JPH10507295A - 焦点制御回路を含む多層記録媒体用の光学式走査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 走査装置の光ビーム（８）は多層光記録媒体の情報層（３）上に集束する。焦点制御回路（２２）は光ビームの焦点（９）を情報層上に維持する。焦点が別の情報層にジャンプすると、焦点制御回路は情報層の情報の存在にかかわらず所謂アパーチャ信号をモニタしない。ジャンプ中焦点制御回路のフィードバックループの特性が変更されてジャンプ中のして移動の不安定さが回避される。フィードバックループの特性は、予め定めた時間期間の後に復帰し、焦点は指示された層の近傍に位置し復帰した制御ループが焦点を指示した層に集束させる。

Description

【発明の詳細な説明】 焦点制御回路を含む多層記録媒体用の光学式走査装置 本発明は、互いに重なり合う少なくとも第１及び第２の情報層を有する光記録 媒体を走査する光学式走査装置であって、 放射ビームを焦点に収束させる手段を含む光学装置と、 前記収束手段を制御して焦点を前記層と直交する方向に変位させる焦点アクチ ュエータ手段と、 焦点と走査すべき層との間の距離及び方向を表す焦点誤差（ＦＥ）信号を取り 出す焦点誤差検出器と、 前記ＦＥ信号に応じて焦点アクチュエータ駆動信号を取り出すと共にこの駆動 信号を焦点アクチュエータに供給してアクチュエータを走査すべき層にほぼ維持 する焦点制御回路と、 第１の層の走査から第２の層の走査へ変更する層ジャンプコマンドを受信した 後前記焦点制御回路の機能の変更を制御する第１の論理値、及び前記機能の復帰 を制御する第２の論理値をとる二進ループ制御信号を発生する第１の制御装置と を具える光学式走査装置に関するものである。 光記録媒体は数個の情報層を含みその記録密度を増大することができる。これ らの層の各々は、対物レンズにより単一のビームから焦点を形成することにより 一度に１個の層を走査することができる。焦点制御回路は焦点を情報層上に維持 し、この制御回路は、情報層からの焦点のずれを表す焦点誤差信号に応じて対物 レンズの位置を制御する。焦点誤差信号は記録媒体で反射し又は透過して光検出 器に入射した放射から取り出される。記録媒体からの放射を用いて、記録媒体で 反射した放射の全量についての目安となる所謂中心開口（ＣＡ）信号も発生する 。このＣＡ信号を用いて記録媒体から読出された情報を表す情報信号が形成する ことができる。 走査装置が走査を開始する際、対物レンズを記録媒体に向けて移動させる必要 がある。この移動中、焦点は所謂記録媒体の入射面である記録媒体の低反射境界 層と交叉し、この境界層を経て情報層が走査される。焦点が入射面にロックされ るのを防止するため、焦点制御回路はＣＡ信号の振幅をチェックする。入射面に 起因する振幅があるレベルよりも低い場合、制御回路は焦点を入射面にロックせ ず対物レンズを記録媒体方向に移動させる。焦点が記録媒体の情報層に近づくと 、この層の高反射性によりＣＡ信号が上記レベルと交叉し、焦点制御回路は焦点 を情報層上にロックする。 欧州特許出願第００２０１９９号は、記録媒体の２個の情報層間で焦点を変化 させる焦点制御回路を有する走査装置を開示している。別の情報層に変更する際 、焦点制御回路のフィードバックループがオープンし、アクチュエータは適切な 方向に駆動され、ＣＡ信号の高周波数成分のレベルがモニタされている。高周波 数成分の振幅があるレベルと交叉すると、焦点が情報層に近づきフィードバック ループがクローズする。この場合、焦点制御回路は焦点が情報層を追従している をチェックする。 この既知の走査装置の欠点は、一方又は両方の層に情報が形成されていない場 合、層間での焦点の変更を行わないことである。このような状況は、多層記録系 においてはしばしば生ずるものである。