JPH10507036A - 圧縮により波長可変としたファイバレーザ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 ファイバレーザ（２６）は、ブラッググレーティングといった対となった反射要素（２８，３０）によって画成された希土類ドープのファイバレーザキャビティ（３２）を有している。このファイバレーザは、また、上記キャビティ（３２）と、上記グレーティング（２８、３０）とが、圧縮されて波長可変とされている。オプティカルファイバは、引っ張りよりも圧縮に対してより強度を有するため、上記レーザ（２６）は、通常の引っ張り／伸長法よりも広い領域で波長可変となっている。

Description

【発明の詳細な説明】 圧縮により波長可変としたファイバレーザ 引用する関連出願 同時係属中の米国特許出願、（ＵＴＣドケット番号Ｎｏ．Ｒ−３８４１）、名 称“圧縮により波長可変としたファイバグレーティング”が、本願と同時に出願 されており、上記出願についても本願における開示内容に関連する内容を含んで いる。 技術分野 本発明は、ファイバレーザに関し、より詳細には、波長可変ファイバレーザに 関する。 背景技術 ファイバレーザの分野においては、対となったブラッググレーティングをオプ ティカルファイバ中に埋め込むことによって、波長可変ファイバレーザが得られ ることが知られている。上記グレーティングは、希土類ドーパント（例えばエル ビウム）によってドープされたファイバ領域によって離間されている。上記レー ザは、ボール（Ｂａｌｌ）等に付与された米国特許第５，３１７，５７６号、名 称“連続波長可変単一モード希土類ドープポンプレーザ配置”に開示されている 。上記波長可変レーザは、連続的に波長可変となった単一の発振波長を有するも のであり、かつ、縦モードホッピングが 起こらないようなものである。 ブラッググレーティングファイバレーザは、上記グレーティングの他、そのレ ーザキャビティを伸長させることによってもその発振波長を可変（変化させるこ と）とできる。例えば、このための一つの技術としては、上記レーザに圧電式伸 長機（可変器）を取り付け、印可電圧に依存させて伸長させたり、又は、上記レ ーザを電圧が印可されると伸長する円筒状のマンドレルに巻き付ける等の方法が あるが、これらについては、上記米国特許に開示のものである。 しかしながら、上記ファイバが伸長される量（すなわち引っ張り歪みが与えら れる量）、すなわちその最大波長可変領域は、上記ファイバの引っ張り強度によ り制限されていた。特にブラッググレーティングが伸長される場合には、上記ブ ラッググレーティングの反射波長範囲は、主として物理的膨張及び歪み−光学効 果によって１．５５μｍ波長領域において約１．２ナノメータ（ｎｍ）／ミリス トレイン（ｍｉｌｌｉｓｔｒａｉｎ）で変化することが知られている。典型的な 通信用グレードのオプティカルファイバ及び導波路は、石英すなわち二酸化ケイ 素（ＳｉＯ₂）によって製造されており、これは、ヤング弾性率が１．０２ｘ１ ０⁷ＰＳＩである。従って、５０ｋｐｓｉで規格試験される典型的なオプティカ ルファイバについては、長期間安全に加えられる持続的な最大安全歪みの約１／ ２％（（ΔＬ／Ｌ）＊１００；上式中、Ｌは、伸長されるファイバの長さである 。）が、上記ファイバを現実に破断させてしまうような上記ファイバ強度の劣化 を生じさせずに加えられるにすぎない。これは、上記引っ張り歪みレーザの波長 可変最大量を約５ｎｍに制限し てしまうこととなる。 これとは別に、ファイバレーザは、温度変化によっても波長可変とすることが できる。この場合には、上記レーザキャビティ及びブラッググレーティングを加 熱し、これらの要素を膨張させて屈折率の変化を生じさせる。温度に対する上記 ブラッグ反射波長の変化は、約０．０１１ｎｍ／℃である。このような温度波長 可変の悪影響としては、上記ブラッググレーティングの反射率の大きさが劣化す ることを挙げることができ、これは、熱アニーリングが生じてしまうことによる ものである。この様な劣化は、レーザ共振器特性を変化させてしまって、上記レ ーザの応答性を変えてしまうことになる。特定のファイバ、製造方法、ファイバ へのコーティング及びグレーティングの規格に応じて、約１００〜２００℃を超 える高い温度で著しいグレーティングの劣化が発生してしまうので、上記ファイ バレーザの現実的な波長可変幅は、約１ｎｍに制限されてしまう。 