb −fを反復するステップと、 h)複数のレスポンス測定値から、輝度レスポンス特性を入手するステップと 、 i)許可された範囲に特有の輝度レスポンスを比較するステップとを含む、自 動化方法。 7.ディジタル・プロセッサ(540)によって制御されている自動細胞学シス テムで、映像収集システムの変調伝達関数(MTF)(図8)をチェックするた めの自動化方法であって、 a)映像収集システムの対象物の焦点面(62)に、周期的縞模様(図9A、 図9B、図9Cおよび図9D)を含む映像プリミ ティブ(36)を設置するステップと、 b)映像収集システム(502)により、映像プリミティブ(36)の映像を 入手するステップと、 c)入手した映像の高速フーリエ変換(FFT)の結果(図10B)を測定す るステップと、 d)スペクトル・ピークの強度および周波数を測定するために、FFTの結果 (図10B)を処理するステップと、 e)各FFTの結果のスペクトル・ピークを、映像プリミティブ(36)の基 準フーリエ変換(図10B)の等価スペクトル・ピークで割るステップとを含む 、自動化方法。 8.ディジタル・プロセッサによって制御されている自動細胞学システム用の映 像収集システムをチェックするための自動化方法であって、 a)映像収集システムの焦点面(62)に、周期的縞模様(図9A、図9B、 図9Cおよび図9D)を含む映像プリミティブ(36)を設置するステップと、 b)映像プリミティブ(36)の映像を入手するステップと、 c)入手した映像の個々の高速フーリエ変換(FFT)の結果(図10B)を 測定するステップと、 d)スペクトル・ピークの強度および周波数を測定するために、FFTの結果 (図10B)を処理するステップと、 e)スペクトル・ピークの少なくとも一つに含まれている第一の電力を測定し 、スペクトル・ピークには含まれていないが、少なくとも一つのスペクトル・ピ ークを取り囲む所定の周波数範囲の第二の電力を測定するステップと、 f)第一および第二の電力を比較するステップとを含む、自動化方法。 9.映像プリミティブ(36)を設置するステップが、 a)映像プリミティブ(36)の大体の焦点位置を決定するステップと、 b)映像プリミティブ(36)の最適な焦点位置の上下のある範囲の焦点位置 を含む複数の焦点位置で、映像プリミティブ(36)の複数の映像を入手するス テップと、 c)複数の焦点位置に対する複数のMTF(図8)を入手するステップと、 d)複数のMTFから最適なMTF(図8)を入手するステップとをさらに含 む請求の範囲第7項に記載の自動化方法。 10.少なくとも一つのFFTの結果のスペクトル・ピーク(図10B)の周波数 を、映像プリミティブ(36)の基準フーリエ変換(図10B)からの等価スペ クトル・ピークと比較することによって、映像収集システム(502)の倍率を 決定するステップをさらに含む請求の範囲第7項に記載の自動化方法。 11.a)ある結果を得るために、少なくとも一つの低い周波数のMTF値(図8 )を、ゼロ周波数のMTF値(図8)と比較し、 b)上記結果を所定の限界と比較することにより、 映像収集システム(502)の散乱光または光の漏洩を試験するステップを含む 請求の範囲第7項に記載の自動化方法。 12.a)ある結果を得るために、少なくとも一つの高い周波数のMTF値(図8 )を、低い周波数のMTF値(図8)と比較し、 b)上記結果を所定の限界と比較することにより、 映像収集システム(502)の光学的波頭収差を試験するステップをさらに含む 請求の範囲第7項に記載の自動化方法。 13.a)映像収集システム(502)の標本化周波数の1/2以下のスペクトル ・ピークでインターリーブするために、標本化周波数の1/2より高いそのスペ クトル・ピークが映像収集システム(502)によってフォールドバック(図1 1)されるように、映像収集システム(502)の標本化周波数より高いスペク トル内容を含む映像プリミティブ(36)を選択し、映像プリミティブ(36) の周期を選択するステップと、 b)映像収集システム(502)の標本化周波数の1/2以上の周波数で、映 像収集システム(502)を特徴づけるために、標本化周波数(図11)の1/ 2以上のピークを使用するステップとをさらに含む、映像収集システム(502 )の標本化周波数の1/2以上の映像収集システム(502)の性能を特徴とす る請求の範囲第7項に記載の自動化方法。
JP8510908A 1994-09-20 1995-09-01 細胞学的システムの映像収集の統合性をチェックするための装置 Withdrawn JPH10506460A (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US08/309,078 1994-09-20
US08/309,078 US5581631A (en) 1994-09-20 1994-09-20 Cytological system image collection integrity checking apparatus
PCT/US1995/011147 WO1996009599A1 (en) 1994-09-20 1995-09-01 Cytological system image collection integrity checking apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH10506460A true JPH10506460A (ja) 1998-06-23