この場合、ＣＡ信号が高周波数成分を含 まないので、上記レベルが交叉されずフィードバックループがクローズしなくな ってしまう。 本発明の目的は、情報層が情報を含むか否かにかかわらず、光記録媒体の全て の情報層上に焦点を容易に形成できる光学式走査装置を提供することにある。 本発明による光学式走査装置は、層ジャンプコマンドを受信し、この層ジャン プコマンドを受信した際焦点アクチュエータ手段を起動させるジャンプ制御パル スを発生するパルス発生手段を具え、この層ジャンプコマンドが、少なくともジ ャンプ制御パルスの時間期間中に焦点制御回路の機能を大幅に変更すると共に前 記時間期間が経過する際焦点制御回路の機能を復帰させることを特徴とする。 本発明による光学式走査装置の別の実施例は、大幅な変更が、前記ジャンプ制 御パルスの時間期間よりも大幅に長い予め定めた時間期間にわたって続くことを 特徴とする。この実施例において、ジャンプ中のアクチュエータの移動はジャン プ制御パルスにより行われ、ジャンプ制御パルスに続いては一定の速度で焦点誤 差信号（ＦＥ）に独立して移動して焦点を走査すべき層の近傍に導く。例えば２ ５μｍの層間距離を知りジャンプ制御パルスに適切なパワーを与えることにより 、焦点制御回路が不動作の間にアクチュエータが移動する速度及び焦点サーボ制 御が不動作にすべき時間期間は容易に決定することができる。その後、焦点制御 回路の機能が復帰し焦点が走査すべき層に位置する。 ＦＥ信号だけを用いる場合、焦点をある層から別の層に移動させる際特別な予 備的な注意が必要である。別の層に変化する際焦点制御回路のフィードバックル ープがクローズに維持されていると、アクチュエータは２個の情報層間に位置す るＦＥ信号の零クロス付近で大きな速度を持ち過ぎてしま。この結果、アクチュ エータは指示された情報層を飛び越してしまう。本発明による装置は、零クロス 付近の期間中フィードバックループ又はその一部をオープンすることによりこの 問題を解決し、不所望な速度増加を回避する。 この速度増加については、零クロス付近のＦＥ信号の傾きに関係するフィード バックループ中の微分枝路が強く寄与している。従って、オープンすべきフィー ドバックループの一部は好ましくは微分枝路とする。フィードバックループの他 の２個の枝路、すなわち比例及び積分枝路はジャンプ中記録媒体の移動に応じて アクチュエータの速度をある程度制御することができる。 本発明による走査装置の好適実施例は、大幅な変更を焦点制御回路の入力部の 入力信号を中断することにより行うことを特徴とする。 以下実施例に基づき本発明を詳細に説明する。 図面において 図１は本発明による走査装置を線図的に示す。 図２は焦点誤差信号の形態を焦点の位置の関数として示す。 図３は焦点制御回路を線図的に示す。 図４は第１の制御回路の実施例を示す。 図５は第２制御回路の実施例を示す。 図６は焦点誤差信号及び中心開口信号の形態を焦点の位置の関数として示す。 図７は調整可能な微分器を示す。 図８は本発明による装置の焦点位置、焦点誤差信号及び焦点減衰信号の時間線 図を示す。 図面中同一の符号は同一の部材を示す。 図１は光記録媒体１を走査する本発明による光学式走査装置を示す。この図面 は記録媒体を断面として示し、この記録媒体はそれぞれ距離δだけ離間した３個 の重なり合った情報層２、３、４を有する。これらの層の各々は透明基板５を介 して個別に走査することができ、透明基板は周囲と記録媒体との間の境界を形成 する入射面６を有する。情報層２及び３は、これらの層を介して情報層４を走査 できるように部分的反射性とする。情報はピット、バンプ、周囲の区域とは異な る反射性又は磁気を有する区域の形態として情報層に符号化することができる。 記録媒体は中心の周りで回転できるデイスク状又は矩形状とすることができる。 この走査装置は記録媒体を走査するためる用いる光ビームを発生する光学装置 を有する。この光学装置は例えば半導体レーザから成り放射ビーム８を形成する 放射源７を有する。放射ビームは、例えば単一の又は多重素子の対物レンズであ る焦点手段１０により焦点に向けて集束する。対物レンズは焦点アクチュエータ １２により光軸方向、Ｚ軸方向すなわち矢印１１で示す方向に移動することがで きる。焦点アクチュエータは、磁気コイル中の磁石又は１以上の磁石中の磁気コ イルの形態の線形モータとすることができる。対物レンズの移動は情報層を介し て焦点９を偏位させる。記録媒体で反射した放射は対物レンズ１０によりビーム スプリッタ１３を介して検出装置１４上に集束する。ビームスプリッタは通常の ビームスプリッタ、偏光ビームスプリッタ又は回折格子とすることができる。検 出装置１４は、一般的に数個の放射感知素子を有する。これら素子の電気的出力 信号は信号形成回路１５に供給する。この回路は電気信号の和を形成し、中心開 口信号（ＣＡ）として出力する。このＣＡ信号は記録媒体１で反射した放射の全 量の目安となる。ＣＡ信号の高周波数成分は（ｈ．ｆ．）は情報層で符号化され ている情報を表し、回路１５Ｂで用いてＣＡ信号からクロック信号ｃｌｋを再生 する。 信号形成回路１５は検出装置の出力信号からラジアル誤差信号を形成し、この ラジアル誤差信号は情報層上で追従すべきトラックの中心と焦点の中心との間の 距離を表す。焦点をトラック上に維持するためのラジアル制御装置は米国特許出 願第５３２１６７６号から既知であり、詳細に説明せず図示しないものとする。 焦点形成回路１５は検出装置１４の出力信号を組み合わせて焦点誤差信号（Ｆ Ｅ）も形成する。ＦＥ信号の値は走査される情報層からの焦点の偏位の方向及び 大きさを示す。これら電気信号の組み合わせの方法、検出素子のレイアウト及び ビームスプリッタ１３の形態はＦＥ信号を形成するために用いる方法に依存する 。取り得る方法は、米国特許第４０２３０３３号、欧州特許出願第５８３０３６ 号及び米国特許第４７２４５３３号から既知の所謂非点収差法、フォーカルト法 及びビームサイズ法がある。 図２は、ＦＥ信号の形態をＺ方向すなわち対物レンズ１０の光軸方向に沿う情 報面の２個の交差点に対する焦点の変位の関数として示す。このＦＥ信号は、焦 点が情報層２及び３と一致するδだけ離間した位置１６及び１６においてほぼ零 になる。このＦＥ信号は零クロス点１６及び１７の両側において正の最大値１８ ，２０及び負の最大値１９，２１を有する。 図１において、ＦＥ信号は焦点制御回路２２に対する入力信号であり、この焦 点制御回路は、ＦＥ信号に応じて焦点アクチュエータ（ＦＡ）信号を取り出しこ の駆動信号を焦点アクチュエータ手段１２に供給して焦点９を走査すべき情報層 上にほぼ維持するようにアクチュエータを駆動する。図３は焦点制御回路２２の 構成を線図的に示す。ＦＥ信号を、クロスオーバフィルタ及び増幅器を有するフ ィルタ２３に入力する。このフィルタ回路の出力を３個の回路の入力信号として 用いる。第１の回路は比例した焦点制御作用を得る線形増幅器２４である。第２ の回路は微分焦点制御作用を得る微分器２５である。第３の回路は焦点制御作用 の積分を得る積分器２６である。これら３個の回路の出力信号は加算回路２７で 結合されて焦点アクチュエータ１２用のＦＡ信号を発生する。積分器２６はパル ス発生手段２８からの別の入力信号を有する。この回路２８は一定のパルス信号 を発生することができ、このパルス信号はジャンプ制御パルスと称され、積分器 に入力するとＦＡ信号レベルを傾斜した形態で増加させる。線形増幅器２４及び 微分器２５の入力及び積分器の２個の入力は入力部への信号経路中に配置したス イッチ２９、３０、３１及び３２により遮断することができる。これらスイッチ はループ制御（ＬＣ）信号お応じてループ制御回路３３により制御することがで きる。このＬＣ信号は並列に伝搬する信号列を含むことができる。スイッチの開 閉により焦点制御回路２２の特性が変更される。この制御の実際の動作は後述す る。積分器２６は、その出力部の代わりにその１個又はそれ以上の入力部におい てオン及びオフに切り換えられる。 出力部でスイッチングを行なうことにより、顕著なレベルを有し焦点制御信号 を乱すおそれのある積分器の出力信号を除去することができ又はＦＡ信号に付加 することもできる。図３に示す制御回路２２の実施例は、積分器２６の出力レベ ルを規則的に増大することにより層ジャンプ中に焦点アクチュエータの移動を制 御する。変形例として、焦点アクチュエータの移動はジャンプ制御パルス発生回 路２８′により加算回路２７に供給される正又は負のジャンプ制御パルスにより 決定し、その後アクチュエータは別の付勢を行なうことなく上向き又は下向きに 移動する。このパルスは例えば１ｍ秒の期間を有し、その期間の後アクチュエー タは２ｍ秒の予め定めた時間期間に亘って移動し続け、合計約３ｍ秒で一方の層 から他方の層への２５μｍの距離に亘って焦点を移動させる。 検出装置１４、信号形成回路１５、焦点制御回路２２、焦点アクチュエータ１ ２及び集束手段１０が結合されて走査すべき情報層上に焦点９を持続するフィー ドバックループを形成する。線形増幅器２４、微分器２５及び積分器２６はフィ ードバックループの３個の枝路を構成する。 図１の二進ＬＣ信号は第１の制御器３４により発生する。図４はこの制御器の 実施例を示す。このＬＣ信号は、一方の情報から他方の情報層への走査を変更さ せる層ジャンプ（ＬＪ）コマンドを受信した後第１の論理値をとる。このＬＣ信 号は、二進フローズ（ＣＬ）信号の遷移を受信した後第２の論理値をとる。この ＬＣ信号は、情報層を変更させるコマンドを受信した瞬時にループ制御器３３を 介してフィードバックループの特性を変更する。この信号は、ＣＬ信号の遷移が 検出され、走査を連続する予定の情報に焦点が近づいたとき、フィードバックル ープの特性を再生する。セット−リセットプリップフロップで構成される回路３ ５はＬＪ信号及びＣＬ信号をＬＣ信号に変更する。 第１制御器３４は、遅延したジャンプコマンドであるジャンプ（ＪＵ）信号を ＬＣ信号と同期して焦点制御回路に供給するジャンプ制御信号発生器３６を具え 、焦点９を走査すべき情報層の方向に移動させる。ＬＪコマンドの受信に際し、 この発生器はＪＵ信号を焦点制御回路２２に供給する。この信号は焦点制御回路 のスイッチ３２をクローズしパルス発生回路２８をトリガし、このトリガに応じ て回路２８が正又は負の定レベル信号を積分器２６に供給し、定レベル信号によ り支持されると共にジャンプすべき情報層の番号及びジャンプ方向により決定さ れる距離及び方向に沿って焦点アクチュエータを移動させる。 第１の制御器３４の入力信号として用いるＣＬ信号はジャンプコマンド信号Ｌ Ｊに応じてカウンタ９９により発生する。カウンタ９９は予め定めた数のクロッ クパルスｃｌｋを計数し、予め定めた時間期間の後にリセット信号ＲＳを発生し 、この信号をパルス発生回路２８（又は２８′）及びループ制御器３３に供給し て焦点サーボ制御回路２２の機能を復帰させる。 信号ＣＡは、焦点が入射面を経て情報層に向けて移動するときに用いられる。 情報層間で焦点を変更する場合、ＣＡ信号は必ずしも用いない。図５は第２制御 器の実施例を示す。ＣＡ信号又はローパス フィルタを通過したＣＡ信号を比較 器３８に供給する。この比較器は、ＣＡ信号が予め定めたＣＡプリセット値ＣＡ_p を超える場合二進“１”の出力信号を発生する。ＣＡ_pの値は、入射面６に起因 してＣＡ信号よりも大きくなり情報層に起因してＣＡ信号よりも小さくなるよう に設定する。ＦＥ信号は整流器３９において整流する。比較器４０は整流器３９ の出力を予め定めたＦＥプリセット値ＦＥ_pと比較する。このプリセット値ＦＥ_p の値は、ＦＥ信号中のノイズのピーク値よりも大きくＳ曲線の最大値よりも小さ くなるように設定する。比較器３８及び４０の出力はＡＮＤ回路４１で結合し、 このＡＮＤ回路から両方の入力が“１”の場合だけ二進値“１”を出力する。Ａ ＮＤ回路４１の出力部をＣＬ信号コンダクタに接続する。このＣＬ信号コンダク タはＣＬ信号を第１の制御器３４に供給する。 制御回路の動作を、図１，３，４及び５の回路図及び図２及び６の波形図に基 づいて説明する。 走査の開始時において、層ジャンプコマンド（ＬＪ）を第１の制御器３４に与 え、ジャンプ制御信号発生器３６からジャンプパルスを焦点制御回路２２に送出 する。次にスイッチ３２の閉成及び回路２８の起動により焦点アクチュエータ（ ＦＡ）信号を回路２８により発生した信号の符号に応じて段階的に増大または減 少させる。回路３５はＬＣ信号を出力して、スイッチ２９、３０及び３１をオー プンさせ、これにより焦点制御回路２２が一部を構成するフィードバックループ をオープンさせる。段階的な変化の期間中のＦＥ及びＣＡ信号の値は、対物レン ズの光軸方向の変位ｚの関数として図６に示す。第２制御器３７はこれらの値を モニタし、両方の信号が適切なプリセット値を超えるときに動作する。入射面の 位置４５付近のＦＥ信号は情報層２，３及び４の位置４６，４７及び４８付近の ＦＥ信号とそれぞれ等しい大きさである。この理由は、信号形成回路１５が表面 層の反射率に依存しないように正規化しているからである。入射面のＦＥ信号が ＦＥ_pレベルと交差するかで、比較器は“１”信号を出力する。一方、正規化さ れていないＣＡ信号は、入射面の低い反射率によりＣＡpレベル以下に維持され る。比較器３８は“１”信号を出力せず、スイッチ４４はＣＬ信号をＡＮＤ回路 ４１の出力部に送るので、ＣＬ信号にいかなる遷移も発生しない。つまり、フィ ードバックループはオープン状態にあり、段階的な変化が連続する。焦点が位置 ４６′を通過し焦点スポットが情報層２に近づくと、ＣＡ信号がＣＡ_pレベルと 交差し、その僅かな後にＦＥ信号が位置４９においてＦＥ_pレベルと交差する。 そして、ＡＮＤ回路４１は“１”信号を出力する。ＡＮＤ回路４１の出力部は走 査の開始期間中ＣＬ′信号をＣＬ導体に供給し、このＣＬ′信号は第１の制御器 ３４に送られて回路３５をリセットする。ＬＣ信号の値が“０”に降下してスイ ッチ２９，３０及び３１をクローズし、これによりフィードバックループがクロ ーズされる。同時に、スイッチ３２が回路３３によりオープンし、段階的な変化 が終了する。焦点制御回路２２は焦点９の位置を適切に制御し、焦点は位置４９ から位置４６に移動し、ここでロックされる。尚、初期焦点設定工程の詳細な説 明は米国特許第５１８９２９３号に見出すことができる。 走査中に焦点が層ジャンプを行なう必要のある場合、例えば情報層２から情報 層３へジャンプする場合すなわち図６の位置４６から位置４７に移動する場合、 初期焦点設定のために用いる上述した既知の方法を用いることができない。この 既知の方法を適用しようとすれば、ＣＡ及びＦＥ信号の両方のレベル交差がモニ タされてしまう。比較器がＦＥ信号の絶対値をチェックするので、比較器４０は 位置５０において上向きの交差を検出する。情報層のＣＡ信号は、層ジャンプ中 ＣＡ信号がＣＡ_pプリセットレベル以上に維持される範囲でオーバラップする。 つまり、比較器３８は“１”信号を出力し、ＡＮＤ回路４１から“１”信号を出 力させる。既知の方法において、ＡＮＤ回路４１の出力部はＣＬ導体に接続され ているので、信号ＣＬ′は“１”にセットされ、フィードバックループをクロー ズの状態に維持する。アクチュエータが位置５０において十分に高速で移動しな い場合、焦点制御は焦点を位置４６に引き戻す。