上記ファイバレーザのための利得媒体の利得幅が、エルビウムについていえば ４０〜５０ｎｍと１０ｎｍよりも広いので、現在のファイバレーザ波長可変技術 は、上記レーザ利得波長幅の全範囲にわたる最大波長可変幅を提供することがで きるものではない。 従って、上記レーザの利得幅の大部分にわたって波長可変であり、かつ、比較 的簡単に製造できる上記ファイバレーザを提供することが望まれていた。 発明の開示 本発明の目的は、波長可変幅の広いファイバレーザを提供するこ とにある。 本発明に従えば、広い範囲で波長可変のレーザは、光導波路を有し、この導波 路にはレーザキャビティのための利得媒質である希土類ドーパントがドープされ ており、また、上記レーザキャビティを画成するための対となった反射要素を備 え、このレーザキャビティは、長さと、上記利得媒質の利得と、上記反射要素の 反射と、によって所定の発振波長においてレーザ発振させており、さらに上記レ ーザ波長において光線を反射させる反射要素と、上記レーザ発振波長を変化させ るべく、上記レーザキャビティを圧縮するための圧縮手段と、を有している。 さらに本発明に従えば、上記反射要素は、中心反射波長を有する少なくとも１ つのブラッググレーティングを備えており、上記圧縮手段は、また、上記グレー ティングを圧縮してその時点にレーザ発振している上記グレーティングの反射波 長を変化させる。 本発明は、従来の波長可変ファイバレーザに対して著しい改良が加えられてい るものであるが、これは、圧縮応力を引っ張り応力（すなわち、上記レーザを伸 長させるものである）に変えて用いることにより、上記ファイバレーザが、モー ドホッピングなしに、例えば３２ｎｍというように、上記エルビウムドープファ イバレーザの４０〜５０ｎｍといったほとんどの部分であるより広い範囲で連続 的に波長可変とすることを可能とする。これは、主として、上記オプティカルフ ァイバが、引っ張りよりも圧縮に対して２３倍も強いことに起因しており、この ことによって従来よりもより大きな波長可変範囲が達成されるものである。また 、我々は鋭意検討の結果、上 記波長可変性は、両方向（すなわち、圧縮方向及び弛緩方向）に繰り返すことが できることを見いだしたのである。 本発明の上記目的及びその他の目的、特徴及び効果については、添付の図面を 用いて説明する代表的な実施例の説明によってより明確となろう。 図面の簡単な説明 図１は、本発明の圧縮による波長可変ファイバレーザの実施例を示した概略的 なブロック図である。 図２は、本発明の圧縮による波長可変ファイバレーザについて、圧縮割合に対 するレーザ発振波長をグラフとした図である。 図３は、本発明の圧縮による波長可変ファイバレーザのレーザ発振波長と、圧 縮率と、出力パワーと、を示した３Ｄグラフである。 図４は、本発明の圧縮ファイバレーザのための圧縮デバイスの分解斜視図であ る。 図５は、本発明の圧縮による波長可変ファイバレーザの圧縮デバイスの一部分 解斜視図である。 図６は、一端がブロックされ、かつ、内部をファイバがスライドできるように された本発明の固定フェルールの側面図である。 発明の最良の実施態様 図１には、ポンプ光源１０、例えばレーザダイオード等を示しているが、これ は、光ファイバ１４に対してポンプ波長λ_p、例えば１４８０ｎｍの光学的ポン プ光信号を与えている。上記ポンプ信号 １２は、良く知られた波長分割マルチプレクサ（ＷＤＭ）１８のポート１６に供 給される。上記光学的ポンプ信号１２は、上記ＷＤＭ１８の上記出力ポート２０ へとカップリングされ、上記ファイバ２４への光学的信号２２とされる。上記オ プティカルファイバ２４は、希土類ドープ（例えばエルビウムドープファイバ等 ）された、直径が約１２５μｍのＳｉＯ₂製オプティカルファイバ領域３２によ って離間された対となったブラッググレーティング２８，３０の対を備えたファ イバレーザ２６とされている。上記ファイバレーザは、米国特許第５，３０５， ３３５号、名称“単一縦モードポンプ光導波路レーザ配置”において開示のもの と類似しているが、所望に応じていかなる波長可変ファイバレーザを使用するこ ともできる。上記ファイバレーザ２６は、レーザ発振波長λ_L、例えば約１５３ ０〜１５７０ｎｍのレーザ発振範囲を有するファイバ３４に沿って出力光３３を 、オプティカルアイソレータ３６へと与えるようになっている。