Family

ID=23196591

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8510908A Withdrawn JPH10506460A (ja) 1994-09-20 1995-09-01 細胞学的システムの映像収集の統合性をチェックするための装置

Country Status (8)

Country Link
US (1) US5581631A (ja)
EP (1) EP0782735A4 (ja)
JP (1) JPH10506460A (ja)
CA (1) CA2200456A1 (ja)
DE (1) DE782735T1 (ja)
ES (1) ES2114509T1 (ja)
GR (1) GR980300027T1 (ja)
WO (1) WO1996009599A1 (ja)

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5266495A (en) 1990-03-02 1993-11-30 Cytyc Corporation Method and apparatus for controlled instrumentation of particles with a filter device
US5841124A (en) * 1996-06-19 1998-11-24 Neopath, Inc. Cytological system autofocus integrity checking apparatus
US5825502A (en) * 1996-10-09 1998-10-20 Teach Screen Software Gmbh Device for close-up photography of surfaces
US6148099A (en) * 1997-07-03 2000-11-14 Neopath, Inc. Method and apparatus for incremental concurrent learning in automatic semiconductor wafer and liquid crystal display defect classification
US6122397A (en) * 1997-07-03 2000-09-19 Tri Path Imaging, Inc. Method and apparatus for maskless semiconductor and liquid crystal display inspection
US6130967A (en) * 1997-07-03 2000-10-10 Tri Path Imaging, Inc. Method and apparatus for a reduced instruction set architecture for multidimensional image processing
US6990221B2 (en) * 1998-02-07 2006-01-24 Biodiscovery, Inc. Automated DNA array image segmentation and analysis
US6349144B1 (en) 1998-02-07 2002-02-19 Biodiscovery, Inc. Automated DNA array segmentation and analysis
US7099502B2 (en) * 1999-10-12 2006-08-29 Biodiscovery, Inc. System and method for automatically processing microarrays
ES2283347T3 (es) * 1999-10-29 2007-11-01 Cytyc Corporation Aparato y procedimiento para verificar la localizacion de areas de interes dentro de una muestra en un sistema de formacion de imagenes.
US7006674B1 (en) 1999-10-29 2006-02-28 Cytyc Corporation Apparatus and methods for verifying the location of areas of interest within a sample in an imaging system
US6665060B1 (en) * 1999-10-29 2003-12-16 Cytyc Corporation Cytological imaging system and method
US7369304B2 (en) * 1999-10-29 2008-05-06 Cytyc Corporation Cytological autofocusing imaging systems and methods
US6711283B1 (en) 2000-05-03 2004-03-23 Aperio Technologies, Inc. Fully automatic rapid microscope slide scanner
EP1162450A1 (en) * 2000-06-07 2001-12-12 F. Hoffmann-La Roche Ag Reference device for evaluating the performance of a confocal laser scanning microscope, and a method and system for performing that evaluation
DE10100246A1 (de) * 2001-01-05 2002-07-11 Leica Microsystems Mikroskop und Verfahren zum Betreiben eines Mikroskops
US20030007703A1 (en) * 2001-07-03 2003-01-09 Roylance Eugene A. Configurable image processing logic for use in image processing devices
US7512496B2 (en) * 2002-09-25 2009-03-31 Soheil Shams Apparatus, method, and computer program product for determining confidence measures and combined confidence measures for assessing the quality of microarrays
US9117149B2 (en) 2011-10-07 2015-08-25 Industrial Technology Research Institute Optical registration carrier
CN103217275B (zh) * 2013-05-14 2015-04-15 清华大学 一种显微镜放大倍数标定方法
KR20230109740A (ko) * 2020-11-24 2023-07-20 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 광학 디바이스들에 대한 광학 해상도 측정 방법