アクチュエータが十分に高速で 移動する場合、焦点は位置４７の方向に移動し続ける。一方、焦点が層２と３と の間の距離の半分の位置にある位置５１におけるＦＥ信号の零クロス付近におい て、アクチュエータは焦点制御回路２２の微分器におけるＦＥ信号の正の傾きの 効果に起因して高速移動している。この高速移動により、位置４７の焦点の位置 制御が不確実になってしまう。 本発明による焦点制御はこの課題を極めて有効な解決策により解決する。第１ の制御器３４により層ジャンプコマンドＬＪが受信され（図４）カウンタ９９か ら供給されるループ制御信号ＬＣが“１”になると、ＬＣ信号及びＪＵ信号が発 生し、これらの信号は回路３３を介して（ｉ）スイッチ２９，３０及び３１をオ ープンし、(ii)スイッチ３２をクローズしてジャンプ制御パルス発生手段２８に より積分器２６の第２の入力部にジャンプ制御パルスを発生させる。このジャン プ制御パルスにより、焦点は走査した層から走査すべき次の層へ移動する。ジャ ンプパルスが終了した後、アクチュエータ手段は、カウンタ９７が最終計数番号 に到達してリセット信号ＲＳを発生するまで、積分器２６の出力により依然とし て前進する。回路３３を介して供給してるリセット信号ＲＳによりスイッチ２９ ，３０及び３１がクローズスイッチ３２がオープンする。さらに、パルス発生回 路２８がリセットされるので、この回路２８、回路３３を介して適切なトリガを 受信すると別のパルスを発生することができる。パルス発生回路２８は単安定フ リップフロップで構成される。或るは、好ましくは、回路２８の代わりにパルス 発生回路２８′を用いることができる（同様に、スイッチ３２も省くことができ る）。回路２８′はジャンプ制御パルスを２〜３ｍ秒の時間周期中に制御回路２ ２の出力部に供給することができる（図８、ＦＡ信号を参照）。この結果、焦点 アクチュエータ手段１２は、上記焦点制御パルスの供給中に集束手段を加速移動 させる。ジャップ制御パルスが終了すると、集束手段は急激に変化する曲線に沿 って追従し、その後集束手段は定速度で進行する（図８に示す、焦点位置）。固 定された時間期間（５ｍ秒）の後、制御回路２２はリセット信号ＲＳにより再び アクティブ状態になる。次に、焦点制御回路は適当なＦＡ信号を発生して指示さ れた層上に焦点スポットを形成する（図８、５ｍ秒後のＦＡ信号）。さらに、実 際のＦＥ信号を図８において時間の関数として示す。本例では、スィッチ２９， ３０，３１及び３２が、増幅器２３又は回路２８とＰ．Ｉ．Ｄ．回路２４，２５ 及び２６との間の接続を開閉する。この点に関して、これらスィッチをオープン することは、Ｐ．Ｉ．Ｄ．回路２４，２５，２６の入力部を接地し、又は回路２ ３及び２８の出力部を接地し、又は回路２３の入力部及び回路２８の出力部を接 地することと等価であることを意味する。 勿論、多層ディスクにおいてある層から第３又は第４の別の層へジャンプする 必要がある場合、カウンタ９９は多くの数を計数するように設定されアクチュエ ータが自由に移動できるように時間周期を伸長させる必要がある。図８を参照す るに、この時間期間は、焦点制御回路が再びオンに切り換わる前にそれぞれ４７ ．５μｍ及び７３μｍ進行するのに約５ｍ秒及び８ｍ秒かかる。 さらに、ジャンプ制御パルスのパルス振幅は、直接隣接していない層間で比較 的短いジャンプサイクルを有するように増大させることができる。 本発明による光学式走査装置の別の変形例として、零クロス５１付近のフィー ドバックの変形にはフィードバックループの増幅器の変形を含む。図７は調整可 能な増幅器２３′を示す。この増幅器は焦点誤差信号ＦＥをその出力部で受信す る。この増幅器の入力信号ＦＥは抵抗５４を介して差動増幅器５１の第１入力部 に供給される。差動増幅器の第２の入力部は接地する。２個の抵抗５５及び５６ は第１入力部に接続する。スイッチ５７により抵抗５５又は５６のいずれかを出 力部に接続する。これら抵抗の互いに異なる値により、異なる利得が与えられる 。このスイッチは回路３３を介して差動する。焦点が情報層上にロックされると 、スイッチは最大増幅 が得られる位置をとる。焦点ジャンプ中、この僅かな 増幅が得られる位置に存在し、これにより位置５１のような交差位置を通過する 際アクチュエータが速過ぎるスピードになることが回避される。初期のフォーカ シング中、上述したように、フィードバックループはスイッチ２９，３０，３１ 及び３２によりオープン状態になることができる。 光記録媒体を走査する走査装置において本発明を説明したが、本発明はこの走 査に限定されず、ある種の情報を含む上下に重なり合う層を有するいかなる種類 の物体についての走査装置にも適用することがてきる。この走査装置の例として 、ある材料層に対して少なくとも部分的に透明な波長の放射により集積 半導体回路の上下に重なり合う層を試験する走査装置がある。この走査装置は回 路を構成する種々の層を走査し、これらの層から読み取られた情報はこれらの層 の構造に関するものとなる。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．互いに重なり合う少なくとも第１及び第２の情報層を有する光記録媒体を走 査する光学式走査装置であって、 放射ビームを焦点に収束させる手段を含む光学装置と、 前記収束手段を制御して焦点を前記層と直交する方向に変位させる焦点アク チュエータ手段と、 焦点と走査すべき層との間の距離及び方向を表す焦点誤差（ＦＥ）信号を取 り出す焦点誤差検出器と、 前記ＦＥ信号に応じて焦点アクチュエータ駆動信号を取り出すと共にこの駆 動信号を焦点アクチュエータに供給してアクチュエータを走査すべき層にほぼ維 持する焦点制御回路と、 第１の層の走査から第２の層の走査へ変更する層ジャンプコマンドを受信し た後前記焦点制御回路の機能の変更を制御する第１の論理値、及び前記機能の復 帰を制御する第２の論理値をとる二進ループ制御信号を発生する第１の制御装置 とを具える光学式走査装置において、 前記層ジャンプコマンドを受信し、この層ジャンプコマンドを受信した際焦 点アクチュエータ手段を起動させるジャンプ制御パルスを発生するパルス発生手 段を具え、この層ジャンプコマンドが、少なくともジャンプ制御パルスの時間期 間中に焦点制御回路の機能を大幅に変更させると共に前記時間期間が経過する際 焦点制御回路の機能を復帰させることを特徴とする光学式走査装置。 ２．請求項１に記載の光学式走査装置において、前記大幅な変更が、前記ジャン プ制御パルスの時間期間よりも大幅に長い予め定めた時間期間にわたって続くこ とを特徴とする光学式走査装置。 ３．請求項１又は２に記載の光学式走査装置において、前記大幅な変更が、前記 焦点制御回路の入力部の入力信号を中断させることにより行われることを特徴と する光学式走査装置。 ４．請求項１又は２に記載の光学式走査装置において、前記大幅な変更が、前記 焦点制御回路の増幅率を大幅に減少させることにより行われることを特徴とす る光学式走査装置。 ５．請求項１又は２に記載の光学式走査装置において、前記大幅な変更が、焦点 制御回路のＰＩＤ制御装置の積分枝路及び微分枝路の入力部の入力信号を中断す ることにより行われ、請求項パルス発生手段がジャンプ制御パルスを前記ＰＩＤ 制御装置の積分枝路に供給することを特徴とする光学式走査装置。 ６．少なくとも３個の互いに重なり合う層について走査できる請求項２に記載の 光学式走査装置において、前記予め定めた時間期間がジャンプされる層の数に依 存することを特徴とする光学式走査装置。 ７．請求項３又は４に記載の光学式走査装置において、前記パルス発生手段がジ ャンプ制御パルスを焦点制御回路の出力信号に加算することを特徴とする光学式 走査装置。