上記オプティカ ルアイソレータ３６は、上記レーザ２６へと光を再入射させないようにして、上 記レーザ動作を妨げないようにしている。上記それぞれのファイバ２４，３２， ３４は、内部に上記ブラッググレーティングが埋め込まれたすべてが一本となっ た連続オプティカルファイバとすることができることが理解されよう。また、波 長可変範囲を最大化させるため、非圧縮状態における上記レーザは、約１５７０ ｎｍで発振し、圧縮に際して１５３０ｎｍへと波長可変とされることが好ましい ことが理解されよう。 上記ファイバレーザ２６は、また、上記レーザ発振波長λ_Lにおいて、上記フ ァイバ２４に沿ってフィードバック（すなわち戻り） 光線信号３８を与えており、この戻り光線信号３８は、ポート２０から上記ＷＤ Ｍ１８へと入射する。この信号３８は、ファイバ４４上のライン４２で示すよう に、上記ＷＤＭ１８から上記ＷＤＭのポート４０に放出される。上記ファイバ４ ４は、光学的検出器４６に送られ、この光学的検出器４６に送られ、ライン４８ へと入射した上記光学的信号４２の強度に対応した電気信号を送るようになって いる。 上記ライン４８には、より詳細には後述するが、能動型フィードバックレーザ ノイズ減少回路５０が備えられている。 上記光学的信号３３は、ファイバ６０の光学的信号５８として上記オプティカ ルアイソレータ３６を出て行く。上記ファイバ６０は、例えばエルビウムといっ た所定のドーパントでドープされた所定長さ（例えば１５ｍ）のオプティカルフ ァイバ光学的増幅器６２へと送られる。このエルビウムは、上記レーザ２６のう ちの残りのポンプ光強度を吸収して、上記レーザ発振波長λ_Lの上記光学的信号 ５８を増幅させ、オプティカルファイバ６６上に増幅された光学的信号６４を与 えるようになっている。上記ファイバ６６は、第二のオプティカルアイソレータ ６８へと導かれ、この第二のオプティカルアイソレータ６８は、反対方向から上 記光学的増幅器６２へと光線が侵入するのを防止している。上記光学的信号６４ は、オプティカルファイバ７２に、信号７０として上記アイソレータ６８から放 出される。 上記ファイバ７２は、オプティカルカップラ７４へと供給され、上記入射光線 ７０が所定量だけ（例えば約１％）カップリングされ てライン７８で示されるように光ファイバ８０に送られる。上記光線７０の残り の部分は、出力信号８４としてファイバ８２へとカップリングされる。上記ファ イバ８０は、光学的検出器８６に供給され、この光学的検出器８６は、入射する 上記光線７８の強度を示した電気信号をライン８８に与える。上記ライン８８は 、また、上記したノイズ減少回路５０にカップリングされている。 上記ノイズ減少回路５０は、既知の制御電子機器を有しており、かつ、上記ポ ンプ源１０へとライン５２を介して電気信号を与えている。上記電気信号により 、上記ポンプ源１０を調節し（典型的には、レーザダイオードへの電流である） 、実質的に一定の出力光信号８４を与えるようにしている。フィードバック制御 レーザ構成及びノイズ低減回路は、同時係属中の米国特許出願第０８／２５０， ９６６号、名称“プログラマブルファイバ光学ディレイライン”及び前出のボー ル等による“低ノイズ単一周波数リニアファイバレーザ”、エレクトロニックレ ターズ（Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｌｅｔｔｅｒｓ）、第２９巻、第１８号、１６ ２３頁〜１６２４頁（１９９３年９月）及びボール等の“６０ｍＷ１．５μｍ単 一周波数低ノイズファイバレーザＭＯＰＡ”、ＩＥＥＥフォトニクステクノロジ ーレターズ（ＩＥＥＥ Ｐｈｏｔｏｎｉｃｓ Ｔｅｃｈ． Ｌｅｔｔｅｒｓ）、 第６巻、第２号（１９９４年２月）に開示されているものと類似のものである。 より具体的には、上記検出器４６，８６からの上記ライン４８，８８の上記電 気信号は、それぞれ、内側及び外側制御ループである光学的フィードバックとし て機能する。特に、上記ライン４８の上 記電気的信号は、当業界において良く知られている内側ＰＤ（比例及び差動）コ ントローラループに送られる。上記検出器８６からの上記ライン８８の上記電気 信号は、良く知られている積分型（又は同期）制御補償用外側ループへと送られ る。 上記双方のラインの信号は、上記ポンプ号源１０への駆動信号５２を調節する ための役割を果たしている。上記デュアルループ制御の目的は、上記ファイバレ ーザ２６の上記波長可変範囲にわたって一定の出力振幅を与えることにあり、上 記出力振幅は、そうしなければ上記増幅器６２の利得バンド幅の他にも、上記ド ープされたキャビティ３２の波長可変幅にわたる利得変動により変動してしまう ことになる。 一定出力強度及びノイズの低減が必要ではないか、又は、上記レーザがフラッ トな利得特性を有しているのであれば、本発明は、一つの（内側又は外側ループ ）フィードバックでも、また、フィードバックなしでも等しく良好に作用する。 さらに、本発明は、所望により上記ＷＤＭ１８、上記それぞれのアイソレータ３ ６，３８及び増幅器６２なしでも等しく良好に機能する。 上記ファイバ２４，３４及び上記ファイバレーザ２６は、ファイバ圧縮デバイ ス９０内に通され（より詳細には後述する）、正確にその長手方向軸に沿って上 記ファイバの圧縮が行われるようになっているとともに、上記ファイバがバック リングしないようにされている。通常、上記圧縮デバイス９０は、上記ファイバ ２４が通されている可動ピストン９２と、上記ファイバ３４が螺合される固定部 分９４と、を有している。上記ピストン９２と上記ピストン９４の 間に、上記ファイバレーザ２６がフェルールを介して通されている（図１には図 示せず）。上記ファイバ２４は、上記可動ピストン９２へと固定され（例えば膠 又はエポキシ樹脂）、上記固定部分９４は、また、上記ファイバ３４に取り付け られている。ステッパモータ９８は、機械的リンケージ１００によって上記ピス トン９２へと連結されていて、上記ピストン９２を動かし、かつ、上記ファイバ レーザ２６（すなわち、上記グレーティング２８，３０及びキャビティ３２）を 、長手方向に圧縮することで上記出力光学信号３３，３８の出力波長λ_Lを可変 としている。上記ステッパモータは、高分解能４００ステップ／回転のステッパ モータであり、１０，０００ステップ／回転のマイクロステッピングモードで駆 動できる、例えば、メルグリオ（Ｍｅｌｌｅｓ Ｇｒｉｏｔ）製のナノムーバ（ ＮＡＮＯ−ＭＯＶＥＲ）マイクロポジショナシステムを挙げることができ、この システムによれば、リニア変位分解能を＋／−５０ｎｍ／ステップ、及び波長分 解能を＋／−２ピコメートル、すなわち、１５５０ｎｍにおいて周波数を＋／− ２５０ＭＨｚとすることができる。 上記ステッパモータ９８は、ステッパモータ駆動回路１０４からのライン１０ ２を介した電気的信号によって駆動されている。上記ドライブ回路１０４は、既 知の電気機器を有していて、上記ステッパモータ９８、従って、上記ピストン９ ２をライン１０６の電気信号に対応して、所望するレーザ波長λ_Lに対応した所 望の位置へと駆動させるに必要な駆動信号を与えている。 図２において、我々は、上記オプティカルファイバの主要成分と なっている石英（ＳｉＯ₂）が、約２３倍引っ張りに対するよりも圧縮に対して 強いことを見いだしたことを示している。これによって圧縮により、より広い波 長可変領域が得られることがわかる。特にわれわれは、ΔＬが８００μｍ、すな わち２．７％の圧縮歪み（（ΔＬ／Ｌ）＊１００；上式中Ｌは、圧縮するファイ バ長さである）で、波長可変領域が３２ｎｍであることを見いだした。これは、 上記ファイバに約５ｌｂｓの力を加えることによって得た。これは、従来のファ イバレーザ波長可変技術によって達成されてきた波長可変範囲よりもかなり大き なものとなっている。また、われわれは、レーザ波長の変化は、実質的に圧縮割 合（ΔＬ／Ｌ）に対して試験した範囲内、すなわち０から２．５％までは直線的 に変化することを見いだした。さらに、圧縮は、上記ファイバを引き延ばすとい った従来の技術において発生するファイバ破断の可能性がない。別の波長及び／ 又はより大きな圧縮範囲であっても所望により用いることができる。また、より 高い圧縮値においてある種のノンリニア特性が発生した場合にでも、上記したよ うなノンリニア性を考慮に入れて、上記ステッパモータ等、力を加えるデバイス を補償することで、従来よりもかなり大きな波長領域において予測可能な波長可 変性を与えることができる。 図３には、図１に示したデュアルフィードバック配置で、上記出力信号８４の 出力が、上記ファイバレーザ２６の利得又は増幅器６２の利得プロファイルの変 動に係わらずレーザ発振波長範囲にわたって一定に保持されているのが示されて いる。 ここで、図４及び図５には、図１で前述した上記ファイバ圧縮デ バイス９０の一つの実施例を示すが、これは、約３．７５インチ、すなわち、９ ．５３ｃｍの長さを有し、かつ、上記デバイス９０を支持するためのベース２０ ０を備えている。上記ファイバ２４は、金属チューブ（又はスリーブ）２０２を 通して供給され、この金属チューブは上記ピストン９２に取り付けられている。 上記ピストン９２は、約３．５ｃｍの長さを有しており、上記ベース２００内の 半円形のガイド２０４に沿ってスライドするようになっている。上記ファイバ２ ４は、上記チューブ２０２の長さにわたって上記チューブ２０２に取り付けられ ており、上記ファイバレーザの圧縮中に上記ファイバ２４がスライドしてしまう のを防止している。上記ファイバ２４は、上記ガイド２０２を出て、上記ファイ バレーザ２６（図示せず）は、連なった３つのフェルール２０６を介して通され ている。上記フェルールは、それぞれが約１．３ｃｍの長さであるとともに、所 定の均等な約１ｍｍの離間（ギャップ）２０８をそれぞれの間に有している。こ の様にすることによって、固定されていない部分のファイバ部分を上記圧縮領域 外へと突き出させることができ、ファイバのバックリングの可能性を最低限とす ることができる。 上記複数のフェルールは、上記ベース２００内の半円形トラック２０９に沿っ て自在にスライドするようにされている。上記ファイバレーザ２６の出力である 上記ファイバ３４は、上記ベース２００に取り付けられている別の金属チューブ ２１０に送られる。また、上記ファイバ３４は、上記チューブ２１０の長さにわ たって上記チューブ２１０に固定されており、上記ファイバ３４が、上記ファイ バ３４の圧縮中にスライドしてしまわないようにしている。溝２２１を備えたカ バー２２０は、上記フェルール２０６の頂部に設けられていて、それらを安定化 させているとともに、それらを“クラムシェル”型の配置に整列させている。圧 縮が行われる全ギャップは、約３ｃｍである。これと別の圧縮長さであっても所 望により用いることができる。また、上記フェルール２０６、上記ピストン９２ 、ベース２００及び上記圧縮デバイス９０及びこれらとは別の部品すべてについ て別のサイズ及び離間幅２０８を所望により用いることができる。また、上記離 間２０８は、所望により圧縮される上記全ファイバのほとんどにわたって形成さ れるように設定することもできる。さらに、上記圧縮ファイバが開放された場合 に、上記フェルールの離間２０８にスプリング（図示せず）を使用して、上記フ ェルール２０６をそれらの本来の位置に戻してやることもできる。 上記チューブ２０２は、さらに、上記ピストンにカバー２２６によって固定さ れており、上記ピストン９２は、上側に覆いかぶさっているアーム２２２，２２ ４によって上記ガイド２０４に保持されている。また、上記チューブ２１０は、 カバー２２８によってさらに上記ベース２００に取り付けられている。上記チュ ーブ入り口２０２及び上記チューブの出口２１０における上記ファイバの破断を 可能な限り低減させるため、上記ファイバは、上記チューブの上記各端部へと接 着すべきではなく、それぞれのチューブ端に至る前に接着が終わっているように するべきである。この様にすることによって、上記チューブが、上記圧縮デバイ ス９０の上記入り口点及び上記出口点において上記ファイバに加えられる歪みの 量を規制する シースとして機能する。 図４、図５に示すような３つのフェルールを使用するかわりに、所望により、 より多く、又は、より少ないフェルールを使用することもできる。また、上記複 数のフェルールをスライドさせるかわりに、それらの一つ又はそれ以上を上記ベ ース２００に固定して、上記ファイバをそれらの内部をスライドさせるようにし ても良い。さらに、上記グレーティング２８，３０を含んだ上記ファイバ２４， ３２，３４は、例えば、プラスチックコーティング等いかなるコーティングも引 き剥がされていても良く、又、適切に上記コーティングが圧縮できるようにされ ていれば上記コーティングが所望により上記ファイバ上に残されていても良い。 また、上記ファイバレーザキャビティ３２を境界づけ、また、これを画成する ブラッググレーティング２８，３０を備えるかわりに、所望により、これとは別 の反射要素を使用することができる。その場合、例えば、ミラーなどの上記反射 要素は、圧縮によりその反射波長を変化させる必要は無く、上記要素は適切に上 記波長可変範囲にわたって適切に光線を反射させることができればよい。また、 ２枚の広い波長幅のミラーを用いれば、モードホッピングを避けるために短いキ ャビティを用いて充分に波長可変を行う必要がある。 さらにまた、デュアル出力レーザに変えて、単一出力レーザを所望により使用 することもできる。この場合には、上記ファイバ３４は、上記圧縮デバイス９０ には必要ではない。 図６には、上記ファイバの両端を固定するかわりに、固定された一の端部を有 するファイバレーザを用いた場合に、上記ファイバ３ ００の未使用端部が、固定された（動かない）フェルール３０２を介して通され 、上記フェルール３０４の一端においてホールが、硬い面（又はプレート）３０ ６によってブロックされているのを示している。上記プレート３０６が、石英製 であれば、上記ファイバ３００の端部からの反射は、最低化することができる。 上記ファイバレーザ２６のオプティカルファイバは（図１）、いかなるガラス （例えばＳｉＯ₂、燐酸ガラス、又は、これらとは別のガラス）又は、ガラス及 びプラスチック、又は、単なるプラスチックで製造されていても良い。また、オ プティカルファイバのかわりに、光を収容し、増幅可能なものであれば、例えば 平面導波路といったいかなる別の光導波路を使用していても良い。 本発明は、圧縮デバイス９０（図１）についてのいくつかの特定の実施例をも って説明してきたが、上記ファイバを長手方向軸に圧縮できるいかなるデバイス であっても上記ファイバを後退させることなく圧縮させられるようなものであれ ば使用できる。さらに、上記ステッパモータ９８を使用するかわりに、上記ファ イバレーザの上記長手方向軸に沿って長手方向の圧縮力を加え、上記レーザキャ ビティの長さを変化させることができるいかなる装置であっても所望により使用 することができる。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １． 固体光導波路を有するレーザキャビティを備え、 前記光導波路には、前記レーザキャビティ内における利得媒質である希土類ド ーパントがドープされ、 前記レーザキャビティが対となった反射要素により画成されており、 前記レーザキャビティの長さと、前記利得媒質の利得と、前記反射要素の反射 と、により所定の発振波長においてレーザ発振させるようにされ、さらに、 前記レーザ波長の入射光線を反射させる反射要素と、 前記レーザ発振波長を変化させるため、上記レーザキャビティを圧縮するため の圧縮手段と、 を有することを特徴とする波長可変レーザ。 ２． 前記反射要素は、それぞれが中心反射波長を有する少なくとも一つのブラ ッググレーティングと、 前記圧縮手段は、また、前記グレーティングを圧縮して前記グレーティングの 前記反射波長を、前記圧縮レーザキャビティの前記レーザ波長に対応するように 変化させるようになっていることを特徴とする請求項１に記載の波長可変レーザ 。 ３． 前記レーザ発振波長は、前記利得媒質の利得波長の広い部分にわたって変 化し得ることを特徴とする請求項１に記載の波長可変 レーザ。 ４． 前記希土類ドーパントは、エルビウムであることを特徴とする請求項１に 記載の波長可変レーザ。 ５． 前記光導波路は、オプティカルファイバであることを特徴とする請求項１ に記載の波長可変レーザ。 ６． 前記光導波路は、石英を有すること特徴とする請求項１に記載の波長可変 レーザ。 ７． 希土類ドーパントがドープされ、レーザキャビティを構成する固体光導波 路を圧縮する圧縮ステップと、 前記キャビティ長を変化させて、前記レーザのレーザ発振波長を変化させるス テップと、を有することを特徴とする導波路型レーザのレーザ発振波長可変方法 。 ８． 前記ステップは、さらに、前記レーザキャビティを画成する対となった反 射要素の一つを圧縮するステップを有していることを特徴とする請求項７に記載 の方法。 ９． 前記反射要素は、ブラッググレーティングを有することを特徴とする請求 項７に記載の方法。 １０． 前記光導波路は、石英を有していることを特徴とする請求項７に記載の 方法。