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3743427A (en) * 1971-06-29 1973-07-03 Weiser Robodyne Corp Modulation transfer function measurement system and method
US4202033A (en) * 1977-12-27 1980-05-06 Royco Instruments, Inc. Apparatus and method utilizing calculator for quality control of hematology sample analysis
US4589774A (en) * 1984-04-30 1986-05-20 Dupree, Inc. Sperm densimeter
US4941185A (en) * 1985-03-18 1990-07-10 Crosfield Electronics Image processing
US4998284A (en) * 1987-11-17 1991-03-05 Cell Analysis Systems, Inc. Dual color camera microscope and methodology for cell staining and analysis
US5164913A (en) * 1987-03-27 1992-11-17 Opticomp Corporation General purpose optical computer
DE3905619C2 (de) * 1988-02-23 2000-04-13 Olympus Optical Co Bildeingabe-/Ausgabevorrichtung
US5038216A (en) * 1989-04-20 1991-08-06 Eastman Kodak Company Automatic brightness algorithm in a slide to video transfer unit
US5007100A (en) * 1989-10-10 1991-04-09 Unisys Corporation Diagnostic system for a parallel pipelined image processing system
JPH0670798B2 (ja) * 1989-11-20 1994-09-07 住友セメント株式会社 光学的パターン認識方法
US5149972A (en) * 1990-01-18 1992-09-22 University Of Massachusetts Medical Center Two excitation wavelength video imaging microscope
US5173788A (en) * 1990-02-07 1992-12-22 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Image reading device having moire depressing unit
NL9001265A (nl) * 1990-06-05 1992-01-02 Philips Nv Werkwijze voor bepaling van een modulatie-overdrachtfunctie van een digitaal beeldvormend systeem.
US5255085A (en) * 1991-10-25 1993-10-19 Eastman Kodak Company Adaptive technique for providing accurate tone reproduction control in an imaging system
US5170279A (en) * 1991-11-01 1992-12-08 Nira Schwartz Method and apparatus for calibrating and improving linearity of system for scanning moving objects
US5361140A (en) * 1992-02-18 1994-11-01 Neopath, Inc. Method and apparatus for dynamic correction of microscopic image signals
US5315700A (en) * 1992-02-18 1994-05-24 Neopath, Inc. Method and apparatus for rapidly processing data sequences

Also Published As

Publication number Publication date
CA2200456A1 (en) 1996-03-28
DE782735T1 (de) 1998-06-25
EP0782735A1 (en) 1997-07-09
WO1996009599A1 (en) 1996-03-28
AU721417B2 (en) 2000-07-06
GR980300027T1 (en) 1998-04-30
AU3501895A (en) 1996-04-09
EP0782735A4 (en) 1999-04-21
US5581631A (en) 1996-12-03
ES2114509T1 (es) 1998-06-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH10506460A (ja) 細胞学的システムの映像収集の統合性をチェックするための装置
US5654535A (en) Cytological system autofocus integrity checking apparatus
US5841124A (en) Cytological system autofocus integrity checking apparatus
KR101467010B1 (ko) 검사 장치, 검사 방법 및 프로그램
EP1990624B1 (en) Apparatus and method for evaluating an optical system
US5932872A (en) Autofocus system for scanning microscopy having a volume image formation
CA2192986C (en) Autofocus system for scanning microscopy
EP1785714B1 (en) Lens evaluation device
US9222897B2 (en) Method for characterizing a feature on a mask and device for carrying out the method
JPH05249656A (ja) マスク検査装置
CN113624358B (zh) 用于光热反射显微热成像的三维位移补偿方法及控制装置
CN113655610A (zh) 用于光热反射显微热成像的自动对焦方法及控制装置
US20260057551A1 (en) Microscope, method for determining a field inhomogeneity in a field of view of a microscope and microscopy method
US12038569B2 (en) High sensitivity phase microscopy imaging
AU721417C (en) Cytological system image collection integrity checking apparatus
JPH0783844A (ja) 欠陥検査装置
JP4518704B2 (ja) 位相シフトマスク検査装置及び位相シフトマスク検査方法
JP2723914B2 (ja) レンズ鏡筒解像度検査装置
AU703182C (en) Cytological system autofocus integrity checking apparatus
CN117911340A (zh) 光学载具检测方法及检测装置、计算机可读存储介质
JP2004301551A (ja) 被測定物の回折角測定方法
Alsman et al. Machine vision image analysis capability for image intensifier tubes and systems
CN112097951A (zh) 光热反射显微热成像装置及漂移修正方法

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071113

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081113

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091113

Year of fee payment: 11

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees